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CN105948117B - 一种以水热法制备HfO2纳米颗粒的方法 - Google Patents

一种以水热法制备HfO2纳米颗粒的方法 Download PDF

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Abstract

本发明涉及一种以水热法制备HfO2纳米颗粒的方法,将四氯化铪溶解在水中,得到氧氯化铪溶液;将氢氧化钠溶液滴加到上述氧氯化铪溶液中,得到前驱体溶液;将十二胺溶于溶剂中,得到十二胺溶液,然后和上述前驱体溶液混合,常温磁力搅拌,得到混合溶液,然后进行水热反应,分离、洗涤、干燥,即得。本发明具有简单方便,重复性好,可大量生产、成本低的特点;制备出的HfO2纳米颗粒粒径分布均匀,具有良好的应用前景。

Description

一种以水热法制备HfO2纳米颗粒的方法
技术领域
本发明属于HfO2纳米材料的制备领域,特别涉及一种以水热法制备HfO2纳米颗粒的方法。
背景技术
HfO2具有高的介电常数(块体材料的介电常数为25,薄膜材料约为20.25)、大的禁带宽度(~5.79eV)、高的反射系数(~2.9)、高的折射率(1.82~1.93)和抗激光损伤阈值、优异的化学稳定性和生物相容性。基于以上优异的性质,HfO2在MOS栅极介电层、光学涂层、有机催化、固体电解质以及生物医学等领域具有广阔的应用前景。
Ananthakumar Ramadoss等人通过加热或超声辅助的溶胶-凝胶法制备了20nm左右的球形HfO2纳米粒子,但是得到的纳米粒子团聚严重。溶胶-凝胶法是上世纪60年代发展起来的一种粉体材料制备方法,该法的优点是反应温度低、易于控制、所得粉体纯度高。刘建强【刘建强等,国家自然科学基金资助项目,2004,6(35):730-733】等人用高温固相法合成HfO2纳米粉体,高温固相合成法是传统的合成发光材料的方法,虽然有利于工业化生产,但这种方法成本高、对设备要求高,而且掺杂度不高,粒径较大,得不到性能较好的粉体。水热法是指在密闭体系如高压釜中,以水为溶剂,在一定的温度和水的自生压力下,原始混合物进行反应的一种合成方法。该方法的最大优点是,能够在较低的温度下,直接从溶液中获得晶粒发育完整的晶体,晶体的纯度高、化学成分均匀、粒径小、粒子尺寸分布好。由于其反应温度较低,制备的粉体较为细小、均匀,因此倍受国内、外关注。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种以水热法制备HfO2纳米颗粒的方法,本发明具有简单方便,重复性好,可大量生产、成本低的特点;制备出的HfO2纳米颗粒粒径分布均匀,具有良好的应用前景。
本发明的一种以水热法制备HfO2纳米颗粒的方法,包括:
(1)将四氯化铪溶解在水中,得到氧氯化铪溶液;
(2)将氢氧化钠溶液滴加到上述氧氯化铪溶液中,得到前驱体溶液;
(3)将十二胺溶于溶剂中,得到十二胺溶液,然后和上述前驱体溶液混合,常温磁力搅拌,得到混合溶液,然后进行水热反应,分离、洗涤、干燥,即得HfO2纳米颗粒。
所述步骤(1)中四氯化铪溶液的浓度为0.025M。
所述步骤(2)中氢氧化钠溶液的浓度为0.20M。
所述步骤(3)中溶剂为乙醇;十二胺溶液的浓度为0.10M。
四氯化铪溶液、氢氧化钠溶液、十二胺溶液的体积比为5-9:7-12:1-3。
所述步骤(3)中常温磁力搅拌时间为1-2h。
所述步骤(3)中水热反应为:在反应釜中,160℃下反应24h。
所述步骤(3)中分离、洗涤为:在10000rmp下离心分离10min,得到的沉淀依次用去离子水和无水乙醇交替洗涤,超声分散和离心。
所述步骤(3)中干燥温度为60℃,干燥时间为12h。
所述步骤(3)HfO2纳米颗粒的粒径大小为4nm。
有益效果
(1)本发明操作简单,重复性好,可大量生产;
(2)本发明得到的HfO2纳米颗粒粒径分布窄,具有良好的应用前景。
附图说明
图1是水热法制备HfO2纳米颗粒的工艺流程图;
图2是水热法制备HfO2纳米颗粒的X射线衍射图;
图3是实施例1中水热法制备HfO2纳米颗粒的透射电镜图;
图4是实施例2中水热法制备HfO2纳米颗粒的透射电镜图;
图5是水热法制备HfO2纳米颗粒的紫外吸收图。
具体实施方式
下面结合具体实施例,进一步阐述本发明。应理解,这些实施例仅用于说明本发明而不用于限制本发明的范围。此外应理解,在阅读了本发明讲授的内容之后,本领域技术人员可以对本发明作各种改动或修改,这些等价形式同样落于本申请所附权利要求书所限定的范围。
实施例1
1、称取0.16g的四氯化铪溶解于8mL去离子水中,得到氧氯化铪溶液;
2、称取0.08g的氢氧化钠,在常温下溶解于10mL的去离子水中,用胶头滴管将氢氧化钠溶液加入到上述溶液中,得到前驱体溶液;
3、称取0.3707g十二胺,溶解于2mL的乙醇中,得到的溶液与上述前驱体溶液混合,在常温下磁力搅拌2h,得到混合均匀的溶液;
4、将混合液转入100ml聚四氟乙烯内衬的不锈钢高压水热釜中,在160℃保温24h,待水热釜冷却至室温,将得到的混合液离心分离得到沉淀,去离子水和无水乙醇分别洗涤三次,于烘箱内60℃,干燥12h。
实施例2
1、称取0.16g的四氯化铪溶解于10mL去离子水中,得到氧氯化铪溶液;
2、称取0.08g的氢氧化钠,在常温下溶解于10mL的去离子水中,用胶头滴管将氢氧化钠溶液加入到上述溶液中,得到前驱体溶液;
3、将混合液转入100ml聚四氟乙烯内衬的不锈钢高压水热釜中,在160℃保温24h,待水热釜冷却至室温,将得到的混合液离心分离得到沉淀,去离子水和无水乙醇分别洗涤三次,于烘箱内60℃,干燥12h。

Claims (8)

1.一种以水热法制备HfO2纳米颗粒的方法,包括:
(1)将四氯化铪溶解在水中,得到氧氯化铪溶液;
(2)将氢氧化钠溶液滴加到上述氧氯化铪溶液中,得到前驱体溶液;
(3)将十二胺溶于溶剂中,得到十二胺溶液,然后和上述前驱体溶液混合,常温磁力搅拌,得到混合溶液,然后进行水热反应,分离、洗涤、干燥,即得HfO2纳米颗粒;其中水热反应为:在反应釜中,160℃下反应24h;步骤(3)HfO2纳米颗粒的粒径大小为4nm。
2.根据权利要求1所述的一种以水热法制备HfO2纳米颗粒的方法,其特征在于:所述步骤(1)中氧氯化铪溶液的浓度为0.025M。
3.根据权利要求1所述的一种以水热法制备HfO2纳米颗粒的方法,其特征在于:所述步骤(2)中氢氧化钠溶液的浓度为0.20M。
4.根据权利要求1所述的一种以水热法制备HfO2纳米颗粒的方法,其特征在于:所述步骤(3)中溶剂为乙醇;十二胺溶液的浓度为0.10M。
5.根据权利要求1所述的一种以水热法制备HfO2纳米颗粒的方法,其特征在于:氧氯化铪溶液、氢氧化钠溶液、十二胺溶液的体积比为5-9:7-12:1-3。
6.根据权利要求1所述的一种以水热法制备HfO2纳米颗粒的方法,其特征在于:所述步骤(3)中常温磁力搅拌时间为1-2h。
7.根据权利要求1所述的一种以水热法制备HfO2纳米颗粒的方法,其特征在于:所述步骤(3)中分离、洗涤为:在10000rmp下离心分离10min,得到的沉淀依次用去离子水和无水乙醇交替洗涤,超声分散和离心。
8.根据权利要求1所述的一种以水热法制备HfO2纳米颗粒的方法,其特征在于:所述步骤(3)中干燥温度为60℃,干燥时间为12h。
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