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CN202092460U - 一种真空炉 - Google Patents

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CN202092460U
CN202092460U CN2011201733618U CN201120173361U CN202092460U CN 202092460 U CN202092460 U CN 202092460U CN 2011201733618 U CN2011201733618 U CN 2011201733618U CN 201120173361 U CN201120173361 U CN 201120173361U CN 202092460 U CN202092460 U CN 202092460U
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CN
China
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Inventor
谭宏胜
吕文强
杜可栋
赵凤
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JIANGSU ZHONGKE PHOTOELECTRIC CO., LTD.
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HEFEI GAOGE HEAT TREATMENT APPLIED TECHNOLOGY Co Ltd
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Abstract

本实用新型公开了一种真空炉，涉及用于半导体器件、金属材料的热处理和还原性烧结工艺，也可用于炭化试验。所要解决的技术问题是传统的真空炉满足不了高温工艺实验的要求，不能在高温时连续抽真空，炉膛温度不均匀等。其技术要点是机械框架为立式结构，上部固定炉膛，里面装有真空系统，底部装有滚轮。炉膛由真空罐和加热腔组成，真空罐由双层钢板焊成密封圆桶形，前门可开启式，带手动锁紧装置，顶部装有压力表、安全阀、放气阀，侧面布置有电源线接口，加热腔中耐火层选用莫来石纤维制品，加热选用U型硅钼棒，机械框架侧面装有循环冷却水接口。本实用新型满足了高温工艺实验的要求，实现了高温时连续抽真空，炉膛温度均匀。

Description

一种真空炉
技术领域
本实用新型属于实验窑炉，具体是用于半导体器件、金属材料的热处理和还原性烧结工艺，也可用于炭化试验。
背景技术
真空炉系列设备主要适用于半导体器件、金属材料的热处理和还原性烧结工艺，也可用于炭化试验。目前，传统的真空炉采用电阻丝加热，由于电阻丝极限温度比较低，导致炉膛的温度也较低，满足不了高温工艺实验的要求；在真空系统设计上，传统设备只能在低温时抽真空，不能在高温时抽真空，更不能在高温时连续抽真空，由于炉膛材料在加热升温过程中会释放气体，使设备的真空度降低，从而影响工艺实验不能正常进行；另外，由于传统的真空炉炉膛采用重质材料砌筑而成，重质材料密度大、热容性不好、容易掉渣，导致炉膛温度不均匀，很难达到高、精工艺实验的指标和要求。
发明内容
本实用新型一种真空炉所要解决的技术问题是：克服上述传统真空炉的缺陷，提供一种具有温度均匀稳定、升温速度快、节能及寿命长等特点的真空炉装置。
本实用新型所采取的技术方案是：一种真空炉主要有机械框架、炉膛、真空系统组成，机械框架为立式结构，上部固定炉膛，里面装有真空系统，底部装有滚轮。炉膛为外密封式，由真空罐和加热腔组成，真空罐由双层钢板焊成密封圆桶形，前门可开启式，带手动锁紧装置，顶部装有压力表、安全阀、放气阀，侧面布置有电源线接口，前后封头通过法兰连接，硅胶圈密封，夹层通水冷却。加热腔为整体式，可以进出真空罐，采用全纤维轻质材料咬口拼装而成，耐火层选用莫来石纤维制品，底部有放置物料的承烧板，承烧板选用刚玉莫来石材质，加热选用U型硅钼棒，硅钼棒在加热腔两侧布置，用夹具悬挂在加热腔顶部。真空系统外面的机械框架侧面装有循环冷却水接口。
本实用新型的有益效果是：真空系统可在高温时连续抽真空，提供优良的真空环境；利用钢板夹层隔绝热量，降低炉表温度，防止灼伤；有效的克服了炉顶在使用中的坍塌和开裂现象；加热腔的温度均匀，保证物料的烧结品质；设备外观美观大方，操作简洁，维护维修十分方便。
附图说明
图1是本实用新型一种真空炉主视图。
1为机械框架，2为炉膛，3为真空系统，4为滚轮，7为手动锁紧装置，8为压力表，9为安全阀，10为放气阀。
图2是本实用新型一种真空炉左视图。
5为真空罐，6为加热腔，11为循环冷却水接口，12为电源线接口，13为耐火层，14为承烧板，15为硅钼棒。
具体实施方式
如图1和图2，一种真空炉，主要有机械框架1、炉膛2、真空系统3组成，机械框架1为立式结构，上部固定炉膛2，里面装有真空系统3，底部装有滚轮4，可以移动。机械框架1主体全部采用国标A 3板材和型材焊接而成，为了设备外观美观大方，表面全部采用独立式静电喷塑，维护、维修十分方便。
炉膛2为外密封式，由真空罐5和加热腔6组成，真空罐5由双层钢板焊成密封圆桶形，用以提供优良的真空环境，同时利用钢板夹层隔绝热量、降低炉表温度、防止灼伤。真空罐5前门可开启式，带手动锁紧装置7，真空罐5顶部装有压力表8、安全阀9、放气阀10，侧面布置有电源线接口12，真空罐5前后封头通过法兰连接，硅胶圈密封，夹层通水冷却。
加热腔6为整体式，可以进出真空罐5，加热腔6采用全纤维轻质材料咬口拼装而成，上部在拼装时预埋99刚玉管，有效的克服了炉顶在使用中的坍塌和开裂现象，耐火层13选用莫来石纤维制品，加热腔6底部有放置物料的承烧板14，承烧板14选用刚玉莫来石材质，选用U型硅钼棒15加热，硅钼棒15在加热腔6两侧布置，用夹具悬挂在加热腔6顶部，以提高加热腔的温度均匀性，保证物料的烧结品质。
真空系统3外面的机械框架1侧面装有循环冷却水接口11。

Claims (4)

1.一种真空炉，主要有机械框架(1)、炉膛(2)、真空系统(3)组成，其特征在于：所述的机械框架(1)为立式结构，上部固定炉膛(2)，里面装有真空系统(3)，底部装有滚轮(4)。
2.根据权利要求1所述的一种真空炉，其特征在于：所述的炉膛(2)为外密封式，由真空罐(5)和加热腔(6)组成，真空罐(5)由双层钢板焊成密封圆桶形，真空罐(5)前门可开启式，带手动锁紧装置(7)，真空罐(5)顶部装有压力表(8)、安全阀(9)、放气阀(10)，侧面布置有电源线接口(12)，真空罐(5)前后封头通过法兰连接，硅胶圈密封，夹层通水冷却。
3.根据权利要求2所述的一种真空炉，其特征在于：所述的加热腔(6)为整体式，可以进出真空罐(5)，加热腔(6)采用全纤维轻质材料咬口拼装而成，耐火层(13)选用莫来石纤维制品，加热腔(6)底部有放置物料的承烧板(14)，承烧板(14)选用刚玉莫来石材质，选用U型硅钼棒(15)加热，硅钼棒(15)在加热腔(6)两侧布置，用夹具悬挂在加热腔(6)顶部。
4.根据权利要求1所述的一种真空炉，其特征在于：所述的真空系统(3)外面的机械框架(1)侧面装有循环冷却水接口(11)。
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