CN220312787U - 一种晶圆研磨设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆研磨设备，包括加工台，所述加工台顶部固定连接有两个相对称的安装支板，所述安装支板表面贯穿并螺纹连接有安装螺杆，所述安装螺杆两端分别固定连接有安装抵块和安装把手，所述加工台顶部开设有两个相对称的移动槽，所述移动槽内部滑动连接有移动滑块。本实用新型，利用活动组件可使活动电机、活动杆、活动轮和以便通过配合，使得活动电机带动活动轮进行旋转，同时活动轮与活动槽内壁接触并产生摩擦力，使得带动调节套块上的调节打磨盘沿着加工台前后打磨，方便进行研磨抛光，提高使用效果。

Description

一种晶圆研磨设备

技术领域

本实用新型涉及晶圆技术领域，尤其涉及一种晶圆研磨设备。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，晶圆的主要加工方式为片加工和批加工，即同时加工一片或多片晶圆，然而，现有的部分研磨设备在对片状的晶圆进行加工时，大多都是人工手持研磨机对晶圆进行研磨抛光，从而使晶圆的加工总时长变长，人工打磨晶圆存在缺角的情况，从而降低使用效果。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种晶圆研磨设备。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种晶圆研磨设备，包括加工台，所述加工台顶部固定连接有两个相对称的安装支板，所述安装支板表面贯穿并螺纹连接有安装螺杆，所述安装螺杆两端分别固定连接有安装抵块和安装把手，所述加工台顶部开设有两个相对称的移动槽，所述移动槽内部滑动连接有移动滑块，所述加工台表面连接有调节所述移动滑块进行移动的移动组件；

所述移动滑块顶部固定连接有移动中空板，所述移动中空板内部滑动连接有移动延伸齿板，两个所述移动延伸齿板之间固定连接有移动支架，所述移动中空板侧壁开设有移动槽，所述移动中空板侧壁连接有调节所述移动延伸齿板进行移动的固定组件；

所述移动支架外侧壁活动套接有调节套块，所述调节套块底部固定连接有调节电机，所述调节电机输出轴固定连接有调节打磨盘，所述移动支架顶部开设有活动槽，所述调节套块顶部连接有活动组件。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述移动组件包括与加工台表面固定连接的移动电机，所述移动电机输出端固定连接有移动螺杆。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述移动螺杆末端贯穿加工台并与移动槽内壁转动连接，所述移动螺杆外侧壁与其相对应的移动滑块螺纹连接。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述固定组件包括与移动中空板侧壁固定连接的两个固定支架，其中一个所述固定支架表面固定连接有固定电机，所述固定电机输出端固定连接有固定杆。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述固定杆末端贯穿其中一个固定支架并与另一个固定支架转动连接，所述固定杆外侧壁固定套接有固定齿轮，所述固定齿轮与其相对应的移动延伸齿板啮合连接。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述活动组件包括与调节套块顶部固定连接的活动电机，所述活动电机输出端固定连接有活动杆，所述活动杆末端延伸至活动槽内部，所述活动杆末端固定连接有活动轮。

本实用新型具有如下有益效果：

通过移动组件、固定组件和活动组件之间的相互配合，利用移动组件可使移动滑块、移动中空板、移动电机和移动螺杆配合，以便通过移动电机带动移动螺杆进行旋转，使得移动延伸齿板收缩在移动中空板内部，跟着移动延伸齿板也带动移动支架上的调节打磨盘对晶圆调节打磨的作用，利用固定组件可使固定支架、固定电机、固定杆和固定齿轮配合，以便通过固定电机带动固定齿轮进行旋转，同时固定齿轮与其相对应的移动延伸齿板啮合，使得带动移动延伸齿板上的移动支架和调节打磨调节到合适高度，利用活动组件可使活动电机、活动杆、活动轮和以便通过配合，使得活动电机带动活动轮进行旋转，同时活动轮与活动槽内壁接触并产生摩擦力，使得带动调节套块上的调节打磨盘沿着加工台前后打磨，方便进行研磨抛光，提高使用效果。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种晶圆研磨设备的整体结构示意图；

图2为图1中A处放大的结构示意图；

图3为图1中B处放大的结构示意图。

图例说明：

1、加工台；2、安装支板；3、安装螺杆；4、安装把手；5、移动滑块；6、移动中空板；7、移动电机；8、移动螺杆；9、移动延伸齿板；10、移动支架；11、固定支架；12、固定电机；13、固定杆；14、固定齿轮；15、调节套块；16、调节电机；17、调节打磨盘；18、活动电机；19、活动杆；20、活动轮。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

参照图1-3，本实用新型提供的一种晶圆研磨设备，包括加工台1，加工台1顶部固定连接有两个相对称的安装支板2，安装支板2表面贯穿并螺纹连接有安装螺杆3，安装螺杆3两端分别固定连接有安装抵块和安装把手4，加工台1顶部开设有两个相对称的移动槽，移动槽内部滑动连接有移动滑块5，加工台1表面连接有调节移动滑块5进行移动的移动组件，通过移动组件起到带动移动滑块5进行移动的作用，参照图1，移动组件包括与加工台1表面固定连接的移动电机7，移动电机7输出端固定连接有移动螺杆8，移动螺杆8末端贯穿加工台1并与移动槽内壁转动连接，移动螺杆8外侧壁与其相对应的移动滑块5螺纹连接，通过移动电机7起到带动移动螺杆8进行旋转的作用。

移动滑块5顶部固定连接有移动中空板6，移动中空板6内部滑动连接有移动延伸齿板9，两个移动延伸齿板9之间固定连接有移动支架10，移动中空板6侧壁开设有移动槽，移动中空板6侧壁连接有调节移动延伸齿板9进行移动的固定组件，参照图2，固定组件包括与移动中空板6侧壁固定连接的两个固定支架11，其中一个固定支架11表面固连接有固定电机12，固定电机12输出端固定连接有固定杆13，固定杆13末端贯穿其中一个固定支架11并与另一个固定支架11转动连接，固定杆13外侧壁固定套接有固定齿轮14，固定齿轮14与其相对应的移动延伸齿板9啮合连接，通过固定电机12起到带动固定杆13进行旋转的作用。

移动支架10外侧壁活动套接有调节套块15，调节套块15底部固定连接有调节电机16，调节电机16输出轴固定连接有调节打磨盘17，移动支架10顶部开设有活动槽，调节套块15顶部连接有活动组件，参照图3，活动组件包括与调节套块15顶部固定连接的活动电机18，活动电机18输出端固定连接有活动杆19，活动杆19末端延伸至活动槽内部，活动杆19末端固定连接有活动轮20，通过活动电机18起到带动活动杆19和活动轮20进行旋转的作用。

工作原理：使用时，先将晶圆放置在两个安装抵块之间，接着旋转安装把手4，使得安装把手4带动安装螺杆3沿着安装支板2上的方向进行移动，从而对晶圆进行调节定位的作用。

然后启动调节电机16上的调节打磨盘17进行旋转，跟着启动固定电机12，通过固定电机12带动固定杆13和固定齿轮14进行旋转，同时固定齿轮14与其相对应的移动延伸齿板9啮合，使得带动移动延伸齿板9沿着移动中空板6内部滑动，因移动延伸齿板9上安装移动支架10，使得调节打磨盘17对圆晶进行调节研磨，保证研磨效果。

跟着启动移动电机7，通过移动电机7带动移动螺杆8进行旋转，使得移动滑块5沿着移动螺杆8上的方向进行移动，跟着移动支架10上的调节打磨盘17对圆晶进行前后调接研磨的作用，保证套接研磨的效果

跟着启动活动电机18，通过活动电机18带动活动杆19和活动轮20进行旋转，同时活动轮20与活动槽内壁接触并产生摩擦力，使得带动调节套块15沿着移动支架10上的方向进行移动，同时调节套块15也带动调节打磨盘17进行左右移动研磨的作用，保证进一步的研磨效果。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种晶圆研磨设备，包括加工台(1)，其特征在于：所述加工台(1)顶部固定连接有两个相对称的安装支板(2)，所述安装支板(2)表面贯穿并螺纹连接有安装螺杆(3)，所述安装螺杆(3)两端分别固定连接有安装抵块和安装把手(4)，所述加工台(1)顶部开设有两个相对称的移动槽，所述移动槽内部滑动连接有移动滑块(5)，所述加工台(1)表面连接有调节所述移动滑块(5)进行移动的移动组件；

所述移动滑块(5)顶部固定连接有移动中空板(6)，所述移动中空板(6)内部滑动连接有移动延伸齿板(9)，两个所述移动延伸齿板(9)之间固定连接有移动支架(10)，所述移动中空板(6)侧壁开设有移动槽，所述移动中空板(6)侧壁连接有调节所述移动延伸齿板(9)进行移动的固定组件；

所述移动支架(10)外侧壁活动套接有调节套块(15)，所述调节套块(15)底部固定连接有调节电机(16)，所述调节电机(16)输出轴固定连接有调节打磨盘(17)，所述移动支架(10)顶部开设有活动槽，所述调节套块(15)顶部连接有活动组件。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆研磨设备，其特征在于：所述移动组件包括与加工台(1)表面固定连接的移动电机(7)，所述移动电机(7)输出端固定连接有移动螺杆(8)。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆研磨设备，其特征在于：所述移动螺杆(8)末端贯穿加工台(1)并与移动槽内壁转动连接，所述移动螺杆(8)外侧壁与其相对应的移动滑块(5)螺纹连接。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆研磨设备，其特征在于：所述固定组件包括与移动中空板(6)侧壁固定连接的两个固定支架(11)，其中一个所述固定支架(11)表面固定连接有固定电机(12)，所述固定电机(12)输出端固定连接有固定杆(13)。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆研磨设备，其特征在于：所述固定杆(13)末端贯穿其中一个固定支架(11)并与另一个固定支架(11)转动连接，所述固定杆(13)外侧壁固定套接有固定齿轮(14)，所述固定齿轮(14)与其相对应的移动延伸齿板(9)啮合连接。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆研磨设备，其特征在于：所述活动组件包括与调节套块(15)顶部固定连接的活动电机(18)，所述活动电机(18)输出端固定连接有活动杆(19)，所述活动杆(19)末端延伸至活动槽内部，所述活动杆(19)末端固定连接有活动轮(20)。