DE19859360A1 - Werkzeugmaschine mit piezoelektrischer Positionskorrektureinrichtung - Google Patents
Werkzeugmaschine mit piezoelektrischer PositionskorrektureinrichtungInfo
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Abstract
Bei einer Werkzeugmaschine (1) zur insbesondere spanenden Bearbeitung von Werkstücken, mit einer Bearbeitungseinheit (3) ist als Positionskorrektureinrichtung, insbesondere für eine Arbeitsspindel (4) der Bearbeitungseinheit (3), mindestens ein elektrisch angesteuertes piezoelektrisches Stellelement (11) vorgesehen. Bei einer festgestellten Positionsänderung kann die Bearbeitungseinheit schnell mechanisch in ihre jeweilige Sollposition bewegt werden.
Description
Die Erfindung betrifft eine Werkzeugmaschine zur insbesonde
re spanenden Bearbeitung von Werkstücken, mit einer Bearbei
tungseinheit und/oder einem Werkstücktisch und mit einer Po
sitionskorrektureinrichtung für die Bearbeitungseinheit bzw.
den Werkstücktisch.
Eine derartige Werkzeugmaschine ist zum Beispiel durch die
DE 196 07 599 A1 bekanntgeworden.
Um bei dieser bekannten Werkzeugmaschine Bearbeitungsunge
nauigkeiten aufgrund thermisch bedingter Positionsänderungen
von Werkstück und/oder Werkzeug im Arbeitsbereich des Werk
zeuges zu vermeiden, sind ortsfeste optische Meßschranken
vorgesehen, durch die Werkstück und Werkzeug gleichzeitig
oder kurz nacheinander bewegt werden. Die so erfaßten Posi
tionen werden mit abgespeicherten Positionen aus früheren
Messungen verglichen, und die Differenz zwischen erfaßter
und früher gemessener Position wird zur Korrektur der Ma
schinensteuerung verwendet. Das heißt, das Werkzeug oder
Werkstück wird nicht mechanisch auf den Sollwert zurückbe
wegt, sondern die Positionsänderung wird durch eine entspre
chende Korrektur der Sollwerte der Maschinensteuerung be
rücksichtigt. Außerdem ist eine dynamische Positionskorrek
tur während der Bearbeitung eines Werkstücks nicht möglich.
Demgegenüber ist es die Aufgabe der Erfindung, eine Werk
zeugmaschine der eingangs genannten Art derart weiterzubil
den, daß bei einer festgestellten Positionsänderung die Be
arbeitungseinheit und/oder der Werkstücktisch möglichst
schnell mechanisch in ihre jeweilige Sollposition bewegt
werden können.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß als
Positionskorrektureinrichtung, insbesondere für eine Ar
beitsspindel der Bearbeitungseinheit, mindestens ein elek
trisch angesteuertes piezoelektrisches (piezokeramisches)
Stellelement vorgesehen ist.
Piezoelektrische Stellelemente (Aktuatoren), mit denen sich
heute Dehnungen von bis zu ca. 300 Ìm erreichen lassen, wei
sen sehr hohe Steifigkeiten und insbesondere sehr kurze
Stellzeiten (kleiner als 1 Ìs) auf. In Werkzeugmaschinen
können sie sowohl auf der Werkzeug- als auch auf der Werk
stückseite eingesetzt werden z. B.:
- - zum Ausgleich von thermischen Verformungen und Verlagerun gen;
- - zum Ausgleich von geometrischen Positionsfehlern (z. B. der Werkstücke);
- - zum Ausgleich von Verformungen und Verlagerungen aufgrund wirkender Kräfte;
- - zum Ausgleich von Werkzeugmaßschwankungen (z. B. Werkzeug längenkorrektur, insbesondere eine relative Werkzeuglän genkorrektur bei mehrspindligen Systemen);
- - zur aktiven Schwingungstilgung.
So können z. B. die Arbeitsspindeln von Werkzeugmaschinen,
insbesondere von mehrspindligen, mit Hilfe von piezoelektri
schen Stellelementen räumlich verschiebbar an die Werkzeug
maschine angekoppelt werden. Damit ist eine, den Freiheits
graden der konventionellen Maschinenachsen überlagerte räum
liche Bewegung der bzw. jeder einzelnen Arbeitsspindel mög
lich. Der Maschinenständer, z. B. eine Schlitteneinheit, mit
der Arbeitsspindel führt die vom Steuerprogramm vorgegebenen
Achsbewegungen durch, während eine Arbeitsspindel zusätzlich
überlagerte Kompensationsbewegungen für eine Positionskor
rektur ausführen kann. Diese erfindungsgemäße piezoelektri
sche Positionskorrektureinrichtung kann sowohl bei konven
tionellen Arbeitsspindeln als auch bei Motorspindeln und
Mehrspindelbohrköpfen eingesetzt werden.
Zum Abgleich von Positionsfehlern zwischen Werkzeug und
Werkstück, die aufgrund der oben genannten Einflüsse entste
hen, kann die Arbeitsspindel entweder mittels vorgegebener
Parameter in eine Sollposition gesteuert werden, oder es
wird mit Hilfe eines geschlossenen Regelkreises die Werk
zeug- bzw. Arbeitsspindelposition an die Werkstück- bzw.
Sollposition angepaßt. Die Ermittlung der Soll/Ist-Abwei
chung kann mittels mechanischer, optischer, kapazitiver oder
induktiver Meßaufnehmer oder Taster erfolgt. Der Maßabgleich
kann dabei sowohl an den zu bearbeitenden Werkstücken als
auch an dem Werkzeug erfolgen.
Die festgestellte Abweichung wird dann in mehreren Regel
schritten z. B. durch das Verschieben der Arbeitsspindel auf
ihre Sollposition minimiert. Bei der gesteuerten Vorgehens
weise wird die Arbeitsspindel anhand von im Vorfeld ermit
telter maschinen-, werkzeug- oder vorrichtungstypischer Pa
rameter in ihre exakte Sollposition gesteuert. Dabei können
sich diese Parameter auch variabel am jeweiligen Maschinen
zustand orientieren (Temperatur, Bearbeitungskraft usw.).
Bei bevorzugten Ausführungsformen der Erfindung verläuft die
Wirkrichtung des mindestens einen piezoelektrischen Stell
elements etwa in Richtung eines linearen Freiheitgrades der
Bearbeitungseinheit bzw. des Werkstücktisches, d. h. in Rich
tung der konventionellen Maschinenachsen X, Y oder Z. Neben
thermisch bedingten Verlagerungen können so Werkzeugmaß
schwankungen, z. B. die Werkzeuglänge oder Werkzeugeinstell
maße, verändert werden. Dies ermöglicht insbesondere bei
mehrspindligen Systemen, bei denen ansonsten eine Kompensa
tion ihrer Arbeitsspindeln in Achsrichtung (Z-Richtung) zu
einander nicht möglich ist, einen individuellen und separa
ten Abgleich jeder einzelnen Arbeitsspindel in Z-Richtung.
In vorteilhafter Weiterbildung dieser Ausführungsform kann
jedem linearen Freiheitsgrad der Bearbeitungseinheit bzw.
des Werkstücktisches jeweils mindestens ein piezoelektri
sches Stellelement zugeordnet sein. Durch diese Maßnahme
kann jede beliebige räumliche Positionskorrektur z. B. der
Arbeitsspindel(n) vorgenommen werden.
Bei einer anderen Ausführungsform der Erfindung verläuft die
Wirkrichtung des mindestens einen piezoelektrischen Stell
elements etwa radial zu einem linearen Freiheitsgrad der Be
arbeitungseinheit bzw. des Werkstücktisches. Diese Ausfüh
rungsform hat den wesentlichen Vorteil, daß z. B. eine Ar
beitsspindel über das mindestens eine piezoelektrische
Stellelement aus ihrer zu einem linearen Freiheitsgrad (Z-
Richtung) parallelen Lage bewegt, insbesondere parallelver
schoben oder auch verkippt werden kann.
Dazu kann die Bearbeitungseinheit bzw. der Werkstücktisch in
einer vorteilhaften Weiterbildung dieser Ausführungsform
über eine durch mindestens zwei, vorzugsweise mindestens
drei piezoelektrische Stellelemente gebildete Mehrpunkthal
terung räumlich verstellbar gelagert sein. Die Stellelemente
sind dabei in gleichen Winkelabständen an der Bearbeitungs
einheit bzw. dem Werkstücktisch vorzusehen.
Ferner ist es bei dieser Weiterbildung besonders von Vor
teil, wenn die Bearbeitungseinheit bzw. der Werkstücktisch
über mindestens zwei in Richtung des linearen Freiheitsgra
des hintereinander angeordnete Mehrpunkthalterungen räumlich
verstellbar gelagert ist. Mit zwei Mehrpunkthalterungen,
z. B. mit je drei unter 120 angeordneten Stellelementen in
zwei Radialebenen, läßt sich eine Arbeitsspindel in den
durch die drei Stellelemente aufgespannten Radialebenen ra
dial verstellen, und zwar entweder zur Spindelachse parall
elverschieben oder aber sphärisch verstellen. Im letzteren
Fall ändert sich die Achsrichtung der Arbeitsspindel bzw.
des darin eingespannten Werkstücks. Durch die sphärische
Verstellbarkeit der Arbeitsspindel können auch Taumelfehler
der Arbeitsspindel ausgeglichen werden. Ebenso wird es da
durch möglich, genauigkeitsbedingte, geometrische Abweichun
gen der Werkzeugmaschine sowie Fehler aufgrund der Nachgie
bigkeit der Maschinenstruktur auszugleichen.
Je nach Position des Massenmittelpunkts einer verfahrbaren
Bearbeitungseinheit, insbesondere ihrer Schlitteneinheit,
bei der Bearbeitung ändern sich die auf ihre Führung wirken
den Kräfte bzw. Belastung. Damit ergeben sich abhängig von
der jeweiligen Position des Schlittens Geometrieabweichun
gen. Schlimmstenfalls kann diese Belastung zu einem Abkippen
des Schlittens führen. Um auch solche von der Position des
Schlittens abhängigen, jeweils unterschiedlichen Kräfte aus
gleichen zu können, kann das mindestens eine piezoelektri
sche Stellelement erfindungsgemäß an der einem linearen
Freiheitsgrad zugeordneten Führung der Bearbeitungseinheit
bzw. des Werkstücktisches vorgesehen sein. So können bei
vertikalen Bearbeitungseinheiten, um z. B. Nachgiebigkeiten
ihres X-Schlittens auszugleichen, Stellelemente unter den
Führungsschuhen der Führungen montiert werden. Damit kann
die nicht konstante Steifigkeit des X-Schlittens in Abhän
gigkeit seiner jeweiligen Y-Position kompensiert werden.
Bei bevorzugten weiteren Ausführungsformen ist der Abstand
zwischen zwei Bearbeitungseinheiten, insbesondere zwischen
ihren Arbeitsspindeln, oder zwischen zwei Werkstücktischen
der Werkzeugmaschine über das mindestens eine piezoelektri
sche Stellelement veränderbar. Im einfachsten Fall ist das
Stellelement zwischen den beiden Arbeitsspindeln z. B. in ei
ner Trennfuge vorgesehen, um den Spindelabstand durch Auf
weiten der Trennfuge zu verstellen.
Auch Schwingungen der Werkzeugmaschine, die im allgemeinen
in einem Frequenzbereich von ca. 10-20 Hz liegen, können zu
Positionsungenauigkeiten und zu Verlagerungen führen. Daher
ist es von besonderem Vorteil, wenn mindestens ein die Bear
beitungseinheit bzw. den Werkstücktisch höhenverstellbar la
gerndes piezoelektrisches Element zur Kompensation solcher
Schwingungen (aktive Schwingungstilgung) vorgesehen ist. Da
zu wird die Bewegung der Werkzeugmaschine mit geeigneten
Schwingungsmeßelementen erfaßt, verrechnet und als Wegkom
pensationswerte an die Stellelemente gegeben.
Zur Ermittlung der Soll/Ist-Abweichung auf der Werkzeug-
oder Werkstückseite kann ein z. B. mechanischer, optischer,
kapazitiver oder induktiver Meßfühler vorgesehen sein, der
eine Verlagerung der Bearbeitungseinheit bzw. des Werkstück
tisches unmittelbar oder einen die Verlagerung bestimmenden
Parameter als Fühlgröße für das Ansteuern des mindestens ei
nen piezoelektrischen Stellelements erfaßt. Die erstgenann
ten Parameter eignen sich insbesondere für eine Regelung des
Stellelements, während es sich bei den zweitgenannten Para
metern um maschinen-, werkzeug- oder vorrichtungstypische
Parameter wie z. B. Temperatur oder Bearbeitungskraft usw.
handelt, deren Kennlinien bereits im Vorfeld ermittelt wer
den und dann zur Steuerung in die exakte Sollpositionen die
nen können. In einer vorteilhaften Weiterbildung kann als
Meßfühler das mindestens eine piezoelektrisches Element
selbst vorgesehen sein.
Bei einer dynamischen Positionskorrektur der Arbeitsspindel
während der Bearbeitung eines Werkstücks kann die Arbeits
spindel durch das Stellelement nicht nur räumlich verstellt,
sondern in dieser verstellten Position auch fortwährend ge
halten werden. Es ist aber auch möglich, die Arbeitsspindel
in ihrer durch das Stellelement räumlich verstellten Lage
durch eine separate Halteeinrichtung zu halten. Bei dieser
Halteeinrichtung kann es sich z. B. um Klemmelemente handeln,
die sich möglichst elektrisch ansteuern lassen. Insbesondere
können als Klemmelemente auch piezoelektrische Elemente ver
wendet werden.
Weitere Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der Be
schreibung und der Zeichnung. Ebenso können die vorstehend
genannten und die noch weiter aufgeführten Merkmale erfin
dungsgemäß jeweils einzeln für sich oder zu mehreren in be
liebigen Kombinationen Verwendung finden. Die gezeigten und
beschriebenen Ausführungsformen sind nicht als abschließende
Aufzählung zu verstehen, sondern haben vielmehr beispielhaf
ten Charakter für die Schilderung der Erfindung. Die Erfin
dung ist in den Figuren schematisch dargestellt, so daß die
wesentlichen Merkmale der Erfindung gut zu erkennen ist. Die
Darstellungen sind nicht notwendigerweise maßstäblich zu
verstehen.
Es zeigt:
Fig. 1 eine erste Ausführungsform einer erfindungsgemäßen
Werkzeugmaschine mit zwei vertikalen Bearbeitungs
einheiten in perspektivischer Ansicht;
Fig. 2 ein Ausführungsbeispiel einer horizontalen Arbeits
spindel einer erfindungsgemäßen Werkzeugmaschine,
wobei die Arbeitsspindel in Z-Richtung verschiebbar
gelagert ist;
Fig. 3 ein anderes Ausführungsbeispiel einer horizontalen
Arbeitsspindel einer erfindungsgemäßen Werkzeugma
schine, wobei die Arbeitsspindel radial zur Z-Rich
tung verschiebbar gelagert ist; und
Fig. 4 eine zweite Ausführungsform einer erfindungsgemäßen
Werkzeugmaschine in einer Seitenansicht.
Die in Fig. 1 gezeigte Werkzeugmaschine 1 umfaßt ein Maschi
nenuntergestell in Form eines Bodenträgers 2 sowie zwei Be
arbeitungseinheiten 3, deren vertikale Arbeitsspindeln 4
mittels einer Schlitteneinheit in X-, Y- und Z-Richtung ver
schiebbar geführt sind.
Dazu umfaßt die Schlitteneinheit einen X-Schlitten 5, der in
horizontalen Führungen 6 des Bodenträgers 2 in X-Richtung
verschiebbar geführt ist. Am X-Schlitten 5 sind horizontale
Führungen 7 für einen die beiden Bearbeitungseinheiten 3
tragenden Y-Schlitten 8 vorgesehen. Jede Bearbeitungseinheit
3 weist einen pinolenartigen Z-Schlitten (nicht dargestellt)
mit der Arbeitsspindel 4 auf, so daß diese auch in Z-Rich
tung verfahrbar ist.
Die beiden Bearbeitungseinheiten 3, die durch einen gemein
samen Gehäuseblock 9 gebildet sind, sind in X-Richtung durch
eine nach vorne offene Trennfuge 10 beabstandet, in der sich
oben und unten jeweils ein in X-Richtung wirkendes piezo
elektrisches Stellelemente 11 befindet. Durch entsprechende
elektrische Ansteuerung der Stellelemente 11 kann die Trenn
fuge 10 geweitet und so der Abstand ΔX zwischen beiden Ar
beitsspindeln 4 bzw. zwischen den darin befindlichen Werk
zeugen 12 geändert werden.
Die in Fig. 2 gezeigte Arbeitsspindel 20 ist von drei in
Z-Richtung wirkenden piezoelektrischen Stellelemente 21 um
geben, die in gleichen Winkelabständen um die Längsachse 22
der Arbeitsspindel 20 verteilt angeordnet sind. Die piezo
elektrischen Stellelemente 21 sind einenends an dem Lager 23
der Arbeitsspindel 20 angebracht und anderenends an dem pi
nolenartigen Z-Schlitten (nicht dargestellt) abgestützt. In
dem alle drei piezoelektrischen Stellelemente 21 für die
gleiche Längenänderung Δz elektrisch angesteuert werden,
läßt sich die Arbeitsspindel 20 bzw. ihr Werkzeug 24 ent
sprechend in Z-Richtung in ihrer Länge um den Betrag Δz ver
stellen. Bei unterschiedlicher Längen-Ansteuerung der drei
piezoelektrischen Stellelemente 21 läßt sich die Arbeits
spindel 20 bzw. das Werkzeug 24 aus ihrer ursprünglichen mit
22 bezeichneten Lage heraus beliebig verkippen.
Um die in Fig. 3 gezeigte Arbeitsspindel 30 sind außen am
Umfang ihres Lagers 31 vorne und hinten jeweils drei radial
zur Längsrichtung 32 der Arbeitsspindel 30 wirkende piezo
elektrische Stellelemente 33 angeordnet, die anderenends an
einem Gehäuse (nicht dargestellt) abgestützt sind. Jedes La
ger 31 ist durch seine drei, jeweils um 120 verteilt ange
ordneten piezoelektrischen Stellelemente 32 in einer
3-Punkt-Lagerung 34 gehalten. Durch entsprechende elektri
sche Längen-Ansteuerung aller piezoelektrischer Stellelemen
te 33 der beiden 3-Punkt-Lagerung 34 läßt sich die Arbeits
spindel 20 bzw. ihr Werkzeug 35 entweder aus der mit 32 be
zeichneten Lage um einen Betrag Δr parallel verschieben oder
aber verkippen. Durch die sphärische Verstellbarkeit können
z. B. Taumelfehler der Arbeitsspindel 30 ausgeglichen werden.
Bei der in Fig. 4 gezeigten Werkzeugmaschine 40 sind zwi
schen dem Bodenträger 41 und den Führungen 42 für die in
Fig. 1 beschriebene Schlitteneinheit sowie einem Werkstück
tisch 43 piezoelektrische Stellelemente 44 angeordnet, die
in Y-Richtung wirken. Auf dem Werkstücktisch 43 befinden
sich die mit dem Werkzeug 45 in der Arbeitsspindel 46 zu be
arbeitenden Werkstücke.
Durch entsprechend schnelle Längenansteuerung ΔY der Stell
elemente 44 läßt sich die Übertragung von Schwingungen des
Bodenträgers 41 auf das Werkzeug dämpfen bzw. eliminieren.
Je nach Position des Massenmittelpunkts des verfahrbaren
Schlitteneinheit ändern sich die auf die Führung 42 wirken
den Kräfte, die zu Geometrieabweichungen führen können. Mit
den unter den Führungen 42 vorgesehenen Stellelementen 44
können z. B. Nachgiebigkeiten der Schlitteneinheit ausgegli
chen und so die nicht konstante Steifigkeit der Schlitten
einheit in Abhängigkeit ihrer jeweiligen Position kompen
siert werden.
Bei einer Werkzeugmaschine (1) zur insbesondere spanenden
Bearbeitung von Werkstücken, mit einer Bearbeitungseinheit
(3) ist als Positionskorrektureinrichtung, insbesondere für
eine Arbeitsspindel (4) der Bearbeitungseinheit (3), minde
stens ein elektrisch angesteuertes piezoelektrisches Stell
element (11) vorgesehen. Bei einer festgestellten Positions
änderung kann die Bearbeitungseinheit schnell mechanisch in
ihre jeweilige Sollposition bewegt werden.
Claims (12)
1. Werkzeugmaschine (1; 40) zur insbesondere spanenden
Bearbeitung von Werkstücken, mit einer Bearbeitungs
einheit (3) und/oder einem Werkstücktisch (43) und mit
einer Positionskorrektureinrichtung für die Bearbei
tungseinheit (3) bzw. den Werkstücktisch (3),
dadurch gekennzeichnet,
daß als Positionskorrektureinrichtung, insbesondere
für eine Arbeitsspindel (4; 20; 30; 46) der Bearbei
tungseinheit (3), mindestens ein elektrisch angesteu
ertes piezoelektrisches Stellelement (11; 21; 33; 44)
vorgesehen ist.
2. Werkzeugmaschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich
net, daß die Wirkrichtung des mindestens einen piezo
elektrischen Stellelements (11; 21; 44) etwa in Rich
tung eines linearen Freiheitgrades (X-, Y-, Z-Rich
tung) der Bearbeitungseinheit (3) bzw. des Werkstück
tisches (43) verläuft.
3. Werkzeugmaschine nach Anspruch 2, dadurch gekennzeich
net, daß jedem linearen Freiheitsgrad (X-, Y-, Z-Rich
tung) der Bearbeitungseinheit (3) bzw. des Werkstück
tisches (43) jeweils mindestens ein piezoelektrisches
Stellelement (11; 21; 44) zugeordnet ist.
4. Werkzeugmaschine nach einem der vorhergehenden Ansprü
che, dadurch gekennzeichnet, daß die Wirkrichtung des
mindestens einen piezoelektrischen Stellelements (33)
etwa radial zu einem linearen Freiheitsgrad (X-, Y-,
Z-Richtung) der Bearbeitungseinheit (3) bzw. des Werk
stücktisches verläuft.
5. Werkzeugmaschine nach Anspruch 4, dadurch gekennzeich
net, daß die Bearbeitungseinheit bzw. der Werkstück
tisch über eine durch mindestens zwei, vorzugsweise
mindestens drei piezoelektrische Stellelemente (33)
gebildete Mehrpunkthalterung (34) räumlich verstellbar
gelagert ist.
6. Werkzeugmaschine nach Anspruch 5, dadurch gekennzeich
net, daß die Bearbeitungseinheit bzw. der Werkstück
tisch über mindestens zwei in Richtung des linearen
Freiheitsgrades (X-, Y-, z-Richtung) hintereinander
angeordnete Mehrpunkthalterungen (34) räumlich ver
stellbar gelagert ist.
7. Werkzeugmaschine nach einem der vorhergehenden Ansprü
che, dadurch gekennzeichnet, daß das mindestens eine
piezoelektrische Stellelement (44) an der einem linea
ren Freiheitsgrad (X-, Y-, Z-Richtung) zugeordneten
Führung (42) der Bearbeitungseinheit bzw. des Werk
stücktisches (43) vorgesehen ist.
8. Werkzeugmaschine nach einem der vorhergehenden Ansprü
che, dadurch gekennzeichnet, daß der Abstand zwischen
zwei Bearbeitungseinheiten (3), insbesondere zwischen
ihren Arbeitsspindeln (4), oder zwischen zwei Werk
stücktischen der Werkzeugmaschine über das mindestens
eine piezoelektrische Stellelement (11) veränderbar
ist.
9. Werkzeugmaschine nach einem der vorhergehenden Ansprü
che, gekennzeichnet durch mindestens ein die Bearbei
tungseinheit bzw. den Werkstücktisch (43) höhenver
stellbar lagerndes piezoelektrisches Stellelement (33;
44).
10. Werkzeugmaschine nach einem der vorhergehenden Ansprü
che, gekennzeichnet durch einen Meßfühler, der eine
Verlagerung der Bearbeitungseinheit (3) bzw. des Werk
stücktisches (43) unmittelbar oder einen die Verlage
rung bestimmenden Parameter als Fühlgröße für das An
steuern des mindestens einen piezoelektrischen Stell
elements (11; 21; 33; 44) erfaßt.
11. Werkzeugmaschine nach Anspruch 10, dadurch gekenn
zeichnet, daß als Sensor das mindestens eine piezo
elektrisches Stellelement (11; 21; 33; 44) selbst vor
gesehen ist.
12. Werkzeugmaschine nach einem der vorhergehenden Ansprü
che, dadurch gekennzeichnet, daß jedem piezoelektri
schen Stellelement (11; 21; 33; 44) eine Halteeinrich
tung zugeordnet ist, welche die Bearbeitungseinheit
(3) bzw. den Werkstücktisch (43) jeweils in der durch
das piezoelektrische Stellelement (11; 21; 33; 44)
vorgegebenen Lage hält.
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