CN114730544B - 显示基板及其制备方法、显示装置 - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 200
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 title claims description 12
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 56
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims abstract description 10
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 624
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 173
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 106
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 33
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 claims description 22
- 230000008569 process Effects 0.000 description 30
- 239000010408 film Substances 0.000 description 28
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 description 25
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 25
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 14
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 13
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 13
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 description 9
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 6
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 6
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 6
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 6
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 5
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 5
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 4
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 4
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 4
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 3
- 230000009471 action Effects 0.000 description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 3
- 238000011161 development Methods 0.000 description 3
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 3
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 3
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 3
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 3
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 3
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 3
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 2
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 2
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 2
- 239000002096 quantum dot Substances 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 2
- LLLVZDVNHNWSDS-UHFFFAOYSA-N 4-methylidene-3,5-dioxabicyclo[5.2.2]undeca-1(9),7,10-triene-2,6-dione Chemical compound C1(C2=CC=C(C(=O)OC(=C)O1)C=C2)=O LLLVZDVNHNWSDS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001257 Nb alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000583 Nd alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004696 Poly ether ether ketone Substances 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UBSJOWMHLJZVDJ-UHFFFAOYSA-N aluminum neodymium Chemical compound [Al].[Nd] UBSJOWMHLJZVDJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HRHKULZDDYWVBE-UHFFFAOYSA-N indium;oxozinc;tin Chemical compound [In].[Sn].[Zn]=O HRHKULZDDYWVBE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007641 inkjet printing Methods 0.000 description 1
- 238000004020 luminiscence type Methods 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- DTSBBUTWIOVIBV-UHFFFAOYSA-N molybdenum niobium Chemical compound [Nb].[Mo] DTSBBUTWIOVIBV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 1
- 229920001230 polyarylate Polymers 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920002530 polyetherether ketone Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 1
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 1
- 229920000123 polythiophene Polymers 0.000 description 1
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 1
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 230000036632 reaction speed Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000004753 textile Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 1
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 1
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
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- H10K59/121—Active-matrix OLED [AMOLED] displays characterised by the geometry or disposition of pixel elements
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Abstract
一种显示基板及其制备方法、显示装置。所述显示基板包括基底、第二电源线、数据信号线和多个子像素,至少一个子像素包括像素驱动电路和连接所述像素驱动电路的发光器件,所述像素驱动电路分别与所述数据信号线连接,所述发光器件与所述第二电源线连接;所述基底上设置有半导体层以及设置在所述半导体层远离所述基底一侧的多个导电层,至少一个导电层设置有第一电极,所述第一电极与所述第二电源线连接,所述第一电极在基底上的正投影与所述数据信号线在基底上的正投影存在重叠区域。
Description
本申请要求于2020年9月28日提交的、申请号为202011041915.9、发明名称为“像素电路、像素驱动方法、显示面板和显示装置”的中国专利申请的优先权,其内容应理解为通过引用的方式并入本申请中。
技术领域
本文涉及显示技术领域,具体涉及一种显示基板及其制备方法、显示装置。
背景技术
有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode,简称OLED)为主动发光显示器件,具有自发光、广视角、高对比度、低耗电、极高反应速度、轻薄、可弯曲和成本低等优点。随着显示技术的不断发展,以OLED为发光器件、由薄膜晶体管(Thin Film Transistor,简称TFT)进行信号控制的柔性显示装置(Flexible Display)已成为目前显示领域的主流产品。
发明内容
以下是对本文详细描述的主题的概述。本概述并非是为了限制权利要求的保护范围。
本公开提供了一种显示基板,包括基底、第二电源线、数据信号线和多个子像素,至少一个子像素包括像素驱动电路和连接所述像素驱动电路的发光器件,所述像素驱动电路分别与所述数据信号线连接,所述发光器件与所述第二电源线连接;所述基底上设置有半导体层以及设置在所述半导体层远离所述基底一侧的多个导电层,至少一个导电层设置有第一电极,所述第一电极与所述第二电源线连接,所述第一电极在基底上的正投影与所述数据信号线在基底上的正投影存在重叠区域。
在示例性实施方式中,所述第一电极包括沿第一方向延伸的第一电极段和沿第二方向延伸的第二电极段,所述第二电极段在基底上的正投影与所述数据信号线在基底上的正投影存在重叠区域,所述第一电极段的一端与所述第二电极段连接,另一端与所述第二电源线连接;所述第二方向为所述数据信号线的延伸方向,所述第一方向与第二方向交叉。
在示例性实施方式中,所述多个导电层包括依次设置在所述半导体层远离所述基底一侧的第一导电层、第二导电层、第三导电层和第四导电层,所述数据信号线设置在所述第四导电层上,所述第一电极设置在所述第一导电层、第二导电层或第三导电层上。
在示例性实施方式中,所述第二电源线设置在所述第四导电层上,所述第二电源线通过过孔与所述第一电极连接。
在示例性实施方式中,所述第四导电层还包括第二电源连接线,所述第二电源连接线的一端与所述第二电源线连接,另一端通过过孔与所述第一电极连接。
在示例性实施方式中,所述第一电极设置在所述第一导电层或第二导电层上,所述第三导电层上还设置有层间连接电极,所述层间连接电极通过过孔与所述第一电极连接,所述第二电源线通过过孔与所述层间连接电极连接。
在示例性实施方式中,所述像素驱动电路至少包括第一晶体管、第二晶体管、第三晶体管、第四晶体管和第五晶体管;所述第一晶体管的第一极与所述数据信号线连接,所述第一晶体管的第二极与第二节点连接;所述第二晶体管的第一极与第一节点连接,所述第二晶体管的第二极与第三节点连接;所述第三晶体管的栅电极与第一节点连接,所述第三晶体管的第一极与第一电源线连接,所述第三晶体管的第二极与第三节点连接;所述第四晶体管的第一极与初始信号线连接;所述第五晶体管的第一极与参考信号线连接,所述第五晶体管的第二极与第二节点连接。
在示例性实施方式中,所述像素驱动电路还包括存储电容和阈值电容,所述存储电容包括存储电容第一极板和存储电容第二极板,所述阈值电容包括阈值电容第一极板和阈值电容第二极板;所述存储电容第二极板与所述第一电源线连接,所述存储电容第一极板与所述第一节点连接;所述阈值电容第二极板与所述第二节点连接,所述阈值电容第一极板与所述第一节点连接。
在示例性实施方式中,所述存储电容第一极板和阈值电容第一极板设置在所述第一导电层上,所述存储电容第一极板和阈值电容第一极板为相互连接的一体结构,所述阈值电容第一极板与所述半导体层不交叠。
在示例性实施方式中,所述存储电容第二极板和阈值电容第二极板设置在所述第二导电层上,所述存储电容第二极板和阈值电容第二极板相互间隔设置,本子像素的存储电容第二极板与相邻子像素的存储电容第二极板为相互连接的一体结构,所述存储电容第二极板在所述基底上的正投影与所述存储电容第一极板在所述基底上的正投影存在重叠区域,所述阈值电容第二极板在所述基底上的正投影与所述阈值电容第一极板在所述基底上的正投影存在重叠区域。
在示例性实施方式中,所述第四晶体管为双栅晶体管,至少包括设置在所述半导体层上的第四有源层和两个第四栅电极;所述显示基板还包括第一子极板,所述第一子极板在基底上的正投影与位于两个第四栅电极之间的第四有源层在基底上的正投影存在重叠区域。
在示例性实施方式中,所述两个第四栅电极设置在所述第一导电层,所述第一子极板设置在所述第二导电层,所述第一子极板与所述初始信号线连接。
在示例性实施方式中,所述第五晶体管为双栅晶体管,至少包括设置在所述半导体层上的第五有源层和两个第五栅电极;所述显示基板还包括第二子极板,所述第二子极板在基底上的正投影与位于两个第五栅电极之间的第五有源层在基底上的正投影存在重叠区域。
在示例性实施方式中,所述两个第五栅电极设置在所述第一导电层,所述第二子极板设置在所述第二导电层,所述第二子极板通过过孔与所述第一电源线连接。
在示例性实施方式中,所述第一晶体管为双栅晶体管,至少包括设置在所述半导体层上的第一有源层和两个第一栅电极;所述显示基板还包括第三子极板,所述第三子极板在基底上的正投影与位于两个第一栅电极之间的第一有源层在基底上的正投影存在重叠区域。
在示例性实施方式中,所述两个第一栅电极设置在所述第一导电层,所述第三子极板设置在所述第二导电层,所述第三子极板通过过孔与所述第一电源线连接。
在示例性实施方式中,所述第二晶体管为双栅晶体管,至少包括设置在所述半导体层上的第二有源层和两个第二栅电极;所述显示基板还包括第四子极板,所述第四子极板在基底上的正投影与位于两个第二栅电极之间的第二有源层在基底上的正投影存在重叠区域。
在示例性实施方式中,所述两个第二栅电极设置在所述第一导电层,所述第三子极板设置在所述第二导电层,所述第四子极板通过过孔与所述第一电源线连接。
本公开还提供了一种显示装置,包括前述的显示基板。
本公开还提供了一种显示基板的制备方法,所述显示基板包括基底、第二电源线、数据信号线和多个子像素,至少一个子像素包括像素驱动电路和连接所述像素驱动电路的发光器件,所述像素驱动电路分别与所述数据信号线连接,所述发光器件与所述第二电源线连接;所述制备方法包括:
在所述基底上形成半导体层和设置在所述半导体层远离所述基底一侧的多个导电层,至少一个导电层设置有第一电极,所述第一电极与所述第二电源线连接,所述第一电极在基底上的正投影与所述数据信号线在基底上的正投影存在重叠区域。
在示例性实施方式中,在所述基底上形成半导体层和设置在所述半导体层远离所述基底一侧的多个导电层,包括:
在所述基底上形成半导体层;
在所述半导体层上依次形成第一导电层、第二导电层、第三导电层和第四导电层,所述第一电极设置在所述第一导电层、第二导电层或第三导电层上,所述第二电源线和数据信号线设置在所述第四导电层上,所述第二电源线通过过孔与所述第一电极连接。
在阅读并理解了附图和详细描述后,可以明白其他方面。
附图说明
附图用来提供对本申请技术方案的理解,并且构成说明书的一部分,与本申请的实施例一起用于解释本申请的技术方案,并不构成对本申请技术方案的限制。
图1为一种显示装置的结构示意图;
图2为一种显示基板的平面结构示意图;
图3为一种显示基板的剖面结构示意图;
图4为一种像素驱动电路的等效电路示意图;
图5为一种像素驱动电路的工作时序图;
图6为本公开示例性实施例一种显示基板的结构示意图;
图7为本公开示例性实施例一种形成半导体层图案后的示意图;
图8为本公开示例性实施例一种形成第一导电层图案后的示意图;
图9为本公开示例性实施例一种形成第二导电层图案后的示意图;
图10为本公开示例性实施例一种形成第四绝缘层图案后的示意图;
图11为本公开示例性实施例一种形成第三导电层图案后的示意图;
图12为本公开示例性实施例一种形成第五绝缘层图案后的示意图;
图13为本公开示例性实施例一种形成第四导电层图案后的示意图。
附图标记说明:
11—第一有源层; 12—第二有源层; 13—第三有源层;
14—第四有源层; 15—第五有源层; 16—第六有源层;
17—第七有源层; 18—第八有源层; 21—第一扫描信号线;
22—第二扫描信号线; 23—第三扫描信号线; 24—第一发光控制线;
25—第二发光控制线; 26—存储电容第一极板; 27—阈值电容第一极板;
28—第一电极; 31—初始信号线; 32—第一连接线;
33—存储电容第二极板; 34—阈值电容第二极板; 35—第一子极板;
36—第二子极板; 37—第三子极板; 38—第四子极板;
41—第一连接电极; 42—第二连接电极; 43—第三连接电极;
44—第四连接电极; 45—第五连接电极; 46—第六连接电极;
47—第七连接电极; 48—第八连接电极; 49—层间连接电极;
51—阳极连接电极; 71—第一电源线; 72—参考信号线;
73—第二电源线; 74—数据信号线; 75—第二电源连接线;
101—基底; 102—驱动电路层; 103—发光器件;
104—封装层; 301—阳极; 302—像素定义层;
303—有机发光层; 304—阴极; 401—第一封装层;
402—第二封装层; 403—第三封装层。
具体实施方式
为使本公开的目的、技术方案和优点更加清楚明白,下文中将结合附图对本公开的实施例进行详细说明。注意,实施方式可以以多个不同形式来实施。所属技术领域的普通技术人员可以很容易地理解一个事实,就是方式和内容可以在不脱离本公开的宗旨及其范围的条件下被变换为各种各样的形式。因此,本公开不应该被解释为仅限定在下面的实施方式所记载的内容中。在不冲突的情况下,本公开中的实施例及实施例中的特征可以相互任意组合。
本公开中的附图比例可以作为实际工艺中的参考,但不限于此,例如:沟道的宽长比、各个膜层的厚度和间距、各个信号线的宽度和间距,可以根据实际需要进行调整。显示基板中像素的个数和每个像素中子像素的个数也不是限定为图中所示的数量,本公开中所描述的附图仅是结构示意图,本公开的一个方式不局限于附图所示的形状或数值等。
本说明书中的“第一”、“第二”、“第三”等序数词是为了避免构成要素的混同而设置,而不是为了在数量方面上进行限定的。
在本说明书中,为了方便起见,使用“中部”、“上”、“下”、“前”、“后”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示方位或位置关系的词句以参照附图说明构成要素的位置关系,仅是为了便于描述本说明书和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本公开的限制。构成要素的位置关系根据描述各构成要素的方向适当地改变。因此,不局限于在说明书中说明的词句,根据情况可以适当地更换。
在本说明书中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解。例如,可以是固定连接,或可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,或电连接;可以是直接相连,或通过中间件间接相连,或两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本公开中的具体含义。
在本说明书中,晶体管是指至少包括栅电极、漏电极以及源电极这三个端子的元件。晶体管在漏电极(漏电极端子、漏区域或漏电极)与源电极(源电极端子、源区域或源电极)之间具有沟道区域,并且电流能够流过漏电极、沟道区域以及源电极。注意,在本说明书中,沟道区域是指电流主要流过的区域。
在本说明书中,第一极可以为漏电极、第二极可以为源电极,或者第一极可以为源电极、第二极可以为漏电极。在使用极性相反的晶体管的情况或电路工作中的电流方向变化的情况等下,“源电极”及“漏电极”的功能有时互相调换。因此,在本说明书中,“源电极”和“漏电极”可以互相调换。
在本说明书中,“电连接”包括构成要素通过具有某种电作用的元件连接在一起的情况。“具有某种电作用的元件”只要可以进行连接的构成要素间的电信号的授受,就对其没有特别的限制。“具有某种电作用的元件”的例子不仅包括电极和布线,而且还包括晶体管等开关元件、电阻器、电感器、电容器、其它具有各种功能的元件等。
在本说明书中,“平行”是指两条直线形成的角度为-10°以上且10°以下的状态,因此,也包括该角度为-5°以上且5°以下的状态。另外,“垂直”是指两条直线形成的角度为80°以上且100°以下的状态,因此,也包括85°以上且95°以下的角度的状态。
在本说明书中,“膜”和“层”可以相互调换。例如,有时可以将“导电层”换成为“导电膜”。与此同样,有时可以将“绝缘膜”换成为“绝缘层”。
本公开中的“约”,是指不严格限定界限,允许工艺和测量误差范围内的数值。
图1为一种显示装置的结构示意图。如图1所示,显示装置可以包括时序控制器、数据驱动器、扫描驱动器、发光驱动器和像素阵列,时序控制器分别与数据驱动器、扫描驱动器和发光驱动器连接,数据驱动器分别与多个数据信号线(D1到Dn)连接,扫描驱动器分别与多个扫描信号线(S1到Sm)连接,发光驱动器分别与多个发光信号线(E1到Eo)连接。像素阵列可以包括多个子像素Pxij,i和j可以是自然数,至少一个子像素Pxij可以包括电路单元和与电路单元连接的发光器件,电路单元可以包括至少一个扫描信号线、至少一个数据信号线、至少一个发光信号线和像素驱动电路。在示例性实施方式中,时序控制器可以将适合于数据驱动器的规格的灰度值和控制信号提供到数据驱动器,可以将适合于扫描驱动器的规格的时钟信号、扫描起始信号等提供到扫描驱动器,可以将适合于发光驱动器的规格的时钟信号、发射停止信号等提供到发光驱动器。数据驱动器可以利用从时序控制器接收的灰度值和控制信号来产生将提供到数据信号线D1、D2、D3、……和Dn的数据电压。例如,数据驱动器可以利用时钟信号对灰度值进行采样,并且以像素行为单位将与灰度值对应的数据电压施加到数据信号线D1至Dn,n可以是自然数。扫描驱动器可以通过从时序控制器接收时钟信号、扫描起始信号等来产生将提供到扫描信号线S1、S2、S3、……和Sm的扫描信号。例如,扫描驱动器可以将具有导通电平脉冲的扫描信号顺序地提供到扫描信号线S1至Sm。例如,扫描驱动器可以被构造为移位寄存器的形式,并且可以以在时钟信号的控制下顺序地将以导通电平脉冲形式提供的扫描起始信号传输到下一级电路的方式产生扫描信号,m可以是自然数。发光驱动器可以通过从时序控制器接收时钟信号、发射停止信号等来产生将提供到发光信号线E1、E2、E3、……和Eo的发射信号。例如,发光驱动器可以将具有截止电平脉冲的发射信号顺序地提供到发光信号线E1至Eo。例如,发光驱动器可以被构造为移位寄存器的形式,并且可以以在时钟信号的控制下顺序地将以截止电平脉冲形式提供的发射停止信号传输到下一级电路的方式产生发射信号,o可以是自然数。
图2为一种显示基板的平面结构示意图。如图2所示,显示基板可以包括以矩阵方式排布的多个像素单元P,多个像素单元P的至少一个中包括出射第一颜色光线的第一子像素P1、出射第二颜色光线的第二子像素P2和出射第三颜色光线的第三子像素P3,第一子像素P1、第二子像素P2和第三子像素P3均包括像素驱动电路和发光器件。第一子像素P1、第二子像素P2和第三子像素P3中的像素驱动电路分别与扫描信号线、数据信号线和发光信号线连接,像素驱动电路被配置为在扫描信号线和发光信号线的控制下,接收数据信号线传输的数据电压,向所述发光器件输出相应的电流。第一子像素P1、第二子像素P2和第三子像素P3中的发光器件分别与所在子像素的像素驱动电路连接,发光器件被配置为响应所在子像素的像素驱动电路输出的电流发出相应亮度的光。
在示例性实施方式中,像素单元P中可以包括红色(R)子像素、绿色(G)子像素和蓝色(B)子像素,或者可以包括红色子像素、绿色子像素、蓝色子像素和白色(W)子像素,本公开在此不做限定。在示例性实施方式中,像素单元中子像素的形状可以是矩形状、菱形、五边形或六边形。像素单元包括三个子像素时,三个子像素可以采用水平并列、竖直并列或品字方式排列,像素单元包括四个子像素时,四个子像素可以采用水平并列、竖直并列或正方形(Square)方式排列,本公开在此不做限定。
图3为一种显示基板的剖面结构示意图,示意了OLED显示基板三个子像素的结构。如图3所示,在垂直于显示基板的平面上,显示基板了可以包括设置在基底101上的驱动电路层102、设置在驱动电路层102远离基底101一侧的发光器件103以及设置在发光器件103远离基底101一侧的封装层104。在一些可能的实现方式中,显示基板可以包括其它膜层,如隔垫柱等,本公开在此不做限定。
在示例性实施方式中,每个子像素的驱动电路层102可以包括构成像素驱动电路的多个晶体管和存储电容,图3中以每个子像素中包括一个驱动晶体管和一个存储电容为例进行示意。在一些可能的实现方式中,每个子像素的驱动电路层102可以包括:设置在基底上的第一绝缘层;设置在第一绝缘层上的有源层;覆盖有源层的第二绝缘层;设置在第二绝缘层上的栅电极和第一极板;覆盖栅电极和第一极板的第三绝缘层;设置在第三绝缘层上的第二极板;覆盖第二极板的第四绝缘层,第二绝缘层、第三绝缘层和第四绝缘层上开设有过孔,过孔暴露出有源层;设置在第四绝缘层上的源电极和漏电极,源电极和漏电极分别通过过孔与有源层连接;覆盖前述结构的平坦层,平坦层上开设有过孔,过孔暴露出漏电极。有源层、栅电极、源电极和漏电极组成驱动晶体管210,第一极板和第二极板组成存储电容211。
在示例性实施方式中,发光器件103可以包括阳极301、像素定义层302、有机发光层303和阴极304。阳极301设置在平坦层上,通过平坦层上开设的过孔与驱动晶体管210的漏电极连接;像素定义层302设置在阳极301和平坦层上,像素定义层302上设置有像素开口,像素开口暴露出阳极301;有机发光层303至少部分设置在像素开口内,有机发光层303与阳极301连接;阴极304设置在有机发光层303上,阴极304与有机发光层303连接;有机发光层303在阳极301和阴极304驱动下出射相应颜色的光线。
在示例性实施方式中,封装层104可以包括叠设的第一封装层401、第二封装层402和第三封装层403,第一封装层401和第三封装层403可以采用无机材料,第二封装层402可以采用有机材料,第二封装层402设置在第一封装层401和第三封装层403之间,可以保证外界水汽无法进入发光器件103。
在示例性实施方式中,有机发光层303可以包括叠设的空穴注入层(HoleInjection Layer,简称HIL)、空穴传输层(Hole Transport Layer,简称HTL)、电子阻挡层(Electron Block Layer,简称EBL)、发光层(Emitting Layer,简称EML)、空穴阻挡层(HoleBlock Layer,简称HBL)、电子传输层(Electron Transport Layer,简称ETL)和电子注入层(Electron Injection Layer,简称EIL)。在示例性实施方式中,所有子像素的空穴注入层和电子注入层可以是连接在一起的共通层,所有子像素的空穴传输层和电子传输层可以是连接在一起的共通层,所有子像素的空穴阻挡层可以是连接在一起的共通层,相邻子像素的发光层和电子阻挡层可以有少量的交叠,或者可以是隔离的。
在示例性实施方式中,像素驱动电路可以是3T1C、4T1C、5T1C、5T2C、6T1C、7T1C或8T2C结构。图4为一种像素驱动电路的等效电路示意图,示意了一种8T2C结构。如图4所示,像素驱动电路可以包括8个晶体管(第一晶体管T1到第八晶体管T8)、2个电容(存储电容Cst和阈值电容CVth),像素驱动电路分别与10个信号线连接,10个信号线包括第一扫描信号线S1、第二扫描信号线S2、第三扫描信号线S3、第一发光信号线EM1、第二发光信号线EM2、参考信号线REF、初始信号线INIT、数据信号线DATA、第一电源线VDD和第二电源线VSS。
在示例性实施方式中,第一晶体管T1的栅电极与第一扫描信号线S1连接,第一晶体管T1的第一极与数据信号线DATA连接,第一晶体管的第二极与第二节点N2连接。第二晶体管T2的栅电极与第二扫描信号线S2连接,第二晶体管T2的第一极与第一节点N1连接,第二晶体管T2的第二极与第三节点N3连接。第三晶体管T3的栅电极与第一节点N1连接,第三晶体管T3的第一极与第一电源线VDD连接,第三晶体管T3的第二极与第三节点N3连接。第四晶体管T4的栅电极与第三扫描信号线S3连接,第四晶体管T4的第一极与初始信号线INIT连接,第四晶体管T4的第二极与第八晶体管T8的第一极连接。第五晶体管T5的栅电极与第三扫描信号线S3连接,第五晶体管T5的第一极与参考信号线REF连接,第五晶体管T5的第二极与第二节点N2连接。第六晶体管T6的栅电极与第二扫描信号线S2连接,第六晶体管T6的第一极与初始信号线INIT连接,第六晶体管T6的第二极与发光器件的第一极连接。第七晶体管T7的栅电极与第一发光信号线EM1连接,第七晶体管T7的第一极与第三节点N3连接,第七晶体管T7的第二极与发光器件的第一极连接。第八晶体管T8的栅电极与第二发光信号线EM2连接,第八晶体管T8的第一极与第四晶体管T4的第二极连接,第八晶体管T8的第二极与第一节点N1连接。存储电容Cst的第一端与第一电源线VDD连接,存储电容Cst的第二端与第一节点N1连接。阈值电容CVth的第一端与第二节点N2连接,阈值电容CVth的第二端与第一节点N1连接。
在示例性实施方式中,第一晶体管T1到第八晶体管T8可以是P型晶体管,或者可以是N型晶体管。像素驱动电路中采用相同类型的晶体管可以简化工艺流程,减少显示面板的工艺难度,提高产品的良率。在一些可能的实现方式中,第一晶体管T1到第八晶体管T8可以包括P型晶体管和N型晶体管。
在示例性实施方式中,发光器件的第二极与第二电源线VSS连接,第二电源线VSS的信号为低电平信号,第一电源线VDD的信号为持续提供高电平信号。
在示例性实施方式中,第二扫描信号线S2为本显示行像素驱动电路中的扫描信号线,第三扫描信号线S3为上一显示行像素驱动电路中的扫描信号线,即对于第n显示行,第二扫描信号线S2为S(n),第三扫描信号线S3为S(n-1),本显示行的第三扫描信号线S3与上一显示行像素驱动电路中的第二扫描信号线S2可以为同一信号线,或者说,本显示行的第二扫描信号线S2与下一显示行像素驱动电路中的第三扫描信号线S3可以为同一信号线,以减少显示面板的信号线,实现显示面板的窄边框。
在示例性实施方式中,第一发光信号线EM1为本显示行像素驱动电路中的发光信号线,第二发光信号线EM2为下一显示行像素驱动电路中的发光信号线,即对于第n显示行,第一发光信号线EM1为EM(n),第二发光信号线EM2为EM(n+1),本显示行的第一发光信号线EM1与下一显示行像素驱动电路中的第一发光信号线EM1可以为同一信号线,以减少显示面板的信号线,实现显示面板的窄边框。
在示例性实施方式中,第一扫描信号线S1、第二扫描信号线S2、第三扫描信号线S3、第一发光信号线EM1、第二发光信号线EM2和初始信号线INIT可以沿水平方向延伸,数据信号线DATA、第一电源线VDD、第二电源线VSS和参考信号线REF可以沿竖直方向延伸。
在示例性实施方式中,发光器件可以是有机电致发光二极管(OLED),包括叠设的第一极(阳极)、有机发光层和第二极(阴极)。
图5为一种像素驱动电路的工作时序图。下面通过图4示例的像素驱动电路的工作过程说明本公开示例性实施例,图4中的像素驱动电路包括8个晶体管(第一晶体管T1到第八晶体管T8)、2个电容(存储电容Cst和阈值电容CVth)和10个信号线(第一扫描信号线S1、第二扫描信号线S2、第三扫描信号线S3、第一发光信号线EM1、第二发光信号线EM2、参考信号线REF、初始信号线INIT、数据信号线DATA、第一电源线VDD和第二电源线VSS),8个晶体管均为P型晶体管。
在示例性实施方式中,像素驱动电路的工作过程可以包括:
第一阶段A1,称为复位阶段,第二发光信号线EM2和第三扫描信号线S3的信号为低电平信号,第一扫描信号线S1、第二扫描信号线S2和第一发光信号线EM1的信号为高电平信号。第三扫描信号线S3的信号为低电平信号,使第四晶体管T4和第五晶体管T5导通,参考信号线REF的参考信号提供至第二节点N2,第二节点N2复位到参考信号的参考电压Vref。第二发光信号线EM2的信号为低电平信号,使第八晶体管T8导通,由于第四晶体管T4和第八晶体管T8导通,初始信号线INIT的初始信号提供至第一节点N1,第一节点N1复位到初始信号的初始电压Vinit。此阶段中,第一晶体管T1、第二晶体管T2、第三晶体管T3、第六晶体管T6和第七晶体管T7断开,此阶段OLED不发光。
第二阶段A2、称为阈值获取阶段,第二扫描信号线S2和第三扫描信号线S3的信号为低电平信号,第一扫描信号线S1、第一发光信号线EM1和第二发光信号线EM2的信号为高电平信号。第二扫描信号线S2的信号为低电平信号,使第二晶体管T2和第六晶体管T6导通。第二晶体管T2导通使第一节点N1和第三节点N3电位相同,第三晶体管T3形成“二极管连接”结构,第一电源线VDD向第一节点N1充电,第一节点N1充电至Vdd-|Vth|电位后截至,将带有第三晶体管T3阈值电压的信息存储在存储电容Cst中。Vdd为第一电源线VDD的电源电压,Vth为第三晶体管T3的阈值电压。第六晶体管T6导通使初始信号线INIT的初始电压提供至OLED的第一极,对OLED的第一极进行初始化(复位),清空其内部的预存电压。第三扫描信号线S3的信号为低电平信号,第五晶体管T5继续导通,使第二节点N2保持参考信号的参考电压Vref。此阶段中,第一晶体管T1、第三晶体管T3、第七晶体管T7和第八晶体管T8断开,此阶段OLED不发光。
第三阶段A3、称为数据写入阶段,第一扫描信号线S1的信号为低电平信号,第二扫描信号线S2、第三扫描信号线S3、第一发光信号线EM1和第二发光信号线EM2的信号为高电平信号。第一扫描信号线S1的信号为低电平信号使第一晶体管T1导通,数据信号线DATA输出数据电压提供至第二节点N2,第二节点N2写入数据电压Vdt。第一节点N1和第二节点N2的信号叠加后,第一节点N1的电位变为:
VN1=Vdd-|Vth|+(Vdt-Vref)*Cvth/(Cvth+Cst)
第四阶段A4、称为发光阶段,第一发光信号线EM1的信号为低电平信号,第一扫描信号线S1、第二扫描信号线S2、第三扫描信号线S3和第二发光信号线EM2的信号为高电平信号。第一发光信号线EM1的信号为低电平信号,使第七晶体管T7导通。第一节点N1的电位使第三晶体管T3导通,第一电源线VDD输出的电源电压通过导通的第三晶体管T3和第七晶体管T7向OLED的第一极提供驱动电压,驱动OLED发光。此阶段中,第一节点N1和第二节点N2悬空,靠存储电容Cst保持原电位。在像素驱动电路驱动过程中,流过第三晶体管T3(驱动晶体管)的驱动电流由其栅电极和第一极之间的电压差决定,因而根据第一节点N1的电位,流过第三晶体管T3的驱动电流为:
I=β*[(Vdt-Vref)CVth/(Cvth+Cst)]2
其中,I为流过第三晶体管T3的驱动电流,也就是驱动OLED的驱动电流,β为常数,Vdt为数据信号线DATA输出的数据电压,Vref为参考信号线REF输出的参考电压。该驱动电流公式中无第三晶体管T3的阈值电压信息,因此该像素驱动电路对第三晶体管T3的阈值电压有自补偿作用。
在像素驱动电路工作过程中,在复位阶段,第一节点N1的电位为初始电压Vinit,第二节点N2的电位为参考电压Vref。在阈值获取阶段,第一节点N1的电位为Vdd-|Vth|,第二节点N2的电位为参考电压Vref。数据写入阶段,第一节点N1的电位为VN1=Vdd-|Vth|+(Vdt-Vref)*Cvth/(Cvth+Cst),第二节点N2的电位为数据电压Vdt。在发光阶段,第一节点N1的电位为VN1,第二节点N2的电位为数据电压Vdt。本公开示例性实施例的像素驱动电路的特点是阈值获取阶段和数据写入阶段时间分开,可以通过时序控制,增加阈值电压Vth的获取时间,提高像素驱动电路阈值电压Vth的补偿能力。
图6为本公开示例性实施例一种显示基板的结构示意图,示意了三个子像素的平面结构。如图6所示,在平行于显示基板的平面内,至少一个子像素中设置有第一扫描信号线21、第二扫描信号线22、第三扫描信号线23、第一发光控制线24、第二发光控制线25、初始信号线31、第一电源线71、参考信号线72、第二电源线73、数据信号线74、像素驱动电路和发光器件,像素驱动电路可以包括存储电容、阈值电容和多个晶体管,每个晶体管可以包括有源层、栅电极、第一极和第二极,存储电容包括存储电容第一极板26和存储电容第二极板33,阈值电容包括阈值电容第一极板27和阈值电容第二极板34。在示例性实施方式中,像素驱动电路分别与第一电源线71和数据信号线74连接,第一电源线71向像素驱动电路提供高电平信号,数据信号线74向像素驱动电路提供数据信号,发光器件与第二电源线73连接,第二电源线73向发光器件提供低电平信号。在示例性实施方式中,显示基板还包括第一电极28,第一电极28与第二电源线73连接,且第一电极28在显示基板平面上的正投影与数据信号线74在显示基板平面上的正投影存在重叠区域。
在垂直于显示基板的平面内,显示基板可以包括在基底上依次设置的半导体层和多个导电层,至少一个导电层设置第一电极28。在示例性实施例中,多个导电层可以包括在半导体层上依次设置的第一导电层、第二导电层、第三导电层和第四导电层,数据信号线74可以设置在第四导电层上,第一电极28可以设置在第一导电层,或者可以设置在第二导电层上,或者可以设置在第三导电层上。
在示例性实施例中,半导体层可以包括多个晶体管的有源层,第一导电层可以包括第一扫描信号线21、第二扫描信号线22、第三扫描信号线23、第一发光控制线24、第二发光控制线25、存储电容第一极板26和阈值电容第一极板27,第二导电层可以包括初始信号线31、存储电容第二极板33和阈值电容第二极板34,第三导电层可以包括第一电源线71和参考信号线72,第四导电层可以包括第二电源线73和数据信号线74。
在示例性实施例中,第一扫描信号线21、第二扫描信号线22、第三扫描信号线23、第一发光控制线24和第二发光控制线25沿第一方向X延伸,存储电容第一极板26和阈值电容第一极板27为相互连接的一体结构。初始信号线31沿第一方向X延伸,存储电容第二极板33和阈值电容第二极板34间隔设置。第一电源线71、参考信号线72、第二电源线73和数据信号线74沿第二方向Y延伸。第一方向X可以是扫描信号线的延伸方向,第二方向Y可以是数据信号线的延伸方向。
在示例性实施例中,一子像素行中相邻子像素的存储电容第二极板33通过连接线相互连接,一子像素行中相互连接的存储电容第二极板33同时作为第一电源连接线,使得一子像素行中各个子像素具有相同的电源电压,提高了显示均一性。
在示例性实施例中,第二导电层可以包括第一连接线32,第一连接线32沿第一方向X延伸且与参考信号线72连接,使得一子像素行中各个子像素具有相同的参考电压,提高显示均一性。
在示例性实施例中,像素驱动电路可以包括第一晶体管T1、第二晶体管T2、第三晶体管T3、第四晶体管T4和第五晶体管T5;第一晶体管T1的第一极与数据信号线74连接,第一晶体管T1的第二极与阈值电容第二极板34连接;第二晶体管T2的第一极与存储电容第一极板26和阈值电容第一极板27连接,第二晶体管T2的第二极与第三晶体管T3的第二极连接;第三晶体管T3的栅电极与存储电容第一极板26和阈值电容第一极板27连接,第三晶体管T3的第一极与第一电源线71连接;第四晶体管T4的第一极与初始信号线31连接,第四晶体管T4的第二极与存储电容第一极板26和阈值电容第一极板27连接;第五晶体管T5的第一极与参考信号线72连接,第五晶体管T5的第二极与阈值电容第二极板34连接。
在示例性实施例中,第一晶体管T1、第二晶体管T2、第四晶体管T4和第五晶体管T5为双栅晶体管。第二导电层可以包括第一子极板35、第二子极板36、第三子极板37和第四子极板38。第一子极板35配置为在第四晶体管T4的双栅中间节点引入寄生电容,第二子极板36配置为在第五晶体管T5的双栅中间节点引入寄生电容,第三子极板37配置为在第一晶体管T1的双栅中间节点引入寄生电容,第四子极板38配置为在第二晶体管T2的双栅中间节点引入寄生电容。
在示例性实施例中,第四晶体管T4至少包括第四有源层和两个第四栅电极,第一子极板35在基底上的正投影与位于两个第四栅电极之间的第四有源层在基底上的正投影存在重叠区域。两个第四栅电极设置在第一导电层,第一子极板35设置在第二导电层,第一子极板35与初始信号线31连接。
在示例性实施例中,第五晶体管T5至少包括第五有源层和两个第五栅电极,第二子极板36在基底上的正投影与位于两个第五栅电极之间的第五有源层在基底上的正投影存在重叠区域。两个第五栅电极设置在第一导电层,第二子极板36设置在第二导电层,第二子极板36通过过孔与第一电源线71连接。
在示例性实施例中,第一晶体管T1至少包括第一有源层和两个第一栅电极,第三子极板37在基底上的正投影与位于两个第一栅电极之间的第一有源层在基底上的正投影存在重叠区域。两个第一栅电极设置在第一导电层,第三子极板37设置在第二导电层,第三子极板37通过过孔与第一电源线71连接。
在示例性实施例中,第二晶体管T3至少包括第二有源层和两个第二栅电极,第四子极板38在基底上的正投影与位于两个第二栅电极之间的第二有源层在基底上的正投影存在重叠区域。两个第二栅电极设置在第一导电层,第三子极板38设置在第二导电层,第四子极板38通过过孔与第一电源线71连接。
在示例性实施例中,第三导电层可以包括第一连接电极41、第二连接电极42、第三连接电极、第四连接电极44、第五连接电极45、第六连接电极46、第七连接电极47、第八连接电极和层间连接电极49。第一连接电极41作为第二晶体管T2的第一极,第二连接电极42作为第八晶体管T8的第二极,第三连接电极作为第一晶体管T1的第一极,第四连接电极44同时作为第一晶体管T1的第二极和第五晶体管T5的第二极,第五连接电极45同时作为第四晶体管T4的第一极和第六晶体管T6的第一极,第六连接电极46同时作为第四晶体管T4的第二极和第八晶体管T8的第一极,第七连接电极47同时作为第二晶体管T2的第二极、第三晶体管T3的第二极和第七晶体管T7的第一极,第八连接电极同时作为第六晶体管T6的第二极和第七晶体管T7的第二极,层间连接电极49配置为连接第一电极28和第二电源线。
在示例性实施例中,第四导电层可以包括阳极连接电极51,阳极连接电极51配置连接第八连接电极和发光器件的阳极。
在示例性实施例中,第一电极28可以包括沿第一方向X延伸的第一电极段和沿第二方向Y延伸的第二电极段,第二电极段在基底上的正投影与数据信号线74在基底上的正投影存在重叠区域,第一电极段的一端与第二电极段连接,另一端通过过孔与第二电源线连接。
在示例性实施例中,第三导电层可以包括第二电源连接线75,第二电源连接线75的一端与第二电源线73连接,另一端通过过孔与层间连接电极49连接,层间连接电极49通过过孔与第一电极28连接。
在示例性实施方式中,显示基板可以包括第一绝缘层、第二绝缘层、第三绝缘层、第四绝缘层和第五绝缘层,第一绝缘层设置在基底与半导体层之间,第二绝缘层设置在半导体层和第一导电层之间,第三绝缘层设置在第一导电层与第二导电层之间,第四绝缘层设置在第二导电层与第三导电层之间,第五绝缘层设置在第三导电层与第四导电层之间。
本公开示例性实施例提供的显示基板,通过设置第一电极,第一电极在基底上的正投影与数据信号线在基底上的正投影存在重叠区域,且第一电极与第二电源线连接,有效屏蔽了数据电压跳变对关键节点的影响,避免了数据电压跳变影响像素驱动电路的关键节点的电位,提高了显示效果。
下面通过显示基板的制备过程进行示例性说明。本公开所说的“图案化工艺”,对于金属材料、无机材料或透明导电材料,包括涂覆光刻胶、掩模曝光、显影、刻蚀、剥离光刻胶等处理,对于有机材料,包括涂覆有机材料、掩模曝光和显影等处理。沉积可以采用溅射、蒸镀、化学气相沉积中的任意一种或多种,涂覆可以采用喷涂、旋涂和喷墨打印中的任意一种或多种,刻蚀可以采用干刻和湿刻中的任意一种或多种,本公开不做限定。“薄膜”是指将某一种材料在基底上利用沉积、涂覆或其它工艺制作出的一层薄膜。若在整个制作过程当中该“薄膜”无需图案化工艺,则该“薄膜”还可以称为“层”。若在整个制作过程当中该“薄膜”需图案化工艺,则在图案化工艺前称为“薄膜”,图案化工艺后称为“层”。经过图案化工艺后的“层”中包含至少一个“图案”。本公开所说的“A和B同层设置”是指,A和B通过同一次图案化工艺同时形成,膜层的“厚度”为膜层在垂直于显示基板方向上的尺寸。本公开示例性实施例中,“B的正投影位于A的正投影的范围之内”,是指B的正投影的边界落入A的正投影的边界范围内,或者A的正投影的边界与B的正投影的边界重叠。“A的正投影包含B的正投影”,是指B的正投影的边界落入A的正投影的边界范围内,或者A的正投影的边界与B的正投影的边界重叠。
在示例性实施方式中,以显示基板中一子像素行中3个子像素为例,显示基板的制备过程可以包括如下操作。
(1)形成半导体层图案。在示例性实施例中,形成半导体层图案可以包括:在基底上依次沉积第一绝缘薄膜和半导体薄膜,通过图案化工艺对半导体薄膜进行图案化,形成覆盖基底的第一绝缘层,以及设置在第一绝缘层上的半导体层,如图7所示。
在示例性实施例中,至少一个子像素的半导体层可以包括第一晶体管T1的第一有源层至第八晶体管T8的第八有源层,第一晶体管T1的第一有源层11、第三晶体管T3的第三有源层13和第五晶体管T5的第五有源层15为单独设置,第二晶体管T2的第二有源层12、第六晶体管T6的第六有源层16和第七晶体管T7的第七有源层17为相互连接的一体结构,第四晶体管T4的第四有源层14和第八晶体管T8的第八有源层18为相互连接的一体结构,本子像素的第四有源层14与上一子像素行中子像素的第六有源层16连接,本子像素的第六有源层16与下一子像素行中子像素的第四有源层14连接。
在示例性实施例中,每个晶体管的有源层可以包括第一区、第二区以及位于第一区和第二区之间的沟道区。
在示例性实施例中,第一有源层11的形状呈“几”字形,“几”字形的两端分别为第一有源层11的第一区11-1和第一有源层11的第二区11-2,第一有源层11的第一区11-1和第一有源层11的第二区11-2单独设置。
在示例性实施例中,第二有源层12的形状呈“躺倒的L”字形,“躺倒的L”字形的两端分别为第二有源层12的第一区12-1和第二有源层12的第二区12-2,第二有源层12的第一区12-1单独设置,第二有源层12的第二区12-2同时作为第七有源层17的第一区17-1,即第二有源层12的第二区12-2和第七有源层17的第一区17-1相互连接。
在示例性实施例中,第三有源层13的形状为沿第二方向Y延伸的波浪形线,波浪形线的两端分别为第三有源层13的第一区13-1和第三有源层13的第二区13-2,第三有源层13的第一区13-1靠近第一有源层11,第三有源层13的第二区13-2靠近第二有源层12。
在示例性实施例中,第四有源层14的形状为沿第二方向Y延伸的双折形线,双折形线的两端分别为第四有源层14的第一区14-1和第四有源层14的第二区14-2。第四有源层14的第一区14-1同时作为上一子像素行中子像素的第六有源层16的第一区16-1,即本子像素的第四有源层14的第一区14-1与上一子像素行中子像素的第六有源层16的第一区16-1相互连接。第四有源层14的第二区14-2同时作为第八有源层18的第一区18-1,即第四有源层14的第二区14-2和第八有源层18的第一区18-1相互连接。
在示例性实施例中,第五有源层15的形状呈“几”字形,“几”字形的两端分别为第五有源层15的第一区15-1和第五有源层15的第二区15-2,第五有源层15的第一区15-1和第五有源层15的第二区15-2单独设置。
在示例性实施例中,第六有源层16的形状呈“一”字形,“一”字形的两端分别为第六有源层16的第一区16-1和第六有源层16的第二区16-2。第六有源层16的第一区16-1同时作为下一子像素行中子像素的第四有源层14的第一区14-1,即本子像素的第六有源层16的第一区16-1与下一子像素行中子像素的第四有源层14的第一区14-1相互连接。第六有源层16的第二区16-2同时作为第七有源层17的第二区17-2,即第六有源层16的第二区16-2和第七有源层17的第二区17-2之间相互连接。
在示例性实施例中,第七有源层17的形状呈“1”字形,“1”字形的两端分别为第七有源层17的第一区17-1和第七有源层T7的第二区17-2,第七有源层17的第一区17-1同时作为第二有源层12的第二区12-2,第七有源层T7的第二区17-2同时作为第六有源层16的第二区16-2。
在示例性实施例中,第八有源层18的形状呈“1”字形,“1”字形的两端分别为第八有源层18的第一区18-1和第八有源层18的第二区18-2,第八有源层18的第一区18-1同时作为第四有源层14的第二区14-2,第八有源层18的第二区18-2单独设置。
(2)形成第一导电层图案。在示例性实施例中,形成第一导电层图案可以包括:在形成前述图案的基底上,依次沉积第二绝缘薄膜和第一金属薄膜,通过图案化工艺对第一金属薄膜进行图案化,形成覆盖半导体层图案的第二绝缘层,以及设置在第二绝缘层上的第一导电层图案,第一导电层图案至少包括:第一扫描信号线21、第二扫描信号线22、第三扫描信号线23、第一发光控制线24、第二发光控制线25、存储电容第一极板26、阈值电容第一极板27和第一电极28,如图8所示。
在示例性实施例中,第一扫描信号线21、第二扫描信号线22、第三扫描信号线23、第一发光控制线24和第二发光控制线25沿第一方向X延伸。存储电容第一极板26、阈值电容第一极板27和第一电极28设置在第一扫描信号线21和第二扫描信号线22之间,位于子像素第二方向Y的中部。存储电容第一极板26靠近第二扫描信号线22,阈值电容第一极板27靠近第一扫描信号线21。第一发光控制线24设置在第二扫描信号线22远离存储电容第一极板26的一侧,第三扫描信号线23和第二发光控制线25设置在第一扫描信号线21远离阈值电容第一极板27一侧,第二发光控制线25设置在第一扫描信号线21和第三扫描信号线23之间。
在示例性实施例中,第一电极28为折线形状,包括沿着第一方向X延伸的第一电极段28-1和沿着第二方向Y延伸的第二电极段28-2,第一电极段28-1与第二电极段28-2相互邻近的一端相互连接,第一电极段28-1配置为与后续形成的第二电源线连接,第二电极段28-2与后续形成的数据信号线重叠,配置为屏蔽数据信号线上数据电压跳变对关键节点的影响,避免数据电压跳变影响像素驱动电路的关键节点的电位,提高显示效果。
在示例性实施例中,存储电容第一极板26的轮廓可以为矩形状,角部可以设置倒角。阈值电容第一极板27的轮廓可以为矩形状,矩形状靠近第一电极28的第二电极段28-2的角部设置凹糟,矩形状靠近第三有源层13的角部设置凹糟,角部可以设置倒角。
在示例性实施例中,存储电容第一极板26和阈值电容第一极板27通过连接线相互连接。在一种可能的示例性实施例中,存储电容第一极板26和阈值电容第一极板27为相互连接的一体结构。
在示例性实施例中,第一扫描信号线21、第二扫描信号线22、第三扫描信号线23、第一发光控制线24和第二发光控制线25可以为等宽度设置,也可以为非等宽度设置,宽度为第二方向Y的尺寸。
在示例性实施例中,第二扫描信号线22上可以设置多个第二栅极块,每个第二栅极块设置在每个子像素内,第二栅极块的一端与第二扫描信号线22连接,另一端沿着第二方向Y延伸,形成双栅的第二晶体管。第三扫描信号线23上可以设置多个第三栅极块,每个第三栅极块设置在每个子像素内,第三栅极块的一端与第三扫描信号线23连接,另一端沿着第二方向Y的反方向延伸,形成双栅的第四晶体管。
在示例性实施例中,第一扫描信号线21与第一有源层11相重叠的区域作为第一晶体管T1的栅电极(双栅结构),第二扫描信号线22与第二有源层12相重叠的区域作为第二晶体管T2的栅电极(双栅结构),存储电容第一极板26在基底上的正投影与第三有源层13在基底上的正投影存在重叠区域,存储电容第一极板26同时作为第三晶体管T3的栅电极,第三扫描信号线23与第四有源层14相重叠的区域作为第四晶体管T4的栅电极(双栅结构),第三扫描信号线23与第五有源层15相重叠的区域作为第五晶体管T5的栅电极(双栅结构),第二扫描信号线22与第六有源层16相重叠的区域作为第六晶体管T6的栅电极,第一发光控制线24与第七有源层17相重叠的区域作为第七晶体管T7的栅电极,第二发光控制线25与第八有源层18相重叠的区域作为第八晶体管T8的栅电极。
在示例性实施例中,第一晶体管T1、第二晶体管T2、第四晶体管T4、第五晶体管T5、第六晶体管T6、第七晶体管T7和第八晶体管T8均为开关型晶体管,第三晶体管T3为驱动型晶体管。
在示例性实施例中,阈值电容第一极板27在基底上的正投影与第三有源层13在基底上的正投影没有重叠区域。
在示例性实施例中,形成第一导电层图案后,可以利用第一导电层作为遮挡,对半导体层进行导体化处理,被第一导电层遮挡区域的半导体层形成第一晶体管T1至第八晶体管T8的沟道区,未被第一导电层遮挡区域的半导体层被导体化,即第一有源层至第八有源层的第一区和第二区均被导体化。
(3)形成第二导电层图案。在示例性实施例中,形成第二导电层图案可以包括:在形成前述图案的基底上,依次沉积第三绝缘薄膜和第二金属薄膜,采用图案化工艺对第二金属薄膜进行图案化,形成覆盖第一导电层的第三绝缘层,以及设置在第三绝缘层上的第二导电层图案,第二导电层图案至少包括:初始信号线31、第一连接线32、存储电容第二极板33和阈值电容第二极板34,如图9所示。
在示例性实施例中,初始信号线31和第一连接线32沿第一方向X延伸,初始信号线31设置在第三扫描信号线23远离第二发光控制线25的一侧,第一连接线32设置在第二扫描信号线22和第一发光控制线24之间,第一连接线32配置为与后续形成的参考信号线连接,使得一子像素行中各个子像素具有相同的参考电压,提高显示均一性。初始信号线31和第一连接线32可以为等宽度设置,也可以为非等宽度设置。
在示例性实施例中,存储电容第二极板33和阈值电容第二极板34设置在第一扫描信号线21和第二扫描信号线22之间,存储电容第二极板33和阈值电容第二极板34间隔设置。
在示例性实施例中,存储电容第二极板33的轮廓可以为矩形状,矩形状的角部可以设置倒角,存储电容第二极板33在基底上的正投影与存储电容第一极板26在基底上的正投影存在重叠区域。存储电容第二极板33上设置有第一开口33-1,第一开口33-1可以为矩形,位于存储电容第二极板33的中部,第一开口33-1使存储电容第二极板33形成环形结构。第一开口33-1暴露出覆盖存储电容第一极板26的第三绝缘层,且存储电容第一极板26在基底上的正投影包含第一开口33-1在基底上的正投影。在示例性实施例中,第一开口33-1配置为容置后续形成的第一过孔,第一过孔位于第一开口33-1内并暴露出存储电容第一极板26,使后续形成的第一连接电极通过第一过孔与存储电容第一极板26连接。
在示例性实施例中,阈值电容第二极板34的形状与阈值电容第一极板27的形状相近,为两个角部设置凹槽的矩形状,阈值电容第二极板34在基底上的正投影与阈值电容第一极板27在基底上的正投影存在重叠区域。阈值电容第二极板34上设置有第二开口34-1,第二开口34-1可以为矩形,位于阈值电容第二极板34的中部,第二开口34-1使阈值电容第二极板34形成环形结构。第二开口34-1暴露出覆盖阈值电容第一极板27的第三绝缘层,且阈值电容第一极板27在基底上的正投影包含第二开口34-1在基底上的正投影。在示例性实施例中,第二开口34-1配置为容置后续形成的第二过孔,第二过孔位于第二开口34-1内并暴露出阈值电容第一极板27,使后续形成的第二连接电极通过第二过孔与阈值电容第一极板27连接。
在示例性实施例中,存储电容第一极板26和存储电容第二极板33构成像素驱动电路的存储电容Cst,存储电容第一极板26作为存储电容Cst的第二端,同时作为第三晶体管T3的栅电极,存储电容第二极板33作为存储电容Cst的第一端,与后续形成的第一电源线VDD连接。
在示例性实施例中,阈值电容第一极板27和阈值电容第二极板34构成像素驱动电路的阈值电容CVth,阈值电容第一极板27作为阈值电容CVth的第一端,与后续形成的第一晶体管T1的第二极连接,阈值电容第二极板34作为阈值电容CVth的第二端,与存储电容Cst的第二端连接。
在示例性实施例中,一子像素行中相邻子像素的存储电容第二极板33通过连接线相互连接。由于存储电容第二极板33与后续形成的第一电源线连接,因而一子像素行中相互连接的存储电容第二极板33同时作为第一电源连接线,使得一子像素行中各个子像素具有相同的电源电压,提高了显示均一性。
在示例性实施例中,一子像素行中相邻子像素的的阈值电容第二极板34间隔设置,使得每个子像素阈值电容CVth仅反映本子像素驱动晶体管的阈值电压。
在示例性实施例中,每个子像素可以设置第一子极板35、第二子极板36、第三子极板37和第四子极板38。
第一子极板35可以为“L”字形,第一子极板35的一端与初始信号线31连接,另一端在基底上的正投影与位于两个第四晶体管T4的栅电极之间的第四有源层14在基底上的正投影存在重叠区域。第一子极板35配置为在第四晶体管T4的双栅中间节点引入寄生电容,稳定像素驱动电路中关键节点电位,进而改善显示基板的闪烁,以调节第四晶体管T4的关态漏电流。
第二子极板36可以为“1”字形,第二子极板36在基底上的正投影与位于两个第五晶体管T5的栅电极之间的第五有源层15在基底上的正投影存在重叠区域。第二子极板36配置为在第五晶体管T5的双栅中间节点引入寄生电容,以调节第五晶体管T5的关态漏电流,稳定像素驱动电路中关键节点电位,进而改善显示基板的闪烁。
第三子极板37可以为“一”字形,第三子极板37在基底上的正投影与位于两个第一晶体管T1的栅电极之间的第一有源层11在基底上的正投影存在重叠区域。第三子极板37配置为在第一晶体管T1的双栅中间节点引入寄生电容,以调节第一晶体管T1的关态漏电流,稳定像素驱动电路中关键节点电位,进而改善显示基板的闪烁。
第四子极板38可以为“一”字形,第四子极板38在基底上的正投影与位于两个第二晶体管T2的栅电极之间的第二有源层12在基底上的正投影存在重叠区域。第四子极板38配置为在第二晶体管T2的双栅中间节点引入寄生电容,以调节第二晶体管T2的关态漏电流,稳定像素驱动电路中关键节点电位,进而改善显示基板的闪烁。
(4)形成第四绝缘层图案。在示例性实施例中,形成第四绝缘层图案可以包括:在形成前述图案的基底上,沉积第四绝缘薄膜,采用图案化工艺对第四绝缘薄膜进行图案化,形成覆盖第二导电层的第四绝缘层,第四绝缘层上设置有多个过孔,多个过孔至少包括:第一过孔V1、第二过孔V2、第三过孔V3、第四过孔V4、第五过孔V5、第六过孔V6、第七过孔V7、第八过孔V8、第九过孔V9、第十过孔V10、第十一过孔V11、第十二过孔V12、第十三过孔V13、第十四过孔V14、第十五过孔V15、第十六过孔V16、第十七过孔V17、第十八过孔V18、第十九过孔V19、第二十过孔V20和第二十一过孔V21,如图10所示。
在示例性实施例中,第一过孔V1位于存储电容第二极板33设置的第一开口33-1所在区域,第一过孔V1在基底上的正投影位于第一开口33-1在基底上的正投影的范围之内,第一过孔V1内的第四绝缘层和第三绝缘层被刻蚀掉,暴露出存储电容第一极板26的表面,第一过孔V1配置为使后续形成的第一连接电极通过该过孔与存储电容第一极板26连接。
在示例性实施例中,第二过孔V2位于阈值电容第二极板34设置的第二开口34-1所在区域,第二过孔V2内的第四绝缘层和第三绝缘层被刻蚀掉,暴露出阈值电容第一极板27的表面,第二过孔V2配置为使后续形成的第二连接电极通过该过孔与阈值电容第一极板27连接。
在示例性实施例中,第三过孔V3位于第三子极板37所在区域,第三过孔V3内的第四绝缘层被刻蚀掉,暴露出第三子极板37的表面,第三过孔V3配置为使后续形成的第一电源线通过该过孔与第三子极板37连接,为第三子极板37提供恒定的电源电压。
在示例性实施例中,第四过孔V4位于第一有源层的第一区所在区域,第四过孔V4内的第四绝缘层、第三绝缘层和第二绝缘层被刻蚀掉,暴露出第一有源层的第一区的表面,第四过孔V4配置为使后续形成的第三连接电极通过该过孔与第一有源层连接。
在示例性实施例中,第五过孔V5位于第一有源层的第二区所在区域,第五过孔V5内的第四绝缘层、第三绝缘层和第二绝缘层被刻蚀掉,暴露出第一有源层的第二区的表面,第五过孔V5配置为使后续形成的第四连接电极通过该过孔与第一有源层连接。
在示例性实施例中,第六过孔V6位于第二子极板36所在区域,第六过孔V6内的第四绝缘层被刻蚀掉,暴露出第二子极板36的表面,第六过孔V6配置为使后续形成的第一电源线通过该过孔与第二子极板36连接,为第二子极板36提供恒定的电源电压。
在示例性实施例中,第七过孔V7位于第五有源层的第一区所在区域,第七过孔V7内的第四绝缘层、第三绝缘层和第二绝缘层被刻蚀掉,暴露出第五有源层的第一区的表面,第七过孔V7配置为使后续形成的参考信号线通过该过孔与第五有源层连接。
在示例性实施例中,第八过孔V8位于第五有源层的第二区所在区域,第八过孔V8内的第四绝缘层、第三绝缘层和第二绝缘层被刻蚀掉,暴露出第五有源层的第二区的表面,第八过孔V8配置为使后续形成的第四连接电极通过该过孔与第五有源层连接。
在示例性实施例中,第九过孔V9位于第四有源层的第一区(也是第六有源层的第一区)所在区域,第九过孔V9内的第四绝缘层、第三绝缘层和第二绝缘层被刻蚀掉,暴露出第四有源层的第一区的表面,第九过孔V9配置为使后续形成的第五连接电极通过该过孔与第四有源层连接。
在示例性实施例中,第十过孔V10位于第四有源层的第二区(也是第八有源层的第一区)所在区域,第十过孔V10内的第四绝缘层、第三绝缘层和第二绝缘层被刻蚀掉,暴露出第四有源层的第二区的表面,第十过孔V10配置为使后续形成的第六连接电极通过该过孔与第四有源层连接。
在示例性实施例中,第十一过孔V11位于第八有源层的第二区所在区域,第十一过孔V11内的第四绝缘层、第三绝缘层和第二绝缘层被刻蚀掉,暴露出第八有源层的第二区的表面,第十一过孔V11配置为使后续形成的第二连接电极通过该过孔与第八有源层连接。
在示例性实施例中,第十二过孔V12位于第三有源层的第一区所在区域,第十二过孔V12内的第四绝缘层、第三绝缘层和第二绝缘层被刻蚀掉,暴露出第三有源层的第一区的表面,第十二过孔V12配置为使后续形成的第一电源线通过该过孔与第三有源层连接。
在示例性实施例中,第十三过孔V13位于第三有源层的第二区所在区域,第十三过孔V13内的第四绝缘层、第三绝缘层和第二绝缘层被刻蚀掉,暴露出第三有源层的第二区的表面,第十三过孔V13配置为使后续形成的第七连接电极通过该过孔与第三有源层连接。
在示例性实施例中,第十四过孔V14位于第二有源层的第一区所在区域,第十四过孔V14内的第四绝缘层、第三绝缘层和第二绝缘层被刻蚀掉,暴露出第二有源层的第一区的表面,第十四过孔V14配置为使后续形成的第一连接电极通过该过孔与第二有源层连接。
在示例性实施例中,第十五过孔V15位于第二有源层的第二区(也是第七有源层的第一区)所在区域,第十五过孔V15内的第四绝缘层、第三绝缘层和第二绝缘层被刻蚀掉,暴露出第二有源层的第二区的表面,第十五过孔V15配置为使后续形成的第七连接电极通过该过孔与第二有源层连接。
在示例性实施例中,第十六过孔V16位于第四子极板38所在区域,第十六过孔V16内的第四绝缘层被刻蚀掉,暴露出第四子极板38的表面,第十六过孔V16配置为使后续形成的第一电源线通过该过孔与第四子极板38连接,为第四子极板38提供恒定的电源电压。
在示例性实施例中,第十七过孔V17位于第一连接线32所在区域,第十七过孔V17内的第四绝缘层被刻蚀掉,暴露出第一连接线32的表面,第十七过孔V17配置为使后续形成的参考信号线通过该过孔与第一连接线32连接。
在示例性实施例中,第十八过孔V18位于初始信号线31所在区域,第十八过孔V18内的第四绝缘层被刻蚀掉,暴露出初始信号线31的表面,第十八过孔V18配置为使后续形成的第五连接电极45通过该过孔与初始信号线31连接。
在示例性实施例中,第十九过孔V19位于存储电容第二极板33所在区域,第十九过孔V19内的第四绝缘层被刻蚀掉,暴露出存储电容第二极板33的表面,第十九过孔V19配置为使后续形成的第一电源线通过该过孔与存储电容第二极板33连接。在在示例性实施例中,第十九过孔V19可以是一个或多个,多个第十九过孔V19沿着第二方向Y依次排布,多个第十九过孔V19可以提高第一电源线与存储电容第二极板33的连接可靠性。
在示例性实施例中,第二十过孔V20位于第一电极28的第二电极段28-2所在区域,第二十过孔V20内的第四绝缘层和第三绝缘层被刻蚀掉,暴露出第一电极28的第二电极段28-2的表面,第二十过孔V20配置为使后续形成的层间连接电极通过该过孔与第一电极28的第二电极段28-2连接。
在示例性实施例中,第二十一过孔V21位于第六有源层的第二区(也是第七有源层的第二区)所在区域,第二十一过孔V21内的第四绝缘层、第三绝缘层和第二绝缘层被刻蚀掉,暴露出第六有源层的第二区的表面,第二十一过孔V21配置为使后续形成的第九连接电极通过该过孔与第二有源层连接。
(5)形成第三导电层图案。在示例性实施例中,形成第三导电层可以包括:在形成前述图案的基底上,沉积第三金属薄膜,采用图案化工艺对第三金属薄膜进行图案化,形成设置在第四绝缘层上的第三导电层,第三导电层至少包括:第一连接电极41、第二连接电极42、第三连接电极43、第四连接电极44、第五连接电极45、第六连接电极46、第七连接电极47、第八连接电极48、层间连接电极49、第一电源线71和参考信号线72,如图11所示。
在示例性实施例中,第一电源线71和参考信号线72沿第二方向Y延伸,第一电源线71和参考信号线72可以为等宽度设置,也可以为非等宽度设置,可以为直线,或者可以为折线。
在示例性实施例中,第一电源线71通过第三过孔V3与第三子极板37连接,通过第六过孔V6与第二子极板36连接,通过第十二过孔V12与第三有源层的第一区连接,通过第十六过孔V16与第四子极板38连接,通过第十九过孔V19与存储电容第二极板33连接。
在示例性实施例中,参考信号线72通过第七过孔V7与第五有源层的第一区连接,通过第十七过孔V17与第一连接线32连接。
在示例性实施例中,第一连接电极41为沿第二方向Y延伸的条形,一端通过第一过孔V1与存储电容第一极板26连接,另一端通过第十四过孔V14与第二有源层的第一区连接,使第二晶体管T2的第一极与存储电容第一极板26连接起来。由于存储电容第一极板26同时作为第三晶体管T3的栅电极,因而第一连接电极41作为第二晶体管T2的第一极,实现了第二晶体管T2的第一极、第三晶体管T3的栅电极和存储电容Cst的第二端具有相同的电位。
在示例性实施例中,第二连接电极42为沿第二方向Y延伸的条形,一端通过第二过孔V2与阈值电容第一极板27连接,另一端通过第十一过孔V11与第八有源层的第二区连接,使第八晶体管T8的第二极与阈值电容第一极板27连接起来。由于阈值电容第一极板27与存储电容第一极板26为相互连接的一体结构,因而第二连接电极42作为第八晶体管T8的第二极,实现了第二晶体管T2的第一极、第三晶体管T3的栅电极、第八晶体管T8的第二极、存储电容Cst的第二端和阈值电容CVth的第二端具有相同的电位(即第一节点N1)。
在示例性实施例中,第三连接电极43设置在第一电源线71和参考信号线72之间,通过第四过孔V4与第一有源层的第一区连接,第三连接电极43作为第一晶体管T1的第一极,第三连接电极43配置为与后续形成的数据信号线连接。
在示例性实施例中,第四连接电极44为沿第二方向Y延伸的条形,一端通过第五过孔V5与第一有源层的第二区连接,另一端通过第八过孔V8与第五有源层的第二区连接,第四连接电极44同时作为第一晶体管T1的第二极和第五晶体管T5的第二极,使第一晶体管T1的第二极和第五晶体管T5的第二极具有相同的电位(即第二节点N2)。
在示例性实施例中,第五连接电极45为沿第二方向Y延伸的条形,一端通过第九过孔V9与第四有源层的第一区(也是第六有源层的第一区)连接,另一端通过第十八过孔V18与初始信号线31连接,第五连接电极45同时作为第四晶体管T4的第一极和第六晶体管T6的第一极,实现第四晶体管T4的第一极和第六晶体管T6同时与初始信号线31连接。
在示例性实施例中,第六连接电极46为矩形状,通过第十过孔V10与第四有源层的第二区(也是第八有源层的第一区)连接,第六连接电极46同时作为第四晶体管T4的第二极和第八晶体管T8的第一极,实现第四晶体管T4的第二极和第八晶体管T8的第一极的连接。
在示例性实施例中,第七连接电极47为沿第二方向Y延伸的条形,一端通过第十三过孔V13与第三有源层的第二区连接,另一端通过第十五过孔V15与第二有源层的第二区(也是第七有源层的第一区)连接,第七连接电极47同时作为第二晶体管T2的第二极、第三晶体管T3的第二极和第七晶体管T7的第一极,使第二晶体管T2的第二极、第三晶体管T3的第二极和第七晶体管T7的第一极具有相同的电位(即第三节点N3)。
在示例性实施例中,第八连接电极48为矩形状,通过第二十一过孔V21与第六有源层的第二区(也是第七有源层的第二区)连接,第八连接电极48同时作为第六晶体管T6的第二极和第七晶体管T7的第二极,实现第六晶体管T6的第二极和第七晶体管T7的第二极的连接。
在示例性实施例中,层间连接电极49设置在参考信号线72和第二连接电极42之间,层间连接电极49通过第二十过孔V20与第一电极28连接,层间连接电极49配置为与后续形成的第二电源线连接。
(6)形成第五绝缘层图案。在示例性实施例中,形成第五绝缘层图案可以包括:在形成前述图案的基底上,涂覆第五绝缘薄膜,采用图案化工艺对第五绝缘薄膜进行图案化,形成覆盖第三导电层的第五绝缘层,第五绝缘层上设置有多个过孔,多个过孔至少包括:第三十一过孔V31、第三十二过孔V32和第三十三过孔V33,如图12所示。
在示例性实施例中,第三十一过孔V31位于第三连接电极43所在区域,第三十一过孔V31内的第五绝缘层被去掉,暴露出第三连接电极43的表面,第三十一过孔V31配置为使后续形成的数据信号线通过该过孔与第三连接电极43连接。
在示例性实施例中,第三十二过孔V32位于第八连接电极48所在区域,第三十二过孔V32内的第五绝缘层被去掉,暴露出第八连接电极48的表面,第三十二过孔V32配置为使后续形成的阳极连接电极通过该过孔与第八连接电极48连接。
在示例性实施例中,第三十三过孔V33位于层间连接电极49所在区域,第三十三过孔V33内的第五绝缘层被去掉,暴露出层间连接电极49的表面,第三十三过孔V33配置为使后续形成的第二电极线通过该过孔与层间连接电极49连接。
(7)形成第四导电层图案。在示例性实施例中,形成第四导电层可以包括:在形成前述图案的基底上,沉积第四金属薄膜,采用图案化工艺对第四金属薄膜进行图案化,形成设置在第五绝缘层上的第四导电层,第四导电层至少包括:阳极连接电极51、第二电源线73和数据信号线74,如图13所示。
在示例性实施例中,阳极连接电极51设置在第三扫描信号线23和初始信号线31之间,阳极连接电极51为矩形状,通过第三十二过孔V32与第八连接电极48连接,阳极连接电极51配置与后续形成的发光器件的阳极连接。由于第八连接电极48同时作为第六晶体管T6的第二极和第七晶体管T7的第二极,因而实现了发光器件的阳极与像素驱动电路的连接,使得像素驱动电路可以驱动发光器件发光。
在示例性实施例中,数据信号线74沿着第二方向Y延伸,设置在第一电源线71与参考信号线72之间,数据信号线74通过第三十一过孔V31与第三连接电极43连接。由于第三连接电极43作为第一晶体管T1的第一极,因而实现了数据信号线74与第一晶体管T1的第一极的连接。数据信号线74在基底上的正投影与第一电极28在基底上的正投影存在重叠区域。
在示例性实施例中,第二电源线73沿着第二方向Y延伸,与第一电源线71的位置相对应,第二电源线73上设置有多个第二电源连接线75,每个第二电源连接线75设置在每个子像素内,第二电源连接线75的一端与第二电源线73连接,另一端沿着第一方向X的反方向延伸,通过第三十三过孔V33与层间连接电极49连接。由于层间连接电极49与第一电极28,因而实现了第二电源线73与第一电极28的连接,第二电源线73可以为第一电极28提供恒定的低电平信号,使第一电极28可以有效屏蔽数据电压跳变对关键节点的影响,避免了数据电压跳变影响像素驱动电路的关键节点的电位,提高了显示效果。
在示例性实施例中,第二电源线73和数据信号线74可以为等宽度设置,或者可以为非等宽度设置,可以为直线,或者可以为折线。
在示例性实施例中,后续制备流程可以包括:形成覆盖第四导电层图案的平坦层,在平坦层上形成发光器件的阳极,形成覆盖阳极的像素定义层,每个子像素的像素定义层设置有像素开口,像素开口暴露出阳极。随后,采用蒸镀工艺形成有机发光层,在有机发光层上形成阴极。随后,形成封装层,封装层可以包括叠设的第一封装层、第二封装层和第三封装层,第一封装层和第三封装层可以采用无机材料,第二封装层可以采用有机材料,第二封装层设置在第一封装层和第三封装层之间,可以保证外界水汽无法进入发光器件。
在示例性实施方式中,基底可以是柔性基底,或者可以是刚性基底。刚性衬底可以为但不限于玻璃、石英中的一种或多种,柔性衬底可以为但不限于聚对苯二甲酸乙二醇酯、对苯二甲酸乙二醇酯、聚醚醚酮、聚苯乙烯、聚碳酸酯、聚芳基酸酯、聚芳酯、聚酰亚胺、聚氯乙烯、聚乙烯、纺织纤维中的一种或多种。在示例性实施方式中,柔性基底可以包括叠设的第一柔性材料层、第一无机材料层、第二柔性材料层和第二无机材料层,第一柔性材料层和第二柔性材料层的材料可以采用聚酰亚胺(PI)、聚对苯二甲酸乙二酯(PET)或经表面处理的聚合物软膜等材料,第一无机材料层和第二无机材料层的材料可以采用氮化硅(SiNx)或氧化硅(SiOx)等,用于提高基底的抗水氧能力。在示例性实施方式中,第一柔性材料层的厚度可以约为5μm至15μm,例如为10μm;第二柔性材料层的厚度可以约为5μm至15μm,例如为10μm;第一无机材料层的厚度可以约为0.3μm至0.9μm,例如为0.6μm;第二无机材料层的厚度可以约为0.3μm至0.9μm,例如为0.6μm。
在示例性实施例中,第一导电层、第二导电层、第三导电层和第四导电层可以采用金属材料,如银(Ag)、铜(Cu)、铝(Al)和钼(Mo)中的任意一种或多种,或上述金属的合金材料,如铝钕合金(AlNd)或钼铌合金(MoNb),可以是单层结构,或者多层复合结构,如Mo/Cu/Mo等。第一导电层称为第一栅金属(Gate1)层,第二导电层称为第二栅金属(Gate2)层,第三导电层称为第一源漏金属(SD1)层,第四导电层称为第二源漏金属(SD2)层。第一绝缘层、第二绝缘层、第三绝缘层、第四绝缘层和第五绝缘层可以采用硅氧化物(SiOx)、硅氮化物(SiNx)和氮氧化硅(SiON)中的任意一种或多种,可以是单层、多层或复合层。第一绝缘层称为缓冲(Buffer)层,用于提高基底的抗水氧能力,第二绝缘层和第三绝缘层称为栅绝缘(GI)层,第四绝缘层称为层间绝缘(ILD)层,第五绝缘层称为钝化(PVX)层。半导体层可以采用非晶态氧化铟镓锌材料(a-IGZO)、氮氧化锌(ZnON)、氧化铟锌锡(IZTO)、非晶硅(a-Si)、多晶硅(p-Si)、六噻吩或聚噻吩等材料,即本公开适用于基于氧化物(Oxide)技术、硅技术或有机物技术制造的晶体管。
在示例性实施例中,第一绝缘层的厚度为3000埃到5000埃,第二绝缘层的厚度为1000埃到2000埃,第三绝缘层的厚度为4500埃到7000埃,第四绝缘层的厚度为3000埃到5000埃,第五绝缘层的厚度为3000埃到5000埃。
高分辨率(PPI)显示具有更精细的画质和显示品质,已经成为设计趋势。由于高分辨率显示的像素面积较小,因而在有限空间范围内进行像素驱动电路的排布需要考虑各种干扰因素,特别是数据信号线对像素驱动电路中关键节点的影响。如图4所示的像素驱动电路中,数据信号线提供的数据电压Vdt通过第一晶体管T1写入第二节点N2,并通过阈值电容CVth耦合至第一节点N1,进而控制第三晶体管T3(驱动晶体管)的栅电极的电位,实现不同数据电压Vdt下的显示。如图6并结合图7至图13所示,一子像素行中三个子像素的数据信号线会与本子像素或者相子邻像素的第一节点N1(存储电容第一极板和阈值电容第一极板)形成寄生电容。由于数据电压Vdt是分时逐行写入,每一子像素列的数据信号逐行刷新,对于第n子像素列的像素驱动电路来说,第n-1子像素列或第n+1子像素列中数据电压Vdt的跳变会通过寄生效应影响到第n子像素列中像素驱动电路的第一节点N1的电位,进而影响流过第三晶体管T3的驱动电流。为了减少数据电压跳变对第一节点N1电位的影响,一种显示基板采用增加数据信号线与第一节点N1之间距离的解决方案,但该方案既不利于版图的排布,也不利于分辨率的提高。
本公开示例性实施例通过设置第一电极,第一电极设置在第一导电层中,第一电极在基底上的正投影与数据信号线在基底上的正投影存在重叠区域,且第一电极与第二电源线连接,降低了数据信号线与本子像素或者相子邻像素的第一节点N1所形成的寄生电容,有效屏蔽了数据电压Vdt的跳变对第一节点N1的影响,避免了数据电压Vdt跳变影响像素驱动电路的第一节点N1的电位,进而避免了影响流过第三晶体管T3的驱动电流,提高了显示效果。
在示例性实施例中,存储电容第一极板和阈值电容第一极板(第一节点N1)以及第一电极均设置在第一导电层,数据信号线设置在第四导电层。由于第一导电层与第四导电层之间设置有第二导电层,第二导电层中的存储电容第二极板和阈值电容第二极板可以屏蔽存储电容第一极板和阈值电容第一极板朝向第四导电层一侧的表面与数据信号线之间的电场。由于第一导电层设置有第一电极,第一电极在基底上的正投影与数据信号线在基底上的正投影存在重叠区域,因此第一电极可以屏蔽存储电容第一极板和阈值电容第一极板背离第四导电层一侧的表面与数据信号线之间的电场。
通过以上描述的显示基板的结构以及制备过程可以看出,本公开示例性实施例所提供的显示基板,通过在第一导电层上设置第一电极,第一电极降低了数据信号线与本子像素或者相子邻像素的第一节点N1所形成的寄生电容,有效屏蔽了数据电压Vdt的跳变对第一节点N1的影响,提高了显示效果。虽然第一电极与数据信号线之间会存在寄生电容,但由于第一电极与第二电源线连接,因而该寄生电容对像素驱动电路性能基本上无影响。由于本公开示例性实施例设置的第一电极屏蔽了数据电压Vdt的跳变对第一节点N1的影响,因而可以有效减小数据信号线与存储电容和阈值电容之间的距离,不仅有利于版图的排布,而且可以减小像素面积,有利于提高显示基板的分辨率。本公开示例性实施例显示基板的制备工艺可以很好地与现有制备工艺兼容,工艺实现简单,易于实施,生产效率高,生产成本低,良品率高。
本公开所示结构及其制备过程仅仅是一种示例性说明,在示例性实施方式中,第一电极可以设置在第二导电层或第三导电层。例如,第一电极可以设置在第二导电层,与存储电容第二极板和阈值电容第二极板同层设置,且通过同一次图案化工艺同时形成,第一电极的形状可以与前述示例性实施例相同。由于存储电容第一极板和阈值电容第一极板设置在第一导电层,数据信号线设置在第四导电层,因而第一电极设置在阈值电容第一极板与数据信号线之间,第一电极不仅可以屏蔽阈值电容第一极板朝向第四导电层一侧的表面与数据信号线之间的电场,而且可以屏蔽阈值电容第一极板背离第四导电层一侧的表面与数据信号线之间的电场。又如,第一电极可以设置在第三导电层,与第一电源线和参考信号线同层设置,且通过同一次图案化工艺同时形成,第一电极的形状可以与前述示例性实施例的第二电极段相同。由于存储电容第一极板和阈值电容第一极板设置在第一导电层,数据信号线设置在第四导电层,因而第一电极设置在阈值电容第一极板与数据信号线之间,第一电极不仅可以屏蔽阈值电容第一极板朝向第四导电层一侧的表面与数据信号线之间的电场,而且可以屏蔽阈值电容第一极板背离第四导电层一侧的表面与数据信号线之间的电场。对于第一电极设置在第二导电层或第三导电层情形,相应导电层中连接电极的结构可以根据实际需要变更,本公开在此不做限定。
在示例性实施方式中,本公开显示基板可以应用于具有像素驱动电路的显示装置中,如OLED、量子点显示(QLED)、发光二极管显示(Micro LED或Mini LED)或量子点发光二极管显示(QDLED)等,本公开在此不做限定。
本公开示例性实施例提供一种显示基板的制备方法,以制作上述示例性实施例的显示基板。在示例性实施例中,所述显示基板包括基底、第二电源线、数据信号线和多个子像素,至少一个子像素包括像素驱动电路和连接所述像素驱动电路的发光器件,所述像素驱动电路分别与所述数据信号线连接,所述发光器件与所述第二电源线连接;所述制备方法包括:
在所述基底上形成半导体层和设置在所述半导体层远离所述基底一侧的多个导电层,至少一个导电层设置有第一电极,所述第一电极与所述第二电源线连接,所述第一电极在基底上的正投影与所述数据信号线在基底上的正投影存在重叠区域。
在示例性实施例中,在所述基底上形成半导体层和设置在所述半导体层远离所述基底一侧的多个导电层,可以包括:
在所述基底上形成半导体层;
在所述半导体层上依次形成第一导电层、第二导电层、第三导电层和第四导电层,所述第一电极设置在所述第一导电层、第二导电层或第三导电层上,所述第二电源线和数据信号线设置在所述第四导电层上,所述第二电源线通过过孔与所述第一电极连接。
本公开示例性实施例显示基板的制备方法,制备过程已在前述示例性实施例中详细说明,在此不再赘述。
本公开还提供一种显示装置,显示装置包括前述的显示基板。显示装置可以为:手机、平板电脑、电视机、显示器、笔记本电脑、数码相框、导航仪等任何具有显示功能的产品或部件,本发明实施例并不以此为限。
虽然本公开所揭露的实施方式如上,但所述的内容仅为便于理解本公开而采用的实施方式,并非用以限定本发明。任何所属领域内的技术人员,在不脱离本公开所揭露的精神和范围的前提下,可以在实施的形式及细节上进行任何的修改与变化,但本发明的专利保护范围,仍须以所附的权利要求书所界定的范围为准。
Claims (21)
1.一种显示基板,所述显示基板包括基底、第二电源线、数据信号线和多个子像素,至少一个子像素包括像素驱动电路和连接所述像素驱动电路的发光器件,所述像素驱动电路分别与所述数据信号线连接,所述发光器件与所述第二电源线连接;所述基底上设置有半导体层以及设置在所述半导体层远离所述基底一侧的多个导电层,至少一个导电层设置有第一电极,所述第一电极与所述第二电源线连接,所述第一电极在基底上的正投影与所述数据信号线在基底上的正投影存在重叠区域。
2.根据权利要求1所述的显示基板,其中,所述第一电极包括沿第一方向延伸的第一电极段和沿第二方向延伸的第二电极段,所述第二电极段在基底上的正投影与所述数据信号线在基底上的正投影存在重叠区域,所述第一电极段的一端与所述第二电极段连接,另一端与所述第二电源线连接;所述第二方向为所述数据信号线的延伸方向,所述第一方向与第二方向交叉。
3.根据权利要求1所述的显示基板,其中,所述多个导电层包括依次设置在所述半导体层远离所述基底一侧的第一导电层、第二导电层、第三导电层和第四导电层,所述数据信号线设置在所述第四导电层上,所述第一电极设置在所述第一导电层、第二导电层或第三导电层上。
4.根据权利要求3所述的显示基板,其中,所述第二电源线设置在所述第四导电层上,所述第二电源线通过过孔与所述第一电极连接。
5.根据权利要求3所述的显示基板,其中,所述第四导电层还包括第二电源连接线,所述第二电源连接线的一端与所述第二电源线连接,另一端通过过孔与所述第一电极连接。
6.根据权利要求3所述的显示基板,其中,所述第一电极设置在所述第一导电层或第二导电层上,所述第三导电层上还设置有层间连接电极,所述层间连接电极通过过孔与所述第一电极连接,所述第二电源线通过过孔与所述层间连接电极连接。
7.根据权利要求1至6任一项所述的显示基板,其中,所述像素驱动电路至少包括第一晶体管、第二晶体管、第三晶体管、第四晶体管和第五晶体管;所述第一晶体管的第一极与所述数据信号线连接,所述第一晶体管的第二极与第二节点连接;所述第二晶体管的第一极与第一节点连接,所述第二晶体管的第二极与第三节点连接;所述第三晶体管的栅电极与第一节点连接,所述第三晶体管的第一极与第一电源线连接,所述第三晶体管的第二极与第三节点连接;所述第四晶体管的第一极与初始信号线连接;所述第五晶体管的第一极与参考信号线连接,所述第五晶体管的第二极与第二节点连接。
8.根据权利要求7所述的显示基板,其中,所述像素驱动电路还包括存储电容和阈值电容,所述存储电容包括存储电容第一极板和存储电容第二极板,所述阈值电容包括阈值电容第一极板和阈值电容第二极板;所述存储电容第二极板与所述第一电源线连接,所述存储电容第一极板与所述第一节点连接;所述阈值电容第二极板与所述第二节点连接,所述阈值电容第一极板与所述第一节点连接。
9.根据权利要求8所述的显示基板,其中,所述存储电容第一极板和阈值电容第一极板设置在所述第一导电层上,所述存储电容第一极板和阈值电容第一极板为相互连接的一体结构,所述阈值电容第一极板与所述半导体层不交叠。
10.根据权利要求8所述的显示基板,其中,所述存储电容第二极板和阈值电容第二极板设置在所述第二导电层上,所述存储电容第二极板和阈值电容第二极板相互间隔设置,本子像素的存储电容第二极板与相邻子像素的存储电容第二极板为相互连接的一体结构,所述存储电容第二极板在所述基底上的正投影与所述存储电容第一极板在所述基底上的正投影存在重叠区域,所述阈值电容第二极板在所述基底上的正投影与所述阈值电容第一极板在所述基底上的正投影存在重叠区域。
11.根据权利要求7所述的显示基板,其中,所述第四晶体管为双栅晶体管,至少包括设置在所述半导体层上的第四有源层和两个第四栅电极;所述显示基板还包括第一子极板,所述第一子极板在基底上的正投影与位于两个第四栅电极之间的第四有源层在基底上的正投影存在重叠区域。
12.根据权利要求11所述的显示基板,其中,所述两个第四栅电极设置在所述第一导电层,所述第一子极板设置在所述第二导电层,所述第一子极板与所述初始信号线连接。
13.根据权利要求7所述的显示基板,其中,所述第五晶体管为双栅晶体管,至少包括设置在所述半导体层上的第五有源层和两个第五栅电极;所述显示基板还包括第二子极板,所述第二子极板在基底上的正投影与位于两个第五栅电极之间的第五有源层在基底上的正投影存在重叠区域。
14.根据权利要求13所述的显示基板,其中,所述两个第五栅电极设置在所述第一导电层,所述第二子极板设置在所述第二导电层,所述第二子极板通过过孔与所述第一电源线连接。
15.根据权利要求7所述的显示基板,其中,所述第一晶体管为双栅晶体管,至少包括设置在所述半导体层上的第一有源层和两个第一栅电极;所述显示基板还包括第三子极板,所述第三子极板在基底上的正投影与位于两个第一栅电极之间的第一有源层在基底上的正投影存在重叠区域。
16.根据权利要求15所述的显示基板,其中,所述两个第一栅电极设置在所述第一导电层,所述第三子极板设置在所述第二导电层,所述第三子极板通过过孔与所述第一电源线连接。
17.根据权利要求7所述的显示基板,其中,所述第二晶体管为双栅晶体管,至少包括设置在所述半导体层上的第二有源层和两个第二栅电极;所述显示基板还包括第四子极板,所述第四子极板在基底上的正投影与位于两个第二栅电极之间的第二有源层在基底上的正投影存在重叠区域。
18.根据权利要求17所述的显示基板,其中,所述两个第二栅电极设置在所述第一导电层,所述第三子极板设置在所述第二导电层,所述第四子极板通过过孔与所述第一电源线连接。
19.一种显示装置,其中,包括如权利要求1~18任一项所述的显示基板。
20.一种显示基板的制备方法,所述显示基板包括基底、第二电源线、数据信号线和多个子像素,至少一个子像素包括像素驱动电路和连接所述像素驱动电路的发光器件,所述像素驱动电路分别与所述数据信号线连接,所述发光器件与所述第二电源线连接;所述制备方法包括:
在所述基底上形成半导体层和设置在所述半导体层远离所述基底一侧的多个导电层,至少一个导电层设置有第一电极,所述第一电极与所述第二电源线连接,所述第一电极在基底上的正投影与所述数据信号线在基底上的正投影存在重叠区域。
21.根据权利要求20所述的显示基板的制备方法,其中,在所述基底上形成半导体层和设置在所述半导体层远离所述基底一侧的多个导电层,包括:
在所述基底上形成半导体层;
在所述半导体层上依次形成第一导电层、第二导电层、第三导电层和第四导电层,所述第一电极设置在所述第一导电层、第二导电层或第三导电层上,所述第二电源线和数据信号线设置在所述第四导电层上,所述第二电源线通过过孔与所述第一电极连接。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2020110419159 | 2020-09-28 | ||
CN202011041915.9A CN112053661B (zh) | 2020-09-28 | 2020-09-28 | 像素电路、像素驱动方法、显示面板和显示装置 |
PCT/CN2021/097380 WO2022062465A1 (zh) | 2020-09-28 | 2021-05-31 | 显示基板及其制备方法、显示装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN114730544A CN114730544A (zh) | 2022-07-08 |
CN114730544B true CN114730544B (zh) | 2023-12-26 |
Family
ID=73606011
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202011041915.9A Active CN112053661B (zh) | 2020-09-28 | 2020-09-28 | 像素电路、像素驱动方法、显示面板和显示装置 |
CN202180001397.4A Active CN114730544B (zh) | 2020-09-28 | 2021-05-31 | 显示基板及其制备方法、显示装置 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202011041915.9A Active CN112053661B (zh) | 2020-09-28 | 2020-09-28 | 像素电路、像素驱动方法、显示面板和显示装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US20220376024A1 (zh) |
EP (1) | EP4152307A4 (zh) |
CN (2) | CN112053661B (zh) |
WO (2) | WO2022062465A1 (zh) |
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CN110707139A (zh) * | 2019-11-07 | 2020-01-17 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种显示基板及其制作方法、显示装置 |
CN210516730U (zh) * | 2019-11-07 | 2020-05-12 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种显示基板和显示装置 |
CN111341814A (zh) * | 2020-03-11 | 2020-06-26 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 显示面板及显示面板的制作方法 |
CN111128080A (zh) * | 2020-03-30 | 2020-05-08 | 京东方科技集团股份有限公司 | 显示基板及显示装置 |
CN111696486A (zh) * | 2020-07-14 | 2020-09-22 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种像素驱动电路及其驱动方法、显示基板及显示装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN114730544A (zh) | 2022-07-08 |
US11997899B2 (en) | 2024-05-28 |
WO2022062465A1 (zh) | 2022-03-31 |
EP4152307A4 (en) | 2023-10-25 |
EP4152307A1 (en) | 2023-03-22 |
CN112053661B (zh) | 2023-04-11 |
US20230052846A1 (en) | 2023-02-16 |
CN112053661A (zh) | 2020-12-08 |
US20220376024A1 (en) | 2022-11-24 |
WO2022062747A1 (zh) | 2022-03-31 |
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Date | Code | Title | Description |
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PB01 | Publication | ||
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