DE3140248C2 - Use of doped valve metal powder for the production of electrolytic capacitor anodes - Google Patents
Use of doped valve metal powder for the production of electrolytic capacitor anodesInfo
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Abstract
Es wird ein Verfahren zur Herstellung von mit Bor oder Borverbindungen dotierten Ventilmetallpulvern für Elektrolytkondensatoren mit geringem relativen Leckstrom und hoher spezifischer Ladung angegeben. Die Dotierung mit Bor oder Borverbindungen in Mengen bis zu 0,5 Gew.-%, bezogen auf den Metallinhalt, kann bei der Herstellung des Metallpulvers oder zu den grünen Ventilmetallanoden erfolgen.A method is specified for the production of valve metal powders doped with boron or boron compounds for electrolytic capacitors with a low relative leakage current and a high specific charge. The doping with boron or boron compounds in amounts of up to 0.5% by weight, based on the metal content, can take place during the production of the metal powder or with the green valve metal anodes.
Description
Die Erfindung betrifft die Verwendung von dotiertem Ventilmetallpulverfür die Herstellung von Elektrolytkondensatoranoden mit geringem relativem Leckstrom und hoher spezifischer Ladung.The invention relates to the use of doped valve metal powder for the manufacture of electrolytic capacitor anodes with low relative leakage current and high specific charge.
Die Dotierung z. B. von Tantalmetall für Kondensatorzwecke zur Verbesserung der spezifischen elektrischen Eigenschaften der daraus hergestellten Trockenelektrolytkondensatoren wurde in der Vergangenheit mit verschiedenen Zusätzen praktiziert Die Dotierung des Tantals kann auf dem Verarbeitungswege während verschiedener Verarbeitungsphasen erfolgen und zwarThe doping z. B. of tantalum metal for capacitor purposes to improve the specific electrical Properties of the solid electrolytic capacitors made from them have been different in the past Additions practiced The doping of the tantalum can be different during the processing Processing phases take place, namely
1. im Verlaufe der Herstellung des Tantalmetallpulvers, ausgehend von den Vorstoffen, die durch Reduktion in die metallische Phase überführt werden,1. in the course of the production of the tantalum metal powder, starting from the raw materials obtained by reduction in the metallic phase are transferred,
2. während der puivermetallurgischen Verarbeitung des Tantalmetalls zu Sinteranoden oder
3. durch Behandlung der Sinteranode durch thermochemische oder naßchemische Prozesse.2. during the powder metallurgical processing of the tantalum metal to sinter anodes or
3. by treating the sintered anode by thermochemical or wet chemical processes.
In den meisten Fällen werden solche gezielten »Verunreinigungen« mit Dotierungsmitteln in definierten Mengen dem Tantalmetallpulver vor der pulvermetallurgischen Verarbeitung desselben zugesetzt. So ist z. B.In most cases, such targeted "impurities" are defined with dopants Amounts of the tantalum metal powder added before the powder metallurgical processing of the same. So is z. B.
der DE-AS 24 05 459 zu entnehmen, daß ein Molybdänzusatz zum Tantalpulver die Temperaturabhängigkeit der elektrischen Kapazität wesentlich verringertfrom DE-AS 24 05 459 that a molybdenum addition to the tantalum powder, the temperature dependence of electrical capacity significantly reduced
Die Verwendung von Stickstoff als Dotierungsmittel für Tantal-Dünnschicht-Kondensatoren wird in der DE-OS 23 00 813 beschrieben. Als weiteres Dotierungselement für Tantal als Ventilmetall für Kondensatoren sei noch Phosphor genannt das in Form seiner Verbindungen entweder dem metallischen Tantalpulver vor dem Sintern der Anoden zugesetzt wird, wie in der DE-OS 26 16 367 beschrieben, oder aber bereits im Zuge des Herstellungsprozesses für das Tantalpulver, dem Vorstoff, nämlich K2TaF7, in Form von Phosphorverbindungen zugesetzt wird, wie aus der DE-OS 30 05 207 zu entnehmen ist.The use of nitrogen as a dopant for tantalum thin-film capacitors is discussed in the DE-OS 23 00 813 described. Another doping element for tantalum as a valve metal for capacitors nor called phosphorus in the form of its compounds either before the metallic tantalum powder Sintering of the anodes is added, as described in DE-OS 26 16 367, or else already in the course of Manufacturing process for the tantalum powder, the precursor, namely K2TaF7, in the form of phosphorus compounds is added, as can be seen from DE-OS 30 05 207.
Setzt man jedoch dem Tantal in irgendeiner Form entweder vor oder nach der Herstellung des Metalls Phosphor zu, dann hat gerade dieses Dotierungsmittel einen nachteiligen Einfluß auf das Reststromverhalten des Tantalkondensators, sofern die elektrolytische Formierung der P-dotierten Tantalsinteranode bei Temperaturen unterhalb 85° C erfolgt. In der Praxis der großtechnischen Kondensatorfertigung ist jedoch die Formierung bei hoher Temperatur ein unerwünschter Aufwand an Technik und Energie.However, if one uses the tantalum in any form either before or after the production of the metal Phosphorus, then just this dopant has a detrimental effect on the residual current behavior of the Tantalum capacitor, provided the electrolytic formation of the P-doped tantalum sintered anode at temperatures takes place below 85 ° C. In the practice of large-scale capacitor production, however, the formation is at high temperature an undesirable expenditure on technology and energy.
Um einem besseren Reststromverhalten Rechnung zu tragen, hat man dem Formierelektrolyten, in der Regel aus verdünnter Phosphorsäure bestehend, gewissen Mengen Borsäure zugesetzt, wie in der DE-OS 26 38 796 beschrieben ist. Die Metallseite des formierten Dielektrikums der Tantalanode wird jedoch durch diese Maßnahme nicht betroffen, so daß von einer Bordotierung des Tantalmetalls in der genannten DE-OS nicht die Rede sein kann.In order to take into account a better residual current behavior, one has the forming electrolyte, as a rule consisting of dilute phosphoric acid, certain amounts of boric acid added, as in DE-OS 26 38 796 is described. The metal side of the formed dielectric of the tantalum anode is, however, reduced by this measure not affected, so that there is no mention of a boron doping of the tantalum metal in the aforementioned DE-OS can.
Ferner ist es aus der DE-OS 26 10 224 bekannt, zur Herstellung von porösen Metallkörpern für die Verwendung in der elektronischen Industrie das Metallpulver vor dem Pressen mit einem anorganischen Schmiermittel, unter anderem Bornitrid, zu vermischen und nach dem Pressen zu Sintern, wobei in dem gesinterten Metallkörper ein Teil des Schmiermittels verbleibt, jedoch handelt es sich dabei nicht um eine Dotierung des Ventilmetallpulvers, sondern um ein oberflächlich an dem Metallpulver wirkendes Schmiermittel.It is also known from DE-OS 26 10 224, for the production of porous metal bodies for use in the electronic industry the metal powder before pressing with an inorganic lubricant, inter alia boron nitride, to mix and after pressing to sinter, being in the sintered metal body some of the lubricant remains, but this is not a matter of doping the valve metal powder, but rather a lubricant that acts on the surface of the metal powder.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die Herstellung von Elektrolytkondensatoranoden so zu verbessern, daß sich eine Anode mit geringem relativem Leckstrom und hoher spezifischer Ladung unter VermeidungThe invention is based on the object of improving the production of electrolytic capacitor anodes in such a way that that an anode with low relative leakage current and high specific charge is avoided
so von hohem Aufwand an Energie ergibt.so results from a high expenditure of energy.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß das Ventilmetallpulver mit 0,0005 bis 0,5 Gew.-% Bor bezogen auf den Metallgehalt dotiert ist. Es hat sich überraschenderweise gezeigt, daß beim Ersatz des Phosphors oder seiner Verbindungen als Dotierungsmittel für Tantalmetall durch Bor oder Borverbindungen, wie Borsäure ode« ihre Salze, nicht nur das Reststromverhalten (μΑ/mC) in wünschenswerter Weise verbessert wird, sondern daß darüber hinaus auch die spezifische Ladung der Tantalkondensatoren (mC/g) merklich erhöht wird. Dieser Zuwachs an spezifischer Ladung geht deutlich über jenen Anteil hinaus, den man durch Dotierung des Tantals mit Phosphor erreicht. Die Maßnahme der Bordotierung des Tantals erstreckt sich dabei nicht allein auf den Borzusatz zum Tantalmetallpulver vor der pulvermetallurgischen Herstellung der Tantalanode, sondern ist auch dann in voller Weise wirksam, wenn bereits vor der Metallgewinnung einer der Vorstoffe, z. B. als K2TaF7 eingesetzt, mit Borverbindungen in definierter Weise dotiert wurde; letzteres kann beispielsweise in Analogie zur Dotierung mit Phosphor gemäß DE-OS 30 05 207 durchgeführt werden.According to the invention, this object is achieved in that the valve metal powder contains 0.0005 to 0.5% by weight Boron is doped based on the metal content. It has surprisingly been found that when replacing the Phosphorus or its compounds as a dopant for tantalum metal by means of boron or boron compounds, like boric acid or its salts, not only improves the residual current behavior (μΑ / mC) in a desirable way but that the specific charge of the tantalum capacitors (mC / g) is also noticeably increased will. This increase in specific charge goes well beyond the proportion that can be obtained through doping of tantalum achieved with phosphorus. The measure of boron doping of the tantalum does not only extend here on the addition of boron to the tantalum metal powder before the powder-metallurgical production of the tantalum anode, but is also fully effective if one of the precursors, e.g. B. as K2TaF7 was used, doped with boron compounds in a defined manner; the latter can for example be in Analogous to doping with phosphorus according to DE-OS 30 05 207 can be carried out.
Die Durchführung der Dotierungsmaßnahmen wird nachfolgend an Hand von einigen Beispielen beschrieben. v,3 Der erfindungsgemäße Zweck wird erreicht, wenn man dafür sorgt, daß Bor in irgendeiner Form in irgendeiner tflThe implementation of the doping measures is described below using a few examples. v , 3 The purpose according to the invention is achieved if it is ensured that boron in any form in any tfl
Verarbeitungsstufe in gezielter Menge in das Ventilmetall eingebracht wird, aus dem die Kondensatorelektrode §2 Processing stage is introduced in a targeted amount into the valve metal, from which the capacitor electrode §2
(Anode) letztlich gefertigt wird. |](Anode) is ultimately manufactured. |]
Als Ventilmetalle kommen insbesondere Tantal und dessen Legierungen sowie andere Metalle der Gruppe fejIn particular, tantalum and its alloys, as well as other metals from group fej, are used as valve metals
IVb, Vb und VIb des Periodensystems sowie deren Legierungen in Betracht (siehe auch »Oxides and Oxide M IVb, Vb and VIb of the periodic table and their alloys are considered (see also »Oxides and Oxide M
Films«, Band 1, herausgegeben von John W. Diggle, S. 94 und 95,1972 Marcel Dekker, Inc., New York). j|iFilms ", Volume 1, edited by John W. Diggle, pp. 94 and 95, 1972 Marcel Dekker, Inc., New York). j | i
Im Zuge des Herstellungsverfahrens von Kaliumtantalfluorid wurde zu einer H2TaF7-Lösung vor der Fällung des Doppelsalzes mit Kalium-Ionen Bor in Form von H3BO3 in Mengen von 0,005 bis 0,5 Gew.-f/o, bezogen auf den Ta-Inhalt, zugesetzt Das nach der Fällung mit Kaliumsalz erhaltene Kaliumtantalfluorid enthielt nach Abtrennung der Mutterlauge im getrockneten Zustand solche Mengen Bor, daß nach der metallothermischen Reduktion des Doppelsalzes im metallischen Tantal ca. 20 bis ca. 2500 ppm Bor analysiert wurden.In the course of the production process of potassium tantalum fluoride was added to a H 2 TaF 7 solution before the precipitation of the double salt with potassium ions of boron in the form of H3BO3 in amounts of 0.005 to 0.5 wt f / o, based on the Ta content The potassium tantalum fluoride obtained after precipitation with the potassium salt contained after separation of the mother liquor in the dried state such amounts of boron that after the metallothermal reduction of the double salt in the metallic tantalum, about 20 to about 2500 ppm of boron were analyzed.
Eine weitere bevorzugte Ausführungsform der Bordotierung besteht im Zusatz von Bor, vorzugsweise als Borsäure H3BO3, beim Umkristallisieren von rohem Kaliumtantalfluorid. Diese Umkristallisation erfolgt durch Auflösen des Rohsalzes in 2 n-Fluorwasserstoffsäure unter Erhitzen der Lösung auf 90 bis 1000C. Der Borsäurezusatz erfolgt vor der Abkühlung und Kristallisation des gereinigten Kaliumtantalfluorids. Setzt man beispielsweise 2 m3 2 n-HF-Lösung 150 g K2TaF7 (roh) zu und erwärmt unter Rühren auf 1000C und dosiert zu der klaren Lösung jeweils 20 g, 200 g bzw. 2000 g Borsäure (H3BO3), so erhält man daraus nach dem Schleudern und Trocknen Bor-dotiertes K2TaF7, aus dem nach der metallothermischen Reduktion Tanijilmetallpulver mit 6 bzw. 125 bzw. 2100 ppm Bor erhalten wurde.Another preferred embodiment of boron doping consists in the addition of boron, preferably as boric acid H3BO3, during the recrystallization of crude potassium tantalum fluoride. This recrystallization takes place by dissolving the crude salt in 2N hydrofluoric acid while heating the solution to 90 to 100 ° C. The boric acid is added before cooling and crystallization of the purified potassium tantalum fluoride. If, for example 2 m 3 2 n-HF solution 150 g of K 2 TaF 7 (crude) was added and heated with stirring to 100 0 C and dosed to the clear solution 20 g, 200 g or 2000 g of boric acid (H3BO3) After spinning and drying, boron-doped K 2 TaF 7 is obtained therefrom, from which Tanijil metal powder with 6, 125 and 2100 ppm boron was obtained after metallothermal reduction.
Eine weitere Möglichkeit zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens bietet sich anläßlich der Anwendung des Herstellungsverfahrens gemäß DE-PS 25 17 180 für Tantalmetallpulver. Im Zuge dieses Verfahrens wurde dem Ausgangsgemisch von K2TaF7, Alkalimetall und Alkalihaiogeniden Bor in Form von KBF4 zugesetzt. Bei der anschließenden Reduktion des Tantals und nach Abtrennen des reinen Metalls aus den resultierenden Salzmassen erschien das Bor in nahezu vollständiger Ausbeute als Bestandteil des Tantalmetallpulvers. Another possibility for carrying out the method according to the invention is offered when the production method according to DE-PS 25 17 180 is used for tantalum metal powder. In the course of this process, boron in the form of KBF4 was added to the starting mixture of K 2 TaF 7, alkali metal and alkali halides. During the subsequent reduction of the tantalum and after separating the pure metal from the resulting salt masses, the boron appeared in almost complete yield as a constituent of the tantalum metal powder.
Beispielsweise wurde Bor als KBF4 in Mengen von 10,120,500 und 120&ppm, bezogen auf den Ta-Inhalt, den Ausgangsmischungen zugesetzt, woraus Tantalpulver als Endprodukte mit Borgehalten von 8, 112, 480 und 1020 ppm resultierten.For example, boron was used as KBF4 in amounts of 10,120,500 and 120 & ppm, based on the Ta content, the Starting mixtures added, resulting in tantalum powder as end products with boron contents of 8, 112, 480 and 1020 ppm resulted.
Bei einer weiteren Ausführungsform der erfindungsgemäßen Bordotierung von Tantalpulver wurde von metallischem Tantal ausgegangen.In a further embodiment of the boron doping of tantalum powder according to the invention, from metallic tantalum run out.
Bor wurde als »amorphes« Element in sehr feiner Pulverform dem Tantalpulver vor der thermischen Agglomerierung durch intensives Mischen zugesetzt. Zweckmäßigerweise läßt man eine verdünnte wäßrige oder organische Suspension des Borpulvers in das zu mischende Metallpulver eintropfen, während man unter gelindem Erwärmen rührt und das Lösemittel verdampft. Nach der homogenen Verteilung des Bors in der Pulvermasse kann während einer nachfolgenden Temperaturbehandlung im Vakuum oder unter Inertgas das Bor durch Diffusion in das Tantalmetall eingebracht werden.Boron, as an "amorphous" element in a very fine powder form, became the tantalum powder before thermal agglomeration added by intensive mixing. Appropriately, one leaves a dilute aqueous or Drip organic suspension of the boron powder into the metal powder to be mixed, while gently Warming stirs and the solvent evaporates. After the homogeneous distribution of the boron in the powder mass the boron can be removed during a subsequent temperature treatment in vacuo or under inert gas be introduced into the tantalum metal by diffusion.
Auf die genannte Weise wurden Proben hergestellt, die auf Gehalte des Tantalpulvers an Bor mit 50,500,1000 und 5000 ppm Bor eingestellt worden waren. Es wurden in dem agglomerierten Ta-Pulver analytisch Gehalte von 42,476,952 und 4810 ppm Bor ermittelt.In the manner mentioned, samples were produced which had a boron content of 50,500,1000 in the tantalum powder and 5000 ppm boron had been adjusted. There were analytical contents in the agglomerated Ta powder of 42,476,952 and 4810 ppm boron.
Außer der nach Beispiel 4 durchgeführten Bordotierung des Tantalpulvers vor der Agglomerierung ist, wie bereits eingangs erwähnt, auch die Dotierung agglomerierter Tantalpulver, d. h. nach der Agglomerierung und vor der pulvermetallurgischen Herstellung der Sinteranoden möglich.Apart from the boron doping of the tantalum powder carried out according to Example 4 before the agglomeration, how already mentioned at the beginning, also the doping of agglomerated tantalum powder, d. H. after agglomeration and possible before the powder metallurgical production of the sintered anodes.
Zur Beurteilung der erfindungsgemäßen Vorteile der in den Beispielen gewonnenen Produkte wurden aus einigen ausgewählten Versuchsmustern Prüfanoden hergestellt, die nach dem Sintern und Formieren elektrisch getestet wurden.To assess the advantages according to the invention of the products obtained in the examples, from some selected test samples test anodes produced, which after sintering and forming electrically have been tested.
Die Resultate dieser elektrischen Prüfmessungen sind in den nachfolgenden Tabellen zusammengestellt. Gegenübergestellt sind die Meßwerte von solchen Prüfanoden, die zwar unter gleichen Prüfbedingungen, jedoch aus phosphordotiertem Tantalmetallpulver nach dem Stand der Technik hergestellt wurden. Außerdem wurden noch Anoden getestet, die frei von Dotierungsmitteln waren, also weder Bor noch Phosphor enthielten.The results of these electrical test measurements are compiled in the following tables. The measured values of such test anodes are compared, although under the same test conditions, however, were made from phosphorus-doped tantalum metal powder according to the prior art. aside from that anodes were also tested that were free from dopants, i.e. contained neither boron nor phosphorus.
Für alle untersuchten Proben wurden folgende konstante Prüfbedingungen eingehalten:The following constant test conditions were observed for all samples examined:
Gewicht des grünen Preßlings: 0,4 gWeight of the green compact: 0.4 g
Preßdichte: 4,0 g/cm3 Press density: 4.0 g / cm 3
Sinterbedingungen: 16000C (optisch gem.), 30 MinutenSintering conditions: 1600 ° C. (visually according to), 30 minutes
Formierelektrolyt: 0,01 % H3PO4 Formierstrom: 35 mA/gForming electrolyte: 0.01% H 3 PO 4 Forming current: 35 mA / g
Meßelektrolyt: 10Gew.-% H3PO4 Measuring electrolyte: 10% by weight H 3 PO 4
Formierzeit: 120 min (nach Erreichen der Endspannung)Forming time: 120 min (after reaching the final stress)
Die Auswahl der variablen Prüfbedingungen ist den Tabellen 1 und 2 zu entnehmen; es waren dies: die Formierspannung Vf, die Formiertemperatur 7>und der Gehalt des Tantals an Dotierungsmitteln, d. h. a) Bor, b) Phosphor, c) ohne Zusatz.The selection of the variable test conditions can be found in Tables 1 and 2; these were: the forming voltage Vf, the forming temperature 7> and the doping agent content of the tantalum, ie a) boron, b) phosphorus, c) without additives.
Abhängigkeit der elektrischen Eigenschaften von B-dotierten Tantalanoden vom Bor-Gehalt des TantalpulversDependence of the electrical properties of B-doped tantalum anodes on the boron content of the tantalum powder
Auswahl der variablen. Parameter: Formiertemperatur: 60° C; Formierspannung: 100 Volt
5 Selection of the variable. Parameters: Forming temperature: 60 ° C; Forming voltage: 100 volts
5
. 8 42 125 480 952 4810 tiert (500 ppm). 8 42 125 480 952 4810 animals (500 ppm)
Spez. Ladung (mC/g) 14,10 14,27 14,55 14,70 14,78 14,92 9,52 13,7Specific charge (mC / g) 14.10 14.27 14.55 14.70 14.78 14.92 9.52 13.7
Spez. Leckstrom (μΑ/g) 3,0 3,0 3,2 4,0 5,0 10,4 2,5 1680Specific leakage current (μΑ / g) 3.0 3.0 3.2 4.0 5.0 10.4 2.5 1680
rel. Leckstrom (uA/mC) 0,21 0,21 0,22 0,27 0,34 0,70 0,26 122,6rel. Leakage current (uA / mC) 0.21 0.21 0.22 0.27 0.34 0.70 0.26 122.6
Abhängigkeit der elektrischen Eigenschaften von Bor-dotierten Tantalanoden von der Temperatur des Formierelektrolyten Dependence of the electrical properties of boron-doped tantalum anodes on the temperature of the forming electrolyte
Auswahl der variablen Parameter:
Borgehalt des Ta-Pulvers: ca. 500 ppm; Formierspannung: 100 VoltSelection of the variable parameters:
Boron content of the Ta powder: approx. 500 ppm; Forming voltage: 100 volts
Vergleich mit P-dotieriem Ta-Pulver: Meßwerte in Klammern. P-Gehalt 500 ppmComparison with P-doped Ta powder: measured values in brackets. P content 500 ppm
Spez. Ladung (mC/g)
Spez. Leckstrom (μΑ/g)
rel. Leckstrom (μΑ/mC)Specific charge (mC / g)
Specific leakage current (μΑ / g)
rel. Leakage current (μΑ / mC)
Analog zu Beispiel 4 wurde agglomeriertes Niobpulver (Kondensatorqualität) mit 500 ppm amorphem Bor versetzt und in Vergleich zu undotiertem Niobpulver elektrisch getestet.Agglomerated niobium powder (capacitor quality) with 500 ppm amorphous boron was produced analogously to Example 4 and electrically tested in comparison to undoped niobium powder.
Testbedingungen:Test conditions:
Gewicht der Preßlinge: 0,8 g
Preßdichte: 4,0 g/cm3
Sinterbedingung: 1650° C, 30 minWeight of the compacts: 0.8 g
Press density: 4.0 g / cm 3
Sintering condition: 1650 ° C, 30 min
Formierelektrolyt: 0,01 % H3PO4
Formierstrom: 25 mA/g
Meßelektrolyt: 10% H3PO4 Forming electrolyte: 0.01% H 3 PO 4
Forming current: 25 mA / g
Measuring electrolyte: 10% H 3 PO 4
Testresultate:Test results:
undotiert mit 500 ppm Bor dotiertundoped doped with 500 ppm boron
Kapazitätsausbeute (mC/g) 6,5 7,1Capacity yield (mC / g) 6.5 7.1
Spez. Leckstrom (μΑ/g) 2.7 2,5Specific leakage current (μΑ / g) 2.7 2.5
Rel. Leckstrom (μA/mC) 0,41 0,35Rel. Leakage current (μA / mC) 0.41 0.35
Auswertung der MeßergebnisseEvaluation of the measurement results
Zur Erläuterung des vorteilhaften Effektes der erfindungsgemäßen Maßnahme wurde aus einer Vielzahl von Versuchsresultaten eine begrenzte Aurwahl getroffen. Diese Ergebnisse zeigen, daß man zwar durch die bekannte Phosphor-Dotierung des Tantals eine durchaus vorteilhafte Erhöhung der spezifischen Ladung mit niedrigen Leckströmen am Tantalkondensator dann erreicht, wenn man bei der Formierung der Anode hohe Formiertemperaturen anwendet (85—900C). Bei niedrigeren Formiertemperaturen (<85CC) ist jedoch die P-Dotierung derart nachteilig auf das Leckstromverhalten des Tantalkondensators, daß der bemerkenswerte Vorteil der Kapazitätserhöhung aufgehoben wird und daher für die Praxis bedeutungslos ist (siehe Tab. 1, Sp. 8).To explain the advantageous effect of the measure according to the invention, a limited selection was made from a large number of test results. These results show that through the known phosphorus doping of tantalum achieved a quite advantageous increase of the specific charge with low leakage currents at the tantalum capacitor when high in the formation of the anode Formiertemperaturen applying (85-90 0 C). At lower forming temperatures (<85 C C), however, the P-doping is so disadvantageous for the leakage current behavior of the tantalum capacitor that the remarkable advantage of the increase in capacitance is negated and is therefore irrelevant in practice (see Tab. 1, Col. 8).
Durch den erfindungsgemäßen Zusatz von Bor oder Borverbindungen wird der besagte Nachteil beseitigt und darüber hinaus sogar ein weiterer Gewinn an spezifischer Ladung erreicht (siehe Tab. 1, Sp. 1—6). Es sei bemerkt, daß die Art der Bordoilierung, wie sie auf verschiedene Weise in den Beispielen genannt wurde, auf die Größenordnung der Meßdaten keinen merklichen Einfluß hat. Die gemessenen Abweichungen lagen im Bereich der Toleranzen, die durch die Priifmethoden vorgegeben sind.By adding boron or boron compounds according to the invention, said disadvantage is eliminated and in addition, a further gain in specific charge is achieved (see Tab. 1, Col. 1-6). Be it notes that the type of Bordoilierung, as it was mentioned in various ways in the examples, on the The order of magnitude of the measured data has no noticeable influence. The measured deviations were in the range the tolerances specified by the test methods.
Im Falle der Bor-Dotierung des Niobmetallpulvers nach Beispiel 5 ist in Analogie zum Tantal zu folgern, daß gemäß der Erfindung durch Einbringen von Bor in irgendeiner Form in irgendeiner Verarbeitungsstufe in das Niobmetall sowohl di? spezifische Ladung als auch der rel. Leckstrom eines daraus hergestellten Niobkondensators deutlich verbessert werden.In the case of boron doping of the niobium metal powder according to Example 5, it can be concluded in analogy to tantalum that according to the invention by introducing boron in any form in any processing stage into the Niobium metal both di? specific charge as well as the rel. Leakage current of a niobium capacitor made from it can be significantly improved.
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