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DE112019005363T5 - Vakuumbearbeitungsvorrichtung - Google Patents

Vakuumbearbeitungsvorrichtung Download PDF

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DE112019005363T5
DE112019005363T5 DE112019005363.9T DE112019005363T DE112019005363T5 DE 112019005363 T5 DE112019005363 T5 DE 112019005363T5 DE 112019005363 T DE112019005363 T DE 112019005363T DE 112019005363 T5 DE112019005363 T5 DE 112019005363T5
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Germany
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conveying
substrate holder
drive
unit
conveyor
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DE112019005363.9T
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Dai Takagi
Yuu Maizushima
Toshiyuki Koizumi
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Ulvac Inc
Original Assignee
Ulvac Inc
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Abstract

Die vorliegende Erfindung stellt eine Technologie zur Verfügung, die in der Lage ist, in einer Vakuumbearbeitungsvorrichtung, die eine Vielzahl von Substrathaltern entlang eines Förderweges befördert, der so geformt ist, dass er eine hervorstehende Form auf einer vertikalen Oberfläche aufweist, wobei die hervorstehende Form eine kontinuierliche Ringform ist, Staub davon abzuhalten, während der Beförderung eines Substrathalters erzeugt zu werden. Die vorliegende Erfindung umfasst in einer Vakuumkammer (2) ein Durchhängungs-Verhinderungselement (35), das an einer ersten Antriebseinheit (36) montiert ist, die an einer Außenseite in Bezug auf eine Förderrichtung des Förderweges vorgesehen ist, wobei die Vakuumkammer (2) einen Förderweg umfasst, der so ausgebildet ist, dass er eine projizierte Form auf der vertikalen Oberfläche hat, wobei die projizierte Form eine kontinuierliche Ringform ist, wobei in der Vakuumkammer (2) eine einzige Vakuumatmosphäre ausgebildet ist. Eine Laufrolle 54 des Durchhängungs-Verhinderungselement (35) bewegt sich, während sie von einer Führungseinheit (17) geführt und gestützt wird, die unterhalb eines rückwegseitigen Förderabschnitts (33c) vorgesehen ist, der an einer unteren Seite eines Substrathalter-Fördermechanismus (3) positioniert ist und sich in einer zweiten Förderrichtung (P2) erstreckt, und der erste Antriebsteil (36) ist so ausgebildet, dass er mit einer ersten angetriebenen Einheit (12) eines Substrathalters (11) in Kontakt kommt und den Substrathalter (11) entlang des Förderwegs in der zweiten Förderrichtung (P2) antreibt.

Description

  • Technischer Bereich
  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Technologie einer VakuumBearbeitungsvorrichtung, die eine Vakuumbearbeitung durchführt, zum Beispiel durch Abscheidung auf beiden Oberflächen eines Substrats, das von einem Substrathalter in einem Vakuum gehalten wird.
  • Stand der Technik
  • Aus dem allgemeinen Stand der Technik ist eine Vakuumbearbeitungsvorrichtung bekannt, bei der eine Vielzahl von zu bearbeitenden Substraten auf einem Substrathalter, zum Beispiel einem Tablett, angeordnet werden und die Bearbeitung zum Beispiel durch Abscheidung darauf erfolgt. In jüngster Zeit wurde auch eine Vakuumbearbeitungsvorrichtung mit einer ringförmigen Förderstrecke vorgeschlagen.
  • 22 ist ein schematisches Schaubild, das den Aufbau einer kompletten Vakuumbearbeitungsvorrichtung gemäß einer bekannten Technologie zeigt. Wie in 22 dargestellt, umfasst diese Vakuumbearbeitungsvorrichtung 101 eine Vakuumkammer 102, die mit einer Vakuum-Absaugvorrichtung 101a verbunden ist, wobei in der Vakuumkammer 102 eine einzige Vakuumatmosphäre gebildet wird.
  • Innerhalb der Vakuumkammer 102 ist ein Substrathalter-Fördermechanismus 103 vorgesehen, der eine Vielzahl von Substrathaltern 111, die jeweils ein Substrat (nicht dargestellt) halten, kontinuierlich entlang eines Förderweges transportiert.
  • Dabei sind in dem Substrathalter-Fördermechanismus 103 Strukturkörper, in denen eine Reihe von Förderantriebselementen 133 über ein Paar von Antriebsrädern 131 und 132, die in einem vorbestimmten Abstand angeordnet sind, überbrückt bzw. miteinander verbunden sind, während deren Drehachsen parallel zueinander sind, in einem bestimmten Abstand parallel zueinander angeordnet, wodurch ein Förderweg gebildet wird, der in Bezug auf die vertikale Oberfläche eine kontinuierliche Ringform aufweist.
  • Der Substrathalter-Fördermechanismus 103 ist mit einem Substrathalter-Einführungsabschnitt 130A, der den Substrathalter 111 einführt, einem Förder-Wendeabschnitt 130B, der den Substrathalter 111 dreht und transportiert, und einem Substrathalter-Entladeabschnitt 130C, der den Substrathalter 111 entlädt, versehen.
  • In der Vakuumkammer 102 ist ein erster Bearbeitungsbereich 104 oberhalb des Substrathalter-Fördermechanismus 103 und ein zweiter Bearbeitungsbereich 105 unterhalb des Substrathalter-Fördermechanismus 103 vorgesehen. Ein ausgangsseitiger Förderabschnitt 133a auf der Oberseite des Förderantriebselements 133 ist so ausgebildet, dass er den ersten Bearbeitungsbereich 104 linear entlang einer ersten Förderrichtung P1 durchläuft, und ein rückwegseitiger Förderabschnitt 133c auf der Unterseite ist so ausgebildet, dass er den zweiten Bearbeitungsbereich 105 linear entlang einer zweiten Förderrichtung P2 durchläuft.
  • Anschließend ist ein Richtungsänderungsmechanismus 140 in der Nähe des Förderwendeabschnitts 130B des Substrathalter-Fördermechanismus 103 vorgesehen, wobei der Richtungsänderungsmechanismus 140 den Substrathalter 111 aus der ersten Förderrichtung P1 in die zweite Förderrichtung P2 dreht, während die vertikale Beziehung beibehalten wird.
  • Des Weiteren ist in der Vakuumkammer 102 an einer Position neben dem Antriebsrad 131 des Substrathalter-Fördermechanismus 103 ein Substrat-Ein-/Austragsmechanismus 106 vorgesehen.
  • Dieser Substrat-Ein-/Austragsmechanismus 106 weist einen Stützabschnitt 162 auf, der an einem Spitzenabschnitt (oberes Ende) einer Antriebsstange 161 vorgesehen ist, die von einem Hebemechanismus 160 in der vertikalen (Auf- und Ab-) Richtung angetrieben wird, und stützt den oben erwähnten Substrathalter 111 auf einem Transportroboter 164, der an diesem Stützabschnitt 162 vorgesehen ist, um zu bewirken, dass sich der oben erwähnte Substrathalter 111 in der vertikalen (Auf- und Ab-) Richtung bewegt.
  • Danach wird der Transportroboter 164 verwendet, um den Substrathalter 111 von dem Substrat-Ein-/Austragsmechanismus 106 zu dem Substrathalter-Einführungsabschnitt 130A des Substrathalterfördermechanismus 103 zu liefern und um den Substrathalter 111, der von dem Substrathalterausschleusungsabschnitt 130C des Substrathalterfördermechanismus 103 entladen wird, mittels des Substrat-Ein-/Austragsmechanismus 106 aufzunehmen.
  • 23 ist ein schematisches Schaubild, das einen bestehenden Substrathalter-Fördermechanismus zeigt. Wie in 23 dargestellt, ist das Paar von Förderantriebselementen 133 des Substrathalter-Fördermechanismus 103 auf eine solche Art und Weise mit einer Vielzahl von ersten Antriebseinheiten 136 in bestimmten Abständen versehen, dass die Vielzahl von ersten Antriebseinheiten 136 in Bezug auf die Förderrichtung des ringförmigen Förderantriebselements 133 zu der Außenseite hin vorsteht (im Folgenden als „Förderrichtung-Außenseite“ bezeichnet).
  • Die erste Antriebseinheit 136 ist beispielsweise in einer J-Hakenform ausgebildet (eine Form, in der ein Nutabschnitt so ausgebildet ist, dass die Höhe eines vorstehenden Abschnitts 136b auf der stromaufwärts gelegenen Seite der Förderrichtung höher ist als die Höhe eines vorstehenden Abschnitts 136a auf der stromabwärts gelegenen Seite der Förderrichtung) und ist dafür vorgesehen, mit einer ersten angetriebenen Einheit 112 des Substrathalters 111, die von einem Substrathalter Tragmechanismus 118 getragen wird, in Kontakt zu stehen, um den Substrathalter 111 in der ersten oder zweiten Förderrichtung P1 oder P2 anzutreiben.
  • Eine lineare Führungseinheit 117, die ein Durchhängen des rückwegseitigen Förderabschnitts 133c verhindert und den rückwegseitigen Förderabschnitt 133c führt, ist unterhalb des rückwegseitigen Förderabschnitts 133c dieses Förderantriebselements 133 vorgesehen, und der Spitzenabschnitt (unterer Endabschnitt) des vorstehenden Abschnitts 136b der ersten Antriebseinheit 136 auf der stromaufwärts gelegenen Seite der Förderrichtung bewegt sich, während er in Kontakt mit der Führungseinheit 117 ist, wodurch ein Durchhängen des rückwegseitigen Förderabschnitts 133c verhindert wird.
  • Bei der bekannten Technologie besteht jedoch das Problem, dass der Spitzenabschnitt des vorstehenden Abschnitts 136b der ersten Antriebseinheit 136 auf der stromaufwärts gelegenen Seite der Förderrichtung mit der Führungseinheit 117 in Kontakt ist und Staub erzeugt, was die Vakuumbearbeitung beeinträchtigt.
  • Darüber hinaus bestand ein Bedürfnis, die Zeit zu verkürzen, die benötigt wird, um den Substrathalter 111, der von dem Substrathalter-Entladeabschnitt 130C des Substrathalter-Fördermechanismus 103 zu dem Substrat-Ein-/Austragsmechanismus 106 entladen wird, zu liefern.
  • Zitierungsliste
  • Patentliteratur
  • Patentliteratur 1: Japanische veröffentlichte Patentanmeldung Nr. 2007 -031821
  • Offenlegung der Erfindung
  • Technisches Problem
  • Die vorliegende Erfindung wurde im Hinblick auf das oben erwähnte Problem des Standes der Technik gemacht, und es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Technologie bereitzustellen, die in der Lage ist, in einer Vakuumbearbeitungsvorrichtung, die eine Vielzahl von Substrathaltern entlang eines Förderweges transportiert, der so ausgebildet ist, dass er eine projizierte Form auf einer vertikalen Oberfläche hat, wobei die projizierte Form eine kontinuierliche Ringform ist, zu verhindern, dass während des Transports eines Substrathalters Staub erzeugt wird.
  • Ein weiteres Ziel der vorliegenden Erfindung ist es, eine Technologie bereitzustellen, die in der Lage ist, die Zeit zu verkürzen, die benötigt wird, um einen Substrathalter, der von einem Substrathalter-Entladeabschnitt eines Substrathalter-Fördermechanismus entladen wird, an einen Substrat-Ein-/Austragsmechanismus zu liefern.
  • Lösung des Problems
  • Die vorliegende Erfindung, die gemacht wurde, um die oben genannte Aufgabe zu lösen, ist Vakuumbearbeitungsvorrichtung, welche Folgendes aufweist, wobei eine einzelne Vakuumatmosphäre in der Vakuumkammer gebildet ist; erste und zweite Bearbeitungsbereiche, die in der Vakuumkammer vorgesehen sind, wobei auf einem Substrat, das von einem Substrathalter gehalten ist, in den ersten und zweiten Bearbeitungsbereichen eine Vakuumbearbeitung durchgeführt wird; einen Substrathalter-Fördermechanismus, der eine Vielzahl der Substrathalter, welche erste und zweite angetriebene Einheiten aufweist, entlang des Förderwegs fördert, wobei der Förderweg einen ersten Förderabschnitt zum Fördern des eingeführten Substrathalters in einer ersten Förderrichtung entlang des Förderwegs, während sich der eingeführte Substrathalter in der Horizontalen befindet, einen zweiten Förderabschnitt zum Fördern des Substrathalters entlang des Förderwegs in einer zweiten Förderrichtung entgegengesetzt zu der ersten Förderrichtung, während sich der Substrathalter in der Horizontalen befindet, und zum Ausgeben des Substrathalters, und einen Förderwendeabschnitt zum Drehen und Fördern des Substrathalters von dem ersten Förderabschnitt zu dem zweiten Förderabschnitt aufweist, wobei der erste Förderabschnitt dafür vorgesehen ist, durch eine der ersten und zweiten Bearbeitungsbereiche durchzulaufen, wobei der zweite Förderabschnitt dafür vorgesehen ist, durch den anderen der ersten und zweiten Bearbeitungsbereiche durchzulaufen, wobei der Substrathalter-Fördermechanismus eine Vielzahl von ersten Antriebseinheiten auf einer äußeren Seite bezüglich einer Förderrichtung des Förderwegs aufweist, wobei die Vielzahl von ersten Antriebseinheiten in Kontakt mit einer ersten angetriebenen Einheit des Substrathalters ist, um den Substrathalter entlang des Förderwegs anzutreiben, wobei ein Richtungsänderungsmechanismus, der eine Vielzahl von zweiten Antriebseinheiten und einen ersten und einen zweiten Richtungsänderungsweg aufweist, in der Nähe des Förderwendeabschnitts des Förderwegs vorgesehen ist, wobei die Vielzahl von zweiten Antriebseinheiten in Kontakt mit der zweiten angetriebenen Einheit des Substrathalters ist, um den Substrathalter in den ersten und zweiten Förderrichtungen anzutreiben, wobei die ersten und zweiten Richtungsänderungswege dafür vorgesehen sind, die ersten und zweiten angetriebenen Einheiten des Substrathalters jeweils zu führen und zu fördern, um den Substrathalter von der ersten Förderrichtung in die zweite Förderrichtung zu drehen, wobei der Substrathalter von dem ersten Förderabschnitt des Förderwegs zu dem zweiten Förderabschnitt des Förderwegs transportiert wird, während eine vertikale Beziehung des Substrathalters durch Betreiben der ersten Antriebseinheit des Substrathalter-Fördermechanismus und der zweiten Antriebseinheit des Richtungsänderungsmechanismus synchron miteinander und durch jeweiliges Führen und Fördern der ersten und zweiten angetriebenen Einheiten des Substrathalters entlang der ersten und zweiten Richtungsänderungswege des Richtungsänderungsmechanismus beibehalten wird, wobei ein Durchhängungs-Verhinderungselement, das dafür vorgesehen ist, an der ersten Antriebseinheit des Substrathalter-Fördermechanismus montiert zu werden, eine Laufrolle in einem Teil einer äußeren Seite bezüglich der Förderrichtung aufweist, wobei die Laufrolle um eine Rotationsachse drehbar ist, die sich in einer Richtung senkrecht zu der Förderrichtung erstreckt, und das verhindert, dass ein Förderantriebselement, welches den zweiten Förderabschnitt des Förderwegs bildet, durchhängt bzw. absinkt, wobei eine Führungseinheit unterhalb des zweiten Förderabschnitts des Förderwegs vorgesehen ist, der sich an einer unteren Seite des Substrathalter-Fördermechanismus befindet, wobei sich die Fördereinheit in der zweiten Förderrichtung erstreckt, und wobei das Durchhängungs-Verhinderungselement so ausgebildet ist, dass sich die Laufrolle entlang des zweiten Förderabschnitts des Förderwegs bewegt, während die Laufrolle durch die Führungseinheit geführt und gehalten ist, und die erste Antriebseinheit des Substrathalter-Fördermechanismus sich in Kontakt mit der ersten angetriebenen Einheit des Substrathalters befindet, um den Substrathalter entlang des Förderwegs in der zweiten Förderrichtung anzutreiben.
  • Die vorliegende Erfindung ist ein Vakuumbearbeitungsvorrichtung, bei der das Förderantriebselement eine Förderkette ist.
  • Die vorliegende Erfindung ist ein Vakuumbearbeitungsvorrichtung, bei der eine Antriebsfläche an der ersten Antriebseinheit des Durchhängungs-Verhinderungselement vorhanden ist, wobei sich die Antriebsfläche nach unten erstreckt und in Kontakt mit der ersten angetriebenen Einheit des Substrathalters ist, um die erste angetriebene Einheit in der Förderrichtung anzutreiben, und in der Führungseinheit ein oberer geneigter Abschnitt vorgesehen ist, wobei der obere geneigte Abschnitt so ausgebildet ist, dass er sich schräg nach oben in Richtung der zweiten Förderrichtung erstreckt.
  • Die vorliegende Erfindung ist ein Vakuumbearbeitungsvorrichtung, bei der eine Abscheidung in einem Vakuum in dem ersten und zweiten Bearbeitungsbereich durchgeführt wird.
  • Die vorliegende Erfindung ist ein Vakuumbearbeitungsvorrichtung, bei der der Substrathalter dafür vorgesehen ist, eine Vielzahl von Substraten zu halten, die Seite an Seite in einer Richtung senkrecht zu den ersten und zweiten Förderrichtungen anzuordnen bzw. abzuscheiden sind.
  • Vorteilhafte Wirkungen der Erfindung
  • Bei der vorliegenden Erfindung ist es, da in einer Vakuumkammer, die einen Förderweg aufweist, der so ausgebildet ist, dass eine projizierte Form auf einer vertikalen Oberfläche eine kontinuierliche Ringform ist, wobei in der Vakuumkammer eine einzige Vakuumatmosphäre gebildet wird, eine Laufrolle eines Durchhängungs-Verhinderungselements bzw. eines Elements zur Verhinderung eines Durchhängens, das an einer ersten Antriebseinheit montiert ist, die an einer Außenseite in Bezug auf eine Förderrichtung dieses Förderwegs vorgesehen ist, entlang einer Führungseinheit läuft, die unter einem zweiten Förderabschnitt vorgesehen ist, der sich an der Unterseite eines Substrathalter-Fördermechanismus befindet und sich in einer zweiten Förderrichtung erstreckt, und die erste Antriebseinheit des Substrathalter-Fördermechanismus in Kontakt mit einer ersten angetriebenen Einheit eines Substrathalters steht, um den Substrathalter entlang eines Förderweges in der zweiten Förderrichtung anzutreiben, möglich, die Erzeugung von Staub zum Zeitpunkt der Beförderung des Substrathalters im Vergleich zu der bestehenden Technologie zu unterdrücken, während ein Förderantriebselement (zum Beispiel eine Förderkette), das den zweiten Förderabschnitt des Förderweges bildet, am Durchhängen gehindert wird.
  • Bei der vorliegenden Erfindung wird in dem Fall, in dem die erste Antriebseinheit des Durchhängungs-Verhinderungselements mit einer Antriebsfläche versehen ist, die sich nach unten erstreckt und in Kontakt mit einer ersten angetriebenen Einheit des Substrathalters steht, um die erste angetriebene Einheit in der Förderrichtung anzutreiben, und die Führungseinheit mit einem oberen geneigten Abschnitt versehen ist, der sich schräg nach oben in Richtung der zweiten Förderrichtung erstreckt, das Durchhängungs-Verhinderungselements veranlasst, sich in der zweiten Förderrichtung entlang der Führungseinheit zu bewegen und den oberen geneigten Abschnitt der Führungseinheit zu passieren, und somit bewegen sich die Höhenpositionen der Laufrolle des Durchhängungs-Verhinderungselements in Bezug auf die erste angetriebene Einheit des Substrathalters und die erste Antriebseinheit schrittweise nach oben, wodurch es möglich wird, den Kontakt zwischen der Antriebsfläche der ersten Antriebseinheit und der ersten angetriebenen Einheit des Substrathalters in einem geraden Teil des zweiten Förderabschnitts des Förderwegs zu lösen.
  • Da der Substrathalter in die zweite Förderrichtung entlang des zweiten Förderabschnitts bewegt werden kann, ohne die erste Antriebseinheit des Durchhängungs-Verhinderungselements und die zweite angetriebene Einheit des Substrathalters miteinander in Kontakt zu bringen, ist es gemäß der vorliegenden Erfindung möglich, die Bewegungsstrecke während des Vorgangs des Trennens der ersten Antriebseinheit des Durchhängungs-Verhinderungselements von der ersten angetriebenen Einheit des Substrathalters im Vergleich zum Stand der Technik zu verkürzen (z. B. in dem Fall, in dem die erste Antriebseinheit des Durchhängungs-Verhinderungselements veranlasst wird, sich schräg nach oben entlang eines bogenförmigen Ortes zu bewegen, der durch ein Kettenrad gebildet wird). Dadurch ist es möglich, den Zeitpunkt, zu dem der Substrathalter aus dem Substrathalter-Fördermechanismus entladen wird, deutlich nach vorne zu verlegen. Gleichzeitig kann vermieden werden, dass die zweite angetriebene Einheit des Substrathalters mit der Antriebsfläche der ersten Antriebseinheit des Durchhängungs-Verhinderungselements während der Entladung in Konflikt gerät.
  • Gleichzeitig kann bei der vorliegenden Erfindung in dem Fall, in dem der Substrathalter so ausgebildet ist, dass er eine Vielzahl von Substraten nebeneinander in einer Richtung senkrecht zu der Förderrichtung hält, da die Länge des Substrathalters und der damit verbundene überschüssige Raum reduziert werden kann, im Vergleich zum Stand der Technik, bei dem ein Substrathalter, der eine Vielzahl von Substraten nebeneinander in der Förderrichtung der Substrate hält, gefördert und bearbeitet wird, eine weitere Platzeinsparung der Vakuumbearbeitungsvorrichtung erreicht werden.
  • Figurenliste
    • 1 ist eine schematische Darstellung, die eine gesamte Vakuumbearbeitungsvorrichtung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
    • 2 Die Teile (a) und (b) von 2 zeigen jeweils eine Grundkonfiguration eines Substrathalter-Fördermechanismus und eines Richtungsänderungsmechanismus gemäß dieser Ausführungsform, wobei Teil (a) von 2 eine Draufsicht und Teil (b) von 2 eine Vorderansicht ist.
    • 3 Die Teile (a) und (b) von 3 zeigen jeweils eine Ausführung eines bei dieser Ausführungsform verwendeten Substrathalters, wobei Teil (a) von 3 eine Draufsicht und Teil (b) von 3 eine Vorderansicht ist.
    • 4 ist eine Vorderansicht, die eine Ausführung eines Richtungsänderungsmechanismus gemäß dieser Ausführungsform zeigt.
    • 5 Die Teile (a) bis (d) von 5 zeigen jeweils eine Ausführung einer ersten Antriebseinheit, die in einem Förderantriebselement gemäß dieser Ausführungsform vorgesehen ist, wobei Teil (a) von 5 eine Seitenansicht der stromabwärtigen Seite von der Förderrichtung aus gesehen ist, Teil (b) von 5 eine Vorderansicht ist, Teil (c) von 5 eine Seitenansicht der stromaufwärts gelegenen Seite von der Förderrichtung aus gesehen ist und Teil (d) von 5 eine perspektivische Ansicht ist.
    • 6 Die Teile (a) bis (d) von 6 zeigen jeweils ein bei dieser Ausführungsform verwendetes Laufelement, wobei Teil (a) von 6 eine Seitenansicht der stromabwärts gelegenen Seite von der Förderrichtung aus gesehen ist, Teil (b) von 6 eine Vorderansicht ist, Teil (c) von 6 eine Seitenansicht der stromaufwärts gelegenen Seite von der Förderrichtung aus gesehen ist und Teil (d) von 6 eine perspektivische Ansicht ist.
    • 7 Die Teile (a) bis (c) von 7 zeigen jeweils eine Ausführung eines bei dieser Ausführungsform verwendeten Durchhängungs-Verhinderungselements, wobei Teil (a) von 7 eine Seitenansicht der stromabwärtigen Seite von der Förderrichtung aus gesehen ist, Teil (b) von 7 eine Vorderansicht und Teil (c) von 7 eine perspektivische Ansicht ist.
    • 8 Die Teile (a) und (b) von 8 zeigen jeweils ein Durchhängungs-Verhinderungselement, das an einem Förderantriebselement montiert ist, wobei Teil (a) von 8 eine Vorderansicht und Teil (b) von 8 eine Querschnittsansicht entlang der Linie A-A in dem Teil (a) von 8 ist.
    • 9 ist eine teilweise Schnittansicht, die eine Montagestruktur einer Führungseinheit gemäß dieser Ausführungsform zeigt.
    • 10 ist eine schematische Darstellung eines Substrathalter-Fördermechanismus gemäß dieser Ausführungsform.
    • 11 ist eine beispielhafte Darstellung, die einen Betrieb einer Vakuumbearbeitungsvorrichtung gemäß dieser Ausführungsform (Teil 1) zeigt.
    • 12 ist eine beispielhafte Darstellung, die den Betrieb der Vakuumbearbeitungsvorrichtung gemäß dieser Ausführungsform (Teil 2) zeigt.
    • 13 ist eine beispielhafte Darstellung, die den Betrieb der Vakuumbearbeitungsvorrichtung gemäß dieser Ausführungsform (Teil 3) zeigt.
    • 14 Die Teile (a) und (b) von 14 sind jeweils beispielhafte Darstellungen, die den Betrieb eines Substrathalter-Fördermechanismus gemäß dieser Ausführungsform (Teil 1) zeigen.
    • 15 Die Teile (a) bis (c) von 15 sind jeweils beispielhafte Darstellungen, die den Betrieb eines Substrathalter-Fördermechanismus und eines Richtungsänderungsmechanismus gemäß dieser Ausführungsform (Teil 1) zeigen.
    • 16 Die Teile (a) bis (c) von 16 sind jeweils beispielhafte Darstellungen, die einen Betrieb des Substrathalter-Fördermechanismus und des Richtungsänderungsmechanismus gemäß dieser Ausführungsform (Teil 2) zeigen.
    • 17 Die Teile (a) und (b) von 17 sind jeweils beispielhafte Darstellungen, die den Betrieb des Substrathalter-Fördermechanismus (Teil 2) zeigen.
    • 18 Die Teile (a) bis (d) von 18 sind jeweils beispielhafte Darstellungen, die einen Vorgang zum Lösen des Kontakts zwischen einer ersten Antriebseinheit des Durchhängungs-Verhinderungselements und einer ersten angetriebenen Einheit des Substrathalters gemäß dieser Ausführungsform zeigen.
    • 19 ist eine beispielhafte Darstellung, die den Betrieb der VakuumBearbeitungsvorrichtung gemäß dieser Ausführungsform (Teil 4) zeigt.
    • 20 ist eine beispielhafte Darstellung, die den Betrieb der Vakuumbearbeitungsvorrichtung gemäß dieser Ausführungsform (Teil 5) zeigt.
    • 21 ist eine beispielhafte Darstellung, die den Betrieb der VakuumBearbeitungsvorrichtung gemäß dieser Ausführungsform (Teil 6) zeigt.
    • 22 ist eine beispielhafte Darstellung einer Ausführung, die eine komplette Vakuumbearbeitungsvorrichtung gemäß dem Stand der Technik zeigt.
    • 23 ist eine beispielhafte Darstellung, die einen vorhandenen Substrathalter-Fördermechanismus zeigt.
  • Modus bzw. Modi zur Durchführung der Erfindung
  • Nachfolgend wird eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die Zeichnungen im Detail beschrieben. 1 ist eine schematische Darstellung, die eine gesamte Vakuumbearbeitungsvorrichtung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
  • Des Weiteren zeigen die Teile (a) und (b) von 2 jeweils eine Grundkonfiguration bzw. -ausführung eines Substrathalter-Fördermechanismus und eines Richtungsänderungsmechanismus gemäß dieser Ausführungsform, wobei Teil (a) von 2 eine Draufsicht und Teil (b) von 2 eine Vorderansicht ist.
  • Des Weiteren zeigen die Teile (a) und (b) von 3 jeweils eine Ausführung eines bei dieser Ausführungsform verwendeten Substrathalters, wobei Teil (a) von 3 eine Draufsicht und Teil (b) von 3 eine Vorderansicht ist.
  • Des Weiteren ist 4 eine Vorderansicht, die eine Ausführung eines Richtungsänderungsmechanismus gemäß dieser Ausführungsform zeigt.
  • Wie in 1 dargestellt, umfasst eine Vakuumbearbeitungsvorrichtung 1 gemäß dieser Ausführungsform eine Vakuumkammer 2, die mit einer Vakuumabsaugvorrichtung 1a verbunden ist, wobei in der Vakuumabsaugvorrichtung 1a eine einzige Vakuumatmosphäre gebildet wird.
  • Innerhalb der Vakuumkammer 2 ist ein Substrathalter-Fördermechanismus 3 vorgesehen, der einen Substrathalter 11, der weiter unten beschrieben wird, entlang eines Transportweges transportiert.
  • Der Substrathalter-Fördermechanismus 3 ist so ausgebildet, dass er in der Lage ist, kontinuierlich eine Vielzahl von Substrathaltern 11 tu transportieren, die jeweils ein Substrat 10 halten.
  • Dabei umfasst der Substrathalter-Fördermechanismus 3 beispielsweise ein erstes und ein zweites kreisförmiges Antriebsrad 31 und 32, die ein Kettenrad oder dergleichen umfassen, den gleichen Durchmesser aufweisen und durch Aufnahme einer Drehantriebskraft von einem Antriebsmechanismus (nicht dargestellt) arbeiten, und diese ersten und zweiten Antriebsräder 31 und 32 sind in einem vorbestimmten Abstand angeordnet, während die jeweiligen Drehachsen parallel sind.
  • Des Weiteren wird eine Reihe von Förderantriebselementen 33, die beispielsweise eine Förderkette umfassen, über die ersten und zweiten Antriebsräder 31 und 32 überbrückt.
  • Des Weiteren sind Strukturkörper, in denen die Förderantriebselemente 33 über das erste und zweite Antriebsrad 31 und 32 überbrückt sind, in einem vorbestimmten Abstand parallel angeordnet (siehe Teil (a) von 2), und ein Förderweg mit einer kontinuierlichen Ringform in Bezug auf die vertikale Oberfläche wird durch das Paar von Förderantriebselementen 33 gebildet.
  • Bei dieser Ausführungsform ist im oberen Teil der Förderantriebselemente 33, die einen Förderweg bilden, ein ausgangsseitiger Förderabschnitt (erster Förderabschnitt) 33a gebildet, der sich von dem ersten Antriebsrad 31 in Richtung des zweiten Antriebsrads 32 bewegt und den Substrathalter 11 in einer ersten Förderrichtung P1 fördert, die Förderantriebselemente 33 der umgebenden Abschnitte des zweiten Antriebsrads 32 bilden einen Umlenkungsabschnitt 33b, der die Förderrichtung des Substrathalters 11 in die entgegengesetzte Richtung dreht, und ein rückwegseitiger Förderabschnitt (zweiter Förderabschnitt) 33c, der sich von dem zweiten Antriebsrad 32 in Richtung des ersten Antriebsrads 31 bewegt und den Substrathalter 11 in einer zweiten Förderrichtung P2 fördert, ist in einem unteren Teil des Förderantriebselements 33 ausgebildet.
  • In dem Substrathalter-Fördermechanismus 3 gemäß dieser Ausführungsform sind der ausgangsseitige Förderabschnitt 33a, der sich an der oberen Seite jedes der Förderantriebselemente 33 befindet, und der rückwegseitige Förderabschnitt 33c, der sich an der unteren Seite jedes der Förderantriebselemente 33 befindet, so ausgebildet, dass sie einander gegenüberliegen und sich in vertikaler Richtung überlappen.
  • Des Weiteren ist der Substrathalter-Fördermechanismus 3 mit einem Substrathalter-Einführungsabschnitt 30A, der den Substrathalter 11 einführt, einem Förderwendeabschnitt 30B, der den Substrathalter 11 dreht und fördert, und einem Substrathalter-Austragsabschnitt 30C, der den Substrathalter 11 ausgibt, versehen.
  • Dabei ist ein Richtungsänderungsmechanismus 40, der weiter unten beschrieben wird, in der Nähe des Förderwendeabschnitts 30B vorgesehen.
  • Erste und zweite Bearbeitungsbereiche 4 und 5 sind in der Vakuumkammer 2 vorgesehen.
  • Bei dieser Ausführungsform ist in der Vakuumkammer 2 der erste Bearbeitungsbereich 4, der zum Beispiel eine Sputterquelle 4T enthält, im oberen Teil des Substrathalter-Fördermechanismus 3 vorgesehen, und der zweite Bearbeitungsbereich 5, der zum Beispiel eine Sputterquelle 5T enthält, ist im unteren Teil des Substrathalter-Fördermechanismus 3 vorgesehen.
  • Bei dieser Ausführungsform ist der ausgangsseitige Förderabschnitt 33a des oben beschriebenen Förderantriebselements 33 so ausgebildet, dass er in der horizontalen Richtung linear durch den ersten Bearbeitungsbereich 4 verläuft, und der rückwegseitige Förderabschnitt 33c ist so ausgebildet, dass er in der horizontalen Richtung linear durch den oben erwähnten zweiten Bearbeitungsbereich 5 verläuft.
  • In dem Fall, in dem der Substrathalter 11 durch den ausgangsseitigen Förderabschnitt 33a und den rückwegseitigen Förderabschnitt 33c des Förderantriebselements 33, der einen Förderweg bildet, hindurchgeht, wird die Vielzahl von Substraten 10 (siehe Teil (a) von 2), die von dem Substrathalter 11 gehalten werden, gefördert, während sie in der Horizontalen gehalten werden bzw. sich in der Horizontalen befinden.
  • Ein Substrat-Ein-/Austragsmechanismus 6 zum Zuführen und Wiederaufnehmen des Substrathalters 11 zu bzw. von dem Substrathalter-Fördermechanismus 3 ist in der Vakuumkammer 2 an einer Position in der Nähe des Substrathalter-Fördermechanismus 3 vorgesehen, z. B. an einer Position neben dem ersten Antriebsrad 31.
  • Der Substrat-Ein-/Austragsmechanismus 6 gemäß dieser Ausführungsform umfasst einen Stützabschnitt 62, der am Spitzenabschnitt (oberes Ende) einer Antriebsstange 61 vorgesehen ist, die beispielsweise durch einen Hebemechanismus 60 in der vertikalen (Auf- und Ab-) Richtung angetrieben wird.
  • Bei dieser Ausführungsform ist ein Transportroboter 64 auf dem Stützabschnitt 62 des Substrat-Ein-/Austragsmechanismus 6 vorgesehen, der oben erwähnte Substrathalter 11 wird auf dem Transportroboter 64 gestützt und es wird bewirkt, dass derselbe sich in der vertikalen (Auf- und Ab-) Richtung bewegt, und der Substrathalter 11 wird durch den Transportroboter 64 zu bzw. von dem Substrathalter-Fördermechanismus 3 geliefert.
  • In diesem Fall wird, wie im Folgenden beschrieben, der Substrathalter 11 von dem Substrat-Ein-/Austragsmechanismus 6 an den Substrathalter-Einführungsabschnitt 30A des ausgangsseitigen Förderabschnitts 33a des Substrathalter-Fördermechanismus 3 abgegeben (diese Position wird als „Substrathalter-Austragsposition“ bezeichnet), und der Substrathalter 11 wird aus dem Substrathalter-Austragsabschnitt 30C des rückwegseitigen Förderabschnitts 33c des Substrathalter-Fördermechanismus 3 herausgenommen (diese Position wird als „Substrathalter-Entnahmeposition“ bezeichnet).
  • Eine Substrat-Ein-/Austragskammer 2A zum Eintragen des Substrats 10 in die Vakuumkammer 2 und zum Austragen des Substrats 10 aus der Vakuumkammer 2 ist zum Beispiel im oberen Teil der Vakuumkammer 2 vorgesehen.
  • Die Substrat-Ein-/Austragskammer 2A ist beispielsweise an einer Position oberhalb des Stützabschnitts 62 des oben erwähnten Substrat-Ein-/Austragsmechanismus 6 über einen Kommunikationsanschluss 2B vorgesehen, und ein zu öffnender bzw. verschließbarer Deckelabschnitt 2a ist beispielsweise im oberen Teil der Substrat-Ein-/Austragskammer 2A vorgesehen.
  • Dann wird, wie weiter unten beschrieben, das unbearbeitete Substrat 10a, das in die Substrat-Ein-/Austragskammer 2A getragen wird, auf dem Transportroboter 64 des Trägerteils 62 des Substrat-Ein-/Austragsmechanismus 6 zu dem Substrathalter 11 befördert und von diesem gehalten, und das bearbeitete Substrat 10b wird auf dem Transportroboter 64 des Trägerteils 62 des Substrat-Ein-/Austragsmechanismus 6 aus dem Substrathalter 11 herausgetragen, beispielsweise in die Atmosphäre außerhalb der Vakuumkammer 2.
  • Es sollte beachtet werden, dass bei dieser Ausführungsform ein Dichtungselement 63, das die Atmosphären in der Substrat-Ein-/Austragskammer 2A und der Vakuumkammer 2 voneinander isoliert, wenn das Substrat 10 ein- und ausgetragen wird, wie zum Beispiel ein O-Ring, an der oberen Kante des Trägerabschnitts 62 des Substrat-Ein-/Austragsmechanismus 6 vorgesehen ist.
  • In diesem Fall wird der Stützabschnitt 62 des Substrat-Ein-/Austragsmechanismus 6 in Richtung der Seite der Substrat-Ein-/Austragskammer 2A angehoben, und das Dichtungselement 63 auf dem Stützabschnitt 62 ist in engem Kontakt mit der Innenwand der Vakuumkammer 2, um den Verbindungsanschluss 2B abzudichten, wodurch die Atmosphären in der Substrat-Ein-/Austragskammer 2A von der Atmosphäre in der Vakuumkammer 2 isoliert werden.
  • Wie in den Teilen (a) und (b) von 2 dargestellt, ist in dem Paar der Förderantriebselemente 33 des Substrathalter-Fördermechanismus 3 gemäß dieser Ausführungsform eine Vielzahl von Durchhängungs-Verhinderungselementen 35, die weiter unten beschrieben werden, so vorgesehen, dass sie an der in Förderrichtung äußeren Seite des Förderantriebselements 33 in vorbestimmten Abständen vorstehen.
  • Die Durchhängungs-Verhinderungselemente 35 umfassen ein Bewegungs- bzw. Laufelement 50 und eine erste Antriebseinheit 36, die weiter unten beschrieben wird, und die erste Antriebseinheit 36 ist dafür vorgesehen, mit einer ersten angetriebenen Einheit 12 des Substrathalters 11 in Kontakt zu stehen, der von einem Substrathalter-Tragmechanismus 18 getragen wird, der weiter unten beschrieben wird, um den Substrathalter 11 in der ersten oder zweiten Förderrichtung P1 oder P2 anzutreiben.
  • Ein Paar von Substrathalter-Tragmechanismen 18, die den zu transportierenden Substrathalter 11 stützen bzw. tragen, ist innerhalb des Paars von Förderantriebselementen 33 vorgesehen.
  • Der Substrathalter-Tragmechanismus 18 ist aus einem drehbaren Element, wie zum Beispiel einer Vielzahl von Rollen, gebildet und ist in der Nähe des Förderantriebselements 33 vorgesehen.
  • Bei dieser Ausführungsform ist der ausgangsseitige Substrathalter-Tragmechanismus 18a in der Nähe des oberen Teils des ausgangsseitigen Förderabschnitts 33a des Förderantriebselements 33 vorgesehen, der rückwegseitige Substrathalter-Tragmechanismus 18c ist in der Nähe des unteren Teils des rückwegseitigen Förderabschnitts 33c des Förderantriebselements 33 vorgesehen, und sie sind so angeordnet, dass sie beide Kanten der unteren Oberfläche des zu fördernden Substrathalters 11 stützen bzw. halten.
  • Es sollte beachtet werden, dass der ausgangsseitige Substrathalter-Tragmechanismus 18a bis in die Nähe der Eingangsöffnung eines ersten Richtungsänderungsweges 51 des Richtungsänderungsmechanismus 40 vorgesehen ist, der weiter unten beschrieben wird, und der rückwegseitige Substrathalter-Tragmechanismus 18c bis in die Nähe einer Ausgangsöffnung eines zweiten Richtungsänderungsweges 52 des Richtungsänderungsmechanismus 40 vorgesehen ist, der weiter unten beschrieben wird.
  • Der bei dieser Ausführungsform verwendete Substrathalter 11 dient zur Durchführung der Vakuumbearbeitung auf beiden Oberflächen des Substrats 10 und ist ein schalenartiger Halter, der eine Öffnung aufweist.
  • Wie in dem Teil (a) von 2 und Teil (a) von 3 dargestellt ist, ist der Substrathalter 11 gemäß dieser Ausführungsform beispielsweise in einer flachen Plattenform eines länglichen Rechtecks ausgebildet, und eine Vielzahl von Halteeinheiten 14, die eine Vielzahl von Substraten 10 halten, die jeweils beispielsweise eine rechteckige Form haben, ist vorgesehen, wobei die Vielzahl von Substraten 10 nebeneinander in einer Spalte in einer Richtung (im Folgenden als die „Richtung senkrecht zu der Förderrichtung“ bezeichnet) senkrecht zu der Längsrichtung, d.h. der ersten und zweiten Förderrichtung P1 und P2, angeordnet sind.
  • Dabei ist jede der mehreren Halteeinheiten 14 beispielsweise mit einer rechteckigen Öffnung versehen, die die gleiche Größe und Form wie die jedes der Substrate 10 aufweist und die beide Oberflächen jedes der Substrate 10 vollständig freilegt und die dafür vorgesehen ist, jedes der Substrate 10 durch ein Halteelement (nicht dargestellt) zu halten.
  • Die vorliegende Erfindung ist nicht darauf beschränkt, aber es ist vorteilhaft, den Substrathalter 11 so auszubilden, dass unter dem Gesichtspunkt der Verringerung der Installationsfläche und der Verbesserung des Durchsatzes wie bei dieser Ausführungsform die Vielzahl von Substraten 10 in einer Spalte in der Richtung senkrecht zu der Förderrichtung angeordnet und gehalten wird.
  • Unter dem Gesichtspunkt der Verbesserung der Bearbeitungseffizienz kann die Vielzahl der Substrate 10 jedoch in einer Vielzahl von Spalten in der Richtung senkrecht zu der Förderrichtung angeordnet werden.
  • Die erste angetriebene Einheit 12 ist an jedem Ende auf der Seite der zweiten Förderrichtung P2 an beiden Enden des Substrathalters 11 in der Längsrichtung vorgesehen, und eine zweite angetriebene Einheit 13 ist an jedem Ende auf der Seite der ersten Förderrichtung P1 vorgesehen.
  • Jede dieser ersten und zweiten angetriebenen Einheiten 12 und 13 umfasst ein Wellenelement auf, das in einem kreisförmigen Querschnitt um eine Drehachse ausgebildet ist, die sich in der Richtung senkrecht zu der Längsrichtung des Substrathalters 11, d. h. der ersten und zweiten Förderrichtung P1 und P2, erstreckt (siehe Teile (a) und (b) von 3).
  • Bei dieser Ausführungsform sind die Abmessungen so festgelegt, dass die Länge der zweiten angetriebenen Einheit 13 länger ist als die Länge der ersten angetriebenen Einheit 12.
  • Genauer ausgedrückt sind, wie in dem Teil (a) von 2 dargestellt, die Abmessungen der ersten und zweiten angetriebenen Einheiten 12 und 13 so festgelegt, dass die ersten angetriebenen Einheiten 12 auf beiden Seiten des Substrathalters 11 in Kontakt mit der ersten Antriebseinheit 36 des Substrathalter-Fördermechanismus 3 stehen, wenn der Substrathalter 11 in dem Substrathalter-Fördermechanismus 3 angeordnet ist, und die zweite angetriebene Einheit 13 in Kontakt mit einer zweiten Antriebseinheit 46 steht, die unten beschrieben wird, wenn der Substrathalter 11 in dem unten beschriebenen Richtungsänderungsmechanismus 40 angeordnet ist bzw. sich in demselben befindet.
  • Ein Paar von Richtungsänderungsmechanismen 40 mit der gleichen Konfiguration bzw. Ausführung ist auf der Seite der ersten Förderrichtung P1 des Paars von Förderantriebselementen 33 vorgesehen.
  • Bei dieser Ausführungsform ist das Paar von Richtungsänderungsmechanismen 40 an Positionen an der Außenseite des Paars von Förderantriebselementen 33 in Bezug auf die erste und zweite Förderrichtung P1 und P2 angeordnet.
  • Des Weiteren ist das Paar von Richtungsänderungsmechanismen 40 so vorgesehen, dass ein Abschnitt davon auf der Seite der zweiten Förderrichtung P2 einen Abschnitt des Förderantriebselements 33 auf der Seite der ersten Förderrichtung P1 leicht überlappt.
  • Wie in 4 dargestellt, umfasst der Richtungsänderungsmechanismus 40 gemäß dieser Ausführungsform ein erstes Führungselement 41, ein zweites Führungselement 42 und ein drittes Führungselement 43, und diese ersten bis dritten Führungselemente 41 bis 43 sind in dieser Reihenfolge von der stromaufwärts gelegenen Seite der ersten Förderrichtung P1 angeordnet.
  • Bei dieser Ausführungsform sind die ersten bis dritten Führungselemente 41 bis 43 jeweils an einer Position in der Nähe der Außenseite des Paars von Förderantriebselementen 33 angeordnet, und ein Förderantriebselement 45, das weiter unten beschrieben wird, ist an einer Position in der Nähe der Außenseite jedes der ersten bis dritten Führungselemente 41 bis 43 angeordnet.
  • Es sollte beachtet werden, dass in dem Teil (b) von 2 ein Teil des Richtungsänderungsmechanismus 40 weggelassen ist, und dass die Positionsbeziehung zwischen den Elementen in der Förderrichtung deutlich dargestellt ist, während die Überlappungsbeziehung der Elemente ignoriert wird.
  • Wie in dem Teil (a) von 2 und 4 dargestellt, weisen die ersten bis dritten Führungselemente 41 bis 43 jeweils zum Beispiel ein plattenförmiges Element und sie sind in vertikaler Richtung vorgesehen.
  • Dabei ist ein Abschnitt des ersten Führungselements 41 auf der Seite der ersten Förderrichtung P1 mit einer gekrümmten Oberflächenform ausgebildet, die in Richtung der Seite der ersten Förderrichtung P1 vorsteht, und ein Abschnitt des zweiten Führungselements 42 auf der Seite der zweiten Förderrichtung P2 ist mit einer gekrümmten Oberflächenform ausgebildet, die in Richtung der Seite der ersten Förderrichtung P1 zurückgesetzt bzw. vertieft ist.
  • Das erste und das zweite Führungselement 41 und 42 sind eng zueinander positioniert, so dass der Abschnitt des ersten Führungselements 41 auf der Seite der ersten Förderrichtung P1 und der Abschnitt des zweiten Führungselements 42 auf der Seite der zweiten Förderrichtung P2 so ausgebildet sind, dass sie äquivalent gekrümmte Oberflächenformen aufweisen und einander mit einem Spalt gegenüberstehen, der etwas größer ist als der Durchmesser der ersten angetriebenen Einheit 12 des Substrathalters 11. Dabei wird der erste Richtungsänderungsweg 51, der die erste angetriebene Einheit 12 des Substrathalters 11 führt, durch den Spalt bereitgestellt.
  • Des Weiteren ist der Abschnitt des zweiten Führungselements 42 auf der Seite der ersten Förderrichtung P1 mit einer gekrümmten Oberflächenform ausgebildet, die in Richtung der Seite der ersten Förderrichtung P1 vorsteht, und der Abschnitt des dritten Führungselements 43 auf der Seite der zweiten Förderrichtung P2 ist mit einer gekrümmten Oberflächenform ausgebildet, die in Richtung der Seite der ersten Förderrichtung P1 zurückgesetzt ist.
  • Das zweite und das dritte Führungselement 42 und 43 sind eng zueinander positioniert, so dass der Abschnitt des zweiten Führungselements 42 auf der Seite der ersten Förderrichtung P1 und der Abschnitt des dritten Führungselements 43 auf der Seite der zweiten Förderrichtung P2 so ausgebildet sind, dass sie äquivalent gekrümmte Oberflächenformen aufweisen und einander mit einem Spalt gegenüberliegen, der etwas größer ist als der Durchmesser der zweiten angetriebenen Einheit 13 des Substrathalters 11. Dabei wird der zweite Richtungsänderungsweg 52, der die zweite angetriebene Einheit 13 des Substrathalters 11 führt, durch den Spalt bereitgestellt.
  • Mit einer solchen Ausgestaltung sind demnach der erste Richtungsänderungsweg 51 und der zweite Richtungsänderungsweg 52 mit äquivalent gekrümmten Oberflächenformen ausgebildet.
  • Des Weiteren sind bei dieser Ausführungsform die Abmessungen so festgelegt, dass jeder der Abstände der jeweiligen Abschnitte des ersten und zweiten Richtungsänderungsweges 51 und 52 in der horizontalen Richtung dem Abstand zwischen der ersten und zweiten angetriebenen Einheit 12 und 13 des Substrathalters 11 entspricht.
  • Des Weiteren dient bei dieser Ausführungsform die obere Öffnung des ersten Richtungsänderungsweges 51 als Eintrittsöffnung der ersten angetriebenen Einheit 12 des Substrathalters 11, und die Höhenposition derselben ist niedriger als die Höhenposition der zweiten angetriebenen Einheit 13 des Substrathalters 11, die von dem ausgangsseitigen Substrathalter-Tragmechanismus 18a getragen wird (siehe Teil (b) von 2).
  • Des Weiteren dient die untere Öffnung des ersten Richtungsänderungsweges 51 als die Auslassöffnung der ersten angetriebenen Einheit 12 des Substrathalters 11, und die Höhenposition derselben ist höher als die Höhenposition der zweiten angetriebenen Einheit 13 des Substrathalters 11, die durch den rückwegseitigen Substrathalter-Tragmechanismus 18c (siehe Teil (b) von 2) getragen wird.
  • Des Weiteren dient die obere Öffnung des zweiten Richtungsänderungsweges 52 als Eingangsöffnung der zweiten angetriebenen Einheit 13 des Substrathalters 11, und die Höhenposition derselben entspricht der Höhenposition der zweiten angetriebenen Einheit 13 des Substrathalters 11, die durch den ausgangsseitigen Substrathalter-Tragmechanismus 18a (siehe Teil (b) von 2) getragen wird.
  • Dabei dient die untere Öffnung des zweiten Richtungsänderungsweges 52 als Auslassöffnung der zweiten angetriebenen Einheit 13 des Substrathalters 11, und die Höhenposition derselben entspricht der Höhenposition der zweiten angetriebenen Einheit 13 des Substrathalters 11, die durch den rückwegseitigen Substrathalter-Tragmechanismus 18c (siehe Teil (b) von 2) getragen wird.
  • Der Richtungsänderungsmechanismus 40 gemäß dieser Ausführungsform umfasst das Förderantriebselement 45, das beispielsweise ein Paar von Kettenrädern und eine über das Paar von Kettenrädern überbrückte bzw. um dieselben umlaufende Förderkette umfasst, und das Förderantriebselement 45 ist so ausgebildet, dass es eine kontinuierliche Ringform auf der vertikalen Oberfläche aufweist.
  • Das Förderantriebselement 45 ist so ausgebildet, dass der Krümmungsradius seines Umlenkungsabschnitts dem Krümmungsradius des Umlenkungsabschnitts 33b des Förderantriebselements 33 des Substrathalter-Fördermechanismus 3 entspricht.
  • Des Weiteren wird der obere Abschnitt des Förderantriebselements 45 angetrieben, um sich in der ersten Förderrichtung P1 zu bewegen, und der untere Abschnitt davon wird angetrieben, um sich in der zweiten Förderrichtung P2 zu bewegen.
  • Das Förderantriebselement 45 ist mit einer Vielzahl von zweiten Antriebseinheiten 46 versehen, die in vorbestimmten Abständen in Richtung der Außenseite des Förderantriebselements 45 vorstehen.
  • Die zweite Antriebseinheit 46 ist so ausgebildet, dass in dem Abschnitt des Förderantriebselements 45 an der Außenseite ein vertiefter Abschnitt ausgebildet ist und die Kante des vertieften Abschnitts in Kontakt mit der zweiten angetriebenen Einheit 13 des Substrathalters 11 steht, um den Substrathalter 11 entlang des zweiten Richtungsänderungswegs 52 zu unterstützen bzw. zu halten und anzutreiben.
  • Des Weiteren sind, wie weiter unten beschrieben wird, der Weg des Förderantriebselements 45 und die Abmessungen der zweiten Antriebseinheit 46 so eingestellt (siehe Teil (b) von 2), dass das Ende der zweiten Antriebseinheit 46 gemäß dieser Ausführungsform auf der Seite des vertieften Abschnitts von dem zweiten Richtungsänderungsweg 52 zurückgezogen wird, wenn die zweite Antriebseinheit 46 die Positionen der Eintrittsöffnung und der Austrittsöffnung des zweiten Richtungsänderungswegs 52 erreicht.
  • Bei dieser Ausführungsform werden, wie weiter unten beschrieben wird, die Abläufe bzw. der Betrieb des Förderantriebselements 33 und des Förderantriebselements 45 des Richtungsänderungsmechanismus 40 so gesteuert, dass die zweite Antriebseinheit 46 synchron mit der ersten Antriebseinheit 36 des im Förderantriebselement 33 vorgesehenen Durchhängungs-Verhinderungselements 35 arbeitet.
  • Des Weiteren sind bei dieser Ausführungsform die Formen und Abmessungen der ersten und zweiten Antriebseinheiten 36 und 46 und der ersten und zweiten Richtungsänderungswege 51 und 52 so eingestellt, dass in dem Fall, in dem der Substrathalter 11 in der ersten Förderrichtung P1 durch die erste Antriebseinheit 36 des Durchhängungs-Verhinderungselements 35 angetrieben wird, um die ersten und zweiten angetriebenen Einheiten 12 und 13 zu veranlassen, in die ersten und zweiten Richtungsänderungswege 51 und 52 einzutreten, die ersten und zweiten angetriebenen Einheiten 12 und 13 durch die ersten und zweiten Antriebseinheiten 36 und 46 gestützt bzw. gehalten und werden zu einer Bewegung veranlasst, während die vertikale Beziehung des Substrathalters 11 beibehalten wird, und werden sanft aus den ersten und zweiten Richtungsänderungswegen 51 und 52 entladen.
  • Dabei ist in der Nähe der Auslassöffnung des ersten Richtungsänderungswegs 51 unterhalb des ersten Führungselements 41 und des zweiten Führungselements 42 ein Austragselement 47 zum reibungslosen Ausgeben bzw. Abgeben bzw. Austragen des Substrathalters 11 von dem Richtungsänderungsmechanismus 40 an den rückwegseitigen Substrathalter-Tragmechanismus 18c des Substrathalter-Tragmechanismus 18 vorgesehen.
  • Das Austragselement 47 umfasst beispielsweise ein längliches Element, das sich in der horizontalen Richtung erstreckt und so ausgebildet ist, dass es sich in der Auf- und Abwärtsrichtung um eine Drehwelle bzw. Drehachse 48 dreht, die sich in der ersten und zweiten Förderrichtung P1 und P2 erstreckt, und die an einer Position unterhalb des rückwegseitigen Substrathalter-Tragmechanismus 18c an dem Ende auf der Seite der zweiten Förderrichtung P2 vorgesehen ist. Dann wird ein Abschnitt des Austragselements 47 auf der Seite der ersten Förderrichtung P1 durch ein elastisches Element (nicht dargestellt) nach oben gedrückt.
  • Ein Austragsabschnitt 47a (siehe Teil (b) von 2) ist in dem oberen Teil des Austragselements 47 vorgesehen, wobei der Austragsabschnitt 47a so ausgebildet ist, dass er eine gekrümmte Oberflächenform aufweist, um mit dem ersten Richtungsänderungsweg 51 und mit dem rückwegseitigen Substrathalter-Tragmechanismus 18c des Substrathalter-Tragmechanismus 18 in der Nähe der Austragsöffnung des ersten Richtungsänderungswegs 51 auf der Seite der zweiten Förderrichtung P2 fortzufahren.
  • Des Weiteren ist im oberen Teil des Austragselements 47 eine nach unten in Richtung der ersten Förderrichtung P1 geneigte Fläche 47b an der Position auf der Seite der ersten Förderrichtung P1 vorgesehen. Die geneigte Fläche 47b ist an einer Höhenposition vorgesehen, die der Auslassöffnung des zweiten Richtungsänderungswegs 52 gegenüberliegt bzw. derselben entspricht.
  • Die Teile (a) bis (d) von 5 zeigen jeweils eine Ausführung einer ersten Antriebseinheit, die bei dieser Ausführungsform verwendet wird, wobei Teil (a) von 5 eine Seitenansicht der stromabwärtigen Seite von der Förderrichtung aus gesehen ist, Teil (b) von 5 eine Vorderansicht ist, Teil (c) von 5 Seitenansicht der stromaufwärts gelegenen Seite von der Förderrichtung aus gesehen ist und Teil (d) von 5 eine perspektivische Ansicht ist.
  • Wie in den Teilen (a) bis (d) von 5 dargestellt, ist die erste Antriebseinheit 36 gemäß dieser Ausführungsform beispielsweise in einer J-Hakenform ausgebildet (eine Form, in der ein Nutabschnitt 36c so ausgebildet ist, dass die Höhe eines ersten vorstehenden Abschnitts 36a auf der stromabwärts gelegenen Seite der Förderrichtung niedriger ist als die Höhe eines zweiten vorstehenden Abschnitts 36b auf der stromaufwärts gelegenen Seite der Förderrichtung).
  • Dieser Nutabschnitt 36c ist so ausgebildet, dass er sich in der Richtung senkrecht zu der Förderrichtung (Breitenrichtung) erstreckt. Des Weiteren ist ein Schraubenloch 36f, das sich in der Richtung senkrecht zu der Förderrichtung erstreckt und die erste Antriebseinheit 36 durchdringt, auf der Innenseite der Förderrichtung des Nutabschnitts 36c vorgesehen.
  • Des Weiteren ist bei dieser Ausführungsform ein Anschlagabschnitt 36d auf dem oberen Teil des ersten vorstehenden Abschnitts 36a vorgesehen.
  • Der Anschlagabschnitt 36d ist so geformt, dass er sich in der Richtung senkrecht zu den ersten und zweiten vorstehenden Abschnitten 36a und 36b erstreckt, und der in Förderrichtung auf der äußeren Seite desselben vorgesehene Abschnitt ist in einer ebenen Form ausgebildet.
  • Bei dieser Ausführungsform sind die Formen und Abmessungen der jeweiligen Abschnitte der ersten Antriebseinheit 36 so ausgebildet, dass das Ende des zweiten vorstehenden Abschnitts 36b der ersten Antriebseinheit 36 auf der in Förderrichtung äußeren Seite desselben weiter außen angeordnet ist als das Ende (die Oberfläche) des Anschlagabschnitts 36d auf der in Förderrichtung äußeren Seite.
  • Des Weiteren ist eine Antriebsfläche 36e, die in Kontakt mit der ersten angetriebenen Einheit 12 des Substrathalters 11 steht und diese antreibt, auf der Seite des ersten vorstehenden Abschnitts 36a des zweiten vorstehenden Abschnitts 36b der ersten Antriebseinheit 36 vorgesehen.
  • Die Antriebsfläche 36e ist in einer ebenen Form ausgebildet, so dass sie sich in der Richtung senkrecht zu der Förderrichtung erstreckt.
  • Die Teile (a) bis (d) von 6 zeigen jeweils ein bei dieser Ausführungsform verwendetes Laufelement, wobei Teil (a) von 6 eine Seitenansicht der stromabwärts gelegenen Seite von der Förderrichtung aus gesehen ist, Teil (b) von 6 eine Vorderansicht ist, Teil (c) von 6 eine Seitenansicht der stromaufwärts gelegenen Seite von der Förderrichtung aus gesehen ist, wobei Teil (d) von 6 eine perspektivische Ansicht ist.
  • Das Laufelement 50 gemäß dieser Ausführungsform ist beispielsweise aus einem Metall wie rostfreiem Stahl gebildet und umfasst einen Körperrahmen 50a, der so geformt ist, dass er breiter ist als die oben beschriebene Breite der ersten Antriebseinheit 36.
  • In diesem Körperrahmen 50a ist ein Halterahmenabschnitt 50b, der die erste Antriebseinheit 36 hält, in einem Abschnitt auf der stromabwärts gelegenen Seite der Förderrichtung vorgesehen.
  • Der Halterahmenabschnitt 50b umfasst ein Paar plattenartiger Abschnitte, die sich in der Förderrichtung erstrecken, und das Paar plattenartiger Abschnitte ist in einem Abstand vorgesehen, der der Breite der ersten Antriebseinheit 36 entspricht.
  • Eine Befestigungsschraube 53, die einen Bolzen zum Befestigen der ersten Antriebseinheit 36 aufweist, ist an dem Halterahmenabschnitt 50b des Körperrahmens 50a so angebracht, dass sie durch ein Schraubenloch 52a des Halterahmenabschnitts 50b in einer Richtung senkrecht zu der Förderrichtung durchdringt.
  • Des Weiteren ist ein Rollenhalterahmenabschnitt 55 zum Halten einer Laufrolle 54, die unten beschrieben wird, auf der stromaufwärts gelegenen Seite der Förderrichtung des Körperrahmens 50a vorgesehen.
  • Der Rollenhalterahmenabschnitt 55 umfasst ein Paar plattenartiger Rahmen, die so ausgebildet sind, dass sie sich in der Förderrichtung erstrecken und zu der Außenseite der Förderrichtung hin vorstehen, und das Paar von Rahmen des Rollenhalterahmenabschnitts 55 ist in einem Abstand vorgesehen, der der Breite der ersten Antriebseinheit 36 entspricht.
  • Eine Befestigungsschraube 56, die einen Bolzen aufweist, ist an dem Rollenhalterahmenabschnitt 55 des Körperrahmens 50a so angebracht, dass sie durch den Rollenhalterahmenabschnitt 55 in einer Richtung senkrecht zu der Förderrichtung durchdringt, und die zylindrische Laufrolle 54 ist so ausgebildet, dass sie sich um eine Drehachse O dreht, die sich in der Befestigungsschraube 56 in einer Richtung senkrecht zu der Förderrichtung erstreckt (siehe Teile (a) und (b) von 6).
  • Als Laufrolle 54 kann zum Beispiel ein Wälzlager oder ähnliches verwendet werden.
  • Die Teile (a) bis (c) von 7 zeigen jeweils eine Konfiguration eines bei dieser Ausführungsform verwendeten Durchhängungs-Verhinderungselements, wobei Teil (a) von 7 eine Seitenansicht der stromabwärtigen Seite von der Förderrichtung aus gesehen ist, Teil (b) von 7 eine Vorderansicht und Teil (c) von 7 eine perspektivische Ansicht ist.
  • Wie in den Teilen (a) bis (c) von 7 dargestellt, wird das Durchhängungs-Verhinderungselement 35 gemäß dieser Ausführungsform durch den Zusammenbau der in den Teilen (a) bis (d) von 5 dargestellten ersten Antriebseinheit 36 und des in den Teilen (a) bis (d) von 6 dargestellten Laufelements 50 erhalten.
  • In diesem Fall ist die erste Antriebseinheit 36 zwischen dem Paar von Halterahmenabschnitten 50b des Körperrahmens 50a des Laufelements 50 angeordnet, wobei der erste vorstehende Abschnitt 36a der stromabwärts gelegenen Seite der Förderrichtung zugewandt ist, die Befestigungsschraube 53 das Schraubenloch 52a des Laufelements 50 und das Schraubenloch 36f der ersten Antriebseinheit 36 durchdringt (siehe Teile (a) und (c) von 5), und die Befestigungsschraube 53 und eine Mutter 57 die erste Antriebseinheit 36 an dem Halterahmenabschnitt 50b des Körperrahmens 50a befestigen.
  • Bei dieser Ausführungsform sind die Formen und Abmessungen der jeweiligen Abschnitte des Laufelements 50 und der ersten Antriebseinheit 36 so eingestellt, dass das Ende der Laufrolle 54 des Laufelements 50 auf der in Förderrichtung äußeren Seite desselben weiter außen angeordnet ist als das Ende des zweiten vorstehenden Abschnitts 36b der ersten Antriebseinheit 36 auf der in Förderrichtung äußeren Seite.
  • Es ist zu beachten, dass, wie weiter unten beschrieben wird, zum Beispiel ein plattenförmiges Befestigungselement 58 zur Befestigung des Durchhängungs-Verhinderungselements 35 an dem Förderantriebselement 33 zwischen dem Halterahmenabschnitt 50b des Laufelements 50 und den beiden Seitenflächen der ersten Antriebseinheit 36 eingeführt und befestigt ist.
  • Die Teile (a) und (b) von 8 zeigen jeweils ein Durchhängungs-Verhinderungselement, das an einem Fördermittel-Antriebselement montiert ist, wobei Teil (a) von 8 eine Vorderansicht ist und Teil (b) von 8 eine Querschnittsansicht entlang der Linie A-A in dem Teil (a) von 8 ist.
  • 9 ist eine teilweise Schnittansicht, die eine Montagestruktur einer Führungseinheit gemäß dieser Ausführungsform zeigt.
  • 10 ist eine schematische Darstellung eines Substrathalter-Fördermechanismus gemäß dieser Ausführungsform.
  • Wie in den Teilen (a) und (b) von 8 dargestellt, weist das bei dieser Ausführungsform verwendete Förderantriebselement 33 eine allgemeine Förderkette und einen äußeren Verbindungsabschnitt 33d, einen inneren Verbindungsabschnitt 33e und eine Rolle 33f auf, die drehbar an einem Verbindungsabschnitt zwischen dem äußeren Verbindungsabschnitt 33d und dem inneren Verbindungsabschnitt 33e durch einen Stift und eine Buchse (nicht dargestellt) angebracht ist.
  • Des Weiteren sind plattenartige Verbindungselemente 59, die sich beispielsweise in der in Förderrichtung äußeren Seite erstrecken, an dem inneren Abschnitt des Paars von Befestigungselementen 58 des oben erwähnten Durchhängungs-Verhinderungselements 35 in Bezug auf die Förderrichtung befestigt, der innere Abschnitt des Paars von Verbindungselementen 59 ist in Bezug auf die Förderrichtung an dem Abschnitt des Paars von Platten des äußeren Verbindungsabschnitts 33d des Förderantriebselements 33 auf der in Förderrichtung äußeren Seite befestigt, wodurch das Durchhängungs-Verhinderungselement 35 an dem Förderantriebselement 33 montiert ist, während die Laufrolle 54 auf der in Förderrichtung äußeren Seite angeordnet ist.
  • Wie in den Teilen (a) und (b) von 8 dargestellt, ist bei dieser Ausführungsform, wenn das Durchhängungs-Verhinderungselement 35 am unteren Abschnitt des Förderantriebselements 33, d.h. dem rückwegseitigen Förderabschnitt 33c, angeordnet ist, die Laufrolle 54 unterhalb des rückwegseitigen Förderabschnitts 33c angeordnet, und das untere Ende der Laufrolle 54 befindet sich an der niedrigsten Position des Durchhängungs-Verhinderungselements 35.
  • Bei dieser Ausführungsform ist die Laufrolle 54 des Durchhängungs-Verhinderungselements 35 so ausgebildet, dass sie von einer Führungseinheit 17 geführt und gestützt bzw. getragen wird, die unterhalb des rückwegseitigen Förderabschnitts 33c des Förderantriebselements 33 vorgesehen ist.
  • Diese Führungseinheit 17 ist so ausgebildet, dass sie sich in der Förderrichtung erstreckt, wie in 10 dargestellt, und der Führungswandabschnitt zur Verhinderung des Herunterfallens in der vertikalen Richtung ist an beiden Seitenabschnitten davon vorgesehen, wie in 9 dargestellt.
  • Bei dieser Ausführungsform ist eine plattenartige Basis 18e, die in Richtung der Horizontalrichtung befestigt ist, so vorgesehen, dass sie sich in der Förderrichtung in Bezug auf ein Halteelement 18d erstreckt, das so errichtet ist, dass es sich in der Förderrichtung erstreckt, um den rückwegseitigen Substrathalter-Tragmechanismus 18c zu halten, der zum Beispiel eine Rolle des Substrathalter-Tragmechanismus 18 umfasst, wobei ein Befestigungselement 17A, das beispielsweise eine L-Form aufweist an der Basis 18e befestigt, und wobei eine Führungseinheit 17 an einer horizontalen Ebene eines Stützelements 17B befestigt ist, das an diesem Befestigungselement 17A befestigt ist.
  • Des Weiteren ist, wie in 9 und 10 dargestellt, die Führungseinheit 17 so vorgesehen, dass sich die Stützfläche unterhalb des Stützabschnitts des rückwegseitigen Substrathalter-Tragmechanismus 18c des Substrathalter-Tragmechanismus 18 befindet.
  • Die Führungseinheit 17 gemäß dieser Ausführungsform ist mit einem Laufabschnitt 17a, der sich in der horizontalen Richtung in Richtung der zweiten Förderrichtung P2 erstreckt, einem oberen geneigten Abschnitt 17b, der mit dem Laufabschnitt 17a verbunden ist und schräg nach oben geneigt ist, und einem Kontaktfreigabeabschnitt 17c versehen, der mit dem oberen geneigten Abschnitt 17b verbunden ist und sich in der horizontalen Richtung erstreckt.
  • Der obere geneigte Abschnitt 17b und der Kontaktfreigabeabschnitt 17c dienen zum Freigeben des Kontakts zwischen der ersten angetriebenen Einheit 12 des Substrathalters 11 und der ersten Antriebseinheit 36 des Durchhängungs-Verhinderungselements 35, wie nachfolgend im Detail beschrieben wird.
  • Nachfolgend wird der Betrieb der Vakuumbearbeitungsvorrichtung 1 gemäß dieser Ausführungsform unter Bezugnahme auf 11 bis 21 beschrieben.
  • Wie in 11 dargestellt, wird bei dieser Ausführungsform zunächst das Dichtungselement 63 auf dem Stützabschnitt 62 des Substrat-Ein-/Austragsmechanismus 6 in engen Kontakt mit der Innenwand der Vakuumkammer 2 gebracht, und der Deckelabschnitt 2a der Substrat-Ein-/Austragskammer Substrat-Ein-/Austragskammer 2A wird nach der Belüftung zum atmosphärischen Druck geöffnet, während die Atmosphäre in der Substrat-Ein-/Austragskammer 2A von der Atmosphäre in der Vakuumkammer 2 isoliert wird.
  • Danach wird das unbearbeitete Substrat 10a mit Hilfe eines Transportroboters (nicht dargestellt) auf dem Transportroboter 64 des Trägerbereichs 62 des Substrat-Ein-/Austragsmechanismus 6 angebracht und in dem Substrathalter 11 gehalten.
  • Dann wird, wie in 12 dargestellt, nachdem der Deckelabschnitt 2a der Substrat-Ein-/Austragskammer 2A geschlossen und auf einen vorbestimmten Druck evakuiert ist, der Stützabschnitt 62 des Substrat-Ein-/Austragsmechanismus 6 in die oben erwähnte Substrathalter-Austragsposition abgesenkt, so dass die Höhe des Substrathalters 11 eine Höhenposition ist, die dem ausgangsseitigen Förderabschnitt 33a des Förderantriebselements 33 entspricht.
  • Des Weiteren wird, wie in 13 dargestellt, der Substrathalter 11 auf dem Substrathalter-Einführungsabschnitt 30A des Substrathalter-Fördermechanismus 3 durch den Transportroboter 64 angeordnet, der in dem Trägerabschnitt 62 des Substrat-Ein-/Austragsmechanismus 6 vorgesehen ist.
  • In diesem Fall wird, obwohl die erste angetriebene Einheit 12 des Substrathalters 11 so positioniert ist, dass sie innerhalb des Nutabschnitts 36c (siehe 5) der ersten Antriebseinheit 36 des Durchhängungs-Verhinderungselements 35 angeordnet und auf dem ausgangsseitigen Substrathalter-Trägermechanismus 18a platziert ist, die Bewegung des Durchhängungs-Verhinderungselements 35 verzögert, um eine Zeitverschiebung während dieses Vorgangs zu verursachen, und die erste angetriebene Einheit 12 kann in einigen Fällen nicht in dem Nutabschnitt 36c der ersten Antriebseinheit 36 angeordnet werden.
  • Da jedoch bei dieser Ausführungsform der Anschlagabschnitt 36d in der ersten Antriebseinheit 36 des Durchhängungs-Verhinderungselements 35 wie oben beschrieben vorgesehen ist, weist der Spitzenabschnitt des Anschlagabschnitts 36d der ersten Antriebseinheit 36 auf der Seite der ersten Förderrichtung P1 nach oben und ist geneigt, so dass der Abschnitt der oberen Fläche auf der stromaufwärts gelegenen Seite der Förderrichtung (Rückseite), wie in dem Teil (a) von 14 dargestellt ist, in dem Fall niedriger ist, in dem die Bewegung des Durchhängungs-Verhinderungselements 35 verzögert ist, die erste angetriebene Einheit 12 des Substrathalters 11 kommt in Kontakt mit der oberen Oberfläche des Anschlagabschnitts 36d der ersten Antriebseinheit 36, der Substrathalter 11 hält in dieser Position an und das Förderantriebselement 33 wird veranlasst, leicht zu arbeiten, wodurch die erste angetriebene Einheit 12 sanft innerhalb des Nutabschnitts 36c der ersten Antriebseinheit 36 positioniert werden kann.
  • Danach wird, wie in dem Teil (b) von 14 dargestellt, der ausgangsseitige Förderabschnitt 33a des Förderantriebselements 33 des Substrathalter-Fördermechanismus 3 veranlasst, sich in diesem Zustand in der ersten Förderrichtung P1 zu bewegen.
  • Infolgedessen wird die erste angetriebene Einheit 12 des Substrathalters 11 durch die erste Antriebseinheit 36 in der ersten Förderrichtung P1 auf dem ausgangsseitigen Förderabschnitt 33a des Förderantriebselements 33 angetrieben, und der Substrathalter 11 wird auf dem ausgangsseitigen Förderabschnitt 33a des Förderantriebselements 33 in Richtung des Förderumlenkungsabschnitts 30B gefördert.
  • In diesem Fall wird beim Durchlaufen der in 11 dargestellten Position des ersten Bearbeitungsbereichs 4 eine bestimmte Vakuumbearbeitung (z. B. Abscheidung durch Sputtern) auf einer ersten Oberfläche auf der Seite des ersten Bearbeitungsbereichs 4 des im Substrathalter 11 gehaltenen unbearbeiteten Substrats 10a durchgeführt.
  • Die Teile (a) bis (c) von 15 und die Teile (a) bis (c) von 16 sind jeweils beispielhafte Darstellungen, die den Betrieb eines Substrathalter-Fördermechanismus und eines Richtungsänderungsmechanismus gemäß dieser Ausführungsform zeigen.
  • Bei dieser Ausführungsform wird der Substrathalter 11, der den Förderumlenkungsabschnitt 30B des Substrathalter-Fördermechanismus 3 erreicht hat, veranlasst, sich weiter in die erste Förderrichtung P1 zu bewegen, wie in dem Teil (a) von 15 dargestellt, indem die erste Antriebseinheit 36 des Durchhängungs-Verhinderungselements 35, das an dem Förderantriebselement 33 angebracht ist, veranlasst wird, sich in die erste Förderrichtung P1 zu bewegen, und die zweite angetriebene Einheit 13 des Substrathalters 11 ist an der Position der Eingangsöffnung des zweiten Richtungsänderungswegs 52 des Richtungsänderungsmechanismus 40 angeordnet.
  • In diesem Fall wird der Betrieb des Förderantriebselements 45 so gesteuert, dass sich die zweite Antriebseinheit 46 des Richtungsänderungsmechanismus 40 unterhalb der zweiten angetriebenen Einheit 13 des Substrathalters 11 befindet.
  • Dann wird das Förderantriebselement 33 angetrieben, um die erste Antriebseinheit 36 des Durchhängungs-Verhinderungselements 35 zu veranlassen, sich in die erste Förderrichtung P1 zu bewegen, und das Förderantriebselement 45 des Richtungsänderungsmechanismus 40 wird angetrieben, um die zweite Antriebseinheit 46 zu veranlassen, sich in die erste Förderrichtung P1 zu bewegen. In diesem Fall wird der Betrieb der ersten Antriebseinheit 36 des Durchhängungs-Verhinderungselements 35 und der zweiten Antriebseinheit 46 so gesteuert, dass sie synchronisiert sind.
  • Als Ergebnis werden, wie in dem Teil (b) von 15 dargestellt, die ersten und zweiten angetriebenen Einheiten 12 und 13 des Substrathalters 11 von der ersten Antriebseinheit 36 des Durchhängungs-Verhinderungselements 35 und der zweiten Antriebseinheit 46 unterstützt und angetrieben und veranlasst, sich in den ersten und zweiten Richtungsänderungswegen 51 und 52 nach unten zu bewegen.
  • Es sollte beachtet werden, dass bei diesem Verfahren die erste angetriebene Einheit 12 des Substrathalters 11 nicht mit beiden, sondern nur mit einer der Kanten des ersten Führungselements 41 und der Kante des zweiten Führungselements 42 in der ersten Richtungsänderungsbahn 51 in Kontakt ist, und die zweite angetriebene Einheit 13 nicht mit beiden, sondern nur mit einer der Kanten des zweiten Führungselements 42 und der Kante des dritten Führungselements 43 in der zweiten Richtungsänderungsbahn 52 in Kontakt ist. In diesem Fall behält der Substrathalter 11 die vertikale Beziehung bzw. Ausrichtung bei.
  • Anschließend werden von der Nähe, in der die ersten und zweiten angetriebenen Einheiten 12 und 13 die mittleren Teile der ersten und zweiten Richtungsänderungswege 51 und 52 durchlaufen, die Förderrichtungen der ersten und zweiten angetriebenen Einheiten 12 und 13 in die zweite Förderrichtung P2 entgegengesetzt zu der ersten Förderrichtung P1 gedreht, während die vertikale Beziehung bzw. Ausrichtung des Substrathalters 11 beibehalten wird.
  • Es sollte beachtet werden, dass bei diesem Prozess die erste angetriebene Einheit 12 des Substrathalters 11 nicht mit beiden, sondern nur mit einer der Kanten des ersten Führungselements 41 und der Kante des zweiten Führungselements 42 im ersten Richtungsänderungsweg 51 in Kontakt ist, und die zweite angetriebene Einheit 13 nicht mit beiden, sondern nur mit einer der Kanten des zweiten Führungselements 42 und der Kante des dritten Führungselements 43 im zweiten Richtungsänderungsweg 52 in Kontakt ist.
  • Wenn der Antrieb des Förderantriebselements 33 des Substrathalter-Fördermechanismus 3 und des Förderantriebselements 45 des Richtungsänderungsmechanismus 40 fortgesetzt wird, ist des Weiteren die erste angetriebene Einheit 12 des Substrathalters 11 durch die Auslassöffnung des ersten Richtungsänderungswegs 51 und den Zuführungsabschnitt 47a des Zuführungsglieds 47 an einer Position oberhalb des Zuführungsglieds 47 angeordnet, wie in dem Teil (c) von 15 dargestellt ist, die zweite angetriebene Einheit 13 des Substrathalters 11 ist an einer Position der Auslassöffnung des zweiten Richtungsänderungsweges 52 angeordnet, und dann wird der Substrathalter 11 an den rückwegseitigen Substrathalter-Tragmechanismus 18c des Substrathalter-Tragmechanismus 18 geliefert, wie in dem Teil (a) von 16 dargestellt ist.
  • Des Weiteren wird das Durchhängungs-Verhinderungselement 35 von dem oben beschriebenen beweglichen Abschnitt 17a der Führungseinheit 17 getragen bzw. gestützt.
  • Wenn man hier vom Standpunkt der Verhinderung des Durchhängens ausgeht, kann der Bewegungsabschnitt 17a der Führungseinheit 17 nur an einer Position vorgesehen sein, an der das Durchhängen des Förderantriebselements 33 problematisch ist. In diesem Fall gibt es einen Fall, in dem das Durchhängungs-Verhinderungselement 35 nicht zur gleichen Zeit wie die oben erwähnte Lieferung an den rückwegseitigen Substrathalter-Tragmechanismus 18c durch den Bewegungsabschnitt 17a der Führungseinheit 17 gestützt wird.
  • Es ist zu beachten, dass die zweite Antriebseinheit 46 des Richtungsänderungsmechanismus 40 und die zweite angetriebene Einheit 13 des Substrathalters 11 zu dem in dem Teil (c) von 15 dargestellten Zeitpunkt nicht miteinander in Kontakt sind, und der Substrathalter 11 durch den Kontakt der ersten Antriebseinheit 36 des Durchhängungs-Verhinderungselements 35 mit der ersten angetriebenen Einheit 12 angetrieben wird, um sich in die zweite Förderrichtung P2 zu bewegen.
  • Wenn anschließend das Förderantriebselement 33 des Substrathalter-Fördermechanismus 3 weiter angetrieben wird, ist die zweite angetriebene Einheit 13 des Substrathalters 11 in Kontakt mit der geneigten Oberfläche 47b des Zuführelements 47 und das Zuführelement 47 dreht sich und bewegt sich nach unten, wie in dem Teil (b) von 16 dargestellt, und die zweite angetriebene Einheit 13 des Substrathalters 11 fährt über das Zuführelement 47 und der Substrathalter 11 bewegt sich in der zweiten Förderrichtung P2, wie in dem Teil (c) von 16 dargestellt.
  • Es sollte beachtet werden, dass nach diesem Vorgang das Austragselement 47 durch die Druckkraft eines elastischen Elements (nicht dargestellt) in seine ursprüngliche Position zurückkehrt.
  • Danach wird, wie in dem Teil (a) von 17 dargestellt, der rückwegseitige Förderabschnitt 33c des Förderantriebselements 33 veranlasst, sich in der zweiten Förderrichtung P2 zu bewegen, und der Substrathalter 11 wird in Richtung des Substrathalter-Austragsabschnitts 30C gefördert bzw. transportiert, indem die erste angetriebene Einheit 12 durch die erste Antriebseinheit 36 des Durchhängungs-Verhinderungselements 35 in dieselbe Richtung angetrieben wird.
  • In diesem Fall wird beim Durchlaufen der in 11 dargestellten Position des zweiten Bearbeitungsbereichs 5 eine bestimmte Vakuumbearbeitung (z. B. Abscheidung durch Sputtern) auf einer zweiten Oberfläche auf der Seite des zweiten Bearbeitungsbereichs 5 des von dem Substrathalter 11 gehaltenen unbearbeiteten Substrats 10a durchgeführt.
  • Wenn anschließend der rückwegseitige Förderabschnitt 33c des Förderantriebselements 33 veranlasst wird, sich in die zweite Förderrichtung P2 zu bewegen, und die erste Antriebseinheit 36 die erste Antriebseinheit 36 bzw. die erste angetriebene Einheit 12 in die gleiche Richtung antreibt, kommt die erste Antriebseinheit 36 des Durchhängungs-Verhinderungselements 35 kurz bevor der Substrathalter 11 den Substrathalter-Austragsabschnitt 30C erreicht, außer Kontakt mit der ersten angetriebenen Einheit 12, wie in dem Teil (b) von 17 dargestellt, wodurch der Substrathalter 11 seine An- bzw. Vortriebskraft verliert.
  • Die Teile (a) bis (d) von 18 sind jeweils beispielhafte Darstellungen, die einen Vorgang zum Lösen des Kontakts zwischen einer ersten Antriebseinheit des Durchhängungs-Verhinderungselements und einer ersten angetriebenen Einheit des Substrathalters gemäß dieser Ausführungsform zeigen.
  • Wenn der rückwegseitige Förderabschnitt 33c des Förderantriebselements 33 veranlasst wird, sich in der zweiten Förderrichtung P2 zu bewegen, wird der Substrathalter 11 veranlasst, sich in der zweiten Förderrichtung P2 zu bewegen, während die Antriebsfläche 36e des zweiten vorstehenden Abschnitts 36b der ersten Antriebseinheit 36 des Durchhängungs-Verhinderungselements 35 auf der Seite der zweiten Förderrichtung P2 in Kontakt mit der ersten angetriebenen Einheit 12 des Substrathalters 11 ist, wie in dem Teil (a) von 18 dargestellt.
  • In der in dem Teil (a) von 18 dargestellten Position ist die Laufrolle 54 des Durchhängungs-Verhinderungselements 35 in Kontakt mit dem Laufabschnitt 17a der Führungseinheit 17 und das Durchhängungs-Verhinderungselements 35 wird veranlasst, sich in der horizontalen Richtung entlang des Laufabschnitts 17a zu bewegen.
  • Wenn der rückwegseitige Förderabschnitt 33c des Förderantriebselements 33 veranlasst wird, sich in diesem Zustand in der zweiten Förderrichtung P2 zu bewegen, läuft die Laufrolle 54 des Durchhängungs-Verhinderungselements 35 auf dem oberen geneigten Abschnitt 17b der Führungseinheit 17 und bewegt sich schräg nach oben in der zweiten Förderrichtung P2, wie in dem Teil (b) von 18 dargestellt, während der Substrathalter 11 veranlasst wird, sich in der zweiten Förderrichtung P2 auf dem rückwegseitigen Substrathalter-Tragmechanismus 18c zu bewegen, wodurch die erste Antriebseinheit 36 des Durchhängungs-Verhinderungselements 35 ebenfalls veranlasst wird, sich schräg nach oben in die zweite Förderrichtung P2 zu bewegen.
  • Wenn der rückwegseitige Förderabschnitt 33c des Förderantriebselements 33 kontinuierlich dazu veranlasst wird, sich in der zweiten Förderrichtung P2 zu bewegen, bewegt sich die Höhenposition der ersten Antriebseinheit 36 des Durchhängungs-Verhinderungselements 35 in Bezug auf die erste angetriebene Einheit 12 des Substrathalters 11 allmählich nach oben, das untere Ende des zweiten vorstehenden Abschnitts 36b der ersten Antriebseinheit 36 des Durchhängungs-Verhinderungselements 35 befindet sich zu dem Zeitpunkt, zu dem die Laufrolle 54 des Durchhängungs-Verhinderungselements 35 auf dem Kontaktfreigabeabschnitt 17c der Führungseinheit 17 läuft, über dem oberen Teil der ersten angetriebenen Einheit 12 des Substrathalters 11, wie in dem Teil (c) von 18 dargestellt, wodurch der Kontakt der Antriebsfläche 36e des zweiten vorstehenden Abschnitts 36b der ersten Antriebseinheit 36 mit der ersten angetriebenen Einheit 12 des Substrathalters 11 vollständig gelöst wird.
  • Infolgedessen kann, wie in dem Teil (d) von 18 dargestellt, der Substrathalter 11 veranlasst werden, sich horizontal in der zweiten Förderrichtung P2 entlang des rückwegseitigen Förderabschnitts 33c zu bewegen, ohne den zweiten vorstehenden Abschnitt 36b der ersten Antriebseinheit 36 des Durchhängungs-Verhinderungselements 35 in Kontakt mit der zweiten angetriebenen Einheit 13 des Substrathalters 11 zu bringen.
  • Gemäß dieser Ausführungsform ist es möglich, den Bewegungsweg während des Vorgangs des Trennens der ersten Antriebseinheit 36 des Durchhängungs-Verhinderungselements 35 und der ersten angetriebenen Einheit 12 des Substrathalters 11 voneinander zu verkürzen und die Betriebsdauer im Vergleich zum Stand der Technik zu verkürzen (z. B. in dem Fall, in dem die erste Antriebseinheit 36 des Durchhängungs-Verhinderungselements 35 dazu veranlasst wird, sich schräg nach oben entlang eines bogenförmigen Ortes bzw. Weges zu bewegen, der durch ein Kettenrad gebildet wird) und somit den Zeitpunkt, zu dem der Substrathalter 11 aus dem Substrathalter-Fördermechanismus 3 entladen und an den Substrat-Ein-/Austragsmechanismus 6 geliefert wird, erheblich vorzuverlegen. Des Weiteren kann die zweite angetriebene Welle 13 des Substrathalters 11 auch daran gehindert werden, mit dem Spitzenabschnitt des zweiten vorstehenden Abschnitts 36b (der Antriebsfläche 36e) der ersten Antriebseinheit 36 des Durchhängungs-Verhinderungselements 35 zum Zeitpunkt der Entladung in Konflikt zu geraten.
  • Nachdem der oben erwähnte Vorgang durchgeführt wurde, wird der Substrathalter 11 durch den Transportroboter 64 des in 19 dargestellten Substrat-Ein-/Austragsmechanismus 6 veranlasst, sich in die zweite Förderrichtung P2 zu bewegen, um von der ersten Antriebseinheit 36 getrennt zu werden.
  • Des Weiteren wird der Substrathalter 11 unter Verwendung des Transportroboters 64 des Substrat-Ein-/Austragsmechanismus 6 herausgenommen, und der Substrathalter 11 wird zusammen mit dem Transportroboter 64 auf dem Trägerabschnitt 62 angeordnet, wie in 19 dargestellt.
  • Danach wird, wie in 20 dargestellt, der Trägerabschnitt 62 des Substrat-Ein-/Austragsmechanismus 6 angehoben und die Entlüftung zu dem Atmosphärendruck wird durchgeführt, während das Dichtungselement 63 an dem Trägerabschnitt 62 in engem Kontakt mit der Innenwand der Vakuumkammer 2 steht, um die Atmosphäre in der Substrat-Ein-/Austragskammer 2A von der Atmosphäre in der Vakuumkammer 2 zu isolieren.
  • Dann wird, wie in 21 dargestellt, der Deckelabschnitt 2a der Substrat-Ein-/Austragskammer 2A geöffnet und das bearbeitete Substrat 10b wird mithilfe eines Transportroboters (nicht dargestellt) aus dem Substrathalter 11 in die Atmosphäre entnommen.
  • Danach wird, zurückkehrend zu dem in 11 dargestellten Zustand, durch Wiederholung des oben erwähnten Vorgangs die oben erwähnte Vakuumbearbeitung auf beiden Seiten jedes der Vielzahl von Substraten 10 durchgeführt.
  • In der oben beschriebenen Ausführungsform ist es, da in der Vakuumkammer 2, die einen Förderweg aufweist, der so ausgebildet ist, dass eine projizierte Form auf der vertikalen Oberfläche eine kontinuierliche Ringform ist, wobei eine einzige Vakuumatmosphäre in der Vakuumkammer 2 gebildet wird, und die an der ersten Antriebseinheit 36, die an der in Bezug auf die Förderrichtung des Förderwegs äußeren Seite vorgesehen ist, montierte Laufrolle 54 des Durchhängungs-Verhinderungselements 35 entlang der Führungseinheit 17 läuft, die unterhalb des rückwegseitigen Förderabschnitts 33c des Förderantriebselements 33 vorgesehen ist, das sich an der unteren Seite des Substrathalter-Fördermechanismus 3 befindet und sich in der zweiten Förderrichtung P2 erstreckt, und die erste Antriebseinheit 36 ist so ausgebildet, dass sie mit der ersten angetriebenen Einheit 12 des Substrathalters 11 in Kontakt steht, um den Substrathalter 11 entlang des Förderweges in der zweiten Förderrichtung P2 anzutreiben, möglich, die Erzeugung von Staub zum Zeitpunkt des Förderns des Substrathalters 11 im Vergleich zum Stand der Technik zu unterdrücken, während der rückwegseitige Förderabschnitt 33c (z. B. der Förderkette) des Förderantriebselements 33, das den zweiten Förderabschnitt des Förderwegs bildet, nicht durchhängt. Des Weiteren kann bei dieser Ausführungsform, da der Substrathalter 11 so ausgebildet ist, dass er die mehreren Substrate 10 nebeneinander in der Richtung senkrecht zu der Förderrichtung hält, die Länge eines Substrathalters und der damit verbundene überschüssige Raum im Vergleich zu dem Fall reduziert werden, in dem die Bearbeitung durch Fördern eines Substrathalters durchgeführt wird, der mehrere Substrate nebeneinander in der Förderrichtung der Substrate hält, wie dies beim Stand der Technik der Fall ist, wodurch es möglich ist, eine weitere Platzeinsparung einer Vakuumbearbeitungsvorrichtung zu erreichen.
  • Es sollte beachtet werden, dass die vorliegende Erfindung nicht auf die oben beschriebene Ausführungsform beschränkt ist, und verschiedene Modifikationen vorgenommen werden können.
  • Zum Beispiel umfassen in der oben beschriebenen Ausführungsform der Substrathalter-Fördermechanismus 3 und der Richtungsänderungsmechanismus 40 ein Paar von Kettenrädern und eine über das Paar von Kettenrädern überbrückte bzw. geführte Förderkette, es kann aber zum Beispiel auch ein ringförmiger Förderantriebsmechanismus unter Verwendung eines Riemens oder einer Schiene verwendet werden.
  • Des Weiteren kann der Substrathalter-Tragmechanismus 18 unter Verwendung eines Riemens oder einer Schiene anstelle einer Rolle ausgebildet werden.
  • Des Weiteren ist die Form jeder der ersten und zweiten Antriebseinheiten 36 und 46 nicht auf die oben erwähnte Ausführungsform beschränkt, und es können verschiedene Formen angenommen werden, solange sie zuverlässig mit den ersten und zweiten angetriebenen Einheiten 12 und 13 des Substrathalters 11 in Kontakt gebracht werden können und unterstützt und angetrieben werden können.
  • Des Weiteren ist die vorliegende Erfindung, obwohl in der oben genannten Ausführungsform eine Vorrichtung beispielhaft dargestellt ist, die Sputtern als Verfahren im Vakuum durchführt, nicht darauf beschränkt. Beispielsweise kann die vorliegende Erfindung auf eine Vakuum-Bearbeitungsvorrichtung angewendet werden, die verschiedene Arten der Bearbeitung durchführt, wie z. B. Plasmabearbeitung, Ionenimplantationsbearbeitung, Dampfabscheidungsbearbeitung, chemische Dampfabscheidungsbearbeitung, fokussierte Ionenstrahlbearbeitung und Ätzbearbeitung.
  • In diesem Fall können der erste und der zweite Bearbeitungsbereich 4 und 5 auch mit Bearbeitungsquellen zur Durchführung verschiedener Bearbeitungsarten versehen sein.
  • Des Weiteren kann die vorliegende Erfindung, wie in der oben erwähnten Ausführungsform, nicht nur auf den Fall angewendet werden, in dem das unbehandelte Substrat 10a in die Vakuumkammer 2 hineingetragen wird und das behandelte Substrat 10b aus der Vakuumkammer 2 herausgetragen wird, sondern auch auf den Fall, in dem das unbehandelte Substrat 10a zusammen mit dem Substrathalter 11 in die Vakuumkammer 2 hineingetragen wird und das behandelte Substrat 10b zusammen mit dem Substrathalter 11 aus der Vakuumkammer 2 herausgetragen wird.
  • Bezugszeichenliste
    • 1
    Vakuumbearbeitungsvorrichtung
    2
    Vakuumkammer
    3
    Substrathalter-Fördermechanismus
    4
    erster Bearbeitungsbereich
    4T
    Sputterquelle
    5
    zweiter Bearbeitungsbereich
    5T
    Sputterquelle
    6
    Substrat-Ein-/Austragsmechanismus
    10
    Substrat
    11
    Substrathalter
    12
    erste angetriebene Einheit
    13
    zweite angetriebene Einheit
    17
    Führungseinheit
    17a
    Laufabschnitt
    17b
    oberer geneigter Abschnitt
    17c
    Kontaktfreigabeabschnitt
    30A
    Substrathalter-Einführungsabschnitt
    30B
    Förderwendeabschnitt
    30C
    Substrathalter-Austragsabschnitt
    31
    erstes Antriebsrad
    32
    zweites Antriebsrad
    33
    Förderantriebselement (Förderweg)
    33a
    ausgangsseitiger Förderabschnitt (erster Förderabschnitt)
    33b
    Umlenkungsabschnitt
    33c
    rückwegseitiger Förderabschnitt (zweiter Förderabschnitt)
    35
    Durchhängungs-Verhinderungselement
    36
    erste Antriebseinheit
    36a
    erster vorstehender Abschnitt
    36b
    zweiter vorstehender Abschnitt
    36e
    Antriebsfläche
    40
    Richtungsänderungsmechanismus
    41
    erstes Führungselement
    42
    zweites Führungselement
    43
    drittes Führungselement
    45
    Förderantriebselement
    46
    zweite Antriebseinheit
    51
    erster Richtungsänderungsweg
    52
    zweiter Richtungsänderungsweg
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • JP 2007031821 [0017]

Claims (5)

  1. Vakuumbearbeitungsvorrichtung, welche Folgendes aufweist: eine Vakuumkammer; erste und zweite Bearbeitungsbereiche, die in der Vakuumkammer vorgesehen sind, wobei auf einem Substrat, das von einem Substrathalter gehalten ist, in den ersten und zweiten Bearbeitungsbereichen eine Vakuumbearbeitung durchgeführt wird; einen Förderweg bzw. Transportweg, der derart gebildet ist, dass eine projizierte Form auf einer vertikalen Oberfläche eine kontinuierliche Ringform ist, wobei der Substrathalter auf dem Förderweg befördert wird; und einen Substrathalter-Fördermechanismus, der in einem Bereich vorgesehen ist, in dem eine einzelne Vakuumatmosphäre in der Vakuumkammer gebildet ist und der eine Vielzahl der Substrathalter, welche erste und zweite angetriebene Einheiten aufweist, entlang des Förderwegs fördert, wobei der Förderweg einen ersten Förderabschnitt zum Fördern des eingeführten Substrathalters in einer ersten Förderrichtung entlang des Förderwegs, während sich der eingeführte Substrathalter in der Horizontalen befindet, einen zweiten Förderabschnitt zum Fördern des Substrathalters entlang des Förderwegs in einer zweiten Förderrichtung entgegengesetzt zu der ersten Förderrichtung, während sich der Substrathalter in der Horizontalen befindet, und zum Ausgeben des Substrathalters, und einen Förderwendeabschnitt zum Drehen und Fördern des Substrathalters von dem ersten Förderabschnitt zu dem zweiten Förderabschnitt aufweist, wobei der erste Förderabschnitt dafür vorgesehen ist, durch eine der ersten und zweiten Bearbeitungsbereiche durchzulaufen, wobei der zweite Förderabschnitt dafür vorgesehen ist, durch den anderen der ersten und zweiten Bearbeitungsbereiche durchzulaufen, wobei der Substrathalter-Fördermechanismus eine Vielzahl von ersten Antriebseinheiten auf einer äußeren Seite bezüglich einer Förderrichtung des Förderwegs aufweist, wobei die Vielzahl von ersten Antriebseinheiten in Kontakt mit einer ersten angetriebenen Einheit des Substrathalters ist, um den Substrathalter entlang des Förderwegs anzutreiben, wobei ein Richtungsänderungsmechanismus, der eine Vielzahl von zweiten Antriebseinheiten und einen ersten und einen zweiten Richtungsänderungsweg aufweist, in der Nähe des Förderwendeabschnitts des Förderwegs vorgesehen ist, wobei die Vielzahl von zweiten Antriebseinheiten in Kontakt mit der zweiten angetriebenen Einheit des Substrathalters ist, um den Substrathalter in den ersten und zweiten Förderrichtungen anzutreiben, wobei die ersten und zweiten Richtungsänderungswege dafür vorgesehen sind, die ersten und zweiten angetriebenen Einheiten des Substrathalters jeweils zu führen und zu fördern, um den Substrathalter von der ersten Förderrichtung in die zweite Förderrichtung zu drehen, wobei der Substrathalter von dem ersten Förderabschnitt des Förderwegs zu dem zweiten Förderabschnitt des Förderwegs transportiert wird, während eine vertikale Beziehung des Substrathalters durch Betreiben der ersten Antriebseinheit des Substrathalter-Fördermechanismus und der zweiten Antriebseinheit des Richtungsänderungsmechanismus synchron miteinander und durch jeweiliges Führen und Fördern der ersten und zweiten angetriebenen Einheiten des Substrathalters entlang der ersten und zweiten Richtungsänderungswege des Richtungsänderungsmechanismus beibehalten wird, wobei ein Durchhängungs-Verhinderungselement, das dafür vorgesehen ist, an der ersten Antriebseinheit des Substrathalter-Fördermechanismus montiert zu werden, eine Laufrolle in einem Teil einer äußeren Seite bezüglich der Förderrichtung aufweist, wobei die Laufrolle um eine Rotationsachse drehbar ist, die sich in einer Richtung senkrecht zu der Förderrichtung erstreckt, und das verhindert, dass ein Förderantriebselement, welches den zweiten Förderabschnitt des Förderwegs bildet, durchhängt bzw. absinkt, wobei eine Führungseinheit unterhalb des zweiten Förderabschnitts des Förderwegs vorgesehen ist, der sich an einer unteren Seite des Substrathalter-Fördermechanismus befindet, wobei sich die Fördereinheit in der zweiten Förderrichtung erstreckt, und wobei das Durchhängungs-Verhinderungselement so ausgebildet ist, dass sich die Laufrolle entlang des zweiten Förderabschnitts des Förderwegs bewegt, während die Laufrolle durch die Führungseinheit geführt und gehalten ist, und die erste Antriebseinheit des Substrathalter-Fördermechanismus sich in Kontakt mit der ersten angetriebenen Einheit des Substrathalters befindet, um den Substrathalter entlang des Förderwegs in der zweiten Förderrichtung anzutreiben.
  2. Vakuumbearbeitungsvorrichtung nach Anspruch 1, wobei das Förderantriebselement eine Förderkette ist.
  3. Vakuumbearbeitungsvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, wobei eine Antriebsfläche an der ersten Antriebseinheit des Durchhängungs-Verhinderungselement vorhanden ist, wobei sich die Antriebsfläche nach unten erstreckt und in Kontakt mit der ersten angetriebenen Einheit des Substrathalters ist, um die erste angetriebene Einheit in der Förderrichtung anzutreiben, und in der Führungseinheit ein oberer geneigter Abschnitt vorgesehen ist, wobei der obere geneigte Abschnitt so ausgebildet ist, dass er sich schräg nach oben in Richtung der zweiten Förderrichtung erstreckt.
  4. Vakuumbearbeitungsvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, wobei eine Abscheidung in einem Vakuum in dem ersten und zweiten Bearbeitungsbereich durchgeführt wird.
  5. Vakuumbearbeitungsvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, wobei der Substrathalter dafür vorgesehen ist, eine Vielzahl von Substraten zu halten, die Seite an Seite in einer Richtung senkrecht zu den ersten und zweiten Förderrichtungen anzuordnen bzw. abzuscheiden sind.
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7524995B1 (ja) * 2023-03-31 2024-07-30 三機工業株式会社 コンベヤ装置及び仕分けコンベヤ装置

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007031821A (ja) 2005-07-29 2007-02-08 Ulvac Japan Ltd 真空処理装置

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0762252B2 (ja) * 1988-06-13 1995-07-05 旭硝子株式会社 真空処理装置
US8038686B2 (en) 2005-04-14 2011-10-18 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Clip applier configured to prevent clip fallout
JP4921320B2 (ja) * 2007-11-07 2012-04-25 新明和工業株式会社 真空成膜装置
NL2001910C (en) * 2008-08-22 2010-03-10 Otb Solar Bv Conveyor assembly and method for conveying a substrate.
US8541163B2 (en) * 2009-06-05 2013-09-24 Nikon Corporation Transporting method, transporting apparatus, exposure method, and exposure apparatus
JP5150608B2 (ja) * 2009-11-20 2013-02-20 株式会社アルバック 搬送装置及び真空装置
JP5655728B2 (ja) * 2011-07-13 2015-01-21 住友電装株式会社 組立作業用コンベア装置
DE102014114575A1 (de) * 2014-06-23 2015-12-24 Von Ardenne Gmbh Transportvorrichtung, Prozessieranordnung und Beschichtungsverfahren
TWI638758B (zh) * 2015-12-17 2018-10-21 日商愛發科股份有限公司 真空處理裝置
WO2018030357A1 (ja) * 2016-08-08 2018-02-15 株式会社ニコン 基板処理装置および基板処理方法
CN108884561B (zh) * 2016-11-02 2019-08-06 株式会社爱发科 真空处理装置
CN111647870A (zh) * 2016-11-04 2020-09-11 株式会社爱发科 成膜装置
JP6379318B1 (ja) * 2017-06-14 2018-08-22 株式会社アルバック 成膜装置及び成膜方法並びに太陽電池の製造方法
TWI697065B (zh) * 2017-06-14 2020-06-21 日商愛發科股份有限公司 真空處理裝置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007031821A (ja) 2005-07-29 2007-02-08 Ulvac Japan Ltd 真空処理装置

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