DE19619103A1 - Maschinenausrichtungskompensationsvorrichtung mit Stellgliedern - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft allgemein eine Maschinenausrichtungskom­ pensationsvorrichtung mit Stellgliedern, und insbesondere eine Ausrichtungskompensationsvorrichtung mit Stellgliedern, die zwischen dem Werkzeugkopf und dem Rahmen einer Werkzeugmaschine angeordnet werden kann, um eine präzise Ausrichtung des Werk­ zeugkopfs aufrechtzuerhalten.

In vielen Maschinen, wie etwa Werkzeugmaschinen, ist ein Werk­ zeug zur Ausführung bestimmter Operationen beweglich an einem festen Rahmen befestigt. Um bestimmte Vorgänge, wie etwa das Schneiden eines Werkstücks, präzise ausführen zu können, ist es oft erforderlich, die Orientierung des Werkzeugs so gleichmäßig wie möglich zu halten. Es gibt jedoch Einflußgrößen, die die Positionierung oder Ausrichtung des Werkzeugs beeinflussen, wie z. B. Abnutzung von Maschinenkomponenten, die von dem Werkstück auf das Werkzeug ausgeübte Kraft, Kräfte aufgrund von Massenver­ schiebungen und Expansion oder Kontraktion von Maschinenteilen entweder durch lokale oder generelle Änderungen der Temperatur. Dadurch stellen sich insbesondere Probleme bei der Aufrechter­ haltung einer genauen Ausrichtung von Werkzeugkopf und Schneid­ werkzeug in einer typischen Werkzeugmaschine.

Bekannte Verfahren oder Vorrichtungen zur Aufrechterhaltung der Ausrichtung von Maschinenkomponenten beinhalten eine präzise Feinbearbeitung von Führungsflächen, wie etwa Schienen, Fein­ schleifen von Führungsflächen, Anbringen von Fixierungen und nicht-schrumpfendem Epoxy-Material, um Führungsflächen zu posi­ tionieren, und Einbau von redundanten Befestigungen und Verstre­ bungen in eine Struktur, um dadurch möglichst die gewünschten Ausrichtungen aufrechtzuerhalten. Diese Verfahren und Vorrich­ tungen zur Ausrichtung sind jedoch dauerhaft und können, sobald sie einmal eingebaut oder vorgenommen sind, nicht leicht ver­ ändert werden. Daher können durch Belastungen oder Abnutzung von Maschinenteilen verursachte Veränderungen immer noch sehr nach­ teilige Effekte auf die Ausrichtung des Werkzeugs haben. Daher bleiben nachteilige Effekte auf die Leistungsfähigkeit der Ma­ schine insgesamt weiterhin vorhanden.

Ferner können die mit diesen Verfahren verbundenen Herstellungs­ kosten schwer vorhersagbar sein. Wenn engere Toleranzen gefor­ dert werden, steigen die Kosten noch schneller an, was durch die notwendige Präzision bedingt ist, mit der die verschiedenen Maschinenkomponenten gebaut werden müssen. Sehr vorteilhaft wäre ein System, das eine solche präzise Herstellung der Maschinen­ komponenten nicht erfordern würde.

Andere Ansätze wurden unternommen, um die Probleme der Ausrich­ tung zu handhaben. In einigen Geräten werden Korrekturen in der Ausrichtung des Werkzeugs durch Einstellen der Maschinenschlit­ ten oder Führungsbahnen vorgenommen. In wenigstens einer Vor­ richtung werden Korrekturen dadurch vorgenommen, daß die Maschi­ nenstruktur durch thermische Expansion und Kontraktion defor­ miert wird. Diese Vorrichtung verwendet eine Vielzahl von Kühl­ rohren und Heizeinrichtungen, die um den Fußbereich der Maschine herum angebracht sind. Daher können unterschiedliche Bereiche des Maschinenfußes erwärmt oder gekühlt werden, um ein Verbiegen der Struktur und eine Wiederausrichtung des Werkzeugs zu errei- Einstellzeiten relativ lang sind. Außerdem wirkt die Ausrich­ tungssteuerung über die Struktur der Maschine, anstelle direkt auf den Werkzeugkopf einzuwirken, was Korrekturen der Ausrich­ tung komplizierter macht.

Es ist Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Maschinenaus­ richtungskompensationsvorrichtung mit Stellgliedern zu schaffen, die direkt auf die Werkzeugkopfanordnung der Maschine einwirkt, um die Position oder Orientierung des Werkzeugs schnell wieder einzustellen.

Zur Lösung dieser Aufgabe dient die Maschinenausrichtungskom­ pensationsvorrichtung mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1.

Erfindungsgemäß ist eine Maschinenausrichtungskompensationsvor­ richtung mit Stellgliedern zur Verwendung mit einer Werkzeug­ maschine von der Art, die ein Werkzeug bewegt, um eine Operation an einem Werkstück auszuführen, vorgesehen. Die Vorrichtung ist dazu ausgelegt, um eine präzise Ausrichtung des Werkzeugs auf­ rechtzuerhalten, und weist einen Rahmen und eine Maschinen­ schlittenaufbau auf, der so aufgebaut ist, um das Werkzeug ent­ lang einer gegebenen Achse zu positionieren. Eine Stellglieder­ anordnung ist zwischen dem Maschinenschlittenaufbau und dem Rahmen angeordnet. Die Stellgliederanordnung hat eine Mehrzahl von Stellgliedern, wobei jedes Stellglied an einer eindeutig be­ stimmten Position angeordnet ist. Durch unabhängiges Einstellen jedes einzelnen Stellgliedes können die Maschinenschlittenvor­ richtung und das Werkzeug wieder ausgerichtet werden.

In bevorzugten Ausführungsformen der Erfindung können die Stell­ glieder piezoelektrische Keramiken aufweisen. Alternativ können die Stellglieder Membran- oder Federplatten aufweisen, die mit dem Werkzeughalter zusammenarbeiten, um Hohlräume zur Aufnahme von unter Druck befindlichem Fluid zu bilden. Durch gezieltes unter Druck setzen der Hohlräume, werden die Federplatten dazu gezwungen, sich durchzubiegen und dadurch die Ausrichtung der Werkzeughalteanordnung wieder einzustellen.

Die Erfindung wird im folgenden anhand von Ausführungsbeispielen in den Zeichnungen näher beschrieben, in denen gleiche Bezugs­ zeichen gleiche Elemente bezeichnen und in denen:

Fig. 1 eine schematische Darstellung der Maschinenausrich­ tungskompensationsvorrichtung mit Stellgliedern gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung zeigt;

Fig. 2 eine Aufsicht einer Ausführungsform der Maschinenaus­ richtungskompensationsvorrichtung mit Stellgliedern, die Federplatten einsetzen, gemäß einer Ausführungsform der Erfindung zeigt;

Fig. 3 eine Teilschnittansicht von oben der in Fig. 2 darge­ stellten Ausführungsform ist;

Fig. 4 eine Querschnittsansicht ist, die eine der Federplatten verbunden mit der Maschinenschlittenanordnung zeigt; und

Fig. 5 eine Innenansicht einer Federplatte zeigt, die in Ver­ bindung mit einer Ausführungsform der Erfindung ver­ wendet wird.

In Fig. 1 ist eine Maschinenausrichtungskompensationsvor­ richtung 10 gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der vorlie­ genden Erfindung dargestellt, die eine Werkzeugmaschine von der Art aufweist, die dazu ausgelegt ist, ein Werkzeug 14 zum Aus­ führen von Arbeitsschritten an einem Werkstück 16 zu bewegen. In der dargestellten Ausführungsform ist ein Werkstück 16 auf einer Werkstückauflage 18 gehalten und ein Werkzeug 14 ist entlang einer bevorzugten oder gewünschten Achse 20 ausgerichtet, die im Raum feststehend ist. Das dargestellte Werkzeug 14 dient zur Formung des Werkstücks 16, aber es könnte im Rahmen der vorlie­ genden Erfindung eine große Vielfalt von Werkzeugen eingesetzt werden. Zum Beispiel kann das Werkzeug 14 spanende Schneider, rotierende Schneider, wie etwa Bohrer oder Fräser, oder Sonden zum Messen bestimmter Parameter des Werkstücks 16 umfassen.

Die Werkzeugmaschine 12 weist einen Rahmen 22 auf, der wiederum wenigstens eine Bezugsfläche oder Schiene 24 enthalten kann. Vorzugsweise weist der Rahmen 22 ein Paar von Führungsbahnen oder Schienen 24 auf.

Ein Maschinenschlittenaufbau 26 ist beweglich an dem Rahmen 22 angebracht und ist, in der dargestellten Ausführungsform, gleit­ fähig entlang der Schienen 24 angebracht. Der Maschinenschlit­ tenaufbau 26 und die Schienen 24 könnten jedoch in einer Viel­ zahl von Ausrichtungen entlang verschiedener Achsen aufgebaut sein. Der Maschinenschlittenaufbau 26 kann einen Werkzeughalter 28, wie den dargestellten Konsolträger oder eine rotierende Spindel, aufweisen, oder der Maschinenschlittenaufbau 26 kann so ausgestaltet sein, um daß Werkstück 16 oder die Werkstückauflage 18 in Anbringung daran aufzunehmen. Der Maschinenschlittenaufbau 26 kann ferner einen Träger 30 enthalten, an den der Werkzeug­ halter 28 befestigt ist.

Eine Stellgliederanordnung 32 enthält eine Mehrzahl von Stell­ gliedern 34, von denen jedes zwischen dem Maschinenschlitten­ aufbau 26 und dem Rahmen 22 wirkend angeordnet ist, z. B. zwi­ schen den Führungsbahnen 24 und dem Träger 30. Jedes Stellglied 34 ist an einer eindeutig bestimmten Position angeordnet und kann unabhängig eingestellt werden, um den Maschinenschlitten­ aufbau 26, und daher das Werkzeug 14, in bezug auf die gewünsch­ te Achse 20 und das Werkstück 16 wieder auszurichten. Die Stell­ glieder 34 und der Maschinenschlittenaufbau 26 könnten auch zwischen dem Rahmen und dem Werkstück 16 eingebaut sein, um das Werkstück in bezug auf die Achse 20 und das Werkzeug 14 einzu­ stellen.

Die Stellglieder 34 können in verschiedener Arten aufgebaut sein, die die Bewirkung von lateralen Bewegungen in bezug auf den Rahmen 22 ermöglichen. Die Stellglieder können z. B. piezo­ elektrische Keramiken, wie z. B. die von der EDO Corporation hergestellten, Federplattenanordnungen 36, wie in den nachfol­ genden Figuren darstellt, oder anderweitige Betätigungseinrich­ tungen aufweisen.

Die Stellglieder 34 werden vorzugsweise durch eine numerische Computersteuereinheit 38 der Werkzeugmaschine 12 gesteuert, die zum Einstellen der Stellglieder programmiert sein kann, um eine Vielzahl von Winkelabweichungen zu kompensieren, die durch äuße­ re Effekte, wie etwa Abnutzung von Komponenten, thermische Ver­ formungen und gegen das Werkzeug 14 wirkende Kräfte, erzeugt werden. Es könnten aber auch andere Steuereinheiten verwendet werden, wie sie Fachleuten bekannt sind.

Abhängig von den Abweichungstypen, die die Werkzeugmaschinen­ ausrichtungskompensationsvorrichtung 10 korrigieren soll, kann die Steuereinheit 38 mit geeigneten Steueralgorithmen program­ miert sein, um, wie es einem Fachmann bekannt ist, die Ausrich­ tungsabweichungen zu kompensieren. Zum Beispiel könnte die Steu­ ereinheit 38 so programmiert sein, um die Stellglieder 34 auf Grundlage von zuvor gemessenen Maschinenausrichtungsbedingungen für eine gegebene Werkzeugposition einzustellen, oder auf Grund­ lage von geeigneten Sensoren (nicht gezeigt), wobei während des Prozesses ein Regelkreis für die Ausrichtungsvorrichtung er­ reicht werden kann. Die vorliegende Erfindung ist nicht auf irgendeinen bestimmten Steueralgorithmus beschränkt, und die Steuereinheit 38 könnte mit einer Vielzahl von Steueralgorithmen programmiert sein, abhängig von der gewünschten Abweichungskor­ rektur für einen bestimmten Maschinentyp oder eine bestimmte Anwendung des Werkzeugs 14.

In der dargestellten Ausführungsform, in der die Stellglieder 34 Federplattenanordnungen 36 aufweisen, ist wenigstens ein druck­ reduzierendes Ventil 40, wie etwa das von der Rexroth Corpora­ tion hergestellte Ventil DRE4K in Fluidverbindung mit den Feder­ plattenanordnungen angeschlossen. Vorzugsweise ist ein druck­ reduzierendes Ventil 40 an jede entsprechende Federplattenanord­ nung 36 angeschlossen. Die Ventile 40 sind vorzugsweise mit einer Ventilbetriebseinrichtung 42 verbunden, wie etwa der MDSD1 Ventilbetriebseinrichtung hergestellt von der Rexroth Corpora­ tion. In der bevorzugten Ausführungsform sind vier Stellglieder 34 mit vier entsprechenden Ventilen 40 verbunden, die wiederum mit einer Ventilbetriebseinrichtung 42 verbunden sind. Die Ven­ tilbetriebseinrichtungen 42 werden von einer Steuereinheit 38 gesteuert.

In den Fig. 2 bis 5 ist eine spezielle Ausführungsform der Erfindung, die Federplattenanordnungen 36 einsetzt, detaillier­ ter dargestellt. In dieser Ausführungsform weist der Träger 30 eine Platte 44 mit vertieften Abschnitten 46 in der Rückfläche 48 auf (siehe Fig. 2 und 3). Jede Federplattenanordnung 36 enthält eine Federplatte 50 mit einem inneren Hohlraum 52. Jede Federplatte 50 ist an der Rückfläche 48 innerhalb eines vertief­ ten Abschnitts 46 angebracht, um den Hohlraum 52 zwischen der Rückfläche 48 und der Federplatte 50, wie in Fig. 4 darge­ stellt, abzuschließen.

Vorzugsweise ist die Federplatte 50 an der Platte 44 mit einer Mehrzahl von Befestigungsmitteln 54, beispielsweise Bolzen, angebracht, die sich durch die Platte 44 hindurch erstrecken und in entsprechende Gewindeöffnungen 56 der Federplatte 50 einge­ schraubt sind. Eine Dichtung (nicht gezeigt), z. B. ein elasti­ scher O-Ring, ist zwischen der Federplatte 50 und der Rückfläche 48 angeordnet, um eine luftdichte Abdichtung des Hohlraums 52 zu erreichen. Wie in Fig. 5 dargestellt, kann die Federplatte 50 eine Nut 57 aufweisen, die so geformt ist, um den elastischen O- Ring in der richtigen Position festzuhalten. Ferner kann jede Federplatte 50 durch eine Halteplatte 58 weiter befestigt sein, die mit Bolzen an den Seiten der Platte 44 angebracht ist, wie in den Fig. 3 und 4 dargestellt.

Wie am besten in Fig. 4 und 5 dargestellt, enthält die bevor­ zugte Ausführungsform der Federplatte 50 eine Hohlraumplatte 60, in der ein Hohlraum 52 gebildet ist, und eine Bestigungsplatte 62 gegenüber des Hohlraums 52. Die Hohlraumplatte 60 und die Befestigungsplatte 62 sind untereinander durch einen Abschnitt mit verminderter Querschnittsfläche 64 verbunden. Der Hohlraum 52 weist vertiefte Kanäle 66, die in der Hohlraumplatte 60 ge­ bildet sind, und Auflager 67 auf, die zwischen den Kanälen 66 liegen, um an der Rückfläche 48 anzuliegen und wirksam jede weitere Kompression des Hohlraums 52 infolge einer Druckbela­ stung des Maschinenschlittenaufbaus 26 zu verhindern.

Die Befestigungsplatte 62 andererseits ist dazu ausgestaltet, um fest an einem Schienenwagen 68 befestigt zu sein, der beweglich an den Rahmen 22 angebracht und insbesondere an einer entspre­ chenden Schiene 24 angebracht ist. Die Befestigungsplatte 62 und der Schienenwagen 68 sind durch geeignete Befestigungsmechanis­ men fest miteinander verbunden, beispielsweise durch Bolzen oder andere Bestigungsmittel.

Da die Federplatten 50 die Verbindungen zwischen den Führungs­ bahnwagen 68 und der Werkzeughalterung 30 sind, müßten sie aus einem steifen Material hergestellt sein. Vorzugsweise sind die Federplatten 50 aus Stahl hergestellt, beispielsweise aus 4140HR Stahl.

In der dargestellten Ausführungsform sind zwei Schienen 24 vor­ handen, die jeweils ein Paar von Nuten 70 in ihren Seitenflächen haben. Zwei Schienenwagen 68 sind über ein Paar von Flanschen 72, die passend in die Nuten 70, wie in Fig. 4 dargestellt eingreifen, gleitfähig an jeder Schiene angebracht. Mithin kön­ nen die Schienenwagen 68 und der daran befestigte Maschinen­ schlittenaufbau 26 durch einen Antriebsmechanismus 74, wie etwa den in Fig. 3 dargestellten Kugelumlaufspindelantrieb, entlang der Schienen 24 bewegt werden.

In der bevorzugten Ausführungsform ist jedes Ventil 40 an einer Platte 44 befestigt und kommuniziert mit seinem zugehörigen Hohlraum 52 über einen Fluiddurchgang 76 mit einer Einlaßöffnung 77. Die Einlaßöffnung 77 kann fest oder einstellbar sein, um eine geeignete Dämpfung durch Drosselung des Fluidstroms durch die Öffnung zu erreichen, wenn der Maschinenschlittenaufbau 26 unter Last ist. Die Ventile 40 und die Federplattenanordnungen 36 können zur Verwendung mit einer Vielzahl von Fluiden ausge­ staltet sein, einschließlich von Flüssigkeiten oder Gasen, aber sind in typischen Fällen zur Verwendung mit Öl unter Druck aus­ gelegt. Jedes Ventil 40 enthält einen Fluideinlaß 78 und einen Fluidausgang 80. Die Fluideinlässe 78 sind mit einer Hochdruck­ ölquelle (nicht gezeigt) verbunden und der Eintritt und Austritt von Fluid wird durch die Steuereinheit 38 und die Ventilbe­ triebseinrichtungen 42 gesteuert.

Geeignete Meßeinrichtungen 82, wie etwa lineare Meßwertgeber, können dazu verwendet werden, um die Bewegung des Maschinen­ schlittenaufbaus 26 entlang der Maschine 24 zu messen. Es ist auch zu bemerken, daß die Fig. 2 und 3 eine Werkzeughalteran­ bringung 84, aber nicht tatsächlich den Werkzeughalter 28 zei­ gen.

Daher kann der Träger 30 der Werkzeugmaschine 12 auswählbar so orientiert werden, um die richtige Ausrichtung des Werkzeugs 14 entlang einer vorgegebenen gewünschten Achse, wie etwa Achse 20 aufrechtzuerhalten. Diese Ausrichtung wird erreicht, indem die Stellgliedanordnung 32 zwischen dem Rahmen 33 und dem Maschinen­ schlittenaufbau 26 angeordnet wird. Die individuellen Stellglie­ der 34 sind an bestimmten Positionen zwischen dem Rahmen und dem Träger 30 wirkend angeordnet. Durch selektive Steuerung des Drucks und daher der Ausdehnung der individuellen Stellglieder (z. B. durch Biegen von ausgewählten Federplatten 50) kann der Maschinenschlittenaufbau in bezug auf den Rahmen 22 wieder aus­ gerichtet werden. Daher wird das Werkzeug 14 wieder richtig in bezug auf die gewünschte Achse 20 und/oder das Werkstück 16 ausgerichtet. Vorzugsweise sind vier Stellglieder an vier be­ stimmten Positionen angeordnet, aber diese Zahl könnte abhängig von der speziellen Anwendung erhöht oder erniedrigt werden.

Es ist zu bemerken, daß die vorhergehende Beschreibung eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung darstellt, daß die Erfindung aber nicht auf die spezielle dargestellten Darstel­ lungsformen beschränkt ist. Zum Beispiel könnte die Vorrichtung in eine Vielzahl von Maschinen, mit oder ohne Schienen, einge­ baut werden, eine Vielzahl von Stellgliedern könnte verwendet werden, solange die Ausdehnung und Zusammenziehung jedes Stell­ glieds unabhängig gesteuert werden kann, eine Vielzahl von Steu­ ervorrichtungen und Steueralgorithmen können in Verbindung mit der Erfindung verwendet werden, eine Vielzahl von Werkzeugen und Werkzeughaltern können eingesetzt werden, und eine Vielzahl von unterschiedlichen Materialien kann in den Federplatten verwendet werden. Diese und andere Abwandlungen in der Gestaltung und im Aufbau der Elemente können vorgenommen werden, ohne von dem Umfang der Erfindung wie in den nachfolgenden Ansprüchen defi­ niert, abzuweichen.

Claims (10)

1. Maschinenausrichtungskompensationsvorrichtung mit Stellglie­ dern zum Ausrichten eines Werkzeugkopfes einer Werkzeugma­ schine (12) mit:
einem Rahmen (22) mit wenigstens einer Schiene (24);
einem Maschinenschlittenaufbau (26), der gleitfähig auf die Schiene (24) aufgesetzt ist, wobei der Maschinenschlitten­ aufbau (26) einen Werkzeughalter (28) aufweist, der zur Aufnahme eines Werkzeugs (12) entlang einer gewünschten Achse (20) gestaltet ist; und
einer Mehrzahl von Stellgliedern (34), die zwischen der Schiene (24) und dem Maschinenschlittenaufbau (26) angeord­ net sind, wobei jedes Stellglied (34) an einer bestimmten Position angeordnet ist, wobei durch Betätigung von ausge­ wählten Stellgliedern (34) der Maschinenschlittenaufbau (26) verschwenkbar ist, um das Werkzeug (12) wieder auf die ge­ wünschte Achse (20) auszurichten.

2. Maschinenausrichtungskompensationsvorrichtung nach Anspruch 1, wobei die Mehrzahl von Stellgliedern (34) wenigstens vier Stellglieder (34) enthält.

3. Maschinenausrichtungskompensationsvorrichtung nach Anspruch 2, wobei jedes Stellglied (34) eine Federplatte (50), die einen Hohlraum (52) abschließt, enthält, wobei jede Feder­ platte (50) hinreichend flexibel ist, um den Werkzeugkopf (30) an dieser bestimmten Position weg von der Schiene (24) zu bewegen, wenn der Hohlraum (52) genügend unter Druck gesetzt wird.

4. Maschinenausrichtungskompensationsvorrichtung nach Anspruch 3, die ferner eine Mehrzahl von druckreduzierenden Ventilen (40) aufweist, wobei jedes druckreduzierende Ventil (40) mit wenigstens einer der Federplatten (50) zusammenarbeitet, um den Fluiddruck in den Hohlräumen (52) zu steuern.

5. Maschinenausrichtungskompensationsvorrichtung nach Anspruch 4, wobei eine Steuervorrichtung (38) funktionsmäßig mit der Mehrzahl von druckreduzierenden Ventilen (40) verbunden ist, um selektiv den Eintritt und den Austritt von Fluid aus den Hohlräumen (52) zu steuern, um dadurch die Einstellbarkeit der Ausrichtung des Maschinenschlittenaufbaus zu erlauben.

6. Maschinenausrichtungskompensationsvorrichtung nach Anspruch 4, bei der vier Federplatten (50) und vier druckreduzierende Ventile (40) vorhanden sind, wobei jedes druckreduzierende Ventil (40) mit einer der vier Federplatten (50) zusammen­ arbeitet, wobei jede Federplatte (50) eine Stahlplatte (62) aufweist, die sich durchbiegt, wenn der Hohlraum genügend unter Druck gesetzt wird.

7. Maschinenausrichtungskompensationsvorrichtung Anspruch 4, bei der ein Paar von Schienen (24) vorhanden ist, wobei jede Schiene (24) einen seitlichen Kanal (70) aufweist, wobei jede Stahlplatte (62) fest mit einem Schienenwagen (68) verbunden ist, der einen Flansch (72) aufweist, der so ge­ formt ist, um gleitfähig in den Seitenkanal (70) der Schie­ nen (24) einzugreifen.

8. Verfahren zum Orientieren eines Maschinenschlittenaufbaus einer Werkzeugmaschine in bezug auf einen Rahmen (22) der Werkzeugmaschine (14), um die richtige Ausrichtung eines Werkzeugs auf ein Werkstück aufrechtzuerhalten, mit den Schritten:
Anbringen einer Stellgliedervorrichtung (32) zwischen dem Rahmen (22) und dem Maschinenschlittenaufbau (10);
Plazieren einzelner Stellglieder (34) an bestimmten Posi­ tionen zwischen dem Rahmen (22) und dem Maschinenschlitten­ aufbau (10); und
Selektives Steuern der Ausdehnung der einzelnen Stellglieder (34), um den Maschinenschlittenaufbau (10) in bezug auf den Rahmen (22) wieder auszurichten.

9. Verfahren nach Anspruch 8, bei dem wenigstens vier Stell­ glieder (34) an bestimmten Positionen plaziert werden.

10. Verfahren nach Anspruch 9, bei dem jedes Stellglied mit einer Stahlfederplatte hergestellt wird, die unter ausrei­ chendem Druck expandiert.