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FR2924232A1 - SUBSTRATE EQUIPPED WITH A THERMAL PROPERTY STACK - Google Patents

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FR2924232A1
FR2924232A1 FR0759223A FR0759223A FR2924232A1 FR 2924232 A1 FR2924232 A1 FR 2924232A1 FR 0759223 A FR0759223 A FR 0759223A FR 0759223 A FR0759223 A FR 0759223A FR 2924232 A1 FR2924232 A1 FR 2924232A1
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Vincent Reymond
Sylvain Belliot
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Saint Gobain Glass France SAS
Compagnie de Saint Gobain SA
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Abstract

L'invention se rapporte à un substrat (10) verrier muni sur une face principale d'un empilement de couches minces comportant une couche fonctionnelle (40) métallique à propriétés de réflexion dans l'infrarouge et/ou dans le rayonnement solaire, notamment à base d'argent ou d'alliage métallique contenant de l'argent, et deux revêtements antireflet (20, 60), lesdits revêtements comportant chacun au moins une couche diélectrique (24, 64) à base de nitrure de silicium, ladite couche fonctionnelle (40) étant disposée entre les deux revêtements antireflet (20, 60), la couche fonctionnelle (40) étant déposée directement sur un revêtement de sous-blocage (30) disposé entre la couche fonctionnelle (40) et le revêtement antireflet (20) sous-jacent et la couche fonctionnelle (40) étant déposée directement sous un revêtement de sur-blocage (50) disposé entre la couche fonctionnelle (40) et le revêtement antireflet (60) susjacent, caractérisé en ce que pour que ledit substrat soit bombable et/ou trempable après le dépôt de l'empilement de couches minces, l'empilement comporte une couche fine à base de nickel dans le revêtement de sous-blocage (30) et/ou dans le revêtement de sur-blocage (50), ladite couche fine à base de nickel étant déposée à une haute pression de vide, égale ou supérieure à 2.10<-3> Torr, et de préférence comprise entre 2,5.10<-3> Torr et 5.10<-3> Torr.The invention relates to a glass substrate (10) provided on a main face with a stack of thin layers comprising a functional metallic layer (40) with reflection properties in the infrared and / or in solar radiation, in particular at base of silver or a metal alloy containing silver, and two anti-reflective coatings (20, 60), said coatings each comprising at least one dielectric layer (24, 64) based on silicon nitride, said functional layer ( 40) being disposed between the two anti-reflective coatings (20, 60), the functional layer (40) being deposited directly on a sub-blocking coating (30) disposed between the functional layer (40) and the anti-reflective coating (20) under -jacent and the functional layer (40) being deposited directly under an over-blocking coating (50) disposed between the functional layer (40) and the overlying antireflection coating (60), characterized in that for said substrate to be bendable and / or tr stackable after the deposition of the stack of thin layers, the stack comprises a thin nickel-based layer in the underblocking coating (30) and / or in the overblocking coating (50), said thin layer nickel-based being deposited at a high vacuum pressure, equal to or greater than 2.10 <-3> Torr, and preferably between 2.5.10 <-3> Torr and 5.10 <-3> Torr.

Description

SUBSTRAT MUNI D'UN EMPILEMENT A PROPRIETES THERMIQUES SUBSTRATE EQUIPPED WITH A THERMAL PROPERTY STACK

L'invention concerne un substrat transparent en matériau rigide minéral comme le verre, ledit substrat étant revêtu d'un empilement de couches minces comprenant une couche fonctionnelle de type métallique pouvant agir sur le rayonnement solaire et/ou le rayonnement infrarouge de grande longueur d'onde. L'invention concerne plus particulièrement l'utilisation de tels substrats pour fabriquer des vitrages d'isolation thermique et/ou de protection solaire. Ces vitrages peuvent être destinés aussi bien à équiper les bâtiments que les véhicules, en vue notamment de diminuer l'effort de climatisation et/ou d'empêcher une surchauffe excessive (vitrages dits de contrôle solaire ) et/ou diminuer la quantité d'énergie dissipée vers l'extérieur (vitrages dits bas émissifs ) entraînés par l'importance toujours croissante des surfaces vitrées dans les bâtiments et les habitacles de véhicules. Ces vitrages peuvent par ailleurs être intégrés dans des vitrages présentant des fonctionnalités particulières, comme par exemple des vitrages chauffants ou des vitrages électrochromes. The invention relates to a transparent substrate made of a rigid mineral material such as glass, said substrate being coated with a stack of thin layers comprising a functional layer of metallic type capable of acting on solar radiation and / or infrared radiation of great length. wave. The invention relates more particularly to the use of such substrates for manufacturing thermal insulation and / or solar protection glazing. These glazing can be intended both to equip buildings and vehicles, in particular with a view to reducing the air conditioning effort and / or preventing excessive overheating (so-called solar control glazing) and / or reducing the quantity of energy. dissipated to the outside (so-called low-emissive glazing) caused by the ever-increasing importance of glazed surfaces in buildings and vehicle interiors. These glazings can moreover be integrated into glazings having particular functionalities, such as, for example, heated glazing or electrochromic glazing.

Un type d'empilement de couches connu pour conférer aux substrats de telles propriétés est constitué d'une couche métallique fonctionnelle à propriétés de réflexion dans l'infrarouge et/ou dans le rayonnement solaire, notamment une couche fonctionnelle métallique à base d'argent ou d'alliage métallique contenant de l'argent. A type of stack of layers known to give substrates such properties consists of a functional metallic layer with reflection properties in the infrared and / or in solar radiation, in particular a metallic functional layer based on silver or metal alloy containing silver.

Le type d'empilement connu auquel se rapporte l'invention est appelé empilement à sous et sur bloqueur car il présente la structure suivante, dans cet ordre : Substrat / revêtement antireflet sous-jacent / revêtement sous-bloqueur / couche métallique fonctionnelle / revêtement sur-bloqueur / revêtement 30 antireflet sus-jacent + éventuellement une couche de protection. -2- La couche fonctionnelle se trouve ainsi disposée entre deux revêtements antireflets comportant chacun en général une seule couche qui est en un matériau diélectrique du type nitrure de silicium. Le but de ces revêtements qui encadrent la couche fonctionnelle métallique est d'antirefléter cette couche fonctionnelle métallique. Un revêtement de blocage est toutefois intercalé entre chaque revêtement antireflet et la couche métallique fonctionnelle. Le revêtement de blocage disposé sous la couche fonctionnelle en direction du substrat favorise la croissance cristalline de cette couche et la protège lors d'un éventuel traitement thermique à haute température, du type bombage et/ou trempe. Le revêtement de blocage disposé sur la couche fonctionnelle à l'opposé du substrat protège cette couche d'une éventuelle dégradation lors du dépôt du revêtement antireflet supérieur et lors d'un éventuel traitement thermique à haute température, du type bombage et/ou trempe. La présente invention vise plus précisément un empilement du type de celui présenté ci-avant qui résiste bien au traitement thermique de bombage et/ou trempe appliqué aux substrats verriers pour permettre de les bomber et/ou de les tremper. The known type of stack to which the invention relates is referred to as a slot and blocker stack because it has the following structure, in this order: Substrate / underlying anti-reflective coating / sub-blocker coating / functional metal layer / coating on -blocker / overlying anti-reflective coating + optionally a protective layer. -2- The functional layer is thus placed between two antireflection coatings each generally comprising a single layer which is made of a dielectric material of the silicon nitride type. The purpose of these coatings which surround the metallic functional layer is to antireflect this metallic functional layer. However, a blocking coating is interposed between each anti-reflective coating and the functional metal layer. The blocking coating placed under the functional layer in the direction of the substrate promotes the crystal growth of this layer and protects it during any heat treatment at high temperature, of the bending and / or tempering type. The blocking coating placed on the functional layer opposite the substrate protects this layer from possible degradation during the deposition of the upper antireflection coating and during a possible high temperature heat treatment, of the bending and / or toughening type. The present invention relates more specifically to a stack of the type of that presented above which is resistant to the heat treatment of bending and / or toughening applied to the glass substrates in order to allow them to be bulged and / or to be soaked.

L'homme du métier distingue deux catégories d'empilements résistant au traitement thermique (ou supportant un traitement thermique) de bombage et/ou trempe : 1- les empilements dits à tremper qui ne présentent pas avant le traitement thermique les caractéristiques souhaitées et attendues, en particulier de transmission lumineuse, de couleur, de résistivité, ... et qui les acquièrent lors de ce traitement thermique ; les substrats revêtus de ce type d'empilement ne sont donc pas utilisables en tant que tels par l'utilisateur final (lors du conditionnement des substrats pour former des vitrages par exemple), mais seulement après avoir subi un traitement thermique ; 2- les empilements dits bombables et/ou trempables qui présentent avant le traitement thermique des caractéristiques acceptables et -3- qui présentent après traitement thermique des caractéristiques similaires ou quasi-identiques, c'est-à-dire qui présentent des variations de caractéristiques au traitement thermique qui sont acceptables et telles qu'il sera difficile pour un observateur de distinguer par observation visuelle des substrats revêtus de l'empilement qui ont subi un traitement thermique des substrats revêtus du même empilement qui n'ont pas subi de traitement thermique. Il n'est pas possible pour l'homme du métier de définir plus précisément ces deux catégories car par exemple un empilement à tremper peut présenter une variation de transmission lumineuse dans le visible au traitement thermique aussi faible qu'un empilement trempable mais présenter par exemple une plus forte variation de réflexion lumineuse dans le visible ou une plus forte variation de couleur. Toutefois les documents de l'art antérieur et les documentations techniques des verriers font bien cette distinction et la présente invention ne 15 s'intéresse qu'à la deuxième catégorie d'empilement, les empilements bombables et/ou trempables . L'invention s'applique ainsi aux substrats dits trempables dans la mesure où il est difficile de distinguer sur une même façade de bâtiment par exemple présentant à proximité les uns des autres des vitrages intégrant des 20 substrats à empilement de couches minces trempés après le dépôt des couches et des substrats avec le même empilement de couches minces non trempés, par une simple observation visuelle globale des vitrages intégrant en particulier la transmission lumineuse dans le visible, la couleur en réflexion et la réflexion lumineuse dans le visible du vitrage. 25 Pour l'homme du métier, il existe des empilements qui ne supportent aucun traitement thermique. Il est ainsi connu de la demande de brevet européen N ° EP 567 735, un empilement du type présenté ci-avant en termes de structure d'empilement 30 qui ne peut pas subir un traitement thermique. -4- Dans ce document EP 567 735 il est expliqué qu'il est important que chaque revêtement de blocage, à base de nickel, présente une épaisseur inférieure à 0,7 nanomètre. Il est aussi connu de la demande de brevet européen N ° EP 646 551, un empilement du même type (même succession de couche, même matériau pour chaque couche) qui, lui, peut subir un traitement thermique ; il s'agit d'un empilement à tremper car il présente de fortes variations, en particuliers optiques, lors du traitement thermique de bombage ou trempe. Il est expliqué dans le document EP 646 551 que la solution du document précédant (EP 567 735) ne peut pas subir de traitement thermique vraisemblablement parce que l'épaisseur de chaque revêtement de blocage n'est pas suffisante pour protéger correctement la couche métallique fonctionnelle à base d'argent. Le document EP 646 551 préconise ainsi indirectement, pour réaliser un empilement du même type mais qui supporte le traitement thermique, que le revêtement de sous-blocage soit vraiment plus épais (de préférence 2 à 4 fois l'épaisseur du revêtement de sur-blocage) et il expose en particulier qu'il est préférable que ce revêtement de sous-blocage présente une épaisseur supérieure à 2 nm et conseille une épaisseur d'environ 4,5 nm. A person skilled in the art distinguishes two categories of stacks resistant to the heat treatment (or supporting a heat treatment) of bending and / or tempering: 1- the so-called toughening stacks which do not exhibit the desired and expected characteristics before the heat treatment, in particular of light transmission, color, resistivity, etc. and which acquire them during this heat treatment; the substrates coated with this type of stack cannot therefore be used as such by the end user (when conditioning the substrates to form glazing, for example), but only after having undergone a heat treatment; 2- the so-called bendable and / or hardenable stacks which have acceptable characteristics before the heat treatment and -3- which after heat treatment have similar or almost identical characteristics, that is to say which have variations in characteristics at heat treatments which are acceptable and such that it will be difficult for an observer to distinguish by visual observation coated substrates of the stack which have undergone heat treatment from substrates coated with the same stack which have not undergone heat treatment. It is not possible for those skilled in the art to define these two categories more precisely because, for example, a dipping stack may exhibit a variation in light transmission in the visible to heat treatment as low as a quenching stack but for example a greater variation in light reflection in the visible or a greater variation in color. However, the documents of the prior art and the technical documentations of glassmakers clearly make this distinction and the present invention is only concerned with the second category of stacking, bending and / or hardenable stacks. The invention thus applies to so-called hardenable substrates insofar as it is difficult to distinguish, on the same building facade, for example having glazings in proximity to one another integrating substrates with a stack of thin layers soaked after deposition. layers and substrates with the same stack of unhardened thin layers, by a simple global visual observation of the glazing integrating in particular the light transmission in the visible, the color in reflection and the light reflection in the visible part of the glazing. For those skilled in the art, there are stacks which do not withstand any heat treatment. It is thus known from European patent application No. EP 567 735, a stack of the type presented above in terms of stack structure 30 which cannot undergo heat treatment. -4- In this document EP 567 735 it is explained that it is important for each nickel-based blocking coating to have a thickness of less than 0.7 nanometers. It is also known from European patent application No. EP 646 551, a stack of the same type (same succession of layer, same material for each layer) which, for its part, can undergo heat treatment; it is a stack to be quenched because it exhibits strong variations, in particular optical variations, during the heat treatment of bending or quenching. It is explained in document EP 646 551 that the solution of the preceding document (EP 567 735) cannot undergo heat treatment, probably because the thickness of each blocking coating is not sufficient to properly protect the functional metal layer. silver-based. Document EP 646 551 thus indirectly recommends, in order to produce a stack of the same type but which withstands the heat treatment, that the underblocking coating be really thicker (preferably 2 to 4 times the thickness of the overblocking coating ) and he states in particular that it is preferable that this underblocking coating has a thickness greater than 2 nm and advises a thickness of about 4.5 nm.

D'ailleurs, l'invention objet du EP 646 551 est comparée à un empilement Standard dont les caractéristiques optiques et thermiques sont acceptables et présentant sous la couche fonctionnelle métallique une couche de bloqueur d'une épaisseur de 0,7 nm déposée sous une pression de 2.10-3 Torr et dont il est dit qu'il ne supporte aucun traitement thermique. Moreover, the invention which is the subject of EP 646 551 is compared with a Standard stack whose optical and thermal characteristics are acceptable and which has, under the metallic functional layer, a blocker layer with a thickness of 0.7 nm deposited under a pressure. of 2.10-3 Torr and which it is said that it does not withstand any heat treatment.

Il est expliqué que cette épaisseur est insuffisante et engendre des trous dans la couche métallique fonctionnelle lors du traitement thermique. Il est important de noter que cette épaisseur du revêtement de sous-blocage à base de nickel du Standard de EP 646 551 est identique à celle de l'empilement de EP 567 735, soit 0,7 nm pour chacun des revêtements de sous et sur-blocage. Dans EP 567 735, la pression de dépôt dans la chambre de dépôt du revêtement de sous-blocage à base de nickel n'est pas connue, mais -5- dans EP 646 551 le revêtement de sous-blocage à base de nickel est déposé à très faible pression (1,5.10-3 Torr) et il est dit dans ce document que l'empilement du EP 567 735 est reproduit dans les mêmes conditions que l'empilement à tremper de l'invention. It is explained that this thickness is insufficient and generates holes in the functional metal layer during the heat treatment. It is important to note that this thickness of the nickel-based subblocking coating of the Standard of EP 646 551 is identical to that of the stack of EP 567 735, i.e. 0.7 nm for each of the under and over coatings. -blocking. In EP 567 735 the deposition pressure in the deposition chamber of the nickel-based underblocking coating is not known, but in EP 646,551 the nickel-based subblocking coating is deposited. at very low pressure (1.5.10-3 Torr) and it is stated in this document that the stack of EP 567 735 is reproduced under the same conditions as the stack to be soaked of the invention.

Il a été découvert que d'une manière surprenante, il est possible de rendre cet empilement standard capable de subir un traitement thermique, c'est-à-dire de rendre l'empilement à tremper alors même que l'épaisseur du revêtement de sous-blocage reste faible, notamment supérieure à 0,7 nm, et en tout cas bien inférieure à 2 nm. It has been discovered that, surprisingly, it is possible to make this standard stack capable of undergoing heat treatment, that is to say of making the stack to be soaked even when the thickness of the coating is under. -blocking remains low, in particular greater than 0.7 nm, and in any case much less than 2 nm.

Non seulement l'empilement peut alors subir un traitement thermique mais en outre, la variation de ces propriétés essentielles est si faible qu'il est même possible de le rendre trempable . Not only can the stack then undergo a heat treatment, but in addition, the variation of these essential properties is so small that it is even possible to make it hardenable.

Le but de l'invention est de parvenir à remédier aux inconvénients de l'art antérieur, en mettant au point un nouveau type d'empilement de couches du type de ceux décrits précédemment, empilement qui présente une faible résistance par carré, une transmission lumineuse élevée et une couleur relativement neutre, en particulier en réflexion côté couches, et que ces propriétés soient conservées dans une plage restreinte que l'empilement subisse ou non, un (ou des) traitement(s) thermique(s) à haute température du type bombage et/ou trempe et/ou recuit. L'invention a ainsi pour objet, dans son acception la plus large, un substrat verrier muni sur une face principale d'un empilement de couches minces comportant une couche fonctionnelle métallique à propriétés de réflexion dans l'infrarouge et/ou dans le rayonnement solaire, notamment à base d'argent ou d'alliage métallique contenant de l'argent, et deux revêtements antireflet, lesdits revêtements comportant chacun au moins une couche diélectrique à base de nitrure de silicium, ladite couche fonctionnelle étant disposée entre les deux revêtements antireflet, la couche fonctionnelle etant déposée directement sur un revêtement de sous-blocage dispose entre la couche fonctionnelle et le revêtement antireflet sous-jacent et la couche -6- fonctionnelle étant déposée directement sous un revêtement de sur-blocage disposé entre la couche fonctionnelle et le revêtement antireflet sus-jacent, caractérisé en ce que pour que ledit substrat soit bombable et/ou trempable après le dépôt de l'empilement de couches minces, l'empilement comporte une couche fine à base de nickel dans le revêtement de sous-blocage (30) et/ou dans le revêtement de sur-blocage (50), ladite couche fine à base de nickel étant déposée à une haute pression de vide, égale ou supérieure à 2.10-Torr, et de préférence comprise entre 2,5.10-3 Torr et 5.10-3 Torr. L'invention consiste ainsi à permettre de fabriquer un empilement à tremper , à partir d'un empilement Standard, du type de l'empilement Standard du EP 646 551, qui ne supporte pas de traitement thermique, avec une légère augmentation des épaisseurs des couches des revêtements de blocage et en particulier de l'épaisseur du revêtement de sous-blocage. Cet avantage est tel qu'il devient possible de concevoir un empilement du type de l'empilement Standard qui est trempable , c'est-à-dire dont les caractéristiques et en particulier les caractéristiques optiques essentielles, restent quasiment inchangées lors du traitement thermique. Au sens de la présente invention lorsqu'il est précisé qu'un dépôt de couche ou de revêtement (comportant une ou plusieurs couches) est effectué directement sous ou directement sur un autre dépôt, c'est qu'il ne peut y avoir interposition d'aucune couche entre ces deux dépôts. La couche à base de nitrure de silicium du revêtement antireflet sous-jacent, est au contact du substrat, directement ou indirectement par l'intermédiaire d'une couche de contact par exemple à base d'oxyde de titane (TiO2). L'indice de cette couche à base de nitrure est, de préférence, inférieur ou égal à 2,3, alors que celui de la couche de contact est, de préférence supérieur à 2,3. La couche à base de nitrure de silicium est constituée de préférence de 30 Si3N4. Bien que la formule précédente constitue la stoechiométrie visée, il -7- n'est pas exclu que cette stoechiométrie ne soit pas tout à fait atteinte dans la couche finalement déposée. La ou chaque couche fine à base de nickel présentant, de préférence, une épaisseur e telle que 1,5 nm e 5 nm, et de préférence encore 0,8 nm e 1,8 nm. Dans une variante particulière, la couche fine à base de nickel du revêtement de sous-blocage et la couche fine à base de nickel du revêtement de sur-blocage présentent des épaisseurs identiques ou quasi-identiques, i.e. : identiques à 0,2 nm près (épaisseur physique). The aim of the invention is to overcome the drawbacks of the prior art, by developing a new type of stack of layers of the type of those described above, a stack which has a low resistance per square, a light transmission. high and a relatively neutral color, in particular in reflection on the layer side, and that these properties are kept within a restricted range whether the stack undergoes or not, one (or more) heat treatment (s) at high temperature of the type bending and / or tempering and / or annealing. The subject of the invention is thus, in its broadest sense, a glass substrate provided on a main face with a stack of thin layers comprising a metallic functional layer with reflection properties in the infrared and / or in solar radiation. , in particular based on silver or a metal alloy containing silver, and two antireflection coatings, said coatings each comprising at least one dielectric layer based on silicon nitride, said functional layer being arranged between the two antireflection coatings, the functional layer being deposited directly on an underblocking coating disposed between the functional layer and the underlying antireflection coating and the functional layer being deposited directly under an overblocking coating disposed between the functional layer and the coating overlying antireflection, characterized in that for said substrate to be bendable and / or hardenable after deposition of the stack t of thin layers, the stack comprises a thin nickel-based layer in the underblocking coating (30) and / or in the overblocking coating (50), said thin nickel-based layer being deposited at a high vacuum pressure, equal to or greater than 2.10-Torr, and preferably between 2.5.10-3 Torr and 5.10-3 Torr. The invention thus consists in making it possible to manufacture a stack to be soaked, from a Standard stack, of the type of the Standard stack of EP 646 551, which does not withstand heat treatment, with a slight increase in the thicknesses of the layers. blocking coatings and in particular the thickness of the underlocking coating. This advantage is such that it becomes possible to design a stack of the Standard stack type which is hardenable, that is to say whose characteristics and in particular the essential optical characteristics, remain virtually unchanged during the heat treatment. For the purposes of the present invention, when it is specified that a deposit of a layer or coating (comprising one or more layers) is carried out directly under or directly on another deposit, it means that there can be no interposition of 'no layer between these two deposits. The silicon nitride-based layer of the underlying antireflection coating is in contact with the substrate, directly or indirectly via a contact layer, for example based on titanium oxide (TiO2). The index of this nitride-based layer is preferably less than or equal to 2.3, while that of the contact layer is preferably greater than 2.3. The silicon nitride-based layer preferably consists of Si3N4. Although the preceding formula constitutes the target stoichiometry, it is not excluded that this stoichiometry is not completely achieved in the layer finally deposited. The or each thin nickel-based layer preferably having a thickness e such as 1.5 nm e 5 nm, and more preferably 0.8 nm e 1.8 nm. In a particular variant, the thin nickel-based layer of the underblocking coating and the thin nickel-based layer of the overblocking coating have identical or almost identical thicknesses, ie: identical to within 0.2 nm (physical thickness).

La couche fine à base de nickel du revêtement de sous-blocage est, de préférence, directement au contact de la couche fonctionnelle et la couche fine à base de nickel du revêtement de sur-blocage est, de préférence, directement au contact de la couche fonctionnelle. Il n'est pas exclu que le revêtement de sous-blocage et/ou le revêtement de sur-blocage contient (ou contiennent) d'autre(s) couche(s), mais alors, ces autres couches seront de préférence plus éloignées de la couche fonctionnelle que la couche fine à base de nickel. La couche fonctionnelle est, de préférence, déposée à une haute pression de vide, égale ou supérieure à 2.10-3 Torr mais toutefois inférieure à 10-2 Torr, et de préférence comprise entre 2,5.10-3 Torr et 5.10-3 Torr. En effet, la (ou les) couche(s) fine(s) à base de nickel et la couche fonctionnelle sont de préférence déposées dans la même atmosphère, sous la même pression. Dans une variante particulière, la haute pression de vide est comprise entre 3.10-3 Torr et 4,5.10-3 Torr, et est de préférence de l'ordre de 3,5.10-3 Torr. De préférence, la ou chaque couche fine à base de nickel comprend au moins 50 % en proportion atomique de Ni. Dans une version particulière, au moins une couche fine à base de nickel, 30 et notamment celle du revêtement de sur-blocage, comprend du chrome, de préférence dans des quantités atomiques de 80 % de Ni et 20 % de Cr. -8- Dans cette version particulière, au moins une couche fine à base de nickel, et notamment celle du revêtement de sur-blocage, est constituée d'un alliage de NiCr présent sous forme métallique si le substrat muni de l'empilement de couches minces n'a pas subi de traitement thermique de bombage et/ou trempe après le dépôt de l'empilement, ledit alliage étant au moins partiellement oxydé si le substrat muni de l'empilement de couches minces a subi au moins un traitement thermique de bombage et/ou trempe après le dépôt de l'empilement. Dans une autre version particulière, au moins une couche fine à base de nickel, et notamment celle du revêtement de sur-blocage, comprend du titane, de préférence dans des quantités atomiques de 80 % de Ni et 20 % de Ti. Dans cette autre version particulière, au moins une couche fine à base de nickel, et notamment celle du revêtement de sur-blocage, est constituée d'un alliage de NiTi présent sous forme métallique si le substrat muni de l'empilement de couches minces n'a pas subi de traitement thermique de bombage et/ou trempe après le dépôt de l'empilement, ledit alliage étant au moins partiellement oxydé si le substrat muni de l'empilement de couches minces a subi au moins un traitement thermique de bombage et/ou trempe après le dépôt de l'empilement. Le substrat comporte par ailleurs, de préférence une dernière couche ( overcoat en anglais), c'est-à-dire une couche de protection la plus éloignée du substrat, à base d'oxyde, déposée de préférence sous stoechiométrique, et notamment à base de TiOX (où x est un nombre inférieur à 2). Cette couche se retrouve oxydée pour l'essentiel stoechiométriquement dans l'empilement après le dépôt. Cette couche de protection présente, de préférence, une épaisseur comprise entre 1 et 10 nm. Les revêtements antireflets disposés l'un au-dessous de la couche 30 fonctionnelle métallique et l'autre au-dessus présentent chacun une épaisseur -9- physique comprise entre 10 et 50 nm et la ouche fonctionnelle métallique présente une épaisseur physique comprise entre 5 et 20 nm. The nickel-based thin layer of the underblock coating is preferably directly in contact with the functional layer and the nickel-based thin layer of the overblock coating is preferably directly in contact with the layer. functional. It is not excluded that the underblocking coating and / or the overblocking coating contains (or contains) other layer (s), but then, these other layers will preferably be further away from the functional layer than the thin nickel-based layer. The functional layer is preferably deposited at a high vacuum pressure, equal to or greater than 2.10-3 Torr but however less than 10-2 Torr, and preferably between 2.5.10-3 Torr and 5.10-3 Torr. In fact, the thin layer (s) based on nickel and the functional layer are preferably deposited in the same atmosphere, under the same pressure. In a particular variant, the high vacuum pressure is between 3.10-3 Torr and 4.5.10-3 Torr, and is preferably of the order of 3.5.10-3 Torr. Preferably, the or each thin nickel-based layer comprises at least 50% in atomic proportion of Ni. In a particular version, at least one thin nickel-based layer, and in particular that of the overblocking coating, comprises chromium, preferably in atomic amounts of 80% Ni and 20% Cr. -8- In this particular version, at least one thin nickel-based layer, and in particular that of the overblocking coating, consists of an NiCr alloy present in metallic form if the substrate provided with the stack of layers thin films has not undergone any heat treatment of bending and / or quenching after the deposition of the stack, said alloy being at least partially oxidized if the substrate provided with the stack of thin layers has undergone at least one heat treatment of bending and / or quenching after deposition of the stack. In another particular version, at least one thin nickel-based layer, and in particular that of the overblocking coating, comprises titanium, preferably in atomic amounts of 80% Ni and 20% Ti. In this other particular version, at least one thin nickel-based layer, and in particular that of the overblocking coating, consists of an NiTi alloy present in metallic form if the substrate provided with the stack of thin layers n 'has not undergone any heat treatment of bending and / or quenching after the deposition of the stack, said alloy being at least partially oxidized if the substrate provided with the stack of thin layers has undergone at least one heat treatment of bending and / or quenching after deposition of the stack. The substrate also preferably comprises a last layer (overcoat in English), that is to say a protective layer furthest from the substrate, based on oxide, preferably deposited under stoichiometric, and in particular based of TiOX (where x is a number less than 2). This layer is found essentially stoichiometrically oxidized in the stack after deposition. This protective layer preferably has a thickness of between 1 and 10 nm. The anti-reflective coatings disposed one below the metallic functional layer and the other above each have a physical thickness of between 10 and 50 nm and the metallic functional layer has a physical thickness of between 5 and 50 nm. 20 nm.

Le vitrage selon l'invention incorpore au moins le substrat porteur de l'empilement selon l'invention, éventuellement associé à au moins un autre substrat. Chaque substrat peut être clair ou coloré. Un des substrats au moins notamment peut être en verre coloré dans la masse. Le choix du type de coloration va dépendre du niveau de transmission lumineuse et/ou de l'aspect colorimétrique recherchés pour le vitrage une fois sa fabrication achevée. The glazing according to the invention incorporates at least the substrate carrying the stack according to the invention, optionally associated with at least one other substrate. Each substrate can be clear or colored. At least one of the substrates, in particular, may be of glass colored in the mass. The choice of the type of coloring will depend on the level of light transmission and / or the colorimetric appearance desired for the glazing once its manufacture has been completed.

Ainsi pour des vitrages destinés à équiper des véhicules, certaines normes imposent que le pare-brise présente une transmission lumineuse TL d'environ 75% et d'autres normes imposent une transmission lumineuse TL d'environ 65% ; un tel niveau de transmission n'étant pas exigé pour les vitrages latéraux ou le toit-auto, par exemple. Les verres teintés que l'on peut retenir sont par exemple ceux qui, pour une épaisseur de 4 mm, présentent une TL de 65 % à 95 %, une transmission énergétique TE de 40 % à 80 %, une longueur d'onde dominante en transmission de 470 nm à 525 nm associée à une pureté de transmission de 0,4 % à 6 % selon l'Illuminant D65i ce que l'on peut traduire dans le système de colorimétrie (L, a*, b*) par des valeurs de a* et b* en transmission respectivement comprises entre -9 et 0 et entre -8 et +2. Pour des vitrages destinés à équiper des bâtiments, le vitrage présente, de préférence, une transmission lumineuse TL d'au moins 75% voire plus pour des applications vitrage bas-émissif , et une transmission lumineuse TL d'au moins 40% voire plus pour des applications vitrage de contrôle solaire . Thus for glazing intended to equip vehicles, certain standards require that the windshield has a light transmission TL of approximately 75% and other standards require a light transmission TL of approximately 65%; such a level of transmission is not required for the side windows or the car roof, for example. The tinted glasses that can be used are for example those which, for a thickness of 4 mm, have a TL of 65% to 95%, an energy transmission TE of 40% to 80%, a dominant wavelength in transmission from 470 nm to 525 nm associated with a transmission purity of 0.4% to 6% according to Illuminant D65i which can be translated in the colorimetry system (L, a *, b *) by values of a * and b * in transmission respectively between -9 and 0 and between -8 and +2. For glazing intended to equip buildings, the glazing preferably has a light transmission TL of at least 75% or more for low-emissive glazing applications, and a light transmission TL of at least 40% or more for solar control glazing applications.

Le vitrage selon l'invention peut présenter une structure feuilletée, associant notamment au moins deux substrats rigides du type verre par au moins une feuille de polymère thermoplastique, afin de présenter une structure de type verre/empilement de couches minces/feuille(s)/verre. Le polymère peut notamment être à base de polyvinylbutyral PVB, éthylène vinylacétate EVA, polyéthylène téréphtalate PET, polychlorure de vinyle PVC. -10- Le vitrage peut aussi présenter une structure de vitrage feuilleté dit asymétrique, associant un substrat rigide de type verre à au moins une feuille de polymère de type polyuréthane à propriétés d'absorbeur d'énergie, éventuellement associée à une autre couche de polymères à propriétés auto- cicatrisantes . Pour plus de détails sur ce type de vitrage, il est possible de se reporter notamment aux brevets EP-0 132 198, EP-0 131 523, EP-0 389 354. Le vitrage peut alors présenter une structure de type verre/empilement de couches minces/feuille(s) de polymère. Les vitrages selon l'invention sont aptes à subir un traitement thermique 10 sans dommage pour l'empilement de couches minces. Ils sont donc éventuellement bombés et/ou trempés. Le vitrage peut être bombé et/ou trempé en étant constitué d'un seul substrat, celui muni de l'empilement. Il s'agit alors d'un vitrage dit monolithique . Dans le cas où ils sont bombés, notamment en vue de 15 constituer des vitrages pour véhicules, l'empilement de couches minces se trouve de préférence sur une face au moins partiellement non plane. Le vitrage peut aussi être un vitrage multiple, notamment un double-vitrage, au moins le substrat porteur de l'empilement pouvant être bombé et/ou trempé. Il est préférable dans une configuration de vitrage multiple que 20 l'empilement soit disposé de manière à être tourné du côté de la lame de gaz intercalaire. Dans une structure feuilletée, le substrat porteur de l'empilement peut être en contact avec la feuille de polymère. Lorsque le vitrage est monolithique ou multiple du type double-vitrage ou vitrage feuilleté, au moins le substrat porteur de l'empilement peut être en 25 verre bombé ou trempé, ce substrat pouvant être bombé ou trempé avant ou après le dépôt de l'empilement. L'invention concerne également le procédé de fabrication des substrats selon l'invention, qui consiste à déposer l'empilement de couches minces sur son substrat par une technique sous vide du type pulvérisation cathodique 30 éventuellement assistée par champ magnétique. -11- Il n'est toutefois pas exclu que la première (ou les premières) couche(s) de l'empilement puisse(nt) être déposée(s) par une autre technique, par exemple par une technique de décomposition thermique de type pyrolyse. The glazing according to the invention can have a laminated structure, combining in particular at least two rigid substrates of the glass type with at least one sheet of thermoplastic polymer, in order to present a structure of the glass / stack of thin layers / sheet (s) / type. glass. The polymer may in particular be based on polyvinylbutyral PVB, ethylene vinyl acetate EVA, polyethylene terephthalate PET, polyvinyl chloride PVC. The glazing may also have a so-called asymmetric laminated glazing structure, associating a rigid substrate of the glass type with at least one sheet of polyurethane-type polymer with energy-absorbing properties, optionally combined with another layer of polymers. with self-healing properties. For more details on this type of glazing, it is possible to refer in particular to patents EP-0 132 198, EP-0 131 523, EP-0 389 354. The glazing can then have a structure of the glass / stack type. thin films / sheet (s) of polymer. The glazing according to the invention is suitable for undergoing a heat treatment without damage to the stack of thin layers. They are therefore possibly convex and / or hardened. The glazing can be curved and / or toughened by being made up of a single substrate, that provided with the stack. It is then a so-called monolithic glazing. In the case where they are curved, in particular with a view to constituting glazing for vehicles, the stack of thin layers is preferably located on an at least partially non-planar face. The glazing can also be a multiple glazing, in particular a double glazing, at least the substrate carrying the stack being able to be curved and / or toughened. It is preferable in a multiple glazing configuration that the stack is arranged so as to face the side of the interlayer gas knife. In a laminated structure, the substrate carrying the stack may be in contact with the polymer sheet. When the glazing is monolithic or multiple of the double glazing or laminated glazing type, at least the substrate carrying the stack may be of curved or tempered glass, this substrate possibly being curved or tempered before or after the deposition of the stack. . The invention also relates to the process for manufacturing the substrates according to the invention, which consists in depositing the stack of thin layers on its substrate by a vacuum technique of the cathode sputtering type, optionally assisted by a magnetic field. -11- It is however not excluded that the first (or the first) layer (s) of the stack may (s) be deposited by another technique, for example by a thermal decomposition technique of the type pyrolysis.

L'invention concerne en outre un procédé de fabrication d'un substrat verrier muni sur une face principale d'un empilement de couches minces, notamment du substrat selon l'invention, l'empilement comportant une couche fonctionnelle métallique à propriétés de réflexion dans l'infrarouge et/ou dans le rayonnement solaire, notamment à base d'argent ou d'alliage métallique contenant de l'argent, et deux revêtements antireflet, lesdits revêtements comportant chacun au moins une couche diélectrique à base de nitrure de silicium, ladite couche fonctionnelle étant disposée entre les deux revêtements antireflet, la couche fonctionnelle etant déposée directement sur un revêtement de sous-blocage disposé entre la couche fonctionnelle et le revêtement antireflet sous-jacent et la couche fonctionnelle étant déposée directement sous un revêtement de sur-blocage disposé entre la couche fonctionnelle et le revêtement antireflet sus-jacent. Ce procédé est remarquable en ce que l'empilement de couches minces est déposé sur le substrat par une technique sous vide du type pulvérisation cathodique éventuellement assistée par champ magnétique et en ce que pour que ledit substrat soit bombable et/ou trempable après le dépôt de l'empilement de couches minces, une couche fine à base de nickel est déposée dans le revêtement de sous-blocage et/ou dans le revêtement de sur-blocage à une haute pression de vide, égale ou supérieure à 2.10-3 Torr, et de préférence comprise entre 2,5.10-3 Torr et 5.10-3 Torr. En outre, la couche fonctionnelle est également de préférence, déposée à une haute pression de vide, égale ou supérieure à 2.10-3 Torr mais toutefois inférieure à 10-2 Torr, et de préférence comprise entre 2,5.10-3 Torr et 5.10-3 Torr. En effet, la (ou les) couche(s) fine(s) à base de nickel et la couche fonctionnelle sont de préférence déposées dans la même atmosphère, sous la même pression. - 12 -Cette haute pression de vide est, de préférence, comprise entre 3.10-3 Torr et 4,5.10-3 Torr, et est de préférence encore de l'ordre de 3,5.10-3 Torr. La ou chaque couche fine à base de nickel présentant, de préférence, une épaisseur e telle que 1,5 nm e 5 nm, et de préférence encore 0,8 nm e 1,8 nm. The invention further relates to a method of manufacturing a glass substrate provided on a main face with a stack of thin layers, in particular with the substrate according to the invention, the stack comprising a metallic functional layer with reflection properties in the glass. 'infrared and / or in solar radiation, in particular based on silver or a metal alloy containing silver, and two antireflection coatings, said coatings each comprising at least one dielectric layer based on silicon nitride, said layer functional layer being disposed between the two antireflection coatings, the functional layer being deposited directly on an underblocking coating disposed between the functional layer and the underlying antireflection coating and the functional layer being deposited directly under an overblocking coating disposed between the functional layer and the overlying anti-reflective coating. This process is remarkable in that the stack of thin layers is deposited on the substrate by a vacuum technique of the cathode sputtering type optionally assisted by a magnetic field and in that for said substrate to be bendable and / or hardenable after the deposition of the stack of thin layers, a thin nickel-based layer is deposited in the underblocking coating and / or in the overblocking coating at a high vacuum pressure equal to or greater than 2.10-3 Torr, and preferably between 2.5.10-3 Torr and 5.10-3 Torr. In addition, the functional layer is also preferably deposited at a high vacuum pressure, equal to or greater than 2.10-3 Torr but however less than 10-2 Torr, and preferably between 2.5.10-3 Torr and 5.10- 3 Torr. In fact, the thin layer (s) based on nickel and the functional layer are preferably deposited in the same atmosphere, under the same pressure. This high vacuum pressure is preferably between 3.10-3 Torr and 4.5.10-3 Torr, and is more preferably of the order of 3.5.10-3 Torr. The or each thin nickel-based layer preferably having a thickness e such as 1.5 nm e 5 nm, and more preferably 0.8 nm e 1.8 nm.

L'invention concerne en outre l'utilisation du substrat selon l'invention, pour réaliser un substrat qui est bombable et/ou trempable après le dépôt de l'empilement de couches minces et qui présente, de préférence, au traitement thermique une variation de transmission lumineuse dans le visible ATL 5, et de préférence ATL 4,5, voire ATL 4 et/ou une variation colorimétrique en réflexion côté empilement et/ou côté substrat : AE 6, et de préférence AE 5, voire AE 4,5. The invention further relates to the use of the substrate according to the invention, to produce a substrate which is bendable and / or hardenable after the deposition of the stack of thin layers and which preferably exhibits a variation of light transmission in the visible ATL 5, and preferably ATL 4.5, or even ATL 4 and / or a colorimetric variation in reflection on the stack side and / or on the substrate side: AE 6, and preferably AE 5, or even AE 4.5.

Les détails et caractéristiques avantageuses de l'invention ressortent des exemples non limitatifs suivants, illustrés à l'aide des figures ci-jointes : La figure 1 illustre un empilement monocouche fonctionnelle selon l'invention, la couche fonctionnelle étant pourvue d'un revêtement de sous-blocage et d'un revêtement de sur-blocage et l'empilement étant en outre pourvu d'un revêtement de protection optionnel ; La figure 2 illustre un tableau récapitulatif des caractéristiques optiques et thermiques essentielles des exemples réalisés et les variations de ces caractéristiques après traitement thermique, ainsi que les caractéristiques mécaniques et chimiques de ces exemples ; et La figure 3 illustre un tableau récapitulatif des caractéristiques optiques et thermiques essentielles des exemples réalisés après montage en unité de double vitrage et les variations de ces caractéristiques après traitement thermique puis montage en unité de double vitrage de structure identique.30 - 13 - Dans la figure illustrant des empilements de couches, les proportions entre les épaisseurs des différents matériaux ne sont pas rigoureusement respectées afin de faciliter leur lecture. Par ailleurs, dans tous les exemples ci-après l'empilement de couches minces est déposé sur un substrat 10 en verre sodo-calcique d'une épaisseur de 4 mm. En outre, pour ces exemple, dans tous les cas où un traitement thermique a été appliqué au substrat, il s'agissait d'un recuit pendant environ 5 minutes à une température d'environ 660 °C suivi d'un refroidissement à l'air ambiant (environ 20 °C), afin de simuler un traitement thermique de bombage ou de trempe. Ainsi, pour chacun des exemples, lorsqu'une caractéristique a été mesurée avant ce traitement thermique elle est classée dans la colonne : BHT et lorsqu'elle a été mesurée après ce traitement thermique elle est classée dans la colonne : AHT. La variation de cette caractéristique au traitement thermique est alors indiquée par la lettre A Une série d'essai a été réalisée. Trois exemples, numérotés 1 à 3, ont d'abord été réalisés sur la base de la structure d'empilement monocouche fonctionnelle illustrée figure 1 dans laquelle la couche fonctionnelle 40 est pourvue d'un revêtement de sous-blocage 30 et d'un revêtement de sur-blocage 50 respectivement immédiatement sous et immédiatement sur la couche fonctionnelle 40. Dans cet empilement par ailleurs, un revêtement antireflet 20 inférieur est déposé immédiatement sous le revêtement de sous-blocage 30 et au contact du substrat 10 et un revêtement antireflet 60 supérieur est déposé immédiatement sur le revêtement de sur-blocage 50. Sur la figure 1 on constate que le revêtement antireflet 20 inférieur comporte une couche antireflet unique 24 et que le revêtement antireflet 60 supérieur comporte une couche antireflet unique 64, mais que le revêtement antireflet 60 peut être surmonté d'un revêtement de protection optionnelle 70 comportant une couche fine, en particulier d'oxyde. - 14 - Le tableau 1 ci-après illustre les épaisseurs physiques (et non pas les épaisseurs optiques) en nanomètres de chacune des couches des exemples 1 à 3: Couche Matériau Ex. 1 Ex. 2 Ex. 3 70 TiOX 2 2 2 64 Si3N4 45 45 45 50 NiCr 1,5 1,5 2,8 40 Ag 7 7 8, 5 30 NiCr 1,5 3,5 4,2 24 Si3N4 37 37 37 Tableau 1 L'installation de dépôt utilisée pour réaliser ces essais comprend quatre chambres de pulvérisation munies de cathodes et équipées de cibles en matériaux appropriés sous lesquels le substrat 11 passe successivement. Ces conditions de dépôt pour chacune des chambres sont les suivantes : -Chambre 1 : la couche 24 à base de Si3N4 est déposées par pulvérisation réactive à l'aide d'une cible en silicium dopée au à l'aluminium, sous une pression de 2,5 mTorr dans une atmosphère composée à 40 % d'argon et à 60 d'azote, - Chambre 2 : la couche en NiCr du revêtement de blocage sous-jacent 30 et la couche en NiCr du revêtement de blocage sous-jacent 50 sont déposées chacune à l'aide d'une cible en alliage de NiCr et la couche 40 à base d'argent est déposée à l'aide d'une cible en argent, la pression de dépôt à l'intérieur de cette chambre N° 2 étant de 3,5 mTorr et l'atmosphère étant d'argon pur, - Chambre 3 : comme en chambre 1, la couche 64 à base de Si3N4 est déposée par pulvérisation réactive à l'aide d'une cible en silicium dopée au à l'aluminium, sous une pression de 2,5 mTorr dans une atmosphère composée à 40 % d'argon et à 60 % d'azote, -Chambre 4 : la couche de protection 70 en TiOX est déposée à l'aide d'une cible céramique dans une atmosphère à 90 % d'argon et 10 % d'oxygène. - 15 - La stoechiométrie finale de la couche n'est pas connue exactement car cette couche subi une oxydation supplémentaire une fois que le substrat revêtu est sorti de la machine de dépôt et est soumis à l'air libre et a fortiori lors de l'éventuel traitement thermique. The details and advantageous characteristics of the invention emerge from the following non-limiting examples, illustrated with the aid of the attached figures: FIG. 1 illustrates a functional monolayer stack according to the invention, the functional layer being provided with a coating of underlocking and an overlocking coating and the stack further being provided with an optional protective coating; FIG. 2 illustrates a summary table of the essential optical and thermal characteristics of the examples produced and the variations of these characteristics after heat treatment, as well as the mechanical and chemical characteristics of these examples; and FIG. 3 illustrates a summary table of the essential optical and thermal characteristics of the examples produced after installation in a double glazing unit and the variations of these characteristics after heat treatment then installation in a double glazing unit of identical structure. 30 - 13 - In the figure illustrating stacks of layers, the proportions between the thicknesses of the different materials are not strictly observed in order to facilitate their reading. Moreover, in all the examples below, the stack of thin layers is deposited on a substrate 10 made of soda-lime glass with a thickness of 4 mm. Further, for these examples, in all cases where heat treatment was applied to the substrate, it was annealing for about 5 minutes at a temperature of about 660 ° C followed by cooling down. ambient air (around 20 ° C), in order to simulate a bending or quenching heat treatment. Thus, for each of the examples, when a characteristic was measured before this heat treatment it is classified in the column: BHT and when it was measured after this heat treatment it is classified in the column: AHT. The variation of this characteristic during heat treatment is then indicated by the letter A. A series of tests were carried out. Three examples, numbered 1 to 3, were first made on the basis of the functional single-layer stacking structure illustrated in Figure 1 in which the functional layer 40 is provided with an underblock coating 30 and a coating. 50 respectively immediately below and immediately on the functional layer 40. In this stack, moreover, a lower antireflection coating 20 is deposited immediately under the subblock coating 30 and in contact with the substrate 10 and an upper antireflection coating 60 is deposited immediately on the over-blocking coating 50. In Figure 1 it can be seen that the lower anti-reflective coating 20 has a single anti-reflective layer 24 and the upper anti-reflective coating 60 has a single anti-reflective layer 64, but the anti-reflective coating 60 may be topped with an optional protective coating 70 comprising a thin layer, in particular of oxide. - 14 - Table 1 below illustrates the physical thicknesses (and not the optical thicknesses) in nanometers of each of the layers of Examples 1 to 3: Layer Material Ex. 1 Ex. 2 Ex. 3 70 TiOX 2 2 2 64 Si3N4 45 45 45 50 NiCr 1.5 1.5 2.8 40 Ag 7 7 8, 5 30 NiCr 1.5 3.5 4.2 24 Si3N4 37 37 37 Table 1 The deposition facility used to perform these tests comprises four sputtering chambers fitted with cathodes and fitted with targets made of suitable materials under which the substrate 11 passes successively. These deposition conditions for each of the chambers are as follows: Chamber 1: the layer 24 based on Si3N4 is deposited by reactive sputtering using a silicon target doped with aluminum, under a pressure of 2 , 5 mTorr in an atmosphere composed of 40% argon and 60% nitrogen, - Chamber 2: the NiCr layer of the underlying blocking coating 30 and the NiCr layer of the underlying blocking coating 50 are each deposited using a NiCr alloy target and the silver-based layer 40 is deposited using a silver target, the deposition pressure inside this chamber No. 2 being 3.5 mTorr and the atmosphere being pure argon, - Chamber 3: as in chamber 1, the layer 64 based on Si3N4 is deposited by reactive sputtering using a silicon target doped with aluminum, under a pressure of 2.5 mTorr in an atmosphere composed of 40% argon and 60% nitrogen, - Chamber 4: the protective layer 70 in TiOX is deposited at the using a ceramic target in an atmosphere of 90% argon and 10% oxygen. - 15 - The final stoichiometry of the layer is not known exactly because this layer undergoes additional oxidation once the coated substrate has left the deposition machine and is subjected to the open air and a fortiori during the coating. possible heat treatment.

Les densités de puissance et les vitesses de défilement du substrat 10 sont ajustées de manière connue pour obtenir les épaisseurs de couches voulues. Il est à noter que chaque couche en NiCr est déposée sous forme métallique à partir d'une cible métallique contenant 80% atomique de Ni et 20 % atomique de Cr, dans une atmosphère neutre, et que chaque couche se trouve dans un état partiellement oxydée dans l'empilement après que celui-ci ait subi l'éventuel traitement thermique. The power densities and the running speeds of the substrate 10 are adjusted in a known manner to obtain the desired layer thicknesses. It should be noted that each NiCr layer is deposited in metallic form from a metallic target containing 80 atomic% of Ni and 20 atomic% of Cr, in a neutral atmosphere, and that each layer is in a partially oxidized state. in the stack after it has undergone the possible heat treatment.

Les caractéristiques optiques, mécaniques et chimiques des substrats de ces exemples sont reportées dans le tableau 2 de la figure 2 et les caractéristiques optiques de ces substrats montés en double vitrage sont reportées dans le tableau 3 de la figure 3. La structure de l'unité de double vitrage ( DGU ) est dite 6-15-6 , c'est-à-dire que le vitrage est constitué d'un substrat selon l'invention d'épaisseur 6 mm associé avec un autre substrat clair non revêtu d'une épaisseur de 6 mm, ces substrats étant séparés par un espace intercalaire d'une épaisseur de 15mm constituée à 90 % d'argon, la face du substrat selon l'invention étant tournée vers l'espace intercalaire. Dans ce tableau, les caractéristiques optiques présentées consistent en : TLV;S, transmission lumineuse TL dans le visible en %, mesurées selon l'illuminant D65, A TLV;S, variation au traitement thermique de la transmission lumineuse TL dans le visible, couleurs en transmission LT*, aT*et bT* dans le système LAB mesurées selon l'illuminant D65, -16- AET, variation au traitement thermique de couleur en réflexion côté couches = (AaT*2 + ObT*z + OLT*z) rz RLVÎSC, réflexion lumineuse RL dans le visible en %, mesurée côté couches, selon l'illuminant D65, couleurs en réflexion LRC*, aRc* et bRc* dans le système LAB mesurées selon l'illuminant D65, côté couches, AERC, variation au traitement thermique de couleur en réflexion côté couches = (AaRC*2 + AbRC*2 + OLRC*2)Y2 RLV;SS, réflexion lumineuse RL dans le visible en %, mesurée côté substrat (côté opposé à l'empilement de couches, selon l'illuminant D65, couleurs en réflexion LRS*, aRs* et bRs* dans le système LAB mesurées selon l'illuminant D65, côté couches, AERS, variation au traitement thermique de couleur en réflexion côté substrat = (AaRS*2 + AbRS*2 + OLRS*2)Y2 FS, facteur solaire, calculé selon la norme EN 410. The optical, mechanical and chemical characteristics of the substrates of these examples are reported in Table 2 of Figure 2 and the optical characteristics of these substrates mounted in double glazing are reported in Table 3 of Figure 3. The structure of the unit of double glazing (DGU) is called 6-15-6, that is to say that the glazing consists of a substrate according to the invention of 6 mm thickness associated with another clear substrate not coated with a thickness of 6 mm, these substrates being separated by an intermediate space with a thickness of 15 mm consisting of 90% argon, the face of the substrate according to the invention being turned towards the intermediate space. In this table, the optical characteristics presented consist of: TLV; S, light transmission TL in the visible in%, measured according to the illuminant D65, A TLV; S, variation in heat treatment of the light transmission TL in the visible, colors in transmission LT *, aT * and bT * in the LAB system measured according to illuminant D65, -16- AET, variation in color heat treatment in reflection on the layer side = (AaT * 2 + ObT * z + OLT * z) rz RLVÎSC, light reflection RL in the visible in%, measured side layers, according to illuminant D65, colors in reflection LRC *, aRc * and bRc * in the LAB system measured according to illuminant D65, layer side, AERC, variation to color heat treatment in reflection on the layer side = (AaRC * 2 + AbRC * 2 + OLRC * 2) Y2 RLV; SS, light reflection RL in the visible in%, measured on the substrate side (side opposite to the stack of layers, according to illuminant D65, reflective colors LRS *, aRs * and bRs * in the LAB system measured according to illuminant D65, layer side, AERS, variation in color heat treatment in reflection on substrate side = (AaRS * 2 + AbRS * 2 + OLRS * 2) Y2 FS, solar factor, calculated according to standard EN 410.

Les essais ont subi un certain nombre de tests mécaniques et chimiques dont la réalisation est détaillée ci-après : - EBT = Test Erichsen à la Brosse : il s'agit de frotter l'empilement à l'aide d'une brosse à poil en matériau polymère, l'empilement étant recouvert d'eau ; l'échantillon a satisfait au test si aucune marque n'est visible à l'oeil nu et il porte la mention OK . EST = Test Erichsen à la Pointe : il s'agit de reporter la valeur de la force nécessaire, en Newton, pour réaliser une rayure dans l'empilement lors de la réalisation du test (pointe de Van Laar, bille d'acier) ; ici, deux tests ont été réalisés, soit à 1 N, soit à 10 N ; Taber 500g 100t : il s'agit de reporter la quantité d'empilement restant en % de surface restante après un test Taber opéré après avoir appliqué un rouleau abrasif de 500 g pendant 100 tours ; -17- HCL = test à l'acide chlorhydrique : il s'agit de plonger un échantillon de 5x10 cm pendant 8 minutes dans une solution de HCl (concentration= 0,01M/L) portée à 36°C (sans agitation). L'échantillon est ensuite rincé à l'eau déionisée, séché, puis observé à l'oeil et au microscope optique et ses propriétés optiques en réflexion dans le visible côté couches sont mesurées à l'aide d'un spectrophotomètre et comparées à celles mesurées avant test. Si les observations à l'oeil et au microscope ne révèlent pas de défauts et que la variation optique AE(RL,;Sc) lors du test est inférieure à 2, alors on considère que l'échantillon résiste à ce test et il porte la mention OK . HH = Test à haute humidité : il s'agit de placer un échantillon de 10x10cm pendant 5 jours dans une enceinte climatique à atmosphère contrôlée (100 % d'humidité et 40 °C). Les observations (oeil, microscope) et la mesure des propriétés optiques après test renseignent de la même manière que pour le test HCl sur la résistance ou non de l'échantillon au test HH et la notation s'opère de la même manière. The tests underwent a certain number of mechanical and chemical tests, the performance of which is detailed below: - EBT = Erichsen brush test: this involves rubbing the stack using a bristle brush. polymeric material, the stack being covered with water; the sample has passed the test if no mark is visible to the naked eye and is marked OK. EST = Erichsen test at the Point: this involves reporting the value of the force necessary, in Newton, to produce a scratch in the stack during the performance of the test (Van Laar point, steel ball); here, two tests were carried out, either at 1 N or at 10 N; Taber 500g 100t: this involves transferring the amount of stacking remaining in% of surface area remaining after a Taber test operated after having applied an abrasive roller of 500 g for 100 revolutions; -17- HCL = hydrochloric acid test: this involves immersing a 5x10 cm sample for 8 minutes in an HCl solution (concentration = 0.01M / L) brought to 36 ° C (without stirring). The sample is then rinsed with deionized water, dried, then observed with the eye and with an optical microscope and its optical properties in reflection in the visible side of the layers are measured using a spectrophotometer and compared to those measured. before test. If the observations with the eye and under the microscope do not reveal any defects and the optical variation AE (RL,; Sc) during the test is less than 2, then the sample is considered to resist this test and it carries the mention OK. HH = High humidity test: this involves placing a 10x10cm sample for 5 days in a climatic chamber with a controlled atmosphere (100% humidity and 40 ° C). The observations (eye, microscope) and the measurement of the optical properties after test provide information in the same way as for the HCl test on the resistance or not of the sample to the HH test and the scoring is carried out in the same way.

Les empilements des exemples 1 à 3 sont des empilements trempables au sens de l'invention puisque pour chaque exemple la variation de transmission lumineuse dans le visible ATLV;S des substrats est inférieure 5 et même égale ou inférieure à 2, la variation de couleur en réflexion côté couches AERC des substrats est inférieure ou égale à 6 et la variation de couleur en réflexion côté substrat AERS est inférieure ou égale à 3. Il est donc difficile de distinguer des substrats selon l'un des exemples 1 à 3 ayant subi un traitement thermique des substrats respectivement de ce même exemple n'ayant pas subi de traitement thermique, lorsqu'ils sont disposés côte à côte. - 18 - L'analyse du tableau 2 de la figure 2 montre que la transmission lumineuse dans le visible des exemples 1 à 3 n'est certes pas très élevée, mais elle est toutefois suffisante pour les applications visées. The stacks of Examples 1 to 3 are hardenable stacks within the meaning of the invention since for each example the variation in light transmission in the visible ATLV; S of the substrates is less than 5 and even equal to or less than 2, the variation in color in reflection on the AERC layer side of the substrates is less than or equal to 6 and the color variation in reflection on the AERS substrate side is less than or equal to 3. It is therefore difficult to distinguish the substrates according to one of Examples 1 to 3 having undergone a treatment. thermal substrates respectively of this same example not having undergone heat treatment, when they are placed side by side. The analysis of Table 2 of FIG. 2 shows that the light transmission in the visible range of Examples 1 to 3 is certainly not very high, but it is nevertheless sufficient for the targeted applications.

Il a été constaté que la résistance mécanique, tant au test Taber qu'aux tests EBT et EST des exemples 1 à 3 est très bonne. La résistance aux tests chimiques HCl et HH de ces exemples est également très bonne. It was found that the mechanical strength, both in the Taber test and in the EBT and EST tests of Examples 1 to 3 is very good. The resistance to HCl and HH chemical tests of these examples is also very good.

La résistance mécanique de l'empilement selon l'invention peut encore être améliorée si une couche de protection 70 est prévue. The mechanical strength of the stack according to the invention can be further improved if a protective layer 70 is provided.

Un exemple supplémentaire numéroté 1' a été réalisé. L'empilement de cet exemple est identique à celui de l'exemple 1 sauf en ce que la couche fine à base de nickel du revêtement de sur-blocage 50 n'est pas en NiCr mais en NiTi. Comme pour l'exemple 1, elle est déposée sous forme métallique à partir d'une cible métallique contenant 80% atomique de Ni, dans une atmosphère neutre, mais à la différence de l'exemple 1, la cible contient 20 % atomique de Ti. Comme pour l'exemple 1, la couche se trouve à un état partiellement oxydé dans l'empilement après que celui-ci ait subi un traitement thermique. Avant traitement thermique, la transmission lumineuse dans le visible de l'exemple supplémentaire est légèrement plus faible que celle de l'exemple 1, mais la variation de couleur en transmission exprimée par AET de l'exemple supplémentaire est plus faible que dans le cas de l'exemple 1. Il est donc encore plus difficile de distinguer des substrats de l'exemple supplémentaire ayant subi un traitement thermique des substrats de l'exemple supplémentaire n'ayant pas subi de traitement thermique lorsqu'ils sont disposés côte à côte. - 19 -Par ailleurs, la tenue mécanique générale de cet empilement de l'exemple supplémentaire est globalement aussi bonne que celle de l'exemple 1 voire même légèrement meilleure en ce qui concerne le test EST. Ceci est d'autant plus étonnant qu'il est connu que pour les revêtements de blocage monocouches (la couche étant à un ou plusieurs constituants) les couches métalliques en Ti engendrent, pour l'essentiel, des problèmes de tenue mécanique de l'empilement, notamment après traitement thermique ; des rayures peuvent se produire en particulier lors du transport entre le lieu où est opéré le dépôt de l'empilement sur le substrat et le lieu est opéré l'intégration de ce substrat dans un vitrage, notamment un vitrage multiple (double vitrage, vitrage feuilleté, ...). Par ailleurs, la tenue chimique générale de cet empilement de l'exemple supplémentaire est globalement aussi bonne que celle de l'exemple 1. An additional example numbered 1 'has been produced. The stack of this example is identical to that of example 1 except in that the thin nickel-based layer of the overblocking coating 50 is not made of NiCr but of NiTi. As for example 1, it is deposited in metallic form from a metallic target containing 80 atomic% of Ni, in a neutral atmosphere, but unlike example 1, the target contains 20 atomic% of Ti . As in Example 1, the layer is in a partially oxidized state in the stack after the latter has undergone a heat treatment. Before heat treatment, the light transmission in the visible range of the additional example is slightly lower than that of example 1, but the color variation in transmission expressed by AET of the additional example is lower than in the case of Example 1. It is therefore even more difficult to distinguish substrates of the additional example which have undergone heat treatment from the substrates of the additional example which have not undergone heat treatment when they are placed side by side. Furthermore, the general mechanical strength of this stack of the additional example is overall as good as that of example 1 or even slightly better with regard to the EST test. This is all the more astonishing since it is known that for monolayer blocking coatings (the layer having one or more constituents) the metallic layers in Ti generate, for the most part, problems of mechanical strength of the stack. , in particular after heat treatment; scratches may occur in particular during transport between the place where the deposition of the stack on the substrate is operated and the place where the integration of this substrate into a glazing, in particular multiple glazing (double glazing, laminated glazing) is carried out , ...). Furthermore, the general chemical resistance of this stack of the additional example is overall as good as that of example 1.

La présente invention est décrite dans ce qui précède à titre d'exemple. Il est entendu que l'homme du métier est à même de réaliser différentes variantes de l'invention sans pour autant sortir du cadre du brevet tel que défini par les revendications. The present invention is described in the above by way of example. It is understood that a person skilled in the art is able to produce different variants of the invention without, however, departing from the scope of the patent as defined by the claims.

Claims (19)

REVENDICATIONS 1. Substrat (10) verrier muni sur une face principale d'un empilement de couches minces comportant une couche fonctionnelle (40) métallique à propriétés de réflexion dans l'infrarouge et/ou dans le rayonnement solaire, notamment à base d'argent ou d'alliage métallique contenant de l'argent, et deux revêtements antireflet (20, 60), lesdits revêtements comportant chacun au moins une couche diélectrique (24, 64) à base de nitrure de silicium, ladite couche fonctionnelle (40) étant disposée entre les deux revêtements antireflet (20, 60), la couche fonctionnelle (40) étant déposée directement sur un revêtement de sous-blocage (30) disposé entre la couche fonctionnelle (40) et le revêtement antireflet (20) sous-jacent et la couche fonctionnelle (40) étant déposée directement sous un revêtement de sur-blocage (50) disposé entre la couche fonctionnelle (40) et le revêtement antireflet (60) sus-jacent, caractérisé en ce que pour que ledit substrat soit bombable et/ou trempable après le dépôt de l'empilement de couches minces, l'empilement comporte une couche fine à base de nickel dans le revêtement de sous-blocage (30) et/ou dans le revêtement de sur-blocage (50), ladite couche fine à base de nickel étant déposée à une haute pression de vide, égale ou supérieure à 1. Glass substrate (10) provided on a main face with a stack of thin layers comprising a functional metal layer (40) with reflection properties in the infrared and / or in solar radiation, in particular based on silver or of a metal alloy containing silver, and two anti-reflective coatings (20, 60), said coatings each comprising at least one dielectric layer (24, 64) based on silicon nitride, said functional layer (40) being disposed between the two anti-reflective coatings (20, 60), the functional layer (40) being deposited directly on an underblocking coating (30) disposed between the functional layer (40) and the underlying anti-reflective coating (20) and the layer functional (40) being deposited directly under an overblocking coating (50) disposed between the functional layer (40) and the overlying anti-reflective coating (60), characterized in that for said substrate to be bendable and / or hardenable after filing the stack of thin layers, the stack comprises a thin nickel-based layer in the underblocking coating (30) and / or in the overblocking coating (50), said thin nickel-based layer being deposited at a high vacuum pressure equal to or greater than 2.10-3 Torr, et de préférence comprise entre 2,5.10'3 Torr et 5.10-3 Torr. 2. Substrat (10) selon la revendication précédente, caractérisé en ce que la ou chaque couche fine à base de nickel présentant une épaisseur e telle que 1,5nmse5nm. 2.10-3 Torr, and preferably between 2.5.10'3 Torr and 5.10-3 Torr. 2. Substrate (10) according to the preceding claim, characterized in that the or each thin nickel-based layer having a thickness e such as 1.5nmse5nm. 3. Substrat (10) selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que te revêtement de sous-blocage (30) et te revêtement de sur-blocage (50) comportent chacun une couche fine à base de nickel présentant des épaisseurs identiques ou quasi-identiques. 3. Substrate (10) according to claim 1 or 2, characterized in that the sub-blocking coating (30) and the over-blocking coating (50) each comprise a thin nickel-based layer having identical thicknesses or almost identical. 4. Substrat (10) selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la couche fine à base de nickel du- 21 - revêtement de sous-blocage (30) et/ou la couche fine à base de nickel du revêtement de sur-blocage (50) est directement au contact de la couche fonctionnelle (40). 4. Substrate (10) according to any one of the preceding claims, characterized in that the thin nickel-based layer of the subblock coating (30) and / or the thin nickel-based layer of the coating. over-blocking (50) is directly in contact with the functional layer (40). 5. Substrat (10) selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que ta couche fonctionnelle (40) a été déposée à une haute pression de vide, égale ou supérieure à 2.103 Torr, et de préférence comprise entre 2,5.10 3 Torr et 5.103 Torr. 5. Substrate (10) according to any one of the preceding claims, characterized in that your functional layer (40) has been deposited at a high vacuum pressure, equal to or greater than 2.103 Torr, and preferably between 2.5.10 3 Torr and 5.103 Torr. 6. Substrat (10) selon la revendication 5, caractérisé en ce que ladite haute pression de vide est comprise entre 3.10-3 Torr et 4,5.10-3 Torr et est de préférence de l'ordre de 3,5.10-3 Torr. 6. Substrate (10) according to claim 5, characterized in that said high vacuum pressure is between 3.10-3 Torr and 4.5.10-3 Torr and is preferably of the order of 3.5.10-3 Torr. 7. Substrat (10) selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que au moins une couche fine à base de nickel, et notamment celle du revêtement de sur-blocage (50), comprend du chrome, de préférence dans des quantités atomiques de 80 % de Ni et 20 % de Cr. 7. Substrate (10) according to any one of the preceding claims, characterized in that at least one thin nickel-based layer, and in particular that of the over-blocking coating (50), comprises chromium, preferably in atomic amounts of 80% Ni and 20% Cr. 8. Substrat (10) selon ta revendication précédente, caractérisé en ce qu'au moins une couche fine à base de nickel, et notamment celle du revêtement de sur-blocage, est constituée d'un alliage de NiCr présent sous forme métallique si le substrat muni de l'empilement de couches minces n'a pas subi de traitement thermique de bombage et/ou trempe après le dépôt de l'empilement, ledit alliage étant au moins partiellement oxydé si le substrat muni de l'empilement de couches minces a subi au moins un traitement thermique de bombage et/ou trempe après le dépôt de l'empilement. 8. Substrate (10) according to the preceding claim, characterized in that at least one thin nickel-based layer, and in particular that of the over-blocking coating, consists of an NiCr alloy present in metallic form if the substrate provided with the stack of thin layers has not undergone heat treatment of bending and / or quenching after the deposition of the stack, said alloy being at least partially oxidized if the substrate provided with the stack of thin layers has undergone at least one heat treatment of bending and / or quenching after deposition of the stack. 9. Substrat (10) selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que au moins une couche fine à base de nickel, et notamment celle du revêtement de sur-blocage (50), comprend du titane, de préférence dans des quantités atomiques de 80 % de Ni et 20 % de Ti. 9. Substrate (10) according to any one of claims 1 to 6, characterized in that at least one thin nickel-based layer, and in particular that of the over-blocking coating (50), comprises titanium, preferably in atomic amounts of 80% Ni and 20% Ti. 10. Substrat (10) selon la revendication précédente, caractérisé en ce 30 qu'au moins une couche fine à base de nickel, et notamment celle du- 22 -revêtement de sur-blocage, est constituée d'un alliage de NiTi présent sous forme métallique si le substrat muni de l'empilement de couches minces n'a pas subi de traitement thermique de bombage et/ou trempe après le dépôt de l'empilement, ledit alliage étant au moins partiellement oxydé si le substrat muni de l'empilement de couches minces a subi au moins un traitement thermique de bombage et/ou trempe après le dépôt de l'empilement. 10. Substrate (10) according to the preceding claim, characterized in that at least one thin nickel-based layer, and in particular that of the over-blocking coating, consists of an NiTi alloy present under metallic form if the substrate provided with the stack of thin layers has not undergone heat treatment of bending and / or quenching after the deposition of the stack, said alloy being at least partially oxidized if the substrate provided with the stack of thin layers has undergone at least one heat treatment of bending and / or quenching after the deposition of the stack. 11. Substrat (10) selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comporte une dernière couche, une couche de protection (70) ta plus éloignée du substrat, à base d'oxyde, déposée de préférence sous stoechiométrique, et notamment à base de TiOX. 11. Substrate (10) according to any one of the preceding claims, characterized in that it comprises a last layer, a protective layer (70) ta farthest from the substrate, based on oxide, preferably deposited under stoichiometric , and in particular based on TiOX. 12. Vitrage incorporant au moins un substrat (10) selon l'une quelconque des revendications précédentes, éventuellement associé à au moins un autre substrat. 12. Glazing incorporating at least one substrate (10) according to any one of the preceding claims, optionally associated with at least one other substrate. 13. Vitrage selon la revendication précédente monté en monolithique ou en vitrage multiple du type double-vitrage ou vitrage feuilleté, caractérisé en ce qu'au moins le substrat porteur de l'empilement est bombé et/ou trempé. 13. Glazing according to the preceding claim mounted in monolithic or in multiple glazing of the double-glazing or laminated glazing type, characterized in that at least the substrate carrying the stack is curved and / or tempered. 14. Procédé de fabrication d'un substrat (10) verrier muni sur une face principale d'un empilement de couches minces, notamment du substrat selon l'une quelconque des revendications 1 à 10, l'empilement comportant une couche fonctionnelle (40) métallique à propriétés de réflexion dans l'infrarouge et/ou dans le rayonnement solaire, notamment à base d'argent ou d'alliage métallique contenant de l'argent, et deux revêtements antireflet (20, 60), lesdits revêtements comportant chacun au moins une couche diélectrique (24, 64) à base de nitrure de silicium, ladite couche fonctionnelle (40) étant disposée entre les deux revêtements antireflet (20, 60), la couche fonctionnelle (40) étant déposée directement sur un revêtement de sous-blocage (30) disposé entre la couche fonctionnelle (40) et le revêtement antireflet (20) sous-jacent et la couche fonctionnelle (40)- 23 - étant déposée directement sous un revêtement de sur-blocage (50) disposé entre la couche fonctionnelle (40) et le revêtement antireflet (60) sus-jacent, caractérisé en ce que l'empilement de couches minces est déposé sur le substrat par une technique sous vide du type pulvérisation cathodique éventuellement assistée par champ magnétique et en ce que pour que ledit substrat soit bombable et/ou trempable après te dépôt de l'empilement de couches minces, une couche fine à base de nickel est déposée dans le revêtement de sous-blocage (30) et/ou dans le revêtement de sur-blocage (50) à une haute pression de vide, égale ou supérieure à 2.10"3 Torr, et de préférence comprise entre 2, 5.10-3 Torr et 5.103 Torr. 14. A method of manufacturing a glass substrate (10) provided on a main face with a stack of thin layers, in particular the substrate according to any one of claims 1 to 10, the stack comprising a functional layer (40). metallic with reflective properties in the infrared and / or in solar radiation, in particular based on silver or a metallic alloy containing silver, and two anti-reflective coatings (20, 60), said coatings each comprising at least a dielectric layer (24, 64) based on silicon nitride, said functional layer (40) being disposed between the two anti-reflective coatings (20, 60), the functional layer (40) being deposited directly on an underblocking coating (30) disposed between the functional layer (40) and the underlying antireflection coating (20) and the functional layer (40) - 23 - being deposited directly under an over-blocking coating (50) disposed between the functional layer ( 40) and coating overlying antireflection (60), characterized in that the stack of thin layers is deposited on the substrate by a vacuum technique of the sputtering type optionally assisted by a magnetic field and in that for said substrate to be bent and / or hardenable after the deposition of the stack of thin layers, a thin nickel-based layer is deposited in the underblocking coating (30) and / or in the overblocking coating (50) at high vacuum pressure , equal to or greater than 2.10 "3 Torr, and preferably between 2, 5.10-3 Torr and 5.103 Torr. 15. Procédé selon la revendication précédente, caractérisé en ce que la couche fonctionnelle (40) est déposée à une haute pression de vide, égale ou supérieure à 2.10-3 Torr, et de préférence comprise entre 2,5.10-3 Torr et 5.10-3 Torr. 15. Method according to the preceding claim, characterized in that the functional layer (40) is deposited at a high vacuum pressure, equal to or greater than 2.10-3 Torr, and preferably between 2.5.10-3 Torr and 5.10- 3 Torr. 16. Procédé selon la revendication précédente, caractérisé en ce que la couche fonctionnelle (40) est déposée à la même haute pression de vide que le revêtement de sous-blocage (30) et le revêtement de sur-blocage (50). 16. Method according to the preceding claim, characterized in that the functional layer (40) is deposited at the same high vacuum pressure as the underblocking coating (30) and the overblocking coating (50). 17. Procédé selon l'une quelconque des revendications 14 à 16, caractérisé en ce que ladite haute pression de vide est comprise entre 3.10-3 20 Torr et 4,5.103 Torr et est de préférence de l'ordre de 3,5.10- 3 Torr. 17. Method according to any one of claims 14 to 16, characterized in that said high vacuum pressure is between 3.10-3 20 Torr and 4.5.103 Torr and is preferably of the order of 3.5.10-3. Torr. 18. Procédé selon l'une quelconque des revendications 17 ou 18, caractérisé en ce que la ou chaque couche fine à base de nickel présente une épaisseur e telle que 1,5 nm e 5 nm. 18. A method according to any one of claims 17 or 18, characterized in that the or each thin nickel-based layer has a thickness e such as 1.5 nm e 5 nm. 19. Utilisation du substrat selon l'une quelconque des revendications 1 25 à 11, pour réaliser un substrat qui est bombable et/ou trempable après le dépôt de l'empilement de couches minces et qui présente, de préférence, au traitement thermique une variation de transmission lumineuse dans te visible ATL 5 et/ou une variation calorimétrique en réflexion AE 6. 19. Use of the substrate according to any one of claims 1 to 11, for producing a substrate which is bendable and / or hardenable after the deposition of the stack of thin layers and which preferably exhibits a variation on heat treatment. of light transmission in the visible ATL 5 and / or a calorimetric variation in reflection AE 6.
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