CN221526627U - 一种硅烷气体处理用燃烧装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种硅烷气体处理用燃烧装置，包括燃烧罐和底座，所述底座上方设有存放罐，所述燃烧罐与存放罐之间设有安装箱，所述安装箱内设有承接板，所述承接板两侧设有第一安装轴，所述第一安装轴的数量设置有两组，两组所述第一安装轴呈对称分布，所述承接板通过第一安装轴与安装箱转动连接，所述安装箱内设有第一齿条，所述第一齿条与安装箱滑动连接，通过设置承接板对于燃烧罐内硅烷气体燃烧过程中所产生的二氧化硅粉尘进行初步的收集，并通过设置两组密封圈等实现在对于二氧化硅粉尘进行统一清理时仍旧保持燃烧罐的密封性，从而不影响密封管内硅烷气体的正常处理进程，提高工作效率。

Description

一种硅烷气体处理用燃烧装置

技术领域

本实用新型涉及硅烷气体处理技术领域，具体为一种硅烷气体处理用燃烧装置。

背景技术

硅烷即硅与氢的化合物，是一系列化合物的总称，包括甲硅烷、乙硅烷和一些更高级的硅氢化合物，硅烷气体是光伏生产过程中不可或缺的材料，因为它是将硅分子附着于电池表面的最有效方式，除了光伏产业外，还有很多制造工厂需要用到硅烷气，如平板显示器、半导体、甚至镀膜玻璃生产厂，为安全处理硅烷气体，通常使用燃烧法对其进行分解，燃烧法是将硅烷废气在高温下燃烧成二氧化硅和水蒸气的方法。

现有技术中硅烷气体处理时在燃烧装置中与输入的压缩空气或补入的空气接触而自燃或发生氧化反应，反应后生成大量的二氧化硅粉尘在重力作用下下沉降到燃烧罐底部聚集，现有的燃烧装置中需要工作人员定期手动对底部堆积的二氧化硅粉末进行清理，不仅需要投入较多的人力，同时清理过程中设备需要停机，降低了工作效率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种硅烷气体处理用燃烧装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种硅烷气体处理用燃烧装置，包括燃烧罐和底座，所述底座上方设有存放罐，所述燃烧罐与存放罐之间设有安装箱，所述安装箱内设有承接板，所述承接板两侧设有第一安装轴，所述第一安装轴的数量设置有两组，两组所述第一安装轴呈对称分布，所述承接板通过第一安装轴与安装箱转动连接，所述安装箱内设有第一齿条，所述第一齿条与安装箱滑动连接，所述安装箱内设有第一气缸，所述第一齿条右端与第一气缸的活塞杆输出端连接，右侧所述第一安装轴上套接有第一齿轮，所述第一齿条与第一齿轮啮合连接。

作为本技术方案的进一步优选的，所述承接板两侧设有密封圈，所述密封圈的数量设置有两组，两组所述密封圈呈对称分布，所述密封圈上设有滑块，所述滑块的数量设置有两组，两组所述滑块呈对称分布，所述安装箱内设有双向丝杆，所述安装箱内设有第一电机。

作为本技术方案的进一步优选的，所述密封圈通过滑块与安装箱滑动连接，所述双向丝杆的两端分别贯穿安装箱并与安装箱转动连接，所述双向丝杆贯穿左侧滑块并与滑块螺纹连接，所述双向丝杆上端与第一电机的输出端连接。

作为本技术方案的进一步优选的，所述存放罐内设有安装板，所述安装板两侧设有第二安装轴，所述第二安装轴的数量设置有两组，两组所述第二安装轴呈对称分布，所述安装板通过第二安装轴与存放罐转动连接，所述存放罐左侧设置有出料口，所述出料口与安装板对应设置，所述存放罐内设有第二齿条，所述第二齿条与存放罐滑动连接，所述存放罐内设有第二气缸，所述第二齿条右端与第二气缸的活塞杆输出端连接，右侧所述第二安装轴上套接有第二齿轮，所述第二齿条与第二齿轮啮合连接。

作为本技术方案的进一步优选的，所述安装板上设有安装管和安装杆，所述安装杆贯穿安装管并通过轴承与安装管转动连接，所述安装管与安装杆均通过轴承与安装板转动连接，所述安装管上设有第一刮条，所述安装杆上设有第二刮条，所述第一刮条与第二刮条下方均与安装板表面贴合，所述安装板下方设有固定箱。

作为本技术方案的进一步优选的，所述固定箱内设有第三锥齿轮，所述固定箱内设有第二电机，所述第三锥齿轮通过转轴与第二电机的输出端连接，所述安装管上套接有第一锥齿轮，所述安装杆上套接有第二锥齿轮，所述第一锥齿轮与第二锥齿轮关于第三锥齿轮呈对称分布，所述第一锥齿轮与第二锥齿轮均与第三锥齿轮啮合连接。

本实用新型提供了一种硅烷气体处理用燃烧装置，具备以下有益效果：

(1)本实用新型通过设置承接板对于燃烧罐内硅烷气体燃烧过程中所产生的二氧化硅粉尘进行初步的收集，并通过设置两组密封圈等实现在对于二氧化硅粉尘进行统一清理时仍旧保持燃烧罐的密封性，从而不影响密封管内硅烷气体的正常处理进程，提高工作效率；在承接板上堆积较多的二氧化硅粉尘时，开启第一电机带动双向丝杆转动，配合滑块使得两组密封圈同时向上移动，并启动第一气缸，带动第一齿条滑动，配合第一齿轮使得承接板翻转，从而使得承接板上的粉尘落在安装板上，此过程中在安装板作用下使得燃烧罐仍旧保持密封不影响燃烧罐内的正常工作，随后在对安装板上粉尘进行收集之前将承接板以及两组密封圈恢复原状，从而在收集粉尘的过程中保持燃烧罐内的正常工作。

(2)本实用新型通过设置安装板以及第一刮条、第二刮条等实现对于二氧化硅粉末的自动排出，减少人力投入，提高工作效率；在承接板将所有的粉尘倾倒在安装板上并恢复原位后，启动第二气缸，带动第二齿条转动，在第二齿轮作用下将安装板倾斜一定角度对准出料口，启动第二电机带动第三锥齿轮转动，第一锥齿轮与第二锥齿轮在第三锥齿轮的带动下同步反向转动，从而带动安装管与安装杆反向转动，第一刮条与第二刮条同时将安装板上的二氧化硅粉尘向出料口推动，实现对于二氧化硅粉末的自动清理。

附图说明

图1为本实用新型的整体的结构示意图；

图2为本实用新型的燃烧罐的结构示意图；

图3为本实用新型的承接板的结构示意图；

图4为本实用新型的存放罐的结构示意图；

图5为本实用新型的安装板的结构示意图；

图6为本实用新型的图5-A处的结构放大图；

图中：1、燃烧罐；2、存放罐；3、安装箱；4、底座；5、承接板；6、第一安装轴；7、第一齿轮；8、第一齿条；9、第一气缸；10、密封圈；11、滑块；12、双向螺杆；13、第一电机；14、安装板；15、第二安装轴；16、第二齿轮；17、第二齿条；18、第二气缸；19、安装管；20、安装杆；21、第一刮条；22、第二刮条；23、第一锥齿轮；24、第二锥齿轮；25、第三锥齿轮；26、第二电机；27、出料口；28、固定箱。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

本实用新型提供技术方案：如图1、图2和图3所示，本实施例中，一种硅烷气体处理用燃烧装置，包括燃烧罐1和底座4，底座4上方设有存放罐2，燃烧罐1与存放罐2之间设有安装箱3，安装箱3内设有承接板5，承接板5两侧设有第一安装轴6，第一安装轴6的数量设置有两组，两组第一安装轴6呈对称分布，承接板5通过第一安装轴6与安装箱3转动连接，安装箱3内设有第一齿条8，第一齿条8与安装箱3滑动连接，安装箱3内设有第一气缸9，第一齿条8右端与第一气缸9的活塞杆输出端连接，右侧第一安装轴6上套接有第一齿轮7，第一齿条8与第一齿轮7啮合连接，承接板5两侧设有密封圈10，密封圈10的数量设置有两组，两组密封圈10呈对称分布，密封圈10上设有滑块11，滑块11的数量设置有两组，两组滑块11呈对称分布，安装箱3内设有双向丝杆，安装箱3内设有第一电机13，密封圈10通过滑块11与安装箱3滑动连接，双向丝杆的两端分别贯穿安装箱3并与安装箱3转动连接，双向丝杆贯穿左侧滑块11并与滑块11螺纹连接，双向丝杆上端与第一电机13的输出端连接。

通过设置承接板5对于燃烧罐1内硅烷气体燃烧过程中所产生的二氧化硅粉尘进行初步的收集，并通过设置两组密封圈10等实现在对于二氧化硅粉尘进行统一清理时仍旧保持燃烧罐1的密封性，从而不影响密封管内硅烷气体的正常处理进程，提高工作效率；在承接板5上堆积较多的二氧化硅粉尘时，开启第一电机13带动双向丝杆转动，配合滑块11使得两组密封圈10同时向上移动，并启动第一气缸9，带动第一齿条8滑动，配合第一齿轮7使得承接板5翻转，从而使得承接板5上的粉尘落在安装板14上，此过程中在安装板14作用下使得燃烧罐1仍旧保持密封不影响燃烧罐1内的正常工作，随后在对安装板14上粉尘进行收集之前将承接板5以及两组密封圈10恢复原状，从而在收集粉尘的过程中保持燃烧罐1内的正常工作。

如图4、图5和图6所示，存放罐2内设有安装板14，安装板14两侧设有第二安装轴15，第二安装轴15的数量设置有两组，两组第二安装轴15呈对称分布，安装板14通过第二安装轴15与存放罐2转动连接，存放罐2左侧设置有出料口27，出料口27与安装板14对应设置，存放罐2内设有第二齿条17，第二齿条17与存放罐2滑动连接，存放罐2内设有第二气缸18，第二齿条17右端与第二气缸18的活塞杆输出端连接，右侧第二安装轴15上套接有第二齿轮16，第二齿条17与第二齿轮16啮合连接，安装板14上设有安装管19和安装杆20，安装杆20贯穿安装管19并通过轴承与安装管19转动连接，安装管19与安装杆20均通过轴承与安装板14转动连接，安装管19上设有第一刮条21，安装杆20上设有第二刮条22，第一刮条21与第二刮条22下方均与安装板14表面贴合，安装板14下方设有固定箱28，固定箱28内设有第三锥齿轮25，固定箱28内设有第二电机26，第三锥齿轮25通过转轴与第二电机26的输出端连接，安装管19上套接有第一锥齿轮23，安装杆20上套接有第二锥齿轮24，第一锥齿轮23与第二锥齿轮24关于第三锥齿轮25呈对称分布，第一锥齿轮23与第二锥齿轮24均与第三锥齿轮25啮合连接。

通过设置安装板14以及第一刮条21、第二刮条22等实现对于二氧化硅粉末的自动排出，减少人力投入，提高工作效率；在承接板5将所有的粉尘倾倒在安装板14上并恢复原位后，启动第二气缸18，带动第二齿条17转动，在第二齿轮16作用下将安装板14倾斜一定角度对准出料口27，启动第二电机26带动第三锥齿轮25转动，第一锥齿轮23与第二锥齿轮24在第三锥齿轮25的带动下同步反向转动，从而带动安装管19与安装杆20反向转动，第一刮条21与第二刮条22同时将安装板14上的二氧化硅粉尘向出料口27推动，实现对于二氧化硅粉末的自动清理。

本实用新型提供一种硅烷气体处理用燃烧装置，具体工作原理如下：在承接板5上堆积较多的二氧化硅粉尘时，开启第一电机13带动双向丝杆转动，配合滑块11使得两组密封圈10同时向上移动，并启动第一气缸9，带动第一齿条8滑动，配合第一齿轮7使得承接板5翻转，从而使得承接板5上的粉尘落在安装板14上，此过程中在安装板14作用下使得燃烧罐1仍旧保持密封不影响燃烧罐1内的正常工作，随后在对安装板14上粉尘进行收集之前将承接板5以及两组密封圈10恢复原状，从而在收集粉尘的过程中保持燃烧罐1内的正常工作，在承接板5将所有的粉尘倾倒在安装板14上并恢复原位后，启动第二气缸18，带动第二齿条17转动，在第二齿轮16作用下将安装板14倾斜一定角度对准出料口27，启动第二电机26带动第三锥齿轮25转动，第一锥齿轮23与第二锥齿轮24在第三锥齿轮25的带动下同步反向转动，从而带动安装管19与安装杆20反向转动，第一刮条21与第二刮条22同时将安装板14上的二氧化硅粉尘向出料口27推动，实现对于二氧化硅粉末的自动清理。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种硅烷气体处理用燃烧装置，包括燃烧罐（1）和底座（4），其特征在于：所述底座（4）上方设有存放罐（2），所述燃烧罐（1）与存放罐（2）之间设有安装箱（3），所述安装箱（3）内设有承接板（5），所述承接板（5）两侧设有第一安装轴（6），所述第一安装轴（6）的数量设置有两组，两组所述第一安装轴（6）呈对称分布，所述承接板（5）通过第一安装轴（6）与安装箱（3）转动连接，所述安装箱（3）内设有第一齿条（8），所述第一齿条（8）与安装箱（3）滑动连接，所述安装箱（3）内设有第一气缸（9），所述第一齿条（8）右端与第一气缸（9）的活塞杆输出端连接，右侧所述第一安装轴（6）上套接有第一齿轮（7），所述第一齿条（8）与第一齿轮（7）啮合连接。

2.根据权利要求1所述的一种硅烷气体处理用燃烧装置，其特征在于：所述承接板（5）两侧设有密封圈（10），所述密封圈（10）的数量设置有两组，两组所述密封圈（10）呈对称分布，所述密封圈（10）上设有滑块（11），所述滑块（11）的数量设置有两组，两组所述滑块（11）呈对称分布，所述安装箱（3）内设有双向丝杆，所述安装箱（3）内设有第一电机（13）。

3.根据权利要求2所述的一种硅烷气体处理用燃烧装置，其特征在于：所述密封圈（10）通过滑块（11）与安装箱（3）滑动连接，所述双向丝杆的两端分别贯穿安装箱（3）并与安装箱（3）转动连接，所述双向丝杆贯穿左侧滑块（11）并与滑块（11）螺纹连接，所述双向丝杆上端与第一电机（13）的输出端连接。

4.根据权利要求1所述的一种硅烷气体处理用燃烧装置，其特征在于：所述存放罐（2）内设有安装板（14），所述安装板（14）两侧设有第二安装轴（15），所述第二安装轴（15）的数量设置有两组，两组所述第二安装轴（15）呈对称分布，所述安装板（14）通过第二安装轴（15）与存放罐（2）转动连接，所述存放罐（2）左侧设置有出料口（27），所述出料口（27）与安装板（14）对应设置，所述存放罐（2）内设有第二齿条（17），所述第二齿条（17）与存放罐（2）滑动连接，所述存放罐（2）内设有第二气缸（18），所述第二齿条（17）右端与第二气缸（18）的活塞杆输出端连接，右侧所述第二安装轴（15）上套接有第二齿轮（16），所述第二齿条（17）与第二齿轮（16）啮合连接。

5.根据权利要求4所述的一种硅烷气体处理用燃烧装置，其特征在于：所述安装板（14）上设有安装管（19）和安装杆（20），所述安装杆（20）贯穿安装管（19）并通过轴承与安装管（19）转动连接，所述安装管（19）与安装杆（20）均通过轴承与安装板（14）转动连接，所述安装管（19）上设有第一刮条（21），所述安装杆（20）上设有第二刮条（22），所述第一刮条（21）与第二刮条（22）下方均与安装板（14）表面贴合，所述安装板（14）下方设有固定箱（28）。

6.根据权利要求5所述的一种硅烷气体处理用燃烧装置，其特征在于：所述固定箱（28）内设有第三锥齿轮（25），所述固定箱（28）内设有第二电机（26），所述第三锥齿轮（25）通过转轴与第二电机（26）的输出端连接，所述安装管（19）上套接有第一锥齿轮（23），所述安装杆（20）上套接有第二锥齿轮（24），所述第一锥齿轮（23）与第二锥齿轮（24）关于第三锥齿轮（25）呈对称分布，所述第一锥齿轮（23）与第二锥齿轮（24）均与第三锥齿轮（25）啮合连接。