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Technisches Anwendungsgebiet
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Die
vorliegende Erfindung betrifft ein automatisiertes Lager, das z.
B. in einem Reinraum verwendet wird. Insbesondere betrifft die vorliegende
Erfindung die Raummessung im automatisierten Lager.
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Stand der Technik
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Der
Erfinder hat eine Technik vorgeschlagen, eine Messeinheit, die mit
einem Sensor zur Reinheitsmessung ausgestattet ist, zu schaffen
und die Messeinheit in jeder Zelle eines automatisierten Lagers
unter Verwendung von Entnahme- und Lagergeräten zur Raummessung
in der Zelle anzuordnen (Patentveröffentlichung 1:
JP2007-297196A ).
Auf diese Weise ist es möglich, den Raum in jeder Zelle und
die Umgebung von Gegenständen, die von den Entnahme- und
Lagergeräten transportiert werden, zu messen. Der Erfinder
untersuchte außerdem eine Technik zur Implementierung einer
Rückkopplungssteuerung für Reinluft auf der Grundlage
von Raummessergebnissen und gelangte zu der vorliegenden Erfindung.
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Offenbarung der Erfindung
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Durch die Erfindung zu lösende
Probleme
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Eine
Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, einen Reinraum
in einem automatisierten Lager aufrechtzuerhalten und dadurch effektiv eine
Kontamination von Gegenständen im Lager zu verhindern.
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Eine
weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, auf die
Gegenstände während des Transports aufgebrachte
Vibrationen auf einem bestimmten Pegel oder darunter zu halten,
um dadurch effektiv zu verhindern, dass die Gegenstände beschädigt
werden.
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Gemäß der
vorliegenden Erfindung hat ein automatisiertes Lager Zellen, ein
Entnahme- und Lagergerät, eine Gebläsefiltereinheit
zur Zufuhr von Reinluft, einen Entlüftungsauslass mit einer
einstellbaren Öffnung und eine Messeinheit zum Messen des
Reinraums. Das Entnahme- und Lagergerät kann die Messeinheit
transportieren und die Messeinheit zu den und von den Zellen transferieren.
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Die
Messeinheit misst den Reinraum der Zellen. Das automatisierte Lager
hat außerdem eine Steuereinrichtung zur Steuerung wenigstens
einer Gebläsefiltereinheit und der Öffnung des
Entlüftungsauslasses, um den Reinraum der Zellen auf einem bestimmten
Pegel oder darüber zu halten.
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Außerdem
wird gemäß der vorliegenden Erfindung ein Verfahren
zur Reinraumsteuerung in einem automatisierten Lager geschaffen.
Das automatisierte Lager hat Zellen, ein Entnahme- und Lagergerät,
eine Gebläsefiltereinheit zur Zufuhr von Reinluft, einen
Entlüftungsauslass mit einer einstellbaren Öffnung
und eine Messeinheit zur Reinraummessung. Das Entnahme- und Lagergerät
kann die Messeinheit transportieren und die Messeinheit zu den und von
den Zellen transferieren.
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Das
Verfahren umfasst die Schritte der Messung des Reinraums der Zellen
durch die Messeinheit und der Steuerung wenigstens einer Gebläsefiltereinheit
und der Öffnung des Entlüftungsauslasses auf der
Grundlage eines Messergebnisses, um den Reinraum der Zellen auf
einem bestimmten Pegel oder darüber zu halten.
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Vorzugsweise
transferiert das Entnahme- und Lagergerät die Messeinheit
zu einigen Zellen im automatisierten Lager entsprechend einer bestimmten
Vorschrift zur Reinraummessung der Zellen, zu denen die Messeinheit
transferiert wurde. Besonders bevorzugt hat die Messeinheit einen
Vibrationssensor zur Messung von Vibrationen, mit denen die Messeinheit
während des Transports durch das Entnahme- und Lagergerät
beaufschlagt wird, und das automatisierte Lager hat eine Begrenzungseinrichtung
zur Begrenzung des Betriebs des Entnahme- und Lagergeräts,
um die Vibrationen, mit denen ein Gegenstand während des
Transports des Gegenstands beaufschlagt wird, auf einem bestimmten
Pegel oder darunter zu halten.
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Außerdem
hat gemäß einem weiteren Aspekt der vorliegenden
Erfindung das automatisierte Lager ein Entnahme- und Lagergerät,
Zellen und eine Vibrationsmesseinheit, und das Entnahme- und Lagergerät
ist in der Lage, die Vibrationsmesseinheit zu transportieren und
die Vibrationsmesseinheit zu den und von den Zellen zu transferieren.
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Die
Vibrationsmesseinheit misst die Vibrationen während des
Transports durch das Entnahme- und Lagergerät.
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Das
automatisierte Lager hat außerdem eine Begrenzungseinrichtung
zur Begrenzung des Betriebs des Entnahme- und Lagergeräts
auf der Grundlage eines Messergebnisses durch die Vibrationsmesseinrichtung,
um Vibrationen, mit denen ein Gegenstand während des Transports
des Gegenstandes beaufschlagt wird, auf einem bestimmten Pegel oder
darunter zu halten.
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Vorzugsweise
hat die Vibrationsmesseinheit einen Sensor für statische
Elektrizität, und die Begrenzungseinrichtung begrenzt den
Betrieb des Entnahme- und Lagergeräts auf der Grundlage
eines Messergebnisses durch den Sensor für statische Elektrizität.
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Vorteile der Erfindung
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Bei
der vorliegenden Erfindung kann der Reinraum im gesamten automatisierten
Lager unter Verwendung einer einzigen Messeinheit oder einer geringen
Anzahl von Messeinheiten effizient gemessen werden. Außerdem
werden die Messergebnisse zur Steuerung der Gebläsefiltereinheit
bzw. des Entlüftungsauslasses rückgekoppelt. Auf
diese Weise wird in jeder Zelle die Reinheit auf einem bestimmten Pegel
oder darüber gehalten.
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Wenn
der Reinraum nur einiger Zellen im automatisierten Lager sukzessive
entsprechend einer bestimmten Vorschrift gemessen wird, und der
Reinraum benachbarter Zellen geschätzt wird, kann der Reinraum
im gesamten automatisierten Lager effizient bestimmt werden.
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Wenn
außerdem die Messeinheit einen Vibrationssensor hat, und
der Betrieb des Entnahme- und Lagergeräts entsprechend
den Vibrationsmessergebnissen begrenzt wird, können Vibrationen,
mit denen der Gegenstand während des Transports des Gegenstands
beaufschlagt wird, auf einen bestimmten Pegel oder darunter reduziert
werden, und der Gegenstand wird durch die Vibrationen während
des Transports des Gegenstands nicht beschädigt.
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Wenn
die Messeinheit außerdem einen Sensor für statische
Elektrizität hat, und der Betrieb des Entnahme- und Lagergeräts
begrenzt wird, kann die elektrische Ladung des transportierten Gegenstands auf
einem bestimmten Pegel oder darunter gehalten werden.
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Kurzbeschreibung der Zeichnungen
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1 ist
eine Aufsicht, die das automatisierte Lager gemäß einer
Ausführungsform zeigt.
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2 ist
eine Frontansicht, die die Ausführungsform zeigt.
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3 ist
eine Seitenansicht, die die Messeinheit zeigt, die bei der Ausführungsform
verwendet wird.
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4 ist
ein Blockschaltbild, das eine Kransteuereinheit zeigt, die bei der
Ausführungsform verwendet wird.
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5 ist
ein Ablaufdiagramm, das einen Algorithmus zur Prüfung aller
Zellen der Ausführungsform zeigt.
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6 ist
ein Ablaufdiagramm, das einen Algorithmus zum Inspektionszeitpunkt
der Ausführungsform zeigt.
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- 2
- automatisiertes
Lager
- 4,
5
- Regal
- 6
- Stapelkran
- 8
- Laufschiene
- 10
- Fahrbereich
- 12
- Fahrgestell
- 14
- Hubrahmen
- 15
- Mast
- 16
- Transfergerät
- 18
- Gebläsefiltereinheit
(FFU)
- 19
- Ladestation
- 20
- Bodensteuergerät
- 22
- Zelle
- 24
- Messeinheit
- 26
- Entlüftungsventil
- 28
- Rückleitungskanal
- 29
- Rahmen
- 30
- Sensor
- 32
- Faden
- 34
- Windsegel
- 36
- Reflektor
- 38
- Strobe-Kamera
- 40
- Partikelzähler
- 42
- Abstandssensor
- 44
- Vibrationssensor
- 46
- Sensor
für statische Elektrizität
- 48
- Energiequelleneinheit
- 50
- Kommunikationsschnittstelle
- 52
- Kransteuergerät
- 54
- Gesamtzellen-Prüfmusterspeicher
- 56
- Sprung-Prüfmusterspeicher
- 58
- Nachbarzellen-Prüfmusterspeicher
- 60
- Kranbetriebs-Prüfmusterspeicher
- 62
- Messeinheits-Kommunikationsschnittstelle
- 64
- Kranbegrenzungseinheit
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AUSFÜHRUNGSFORM
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Die 1 bis 6 zeigen
ein automatisiertes Lager 2 gemäß einer
Ausführungsform. Das automatisierte Lager 2 ist
mit einem Reinraum versehen. In 1 bezeichnen
die Bezugsziffern 4 und 5 Regale. Die Bezugsziffer 6 bezeichnet
einen Stapelkran als Entnahme- und Lagergerät. Andere Transportgeräte
wie z. B. ein Förderer können verwendet werden.
Die Bezugsziffer 8 bezeichnet eine Laufschiene des Stapelkrans 6.
Die Bezugsziffer 10 bezeichnet den Fahrbereich des Stapelkrans 6.
Die Regale können nur auf einer Seite des Fahrbereichs 10 angeordnet
sein. Außerdem können einige der Regale 4, 5 durch
Halbleiter oder ein Verarbeitungsgerät wie einen Flachbildschirm
ersetzt werden.
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Wie
z. B. 2 zeigt, hat der Stapelkran 6 ein Fahrgestell 12 und
einen Hubrahmen 14, der längs eines Masts 15 angehoben
wird. Der Hubrahmen 14 hat ein Transportgerät 16 wie
eine Schiebegabel oder einen SCARA-Arm. Außerdem können
z. B. ein Drehtisch zum Drehen des Transportgeräts 16 zusammen
mit Gegenständen zwischen dem Hubrahmen 14 und
dem Transportgerät 16 angeordnet sein. Gebläsefiltereinheiten
(FFU's) 18 können an der Decke des automatisierten
Lagers 2 und an den Seiten davon angeordnet sein, z. B.
an der Rückseite der Zellen in der untersten Etage zur
Reinluftzufuhr. In 1 kann, obwohl die FFU's 18 im
gleichen Abstand wie die Zellen 22 angeordnet sind, die
tatsächliche Anordnung der FFU's 18 beliebig bestimmt
werden. Außerdem sind die FFU's 18 auf der Rückseite der
Zellen 22 in der untersten Etage angeordnet, da der Reinluftstrom
von den FFU's 18 an der Decke den Boden der Zellen 22 nur
schwer erreicht, wodurch der Eintritt von Fahrtwind des Stapelkrans 6 verhindert
wird.
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Eine
Ladestation 19 ist z. B. an einer Stelle der Regale 4, 5 so
angeordnet, dass eine Messeinheit 24 durch die Ladestation 19 geladen
werden kann. Weiterhin kann die Ladestation 19 eine Kommunikationsschnittstelle
zur Kommunikation mit der Messeinheit 24 haben, um Daten
von der Messeinheit 24 anzufordern. Die Bezugsziffer 20 bezeichnet ein
Bodensteuergerät zur Steuerung der FFU's 18 und
später beschriebenen Öffnungen von Entlüftungsventilen,
sowie des Stapelkrans 6. Die Bezugsziffern 22 bezeichnen
Zellen zum Lagern von z. B. Halbleiterkassetten wie Halbleitern
oder Kassetten für Flachbildschirme oder dergleichen. Die
Art der gelagerten Artikel kann beliebig bestimmt werden. Bei der
Ausführungsform wird angenommen, dass Flachbildschirme
in den Zellen 22 gelagert werden und die Zellen 22 sind
in etwa zwei oder drei Etagen vorgesehen. Die Bezugsziffern 26 bezeichnen
Auslassventile bzw. Entlüftungsöffnungen, die
nahe dem Boden des automatisierten Lagers 2 vorgesehen
sind. Jedes Auslassventil 26 hat eine einstellbare Öffnung. Die
Bezugsziffer 28 bezeichnet einen Rückleitungskanal
für die Zufuhr von Luft, die vom Entlüftungsventil 26 zu
den FFU's 18 zirkuliert.
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3 zeigt
den Aufbau der Messeinheit 24. Die Bezugsziffern 29 bezeichnen
einen geeigneten Rahmen. Die Messeinheit 24 ist beispielsweise
in zwei Etagen, nämlich eine obere und eine untere, unterteilt.
Die Trennung zur Unterteilung der Messeinheit 24 in eine
obere und eine untere Etage kann auch entfallen. Alternativ kann
die Messeinheit 24 in drei oder mehr Etagen unterteilt
sein. Durch die Unterteilung kann eine Änderung des Luftstroms
in jeder Höhenposition ermittelt werden, und durch Begrenzen
des Luftstroms in der Höhenrichtung kann der Luftstrom
horizontal ausgerichtet werden. In jeder oberen und unteren Etage
der Messeinheit 24 sind Sensoren 30 von oberen
Positionen aus aufgehängt. Jeder der Sensoren 30 besteht
aus einem Faden 32 und einem Windsegel 34, das
am unteren Ende des Fadens 32 angeordnet ist, sowie einem
Reflektor 36. Das Windsegel 34 hat z. B. eine
konische Form mit einer Öffnung 35 und bewegt
sich zusammen mit dem Reflektor 36. Der Sensor 30 wird
durch Aufnahme eines schwachen Windes innerhalb der Zelle bzw. am
Hubrahmen erheblich verstellt, um die Orientierung und Stärke
des Luftstroms genau zu bestimmen. Die Form des Windsegels 34 ist
nicht auf die konische Form beschränkt. Der Faden 32 kann sich
nach unten unter das Windsegel 34 bzw. den Reflektor 36 erstrecken.
Außerdem kann der Reflektor 36 weggelassen werden.
In diesem Falle wird die Position des Windsegels 34 selbst
abgebildet.
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Die
Bezugsziffern 38 bezeichnen Strobe-Kameras. Im Allgemeinen
hat die Kamera 38 ein Strobe-Licht, da der Raum im automatisierten
Lager 2 dunkel ist. Das Strobe-Licht kann gesondert von
der Kamera 38 erzeugt werden. Der Reflektor 36 wird
z. B. aus einer unteren zu einer oberen Position oder von einer
oberen zu einer unteren Position abgebildet. Der Bereich, in dem
sich der Reflektor 36 durch die Reinluft bewegt, liegt
im Betrachtungsfeld der gleichen Kamera 38. Daher können
die einzelnen Reflektoren 36 aus den Bildern der Kamera 38 identifiziert
werden. Außerdem kann z. B. eine einzige Kamera 38 zur
Abbildung mehrerer Reflektoren 36 verwendet werden.
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Die
Bezugsziffer 40 bezeichnet einen Partikelzähler.
Z. B. misst der Partikelzähler 40 die Anzahl und
die Größe von Partikeln, die durch die obere und untere
Etage der Messeinheit 24 strömen. Die Bezugsziffern 42 bezeichnen
Abstandssensoren. Der Abstandssensor 42 misst den Abstand
zu einer Tragsäule oder dergleichen der Zelle, wo die Messeinheit 24 angeordnet
ist, um die Genauigkeit der Transferposition der Messeinheit 24 zu
ermitteln.
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Die
Bezugsziffer 44 bezeichnet einen Vibrationssensor. Der
Vibrationssensor 44 ist z. B. in der Mitte an der unteren
Etage der Messeinheit 24 angeordnet. Der Vibrationssensor 44 hat
z. B. einen Beschleunigungssensor. Vorzugsweise misst der Vibrationssensor 44 Vibrationen,
mit denen die Messeinheit 24 in der X-, Y- und Z-Richtung
beaufschlagt wird. Die Bezugsziffern 46 bezeichnen Sensoren
für statische Elektrizität. Die Sensoren 46 für
statische Elektrizität können weggelassen werden.
Z. B. ermittelt der Sensor 46 für statische Elektrizität
den Ladungszustand eines Glassubstrats eines Flachbildschirms als
gelagertem Gegenstand. Das Glassubstrat wird elektrisch geladen,
wenn es Reinluft, die Ionen enthält, kontaktiert, oder
eine Reibung mit einem Glasträger einer Kassette (nicht
gezeigt) während des Transports auftritt. Wenn das Glassubstrat
elektrisch geladen wird, können die Schaltung und Transistoren
oder dergleichen auf dem Glassubstrat in unerwünschter
Weise beschädigt werden. Durch Aufladen des Glassubstrats
wird ein elektrisches Feld um das Glassubstrat erzeugt. Das elektrische
Feld wird von dem Sensor 46 für statische Elektrizität
gemessen. Obwohl der Sensor 46 für statische Elektrizität
die Orientierung oder dergleichen des elektrischen Feldes messen
kann, misst er nur die Stärke des elektrischen Feldes.
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Die
Bezugsziffer 48 bezeichnet eine Energiequelleneinheit,
die als Energiequelle für Komponenten wie die Kameras 38,
den Partikelzähler 40 und den Vibrationssensor 44 verwendet
wird. Die Energiequelleneinheit 48 wird z. B. von der Ladestation 19 geladen.
Die Bezugsziffer 50 bezeichnet eine Kommunikationsschnittstelle.
Die Kommunikationsschnittstelle 50 kommuniziert mit z.
B. einem drahtlosen LAN (nicht gezeigt), das im automatisierten
Lager vorgesehen ist. Wenn die Kommunikationsschnittstelle 50 am
Hubrahmen des Stapelkrans angeordnet ist, kommuniziert sie mit dem
Stapelkran. Alternativ kann stattdessen die Kommunikationsschnittstelle 50 mit
einer Kommunikationsschnittstelle in der Ladestation kommunizieren.
Während der Kommunikation wird ein Messsignal von der Messeinheit 24 ausgegeben,
und ein Befehl betreffend die Messung wird vom Gegenüber
empfangen.
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4 zeigt
den Aufbau eines Kransteuergeräts 52. Das Kransteuergerät 52 ist
ein On-Board-Steuergerät des Stapelkrans. Das Kransteuergerät 52 steuert
den Lauf des Stapelkrans, den Hub des Hubrahmens und den Betrieb
des Transportgeräts. Außerdem werden zum Transport
der Messeinheit zu Zellen als Zielen der Messung Transportmuster
zu den zu messenden Zielzellen gespeichert. Ein Allzellen-Prüfmusterspeicher 54 speichert ein
Transportmuster der Messeinheit, so dass die Messeinheit zu allen
Zellen im automatisierten Lager zur Messung des Reinraums aller
Zellen gelangen kann. Die Reinraummessung umfasst das Zählen von
Partikeln, die Messung der Strömungsrate und der Orientierung
des Luftstroms sowie die Messung von Vibrationen und der statischen
Elektrizität.
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Ein
Sprung-Prüfmusterspeicher 56 speichert das Muster
der Zellen, deren Reinraum gemessen wird derart, dass die Zellen über
den gesamten Bereich des automatisierten Lagers verteilt sind, und der
Reinraum nicht für alle, sondern z. B. nur für
einige Zellen gemessen wird. Die gemessenen Zellen entsprechend
dem Sprungprüfmuster müssen nicht festgelegt sein
und können jedes Mal geändert werden. Ein Nachbarzellen-Prüfmusterspeicher 58 speichert
Daten betreffend Gegenstände, wenn Zellen mit Problemen
im Reinraum ermittelt werden, und ein die Nachbarzellen angebendes
Muster, die Messziele sind.
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Ein
Kranbetriebs-Prüfspeicher 60 speichert ein Muster
zur Prüfung, wie der Reinraum durch den Lauf, die Beschleunigung
und die Verzögerung des Fahrgestells, den Hub, die Beschleunigung
und die Verzögerung des Hubrahmens und den Betrieb des Transportgeräts
verändert wird. In diesem Muster ist z. B. die Messeinheit
in der Zelle angeordnet, und der Stapelkran wird wiederholt, um
die Zelle, in der die Messeinheit angeordnet ist, in Betrieb zu
nehmen, und Bedingungen wie der Lauf, der Hub und der Betrieb des
Transportgeräts werden geändert. Dabei misst die
Messeinheit den Reinraum. Eine Messeinheit-Kommunikationsschnittstelle 62 ist
eine Schnittstelle zur Kommunikation mit der Messeinheit. Die Messeinheit-Kommunikationsschnittstelle 62 kann weggelassen
werden. Eine Kranbegrenzungseinheit 64 begrenzt z. B. die
Arbeitsgeschwindigkeit, die Beschleunigung und die Verzögerung
des Krans entsprechend den Vibrationsmessergebnissen, der statischen
Elektrizität oder dergleichen.
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Es
wird nun die Arbeitsweise der Ausführungsform beschrieben.
Z. B. wird zum Zeitpunkt der Fertigstellung der Konstruktion des
automatischen Lagers oder zum Zeitpunkt eines umfangreichen Wartungsbetriebs
der Reinraum für alle Zellen gemessen. Mittels des Stapelkrans
wird die Messeinheit in jeder Zelle angeordnet, um die Anzahl und Verteilung
von Partikeln in der Zelle, die Verteilung und die Geschwindigkeit
des Luftstroms, die Genauigkeit der Anordnung der Messeinheit und
den Grad der statischen Elektrizität zu messen. Außerdem werden
zum Zeitpunkt des Transports der Messeinheit mittels des Stapelkrans
und zum Zeitpunkt des Transfers der Messeinheit die Anzahl und Verteilung der
Partikel, die Verteilung und die Geschwindigkeit des Luftstroms,
die Genauigkeit der Position der Messeinheit und die Vibrationen
und die statische Elektrizität, mit der die Messeinheit
beaufschlagt wird, gemessen.
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Diese
Ergebnisse werden vom drahtlosen LAN oder dergleichen zum Bodensteuergerät übertragen.
Wenn irgendwelche Daten ein Problem aufweisen, wird ein Wartungsvorgang
zur Justierung durchgeführt. Dann wird auf der Grundlage
des Messergebnisses des Partikelzählers und der Messergebnisse
der Orientierung und der Windgeschwindigkeit des Luftstroms die
Luftblasgröße der Gebläsefiltereinheit
und die Öffnungen der Entlüftungsventile so eingestellt,
dass alle Zellen wenigstens eine bestimmte Reinheit haben. Wenn
der Luftstrom zu stark ist, kann eine Veränderung der Gegenstände
wie eines Glassubstrats auftreten. Daher werden auch entsprechend
dem Messergebnis der statischen Elektrizität die Gebläsefiltereinheit
und die Öffnungen der Entlüftungsventile eingestellt.
Entsprechend den Vibrationen und dem Grad der statischen Elektrizität wird
weiterhin der Betrieb des Krans beschränkt. Bei Vorhandensein
von Partikeln über einem zulässigen Pegel oder
wenn die Orientierung und Größe des Luftstroms
anormal sind oder bei Vorhandensein abnormaler Vibrationen und abnormaler
statischer Elektrizität werden diese Situationen als Probleme identifiziert,
und der Stapelkran wird eingestellt. Um den Grund dieser Schwierigkeiten
zu identifizieren, werden die Betriebsbedingungen des Stapelkrans geändert.
Auf diese Weise wird die Beziehung zwischen dem Betrieb des Stapelkrans
und der anormalen Bedingungen identifiziert.
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6 zeigt
ein Muster zum Inspektionszeitpunkt. Eine Inspektion wird periodisch
zu einem geeigneten Zeitpunkt nach Erstellung der Konstruktion des
automatisierten Lagers durchgeführt. Entsprechend dem vom
Spring-Prüfmusterspeicher durchgeführten Prüfmuster
wird die Messeinheit in einer bestimmten Zelle angeordnet, und Reinheit,
Vibrationen und Grad der statischen Elektrizität werden
gemessen. Weiterhin wird die Genauigkeit der Anordnung der Messeinheit
gemessen. Es werden dann z. B. unter der Annahme, dass die Messeinheit
in einer einzigen Zelle angeordnet bleibt, Änderungen des
Luftstroms und der Anzahl und der Größe von Partikeln aufgrund
von Faktoren wie des Laufs, der Beschleunigung und der Verzögerung
des Fahrwerks, des Hubs, der Beschleunigung und der Verzögerung
des Hubrahmens und des Betriebs des Transportgeräts gemessen,
und der Einfluss auf den Reinraum durch den Betrieb des Krans wird
gemessen. Die Messeinheit wird außerdem vom Stapelkran
transportiert. Vibrationen während des Transports, Reinheit
und Grad der statischen Elektrizität oder dergleichen werden
ebenfalls gemessen.
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Wenn
irgendwelche Daten ein Problem aufweisen, wird der Grund des Problems
identifiziert. Die Messeinheit wird auch in Zellen um die Zelle,
die ein Problem hat, speziell für die Messung angeordnet.
Aufgrund der Analyseergebnisse wird ein Wartungsvorgang oder dergleichen
durchgeführt. Selbst wenn keine Schwierigkeit auftritt,
werden die Einblasmenge der Luft der Gebläsefiltereinheit
und die Öffnungen der Entlüftungsventile so eingestellt,
dass die Reinheit in allen Zellen gleichmäßig
gehalten werden kann. Entsprechend dem Grad der Vibrationen während
des Transports und dem Grad der statischen Elektrizität
begrenzt die Kranbegrenzungseinheit z. B. die maximale Laufgeschwindigkeit,
die maximale Beschleunigung und die maximale Verzögerung
des Fahrwerks und die maximale Hubgeschwindigkeit und die maximale
Beschleunigung des Hubrahmens sowie die Transfergeschwindigkeit.
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Bei
der Ausführungsform werden die folgenden Vorteile erreicht:
- (1) Durch Verwendung der Messeinheit 24 kann der
Reinraum im gesamten automatisierten Lager 2 gemessen werden.
- (2) Da das Messergebnis zur Rückkopplungssteuerung
der Gebläsefiltereinheit und der Öffnungen der
Entlüftungsventile verwendet wird, wird der Reinraum auf
einem bestimmten Pegel bzw. darüber hinaus in jeder Zelle
aufrechterhalten.
- (3) Der Grad der Vibrationen, mit denen die Gegenstände
während des Transports durch den Stapelkran beaufschlagt
werden, der Grad der statischen Elektrizität, die Orientierung
und die Geschwindigkeit des Luftstroms und die Anzahl der Partikel
werden gemessen, um die Laufgeschwindigkeit des Krans zu begrenzen.
Daher bewirken die Partikel während des Transports keine merkliche
Beeinträchtigung.
- (4) Zum Zeitpunkt der Fertigstellung der Konstruktion des automatisierten
Lagers oder dergleichen wird der Reinraum für alle Zellen
gemessen. Danach wird die Messung für nur einige Zellen durchgeführt,
um den Reinraum effizient zu messen.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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- - JP 2007-297196
A [0002]