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CN1943025A - 晶片处理装置及晶片处理方法 - Google Patents

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CN1943025A
CN1943025A CN 200580011164 CN200580011164A CN1943025A CN 1943025 A CN1943025 A CN 1943025A CN 200580011164 CN200580011164 CN 200580011164 CN 200580011164 A CN200580011164 A CN 200580011164A CN 1943025 A CN1943025 A CN 1943025A
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CN
China
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adhesive sheet
temperature
semiconductor wafer
wafer
platform
Prior art date
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Pending
Application number
CN 200580011164
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English (en)
Chinese (zh)
Inventor
辻本正树
吉冈孝久
小林贤治
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Lintec Corp
Original Assignee
Lintec Corp
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Publication date
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PB01 Publication
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WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication