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CN101670623A - 线轮主轴 - Google Patents

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bearings
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田惠兰
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Beijing Semiconductor Equipment Institute
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Abstract

本发明涉及一种线轮主轴，它包括轴、轴套、线轮和带轮，所说轴与轴套间沿左、中、右分设有三组轴承，每组轴承均为两个背对背安装的角接触球轴承，其中，第一组轴承设于轴的左端，且设有与轴套左端固定的第一轴承压盖和设于第一组轴承外侧的第一内挡圈及第一锁母；第二组轴承设于轴的中部，其左侧设有第二内挡圈和第二锁母；第三组轴承设于轴的右端，其左侧与第二组轴承间设有隔圈，右侧设有与轴套右端固定的第二轴承压盖；带轮和线轮分别固定在轴的左、右两端。本发明工效高，成本低，切割尺寸范围大，切约原材料。

Description

线轮主轴
技术领域
本发明涉及一种线轮主轴，特别是一种用于半导体专用设备即多线切割机的线轮主轴。
背景技术
在半导体制造行业中，在对单晶、多晶及太阳能材料等进行切割加工时，多采用带有单片环形刀片的设备进行切割。其不足之处是切割效率低、成本高；切割尺寸范围小；材料切割时需粘接，切不到头浪费材料。随着现代加工业的讯猛发展，新材料、新技术在半导体制造行业内不断地涌现，这类设备已不再适应生产的需要。为了实现快速高质量的切割，目前已有多线切割机问世。这种设备的关键部件是它的结构相同的放线轮主轴和收线轮主轴机构，因为该机构需承载较重的载荷。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种承载能力强、工作可靠的线轮主轴。
本发明采用如下技术方案：
本发明包括轴、轴套、线轮和带轮，所说轴与轴套间沿左、中、右分设有三组轴承，每组轴承均为两个背对背安装的角接触球轴承，其中，第一组轴承设于轴的左端，且设有与轴套左端固定的第一轴承压盖和设于第一组轴承外侧的第一内挡圈及第一锁母；第二组轴承设于轴的中部，其左侧设有第二内挡圈和第二锁母；第三组轴承设于轴的右端，其左侧与第二组轴承间设有隔圈，右侧设有与轴套右端固定的第二轴承压盖；带轮和线轮分别固定在轴的左、右两端。
所说第一锁母和第二锁母上均镶嵌有供锁止的弹性开口摩擦环。
所说线轮与轴右端固定是其间设有连接接头，接头与线轮及轴间分别设螺钉连接固定，且接头与轴间设有一个或一对定位销。
所说带轮与轴左端固定是其间设有连接键或张紧套连接固定，带轮为同步齿形带带轮。
本发明的有益效果：
本发明提供了一种用于半导体行业专用的多线切割机上的线轮主轴。本主轴既可用于多线切割机的放线系统，也可用于多线切割机的收线系统，在本线轴主轴结构中，设于轴左端的第一组轴承主要承载传动力矩；设于轴中部的第二组轴承主要起支撑作用；设于轴右端的第三组轴承既传动力矩又起支撑作用。三组轴承组合既能传递力矩又能承载重载荷。本线轮主轴结构设计合理，工作可靠。当借助于本线轮主轴将切割线排列在多线切割机的主辊上进行多线切割时，工效高，成本低，切割尺寸范围大，切约原材料。
附图说明
附图1为本发明一种实施例的主视剖视结构示意图；
附图2为图1的局部放大图；
附图3为图1所示线轮主视剖视结构示意图；
附图4为图1所示接头主视剖视结构示意图；
附图5为图1所示轴的主视局剖结构示意图；
附图6为图1所示第一锁母主视剖视结构示意图；
附图7为图6的左视图；
附图8为图1所示轴套主视剖视结构示意图。
在附图中：1带轮、2第一轴承压盖、3第一内挡圈、4第一组轴承、5轴、6轴套、7第二组轴承、8隔圈、9第三组轴承、10第二轴承压盖、11定位销、12线轮、13接头、14第二内挡圈、15第二锁母、16机架、17第一锁母、18弹性开口摩擦环。
具体实施方式
下面将结合实施例附图对本发明作进一步详述：
参见附图，本实施例包括轴5、轴套6、线轮12和带轮1，所说轴5与轴套6间沿左、中、右分设有三组轴承，每组轴承均为两个背对背安装的角接触球轴承，其中，第一组轴承4设于轴5的左端，且设有与轴套6左端固定的第一轴承压盖2和设于第一组轴承4外侧的第一内挡圈3及第一锁母17；第二组轴承7设于轴5的中部，其左侧设有第二内挡圈14和第二锁母15；第三组轴承9设于轴5的右端，其左侧与第二组轴承7间设有隔圈8，右侧设有与轴套6右端固定的第二轴承压盖10；带轮1和线轮12分别固定在轴5的左、右两端。
在本实施例中，为了便于制作，将线轮12与接头13分体制作，然后用6个M8×25的螺钉把二者连接固定为一体。当与轴5的右端固定连接时，接头13的中心轴与轴5右端面上的中心孔对接配合定心，再用一对定位锁11定位，定位销11选用φ12的圆柱销。之后用4个M12×50的螺钉将轴5与接头13连接固定。
轴5左端所固定的带轮1为用于动力输入的同步齿形带带轮，以便带动线轴主轴旋转，用来放线或收线。带轮1与轴5间可采用键连接，也可采用张紧套连接。
第一轴承压盖2和第二轴承压盖10分别压在第一组轴承4和第三组轴承9的外圈上，并分别与轴套6左、右两端固定，当安装使用本线轮主轴时，轴套6与机架16固定。
第一内挡圈3、第一锁母17和第二内挡圈14、第二锁母15用来分别压紧第一组轴承4和第二组轴承7的内圈，防止其产生轴向位移。
第一锁母17和第二锁母15的结构完全相同，只是其规格不同。图6、图7所示只是以第一锁母17为例说明其结构，图中所示锁母17的内圆一端镶嵌有一弹性开口摩擦环18.使用时，弹性开口摩擦环18卡在螺纹的牙隙间，具有锁紧止退功能。当本线轮主轴正转或反转工作时，锁紧的锁母均不会产生松动。
在本实施例中，第一组轴承4选用型号为7207GYNDB/P4的角接触球轴承；第二组轴承7选用型号为7010CTYNDB/P4的角接触球轴承；第三组轴承9选用型号为7210CTYNDB/P4的角接触球轴承。

Claims (4)

1、一种线轮主轴，其特征是它包括轴(5)、轴套(6)、线轮(12)和带轮(1)，所说轴(5)与轴套(6)间沿左、中、右分设有三组轴承，每组轴承均为两个背对背安装的角接触球轴承，其中，第一组轴承(4)设于轴(5)的左端，且设有与轴套(6)左端固定的第一轴承压盖(2)和设于第一组轴承(4)外侧的第一内挡圈(3)及第一锁母(17)；第二组轴承(7)设于轴(5)的中部，其左侧设有第二内挡圈(14)和第二锁母(15)；第三组轴承(9)设于轴(5)的右端，其左侧与第二组轴承(7)间设有隔圈(8)，右侧设有与轴套(6)右端固定的第二轴承压盖(10)；带轮(1)和线轮(12)分别固定在轴(5)的左、右两端。
2、根据权利要求1所述的线轮主轴，其特征是所说第一锁母(17)和第二锁母(15)上均镶嵌有供锁止的弹性开口摩擦环。
3、根据权利要求1所述的线轮主轴，其特征是所说线轮(12)与轴(5)右端固定是其间设有连接接头(13)，接头(13)与线轮(12)及轴(5)间分别设螺钉连接固定，且接头(13)与轴(5)间设有一个或一对定位销(11)。
4、根据权利要求1所述的线轮主轴，其特征是所说带轮(1)与轴(5)左端固定是其间设有连接键或张紧套连接固定，带轮(1)为同步齿形带带轮。
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