CN215680615U - PinHole晶圆检测机的自动检查装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型的PinHole晶圆检测机的自动检查装置，其包括：载台；定位单元，其包括定位组件和夹持组件，其中定位组件形成有与晶圆相匹配的晶圆定位区，夹持组件包括绕晶圆定位区的中心分布的多个夹持模块、及驱动多个夹持模块沿着晶圆径向相对收拢或张开的动力件；检查摄像头，其设置在晶圆定位区的上方；驱动单元，其与定位单元或检查摄像头相连接设置，并用于驱使晶圆定位区和检查摄像头中的一个相对另一个移动。本实用新型一方面实现检查范围覆盖整个晶圆，避免人工检查出现的疏漏问题，有效提高检查准确度，检查效率高，劳动强度低；另一方面，能够保证晶圆的稳定性，以便于检查摄像头的检查，结构简单、可靠，操作方便。

Description

PinHole晶圆检测机的自动检查装置

技术领域

本实用新型属于晶圆检查技术领域，具体涉及一种PinHole晶圆检测机的自动检查装置。

背景技术

众所周知，晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，是由硅晶棒在经过研磨、抛光、及切片后，形成的硅晶圆片，在半导体的制造工序中，为了确保晶圆无缺陷，符合产品设计要求，在晶圆生产成型以后，需要对晶圆产品进行检查。

然而，在实际使用过程中，现有的用于晶圆检查的检查设备，容易存在以下技术问题：

1）、人工操作设备对晶圆进行检查，劳动强度大，检查效率低，且容易出错；

2）、结构复杂，操作繁琐、不便，检查耗时长，效率低。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种改进的PinHole晶圆检测机的自动检查装置。

为解决以上技术问题，本实用新型采用如下技术方案：

一种PinHole晶圆检测机的自动检查装置，其包括：

载台；

定位单元，其包括分别设置在载台上的定位组件和夹持组件，其中定位组件形成有与晶圆相匹配的晶圆定位区，夹持组件包括绕晶圆定位区的中心分布的多个夹持模块、及驱动多个夹持模块沿着晶圆径向相对收拢或张开的动力件；

检查摄像头，其设置在晶圆定位区的上方；

驱动单元，其与定位单元或检查摄像头相连接设置，并用于驱使晶圆定位区和检查摄像头中的一个相对另一个移动。

优选地，定位组件包括固定设置在载台上的多个定位支撑座，其中多个定位支撑座之间形成晶圆定位区。这样设置，结构简单，方便安装和实施。

具体的，每个定位支撑座上形成有与晶圆底部相贴合的第一支撑面、自第一支撑面向上延伸并与晶圆侧边相贴合的第二支撑面。这样设置，提高定位支撑座对晶圆的支撑稳定性，保证检查精度。

进一步的，第二支撑面自第一支撑面向上并向外倾斜延伸设置。这样设置，转载晶圆时，便于晶圆准确落入晶圆定位区内。

优选地，定位组件还包括支撑圆环，其中支撑圆环上下活动地设置在晶圆定位区的下方。这样设置，提高设备安全性，防止晶圆掉落下定位支撑座而损坏，同时，夹紧晶圆后，支撑圆环向下运动并远离晶圆，这样一来，能够避免支撑圆环对检查摄像头的光束造成影响，保证检测结果准确。

优选地，夹持组件还包括绕晶圆定位区周向设置的多个夹座，多个夹持模块一一对应活动设置在夹座上。

具体的，每个夹座包括自载台向上延伸的第一分体、自第一分体的顶部向内延伸的第二分体，其中第二分体与载台之间形成供支撑圆环活动的活动区。这样设置，对支撑圆环起到限位作用，避免支撑圆环与上方零部件发生碰撞，提高设备的可靠性和安全性。

优选地，每个夹持模块的内侧形成有与晶圆侧边相切的夹持面。这样设置，有效减小夹持模块与晶圆之间的接触面积，提高检测结果的精确性。

优选地，驱动单元包括移载平台、横移部件、及纵移部件，其中横移部件固定设置在移载平台上，横移部件与载台相连接并驱动载台横向运动，纵移部件与移载平台相连接并驱动移载平台纵向运动。这样设置，载台能够实现同步进行横向和纵向运动，灵活性高，且结构简单、体积小，大大节省了设备内部空间。

此外，自动检查装置还包括设置在晶圆定位区上方的复检摄像头和除静电部件。

由于以上技术方案的实施，本实用新型与现有技术相比具有如下优点：

本实用新型一方面在驱动单元的驱动下，使得载台与检查摄像头之间能够相对运动，这样一来，实现检查范围覆盖整个晶圆，避免人工检查出现的疏漏问题，有效提高检查准确度，检查效率高，劳动强度低；另一方面，通过定位组件和夹持组件的配合，检查时，能够保证晶圆的稳定性，以便于检查摄像头的检查，结构简单、可靠，操作方便。

附图说明

图1为本实用新型PinHole晶圆检测机的自动检查装置的结构示意图；

图2为图1中载台和定位单元的结构放大示意图；

其中：1、载台；

2、定位单元；20、定位组件； 200、定位支撑座；q、晶圆定位区；m1、第一支撑面；m2、第二支撑面；201、支撑圆环；h、滑台气缸；21、夹持组件；210、夹座；a1、第一分体；a2、第二分体；211、夹持模块；212、动力件；

3、检查摄像头；

4、驱动单元；40、移载平台；41、横移部件；410、横向导轨；411、横移驱动件；42、纵移部件；420、纵向导轨；421、纵移驱动件；

5、复检摄像头；

6、除静电单元；

7、超声波传感器。

具体实施方式

为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本申请的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请。但是本申请能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本申请内涵的情况下做类似改进，因此本申请不受下面公开的具体实施例的限制。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

如图1所示，本实施例的PinHole晶圆检测机的自动检查装置，其包括载台1、定位单元2、检查摄像头3、及驱动单元4。

具体的，载台1水平设置，且载台1上形成有与晶圆直径相等的通孔。这样设置，有效避免载台对晶圆的影响，保证检查精确性。

结合图2所示，定位单元2包括分别设置在载台1上的定位组件20和夹持组件21。

本例中，定位组件20包括定位支撑座200和支撑圆环201，其中定位支撑座200有四个并固定设置在载台1上，且四个定位支撑座200之间形成与晶圆相匹配的晶圆定位区q。这样设置，结构简单，方便安装和实施。

具体的，每个定位支撑座200上形成有与晶圆底部相贴合的第一支撑面m1、自第一支撑面m2向上延伸并与晶圆侧边相贴合的第二支撑面m2。这样设置，提高定位支撑座对晶圆的支撑稳定性，保证检查精度。

同时，第二支撑面m2自第一支撑面m2向上并向外倾斜延伸设置。这样设置，转载晶圆时，便于晶圆准确落入晶圆定位区内。

具体的，支撑圆环201上下活动地设置在晶圆定位区q的下方，且支撑圆环201上形成有与对应定位支撑座200相配合的滑槽。这样设置，提高设备安全性，防止晶圆掉落下定位支撑座而损坏，同时，夹紧晶圆后，支撑圆环向下运动并远离晶圆，这样一来，能够避免支撑圆环对检查摄像头的光束造成影响，保证检测结果准确。

为了方便实施，支撑圆环201自相对两侧分别通过滑台气缸h连接在载台1上。也就是说，在滑台气缸的驱动下，支撑圆环实现上下运动，运行稳定可靠。

本例中，夹持组件21包括绕晶圆定位区q周向设置的两个夹座210、一一对应活动设置在两个夹座210上的两个夹持模块211、及驱动两个夹持模块211沿着晶圆径向相对收拢或张开的动力件212。

具体的，每个夹座210包括自载台1向上延伸的第一分体a1、自第一分体a1的顶部向内延伸的第二分体a2，其中第二分体a2与载台1之间形成供支撑圆环201活动的活动区。这样设置，对支撑圆环起到限位作用，避免支撑圆环与上方零部件发生碰撞，提高设备的可靠性和安全性。

具体的，每个夹持模块211的内侧形成有与晶圆侧边相切的夹持面。这样设置，有效减小夹持模块与晶圆之间的接触面积，提高检测结果的精确性。

具体的，动力件212为固定设置在第二分体a2上的气缸，每个夹持模块211固定连接在对应气缸的输出端部，在动力件212的推动下，两个夹持模块211沿着晶圆径向相对收拢或张开。

本例中，检查摄像头3设置在载台30的上方。

本例中，驱动单元4包括移载平台40、横移部件41、及纵移部件42，其中移载平台40平行设置在载台1的下方，横移部件41固定设置在移载平台40上，横移部件41与载台1相连接并驱动载台1横向运动，纵移部件42与移载平台40相连接并驱动移载平台40纵向运动。这样设置，载台能够实现同步进行横向和纵向运动，灵活性高，且结构简单、体积小，大大节省了设备内部空间。

具体的，横移部件41包括固定设置在移载平台40上的横向导轨410、连接在载台1上并驱动载台1沿着横向导轨410运动的横移驱动件411；纵移部件42包括固定设置在移载平台40下方的纵向导轨420、连接在移载平台40上并驱动移载平台40沿着纵向导轨420运动的纵移驱动件421，其中横移驱动件411和纵移驱动件421均采用传动链驱动。传动可靠、稳定，保证晶圆平移稳定，提高检查摄像头检查精度。

横移驱动件411和纵移驱动件421均采用传动链驱动。传动可靠、稳定，保证晶圆平移稳定，提高检查摄像头检查精度。

此外，自动检查装置还包括复检摄像头5、除静电部件6、及超声波传感器7。

具体的，复检摄像头5设置在晶圆定位区q上方并位于检查摄像头3一侧。

具体的，除静电单元6为固定设置在晶圆定位区q上方的等离子风棒。这样设置，检查时，等离子风棒消除晶圆表面静电，避免影响检查摄像头检查晶圆，提高检查结果的精确性。

具体的，超声波传感器7固定设置在晶圆定位区q上方。

因此，本实施例具有以下优势：

1、在驱动单元的驱动下，使得载台与检查摄像头之间能够相对运动，这样一来，实现检查范围覆盖整个晶圆，避免人工检查出现的疏漏问题，有效提高检查准确度，检查效率高，劳动强度低；

2、通过定位组件和夹持组件的配合，检查时，能够保证晶圆的稳定性，以便于检查摄像头的检查，结构简单、可靠，操作方便；

3、通过能够上下升降的支撑圆环，提高设备安全性，防止晶圆掉落下定位支撑座而损坏，同时，夹紧晶圆后，支撑圆环向下运动并远离晶圆，这样一来，能够避免支撑圆环对检查摄像头的光束造成影响，保证检测结果准确；

4、通过等离子风棒消除晶圆表面静电，避免影响检查摄像头检查晶圆，提高检查结果的精确性。

以上对本实用新型做了详尽的描述，其目的在于让熟悉此领域技术的人士能够了解本实用新型的内容并加以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围，凡根据本实用新型的精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。

Claims (10)

1.一种PinHole晶圆检测机的自动检查装置，其特征在于：其包括：

载台；

定位单元，其包括分别设置在所述载台上的定位组件和夹持组件，其中所述定位组件形成有与晶圆相匹配的晶圆定位区，所述夹持组件包括绕所述晶圆定位区的中心分布的多个夹持模块、及驱动多个所述夹持模块沿着晶圆径向相对收拢或张开的动力件；

检查摄像头，其设置在所述晶圆定位区的上方；

驱动单元，其与所述定位单元或所述检查摄像头相连接设置，并用于驱使所述晶圆定位区和所述检查摄像头中的一个相对另一个移动。

2.根据权利要求1所述的PinHole晶圆检测机的自动检查装置，其特征在于：所述定位组件包括固定设置在所述载台上的多个定位支撑座，其中多个所述定位支撑座之间形成所述的晶圆定位区。

3.根据权利要求2所述的PinHole晶圆检测机的自动检查装置，其特征在于：每个所述定位支撑座上形成有与所述晶圆底部相贴合的第一支撑面、自所述第一支撑面向上延伸并与所述晶圆侧边相贴合的第二支撑面。

4.根据权利要求3所述的PinHole晶圆检测机的自动检查装置，其特征在于：所述第二支撑面自所述第一支撑面向上并向外倾斜延伸设置。

5.根据权利要求2所述的PinHole晶圆检测机的自动检查装置，其特征在于：所述定位组件还包括支撑圆环，其中所述支撑圆环上下活动地设置在所述晶圆定位区的下方。

6.根据权利要求5所述的PinHole晶圆检测机的自动检查装置，其特征在于：所述夹持组件还包括绕所述晶圆定位区周向设置的多个夹座，多个所述夹持模块一一对应活动设置在所述夹座上。

7.根据权利要求6所述的PinHole晶圆检测机的自动检查装置，其特征在于：每个所述夹座包括自所述载台向上延伸的第一分体、自所述第一分体的顶部向内延伸的第二分体，其中所述第二分体与所述载台之间形成供所述支撑圆环活动的活动区。

8.根据权利要求5所述的PinHole晶圆检测机的自动检查装置，其特征在于：每个所述夹持模块的内侧形成有与所述晶圆侧边相切的夹持面。

9.根据权利要求1所述的PinHole晶圆检测机的自动检查装置，其特征在于：所述驱动单元包括移载平台、横移部件、及纵移部件，其中所述横移部件固定设置在所述移载平台上，所述横移部件与所述载台相连接并驱动所述载台横向运动，所述纵移部件与所述移载平台相连接并驱动所述移载平台纵向运动。

10.根据权利要求1所述的PinHole晶圆检测机的自动检查装置，其特征在于：所述自动检查装置还包括设置在所述晶圆定位区上方的复检摄像头和除静电部件。

Images