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DE3883518T2 - Verfahren zur Herstellung von Silicium-Metall hoher Reinheit und Vorrichtung dafür. - Google Patents

Verfahren zur Herstellung von Silicium-Metall hoher Reinheit und Vorrichtung dafür.

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DE3883518T2
DE3883518T2 DE88102653T DE3883518T DE3883518T2 DE 3883518 T2 DE3883518 T2 DE 3883518T2 DE 88102653 T DE88102653 T DE 88102653T DE 3883518 T DE3883518 T DE 3883518T DE 3883518 T2 DE3883518 T2 DE 3883518T2
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Masato Nippon Sheet G Ishizaki
Tetsuro Nippon Sheet Kawahara
Kunio Nippon Sheet Glas Miyata
Yasuhiko C O Kawasak Sakaguchi
Kazuhiro C O Kawasaki S Uchino
Mitsugi Nippon She Yoshiyagawa
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Nippon Sheet Glass Co Ltd
Kawasaki Steel Corp
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Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft im allgemeinen ein Verfahren zur Herstellung von reinem metallischen Silicium, welches z.B. für eine Solarzelle verwendet werden kann. Insbesondere betrifft die Erfindung ein Verfahren zur effizienten und wirtschaftlichen Herstellung eines metallischen Siliciums mit einer Reinheit von 99,999 % oder mehr.
  • Beschreibung des Standes der Technik
  • Herkömmlicherweise wird metallisches Silicium oder Ferrosilizium durch Reduktion mit Hilfe eines koks- und/oder kohleverwendenden Lichtbogenofens zur Verfügung gestellt. Während des Reduktionsverfahrens wird nicht nur metallisches Silicium, sondern auch Verunreinigungsbestandteile wie Eisen, Titan, Aluminium usw. reduziert. Aufgrund der Anwesenheit solcher Verunreinigungsbestandteile, die mit dem metallischen Silicium reduziert werden, ist die Reinheit des herzustellenden metallischen Siliciums auf ungefähr 98 % bis 99 % begrenzt.
  • In den letzten Jahren gab es eine wachsende Forderung nach metallischem Silicium mit im wesentlichen hoher Reinheit, z.B. höher als 99,999 % oder mehr. Solch ein hochreines metallisches Silicium besitzt eine Vielzahl von Anwendungen z.B. Solarzellen. Um dieser Forderung nachzukommen, wurden Verfahren entwickelt und vorgeschlagen. Solche vorgeschlagenen Verfahren verwenden gereinigte natürliche Kieselerde als Siliciumdioxidquelle. Diese gereinigte natürliche Kieselerde ist im allgemeinen pulverisiert oder granuliert und weist eine Korngröße von weniger als einige Millimeter auf. Um diese gereinigte Kieselerde zu verwenden war daher ein zusätzlicher Verfahrensschritt notwendig, um die Korngröße der Kieselerde ausreichend zu erhöhen, da solch eine Kieselerde mit geringer Korngröße nicht für dieses Reduktionsverfahren verwendet werden konnte.
  • Die japanische erste (ungeprüfte) Patentveröffentlichung (Tokkai) Showa 57-111223 schlägt z.B. ein Verfahren zur Reduktion der gereinigten natürlichen Kieselerde vor. Das in der Tokkai Showa 57-111223 vorgeschlagene Verfahren setzt einen Verfahrensschritt zur Herstellung eines Kieselerdeblockmaterials von 3 bis 12 mm im Durchmesser ein. Dies erhöht deutlich die Unwirtschaftlichkeit des Verfahrensschrittes bei der Herstellung des hochreinen Siliciums. Des weiteren tendieren die Verunreinigungen während der Herstellung des Kieselerdematerialblocks dazu, sich in dem Block anzureichern und verringern somit die Reinheit des Kieselerdematerials.
  • Eine weitere Verbesserung wurde in der ersten japanischen Patentveröffentlichung (Tokkai) Showa 58-69713 vorgeschlagen. In dem vorgeschlagenen Verfahren findet die Reaktion zwischen der Kieselerde und dem Kohlenstoff in einem Hochtemperaturplasmastrahl statt, welcher die resultierenden Produkte auf eine Kohlenstoffschicht befördert. In diesem vorgeschlagenen Verfahren wird als Ergebnis der Reaktion mit der Kohlenstoffschicht eine große Menge an Siliciumkarbid gebildet. Das gebildete Siliciumkarbid tendiert dazu, sich in der Kohlenstoffschicht anzusammeln und füllt die Zwischenräume zwischen den Kohlenstoffkörnern aus, so daß eine weitere Reaktion unterdrückt wird.
  • Ein weiterer Vorschlag wurde in der ersten (ungeprüften) europäischen Patentveröffentlichung Nr. 0208567 beschrieben. Das beschriebene Verfahren und die Vorrichtung führen die Produktion des hochreinen metallischen Siliciums dadurch aus, daß ein Strom von Oxiden des Siliciums (z.B. in einem Aerosol) einer Reaktionswärme unter der Anwesenheit einer Mischung von Oxiden des Siliciums und einem Material der Gruppe, umfassend Kohlenstoff und metallische Karbide unterworfen wird. Das durch diese Reaktion hergestellte Siliciummonoxid wird von dem, die Reaktionskammer verlassenden Abgas, gereinigt, wieder kondensiert und zurück in die Reaktionskammer geführt. Dieses ältere vorgeschlagene Verfahren erfordert das Reinigen des abgashaltigen Siliciummonoxid, um in die Reaktionskammer zurückgeführt zu werden, zur Erzielung einer ausreichend hohen Ausbeute.
  • Das in der ersten europäischen Patentveröffentlichung Nr. 0208567 beschriebene Verfahren basiert darauf, daß metallisches Silicium im allgemeinen durch die chemische Reaktion produziert wird, welche während des Produktionsverfahrens stattfindet:
  • SiO&sub2; + 2C --> Si + 2CO ... (1)
  • In der Praxis tritt während des Herstellungsverfahrens von metallischem Silicium eine Kombination von Reaktionen auf. Diese Reaktionen können wie folgt dargestellt werden:
  • SiO&sub2; + C --> SiO + CO ... (2)
  • SiO&sub2; + 3C --> SiC + 2CO ... (3)
  • 2SiO&sub2; + SiC --> 3SiO + CO ... (4)
  • SiO&sub2; + Si --> 2SiO ... (5)
  • SiO + 2C --> SiC + CO ... (6)
  • SiO + C --> Si + CO ... (7)
  • SiO + SiC --> 2 Si + CO ... (8)
  • Wird eine pulverförmige Kieselerde in einen elektrischen Ofen eingeführt, in welchem die zuvor genannte Kombination von Reaktionen auftreten, wird ein großes Volumen an Siliciummonoxid SiO durch die Reaktion gemäß Formel (2) erzeugt, da die pulverförmige Kieselerde eine bessere Reaktionsfähigkeit aufweist, als die der blockförmigen Kieselerde. Ein Teil des Siliciummonoxids tendiert dazu, mit dem Abgas aus dem Ofen weggeblasen zu werden.
  • Daher beschreibt die vorgenannte erste europäische Patentveröffentlichung Nr. 0208567 ein Verfahren umfassend das Einführen von Kieselerde durch den unteren Bereich des Ofens, um die Reaktionen gemäß Formel (2) und (4) um den Lichtbogenbereich herum auszulösen, um Siliciummonoxid zu erzeugen. Das so erzeugte Siliciummonoxid reagiert mit Kohlenstoff oder Siliciumkarbid, welches durch den oberen Bereich des Ofens eingefüllt wird, bei einer Reaktionstemperatur von ungefähr 1800ºC oder mehr, um zur Erzeugung des metallischen Siliciums und Siliciumkarbids die Reaktionen der Formeln (6) und (8) auszulösen. Es wird anerkannt werden, daß die Reaktionen der Formeln (2) und (4) Reaktionen zur Herstellung von Siliciummonoxid und Kohlenstoffmonoxid sind und daß die Reaktionen der Formeln (6) und (8) Reaktionen zur Herstellung von Kohlenstoffmonoxid unter Verbrauch des Siliciummonoxids sind. Bei der thermodynamischen Analyse fand man heraus, daß das Verhältnis des Siliciummonoxids gegenüber Kohlenstoffmonoxids bei der Reaktion gemäß der Formeln (2) und (4) in einem Bereich von 1,67 bis 2,48 im Gleichgewichtszustand vorhanden war, während das Verhältnis der Reaktion gemäß der Formeln (6) und (8) in einem Bereich von 0,45 bis 0,95 lag. Daher können bei dem Verfahren, umfassend das Wiedereinführen des Siliciummonoxids, nur ungefähr 20 bis 50 % des Siliciummonoxids für die Herstellung des metallischen Siliciums verwendet werden. Es wurde des weiteren festgestellt, daß die Verringerung des Verhältnisses des Siliciummonoxids gegenüber Kohlenstoffmonoxid bei den Reaktionen der Formeln (6) und (8) durch die Verdünnung des gasförmigen Siliciummonoxids mit Kohlenstoffmonoxidgas als Zwischenprodukt bewirkt wird.
  • Aus der vorgehenden Diskussion wird deutlich, daß das in der ersten europäischen Patentveröffentlichung Nr. 0208567 vorgeschlagene Verfahren bisher nicht befriedigend ist, von dem Gesichtspunkt der Produktionsausbeute her.
  • Zusammenfassung der Erfindung
  • Daher ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein neuartiges und hocheffizientes Verfahren zur Herstellung eines hochreinen metallischen Siliciums und eine Vorrichtung für dieses zur Verfügung zu stellen.
  • Eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Verfügung zu stellen, welche im wesentlichen ein Kieselerdematerial mit geringer Korngröße verwenden kann, ohne daß eine Einrichtung zur Reinigung des in der Reaktionskammer gebildeten Abgases erforderlich ist.
  • Um die vorgenannte und andere Aufgaben zu lösen, setzt ein Verfahren zur Produktion oder Herstellung eines hochreinen metallischen Silicium gemäß der vorliegenden Erfindung einen Prozeß zur Erzeugung von Siliciummonoxid ein, dadurch das eine Reaktion zwischen einem siliziumdioxidhaltigen Material und geschmolzenem metallischen Silicium bewirkt wird. Das so erzeugte Siliciummonoxid wird eingesaugt für die Reaktion mittels eines Reduktionsmittels, umfassend ein kohlenstoffhaltiges Material und ein siliziumhaltiges Material. Dieses Verfahren ermöglicht eine hohe Produktionsausbeute und Materialeffizienz und kann in einer einfachen und billigen Einrichtung durchgeführt werden.
  • Das erfindungsgemäße Verfahren ist in Anspruch 1 definiert. Bevorzugte Ausführungsformen sind in den Unteransprüchen angegeben.
  • Um eine ausreichend hohe Reinheit des herzustellenden metallischen Siliciums zu erzielen, wird vorzugsweise eine gereinigte natürliche Kieselerde als das siliciumdioxidhaltige Material verwendet. Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren wird die gereinigte natürliche Kieselerde als siliziumdioxidhaltiges Material in der Form eines Pulvers, Granulats oder Pellets von im wesentlichen geringer Korngröße zur Verfügung gestellt.
  • Das Reduktionsmittel besteht vorzugsweise aus einem ersten kohlenstoffhaltigen Material und einem zweiten siliciumhaltigen Material. In der Praxis umfaßt das kohlenstoffhaltige Material Kohlenstoff und/oder kohlenstoffhaltiges Material, und das siliciumhaltige Material aus Siliciumkarbid und/oder Siliciumdioxid.
  • Kurze Beschreibung der Zeichnungen
  • Die vorliegende Erfindung wird aus der nachfolgenden detailierten Beschreibung und durch die begleitenden Zeichnungen bevorzugter Ausführungsformen der Erfindung klarer, welche die Erfindung jedoch nicht auf die besonderen Ausführungsformen begrenzen, sondern nur zur Erklärung und zum Verständnis dienen.
  • Es zeigt:
  • Fig. 1 Eine Teilansicht einer Vorrichtung zur Durchführung des bevorzugten Verfahrens zur Herstellung von hochreinem metallischen Silicium, gemäß der vorliegenden Erfindung;
  • Fig. 2 (a) und 2 (b) Illustrationen, welche die Art und Weise der Einführung des Kieselerdematerials darstellen; und
  • Fig. 3 Eine Teilansicht einer anderen Vorrichtung zur Durchführung des bevorzugten erfindungsgemäßen Produktionsverfahrens für hochreines Silicium.
  • Beschreibung der bevorzugten Ausführungsformen
  • Das bevorzugte Verfahren oder der Prozeß zur Herstellung hochreinen metallischen Siliciums gemäß der vorliegenden Erfindung umfaßt einen Schritt des Einführens von Kieselerdematerials in geschmolzenes metallisches Silicium, welches in einem unteren Bereich eines Ofens angehäuft ist.
  • Wenn das Kieselerdematerial in das geschmolzene metallische Silicium eingeleitet wird, bildet sich Siliciummonoxid durch die Reaktion gemäß der vorgenannten Formel (5). Wie aus der Formel (5) deutlich wird, sollte kein Kohlenstoffmonoxid während der Reaktion des geschmolzenen metallischen Siliciums mit der Kieselerde hergestellt werden. Daher tritt die Verdünnung des so erzeugten Siliciummonoxids mit Kohlenstoffmonoxid nicht auf. Als Ergebnis können mehr als 50 % des Siliciummonoxids für die Reaktion gemäß Formel (8) verwendet werden. Daher kann die Effizienz der Verwendung von Siliciummonoxids deutlich verbessert werden.
  • Es sollte festgehalten werden, daß die Reaktion gemäß Formel (5) in einem Reaktionstemperaturbereich von 1600ºC oder mehr durchgeführt werden. Es ist insbesondere bevorzugt, die Reaktionstemperatur in einem Bereich von 1850ºC oder mehr zu halten, bei welchem der Dampfdruck des Siliciummonoxids 1 atm oder mehr beträgt. Liegt die Reaktionstemperatur jedoch bei 2300ºC oder mehr, beträgt der Dampfdruck des Siliciums 10&supmin;² atm oder mehr, so daß der Verdampfungsverlust von Silicium erhöht wird. Daher sollte die obere Grenze der Reaktionstemperatur auf ungefähr 2300ºC festgelegt werden.
  • Das erzeugte Siliciummonoxid wird durch die Reaktionen gemäß der Formel (7) und (8) zum metallischen Silicium reduziert. Die Reaktionen können in einem Reaktionstemperaturbereich von 1600ºC oder mehr stabil durchgeführt werden. Daher wird die Ofenwand und die Beschickung zur Durchführung der Reaktionen auf ungefähr den oben genannten Reaktionstemperaturbereich erwärmt. Eine externe Heizvorrichtung, wie eine hochfrequente Induktionsheizvorrichtung, kann zur Erwärmung der Ofenwand und der Beschickung verwendet werden. Es wird bevorzugt die Reaktionstemperatur auf 2000ºC oder mehr zu halten, bei welcher das Partialdruckverhältnis Siliciummonoxid gegenüber Kohlenstoffmonoxid 1,0 oder weniger in dem Gleichgewichtszustand beträgt. Liegt die Temperatur jedoch bei 2400ºC oder mehr, beträgt der Dampfdruck des Siliciumkarbids 10&supmin;³ atm oder mehr, und bewirkt die Verfestigung des verdampften Siliciumkarbids in den Bereichen niedrigerer Temperatur um den oberen Bereich des Ofens herum. Dies verringert die Gasdurchlässigkeit des Ofens. Daher wird bevorzugt die obere Grenze der Temperatur auf 2400ºC zur Erwärmung der Ofenwand und der Beschickung festzulegen.
  • Bezugnehmend auf die Zeichnungen wird das bevorzugte Verfahren und die Vorrichtung zur Herstellung hochreinen metallischen Siliciums gemäß der vorliegenden Erfindung im Detail beschrieben, um das Verständnis der Erfindung zu vereinfachen. Die bevorzugte Ausführungsform der Vorrichtung zur Herstellung hochreinen metallischen Siliciums ist in Fig. 1 dargestellt.
  • Fig. 1 zeigt eine Art von Hochofen 1, welcher als ein Körper der bevorzugten Ausführungsform der Vorrichtung zur Herstellung von metallischen Silicium dient, unter Durchführung des bevorzugten erfindungsgemäßen Verfahrens. Der innere Raum des Hochofens ist im wesentlichen in einen Siliciummonoxid erzeugenden Bereich A, einen mit Reduktionsmittel angefüllten Bereich B und einen geschmolzenes metallisches Karbid anhäufenden Bereich C unterteilt.
  • Der Siliciummonoxid erzeugende Bereich A umfaßt eine Einspritzdüse 3 zum Einleiten eines gereinigten Kieselerdematerials. Das durch die Einspritzdüse 3 einzuleitende Kieselerdematerial wird auf einer Temperatur in einem Bereich von 1600 bis 2300ºC gehalten. Die Einspritzdüse 3 ist auf einen geschmolzenes metallisches Silicium sammelnden Schmelzraum 12 in dem Siliciummonoxid erzeugenden Bereich A gerichtet. In dem Schmelzraum 12 wird geschmolzenes metallisches Silicium gesammelt. Daher wird, wie oben ausgeführt, Kieselerdematerial in das geschmolzene metallische Silicium eingeleitet, um die Reaktion gemäß der Formel (5) auszulösen, um Siliciummonoxid zu erzeugen.
  • Die Einleitung des Kieselerdematerials in das geschmolzene metallische Silicium in dem Schmelzraum 12 ist nicht auf die in Fig. 1 dargestellte Art begrenzt oder spezifiziert. Es ist z.B. möglich, das Kieselerdematerial durch den unteren Bereich des Schmelzraumes 12 einzuleiten, wie in Fig. 2 (b) dargestellt. Auf der anderen Seite kann das Kieselerdematerial, ähnlich wie in Fig. 1 dargestellt, von der oberen Seite des Schmelzraumes 12 eingeleitet werden, wie in Fig. 2 (a) gezeigt. Die Beispiele gemäß Fig. 2 (a) und 2 (b), welche verschiedene Arten der Einführung des Kieselerdematerials zeigen, sollten als bloße Beispiele erkannt werden. Das Kieselerdematerial kann auch auf andere Arten als in den dargestellten Beispielen in das geschmolzene metallische Silicium eingeleitet werden.
  • Um die Reaktion der Formel (5) stabil durchzuführen, ist es notwendig, das geschmolzene metallische Silicium in dem Schmelzraum 12 auf einen Temperaturbereich von 1600 bis 2300ºC zu erwärmen. Daher ist, in der dargestellten Ausführungsform, eine Lichtbogenelektrode 2 in dem Siliciummonoxid erzeugenden Bereich A vorgesehen. Ein Lichtbogenstrom wird an die Lichtbogenelektrode 2 zur Bildung eines Lichtbogens angelegt. Das Lichtbogenende der Lichtbogenelektrode 2 ist in der Nähe der oberen Fläche des geschmolzenen metallischen Siliciums in dem Schmelzraum 12 angeordnet, so daß ein Lichtbogenbereich 9 in der Nähe der Oberfläche des geschmolzenen metallischen Silicium aufgebaut wird, um das letztere effektiv zu erwärmen.
  • Obwohl die Lichtbogenerwärmungsvorrichtung zur Erwärmung des geschmolzenen metallischen Siliciums in dem Schmelzraum 12 bei der dargestellten Ausführungsform eingesetzt wird, ist es möglich, andere Erwärmungsvorrichtungen einzusetzen, wie Plasmaerwärmungsvorrichtungen, Widerstandsheizvorrichtungen, hochfrequente Induktionsheizvorrichtungen usw.
  • Der mit einem Reduktionsmittel angefüllte Bereich B ist mit einer reduktionsmittelhaltigen Beschickung 7 angefüllt. Die Beschickung 7 enthält ein Reduktionsmittel und ein siliciumhaltiges Material. Als Reduktionsmittel wird Kohlenstoff, kohlenstoffhaltiges Material oder eine Kombination dieser verwendet. Auf der anderen Seite wird als siliciumhaltiges Material Siliciumkarbid, Siliciumdioxid oder eine Kombination dieser verwendet. Der mit Reduktionsmittel angefüllte Bereich B ist mit einer hochfrequenten Induktionsheizspule 4 versehen. Die hochfrequente Induktionsheizspule 4 dient als eine äußere Heizvorrichtung und ist daher um den äußeren Umfang der Ofenwand herumgewickelt. Die hochfrequente Induktionsheizspule 4 ist zur Erwärmung der Ofenwand, des Innenraums, d.h. des mit Reduktionsmittel angefüllten Bereichs B und der Beschickung in dem Bereich B in dem Temperaturbereich von 1600 bis 2400ºC ausgelegt.
  • Dieser mit Reduktionsmittel angefüllte Bereich B steht mit dem Siliciummonoxid erzeugenden Bereich A über einen Verbindungsdurchgang 14 in Verbindung. Das in dem Siliciummonoxid erzeugenden Bereich A erzeugte Siliciummonoxid wird über den Verbindungsdurchgang 14 in dem mit Reduktionsmittel angefüllten Bereich B befördert. Das in den mit Reduktionsmittel angefüllten Bereich B eingefüllte Siliciummonoxid tritt in Kontakt mit der Beschickung, d.h. mit dem Reduktionsmittel und mit dem siliciumhaltigen Material, um die Reaktionen der Formeln (7) und (8) zur Herstellung von metallischen Silicium und Siliciumkarbid zu bewirken.
  • Während der Beförderung des Siliciummonoxids aus dem Siliciummonoxid erzeugenden Bereich A in den mit Reduktionsmittel angefüllten Bereich B tritt eine Verfestigung des Siliciummonoxids auf, wenn das Siliciummonoxid in dem Verbindungsdurchgang 14 abgekühlt wird. Um dies zu vermeiden, ist es erforderlich, das Siliciummonoxid in dem Verbindungsdurchgang 14 ausreichend zu erwärmen. Vorzugsweise wird das Siliciummonoxid in dem Verbindungsdurchgang und in dem mit Reduktionsmittel angefüllten Bereich B auf einer Temperatur von 1700ºC oder mehr gehalten. Zur Erwärmung des Siliciummonoxids in dem Verbindungsdurchgang 14 ist eine Heizspule 15 vorgesehen. Die Heizspule 15 ist um den äußeren Umfang des Verbindungsdurchganges herumgewunden, um die Wärme zur Beibehaltung der Temperatur des den Verbindungsdurchgang 14 durchlaufenden Siliciummonoxids zu liefern. Die Heizspule 15 wird so gesteuert, daß die Temperatur des Siliciummonoxids in dem Verbindungsdurchgang 14 auf der gewünschten Temperatur gehalten wird, d.h. bei 1700ºC oder mehr.
  • Das in dem mit Reduktionsmittel angefüllten Bereich B erzeugte metallische Silicium tropft in den geschmolzenes metallisches Silicium sammelnden Bereich C in einen Schmelzraum 10 des Ofens.
  • Der Schmelzraum 10 dient als der geschmolzenes metallisches Silicium sammelnde Bereich C und steht mit dem Schmelzraum 12 über einen Verbindungsdurchgang 13 in Verbindung. Der Schmelzraum 10 wird mittels einer Heizspule 16 erwärmt. Gleichermaßen ist eine Heizspule 17 zur Erwärmung des Verbindungsdurchganges 13 vorgesehen.
  • Bei dieser Konstruktion wird ein Teil des geschmolzenen metallischen Siliciums, welches in dem geschmolzenes metallisches Silicium sammelnden Bereiches C gesammelt ist, in den Siliciummonoxid erzeugenden Bereich A befördert und zur Erzeugung von Siliciummonoxid verwendet. Auf der anderen Seite wird geschmolzenes metallisches Silicium als ein Erzeugnis des Schmelzraumes 10 durch einen Gießtrichteransatz 5 nach außen geleitet.
  • Fig. 3 zeigt eine andere Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Herstellung von metallischen Silicium. In dieser Ausführungsform ist der Siliciummonoxid erzeugende Bereich A und der geschmolzenes metallisches Silicium anhäufende Bereich C der vorhergehenden Ausführungsform als ein gemeinsamer Bereich in dem Ofen ausgebildet.
  • Der Hochofen 20 gemäß der Ausführungsform aus Fig. 3 weist einen Schmelzraum 21 in dem unteren Bereich auf. Der Schmelzraum 21 sammelt geschmolzenes metallisches Silicium. Ein Lichtbogenelektrodenpaar 22 ist oberhalb des in dem Schmelzraum 21 angesammelten geschmolzenen metallischen Silicium vorgesehen. Die Lichtbogenelektroden 22 sind durch eine Seitenwand 23 des Ofenkörpers eingeführt und erstrecken sich horizontal. Die Lichtbogenelektroden 22 weisen Lichtbogenenden auf, die unmittelbar oberhalb des geschmolzenen metallischen Siliciums Lichtbogenbereiche 24 bilden. Die Lichtbogenelektroden 22 erwärmen das geschmolzene metallische Silicium auf eine Temperatur im Bereich von 1600 bis 2300ºC.
  • In der Nähe der Lichtbogenelektroden 22 ist eine Kieselerdematerialeinspritzdüse 25 vorgesehen, um pulverförmiges Kieselerdematerial einzuleiten. Die Einspritzdüse 25 ist in dem Innenraum des Ofens durch die Seitenwand 23 des Ofenkörpers eingeführt. Die Kieselerdeeinspritzdüse 25 erstreckt sich schräg zu der Achse der Lichtbogenelektroden 22 und das Ende ist auf die Oberfläche des geschmolzenen metallischen Siliciums in dem Schmelzraum 21 gerichtet. Die Kieselerdeeinspritzdüse 25 leitet Kieselerdematerial in pulverförmigem Zustand, granuliertem Zustand oder als Pellets usw. in das geschmolzene metallische Silicium ein. Durch das Einleiten des Kieselerdematerials wird Siliciummonoxid aufgrund der Reaktion gemäß Formel (5) erzeugt.
  • Oberhalb des Schmelzraumes 21 ist ein mit Reaktionsmittel angefüllter Bereich 26 in dem Ofen ausgebildet. Der mit Reaktionsmittel angefüllte Bereich 26 ist mit einer reaktionsmittelhaltigen Beschickung angefüllt, umfassend das Reduktionsmittel, z.B. Kohlenstoff und/oder kohlenstoffhaltiges Material. Die Beschickung in dem mit Reaktionsmittel angefüllten Bereich 26 wird auf einer Temperatur im Bereich von 1600 bis 2400ºC mittels einer hochfrequenten Induktionsheizspule 27 beibehalten.
  • In dem mit Reduktionsmittel angefüllten Bereich 26 tritt das durch die Reaktion des eingeleiteten Kieselerdematerials mit dem des geschmolzenen metallischen Siliciums in dem Schmelzraum erzeugte Siliciummonoxid in Kontakt mit der Beschickung. Als Ergebnis werden die Reaktionen der Formeln (7) und (8) ausgelöst, um metallisches Silicium und Siliciumkarbid zu bilden. Das erzeugte metallische Silicium tropft in den Schmelzraum 21, um dort gesammelt zu werden.
  • Das so in dem Schmelzraum 21 gesammelte metallische Silicium wird durch einen Gleichtrichteransatz 28 aus dem Ofen geleitet.
  • Es wird deutlich, daß es bei den beiden obigen Ausführungsformen nicht notwendig ist, eine Vorbehandlung des Kieselerdematerials durchzuführen, welches in der Form eines Pulvers, Granulats oder als Pellets mit geringer Korngröße vorgesehen ist, um eine blockförmige Kieselerde mit ausreichender Korngröße zu bilden und daher kann pulverförmiges, granuliertes oder pelletiertes Kieselerdematerial verwendet werden. Des weiteren erfordert die Vorrichtung der gezeigten Ausführungsformen keine Rezirkulation von Siliciummonoxid zur Erzielung einer hoher Ausbeute.
  • Die Wirkung der Vorrichtung aus Fig. 1 wurde durch Experimente nachgewiesen, unter Verwendung eines kleinen Lichtbogenofens (100 kW). Die bei dem herkömmlichen Verfahren und den erfindungsgemäßen Verfahren erzielten Ergebnisse der Experimente sind in der angefügten Tabelle dargestellt. Aus der Tabelle wird deutlich, daß das erfindungsgemäße Verfahren im wesentlichen die gleiche Ausbeute erzielt, wie die bei dem herkömmlichen Verfahren erzielte, bei welchem Siliciummonoxid rezirkuliert wird. Auf der anderen Seite wird aus der Tabelle deutlich, daß die Produktionseffizienz für metallisches Silicium gegenüber verbrauchter elektrischer Energie auf eine Größenordnung von 16 kW/kg-Si bei dem erfindungsgemäßen Verfahren reduziert werden kann.
  • Es sollte festgehalten werden, daß das in dem bevorzugten Verfahren eingesetzte Reduktionsmittel aus Kohlenstoff und/oder kohlenstoffhaltiges Material und Siliciumkarbid und/oder Siliciumdioxid besteht. In dem Fall, daß das Reduktionsmittel hochrein ist und in einem pulverförmigen Zustand vorgesehen ist, wird bevorzugt eine Behandlung zur Bildung von Blöcken mit relativ großer Korngröße durchzuführen, unter Verwendung von Bindemitteln wie Zucker, Phenolharz, Stärke usw.. Blöcke aus Reduktionsmitteln mit großer Korngröße können ausreichende Gasdurchlässigkeit des mit Reduktionsmittel angefüllten Bereiches in dem Ofen sicherstellen. Tabelle Herkömmlich Erfindung Staub zurückgewonnen Staub nicht zurückgewonnen Menge an eingeleitetem SiO (kg/Stunde) Ausbeute an zurückgewonnenem Si (%) Verbrauch an elektrischer Energie (kW/kg-Si)

Claims (3)

1. Verfahren zur Herstellung reinen Siliciums, wobei in einem ersten Schritt Siliciumdioxid mit geschmolzenem, elementarem Silicium unter Bedingungen in Reaktion gebracht wird, so daß Siliciummonoxid gebildet wird, worauf das so gebildete Siliciummonoxid in einem gasförmigen Zustand zu einer separaten Reaktionsstufe übertragen wird, in welcher es mit einem Kohlenstoff und Silicium enthaltenden Material reagiert, um so geschmolzenes, elementares Silicium zu bilden, wobei dieses Silicium gesammelt und teilweise als gewünschtes Produkt entfernt und teilweise in der ersten Stufe als ein Reaktant fit zusätzlichen Oxiden des Siliciums zurückgeführt wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, in welchem die erste Stufe in einem Temperaturbereich von 1600 ºC bis 2300 ºC durchgeführt wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1, in welchem diese separate Reaktionsstufe in eirem Temperaturbereich von 1600 ºC bis 2400 ºC durchgeführt wird.
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