CN209483643U - 真空泵 - Google Patents

Abstract

在使用滚珠轴承的一体型真空泵中，防止滚珠轴承部的温度上升而实现耐用年限的提高。真空泵包括：泵装置，使转子以由滚珠轴承支承的旋转轴为中心而高速旋转，从泵排气口排出由泵吸气口吸入的气体；以及控制装置，安装在所述泵装置的沿所述旋转轴的方向的侧面，且包括包含发热元件的电子电路及收纳所述电子电路的壳体，对泵装置的运行进行控制，所述发热元件直接接触所述壳体的与泵装置不相接的外板，而所述发热元件不接触所述壳体的与泵装置相接的外板。

Description

真空泵

技术领域

本实用新型涉及一种使泵装置与控制装置一体化的一体型的真空泵。

背景技术

作为用于半导体制造装置或分析装置等中的真空泵，是使用涡轮分子泵 (turbomolecular pump)。涡轮分子泵包括泵装置及控制装置，所述控制装置包括用于驱动及控制泵装置内的马达等的驱动电路、控制电路等。

在涡轮分子泵中，为了通过使形成有多段旋转叶片的转子(rotor)高速旋转而进行排气，设置有在其两端附近旋转自如地支撑作为转子的旋转轴的轴(shaft)的轴承。在轴承中，是使用润滑脂(grease)润滑式的滚珠轴承、或利用永久磁铁或电磁铁的吸引力及排斥力的磁轴承。磁轴承虽然具有非接触的优点，但是与滚珠轴承相比体型大并且成本高。因此，在小型泵中，通常是在轴的一个吸气口侧(高真空侧)的端部使用磁轴承，在另一个排气口侧(低真空侧)的端部使用体型小且成本低的润滑脂润滑式的滚珠轴承。

为了使涡轮分子泵小型化，已知如专利文献1所述的泵装置与控制装置的一体化。在专利文献1所述的涡轮分子泵中，是在进行真空排气的泵装置的底座的侧面形成凹部，在所述凹部内收纳包含搭载有电子零件的基板的控制装置而实现小型化。

[现有技术文献]

[专利文献]

专利文献1：日本专利特开2014-105695号公报

实用新型内容

[实用新型所要解决的问题]

在涡轮分子泵中，为了使转子高速旋转，必须利用大功率来进行驱动，因此控制装置内的特别是驱动电路成为大发热源。当为了小型化而使泵装置与控制装置一体化时，控制装置内的驱动电路等发热元件所产生的热会传递至泵装置。而且，当所述热传输至对转子进行支撑的滚珠轴承时，存在滚珠轴承的润滑脂等润滑剂经加热而蒸发使得滚珠轴承的寿命缩短的问题。

[解决问题的技术手段]

根据本实用新型的第一方式，真空泵包括：泵装置，使转子以由滚珠轴承支承的旋转轴为中心而高速旋转，从泵排气口排出由泵吸气口吸入的气体；控制装置，安装在所述泵装置的沿所述旋转轴的方向的侧面，且控制装置包括包含发热元件的电子电路及收纳所述电子电路的壳体，控制装置对所述泵装置的运行进行控制；并且所述发热元件直接接触所述壳体的与所述泵装置不相接的外板，所述发热元件不接触所述壳体的与所述泵装置相接的外板。

所述发热元件与所述壳体的与所述泵装置不相接的外板以低热阻连接。

根据本实用新型的真空泵，所述壳体是具有沿所述旋转轴的方向的长边方向的长方体，所述壳体的所述发热元件所接触的所述外板是沿所述旋转轴的方向延伸的外板。

根据本实用新型的的真空泵，所述壳体经由隔热构件而与所述泵装置相接。

根据本实用新型的的真空泵，包括：冷却风扇，设置在所述泵装置的外表面，使所述泵装置冷却。

根据本实用新型的的真空泵，所述控制装置设置在来自所述冷却风扇的冷却风的冷却路径上。

根据本实用新型的的真空泵，所述冷却风扇相对于所述控制装置，夹着所述旋转轴而设置在所述泵装置的相反侧。

根据本实用新型的的真空泵，所述发热元件经由传热构件，与所述壳体的所述外板连接。

[实用新型的效果]

根据本实用新型，由控制装置内的发热元件所产生的热是从控制装置的壳体散出至外部。由此，能够防止滚珠轴承的温度上升。

附图说明

图1是第一实施方式的涡轮分子泵1的截面图。

图2是控制装置100的截面图。

图3是第二实施方式的涡轮分子泵1A的截面图。

图4是第三实施方式的涡轮分子泵1B的立体图。

图5是第三实施方式的涡轮分子泵1B的底视图。

图6是第四实施方式的涡轮分子泵1C的立体图。

[符号的说明]

1、1A、1B、1C：涡轮分子泵

2、2A、2B、2C：底座

3：转子

4：马达

10、10A、10B、10C：泵装置

12、12B：泵壳

12a：吸气口凸缘

22：排气口

23：安装面

26a：凹部底面

26b：凹部侧面

42：冷却风扇

50：冷却风

100、100A：控制装置

101、101Z：壳体

101a～101j：外板

102、102A：电路基板

103：发热元件

103a：反相元件

103b：驱动元件

103c：防回流用二极管元件

104、104A：支柱

106：传热片

107：隔热构件

具体实施方式

(第一实施方式)

以下，参照附图，对本实用新型的第一实施方式进行说明。图1是表示本实用新型的真空泵的第一实施方式的截面图。

涡轮分子泵1包括进行真空排气的泵装置10及对所述泵装置10进行驱动的控制装置100。在泵装置10的底座2的侧面形成有安装面23，控制装置100 通过螺栓(bolt)而安装在安装面23上。

对泵装置10的结构进行说明。泵装置10中，作为排气功能部，包括涡轮泵(turbopump)部及霍尔韦克(Holweck)泵部，所述涡轮泵部包括涡轮叶片 (turbine blade)，所述霍尔韦克泵部包括螺旋型的槽。

涡轮泵部包括形成于转子3上的多段旋转叶片30及配置在泵壳12侧的多段固定叶片20。另一方面，设置在涡轮泵部的下游侧的霍尔韦克泵部包括形成于转子3上的一对圆筒部31a、圆筒部31b以及配置在底座2侧的一对定子21a、定子21b。在圆筒状的定子21a、定子21b的内外周面内与圆筒部31a、圆筒部 31b相对向的周面上形成有螺旋槽。再者，也可以取代在定子侧设置螺旋槽，而在转子侧设置螺旋槽。

转子3是紧固在轴5上，转子3与轴5构成一体的旋转体。轴5是通过马达4来旋转驱动。马达转子4a设置在轴5上，马达定子4b固定在底座2上。轴5的下端侧是由封入有润滑脂的滚珠轴承8来保持。另一方面，轴5的上端侧是由使用永久磁铁6a、永久磁铁6b的永久磁铁磁轴承6来非接触支撑。而且，利用所述上下的轴承，来以转子的旋转轴AX为中心而旋转自如地支撑轴 5及转子。

本例的真空泵包括对轴上部的径向(radial direction)上的抖动进行限制的保护轴承(touchdown bearing)，例如，滚珠轴承9。所述滚珠轴承9收容在磁铁固持器11上。即，在转子3稳定旋转着的状态下，轴5与滚珠轴承9不会接触。但是，在施加了大干扰的情况下、或者在旋转的加速时或减速时转子3的晃动增大的情况下，轴5会与滚珠轴承9的内轮接触。在滚珠轴承8、滚珠轴承9中，例如使用深槽滚珠轴承。

在底座2的底面上，螺栓固定有用于对拆装滚珠轴承8时的开口24进行密封的底座盖(base cover)27。在泵壳12内，形成有用于将泵装置10固定于腔室(chamber)等的吸气口凸缘12a。并且，在底座2的侧面设有排气口22。从吸气口凸缘12a流入的气体分子通过涡轮泵部及霍尔韦克泵部而输送至泵下游侧，并从排气口22排出。

其次，参照图1、图2，对控制装置100进行说明。

图2是放大地表示图1中以截面图表示的控制装置100的截面图。控制装置100包括电子电路及收纳所述电子电路的壳体101，所述电子电路包括用于驱动泵装置10内的马达4的功率半导体元件(power semiconductor element)及电路基板102等。壳体101的外形为大致长方体形状，但是并不限定于此，也可以是任意的形状。构成所述长方体的六个外板中，在截面图即图1及图2中，表示了四个外板101a、外板101b、外板101c、外板101d的各截面。所谓壳体 101，表示所述六个外板101a～外板101d及连结所述六个外板101a～外板101d 的未图示的所有构件。

壳体101的外板101a及外板101b是在长边方向上延伸的构件，在图1及图2中上下延伸。换言之，控制装置100是以外板101b的长边方向与马达4 的旋转轴、即轴5的旋转轴AX的方向相一致的方式，安装在真空泵1的底座 2的侧面(安装面23)上。因此，与外板101b相对的外板101a面对真空泵的外方，并且沿旋转轴AX的方向延伸。

控制装置100通过利用螺栓将壳体101的外板101b的下部安装在底座2 的安装面23上，而安装在泵装置10上。在外板101b与安装面23之间的一部分上，设置有未图示的功率导入用连接器(connector)，将来自控制装置100的控制信号或驱动功率传递至泵装置10内的马达4等。

电路基板102经由支柱104，通过螺固等而固定在与外板101b为相反侧的外板101a上。在电路基板102的两面上形成有印刷配线，封装有各种电子零件。但是，对马达4输出脉宽调变(Pulse-Width Modulation，PWM)驱动信号的反相元件(inverter element)103a、对反相元件103a进行驱动的驱动元件103b、防回流用二极管元件103c等运行时的发热量多的元件(以下，也将它们统称为“发热元件103”)是配置在电路基板102的与外板101b为相反侧的面上。这些发热元件直接接触壳体101的与外板101b为相反侧的金属制的外板101a。所谓直接接触，是指发热元件103与外板101a之间不经由电路基板102而连接。优选的是，发热元件103经由高热传导性的传热片106，与外板101a直接接触。

发热元件103与壳体101的外板101a以低热阻连接，因此发热元件103所产生的热会以高效率传递至金属制的外板101a，并从外板101a散出。另一方面，电路基板102及发热元件103都没有连接于与底座2连接的外板101b。由此，能够防止或抑制来自发热元件103的热经由外板101b传递至底座2，所以能够防止泵装置10内的滚珠轴承8的温度上升，可以防止或抑制润滑脂的蒸发。

另一方面，中央处理器(central processing unit，CPU)105a或控制用集成电路(integrated circuit，IC)105b、存储元件105c等运行时的发热比较少的元件因为没有那么需要高效率的冷却，所以如图2所示，也可以配置在电路基板 102的外板101b侧。这些元件所产生的热是经由电路基板102及支柱104传输至外板101a，并从外板101a散出。

再者，为了经由电路基板102而促进散热，也可以使电路基板102，经由石墨片(graphite sheet)之类的低热阻体(高热传导体)而与控制装置100的上部的外板101c或下部的外板101d、近前侧或进深侧的未图示的外板以低热阻接触。

发热元件103与外板101a的连接也不限于经由传热片106的接触，也可以设为经由石墨片之类的低热阻体(高热传导体)的低热阻的连接。

使发热元件以低热阻接触的外板也不限于以上所述，只要是与底座2接触的外板101b以外的外板，就也可以与壳体101的任意外板接触。但是，当考虑到壳体101自身的热传导时，优选的是与尽可能远离外板101b的外板接触。

电路基板102上的各发热元件103的配置优选的也是，发热量最多的元件在尽可能远离外板101b的与底座2的接触部分的位置上与外板接触。因此，在本例中，使发热元件103中发热量最多的元件即反相元件103a，与壳体101的外板中处于相距与底座2接触的外板101b的下部最远的位置的外板101a的上方的部分接触。

通过将泵装置10的泵壳12的侧面的与控制装置100相对向的部分设为平面25，与控制装置100之间形成间隙，而进一步降低从反相元件103a向泵装置10的热的传导。

在以上的说明中，控制装置100是设为包括一个电路基板102，但是也可以设为包括两个以上的电路基板102的构成。在这种情况下，发热元件103也是配置在远离与底座2接触的外板101b的一侧的电路基板102上的与外板101b 相反的一侧，并与外板101b以外的外板(例如外板101a)以低热阻连接。

再者，壳体101也可以使各外板101a～外板101d相互直接接合，还可以经由橡胶或树脂材料等的高热阻的密封材料而接合。在后者的情况，可以进一步降低从发热元件所接触的外板向与底座2接触的外板101b的热的传导。

图1中，控制装置100是设为相对于排气口22夹着泵本体而配置在相反侧，但是控制装置100与排气口22的位置关系并不限定于此。例如，也可以配置在以泵装置10的轴芯(旋转轴AX)为中心相互偏离90度的位置上，或者只要两者在机械上不重合就可以配置在其它任意位置上。

并且，本实用新型并不限于在排气功能部中包括涡轮泵部及霍尔韦克泵部的真空泵，还可以应用于只包括涡轮叶片的真空泵、只包括西格巴恩(Siegbahn) 泵或霍尔韦克泵等拖曳泵(drag pump)的真空泵、或将这些泵加以组合的真空泵。

(第一实施方式的效果)

本实用新型的第一实施方式的真空泵1包括使转子3以由滚珠轴承8支承的旋转轴AX为中心而高速旋转的泵装置10、以及对泵装置10的运行进行控制的控制装置100，控制装置100内的发热元件103与控制装置100的壳体101 的不与泵装置10相接的外板101a直接接触。发热元件103不接触与泵装置10 相接的外板101b。

由于设为如上所述的构成，所以发热元件103所产生的热会以高效率传递至外板101a，并从外板101a散出。由此，能够防止或抑制来自发热元件的热经由外板101b传递至底座2，从而具有能够防止或抑制泵装置10内的滚珠轴承8的温度上升的效果。其结果为，可以防止或抑制滚珠轴承的润滑脂经加热而蒸发使得真空装置的真空度下降。此外，能够防止或抑制润滑脂的减少，因此能够延长滚珠轴承的寿命，甚至延长真空泵的寿命(维修周期(maintenance cycle))。

再者，在所述第一实施方式中，壳体101的外板101a及外板101b的长边方向是设为轴5的旋转轴AX的方向，即设为沿图1、图2中的上下方向延伸，但是壳体101的形状并不限于此。

但是，通常，真空泵1的形状在沿旋转轴AX的方向上长，因此当壳体101 沿旋转轴AX方向延伸时，可以不使整个真空泵1大型化而扩大外板101a的面积，从而具有能够进一步高效率地散出来自发热元件103的热的效果。

(第一变形例)

虽然在所述第一实施方式的说明中省略了说明，但是如图2所示，也可以在壳体101的外板101b与底座2的安装面23之间，设置包含橡胶或树脂材料等的隔热构件107。

(第一变形例的效果)

这时，壳体101经由隔热构件与泵装置10相接，所以具有能够进一步降低从控制装置100内的发热元件向泵装置10的热的传导的效果。

(第二实施方式)

以下，参照图3对本实用新型的第二实施方式进行说明。图3是表示本实用新型的真空泵的第二实施方式的截面图。再者，标注了与图1中的符号相同符号的部分与第一实施方式相同，所以省略说明。

在第二实施方式中，控制装置100A是配置在泵装置10A的沿旋转轴AX 的方向的侧面中的切去底座2A的下部的周边的一部分而成的凹部26内。即，配置控制装置100A的位置与日本专利特开2014-105695号公报中所公开的真空泵相同。

凹部26的边界是与泵底面及吸气口凸缘面平行的凹部底面26a以及与所述凹部底面26a垂直的凹部侧面26b。

在本实施方式中，控制装置100A的外形形状，即壳体101Z的外形形状也大致为长方体形状。构成所述长方体的六个外板中，在截面图即图3中，表示了四个外板101e、外板101f、外板101g、外板101h的各截面。所谓壳体101Z，表示所述六个外板101e～外板101h及将它们加以连结的未图示的所有构件。

控制装置100A通过利用螺栓将壳体101Z的外板101g的上部及外板101f 的外部分别安装在底座2的凹部26的凹部底面26a及凹部侧面26b上，而安装在泵装置10A上。而且，在外板101f与凹部侧面26b之间的一部分上，设置有未图示的功率导入用连接器，将来自控制装置100A的控制信号或驱动功率传递至泵装置10A内的马达4等。

电路基板102A经由支柱104A，通过螺固等而固定在不同于与底座2A相接的外板101g及外板101f的不与泵装置10A相接的外板101e上。在本例中，反相元件103a、驱动元件103b等发热元件103也配置在电路基板102A的外板 101e侧。而且，这些发热元件103分别经由高热传导性的未图示的传热片，而与金属制的外板101e接触。

另一方面，CPU 105a、控制电路105b等运行时的发热比较少的元件因为没有那么需要高效率的冷却，所以也可以配置在电路基板102A的外板101g侧。这些元件所产生的热经由电路基板102A及支柱104A而传输至外板101e，并从外板101e散出。

与所述第一实施方式同样地，为了进一步促进散热，也可以使电路基板 102A经由低热阻体，与控制装置100A的图中左端的外板101h、或近前侧或进深侧的未图示的外板以低热阻接触。

并且，也可以使发热元件103经由石墨片之类的低热阻体(高热传导体) 与外板101h以低热阻接触。

在本例中，发热量最多的元件即反相元件103a也是与壳体101Z的外板中处于相距与底座2A接触的部分最远的位置的外板101e的图3中的左侧(远离底座2A的一侧)部分接触。

(第二实施方式的效果)

在以上的第二实施方式的真空泵1A中，也与所述第一实施方式同样地，包括使转子3以由滚珠轴承8支承的旋转轴AX为中心而高速旋转的泵装置10A 及对泵装置10A的运行进行控制的控制装置100A，控制装置100A内的发热元件103与控制装置100A的壳体101Z的不与泵装置10A相接的外板101e以低热阻连接。

由于设为如上所述的构成，所以发热元件103所产生的热会以高效率传递至外板101e，并从外板101e散出。由此，可以防止来自发热元件103的热经由外板101g及外板101f传递至底座2A，从而具有能够防止泵装置10内的滚珠轴承8的温度上升的效果。

(第三实施方式)

参照图4及图5，说明第三实施方式。图4是第三实施方式的真空泵1B的立体图，是从斜下方观察真空泵1B的图。

设置在控制装置100中的连接器120是用于将对冷却风扇供电等的电气配线加以连接的连接器。

本实施方式基本上是相对于所述第一实施方式的真空泵1，在真空泵装置 10的与控制装置100为相反侧的侧面上，设置有冷却风扇42的装置。

但是，如图4所示，在本实施方式的真空泵装置10B中，在底座2B及泵壳12B的侧面上，分别形成有用于安装冷却风扇42的平面40、平面41。

冷却风扇42经由支柱44，通过螺栓43而固定在这些平面40、平面41上，所述支柱44形成用于使来自冷却风扇42的风穿过的间隙。以下，利用图5说明从冷却风扇42吹出的冷却风的冷却路径。

图5是从下方观察图4的真空泵1B的俯视图。从冷却风扇42吹出的冷却风50穿过由冷却风扇42与底座2B之间的支柱44形成的间隙，吹出至底座2B 的两侧(图5中的上方及下方)。

冷却风50沿底座2B的侧面流动，而使底座2B冷却。并且，伴随着底座 2B的冷却，设置在底座2B的内部的滚珠轴承8也被冷却。

冷却风50在其后也沿底座2B的侧面流动，在图5中在底座2B的上侧流动的冷却风被分成图5中的纸面的进深及近前而也穿过排气口22。然后，冷却风50抵达至相对于底座2B配置在与冷却风扇42相反的一侧的控制装置100，使控制装置100的壳体101的侧面的外板101i、外板101j冷却。

因此，在本实施方式中，通过使控制装置100内的发热元件103与侧面的外板101i、外板101j以低热阻连接，也可以进一步增大发热元件103的冷却效果。

再者，冷却风50在通过控制装置100之后形成旋涡51，所以利用所述旋涡51也会使壳体101的与底座2B为相反侧的外板101a冷却。因此，也可以使发热元件103与外板101a以低热阻连接。

再者，也可以在底座2B的外周面上，形成沿圆周方向延伸即沿冷却风50 的流路平行的形状的散热翅片(fin)，从而进一步提高冷却效率。

并且，也可以在壳体101的侧面的外板101i、外板101j上，也形成沿冷却风50的流路平行的形状的散热翅片，从而进一步提高冷却效率。

再者，也可以通过利用金属等的挡风板覆盖冷却风扇42与底座2B之间的间隙的一部分，来限定来自冷却风扇42的冷却风50的吹出方向，从而进一步高效率地冷却底座2B或控制装置100。

例如，通过覆盖底座2B的下部的附近的间隙(图4中的下部的间隙)，可以使冷却风50朝向底座2B的周面、控制装置100及泵壳12B的平面41的方向集中。此外，通过还覆盖图4中的上部的间隙，也可以使冷却风朝向底座2B 的周面及控制装置100的方向集中。

(第三实施方式的效果)

如以上说明，本第三实施方式变形例的真空泵包括设置在泵装置10B的外表面上，使泵装置10B冷却的冷却风扇42。

由于设为如上所述的构成，所以能够使泵装置10B有效率地冷却，从而具有可以防止泵装置10B内的滚珠轴承8的温度上升的效果。

并且，通过将控制装置100设为设置在来自冷却风扇42的冷却风50的冷却路径上的构成，具有能够利用冷却风扇42来冷却控制装置100的效果。

此外，将冷却风扇42设为如下的构成：相对于控制装置100，夹着泵装置 10b的轴芯即转子3的旋转轴AX而设置在泵装置10B的相反侧。因此，具有能够使用被泵装置10B一分为二的冷却风50的冷却路径两者来冷却控制装置 100的效果。

(第四实施方式)

参照图6，说明第四实施方式。图6是第四实施方式的真空泵1C的立体图，是从斜下方观察真空泵1C的图。

本实施方式基本上与图4所示的所述第三实施方式同样地，相对于第一实施方式的真空泵1，设置有冷却风扇42，所以对相同的构成元件标注相同的符号，并省略说明。

但是，与第三实施方式不同，冷却风扇42是设置在真空泵1C的底座2C 的下侧。

在底座2C的下侧(底面)，如上所述，具有用于对拆装滚珠轴承8时的开口24进行密封的底座盖27，因而难以在这里直接安装冷却风扇42。因此，设为如下的构成：利用螺栓43及螺母(nut)45将冷却风扇42安装在将金属板变形为大致L字型而形成的安装台座46上，并利用螺栓47将安装台座46安装在底座2C的侧面的平面40上。

(第四实施方式的效果)

如以上说明，本第四实施方式的真空泵包括设置在泵装置10C的外表面上，使泵装置10C冷却的冷却风扇42。

由于设为如上所述的构成，所以能够使泵装置10C有效率地冷却，从而具有能够防止泵装置10C内的滚珠轴承8的温度上升的效果。

(第二变形例)

在所述第三实施方式及第四实施方式中，是使用空冷方式的冷却风扇42 来进行第一实施方式的泵装置10及控制装置100的冷却，但是取而代之，或者除此以外，包括液冷式的冷却机构。即，在泵装置10的底座2或泵壳12的内部或周围设置配管，通过使冷却液流入至所述配管而进行冷却。

此外，也可以在控制装置100的周围也包括冷却用的配管。这时，优选的是，通过将冷却用的配管着重设置在控制装置100的外板中以低热阻连接着发热元件103的外板、即与泵装置10接触的外板以外的外板上，来有效率地冷却发热元件103。

(第二变形例的效果)

在本变形例中，包括使泵装置10冷却的液冷式的冷却机构，因此具有能够以更高的冷却能力冷却泵装置10及滚珠轴承8的效果。

以上，已说明各种实施方式及变形例，但是本实用新型并不限定于这些内容。并且，各实施方式及变形例既可以分别单独应用，也可以组合使用。在本实用新型的技术思想的范围内所想到的其它形态也包含在本实用新型的范围内。

Claims (7)

1.一种真空泵，其特征在于，包括：

泵装置，使转子以由滚珠轴承支承的旋转轴为中心而高速旋转，从泵排气口排出由泵吸气口吸入的气体；以及

控制装置，安装在所述泵装置的沿所述旋转轴的方向的侧面，且包括包含发热元件的电子电路及收纳所述电子电路的壳体，对所述泵装置的运行进行控制；并且

所述发热元件直接接触所述壳体的与所述泵装置不相接的外板，所述发热元件不接触所述壳体的与所述泵装置相接的外板。

2.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于，

所述壳体是具有沿所述旋转轴的方向的长边方向的长方体，

所述壳体的所述发热元件所接触的所述外板是沿所述旋转轴的方向延伸的外板。

3.根据权利要求1或2所述的真空泵，其特征在于，

所述壳体经由隔热构件而与所述泵装置相接。

4.根据权利要求1或2所述的真空泵，其特征在于，包括：

冷却风扇，设置在所述泵装置的外表面，使所述泵装置冷却。

5.根据权利要求4所述的真空泵，其特征在于，

所述控制装置设置在来自所述冷却风扇的冷却风的冷却路径上。

6.根据权利要求4所述的真空泵，其特征在于，

所述冷却风扇相对于所述控制装置，夹着所述旋转轴而设置在所述泵装置的相反侧。

7.根据权利要求1或2所述的真空泵，其特征在于，

所述发热元件经由传热构件，与所述壳体的所述外板连接。