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DE69015301T2 - Verpackungs- und Handhabungssystem für Folien. - Google Patents

Verpackungs- und Handhabungssystem für Folien.

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DE69015301T2
DE69015301T2 DE69015301T DE69015301T DE69015301T2 DE 69015301 T2 DE69015301 T2 DE 69015301T2 DE 69015301 T DE69015301 T DE 69015301T DE 69015301 T DE69015301 T DE 69015301T DE 69015301 T2 DE69015301 T2 DE 69015301T2
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holder
packaging
protective
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David Alan Beldyk
Cramer Chesterfield Hegeman
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Micro Lithography Inc
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EI Du Pont de Nemours and Co
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Publication date
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Description

    Hintergrund der Erfindung Gebiet der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung betrifft das Gebiet der Verpakkungs- und Handhabungssysteme für den Transport, die Lagerung und das Handhaben von Schutzfenstern, die während der Herstellung von integrierten Schaltkreisen zum Abdecken von Mustermasken verwendet werden.
    • Beschreibung des Standes der Technik
  • Integrierte Schaltungen werden üblicherweise in Prozessen hergestellt, die Nustermasken-Bilderzeugung verwenden. Wenn diese Prozesse das Projektionsbelichten der Mustermaskenbilder beinhalten, wird ultraviolettes Licht durch die Öffnungen der Mustermaske gestrahlt und auf eine Resistschicht, die auf einem Wafer-Substrat aufgebracht ist, fokussiert. Das Licht bildet ein Muster in der Resistschicht, das der Mustermaske entspricht, und die Resistschicht wird anschließend entwickelt, um Teile des Substrats zur Bildung einer Fotoresistmaske zu belichten. Da das Bild der Mustermaske auf der Fotoresistfläche scharf fokussiert wird, werden jegliche verunreinigenden Partikel auf der Oberfläche der Mustermaske ebenfalls scharf auf der Oberfläche der Fotoresistschicht fokussiert, wodurch ein unerwünschtes Abbilden der verunreinigende Partikel enthaltenden Bilder auf der Fotoresistschicht bewirkt wird. Das Abbilden von verunreinigende Partikel enthaltenden Bildern auf der Fotoresistschicht macht die Fotoresistmaske oftmals unbrauchbar, was zu erheblichen wirtschaftlichen Verlusten führt.
  • Um die Gefahr einer Partikelverunreinigung von Mustermasken zu verringern, werden im allgemeinen Schutzfenster zum Abdecken der Maske verwendet. Mustermaskenfenster weisen eine transparente Fensterfolie auf, die sich in einem Fensterrahmen erstreckt, und sind über den jeweiligen Mustermasken mittels einer Fensterbefestigungsvorrichtung angebracht. Der Fensterrahmen hält die Fensterfolie von der Mustermaske in einem Abstand entfernt, der ausreicht, die Bilder von kontaminierenden Partikeln, die sich auf der Außenfläche des Schutzfensters befinden, außerhalb des Brennpunkts zu halten, so daß die Bilder der kontaminierenden Partikel nicht mit dem Schaltungsmuster auf der lichtempfindlichen Fotoresistschicht abgebildet werden.
  • Zwar verhindert ein Schutzfenster das Abbilden von auf der Außenfläche des Schutzfensters befindlichen kontaminierenden Partikeln, jedoch werden kontaminierende Partikel auf der Innenseite des Schutzfensters, die auf die Mustermaske fallen, mit dem Muster gedruckt und können die sich ergebende Fotoresistmaske unbrauchbar machen. Obwohl die Schutzfenster im wesentlichen partikelfrei hergestellt werden können, kann das anschließende Verpacken, Transportieren, Lagern und Handhaben zur Partikelverunreinigung der Innenseite des Schutzfensters führen.
  • Ein Verfahren zum Verhindern der Partikelverunreinigung der Innenseite eines Schutzfensters während des Verpackens, Transportierens und Lagerns besteht im Abdichten des Schutzfensters entlang des unteren Randes des Fensterrahmens durch eine komplementär geformte Gegendichtungsbahn, die kurz vor dem Anbringen des Schutzfensters über der Mustermaske abgezogen wird.
  • Die Schutzfenster werden üblicherweise mit Handschuhen aus ihrer Verpackung genommen und es besteht das Risiko, daß die Innenseite des Schutzfensters während des Entfernens der Gegendichtungsbahn und vor dem Anbringen des Schutzfensters über der Mustermaske durch Partikel verunreinigt wird. Ferner sind die Schutzfenster umständlich mit der Hand zu halten. Es besteht daher die Gefahr, daß das Schutzfenster während der Handhabung vor dem Befestigen herabfällt und das Schutzfenster dabei kontaminiert oder gar beschädigt wird.
  • Es besteht somit weiterhin ein Bedürfnis nach verbesserten Systemen zum Verpacken und Handhaben von Schutzfenstern.
    • Zusammenfassung der Erfindung
  • Das erfindungsgemäße Schutzfenster-Verpackungs- und Handhabungssystem weist ein Mustermasken-Schutzfenster mit einem sich in einem umgebenden Fensterrahmen erstreckenden transparenten Fensterfilm auf. Es ist ein Fensterhalter mit einer Einrichtung zum lösbaren Anbringen des Fensterrahmens zur Bildung einer Halter-/Fensteranordnung vorgesehen, wobei der Fensterhalter ferner eine Einrichtung aufweist, mit der die Halter-/Fensteranordnung gegriffen und gehandhabt und das Fenster von dem Halter gelöst werden kann. Es sind ein Gehäuse, das wahlweise geöffnet werden kann, zum Aufnehmen der Halter-/Fensteranordnung und eine Einrichtung zum lösbaren Halten der Halter-/Fensteranordnung in einer fixierten Position in dem Gehäuse vorgesehen.
    • Kurzbeschreibung der Zeichnungen
  • Fig. 1 ist eine perspektivische, teilweise explodierte Darstellung eines Schutzfenster-Verpackungs- und Handhabungs- Systems nach einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung mit einem zum Freigeben zusammenzudrückenden Fensterhalter.
  • Fig. 2 ist eine Seitenansicht einer erfindungsgemäßen Halter-/Schutzfensteranordnung mit einem zum Freigeben zusammenzudrückenden Federdraht-Fensterhalter.
  • Fig. 3 ist eine Seitenansicht eines anderen Ausführungsbeispiels der Halter-/Schutzfensteranordnung mit einem zum Freigeben zusammenzudrückenden Fensterhalter.
  • Fig. 4A ist eine perspektivische Darstellung eines Schutzfenster-Verpackungs- und Handhabungssystems mit einem zum Lösen zusammenzudrückenden Fensterhalter und einer klappbaren offenen Schutzfensterverpackung.
  • Fig. 4B ist eine Querschnittsdarstellung von Einzelheiten der Fensterträgereinrichtung des Systems von Fig. 4A.
  • Fig. 5 ist eine Draufsicht auf ein weiteres Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Schutzfenster-Verpackungs- und Handhabungssystems mit einem zum Eingreifen zusammenzudrükkenden Fensterhalter.
  • Fig. 6 ist eine perspektivische, teilweise explodierte und weggebrochene Darstellung des Schutzfenster-Verpackungs- und Handhabungssystems nach Fig. 5.
  • Fig. 7 ist eine perspektivische, teilweise explodierte Darstellung eines weiteren Ausführungsbeispiels der erfindungsgemäßen Schutzfenster-Verpackungs- und Handhabungssystems mit einem zum Freigeben abzuziehenden Fensterhalter.
  • Fig. 7A ist eine Querschnittsdarstellung von Einzelheiten der Fensterverpackungseinrichtung des Systems von Fig. 7.
  • Fig. 8 ist eine perspektivische Darstellung der erfindungsgemäßen Halter-/Fensteranordnung mit dem zum Freigeben abzuziehenden Fensterhalter von Fig. 7.
  • Fig. 8A ist eine Querschnittsdarstellung der Halter-/Fensteranordnung von Fig. 8 entlang der Linie 101-101'.
    • Detaillierte Beschreibung der bevorzugten Ausführungsbeispiele
  • Wie in Fig. 1 dargestellt, weist ein Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Schutzfenster-Verpackungs- und Handhabungssystems ein Mustermaskenschutzfenster 10 auf, das in einer Fensterverpackung oder -box aufgenommen ist, die aus einem Deckelteil 12 der Box und einem Bodenteil 14 der Box gebildet ist.
  • Das Schutzfenster 10 weist einen Fensterfilm 18 auf, der sich in einem umgebenden Fensterrahmen 20 erstreckt. Der Fensterrahmen 20 besteht aus einem beliebigen ausreichend festen Material, beispielsweise maschinell bearbeitetes Metall (z.B. Aluminium), und entspricht üblicherweise in Form und Größe der Mustermaske, mit der er verwendet wird. Der Fensterrahmen kann beispielsweise kreisförmig oder winklig (z. B. rechteckig) sein, ein bzw. mehrere abgestumpfte Enden und/oder eine oder mehrere abgestumpfte Ecken haben. Die transparente Fensterfolie 18 ist üblicherweise mittels Kleber am oberen Rand 22 des Fensterrahmens befestigt.
  • Die transparente Fensterfolie kann aus jedem geeigneten Material bestehen und sollte eine derartige Dicke haben, daß sie den optischen Weg des ultravioletten Bilderstellungslichts nicht nachteilig beeinflußt. Geeignete Fensterfolienmaterialien sind unter anderem Polymere wie Polyoxyethylenterephthalat, Nitrozellulose und Parylen. Für solche Fensterfolienmaterialien sind Filmdicken zwischen ungefähr 0,2 und 10 Mikrometer geeignet. Gegebenenfalls können Antireflexbeschichtungen auf die Folie aufgebracht werden, um optische Verzerrungen zu verringern.
  • Der umgebende Fensterrahmen 20 weist einen den unteren Teil des Fensterrahmens umlaufenden Dichtrand 24 auf. Da der Dichtrand des Fensterrahmens zum Abdecken der Mustermaske mit der Fensterfolie über die Mustermaske gelegt werden soll, liegt der Dichtrand 24 des Fensterrahmens in einer Ebene, die parallel zur Fensterfolie verläuft und von der Fensterfolie derart ausreichend beabstandet ist, um die Bilder irgendwelcher Partikel auf der Außenfläche der Fensterfolie 18 während des Drucks außerhalb des Brennpunkts zu halten. Im Gebrauch positioniert der Dichtrand 24 des Fensterrahmens die transparente Folie im allgemeinen in einem Abstand von ungefähr 1 bis ungefähr 15 mm von der Mustermaske, wodurch Partikel auf der Außenfläche des transparenten Films 18 außerhalb des Brennpunkts gehalten werden.
  • Es ist ein Box-Bodenteil 14 mit einer Kontaktfläche 26 vorgesehen, die abziehbar an dem Dichtrand 24 haftend um den Boden des Fensterrahmens 20 herum vorgesehen ist. Die Kontaktfläche 26 des Box-Bodenteils 14 befindet sich auf einer erhöhten Stufenfläche 27, deren Zweck im folgenden beschrieben werden wird.
  • Zum abziehbaren Verbinden der Kontaktfläche 26 des Box-Bodenteils 14 mit dem Dichtrand 24 des Fensterrahmens 20 sind verschiedene Mittel geeignet. Bei dem Ausführungsbeispiel nach Fig. 1 ist der Dichtrand des Fensterrahmens durch die Unterselite eines elastischen Schaumstoffdichtungsträgers 28 gebildet, dessen Oberseite an einem starren Rahmenelement 30 des Fensterrahmens 20 angebracht ist. Geeignete Klebematerialien für elastische Schaumstoffdichtungen sind unter anderem 3M Nr. 4962 und Norwood Nr. 8031. Auf den unteren Dichtrandbereich der Dichtung 28 aufgebrachtes druckempfindliches Klebematerial wird abziehbar haftend auf das Box- Bodenteil 14 aufgebracht, wodurch die Innenseite 16 des Schutzfensters hermetisch abgedichtet ist. Geeignete druckempfindliche Kleber sind unter anderem Gelva Multipolymerharze (z. B. Nr. 1151 und 3010), hergestellt von Monsanto.
  • Außer einer elastischen Dichtung 28 mit Kleber existieren noch andere Mittel zum abziehbaren Befestigen des Fensterrahmens an der Kontaktfläche des Box-Bodenteils. Andere geeignete Mittel sind doppelseitig klebendes Band zwischen dem Fensterrahmen 20 und der Kontaktfläche 26 des Box-Bodens 14, oder eine Klebebahn 29 über die gesamte Oberseite 31 der erhöhten Stufe 27, mit der der Dichtrand des Fensterrahmens haftend verbunden wird. Ein Vorteil des Vorsehens eines Klebemittels über die gesamte Oberseite 31 der erhöhten Stufe 27 ist, daß Partikel auf der Innenseite des Schutzfensters 10 von der frei liegenden Klebefläche eingefangen und zurückgehalten werden können, wenn solche Partikel in Berührung mit der Klebefläche gelangen. Geeignete Kleber zum Bedecken der gesamten Oberseite der erhöhten Stufe 27 behal ten ihre strukturelle Integrität während der Lebensdauer der Verpackung bei, so daß der Kleber selbst keine verunreinigenden Partikel bildet.
  • Das das Schutzfenster 10 tragende Box-Bodenteil 14 erstreckt sich nach außen über die erhöhte Stufe 27 hinaus, um einen Umfangsflansch 35 um die erhöhte Stufe herum zu bilden. Bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel besteht das Box-Bodenteil 14 aus einer einstückigen flexiblen Bahn, die durch jedes geeignete Verfahren hergestellt werden kann, einschließlich Extrudieren, Spritzgießen, Blasformen, Vakuumformen, maschinelles Bearbeiten und dergleichen.
  • Das erfindungsgemäße Schutzfenster-Verpackungs- und Handhabungssystem weist einen Fensterhalter 50 auf, der mit einer Einrichtung zum lösbaren Greifen des Fensterrahmens versehen ist. um so eine Halter-/Schutzfensteranordnung 52 zu bilden. bei dem in Fig. 1 dargestellten Ausführungsbeispiel weist die Einrichtung zum lösbaren Greifen des Fensterrahmens mehrere sich einwärts erstreckende Ansätze 54 auf, die in eine komplementäre Rastausnehmung eingreifen, beispielsweise in eine um den Außenumfang des Fensterrahmens 20 verlaufende Nut. Bei dem in Fig. 1 dargestellten Ausführungsbeispiel erstreckt sich die Umfangsnut 56 um den gesamten Fensterrahmen 20. Von zwei einander gegenüberliegenden Armen 64, die sich symmetrisch wenigstens teilweise um den Fensterrahmen 20 erstrecken, erstrecken sich die Ansätze 54 nach innen. Anstelle von Ansätzen kann der Fensterrahmen Zapfen aufweisen, die nach Art von Zapfenloch und Zapfen in entsprechende Halteausnehmungen im Fensterrahmen passen.
  • Der Fensterhalter 50 weist eine Einrichtung zum Greifen und Handhaben der Halter-/Fensteranordnung 52 und zum Freigeben des Schutzfensters 10 aus dem Halter 50 auf. Bei dem Ausführungsbeispiel nach Fig. 1 besteht diese Einrichtung aus einer Fingergriffeinrichtung 58 zum Greifen der Halter-/Fensteranordnung. Wenn die Fingergriffeinrichtung 58 ergriffen wird, kann das Box-Bodenteil 14 von dem Dichtrand 24 um den Boden des Fensterrahmens 20 abgezogen werden und die Halter- Fensteranordnung kann nach dem Lösen von dem Box-Bodenteil 14 leicht gehandhabt werden. Gegebenenfalls kann das Schutzfenster 10 leicht von dem Halter 50 gelöst werden, indem die Fingergriffeinrichtung 58 zusammengedrückt wird. Bei dem in Fig. 1 dargestellten Ausführungsbeispiel bietet die Fläche der erhöhten Stufe 27 des Box-Bodenteils 14 ausreichend Platz für das Einführen der Finger eines Benutzers in die Fingergriffeinrichtung 58, um so die Kontrolle über den Fensterhalter 50 zu erlangen.
  • Der in Fig. 1 dargestellte Fensterhalter, der zum Freigeben zusammenzudrücken ist, ist einstückig aus einem elastischen Material gebildet, das eine Federwirkung aufbringt, um die Ansätze 54 nach innen in die Rillen 56 des Fensterrahmens 20 vorzuspannen, so daß das Schutzfenster sicher in dem Fensterhalter gehalten ist, bis die Fingergriffeinrichtung 58 zum Freigeben des Schutzfensters zusammengedrückt wird.
  • Der Fensterhalter 50 weist einen Spalt 60 auf, der nicht nur das zum Freigeben des Schutzfensters 10 erforderliche Bewegen der Fingergriffeinrichtungen 58 aufeinander zu ermöglicht, sondern ferner an einem komplementären Anschlag 62 angreift, der sich vom Box-Bodenteil 14 über die erhöhte Stufe 27 hinaus nach oben erstreckt, um so ein Drehen des Fensterhalters zu verhindern, bis die Halter-/Fensteranordnung von dem Benutzer aus der Verpackung entnommen wird.
  • Die Einrichtung zum Greifen und Handhaben der Halter-/Fensteranordnung und zum Freigeben des Schutzfensters aus dem Halter muß nicht notwendigerweise eine Fingergriffeinrichtung sein, sondern sie kann eine Einrichtung sein, die von einer mechanischen Vorrichtung zum Anordnen des Fensterhalters auf der Fenstermontiervorrichtung gegriffen wird, oder sie kann gar eine Einrichtung sein, die von der Fenstermontiervorrichtung selbst zum Entfernen der Halter-/Fensteranordnung aus der Verpackung, zum Anbringen des Schutzfensters über der Mustermaske und zum anschließenden Freigeben des Schutzfensters aus dem Halter ergreifbar ist.
  • Das Box-Deckelteil 12 bildet zusammen mit dem Box-Bodenteil 14 ein Gehäuse, das die Halter-/Fensteranordnung 52 aufnimmt. Das Box-Deckelteil 12 weist einen Körperbereich 34 zum Abdecken des Schutzfensters 10 und ein sich nach unten erstreckendes Halter-Sitzringteil auf, das im geschlossenen Zustand der Box gegen die Arme 64 des Fensterhalters drückt.
  • Bei dem Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 1 weist das Box-Dekkelteil 12 ferner einen Dichtbereich 36 auf, der sich auf der Unterseite einer sich nach aüßen erstreckenden Lippe 38 um den Umfang des Fensterkörperbereichs 34 erstreckt.
  • Der umlaufende Dichtbereich 36 der Lippe 38 ist lösbar haftend mit dem Umfangsflansch 35 der Verpackungsbodenplatte 14 verbunden, um das Schutzfenster 10 zu umschließen und hermetisch abgedichtet zwischen der Fensterabdeckung 12 und der Verpackungsbodenplatte 14 aufzunehmen.
  • Die Fensterabdeckung ist durch beliebige geeignete Mittel, beispielsweise die in Verbindung mit dem Verkleben des Dichtrandes des Fensterrahmens und der Verpackungsbodenplatte erwähnten Mittel, lösbar haftend mit dem Umfangsflansch der Verpackungsbodenplatte verbunden. Diese Mittel schließen feste Kleber, die auf die Berührungsbereiche des Dichtbereichs 36 aufgebracht sind, doppelseitiges Klebeband und dergleichen ein.
  • Eine Vielzahl verschiedener Materialien ist für das Box- Deckelteil und das Box-Bodenteil des Fensterhalters geeignet. Das jeweilige Material oder die jeweiligen Materialien, die zur Bildung dieser Verpackungs- und Handhabungskomponenten verwendet werden, sind von den Materialkosten und den verschiedenartigen Vor- und Nachteilen der inhärenten Eigenschaften und Charakteristiken der Materialien abhängig. Die für die Verpackungs- und Handhabungskomponenten verwendeten Materialien müssen im allgemeinen nicht-partikelbildend und reinigbar sein. Daher sind Kunststoffe mit hohem Kohlenstoffgehalt unter dem Gesichtspunkt der Bildung von Partikeln üblicherweise nicht geeignet, obwohl sie statische Ladungen gut ableiten. Nach der Herstellung werden die Verpackungs- und Handhabungskomponenten vor dem Zusammensetzen gereinigt. Üblicherweise werden die Verpackungs- und Handhabungskomponenten in wäßrigen Lösungen, Alkohol, Freon oder anderen Lösungsmitteln gereinigt, und das Verpackungsmaterial muß in der Lage sein, gegen das verwendet Reinigungs- Lösungsmittel beständig zu sein.
  • Geeignete Materialien für die Verpackungs- und Handhabungskomponenten sind im Falle des Box-Deckelteils und des Box- Bodenteils ausreichend fest, um das Schutzfenster vor Stößen und anderen Widrigkeiten beim Transport und der Lagerung zu schützen, und sie sind im Falle des Fensterhalters ausreichend flexibel, um ein sinnvolles Greifen und Kontrollieren des Schutzfensters zu ermöglichen. Vorzugsweise werden die Naterialien bei niedrigen Temperaturen nicht spröde. Vorteilhafterweise sind die Verpackungs- und Handhabungsmaterialien von geringem Gewicht, um die Transportkosten zu verringern. Die geeignete Dicke der Verpackungs- und Handhabungskomponenten liegt üblicherweise im Bereich von 0,5 - 3 mm.
  • Die Schutzfenster-Verpackungs- und Handhabungsmaterialien sollten keine nennenswerten Feuchtigkeitsmengen aus der Umgebungsluft absorbieren, da dies die Schutzfenster beschädigen könnte. Ferner sollte das Verpackungs- und Handhabungsmaterial die Fähigkeit haben, elektrische Ladung abzuleiten. Metall ist zum Ableiten elektrischer Ladung ideal, ist jedoch für das Box-Deckelteil und das Box-Bodenteil aufgrund des Gewichts, der Korrosion, der Kosten und dergleichen ungeeignet. Andere mögliche Materialien sind kohlenstoffhaltige Kunststoffe mit geringer Partikelerzeugung, metallisierte Kunststoffe und Kunststoffe mit Anti-Statikbeschichtungen oder -additiven. Wenn Anti-Statikbeschichtungen oder -additive verwendet werden, sollten diese in der Lage sein, im Reinigungsvorgang beständig zu sein und keiner Entgasung zu unterliegen. Entgasungen können das Schutzfenster beschädigen und zu Verfärbungen und erhöhter Undurchsichtigkeit der transparenten Verpackung führen. Obwohl Verfärbungen und erhöhte Undurchsichtigkeit an sich im allgemeinen keine funktionalen Probleme darstellen, zeigen sie jedoch oftmals ein Entgasungsproblem an.
  • Beispiele für Materialien, die zum Bilden der Schutzfenster- Verpackungs- und Handhabungskomponenten geeignet sind, sind in der folgenden Tabelle 1 aufgeführt: TABELLE 1 MATERIAL WASSER-ABSORP. (%) FLEX.-MOD. (10&sup5; PSI) FLEX.-FEST. (KPSI) STOSSFEST. (FT-LB/IN) Polyethylenterephthalat (PET) Hoch schlagfestes Polystyrol Polycarbonat Acryl
  • Die in Fig. 2 dargestellte Halter-/Fensteranordnung weist einen aus Federdraht bestehenden zum Freigeben zusammenzudrückenden Fensterhalter 50a auf. Der Federdraht-Fensterhalter 50a weist Ansätze 54a auf, die in eine V-förmige Rille in dem Fensterrahmen 20a des Schutzfensters 10a passen.
  • Fig. 3 zeigt eine Halter-/Fensteranordnung mit einem zum Freigeben zusammenzudrückenden Fensterhalter 50b, der ein rechtwinkliges Schutzfenster 10a hält. Der Fensterhalter 50b weist Ansätze 54b auf, die in Eckrillen 56b im Fensterrahmen 20b passen.
  • Die Fign. 4A und 4B zeigen ein anderes Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen klappbaren Gehäuses zum Aufnehmen einer Halter-/Fensteranordnung. Das Verpackungssystem weist ein über ein Scharnier 68 mit einem Box-Bodenteil 14a verbundenes Box-Deckelteil 12a auf. Durch die Verriegelungseinrichtungen 70a und 70b kann das Gehäuse wahlweise geöffnet und geschlossen werden.
  • Der zum Freigeben zusammenzudrückende Fensterhalter 50c, der das Schutzfenster 10c hält, liegt auf vier ersten Auflageteilen 72, die sich vom Box-Boden 14a aufwärts erstrecken. Jedes der ersten Auflageteile 72 weist mittig angeordnete sich nach oben erstreckende Stifte 74 auf, die sich in entsprechende Öffnungen des Fensterhalters 50c erstrecken. Wenn die Fensterbox geschlossen ist, ist der Fensterhalter 50c zwischen den ersten Auflageteilen 72 und entsprechenden zweiten Auflageteilen 76 gehalten, die sich von Deckel 12a der Box nach unten erstrecken, wobei sich die Stifte 74 in den entsprechenden Öffnungen des Fensterhalters 50c befinden. Bei diesem Ausführungsbeispiel stützt und hält die Fensterbox den Fensterhalter 50c und der Halter 50c stützt und hält das Schutzfenster 10c ohne Berührung zwischen dem Schutzfenster 10c und der Fensterbox.
  • Die Fign. 5 und 6 zeigen ein Schutzfenster-Verpackungs- und Handhabungssystem nach einem weiteren Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung. Nach diesem Ausführungsbeispiel ist ein zum Eingreifen zusammenzudrückender Fensterhalter 50d vorgesehen. Die Fingergriffeinrichtung 58' befindet sich am Ende der Arme 64', die sich beinahe vollständig um den Fensterrahmen 20d des Schutzfensters 10d erstrecken. Wie bei den vorhergehenden Ausführungsbeispielen greifen Ansätze 54d in einen um den Außenumfang des Fensterrahmens 20d umlaufenden Spalt ein. Bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel liegt der Fensterhalter 50d auf drei ersten Auflageteilen 72' auf, von denen sich Stifte aufwärts in entsprechende Öffnungen des Fensterhalters 50d erstrecken. Der Fensterhalter ist zwischen den Auflageteilen 72' und den zweiten Auflageteilen 78', die sich vom Box-Deckelteil 12b nach unten erstrecken, gehalten.
  • Die Fign. 7-8A zeigen ein weiteres Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Schutzfenster-Verpackungs- und Handhabungssystems. Dieses Ausführungsbeispiel weist einen Fensterhalter 50e mit einer Kontaktrippe 160, die abziehbar mit dem Dichtrand 24e auf der Unterseite des Fensterrahmens 20e verklebt ist.
  • Der Fensterhalter 50e sollte flexibel genug sein, um von dem Dichtrand 24a abgezogen werden zu können, jedoch sollte er starr genug sein, um das Schutzfenster 10e während des Begutachtens der Fensterfolie 18a und während des Bewegens der Halter-/Fensteranordnung 52a vom und auf den Box-Boden 14c zu stützen, ohne daß das Schutzfenster 10e berührt wird. Geeignete Materialien für den Fensterhalter 50e sind nichtentgasende und nicht-partikelbildende Materialien, damit eine Verunreinigung der Fensterfolie 18a vermieden wird. Bevorzugte Materialien sind Polyethylen, Teflon , Polycarbonat und Polystyrol mit einer Dicke von ungefähr 0,05 bis ungefähr 0,1 Inch, vorzugsweise ungefähr 0,07 bis ungefähr 0,09 Inch. Das gewünschte Material liegt üblicherweise als flexible Bahn mit der gewünschten Dicke vor. Der Fensterhalter 50e mit den Fingergriffen 580 und der Prüföffnung 590 kann auf zahlreiche verschiedene Arten aus den flexiblen Bahnen hergestellt werden. Diese sind beispielsweise Stanzen, Laserschneiden, Abstanzen, maschinelles Bearbeiten, Unterdruckformen, Spritzgießen und dergleichen.
  • Die Kontaktrippe 160 des Halters 50e ist abziehbar mit dem Dichtrand 24a des Fensterrahmens 20e verklebt. Die taktile Festigkeit des Klebers 28a auf dem Dichtrand 24a gegenüber der Kontaktrippe 160 und jeglichem Lösemittel auf diesem sollte ungefähr 5 bis ungefähr 80 Ounces pro Inch betragen. Unter ungefähr 5 Ounces pro Inch haftet der Dichtrand nicht an der Kontaktrippe. Über ungefähr 80 Ounces pro Inch kann die Kontaktrippe nicht von dem Dichtrand abgezogen werden. Wenn auf der Kontaktrippe ein Lösemittel erforderlich ist, kann jedes nicht-entgasende, keine Partikel erzeugende Lösungsmittel verwendet werden. Ein bevorzugtes Lösemittel ist Silikon.
  • Zum Schutz der Innenseite des Schutzfensters 10e kann auf der Rückseite 570 des Fensterhalters 50e eine abziehbare Deckbahn 290 aufgeklebt werden. Die Deckbahn 290 sollte flexibler sein als der Halter 50e, so daß sich die Deckbahn eher biegt als der Halter und die Deckbahn ohne Verformen oder Biegen des Halters abgezogen werden kann. darüber hinaus sollte das Material der Deckbahn fest genug sein, um von dem Halter in einem Stück abziehbar zu sein, so daß eine Verunreinigung der Innenseite des Schutzfensters 10e vermieden wird. Für die Deckbahn geeignete Materialien sind unter anderem Polyester, Polystyrol, Polyethylen, Polyvinylchlorid und Polycarbonat. Eine Bahn mit einer Dicke von ungefähr 1-10 Milli-Inch wird bevorzugt, wobei eine Dicke von ungefähr 7-7,5 Milli-Inch besonders bevorzugt wird.
  • Zum abziehbaren Verkleben der Deckbahn 290 mit der Rückseite 570 des Fensterhalters 50e sind zahlreiche verschiedene Mittel verfügbar. Zum Beispiel kann ein nicht-entgasender, keine Partikel bildender Kleber mit einer taktilen Festigkeit von ungefähr 5 bis ungefähr 80 Unzen Haftkraft pro Inch verwendet werden. Bevorzugte Kleber sind Norwood Nr. 8031 und Mactac 2100. Der Kleber kann entweder auf die Oberfläche der Deckbahn 290 oder die Rückseite 570 des Fensterhalters 50e aufgebracht werden. Wenn Kleber auf die Oberfläche der Deckbahn 290 aufgebracht wird, kann er vorteilhafterweise über die gesamte Fläche der Deckbahn aufgebracht werden. Auf diese Weise werden auf der Innenseite des Schutzfensters 10e eingeschlossene Partikel eingefangen und von der freiliegenden Kleberfläche festgehalten, wenn diese Partikel in Berührung mit der Kleberfläche gelangen.
  • Für die Fläche, entweder die Deckbahnfläche oder die Halterrückseite, kann ein Lösemittel erwünscht sein, das keinen Kleber aufweist. Jedes nicht-entgasende, keine Partikel bildende Lösemittel, wie beispielsweise Silikon, kann verwendet werden.
  • Das in den Fign. 7 und 7A dargestellte Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Schutzfenster-Verpackungs- und Handhabungssystems weist eine Schutzfensterverpackung oder-box auf, die aus einem Box-Deckelteil 12c und einem Box-Bodenteil 14c besteht. Diese Schutzfensterverpackung oder-box nimmt die Fenster-/Halteranordnung 52a auf, wobei das Schutzfenster 10e positionsfest gehalten ist. Das Box-Bodenteil 14c weist eine Ausnehmung 270 auf, die mit der Fenster- /Halteranordnung 52a zusammenwirkt, um das Schutzfenster 10e fest in einer Position zu halten. Die Ausnehmung 270 ist derart ausgebildet, daß ein minimaler Kontakt zwischen dem Fensterrahmen 20e und dem Box-Bodenteil besteht, wie in Fig. 7A dargestellt. Ein minimaler Kontakt zwischen dem Box-Boden und dem Fensterrahmen kann durch Verwendung von Kontaktpunkten 620 an den Wänden der Ausnehmung erreicht werden. Da das Schutzfenster zuerst in die Ausnehmungsfolie eingesetzt wird, gelangen der Fensterrahmen und die Kontaktpunkte in Anlage, wodurch das Schutzfenster daran gehindert wird, weiter in die Ausnehmung zu gelangen. Darüber hinaus halten die Kontaktpunkte das Schutzfenster in einer festen Position in der Ausnehmung, indem sie am Kontaktpunkt tangentiale Kräfte auf den Fensterrahmen aufbringen. Bei einem runden Fensterrahmen erfordert der minimale Kontakt wenigstens drei Kontaktpunkte an den Ausnehmungswänden. Bei einem quadratischen oder rechteckigen Fensterrahmen erfordert der minimale Kontakt wenigstens vier Kontaktpunkte.
  • Das Box-Bodenteil 14c weist ferner Greifausnehmungen 280 auf, die den Fingergriffteilen 590 im Halter 50e entsprechen. Die Greifausnehmungen und Fingergriffteile sollten ausreichend Raum bieten, so daß der Fensterhalter, mit dem ablösbar daran haftenden Schutzfenster, lösbar gegriffen und aus dem Box-Bodenteil genommen werden kann. Die Fingergriffteile sind vorzugsweise derart an Positionen in dem Halter vorgesehen, daß beim Ergreifen, Anheben oder Bewegen der Fenster-/Halteranordnung nichts über die Fensterfolie greift. Die Fign. 7 und 8 zeigen eine mögliche Ausbildung. In den Fign. 7 und 8 sind L-förmige Fingergriffteile 580 mit den Ecken der Kontaktrippe 160 ausgerichtet. Bei runden Fensterrahmen können die Fingergriffteile nierenförmig sein. Die Fenster-/Halteranordnung kann dann getragen werden, indem jeweils ein Finger in zwei benachbarte Fingergriffteile gesteckt werden und der Halterbereich, der sich zwischen den Griffteilen befindet, zusammengedrückt wird. Auf diese Art und Weise wird eine Verunreinigung der Fensterfolie vermieden, da die Fenster-/Halteranordnung angehoben und bewegt wird, ohne über die Folie greifen zu müssen.
  • Ein Box-Deckelteil 12c und ein Box-Bodenteil 14c bilden zusammen ein Gehäuse, das die Halter-/Fensteranordnung 52a aufnimmt. Das Box-Deckelteil 12c weist einen Körperbereich 34a zum Abdecken des Schutzfilms 10e und eine sich nach außen erstreckende Lippe 38a auf, die sich um den Umfang des Schutzfensterkörperbereichs 34a erstreckt. Vorzugsweise ist der Teil des Körperbereichs 34a, der im Endzustand über der Halter-/Fensteranordnung liegt, wie in Fig. 7A dargestellt gekrümmt.
  • Das Box-Deckelteil 12c kann an dem Box-Bodenteil 14c angelenkt sein oder nicht. Bevorzugt wird ein bewegliches Gelenk oder kein Gelenk verwendet. Wenn die Teile nicht angelenkt sind, kann auf der Lippe 38a ein umlaufender Dichtungsbereich vorgesehen sein. Dieser Dichtungsbereich kann ablösbar mit dem Umfangsflansch 35a des Box-Bodenteils 14c verklebt sein, um das Schutzfenster 10e zu umschließen und hermetisch dichtend in dem Box-Deckelteil 12c und dem Box-Bodenteil 14c aufzunehmen. Alternativ können die beiden Teile durch eine mechanische Dichtung, die aus zwei zusammenpassende Teile auf dem Box-Deckelteil und dem Box-Bodenteil gebildet sind, miteinander verbunden werden. Beispielsweise können die Seitenwände des Box-Deckels eine Erhöhung und die Seitenwände des Box-Bodens eine entsprechende Vertiefung oder Mulde aufweisen.
  • Die vorliegende Erfindung schafft einen Fensterhalter, der es dem Benutzer ermöglicht, ein Schutzfenster aus seiner Verpackung zu entnehmen, ohne den Fensterrahmen zu berühren oder Hilfsmittel zum Halten des Schutzfensters verwenden zu müssen. Der Fensterhalter weist ferner Einrichtungen zum Halten des Schutzfensters während der Prüfung auf und ist leicht greifbar, um so die Gefahr des Fallenlassens und Verunreinigens oder Beschädigens des Schutzfensters zu verringern.
  • Da zahlreiche Modifizierungen, Variationen und Veränderungen im Detail an dem beschriebenen Ausführungsbeispiel der Erfindung, die durch die Ansprüche definiert ist, vorgenommen werden Können, sei darauf hingewiesen, daß die gesamte vorhergehende Beschreibung des Ausführungsbeispiels und die Darstellung in den Zeichnungen als illustrativ und nicht beschränkend zu verstehen sind.

Claims (19)

1. Schutzfenster-Verpackungs- und Handhabungssystem mit
(a) einem Mustermasken-Schutzfenster (10) mit einem sich in einem umgebenden Fensterrahmen (20) erstreckenden transparenten Fensterfilm (18);
(b) einem Fensterhalter (50) mit einer Einrichtung zum lösbaren Anbringen des Fensterrahmens (20) zur Bildung einer Halter-/Fensteranordnung (52), wobei der Fensterhalter (50) ferner eine Einrichtung aufweist, mit der die Halter-/Fensteranordnung (52) derart gegriffen und gehandhabt werden kann, daß der Fensterfilm (18) im Durchlicht geprüft und das Fenster von dem Halter gelöst werden kann;
(c) einem Gehäuse (12, 14), das wahlweise geöffnet werden kann, zum Aufnehmen der Halter-/Fensteranordnung (52); und
(d) einer Einrichtung zum lösbaren Halten der Halter-/Fensteranordnung (52) in einer fixierten Position in dem Gehäuse.
2. Schutzfenster-Verpackungs- und Handhabungssystem nach Anspruch 1, bei dem der Fensterrahmen (20) eine Einrichtung zum komplementären Zusammengreifen des Rahmens mit dem Fensterhalter (50) aufweist.
3. Schutzfenster-Verpackungs- und Handhabungssystem nach Anspruch 2, bei dem die Einrichtung zum Verbinden des Rahmens mit dem Fensterhalter (50) eine sich entlang dem Außenrand des Fensterrahmens (20) erstreckende Rille (56) ist.
4. Schutzfenster-Verpackungs- und Handhabungssystem nach Anspruch 2, bei dem das Fenster winklig und mit Ecken ausgebildet ist, und bei dem die Einrichtung zum komplementären Verbinden des Rahmens mit dem Fensterhalter (50) Rillen (56) in den Ecken des Fensterrahmens (20) aufweist.
5. Schutzfenster-Verpackungs- und Handhabungssystem nach Anspruch 1, bei dem der Fensterhalter (50) einander gegenüberliegende schwenkbare Arme (64) aufweist, die sich zumindest teilweise um den Fensterrahmen (20) erstrecken.
6. Schutzfenster-Verpackungs- und Handhabungssystem nach Anspruch 5, bei dem die Einrichtung zum lösbaren Anbringen des Fensterrahmens (20) mehrere Ansätze (54) aufweist, die sich von den schwenkbaren Armen (64) aus nach innen erstrecken und in eine entsprechende Rille (56) im Fensterrahmen (20) eingreifen.
7. Schutzfenster-Verpackungs- und Handhabungssystem nach Anspruch 1, bei dem der Fensterhalter (50) eine Inspektionsöffnung (590) aufweist, die im wesentlichen mit dem Fensterrahmen (20) fluchtet und dessen Größe ungefähr den Innenabmessungen des Fensterhalters entspricht.
8. Schutzfenster-Verpackungs- und Handhabungssystem nach Anspruch 7, bei dem die Einrichtung zum lösbaren Anbringen des Fensterrahmens (20) ein Klebemittel zwischen den Oberflächen des Fensterrahmens (20) und dem Fensterhalter (50) aufweist.
9. Schutzfenster-Verpackungs- und Handhabungssystem nach Anspruch 1, bei dem die Einrichtung zum Greifen und Handhaben der Halter-/Fensteranordnung (52) eine Fingergriffeinrichtung (58) ist.
10. Schutzfenster-Verpackungs- und Handhabungssystem nach Anspruch 1, bei dem die Einrichtung zum Greifen und Handhaben der Halter-/Fensteranordnung (52) und zum Lösen des Femsters aus dem Halter eine Fingergriffeinrichtung (58) ist.
11. Schutzfenster-Verpackungs- und Handhabungssystem nach Anspruch 1, bei dem die Einrichtung zum Halten der Halter-/Fensteranordnung (52) in einer fixierten Position in dem Gehäuse eine Einrichtung (60, 62) zum Verhindern der Drehung des Fensterhalters (50) in dem Gehäuse aufweist.
12. Schutzfenster-Verpackungs- und Handhabungssystem nach Anspruch 1, bei dem die Einrichtung zum Halten der Halter-/Fensteranordnung (52) in einer fixierten Position in dem Gehäuse einen Hohlraum (270) mit wenigstens drei an den Wänden vorgesehenen Kontaktstellen für den Fensterrahmen (20) aufweist.
13. Schutzfenster-Verpackungs- und Handhabungssystem nach Anspruch 1, bei dem die Einrichtung zum Halten der Halter-/Fensteranordnung (52) in einer fixierten Position in dem Gehäuse entsprechende Stegeinrichtungen (72, 76), zwischen denen der Fensterhalter (50) gehalten ist, und sich zwischen den Stegeinrichtungen (72, 76) durch entsprechende Öffnungen in den Fensterhaltern (50) erstreckende Stifte (74) aufweist.
14. Schutzfenster-Verpackungs- und Handhabungssystem nach Anspruch 1, bei dem der Fensterrahmen um den Bodenbereich herum einen durchgehenden Dichtrand (24) und die Bodenplatte der Verpackung eine Kontaktfläche (26) aufweist, die schälbar haftend an dem Dichtrand um den Boden des Fensterrahmens (20) angebracht ist, um das Innere des Fensters hermetisch abzudichten.
15. Schutzfenster-Verpackungs- und Handhabungssystem nach Anspruch 14, bei dem sich die Kontaktfläche auf einem erhabenen Stufenbereich (27) des Gehäuses befindet.
16. Schutzfenster-Verpackungs- und Handhabungssystem nach Anspruch 15, bei dem die Einrichtung zum Halten der Halter- /Fensteranordnung (52) in einer fixierten Position in dem Gehäuse ein Halter-Sitzteil (65) aufweist, das gegen den Fensterhalter (50) in dem Gehäuse drückt.
17. Schutzfenster-Verpackungs- und Handhabungssystem nach Anspruch 1, bei dem der Fensterhalter ein zum Eingreifen zusammenzudrückender Fensterhalter (50d) ist.
18. Schutzfenster-Verpackungs- und Handhabungssystem nach Anspruch 1, bei dem der Fensterhalter ein zum Freigeben zusarninenzudrückender Fensterhalter (50, 50a, 50b, 50c) ist.
19. Schutzfenster-Verpackungs- und Handhabungssystem nach Anspruch 1, ferner mit Klebemittel (29) innerhalb des Gehäuses zum Einfangen und Zurückhalten verunreinigender Partikel innerhalb des Gehäuses.
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