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CN106476435A - 油墨、油墨容器、功能元件的制造方法 - Google Patents

油墨、油墨容器、功能元件的制造方法 Download PDF

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Abstract

本发明提供能够实现优异的喷出稳定性和着滴性的油墨、油墨容器、使用该油墨的功能元件的制造方法。本实施方式的油墨含有功能层形成材料，从喷墨头(20)的喷嘴(21)喷出的液滴D的喷出量为9.5ng～11ng，液滴D从喷嘴(21)以6m/秒～9m/秒的喷出速度喷出时的液滴D的长度L为250μm以下。

Description

油墨、油墨容器、功能元件的制造方法
技术领域
本发明涉及含有功能层形成材料的油墨、油墨容器、使用该油墨的功能元件的制造方法。
背景技术
已知液滴喷出法(或者也称为喷墨法)：使用能够以液滴的形式喷出液状体(油墨)的喷墨头，形成例如配置于有机电致发光(EL)装置的像素的包含发光层的功能层、在液晶显示装置中使用的滤色器的着色层。
这样的液滴喷出法中，要求在由隔壁划分的形成涂布膜的区域可靠地收容从喷墨头喷出的液滴，形成具有所希望的膜厚的涂布膜。
例如，专利文献1中公开了一种在有机EL元件的制造中利用喷墨法涂布的油墨组合物，上述油墨组合物含有空穴注入材料或发光材料、粘度为1～20mPa·s(秒)，表面张力为20～70mN/m，喷墨头与构成喷嘴面的材料的接触角为30～17°(度)。如果使用这样的油墨组合物，则在抑制喷嘴孔的堵塞、油墨液滴的飞行弯曲的同时顺利地进行喷出，能够控制喷出量和喷出时间，能够实现油墨液滴的稳定喷出。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2007-103381号公报
发明内容
然而，即使像上述专利文献1那样特别规定油墨组合物的粘度、表面张力、接触角等物性，有时也无法将从喷墨头的喷嘴喷出的液滴可靠地收容于形成涂布膜的区域。例如，存在以下课题：抑制喷出量而喷出液滴时液滴的飞行变得不稳定，或者增加喷出量而喷出液滴时以拖尾的状态喷出液滴，无法使喷出的液滴可靠地着滴于所希望的区域。
本发明是为了解决上述课题的至少一部分而进行的，能够以以下方式或适用例实现。
[适用例]
本适用例涉及的油墨的特征在于，是从喷墨头的喷嘴以液滴的形式喷出的含有功能层形成材料的油墨，上述液滴的喷出量为9.5ng～11ng，上述液滴从上述喷嘴以喷出速度6m/秒～9m/秒喷出时的上述液滴长度为250μm以下。
根据本适用例涉及的油墨，能够提供一种通过规定液滴的喷出量、喷出速度、液滴长度的各自范围，能够使液滴从喷墨头的喷嘴稳定地着滴于所希望的区域的油墨。
根据上述适用例中记载的油墨，优选上述喷墨头具有设置于每个上述喷嘴的作为驱动元件的压电元件，上述液滴的喷出量为10ng时的上述压电元件的驱动电压为15V～32V。
根据该构成，通过驱动电压为15V～32V，能够以稳定的喷出量从喷嘴喷出液滴。具体而言，以小于15V这样低的驱动电压驱动压电元件时，难以以稳定的喷出量从喷嘴喷出液滴，也可能无法从喷嘴喷出液滴。另一方面，以超过32V的高驱动电压驱动压电元件时，有时由于从压电元件散发的热而使油墨的物性变化、喷出量波动。即，驱动电压优选15V～32V。
根据上述适用例中记载的油墨，其特征在于，作为上述功能层形成材料，含有空穴注入层形成材料、空穴传输层形成材料、发光层形成材料中的任一种。
根据该构成，提供一种能够使规定量的油墨从喷墨头的喷嘴以液滴的形式稳定地着滴于所希望的区域的油墨，因此可提供能够在所希望的区域形成具有所希望的膜厚的空穴注入层、空穴传输层、发光层的油墨。
根据上述适用例中记载的油墨，其特征在于，作为上述功能层形成材料，含有滤色器的着色层形成材料。
根据该构成，可提供一种能够使规定量的油墨从喷墨头的喷嘴以液滴的形式稳定地着滴于所希望的区域的油墨，所以，可提供能够在所希望的区域形成具有所希望的膜厚的着色层的油墨。
根据上述适用例中记载的油墨，其特征在于，作为上述功能层形成材料，含有有机半导体层形成材料。
根据该构成，可提供一种能够将规定量的油墨从喷墨头的喷嘴以液滴的形式稳定地着滴于所希望的区域的油墨，所以，可提供能够在所希望的区域形成具有所希望的膜厚的有机半导体层的油墨。
[适用例]
本适用例涉及的油墨容器的特征在于，填充有上述适用例中记载的油墨。
根据本适用例的油墨容器，能够将液滴从喷墨头的喷嘴稳定地着滴于所希望的区域的油墨供给喷墨头。
[适用例]
本适用例涉及的功能元件的制造方法的特征在于，具备以下工序：形成划分膜形成区域的隔壁的工序；使用上述适用例中记载的油墨，从喷墨头的喷嘴将规定量的上述油墨以液滴的形式喷出到上述膜形成区域而形成涂布膜的工序；以及将上述涂布膜干燥、固化，在上述膜形成区域形成功能层的工序。
根据本适用例，使用能够将规定量的油墨从喷墨头的喷嘴以液滴的形式稳定地着滴于所希望的区域的油墨，因此，能够形成在膜形成区域具有所希望的膜厚的功能层。即，可提供能够合格率良好地制造具有稳定的特性的功能元件的功能元件的制造方法。
附图说明
图1是表示有机EL装置的构成的俯视示意图。
图2是表示有机EL元件的构成的截面示意图。
图3是表示有机EL元件的制造方法的截面示意图。
图4是表示有机EL元件的制造方法的截面示意图。
图5是表示有机EL元件的制造方法的截面示意图。
图6是表示功能层中的像素中央部的膜厚的截面示意图。
图7是表示相对于开口部的液滴的喷出状态的示意图。
图8是表示外加于喷墨头的压电元件的驱动波形的一个例子的图。
图9是表示实施例1的油墨的驱动电压与喷出重量(Iw)的关系的图。
图10是表示实施例1的油墨的驱动电压与喷出速度(Vm)的关系的图。
图11是表示实施例1的油墨的驱动电压与液滴长度的关系的图。
图12是表示实施例1的油墨的喷出重量(Iw)与喷出速度(Vm)的关系的图。
图13是表示实施例1的油墨的喷出重量(Iw)与液滴长度的关系的图。
图14是表示实施例2的油墨的驱动电压与喷出重量(Iw)的关系的图。
图15是表示实施例2的油墨的驱动电压与喷出速度(Vm)的关系的图。
图16是表示实施例2的油墨的驱动电压与液滴长度的关系的图。
图17是表示实施例2的油墨的喷出重量(Iw)与喷出速度(Vm)的关系的图。
图18是表示实施例2的油墨的喷出重量(Iw)与液滴长度的关系的图。
图19是表示实施例3的油墨的驱动电压与喷出重量(Iw)的关系的图。
图20是表示实施例3的油墨的驱动电压与喷出速度(Vm)的关系的图。
图21是表示实施例3的油墨的驱动电压与液滴长度的关系的图。
图22是表示实施例3的油墨的喷出重量(Iw)与喷出速度(Vm)的关系的图。
图23是表示实施例3的油墨的喷出重量(Iw)与液滴长度的关系的图。
图24是表示比较例1的油墨的驱动电压与喷出重量(Iw)的关系的图。
图25是表示比较例1的油墨的驱动电压与喷出速度(Vm)的关系的图。
图26是表示比较例1的油墨的驱动电压与液滴长度的关系的图。
图27是表示比较例1的油墨的喷出重量(Iw)与喷出速度(Vm)的关系的图。
图28是表示比较例1的油墨的喷出重量(Iw)与液滴长度的关系的图。
图29是表示比较例2的油墨的驱动电压与喷出重量(Iw)的关系的图。
图30是表示比较例2的油墨的驱动电压与喷出速度(Vm)的关系的图。
图31是表示比较例2的油墨的驱动电压与液滴长度的关系的图。
图32是表示比较例2的油墨的喷出重量(Iw)与喷出速度(Vm)的关系的图。
图33是表示比较例2的油墨的喷出重量(Iw)与液滴长度的关系的图。
图34是将涉及实施例和比较例的油墨的喷出特性和液滴长度的评价汇总得到的表。
图35是表示油墨容器的一个例子的立体示意图。
具体实施方式
以下，根据附图针对将本发明具体化的实施方式进行说明。应予说明，使用的附图以说明部分成为可识别的状态的方式适当放大或缩小地表示。
首先，对于本实施方式的功能元件的制造方法，例举具备有机EL元件作为功能元件的有机EL装置，参照图1～图2，进行说明。
图1是表示有机EL装置的构成的俯视示意图，图2是表示有机EL元件的构成的截面示意图。
＜有机EL装置＞
如图1所示，本实施方式的有机EL装置100具有元件基板101，所述元件基板101配置有可得到红色(R)、绿色(G)、蓝色(B)(发光颜色)发光的子像素110R、110G、110B。各子像素110R、110G、110B为大致矩形，在元件基板101的显示区域E中矩阵状地配置。以下，有时也将子像素110R、110G、110B总称为子像素110。相同的发光颜色的子像素110在附图上沿垂直方向(列方向或者子像素110的长边方向)排列，不同发光颜色的子像素110在附图上按照R、G、B的顺序沿水平方向(行方向或者子像素110的短边方向)排列。即，将不同发光颜色的子像素110R、110G、110B以所谓条纹方式配置。应予说明，子像素110R、110G、110B的平面形状和配置并不限定于此。另外，大致矩形是指除了正方形、长方形以外，还包括角部变圆的四方形、对置的2边成为圆弧状的四边形。
子像素110R中设置有能够得到红色(R)发光的有机EL元件。同样地，子像素110G中设置有能够得到绿色(G)发光的有机EL元件，子像素110B中设置有能够得到蓝色(B)发光的有机EL元件。
这样的有机EL装置100将能够得到不同发光颜色的3个子像素110R、110G、110B作为1个显示像素单元，对各自的子像素110R、110G、110B进行电控制。由此能够实现全彩显示。
各子像素110R、110G、110B中设置有图2所示的有机EL元件130。有机EL元件130具有：设置于元件基板101上的反射层102、绝缘膜103、像素电极104、对置电极105，和设置于像素电极104与对置电极105之间的包含发光层133的功能层136。
像素电极104作为阳极发挥功能，设置于每个子像素110R、110G、110B，是使用例如ITO(铟锡氧化物，Indium Tin Oxide)等透明导电膜而形成的。
设置于像素电极104的下层的反射层102，使透过具有透光性的像素电极104的来自功能层136的发光再次反射到像素电极104侧。反射层102使用具有光反射性的例如铝(Al)、银(Ag)等金属或其合金等而形成。因此，为了防止反射层102和像素电极104的电短路，可设置覆盖反射层102的绝缘膜103。绝缘膜103使用例如氧化硅、氮化硅或氮氧化硅等而形成。
功能层136从像素电极104侧依次层叠空穴注入层131、空穴传输层132、发光层133、电子输送层134、电子注入层135而成。特别是，发光层133根据发光颜色来选择构成材料，但这里无论发光颜色如何都总称为发光层133。应予说明，功能层136的构成并不限定于此，除了这些层以外，也可以具备控制载流子(空穴、电子)的移动的中间层等。
对置电极105作为阴极发挥功能，被设为子像素110R、110G、110B共用的共用电极，例如使用Al(铝)、Ag(银)和Mg(镁)的合金等形成。
从作为阳极的像素电极104侧向发光层133注入作为载流子的空穴，从作为阴极的对置电极105侧向发光层133注入作为载流子的电子。利用被注入到发光层133中的空穴和电子，形成激子(exciton；空穴和电子通过库仑力而相互束缚的状态)，激子(exciton)消失时(空穴和电子再次结合时)，能量的一部分变为荧光、磷光而被释放出去。
有机EL装置100中，如果以具有透光性的方式构成对置电极105，则由于具有反射层102，能够将来自发光层133的发光从对置电极105侧发出。这样的发光方式被称为顶部发光方式。另外，如果没有反射层102，以具有光反射性的方式构成对置电极105，也可以成为将来自发光层133的发光从元件基板101侧发出的底部发光方式。在本实施方式中，以有机EL装置100为顶部发光方式的方式进行以下说明。应予说明，本实施方式的有机EL装置100是在元件基板101上具备能够各自独立地驱动每个子像素110R、110G、110B的有机EL元件130的像素电路的有源驱动型的发光装置。像素电路可以采用公知的构成，因此图2中省略像素电路的图示。
本实施方式中，有机EL装置100具有隔壁106，隔壁106与每个子像素110R、110G、110B的有机EL元件130中的像素电极104的外缘重叠，并且在像素电极104上构成开口部106a。
本实施方式中，对于有机EL元件130的功能层136，构成功能层136的空穴注入层131、空穴传输层132和发光层133中的至少1层通过液相工艺形成。液相工艺是指，通过将包含构成各个层的成分和溶剂的溶液涂布于由隔壁106围起的作为膜形成区域的开口部106a并使其干燥而形成各个层的方法。为了按所希望的膜厚形成各个层，需要将规定量的溶液高精度地涂布于开口部106a，在本实施方式中，作为液相工艺，采用喷墨法(液滴喷出法)。以下，将包含功能层形成材料和溶剂的溶液称为油墨。
特别是，在顶部发光方式的有机EL装置100中，各子像素110R、110G、110B各自的发光不均明显，因此，优选构成功能层136的各层的截面形状平坦(flat)。本实施方式的油墨以各层的截面形状为平坦(flat)的方式将规定量的油墨均匀地涂布于开口部106a并干燥。考虑油墨以液滴的形式从喷墨头的喷嘴喷出时的喷出稳定性，以液滴的喷出量、喷出速度和液滴长度等参数落入规定的范围内的方式对油墨进行调整。关于油墨的详细内容，如后所述。
＜有机EL元件的制造方法＞
接下来，参照图3～图5对本实施方式的作为功能元件的有机EL元件的制造方法进行具体说明。图3～图5是表示有机EL元件的制造方法的截面示意图。应予说明，如上所述，对有机EL元件130进行驱动控制的像素电路、反射层102、像素电极104的形成方法可以采用公知的方法，因此，这里对于隔壁形成工序以后，进行说明。
本实施方式的有机EL元件130的制造方法具有：隔壁形成工序(步骤S1)、表面处理工序(步骤S2)、功能层形成工序(步骤S3)和对置电极形成工序(步骤S4)。
步骤S1的隔壁形成工序中，如图3所示，通过在形成有反射层102和像素电极104的元件基板101上，以1μm～2μm的厚度涂布含有例如对油墨显示疏液性的疏液材料的感光性树脂材料并进行干燥，从而形成感光性树脂层。作为涂布方法，可举出转印法、狭缝涂布法等。作为疏液材料，可举出氟化合物、硅氧烷系化合物。作为感光性树脂材料，可以举出负型多官能丙烯酸树脂。使用与子像素110的形状对应的曝光用掩模对完成的感光性树脂层进行曝光、显影，形成隔壁106，该隔壁106与像素电极104的外缘重叠，并且在像素电极104上构成开口部106a。然后，进入到步骤S2。
步骤S2的表面处理工序中，对形成有隔壁106的元件基板101实施表面处理。表面处理工序是以在下一工序中通过喷墨法(液滴喷出法)形成构成功能层136的空穴注入层131、空穴传输层132、发光层133时，含有功能层形成材料(固体成分)的油墨均匀地润湿扩散于由隔壁106围起的开口部106a的方式，出于除去像素电极104的表面的隔壁残渣等无用物的目的而进行的。作为表面处理方法，在本实施方式中实施准分子UV(紫外线)处理。应予说明，表面处理方法不限定于准分子UV处理，只要将像素电极104的表面清洁化即可，例如，可以进行利用溶剂的清洗·干燥工序。另外，只要像素电极104的表面为清洁的状态，就可以不实施表面处理工序。应予说明，在本实施方式中，使用含有疏液材料的感光性树脂材料而形成隔壁106，但不限定于此，也可以在使用不含疏液材料的感光性树脂材料形成隔壁106后，在步骤S2中实施使用了氟系处理气体的例如等离子体处理对隔壁106的表面赋予疏液性，其后，实施将氧作为处理气体的等离子体处理，进行将像素电极104的表面亲液化的表面处理。然后，进入到步骤S3。
在步骤S3的功能层形成工序中，首先，如图4所示，将含有空穴注入层形成材料的油墨50涂布于开口部106a。油墨50的涂布方法使用油墨50以液滴D的形式从喷墨头20的喷嘴21喷出的喷墨法(液滴喷出法)。从喷墨头20喷出的液滴D的喷出量可以以pl(皮升)单位进行控制，将规定量除以液滴D的喷出量而得的数量的液滴D喷出到开口部106a。喷出的油墨50因与隔壁106的表面张力而在开口部106a中隆起，但不溢出。换言之，以成为不从开口部106a溢出的程度的规定量的方式预先对油墨50中的空穴注入层形成材料的浓度进行调整。然后，进入到干燥工序。
在干燥工序中，采用减压干燥(减压干燥工序)，即，将涂布有例如油墨50的元件基板101在减压下放置，使溶剂从油墨50中蒸发并进行干燥。其后，通过实施在大气压下例如在180℃下进行30分钟加热的烧制处理而固化，如图5所示，形成空穴注入层131。空穴注入层131在后述的空穴注入层形成材料的选择、与功能层136中的其它层的关系方面未必被限定于此，但是大约以10nm～30nm的膜厚形成。
接下来，使用含有空穴传输层形成材料的油墨60形成空穴传输层132。空穴传输层132的形成方法也与空穴注入层131同样地使用喷墨法(液滴喷出法)进行。即，将规定量的油墨60从喷墨头20的喷嘴21以液滴D的形式喷出到开口部106a。然后，对涂布于开口部106a的油墨60进行减压干燥。其后，在氮等非活性气体环境下，通过实施例如在180℃下进行30分钟加热的烧制处理来形成空穴传输层132。空穴传输层132在后述的空穴传输材料的选择、与功能层136中的其它层的关系方面未必被限定于此，但是大约以10nm～20nm的膜厚形成。另外，在与功能层136中的其它层的关系方面，可以将空穴注入层131和空穴传输层132合并作为空穴注入输送层。
接下来，使用含有发光层形成材料的油墨70来形成发光层133。发光层133的形成方法也与空穴注入层131同样地使用喷墨法(液滴喷出法)进行。即，将规定量的油墨70从喷墨头20的喷嘴21以液滴D的形式喷出到开口部106a。然后，对涂布于开口部106a的油墨70进行减压干燥。其后，在氮等非活性气体环境下，通过实施例如在130℃下进行30分钟加热的烧制处理来形成发光层133。发光层133在后述的发光层形成材料的选择、与功能层136中的其它层的关系方面未必被限定于此，但是大约以60nm～80nm的膜厚形成。
接下来，覆盖发光层133而形成电子输送层134。作为构成电子输送层134的电子输送材料，没有特别限定，为了能够使用真空蒸镀法等气相工艺形成，例如可以举出BALq、1,3,5-三(5-(4-叔丁基苯基)-1,3,4-二唑)(OXD-1)、BCP(浴铜灵，Bathocuproine)、2-(4-联苯基)-5-(4-叔丁基苯基)-1,2,4-二唑(PBD)、3-(4-联苯基)-5-(4-叔丁基苯基)-1,2,4-三唑(TAZ)、4,4’-双(1,1-双二苯乙烯基)联苯(DPVBi)、2,5-双(1-萘基)-1,3,4-二唑(BND)、4,4’-双(1,1-双(4-甲基苯基)乙烯基)联苯(DTVBi)、2,5-双(4-联苯基)-1,3,4-二唑(BBD)等。
另外，可以举出三(8-羟基喹啉)铝(Alq3)、二唑衍生物、唑衍生物、菲罗啉衍生物、蒽醌二甲烷衍生物、苯醌衍生物、萘醌衍生物、蒽醌衍生物、四氰基蒽醌二甲烷衍生物、芴衍生物、二苯基二氰基乙烯衍生物、联苯醌衍生物、羟基喹啉衍生物等。可以使用它们中的1种或组合2种以上使用。
电子输送层134在上述电子输送材料的选择、与功能层136中的其它层的关系方面未必被限定于此，但是大约以20nm～40nm的膜厚形成。由此，可以将从作为阴极的对置电极105注入的电子适当地输送到发光层133。应予说明，在与功能层136中的其它层的关系方面也可以删除电子输送层134。
接下来，覆盖电子输送层134而形成电子注入层135。作为构成电子注入层135的电子注入材料，没有特别限定，为了能够使用真空蒸镀法等气相法形成，例如可以举出碱金属化合物、碱土金属化合物。
作为碱金属化合物，例如可举出LiF、Li2CO3、LiCl、NaF、Na2CO3、NaCl、CsF、Cs2CO3、CsCl等碱金属盐。另外，作为碱土金属化合物，例如可举出CaF2、CaCO3、SrF2、SrCO3、BaF2、BaCO3等碱土金属盐。可以使用这些碱金属化合物、碱土金属化合物中的1种或组合2种以上使用。
电子注入层135的膜厚没有特别限定，优选为0.01nm～10nm左右，更优选为0.1nm～5nm左右。由此，可以从作为阴极的对置电极105向电子输送层134高效率地注入电子。
接下来，在步骤S4的对置电极形成工序中，覆盖电子注入层135而形成作为阴极的对置电极105。作为对置电极105的构成材料，优选使用功函数小的材料，且为了能够使用真空蒸镀法等气相法形成，例如可使用Li、Mg、Ca、Sr、La、Ce、Er、Eu、Sc、Y、Yb、Ag、Cu、Al、Cs、Rb、Au或含有它们的合金等，可以使用它们中的1种或组合2种以上(例如，多层的层叠体等)使用。
特别是，像本实施方式那样，将有机EL装置100制成顶部发光方式的情况下，作为对置电极105的构成材料，优选使用Mg、Al、Ag、Au等金属或MgAg、MgAl、MgAu、AlAg等合金。通过使用这样的金属或合金，能够维持对置电极105的透光性，并且实现对置电极105的电子注入效率和稳定性的提高。
顶部发光方式中的对置电极105的膜厚没有特别限定，优选为1nm～50nm左右，更优选为5nm～20nm左右。
应予说明，将有机EL装置100制成底部发光方式时，对于对置电极105不要求透光性。因此，例如可优选使用Al、Ag、AlAg、AlNd等金属或合金。通过将这样的金属或合金用作对置电极105的构成材料，能够实现对置电极105的电子注入效率和稳定性的提高。
底部发光方式中的对置电极105的膜厚没有特别限定，优选为50nm～1000nm左右，更优选为100nm～500nm左右。
如图2所示，对于利用上述制造方法形成的有机EL元件130，例如水分、氧等从外部浸入时，功能层136中的发光功能受到阻碍，部分地发光亮度降低，或者产生不发光的暗点(dark spot)。另外，发光寿命可能变短。因此，为了保护有机EL元件130免受水分、氧等的浸入，优选利用密封层(省略图示)进行覆盖。作为密封层，例如可以使用水分、氧等透过性低的氮氧化硅(SiON)等无机绝缘材料。此外，例如通过介由粘接剂将透明的玻璃等密封基板粘贴于形成有机EL元件130的元件基板101，可以将有机EL元件130密封。
上述有机EL元件130的制造方法中，功能层136中，空穴注入层131、空穴传输层132和发光层133通过液相工艺(喷墨法)形成，但是，这些层中的1个通过液相工艺(喷墨法)形成即可，其它层可以使用真空蒸镀等气相工艺形成。
接下来，针对空穴注入层131、空穴传输层132、发光层133，对能够在液相工艺或气相工艺中使用的构成材料进行说明。
[空穴注入层形成材料和空穴传输层形成材料]
作为空穴注入层(HIL)131、空穴传输层(HTL)132的形成中适合的空穴注入输送材料，没有特别限定，可以单独或组合使用各种p型高分子材料、各种p型低分子材料。
作为p型高分子材料(有机聚合物)，例如可举出聚(2,7-(9,9-二正辛基芴)-(1,4-亚苯基-((4-仲丁基苯基)亚氨基)-1,4-亚苯基(TFB)等聚芳基胺这样的具有芳基胺骨架的芳香族胺系化合物、芴-联噻吩共聚物这样的具有芴骨架的聚芴衍生物(PF)、芴-芳基胺共聚物这样的具有芳基胺骨架和芴骨架这双方的聚芴衍生物(PF)、聚(N-乙烯基咔唑)(PVK)、聚乙烯基芘、聚乙烯基蒽、聚噻吩、聚烷基噻吩、聚己基噻吩、聚(对亚苯基乙炔)(PPV)、聚噻吩乙炔、芘甲醛树脂、乙基咔唑甲醛树脂或其衍生物、聚甲基苯基硅烷(PMPS)等多晶硅烷系、聚[双(4-苯基)(2,4,6-三甲基苯基)胺])(PTTA)、聚[N,N’-双(4-丁基苯基)-N,N’-双(苯基)-联苯胺]等。
这样的p型高分子材料也可以以与其它化合物的混合物的形式使用。作为一个例子，对含有聚噻吩的混合物，可举出聚(3,4-乙烯二氧噻吩/苯乙烯磺酸)(PEDOT/PSS)、综研化学制导电性聚合物Verazol(商标)等，作为聚苯胺的日产化学制ELsource(商标)。
作为p型低分子材料，例如可举出1,1-双(4-二对甲苯基氨基苯基)环己烷、1,1’-双(4-二对甲苯基氨基苯基)-4-苯基-环己烷(TAPC)之类的芳基环烷烃系化合物，4,4’,4”-三甲基三苯基胺、N,N’-二苯基-N,N’-双(3-甲基苯基)-1,1’联苯基-4,4’-二胺(TPD)、N,N,N’,N’-四苯基-1,1’-联苯基-4,4’-二胺、N,N’-二苯基-N,N’-双(3-甲基苯基)-1,1’-联苯基-4,4’-二胺(TPD1)、N,N’-二苯基-N,N’-双(4-甲氧基苯基)-1,1’-联苯基-4,4’-二胺(TPD2)、N,N,N’,N’-四(4-甲氧基苯基)-1,1’-联苯基-4,4’-二胺(TPD3)、N,N’-双(1-萘基)-N,N’-二苯基-1,1’-联苯基-4,4’-二胺(α-NPD)、三苯胺的四聚体(TPTE)、1,3,5-三-[4-(二苯基氨基)苯(TDAPB)、三-(4-咔唑-9-基-苯基)-胺(Spiro-TAD)、三对甲苯基胺(HTM1)、1,1-双[(二-4-甲苯基氨基)苯基]环己烷(HTM2)、N4,N4’-(联苯基-4,4’-二基)双(N4,N4’,N4’-三苯基联苯基-4,4’-二胺)(TPT1)之类的芳基胺系化合物，N,N,N’,N’-四苯基-对苯二胺、N,N,N’,N’-四(对甲苯基)-对苯二胺、N,N,N’,N’-四(间甲苯基)间苯二胺(PDA)、PDA-Si(Mol.Cryst.Liq.Cryst.Vol.462.pp.249-256、2007)、N,N’-二苯基-1,4-苯二胺(DPPD)之类的苯二胺系化合物，咔唑、N-异丙基咔唑、N-苯基咔唑、VB-TCA(Adv.Mater.2007，19，300-304)之类的咔唑系化合物，茋、4-二对甲苯基氨基茋之类的茋系化合物，OxZ之类的唑系化合物，三苯基甲烷、4,4’,4”-三(N-3-甲基苯基-N-苯基氨基)三苯基胺(m-MTDATA)、4,4’,4”-三(N,N-(2-萘基)苯基氨基)三苯基胺(2-TNATA)、4,4’,4”-三(N-咔唑基)三苯基胺(TCTA)之类的三苯基甲烷系化合物，1-苯基-3-(对二甲氨基苯基)吡唑啉之类的吡唑啉系化合物，苯炔(环己二烯)系化合物，三唑之类的三唑系化合物，咪唑之类的咪唑系化合物，1,3,4-二唑、2,5-二(4-二甲氨基苯基)-1,3,4,-二唑之类的二唑系化合物，蒽、9-(4-二乙基氨基苯乙烯基)蒽之类的蒽系化合物，芴酮、2,4,7-三硝基-9-芴酮、2,7-双(2-羟基-3-(2-氯苯基氨基甲酰基)-1-萘基偶氮)芴酮之类的芴酮系化合物，聚苯胺之类的苯胺系化合物，硅烷系化合物、1,4-二硫酮基-3,6-二苯基-吡咯-(3，4-c)吡咯并吡咯之类的吡咯系化合物，芴之类的芴系化合物，卟啉、金属四苯基卟啉之类的卟啉系化合物，喹吖啶酮之类的喹吖啶酮系化合物，酞菁、酞菁铜(CuPc)、四(叔丁基)酞菁铜、酞菁铁之类的金属或无金属的酞菁系化合物，萘酞菁铜、萘酞菁钒、单氯萘酞菁镓之类的金属或无金属的萘酞菁系化合物，N,N’-二(萘-1-基)-N,N’-二苯基-联苯胺、N,N,N’,N’-四苯基联苯胺之类的联苯胺系化合物等。应予说明，为了实现高分子化，PDA-Si可添加使用阳离子聚合性化合物：二甲苯双氧杂环丁烷(东亚合成ARON OXETANE OXT-121)、自由基聚合引发剂：脂肪族系二酰基过氧化物(PEROYL L，日本油脂株式会社)。
作为PEDOT/PSS的优选的溶剂，可举出水。作为其它P型高分子材料、低分子材料的溶剂，可举出甲苯、二甲苯、3-苯氧基甲苯(3-PT)等芳香族溶剂。
接下来，对于能够得到荧光或磷光的发光材料(EML材料)，对每个发光颜色举出具体例进行说明。
[红色发光材料]
首先，作为红色发光材料，没有特别限定，各种红色荧光材料、红色磷光材料可以使用1种或组合2种以上使用。
作为红色荧光材料，只要是发出红色荧光的材料就没有特别限定，例如可举出苝衍生物、铕配合物、苯并吡喃衍生物、若丹明衍生物、苯并噻吨衍生物、卟啉衍生物、尼罗红、2-(1,1-二甲基乙基)-6-(2-(2,3,6,7-四氢-1,1,7,7-四甲基-1H,5H-苯(ij)喹嗪-9-基)乙烯基)-4H-吡喃-4H-亚基)丙二腈(DCJTB)、4-(二氰基亚甲基)-2-甲基-6-(对二甲氨基苯乙烯基)-4H-吡喃(DCM)、聚[2-甲氧基-5-(2-乙基己氧基)-1,4-(1-氰基亚乙烯基亚苯基)]、聚[{9,9-二己基-2,7-双(1-氰基亚乙烯基)亚芴基}-交替-共聚-{2,5-双(N,N’-二苯基氨基)-1,4-亚苯基}]、聚[{2-甲氧基-5-(2-乙基己氧基)-1,4-(1-氰基亚乙烯基亚苯基)}-共聚-{2,5-双(N，N’-二苯基氨基)-1,4-亚苯基}]等。
作为红色磷光材料，只要是发出红色磷光的材料就没有特别限定，例如可举出铱、钌、铂、锇、铼、钯等的金属配合物，可举出这些金属配合物的配体中的至少1个具有苯基吡啶骨架、联吡啶骨架、卟啉骨架等的金属配合物。更具体而言，可举出三(1-苯基异喹啉)合铱、双[2-(2’-苯并[4,5-α]噻吩基)吡啶-N,C3’](乙酰丙酮)合铱(Btp2Ir(acac))、2,3,7,8,12,13,17,18-八乙基-12H,23H-卟啉-铂(II)、面式-三(2-苯基)-双(2-(2’-苯并[4,5-α]噻吩基)吡啶-N,C3’](乙酰丙酮)合铱(Bt2Ir(acac))、双(2-苯基吡啶)(乙酰丙酮)合铱等。
另外，红色的发光层133中除了上述红色发光材料以外，也可以含有添加红色发光材料作为客体材料的主体材料。
主体材料具有将空穴和电子再次结合而生成激子，并且使该激子的能量转移(Forster转移或Dexter转移)到红色发光材料而激发红色发光材料的功能。使用这样的主体材料时，例如，可以将属于客体材料的红色发光材料作为掺杂剂掺杂于主体材料来使用。
作为这样的主体材料，只要是对所使用的红色发光材料发挥如上所述的功能的主体材料，就没有特别限定，红色发光材料包含红色荧光材料时，例如，可举出并四苯衍生物、萘衍生物、蒽衍生物之类的并苯衍生物(并苯系材料)、二苯乙烯基亚芳基衍生物、苝衍生物、二苯乙烯基苯衍生物、二苯乙烯基胺衍生物、三(8-羟基喹啉)铝配合物(Alq3)等羟基喹啉系金属配合物(BAql)、三苯基胺的四聚体等三芳基胺衍生物(TDAPB)、二唑衍生物、噻咯衍生物(SimCP、UGH3)、二咔唑衍生物(CBP、mCP、CDBP、DCB)、低聚噻唑衍生物、苯并吡喃衍生物、三唑衍生物、苯并唑衍生物、苯并噻唑衍生物、喹啉衍生物、4,4’-双(2,2’-二苯基乙烯基)联苯(DPVBi)、磷衍生物(PO6)等，可以使用它们中的1种或组合2种以上使用。
使用如上所述的红色发光材料(客体材料)和主体材料时，红色的发光层133中的红色发光材料的含量(掺杂量)优选为0.01wt％～10wt％，更优选为0.1wt％～5wt％。通过使红色发光材料的含量在这样的范围内，能够使发光效率最佳化。
[绿色发光材料]
作为绿色发光材料，没有特别限定，例如可举出各种绿色荧光材料和绿色磷光材料，可以使用它们中的1种或组合2种以上使用。
作为绿色荧光材料，只要是产生绿色荧光的材料，就没有特别限定，例如可举出香豆素衍生物、喹吖啶酮及其衍生物、9,10-双[(9-乙基-3-咔唑)-亚乙烯基]-蒽、聚(9,9-二己基-2,7-亚乙烯基亚芴基)、聚[(9,9-二辛基芴-2,7-二基)-共聚-(1,4-二亚苯基-亚乙烯基-2-甲氧基-5-{2-乙基己氧基}苯)]、聚[(9,9-二辛基-2,7-二亚乙烯基亚芴基)-交替-共聚-(2-甲氧基-5-(2-乙氧基己氧基)-1,4-亚苯基)]、聚[(9,9-二辛基芴-2,7-二基)-交替-共聚-(1,4-苯并-{2,1’,3}-噻二唑)](F8BT)等。
作为绿色磷光材料，只要是发出绿色磷光的材料，就没有特别限定，例如可举出铱、钌、铂、锇、铼、钯等的金属配合物，具体而言，可举出面式-三(2-苯基吡啶)合铱(Ir(ppy)3)、双(2-苯基吡啶-N,C2’)(乙酰丙酮)合铱(Ppy2Ir(acac))、面式-三[5-氟-2-(5-三氟甲基-2-吡啶)苯基-C,N]合铱等。
另外，绿色的发光层133中除了上述绿色发光材料以外，也可以含有添加绿色发光材料作为客体材料的主体材料。
作为这样的主体材料，可以使用与在上述红色的发光层133中说明的主体材料相同的主体材料。
[蓝色发光材料]
作为蓝色发光材料，例如可举出各种蓝色荧光材料和蓝色磷光材料，可以使用它们中的1种或组合2种以上使用。
作为蓝色荧光材料，只要是发出蓝色荧光的材料，就没有特别限定，例如可举出二苯乙烯基二胺系化合物等二苯乙烯基胺衍生物、荧蒽衍生物、芘衍生物、苝和苝衍生物、蒽衍生物、苯并唑衍生物、苯并噻唑衍生物、苯并咪唑衍生物、衍生物、菲衍生物、二苯乙烯基苯衍生物、四苯基丁二烯、4,4’-双(9-乙基-3-咔唑乙烯基)-1,1’-联苯基(BCzVBi)、聚[(9.9-二辛基芴-2,7-二基)-共聚-(2,5-二甲氧基苯-1,4-二基)]、聚[(9,9-二己氧基芴-2,7-二基)-交替-共聚-(2-甲氧基-5-{2-乙氧基己氧基}亚苯基-1,4-二基)]、聚[(9,9-二辛基芴-2,7-二基)-共聚-(乙炔基苯)]、聚[(9,9-二辛基芴-2,7-二基)-共聚-(N,N’-二苯基)-N,N’-二(对丁基苯基)-1,4-二氨基-苯]]等。
作为蓝色磷光材料，只要是发出蓝色磷光的材料，就没有特别限定，例如可举出铱、钌、铂、锇、铼、钯等的金属配合物，具体而言，可举出双[4,6-二氟苯基吡啶-N,C2’]-吡啶甲酰合铱(FIrpic)、三(1-苯基-3-甲基苯并咪唑啉-2-亚基-C,C2’)(Ir(pmb)3)、双(2,4-二氟苯基吡啶)(5-(吡啶-2-基)-1H-四唑)铱(FIrN4)、三[2-(2,4-二氟苯基)吡啶-N,C2’]铱、双[2-(3,5-三氟甲基)吡啶-N,C2’]-吡啶甲酰合铱、双(4,6-二氟苯基吡啶-N,C2’)(乙酰丙酮)合铱等。
另外，蓝色的发光层133中除了上述蓝色发光材料以外，也可以含有将蓝色发光材料作为客体材料添加的主体材料。
作为这样的主体材料，可以使用与在上述红色的发光层133中说明的主体材料相同的主体材料。
应予说明，本实施方式中，低分子是平均分子量小于1000的分子，高分子是指平均分子量为1000以上的、具有基本骨架重复的结构的分子。作为这些发光层形成材料的优选的溶剂，可举出甲苯、二甲苯、3-苯氧基甲苯(3-PT)等芳香族溶剂。
图6是表示功能层中的像素中央部的膜厚的截面示意图。如上所述，利用喷墨法，通过向由隔壁106围起的开口部106a高精度地喷出规定量的油墨来确保成膜后的功能层的膜厚、膜平坦性。功能层的膜厚不均对有机EL元件130的发光不均、发光寿命造成影响。特别是，根据油墨中含有的固体成分是高分子材料还是低分子材料，在将油墨涂布于开口部106a并干燥时，在隔壁106的侧壁开始成膜的钉住位置(膜固定位置)会不同，认为这对干燥后的膜平坦性造成影响。
如图6所示，将成膜后的膜的像素电极104的中央部的膜厚设为像素内中央膜厚tc，将与像素电极104相接的范围内的膜厚的平均值设为像素内平均膜厚ta。这些膜厚例如可以通过触针式的测定装置进行测定。根据被涂布于开口部106a的油墨的干燥的进展方式、上述固定位置，判定成膜后的膜截面形状在像素中央部隆起或是凹陷。换句话说，像素内中央膜厚tc发生变动。即使喷出到开口部106a的油墨的总喷出量波动，也对油墨的干燥的进展方式、上述固定位置造成影响。因此，需要向开口部106a高精度地喷出(涂布)规定量的油墨。
＜液滴的喷出状态＞
图7是表示液滴相对于开口部的喷出状态的示意图。如图7所示，通过在元件基板101上形成隔壁106来设置与各子像素110R、110G、110B对应的多个开口部106a。在喷墨法中，将元件基板101和喷墨头20以设置规定间隔的方式对置配置，在喷墨头20沿一定的方向对元件基板101的多个开口部106a相对移动的扫描期间，从喷嘴21以规定的时刻例如使油墨50以液滴D的形式喷出并着滴于开口部106a。对于液滴D而言，利用驱动元件对填充有油墨50的腔部加压，从与腔部连通的喷嘴21挤出并分离油墨50而成为液滴D，从喷嘴21拖尾喷出。喷墨头20通过上述扫描进行相对移动，由此受到相对移动的影响而与液滴D的前端部相比尾的后端部延迟地着滴于开口部106a，因此液滴D的前端部的着滴位置与后端部的着滴位置不同。液滴D的长度L比规定值长时，液滴D的后端部延迟着滴，因此，如图7所示，液滴D的后端部着滴于沿扫描方向与本来应该着滴的开口部106a相邻的开口部106a，即，油墨50可能漏滴于相邻的开口部106a。因此，为了将规定量的油墨50高精度地涂布于开口部106a，需要将拖尾的液滴D可靠地收容于开口部106a内。包括尾部在内的液滴D的长度L主要由液滴D的喷出量和喷出速度规定。液滴D的喷出量、喷出速度可以通过设置于每个喷墨头20的喷嘴21的驱动元件的驱动条件进行控制。本实施方式的喷墨头20是被称为精工爱普生制的Mach Head的喷墨头，具备压电元件作为上述驱动元件。另外，喷嘴21的直径大约为27μm。
本实施方式中的设有喷墨头20的喷嘴21的喷嘴面与元件基板101之间的规定间隔大约为300μm。如上所述，多个液滴D喷出到开口部106a而隆起，因此，开口部106a内的油墨50的表面与喷嘴面的距离小于300μm。在喷墨头20相对于元件基板101的扫描期间从喷嘴21喷出液滴D时，如果液滴D与开口部106a内的油墨50接触，则液滴D的喷出变得不稳定，因此，液滴D的长度L优选为小于300μm且250μm以下。应予说明，液滴D的长度L是油墨刚从喷嘴面脱离后的液滴长度。
＜压电元件的驱动波形＞
图8是表示外加于喷墨头的压电元件的驱动波形的一个例子的图。图8中的纵轴表示将最大驱动电压设为“100”时的驱动电压电平，横轴表示将驱动波形中的1个周期设为“20”时的时间轴。本实施方式的外加于压电元件的驱动波形被称为push-pull型。具体而言，如图8所示，驱动波形将基准电压电平设为“40”，从基准电压电平“40”上升到最大电压电平“100”后保持一定时间(push波形)。其后，从最大电压电平“100”下降到最小电压电平“0”并保持一定时间后返回到基准电压电平“40”(pull波形)。电压电平从“40”开始再次返回到“40”为驱动波形的1个周期。以下说明的驱动电压定义为最大电压电平与最小电压电平之差。
这样的驱动波形中，越升高最大电压电平，则腔部的体积变化越大，液滴D的喷出量和喷出速度增大。认为液滴D的长度L取决于喷出量、喷出速度，但也受上述驱动波形中的电压电平变化的时间影响。例如，缩短使电压电平从“40”变为“100”的时间、从“100”变为“0”的时间时，腔部内的体积变化急剧发生，喷出速度变快且液滴D的长度L增大。
＜油墨＞
本实施方式的油墨满足以下条件：将油墨以液滴D的形式从喷墨头20的喷嘴21喷出时的液滴D的喷出量(喷出重量(Iw))的范围设为9.5ng～11.0ng、喷出速度(Vm)的范围设为6m/s(秒)～9m/s(秒)，此时包括尾部的液滴D的长度L为250μm(微米)。由此，实现了喷出稳定性和着滴性(油墨着滴于目标开口部的性能)。
另外，本实施方式的油墨满足将液滴D的喷出量(喷出重量(Iw))设为10ng时的外加于压电元件的驱动电压(最大电压电平与最小电压电平之差)的范围为15V～32V的条件。通过使驱动电压的范围为15V～32V，能够从喷嘴21以稳定的喷出量喷出液滴D。具体而言，以小于15V的低驱动电压驱动压电元件时，难以从喷嘴21以稳定的喷出量喷出液滴D，也可能无法从喷嘴21喷出液滴D。另一方面，以超过32V的高驱动电压驱动压电元件时，有时由于从压电元件散发的热量使油墨的物性变化，喷出量波动。即，驱动电压优选15V～32V。此外，由于喷墨头20具有多个喷嘴21，因此如果考虑每个喷嘴21的喷出量偏差以及由喷出量偏差引起的液滴D的长度L的偏差，则更优选将喷出量(喷出重量(Iw))设为10ng时的外加于压电元件的驱动电压为23V以下。
＜油墨的实施例和比较例＞
以下，举出油墨的实施例和比较例，参照图9～图34对其喷出特性和液滴D的长度进行说明。
(实施例1)
实施例1的油墨是含有空穴注入层形成材料的油墨，该油墨的固体成分的浓度为1.3wt％、含有3-PT作为固体成分的良溶剂。将油墨的粘度调节至大约3.6cP(厘泊)。将图8中示出的驱动波形的频率设定为30kHz。
图9是表示实施例1的油墨的驱动电压与喷出重量(Iw)的关系的图，图10是表示实施例1的油墨的驱动电压与喷出速度(Vm)的关系的图，图11是表示实施例1的油墨的驱动电压与液滴长度的关系的图。图12是表示实施例1的油墨的喷出重量(Iw)与喷出速度(Vm)的关系的图，图13是表示实施例1的油墨的喷出重量(Iw)与液滴长度的关系的图。图中所示的空心的○点表示喷出重量(Iw)为10ng。
本实施方式中，液滴D的喷出重量(Iw)难以测量皮升单位的1滴的值，因此将喷出从几千到几万颗的液滴D时的油墨总重量用例如电子天平秤等进行测量，将测量值除以喷出数而求出。另外，喷出速度(Vm)、液滴D的长度例如对通过对于喷出的液滴D进行高速拍摄而拍摄的图像进行解析而求得。
如图9所示，对于实施例1的油墨，能够在驱动电压为17V～19.5V的范围内将喷出量(喷出重量(Iw))控制为9.5ng～11.0ng。同样地，如图10所示，能够在驱动电压为17V～20.5V的范围内将喷出速度(Vm)控制为6m/s(秒)～9m/s(秒)。另外，如图11所示，通过使驱动电压为21V以下，能够将液滴长度控制为250μm以下。另外，喷出量(喷出重量(Iw))为10ng时的驱动电压约为18V。因此，如图12和图13所示，如果将喷出量(喷出重量(Iw))设为9.5ng～11ng、并将喷出速度(Vm)设为6m/s～9m/s，则液滴长度约为220μm以下。
(实施例2)
实施例2的油墨是含有空穴传输层形成材料的油墨，该油墨的固体成分的浓度为0.5wt％、含有3-PT作为固体成分的良溶剂。将油墨的粘度调节至大约8.1cP(厘泊)。将驱动波形的频率设定为30kHz。另外，相对于实施例1将驱动波形中的基准电压电平设定为“30”。这是与油墨粘度相对于实施例1上升的情况对应地在维持驱动波形的最大电压电平的状态下降低基准电压电平，使push波形的电压电平实质上升而得的。
图14是表示实施例2的油墨的驱动电压与喷出重量(Iw)的关系的图，图15是表示实施例2的油墨的驱动电压与喷出速度(Vm)的关系的图，图16是表示实施例2的油墨的驱动电压与液滴长度的关系的图。图17是表示实施例2的油墨的喷出重量(Iw)与喷出速度(Vm)的关系的图，图18是表示实施例2的油墨的喷出重量(Iw)与液滴长度的关系的图。
如图14所示，对于实施例2的油墨，能够在驱动电压为21V～24.5V的范围内将喷出量(喷出重量(Iw))控制为9.5ng～11.0ng。同样地，如图15所示，能够在驱动电压为22V～25V的范围内将喷出速度控制为6m/s～9m/s。另外，如图16所示，通过使驱动电压为24.5V以下，能够将液滴长度控制为250μm以下。另外，喷出量(喷出重量(Iw))为10ng时的驱动电压约为22.5V。因此，如图17和图18所示，如果使喷出量(喷出重量(Iw))为9.5ng～11ng，使喷出速度(Vm)为6m/s～9m/s，则液滴长度为250μm以下。
(实施例3)
实施例3的油墨是含有能够得到绿色发光的发光层形成材料的油墨，该油墨的固体成分的浓度为1.6wt％，含有3-PT作为固体成分的良溶剂。将油墨粘度调节至大约6.2cP(厘泊)。将驱动波形的频率设定为30kHz。另外，与实施例2同样地将驱动波形中的基准电压电平设定为“30”。这是与油墨粘度相对于实施例1上升的情况对应地在维持驱动波形的最大电压电平的状态下降低基准电压电平，使push波形的电压电平实质上升而得的。
图19是表示实施例3的油墨的驱动电压与喷出重量(Iw)的关系的图，图20是表示实施例3的油墨的驱动电压与喷出速度(Vm)的关系的图，图21是表示实施例3的油墨的驱动电压与液滴长度的关系的图。图22是表示实施例3的油墨的喷出重量(Iw)与喷出速度(Vm)的关系的图，图23是表示实施例3的油墨的喷出重量(Iw)与液滴长度的关系的图。
如图19所示，对于实施例3的油墨，能够在驱动电压为20V～22.5V的范围内将喷出量(喷出重量(Iw))控制为9.5ng～11.0ng。同样地，如图20所示，能够在驱动电压为20.5V～23.5V的范围内将喷出速度(Vm)控制为6m/s～9m/s。另外，如图21所示，通过使驱动电压为25V，能够将液滴长度控制为250μm以下。另外，喷出量(喷出重量(Iw))为10ng时的驱动电压约为20.5V。因此，如图22和图23所示，如果使喷出量(喷出重量(Iw))为9.5ng～11ng，使喷出速度(Vm)为6m/s～9m/s，则液滴长度约为180μm以下。
(比较例1)
比较例1的油墨是含有能够得到蓝色发光的发光层形成材料的油墨，该油墨的固体成分的浓度为2.0wt％，含有3-PT作为固体成分的良溶剂。油墨的粘度约为15cP(厘泊)。将驱动波形的频率设定为30kHz。比较例1也将驱动波形的基准电压电平设定为“30”。这是与油墨粘度相对于实施例1上升的情况对应地在维持驱动波形的最大电压电平的状态下降低基准电压电平，使push波形的电压电平实质上升而得的。
图24表示比较例1的油墨的驱动电压与喷出重量(Iw)的关系的图，图25是表示比较例1的油墨的驱动电压与喷出速度(Vm)的关系的图，图26是表示比较例1的油墨的驱动电压与液滴长度的关系的图。图27是表示比较例1的油墨的喷出重量(Iw)与喷出速度(Vm)的关系的图，图28是表示比较例1的油墨的喷出重量(Iw)与液滴长度的关系的图。
如图24所示，对于比较例1的油墨，能够在驱动电压为25V～28V的范围内将喷出量(喷出重量(Iw))控制为9.5ng～11.0ng。同样地，如图25所示，能够在驱动电压为25.5V～29V的范围内将喷出速度(Vm)控制为6m/s～9m/s。另外，如图26所示，即使将驱动电压设为24V，液滴长度也约为280μm。另外，喷出量(喷出重量(Iw))为10ng时的驱动电压约为26V。因此，如图27和图28所示，将喷出量(喷出重量(Iw))设为9.5ng～11ng，将喷出速度(Vm)设为6m/s～9m/s时，满足双方的范围的液滴长度为340μm～430μm。
(比较例2)
比较例2的油墨是与比较例1的油墨基本相同的油墨，但将驱动波形的频率从30kHz降低为10kHz。驱动波形中的基准电压电平与比较例1同样为“30”。由此，尝试降低喷出速度(Vm)来调节液滴长度。
图29是表示比较例2的油墨中的驱动电压与喷出重量(Iw)的关系的图，图30是表示比较例2的油墨中的驱动电压与喷出速度(Vm)的关系的图，图31是表示比较例2的油墨中的驱动电压与液滴长度的关系的图。图32是表示比较例2的油墨中的喷出重量(Iw)与喷出速度(Vm)的关系的图，图33是表示比较例2的油墨的喷出重量(Iw)与液滴长度的关系的图。
如图29所示，对于比较例2的油墨，能够在驱动电压为23.5V～26V以下的范围内将喷出量(喷出重量(Iw))控制为9.5ng～11.0ng。同样地，如图30所示，能够在驱动电压为25.5V～29V的范围内将喷出速度(Vm)控制为6m/s～9m/s。另外，如图31所示，如果将驱动电压设为23V以下，则能够使液滴长度为250μm以下。另外，喷出量(喷出重量(Iw))为10ng时的驱动电压约为24V。因此，如图32和图33所示，将喷出量(喷出重量(Iw))设为9.5ng～11ng，将喷出速度(Vm)设为6m/s～9m/s时，满足双方的范围的液滴长度为320μm～350μm。
图34是将与实施例和比较例的油墨的喷出特性和液滴长度相关的评价汇总的表。如图34所示，评价中的判定项目的No.1是在喷出量(喷出重量(Iw))的范围为9.5ng～11ng的条件下能够稳定喷出的情况。判定项目的No.2是喷出10ng的液滴时的驱动电压为23.0(V)以下的情况。判定项目的No.3是喷出10ng的液滴时的喷出速度(Vm)为6m/s～9m/s的范围内的情况。判定项目的No.4是喷出10ng的液滴时的液滴长度为250μm的情况。以上，将全部满足4个判定项目的油墨在综合判定中设为OK(合格)。
如图34所示，前述的实施例1～实施例3的油墨都满足4个判定项目，综合判定为OK(合格)。与此相对，比较例1的油墨满足喷出量(喷出重量(Iw))的范围和喷出速度(Vm)的范围，但在驱动电压和液滴长度方面无法满足，综合判定为NG(不合格)。另外，比较例2的油墨满足喷出量(喷出重量(Iw))的范围，但在喷出速度(Vm)的范围、驱动电压、液滴长度方面无法满足，综合判定为NG(不合格)。
另外，使用实施例1～实施例3的油墨形成有机EL元件130时，能够在开口部106a形成具有所希望的膜厚和膜平坦性的空穴注入层131、空穴传输层132、绿色(G)的发光层133。
另一方面，即使要使用比较例1和比较例2的油墨形成蓝色的发光层133，液滴长度也无法长期稳定地喷出，无法对蓝色的发光层133进行成膜。
本发明不限于上述的实施方式，可以在不违反从请求范围和说明书整体读取的发明的主旨或思想的范围内适当地进行变更，伴随这样的变更的油墨和使用该油墨的功能元件的制造方法也包括在本发明的技术范围内。除上述实施方式以外也可以考虑各种变型例。以下，举出变型例进行说明。
(变型例1)可适用本实施方式的油墨的喷墨头20不限定于具有压电元件作为驱动元件的喷墨头。例如，也可以适用于具备使构成腔部的一部分的振动板通过静电振动的电-机械转换元件作为驱动元件、或者具备对被填充于腔部的油墨加热产生气泡并通过气泡的压力将油墨以液滴的形式喷出的加热元件作为驱动元件的喷墨头。
(变型例2)可适用本实施方式的油墨的功能元件的制造方法不限定于有机EL元件的制造方法。例如，也可以适用于使用含有颜料等色料的油墨形成滤色器的着色层的滤色器的制造方法、使用含有有机半导体层形成材料的油墨形成有机半导体层的有机晶体管的制造方法。如果适用于滤色器的制造方法，则能够防止不同颜色的着色层的混色。
(变型例3)图35是表示油墨容器的一个例子的立体示意图。如图35所示，作为油墨容器的一个例子的油墨包40具备液体收容袋41和使液体收容袋41的内部和外部连通的连通部45。液体收容袋41通过将以相同大小的长方形且具有挠性的2张膜部件42、43重叠，将其4条边的边缘热熔接而形成袋状。另外，在作为液体收容袋41的4条边中的1条的边44上，连通部45以被夹持于两个膜部件42、43的状态被热熔接。由此，将液体收容袋41的内部空间密封，向其内部空间填充油墨。
膜部件42、43例如成为在聚乙烯膜等热塑性树脂层之间夹持有蒸镀而成的铝等阻气层的层叠结构。而且，连通部45由能够与膜部件42、43的上述热塑性树脂层热熔接的树脂形成。通过连通部45将油墨填充于液体收容袋41的内部。如果封住连通部45，则能够密封填充有油墨的油墨包40。作为油墨容器的油墨包40的容量例如为500ml(毫升)。这样，填充有本实施方式的油墨的油墨容器在发挥油墨性能上也是重要要素，被包含于本发明的技术范围内。应予说明，油墨容器并不限于油墨包40，只要能够密封即可，油墨的收容部也可以为刚性的盒形式、罐形式。
符号说明
20…喷墨头，21…喷嘴，50、60、70…油墨，100…有机EL装置，106…隔壁，106a…作为膜形成区域的开口部，110R、110G、110B…子像素，130…作为功能元件的有机EL元件。

Claims (7)

1.一种油墨，其特征在于，是从喷墨头的喷嘴以液滴的形式喷出的含有功能层形成材料的油墨，
所述液滴的喷出量为9.5ng～11ng，
所述液滴从所述喷嘴以6m/秒～9m/秒的喷出速度喷出时的所述液滴长度为250μm以下。
2.根据权利要求1所述的油墨，其特征在于，
所述喷墨头具有设置于每个所述喷嘴的作为驱动元件的压电元件，
所述液滴的喷出量为10ng时的所述压电元件的驱动电压为15V～32V。
3.根据权利要求1或2所述的油墨，其特征在于，作为所述功能层形成材料，含有空穴注入层形成材料、空穴传输层形成材料、发光层形成材料中的任一种。
4.根据权利要求1或2所述的油墨，其特征在于，作为所述功能层形成材料，含有滤色器的着色层形成材料。
5.根据权利要求1或2所述的油墨，其特征在于，作为所述功能层形成材料，含有有机半导体层形成材料。
6.一种油墨容器，其特征在于，填充有权利要求1～5中任一项所述的油墨。
7.一种功能元件的制造方法，其特征在于，具备如下工序：
形成划分膜形成区域的隔壁的工序；
使用权利要求3～5中任一项所述的油墨，从喷墨头的喷嘴将规定量的所述油墨以液滴的形式喷出到所述膜形成区域而形成涂布膜的工序；以及
将所述涂布膜干燥、固化，在所述膜形成区域形成功能层的工序。
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