Nothing Special   »   [go: up one dir, main page]

DE2248840A1 - Verfahren zum aufdampfen von duennen schichten aus einer fluessigen quelle - Google Patents

Verfahren zum aufdampfen von duennen schichten aus einer fluessigen quelle

Info

Publication number
DE2248840A1
DE2248840A1 DE19722248840 DE2248840A DE2248840A1 DE 2248840 A1 DE2248840 A1 DE 2248840A1 DE 19722248840 DE19722248840 DE 19722248840 DE 2248840 A DE2248840 A DE 2248840A DE 2248840 A1 DE2248840 A1 DE 2248840A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
vapor
source
chromium
deposited
melting point
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DE19722248840
Other languages
German (de)
English (en)
Inventor
Herbert Carl Cook
Paul Allen Farrar
Robert Lee Hallen
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
International Business Machines Corp
Original Assignee
International Business Machines Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by International Business Machines Corp filed Critical International Business Machines Corp
Publication of DE2248840A1 publication Critical patent/DE2248840A1/de
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/14—Metallic material, boron or silicon

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
DE19722248840 1971-10-07 1972-10-05 Verfahren zum aufdampfen von duennen schichten aus einer fluessigen quelle Pending DE2248840A1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US18747871A 1971-10-07 1971-10-07

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE2248840A1 true DE2248840A1 (de) 1973-04-12

Family

ID=22689163

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19722248840 Pending DE2248840A1 (de) 1971-10-07 1972-10-05 Verfahren zum aufdampfen von duennen schichten aus einer fluessigen quelle

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JPS4848334A (ja)
DE (1) DE2248840A1 (ja)
FR (1) FR2156005A1 (ja)
GB (1) GB1344972A (ja)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2496703A1 (fr) * 1980-12-24 1982-06-25 Labo Electronique Physique Source d'evaporation de manganese sur substrat dans le vide, notamment sur substrat de couche photosensible dans un tube photo-electrique et procede de fabrication
US7329436B2 (en) 2004-11-17 2008-02-12 United Technologies Corporation Vapor deposition of dissimilar materials
KR100611673B1 (ko) * 2005-01-31 2006-08-10 삼성에스디아이 주식회사 박막 형성 방법 및 유기전계발광소자의 제조 방법

Also Published As

Publication number Publication date
FR2156005A1 (ja) 1973-05-25
JPS4848334A (ja) 1973-07-09
GB1344972A (en) 1974-01-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3629451C2 (ja)
DE1483246A1 (de) Verfahren zur Herstellung amorpher Legierungen
DE3602804C2 (ja)
DE10022333A1 (de) Siliciumcarbidbeschichteter Graphitwerksoff
DE69615598T2 (de) Erzeugung des Magnesiumdampfes mit hocher Verdampfungsgeschwindigkeit
AT502678B1 (de) Alkalimetall- oder erdalkalimetall- verdampferquelle
DE1514552B2 (de) Verfahren zum Verdampfen von Gettern in evakuierten Gefäßen
DE3021074C2 (de) Thermodiffusionsverfahren zur Herstellung von Oberflächenschichten aus Hg↓1↓↓-↓↓x↓Cd↓x↓Te
DE1934369A1 (de) Verfahren zum Herstellen von Einkristallen aus III-V-Verbindungen
DE10200445B4 (de) Metallband für epitaktische Beschichtungen und Verfahren zu dessen Herstellung
DE2248840A1 (de) Verfahren zum aufdampfen von duennen schichten aus einer fluessigen quelle
CH403450A (de) Verfahren zur Herstellung einer duktilen Diffusionslötverbindung
DE2203598A1 (de) Verfahren zur Oberflächenhärtung von Titan und dessen Legierungen und auf diese Weise erhaltene Produkte
DE10116803C2 (de) Strahlungswandler und Verfahren zur Herstellung desselben
DE2063580A1 (de) Transparenter Leiter und Verfahren zu seiner Herstellung
DE2110961C3 (de) Verfahren zum epitaktischen Aufwachsen eines ternären III-V-Mischkristalls
DE2419122A1 (de) Verfahren zur herstellung von tio tief 2 -schichten durch verdampfen aus einer schmelzfluessigen titan-sauerstoffphase
DE2323211A1 (de) Verfahren zur herstellung einer intermetallischen einkristall-halbleiterverbindung
DE19852325C1 (de) Verfahren zum Erzeugen eines kontinuierlichen Dampfstromes enthaltend eine Verbindung, in der Gallium in einwertiger Form vorliegt, Verdampfungstiegel zum Verdampfen einer Substanz sowie Verwendung des Verdampfungstiegels in einer Vakuumbeschichtungsvorrichtung
DE868026C (de) Verfahren zur Herstellung einer nicht als Gluehkathode dienenden Elektrode fuer ein elektrisches Entladungsgefaess
DE2947001A1 (de) Verfahren zur herstellung von vakuumabgeschiedenen filmen
DE102005030862A1 (de) Erstbenetzungshilfsmaterial für einen Verdampferkörper
DE1521556B2 (de) Mit einer CoSi und/oder CoSi tief 2 enthaltenden Oberflächenschicht überzogenes Metall aus Niob oder einer Nioblegierung und Verfahren zu seiner Herstellung
DE69304947T2 (de) Hochkorrosionsbeständige amorphe Alumimiumlegierung
DE2350694B2 (de) Verfahren zum beschichten eines werkstueckes aus einer superlegierung zum schutz gegen korrosion und reaktionsgemisch