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DE102019118690A1 - Sondenkopf - Google Patents

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DE102019118690A1
DE102019118690A1 DE102019118690.0A DE102019118690A DE102019118690A1 DE 102019118690 A1 DE102019118690 A1 DE 102019118690A1 DE 102019118690 A DE102019118690 A DE 102019118690A DE 102019118690 A1 DE102019118690 A1 DE 102019118690A1
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DE
Germany
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probe
section
guide plate
cross
main body
Prior art date
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Withdrawn
Application number
DE102019118690.0A
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English (en)
Inventor
Shang-Jung Hsieh
Yi-Ching CHUO
Tsung-Yi Chen
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MPI Corp
Original Assignee
MPI Corp
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Publication date
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    • G01R1/067Measuring probes
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    • G01R1/07378Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card with provisions for altering position, number or connection of probe tips; Adapting to differences in pitch using an intermediate adapter, e.g. space transformers
    • GPHYSICS
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Abstract

Ein Sondenkopf 100 umfasst einen Mikropositionierer 110 und Sonden 120. Der Mikropositionierer 110 umfasst eine obere Führungsplatte 111 und eine untere Führungsplatte 112, wobei die obere Führungsplatte 111 erste Führungslöcher H1 und die untere Führungsplatte 112 zweite Führungslöcher H2 aufweist. Eine jeweilige Sonde 120 geht durch ein entsprechendes erstes Führungsloch H1 und ein entsprechendes zweites Führungsloch H2 hindurch, wobei die jeweilige Sonde 120 einen Sondenhauptkörper 122 und eine Federhülse 125 umfasst. Der Sondenhauptkörper 122 weist eine Sondenspitze 123 und einen Sondenkörper 129 auf, wobei der Sondenkörper 129 mit der entsprechenden Sondenspitze 123 verbunden ist. Die Sondenspitze 123 weist einen ersten Querschnitt 123S auf, wobei sich mindestens ein Teil des ersten Querschnitts 123S im entsprechenden zweiten Führungsloch H2 befindet. Der erste Querschnitt 123S weist zwei gegenüberliegende gerade Kanten 1231 und zwei gegenüberliegende gebogene Kanten 1232 auf. Der Sondenkörper 129 weist auch einen zweiten Querschnitt 129S auf, wobei der zweite Querschnitt 129S kreisförmig ist. Eine Federhülse 125 umfasst den Sondenhauptkörper 122 und weist ein Verbindungsende 126, einen Federabschnitt 127 und ein freies Ende 128 auf, wobei der jeweilige Federabschnitt 127 zwischen dem entsprechenden Verbindungsende 126 und dem entsprechenden freien Ende 128 angeordnet und mit diesen verbunden ist.

Description

  • Gebiet der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung betrifft einen Sondenkopf.
  • Stand der Technik
  • Die Hauptfunktion der Nadelkarte besteht darin, die Sonden direkt mit den auf dem Prüfobjekt (z. B. nicht verpackte Wafer, Chips und Dies) befindlichen Lötpads oder Vorsprüngen in Kontakt zu bringen, wobei das Ziel der Messung durch die Zusammenarbeit der peripheren Testmaschine mit der Softwaresteuerung erreicht wird und dabei fehlerhafte Produkte aussortiert werden. In der Regel wird ein Testsignal von der Testmaschine über die Nadelkarte an das Prüfobjekt gesendet, anschließend wird ein zur Analyse bestimmtes Testergebnissignal durch das Prüfobjekt über die Nadelkarte an die Testmaschine zurückgesendet.
  • In der Regel weist eine Nadelkarte einen Sondenkopf auf, der zur Befestigung einer bestimmten Anzahl von Sonden dient. Nachdem mit der Nadelkarte ein Test durchgeführt wurde, werden normalerweise vom Benutzer die mit dem Prüfobjekt in Kontakt gekommenen Sondenspitzen regelmäßig gereinigt.
  • Aufgabe der Erfindung
  • Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Sondenkopf bereitzustellen, durch den ein Drehen der Sonden relativ zum Mikropositionierer verhindert wird.
  • Gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung umfasst ein Sondenkopf einen Mikropositionierer und mehrere Sonden, wobei der Mikropositionierer eine obere Führungsplatte und eine untere Führungsplatte umfasst, wobei die obere Führungsplatte mehrere erste Führungslöcher und die untere Führungsplatte mehrere zweite Führungslöcher aufweist, wobei das jeweilige zweite Führungsloch rechteckig ist, wobei eine jeweilige Sonde durch ein entsprechendes erstes Führungsloch und ein entsprechendes zweites Führungsloch hindurchgeht, wobei eine jeweilige Sonde einen Sondenhauptkörper und eine Federhülse umfasst, wobei ein jeweiliger Sondenhauptkörper eine Sondenspitze und einen Sondenkörper aufweist, wobei der jeweilige Sondenkörper mit der entsprechenden Sondenspitze verbunden ist, wobei die jeweilige Sondenspitze in der senkrecht zur Mittelachse des jeweiligen Sondenhauptkörpers liegenden Richtung einen ersten Querschnitt aufweist, wobei sich mindestens ein Teil des jeweiligen ersten Querschnitts im entsprechenden zweiten Führungsloch befindet, wobei der jeweilige erste Querschnitt zwei gegenüberliegende gerade Kanten und zwei gegenüberliegende gebogene Kanten aufweist, wobei ein jeweiliger Sondenkörper in der senkrecht zur Mittelachse des jeweiligen Sondenhauptkörpers liegenden Richtung einen zweiten Querschnitt aufweist, wobei der jeweilige zweite Querschnitt kreisförmig ist, wobei die jeweilige Federhülse einen Sondenhauptkörper umfasst und ein Verbindungsende, einen Federabschnitt und ein freies Ende aufweist, wobei der jeweilige Federabschnitt zwischen dem entsprechenden Verbindungsende und dem entsprechenden freien Ende angeordnet und mit diesen verbunden ist, wobei das jeweilige Verbindungsende mit dem entsprechenden Sondenkörper fest verbunden ist, um einen vorstehenden Abschnitt zu bilden, wobei das jeweilige freie Ende von der entsprechenden Sondenspitze entfernt liegt.
  • Gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung umfasst eine Nadelkarte eine Leiterplatte, einen Sondenkopf und ein Raumumwandlungsgestell. Der Sondenkopf umfasst einen Mikropositionierer und mehrere Sonden, wobei der Mikropositionierer eine obere Führungsplatte und eine untere Führungsplatte umfasst, wobei die obere Führungsplatte mehrere erste Führungslöcher und die untere Führungsplatte mehrere zweite Führungslöcher aufweist, wobei das jeweilige zweite Führungsloch rechteckig ist, wobei eine jeweilige Sonde durch ein entsprechendes erstes Führungsloch und ein entsprechendes zweites Führungsloch hindurchgeht, wobei die jeweilige Sonde einen Sondenhauptkörper und eine Federhülse umfasst, wobei ein jeweiliger Sondenhauptkörper eine Sondenspitze und einen Sondenkörper aufweist, wobei der jeweilige Sondenkörper mit der entsprechenden Sondenspitze verbunden ist, wobei sich die jeweilige Sondenspitze relativ zum entsprechenden Sondenkörper weit von der Leiterplatte entfernt befindet, wobei die jeweilige Sondenspitze in der senkrecht zur Mittelachse des jeweiligen Sondenhauptkörpers liegenden Richtung einen ersten Querschnitt aufweist, wobei sich mindestens ein Teil des jeweiligen ersten Querschnitts im entsprechenden zweiten Führungsloch befindet, wobei der jeweilige erste Querschnitt zwei gegenüberliegende gerade Kanten und zwei gegenüberliegende gebogene Kanten aufweist, wobei ein jeweiliger Sondenkörper in der senkrecht zur Mittelachse des jeweiligen Sondenhauptkörpers liegenden Richtung einen zweiten Querschnitt aufweist, wobei der jeweilige zweite Querschnitt kreisförmig ist, wobei die jeweilige Federhülse einen Sondenhauptkörper umfasst und ein Verbindungsende, einen Federabschnitt und ein freies Ende aufweist, wobei der jeweilige Federabschnitt zwischen dem entsprechenden Verbindungsende und dem entsprechenden freien Ende angeordnet und mit diesen verbunden ist, wobei das jeweilige Verbindungsende mit dem entsprechenden Sondenhauptkörper fest verbunden ist, wobei das jeweilige freie Ende von der entsprechenden Sondenspitze entfernt liegt, wobei das Raumumwandlungsgestell zwischen der Leiterplatte und dem Sondenkopf angeordnet und mit diesen verbunden ist.
  • Figurenliste
  • Die zur Erläuterung der Ausführungsbeispiele verwendeten Zeichnungen zeigen:
    • 1 eine schematische Ansicht, welche die Anwendung des Sondenkopfs 100 gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung zeigt;
    • 2 eine teilweise vergrößerte Querschnittansicht des Sondenkopfs 100 gemäß 1;
    • 3 eine Querschnittansicht entlang des Liniensegments M-M gemäß 2;
    • 4 eine Querschnittansicht entlang des Liniensegments N-N gemäß 2.
  • Detaillierte Beschreibung der Ausführungsbeispiele
  • Nachfolgend werden verschiedene Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung in den Zeichnungen offenbart. Aus Gründen der Klarheit werden in der folgenden Beschreibung viele praktische Details erläutert. Es versteht sich jedoch, dass diese praktischen Details die Erfindung nicht einschränken. Das heißt, in einigen Ausführungsbeispielen der Erfindung sind diese praktischen Details nicht notwendig. Darüber hinaus sind einige der herkömmlichen Aufbauten und Elemente in den Zeichnungen auf vereinfachte schematische Weise dargestellt, um die Zeichnungen zu vereinfachen. Merkmale verschiedener Ausführungsformen können, wenn dies in der Praxis möglich ist, in Wechselbeziehung zueinander verwendet werden.
  • Es wird auf 1 Bezug genommen, die eine schematische Ansicht ist, welche die Anwendung des Sondenkopfs 100 gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung zeigt. Wie in 1 gezeigt, ist der Sondenkopf 100 über das Raumumwandlungsgestell 200 elektrisch mit der Leiterplatte 300 verbunden, um eine Nadelkarte 400 zu bilden. In praktischen Anwendungen ist der Sondenkopf 100 so konfiguriert, dass er zur Durchführung einer elektrischen Signalprüfung an einem Prüfobjekt elektrisch mit dem Prüfobjekt (Device Under Test, kurz DUT) verbunden ist.
  • Es wird auf 2 Bezug genommen, die eine teilweise vergrößerte Querschnittansicht des Sondenkopfs 100 gemäß 1 zeigt. Wie in den 1 und 2 gezeigt, umfasst im vorliegenden Ausführungsbeispiel der Sondenkopf 100 einen Mikropositionierer 110 und mehrere Sonden 120. Wie in 2 gezeigt, umfasst der Mikropositionierer 110 eine obere Führungsplatte 111 und eine untere Führungsplatte 112, die parallel zueinander stehen, wobei die obere Führungsplatte 111 mehrere erste Führungslöcher H1 und die untere Führungsplatte 112 mehrere zweite Führungslöcher H2 aufweist, wobei die Position des jeweiligen ersten Führungslochs H1 mit der Position des entsprechenden zweiten Führungslochs H2 korrespondiert. Eine jeweilige Sonde 120 geht durch ein entsprechendes erstes Führungsloch H1 der oberen Führungsplatte 111 und ein entsprechendes zweites Führungsloch H2 der unteren Führungsplatte 112 hindurch. Ferner weist eine jeweilige Sonde 120 ein Paar planer Flächen 121 auf, wobei die planen Flächen 121 voneinander abgewandt sind und sich zumindest teilweise im entsprechenden zweiten Führungsloch H2 der unteren Führungsplatte 112 befinden.
  • Es wird auf 3 Bezug genommen, die eine Querschnittansicht entlang des Liniensegments M-M gemäß 2 zeigt. Wie in 3 gezeigt, ist im vorliegenden Ausführungsbeispiel das jeweilige zweite Führungsloch H2 der unteren Führungsplatte 112 rechteckig. Auf diese Weise können sich die planen Flächen 121 der jeweiligen Sonde 120 und das entsprechende zweite Führungsloch H2 gegenseitig behindern. Dadurch, dass die planen Flächen 121 der jeweiligen Sonde 120 und das entsprechende rechteckige zweite Führungsloch H2 sich gegenseitig behindern, kann die Drehung der Sonden 120 relativ zur unteren Führungsplatte 112 durch die zweiten Führungslöcher H2 begrenzt werden, d. h. die Sonden 120 können nicht relativ zum Mikropositionierer 110 gedreht werden.
  • In der Regel sammeln sich, nach dem die Nadelkarte 400 eine elektrische Signalprüfung abgeschlossen hat oder eine elektrische Signalprüfung für einen Zeitraum durchgeführt hat, leicht unerwünschte Bruchstücke am nahe dem Prüfobjekt befindlichen Ende der Sonden 120 an. Wie oben beschrieben, können die Sonden 120 nicht relativ zum Mikropositionierer 110 gedreht werden, sodass die Sonden 120, wenn der Benutzer die auf den Sonden 120 angesammelten Bruchstücke beseitigt, relativ zum Mikropositionierer 110 fixiert werden können und somit der Benutzer die Sonden 120 effektiv reinigen kann. Während des Reinigungsvorgangs der Sonden 120 ist die Nadelkarte 400 auf der Reinigungsplattform für Sonden befestigt. Durch auf der Reinigungsplattform für Sonden angeordnetes und zur Sondenreinigung dienendes Schleifpapier können sich die Nadelkarte 400 und die Reinigungsplattform für Sonden einander annähern und bewegen, wodurch die Sonden 120 in Kontakt mit dem Schleifpapier kommen und bei ihnen eine Translations- oder Rotationsbewegung ausgeführt wird, sodass eine Wechselwirkung zwischen den Sonden 120 und dem Schleifpapier besteht und somit die Bruchstücke der Sonden 120 mittels des Schleifpapiers entfernt werden. Wenn die Sonden 120 mit dem Schleifpapier in Kontakt kommen und gedreht werden, ist die Wechselwirkung zwischen den Sonden 120 und dem Schleifpapier eher auf einen bestimmten Bereich als auf einen umfassenden Bereich der Sonden 120 beschränkt, was bedeutet, dass die Sondenreinigung unvollständig ist. Daher kann die Drehung der Sonden 120 relativ zur unteren Führungsplatte 112 durch die zweiten Führungslöcher H2 begrenzt werden. Wenn die Sonden 120 gereinigt werden, kann das obige Problem vermieden und die Effizienz der Sondenreinigung verbessert werden.
  • Wie in den 2 und 3 gezeigt, umfasst eine jeweilige Sonde 120 strukturell einen Sondenhauptkörper 122 und eine Federhülse 125. Ein jeweiliger Sondenhauptkörper 122 weist eine Sondenspitze 123 auf, wobei mindestens ein Teil der jeweiligen Sondenspitze 123 durch ein entsprechendes zweites Führungsloch H2 der unteren Führungsplatte 112 hindurchgeht. Eine jeweilige Federhülse 125 umfasst einen Sondenhauptkörper 122, wobei die jeweilige Federhülse 125 ein Verbindungsende 126, einen Federabschnitt 127 und ein freies Ende 128 aufweist, wobei der jeweilige Federabschnitt 127 zwischen dem entsprechenden Verbindungsende 126 und dem entsprechenden freien Ende 128 angeordnet und mit diesen verbunden ist, wobei das Verbindungsende 126 der jeweiligen Federhülse 125 beispielsweise durch Schweißen mit dem entsprechenden Sondenhauptkörper 122 fest verbunden ist, wobei das freie Ende 128 der jeweiligen Federhülse 125 von der Sondenspitze 123 des entsprechenden Sondenhauptkörpers 122 entfernt liegt. In der Praxis sammeln sich die bei der elektrischen Signalprüfung entstehenden Bruchstücke hauptsächlich an den Sondenspitzen 123 der Sondenhauptkörper 122 an. Um die Qualität und Wirksamkeit der Nadelkarte 400 aufrechtzuerhalten, werden normalerweise vom Benutzer die Sondenspitzen 123 der Sondenhauptkörper 122 regelmäßig gereinigt.
  • Wie oben beschrieben, geht mindestens ein Teil der Sondenspitze 123 des jeweiligen Sondenhauptkörpers 122 durch das entsprechende zweite Führungsloch H2 der unteren Führungsplatte 112 hindurch, wobei sich die planen Flächen 121 ebenfalls zumindest teilweise im entsprechenden zweiten Führungsloch H2 befinden, d. h. die jeweiligen planen Flächen 121 befinden sich an der entsprechenden Sondenspitze 123 und sind abgewandt von der entsprechenden Sondenspitze 123 angeordnet, wie in den 2 und 3 gezeigt.
  • Insbesondere weist eine jeweilige Sondenspitze 123, wie in 3 gezeigt, in der senkrecht zur Mittelachse X des entsprechenden Sondenhauptkörpers 122 liegenden Richtung D einen ersten Querschnitt 123S, nämlich den in 3 gezeigten Querschnitt der Sondenspitze 123, auf. Wie in 3 gezeigt, weist der jeweilige erste Querschnitt 123S zwei gegenüberliegende gerade Kanten 1231 und zwei gegenüberliegende gebogene Kanten 1232 auf, wobei die Positionen der geraden Kanten 1231 gleichfalls die Positionen sind, an denen sich die planen Flächen 121 befinden. Im vorliegenden Ausführungsbeispiel sind die jeweiligen geraden Kanten 1231 parallel zueinander und die jeweiligen gebogenen Kanten 1232 symmetrisch, wobei die Mittelachse X des jeweiligen Sondenhauptkörpers 122 der Mittelpunkt der entsprechenden gebogenen Kanten 1232 ist. Die jeweilige Sondenspitze 123 ist so geformt, dass die Nadelform des ursprünglichen jeweiligen ersten Querschnitts 123S durch mechanisches Stanzen zu einer quadratisch-runden Form abgeflacht ist.
  • Insbesondere weist ein jeweiliges zweites Führungsloch H2 der unteren Führungsplatte 112, wie in 3 gezeigt, zwei gegenüberliegende erste Innenwände 1121 und zwei gegenüberliegende zweite Innenwände 1122 auf, wobei die jeweiligen ersten Innenwände 1121 und die jeweiligen zweiten Innenwände 1122 miteinander verbunden sind, um das jeweilige zweite Führungsloch H2 zu definieren. Es ist anzumerken, dass der Abstand L1 zwischen den jeweiligen ersten Innenwänden 1121 größer als der Abstand L2 zwischen den jeweiligen geraden Kanten 1231, aber kürzer als der maximale Abstand LF zwischen den jeweiligen gebogenen Kanten 1232 ist. Wenn daher die Sondenspitze 123 einer jeweiligen Sonde 120 durch das entsprechende zweite Führungsloch H2 hindurchgeht, kann die jeweilige Sondenspitze 123 nur in einem Zustand, nämlich in jenem, in dem die entsprechenden planen Flächen 121 parallel zu den entsprechenden ersten Innenwänden 1121 stehen, durch das entsprechende zweite Führungsloch H2 hindurchgeführt werden.
  • Auf diese Weise kann durch die zweiten Führungslöcher H2 der unteren Führungsplatte 112 ein Drehen der Sonden 120 relativ zum Mikropositionierer 110 verhindert werden, wobei ferner die Richtungen der planen Flächen 121 der Sondenspitzen 123 durch die zweiten Führungslöcher relativ zum Mikropositionierer 110 beschränkt werden können, d. h. die Anordnungsrichtungen, in denen die Sonden 120 am Mikropositionierer 110 angebracht sind, können durch die geometrischen Größen der zweiten Führungslöcher H2 und der Sondenspitzen 123 voreingestellt werden.
  • Wie in 2 gezeigt, weist ferner das Verbindungsende 126 der jeweiligen Federhülse 125 in der Richtung D eine Breite W auf, wobei die Breite W der maximale Außendurchmesser des entsprechenden vorstehenden Abschnitts 126a, der sich nach der Befestigung des jeweiligen Verbindungsendes 126 mit dem entsprechenden Sondenhauptkörper 122 ergibt, ist, wobei die Breite W des jeweiligen vorstehenden Abschnitts 126a größer als das entsprechende zweite Führungsloch H2 ist, d. h. die Breite ist größer als der Abstand L1 zwischen den jeweiligen ersten Innenwänden 1121, wobei die Querschnittsform des jeweiligen vorstehenden Abschnitts 126a elliptisch ist. Darüber hinaus weist die nahe der jeweiligen Sondenspitze 123 befindliche Endfläche des jeweiligen Verbindungsendes 126 einen Außendurchmesser auf, wobei der Außendurchmesser der Endfläche ebenfalls größer als der Abstand L1 zwischen den jeweiligen ersten Innenwänden 1121 ist. Auf diese Weise kann durch die untere Führungsplatte 112 verhindert werden, dass die jeweilige Federhülse 125 durch das entsprechende zweite Führungsloch H2 hindurchgeht, um den Effekt der Fixierung der Position und des Anschlagens der Sondenspitzen 123 zu erzielen.
  • Wie in 2 gezeigt, weist ferner der Sondenhauptkörper 122 einer jeweiligen Sonde 120 einen Sondenkörper 129 auf, wobei der jeweilige Sondenkörper 129 mit der entsprechenden Sondenspitze 123 verbunden ist, wobei sich die jeweilige Sondenspitze 123 relativ zum entsprechenden Sondenkörper 129 weit von der Leiterplatte 300 entfernt befindet, wobei das Verbindungsende 126 der jeweiligen Federhülse 125 fest mit dem Sondenkörper 129 des entsprechenden Sondenhauptkörpers 122 verbunden ist. Wenn die jeweilige Federhülse 125 nicht zusammengedrückt ist, ist die Länge L3 der jeweiligen Federhülse 125 länger als die Länge L4 des entsprechenden Sondenkörpers 129, sodass der Sondenkörper 129 des entsprechenden Sondenhauptkörpers 122, wenn die jeweilige Federhülse 125 ihre natürliche Länge besitzt, von der jeweiligen Federhülse 125 umfasst wird.
  • Wie in 2 gezeigt, weist ferner der Sondenkörper 129 des jeweiligen Sondenhauptkörpers 122 in der Richtung D einen zweiten Querschnitt 129S auf. Es wird auf 4 Bezug genommen, die eine Querschnittansicht entlang des Liniensegments N-N, nämlich den zweiten Querschnitt 129S eines jeweiligen Sondenkörpers 129, gemäß 2 zeigt. Wie in 4 gezeigt, ist im vorliegenden Ausführungsbeispiel der zweite Querschnitt 129S des jeweiligen Sondenkörpers 129 kreisförmig. Das heißt, der zweite Querschnitt 129S des jeweiligen Sondenkörpers 129 hat eine andere Form als der erste Querschnitt 123S der entsprechenden Sondenspitze 123.
  • Es wird wieder auf 2 Bezug genommen. Im vorliegenden Ausführungsbeispiel umfasst der Mikropositionierer 110 ferner eine mittlere Führungsplatte 113, wobei sich die mittlere Führungsplatte 113 zwischen der oberen Führungsplatte 111 und der unteren Führungsplatte 112 befindet. Die obere Führungsplatte 111 und die mittlere Führungsplatte 113 sind aufeinandergestapelt. Die ersten Führungslöcher H1 gehen durch die obere Führungsplatte 111 und die mittlere Führungsplatte 113 hindurch. Mit anderen Worten umfasst der Mikropositionierer 110 mehrere Führungsplatten, wie beispielsweise die obere Führungsplatte 111, die mittlere Führungsplatte 113 und die untere Führungsplatte 112. In praktischen Anwendungen hängt die Anzahl der Führungsplatten von der Länge der Federhülsen 125 oder von der Anzahl der Federabschnitte 127 ab. Insbesondere weist eine jeweilige Federhülse 125 mindestens einen Federabschnitt 127 auf.
  • Es ist anzumerken, dass ferner ein Aufnahmeraum A auf der der mittleren Führungsplatte 113 zugewandten Seite der unteren Führungsplatte 112 vorgesehen ist, wobei der Aufnahmeraum A mit den ersten Führungslöchern H1 und den zweiten Führungslöchern H2 durchgängig verbunden ist und zur Aufnahme der Verbindungsenden 126 der Federhülsen 125 dient. Für den Fall, dass die ersten Führungslöcher H1 und die zweiten Führungslöcher H2 während der Bearbeitung fehlausgerichtet werden, stellt der Aufnahmeraum A einen Pufferraum bereit, in welchem sich die Sonden 120 leicht verformen können, damit sie trotzdem durch die ersten und zweiten Führungslöcher H1 und H2 durchgeführt werden können.
  • Zusammenfassend bieten die in den obigen Ausführungsbeispielen der vorliegenden Erfindung offenbarten technischen Lösungen zumindest die folgenden Vorteile:
    • (1) Dadurch, dass die planen Flächen der jeweiligen Sonde und das entsprechende rechteckige zweite Führungsloch sich gegenseitig behindern, kann die Drehung der Sonden relativ zur unteren Führungsplatte durch die zweiten Führungslöcher begrenzt werden, sodass die Sonden, wenn der Benutzer die auf den Sonden angesammelten Bruchstücke beseitigt, relativ zum Mikropositionierer fixiert werden können und somit der Benutzer die Sonden effektiv reinigen kann.
    • (2) Durch die zweiten Führungslöcher der unteren Führungsplatte kann ein Drehen der Sonden relativ zum Mikropositionierer verhindert werden, wobei ferner die Richtungen der planen Flächen der Sondenspitzen durch die zweiten Führungslöcher relativ zum Mikropositionierer beschränkt werden können, d. h. die Anordnungsrichtungen, in denen die Sonden am Mikropositionierer angebracht sind, können durch die geometrischen Größen der zweiten Führungslöcher und der Sondenspitzen voreingestellt werden.
  • Obgleich die vorliegende Erfindung in den oben genannten Ausführungsbeispielen offenbart ist, schränken sie die vorliegende Erfindung nicht ein. Alle gleichwertigen Änderungen und Modifikationen, die gemäß der Beschreibung und den Zeichnungen der Erfindung von einem Fachmann auf diesem Gebiet vorgenommen werden können, fallen in den Schutzumfang der vorliegenden Erfindung.
  • Bezugszeichenliste
  • 100
    Sondenkopf
    110
    Mikropositionierer
    111
    obere Führungsplatte
    112
    untere Führungsplatte
    1121
    erste Innenwand
    1122
    zweite Innenwand
    113
    mittlere Führungsplatte
    120
    Sonde
    121
    plane Fläche
    122
    Sondenhauptkörper
    123
    Sondenspitze
    123S
    erster Querschnitt
    1231
    gerade Kante
    1232
    gebogene Kante
    125
    Federhülse
    126
    Verbindungsende
    126a
    vorstehender Abschnitt
    127
    Federabschnitt
    128
    freies Ende
    129
    Sondenkörper
    129S
    zweiter Querschnitt
    200
    Raumumwandlungsgestell
    300
    Leiterplatte
    400
    Nadelkarte
    A
    Aufnahmeraum
    D
    Richtung
    H1
    erstes Führungsloch
    H2
    zweites Führungsloch
    L1, L2
    Abstand
    L3, L4
    Länge
    LF
    maximaler Abstand
    M-M, N-N
    Liniensegment
    W
    Breite
    X
    Mittelachse

Claims (9)

  1. Sondenkopf (100), umfassend: einen Mikropositionierer (110), der eine obere Führungsplatte (111) und eine untere Führungsplatte (112) umfasst, wobei die obere Führungsplatte (112) mehrere erste Führungslöcher (H1) und die untere Führungsplatte (112) mehrere zweite Führungslöcher (H2) aufweist, wobei das jeweilige zweite Führungsloch (H2) rechteckig ist, mehrere Sonden (120), wobei eine jeweilige Sonde durch ein entsprechendes erstes Führungsloch (H1) und ein entsprechendes zweites Führungsloch (H2) hindurchgeht, wobei eine jeweilige Sonde (120) Folgendes umfasst: einen Sondenhauptkörper (122), wobei ein jeweiliger Sondenhauptkörper eine Sondenspitze (123) und einen Sondenkörper (129) aufweist, wobei der jeweilige Sondenkörper (129) mit der entsprechenden Sondenspitze (123) verbunden ist, wobei die jeweilige Sondenspitze (123) in der senkrecht zur Mittelachse (X) des jeweiligen Sondenhauptkörpers (122) liegenden Richtung (D) einen ersten Querschnitt (123S) aufweist, wobei sich mindestens ein Teil des jeweiligen ersten Querschnitts (123S) im entsprechenden zweiten Führungsloch (H2) befindet, wobei der jeweilige erste Querschnitt (123S) zwei gegenüberliegende gerade Kanten (1231) und zwei gegenüberliegende gebogene Kanten (1232) aufweist, wobei ein jeweiliger Sondenkörper (129) in der Richtung (D) einen zweiten Querschnitt (129S) aufweist, wobei der jeweilige zweite Querschnitt (129S) kreisförmig ist, und eine Federhülse (125), wobei die jeweilige Federhülse einen Sondenhauptkörper (122) umfasst und ein Verbindungsende (126), einen Federabschnitt (127) und ein freies Ende (128) aufweist, wobei der jeweilige Federabschnitt (127) zwischen dem entsprechenden Verbindungsende (126) und dem entsprechenden freien Ende (128) angeordnet und mit diesen verbunden ist, wobei das jeweilige Verbindungsende (126) mit dem entsprechenden Sondenkörper (129) fest verbunden ist, um einen vorstehenden Abschnitt (126a) zu bilden, wobei das jeweilige freie Ende (128) von der entsprechenden Sondenspitze (123) entfernt liegt.
  2. Sondenkopf nach Anspruch 1, bei dem ein jeweiliges zweites Führungsloch (H2) zwei gegenüberliegende erste Innenwände (1121) und zwei gegenüberliegende zweite Innenwände (1122) aufweist, wobei die jeweiligen ersten Innenwände (1121) und die jeweiligen zweiten Innenwände (1122) miteinander verbunden sind, wobei der Abstand (L1) zwischen den jeweiligen ersten Innenwänden (1121) größer als der Abstand (L2) zwischen den jeweiligen geraden Kanten (1231), aber kürzer als der maximale Abstand (LF) zwischen den jeweiligen gebogenen Kanten (1232) ist.
  3. Sondenkopf nach Anspruch 2, bei dem das jeweilige Verbindungsende (126) in der senkrecht zur Mittelachse (X) des jeweiligen Sondenhauptkörpers (122) liegenden Richtung (D) eine Breite (W) aufweist, wobei die Breite (W) größer als der Abstand (L1) zwischen den jeweiligen ersten Innenwänden (1121) ist.
  4. Sondenkopf nach Anspruch 1, bei dem die jeweiligen geraden Kanten (1231) parallel zueinanderstehen.
  5. Sondenkopf nach Anspruch 1, bei dem die jeweiligen geraden Kanten (1231) symmetrisch sind.
  6. Sondenkopf nach Anspruch 1, bei dem der jeweilige vorstehende Abschnitt (126a) in der Richtung (D) eine Breite (W) aufweist, wobei die Breite (W) größer als das jeweilige zweite Führungsloch (H2) ist.
  7. Sondenkopf nach Anspruch 1, bei dem der jeweilige Sondenkörper (129), wenn die jeweilige Federhülse (125) ihre natürliche Länge besitzt, von der jeweiligen Federhülse (125) umfasst wird.
  8. Sondenkopf nach Anspruch 1, bei dem der Mikropositionierer (110) ferner eine mittlere Führungsplatte (113) umfasst, wobei sich die mittlere Führungsplatte (113) zwischen der oberen Führungsplatte (111) und der unteren Führungsplatte (112) befindet.
  9. Eine Nadelkarte, umfassend: eine Leiterplatte (300), einen Sondenkopf (100), umfassend: einen Mikropositionierer (110), der eine obere Führungsplatte (111) und eine untere Führungsplatte (112) umfasst, wobei die obere Führungsplatte (112) mehrere erste Führungslöcher (H1) und die untere Führungsplatte (112) mehrere zweite Führungslöcher (H2) aufweist, wobei das jeweilige zweite Führungsloch (H2) rechteckig ist, mehrere Sonden (120), wobei eine jeweilige Sonde durch ein entsprechendes erstes Führungsloch (H1) und ein entsprechendes zweites Führungsloch (H2) hindurchgeht, wobei eine jeweilige Sonde (120) Folgendes umfasst: einen Sondenhauptkörper (122), wobei ein jeweiliger Sondenhauptkörper eine Sondenspitze (123) und einen Sondenkörper (129) aufweist, wobei der jeweilige Sondenkörper (129) mit der entsprechenden Sondenspitze (123) verbunden ist, wobei sich die jeweilige Sondenspitze (123) relativ zum entsprechenden Sondenkörper (129) weit von der Leiterplatte (300) entfernt befindet, wobei die jeweilige Sondenspitze (123) einen ersten Querschnitt (123S) aufweist, wobei sich mindestens ein Teil des jeweiligen ersten Querschnitts (123S) im entsprechenden zweiten Führungsloch (H2) befindet, wobei der jeweilige erste Querschnitt (123S) zwei gegenüberliegende gerade Kanten (1231) und zwei gegenüberliegende gebogene Kanten (1232) aufweist, wobei ein jeweiliger Sondenkörper (129) einen zweiten Querschnitt (129S) aufweist, wobei der jeweilige zweite Querschnitt (129S) kreisförmig ist, und eine Federhülse (125), wobei die jeweilige Federhülse einen Sondenhauptkörper (122) umfasst und ein Verbindungsende (126), einen Federabschnitt (127) und ein freies Ende (128) aufweist, wobei der jeweilige Federabschnitt (127) zwischen dem entsprechenden Verbindungsende (126) und dem entsprechenden freien Ende (128) angeordnet und mit diesen verbunden ist, wobei das jeweilige Verbindungsende (126) mit dem entsprechenden Sondenhauptkörper (122) fest verbunden ist, wobei das jeweilige freie Ende (128) von der entsprechenden Sondenspitze (123) entfernt liegt, und ein Raumumwandlungsgestell (200), das zwischen der Leiterplatte (300) und dem Sondenkopf (100) angeordnet und mit diesen verbunden ist.
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