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CN104934356A - 一种大尺寸晶圆真空吸盘 - Google Patents

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Abstract

一种大尺寸晶圆真空吸盘涉及半导体制造设备技术领域。其包括：吸持面、吸持面固定螺钉、上吸孔、下吸孔、吸盘、多孔物、开孔支撑垫、开孔支撑垫固定螺栓、气道接口、气道接口固定螺栓。吸持面与吸盘通过可拆卸螺钉连接，吸持面与吸盘之间有密封垫。上吸孔位于吸持面上表面，下吸孔位于吸持面下表面，上吸孔直径小于下吸孔。多孔物位于吸持面下方由开孔支撑垫支撑，开孔支撑垫由开孔支撑垫固定螺栓与吸盘底部固定。开孔支撑垫与吸盘底面形成空腔，吸盘底部中心区域设有气道接口。本发明可避免晶圆受力不均匀，防止吸盘堵塞。

Description

一种大尺寸晶圆真空吸盘
技术领域
本发明涉及半导体制造设备技术领域，具体为一种大尺寸晶圆真空吸盘。
背景技术
真空吸盘时半导体加工设备上的主要部件，广泛用于半导体晶圆等磨削、抛光时的吸持与支撑。真空吸盘的性能在一定程度上决定着半导体器件的加工质量。目前，用于半导体晶圆吸持的真空吸盘易使晶圆受力不均，晶圆受力不均将严重影响晶圆的磨削质量，甚至造成碎片。此外，晶圆磨削过程产生的磨屑会随着清洗水回流到晶圆表面堵塞吸孔，难以清洗，甚至使吸盘报废，影响加工效率，增加了成本。所以，急需一种便于清洗的防堵塞晶圆吸盘。
发明内容
针对上述问题，本发明提出了一种大尺寸晶圆真空吸盘，可保证使用过程中便于清洗、不易堵塞、晶圆受力均匀。
本发明采用如下技术方案
一种大尺寸晶圆真空吸盘，包括：吸持面、吸持面固定螺钉、上吸孔、下吸孔、吸盘、多孔物、开孔支撑垫、开孔支撑垫固定螺栓、气道接口、气道接口固定螺栓。吸持面与吸盘通过吸持面固定螺钉连接，吸持面与吸盘之间设有密封垫，吸持面可进行拆卸便于内部清洗，吸持面吸孔布置区域稍高于吸持面边缘区域。上吸孔位于吸持面上表面，下吸孔位于吸持面下表面多孔物的上方，下吸孔直径大于上吸孔直径。多孔物位于吸持面下方由开孔支撑垫支撑，开孔支撑垫由开孔支撑垫固定螺栓与吸盘底部固定。开孔支撑垫与吸盘底面形成空腔，吸盘底部中心区域设有气道接口，气道接口与吸盘固定，气道接口与吸盘之间设有密封圈。
本发明可取的以下有益效果：
1.吸持面可进行拆卸便于吸盘内部的清洗，吸持面吸孔布置区域稍高于吸持面边缘区域，一定程度上可防止磨屑回流堵塞吸孔。
2.吸持面上下表面设置不同直径的吸孔，配合多孔物可便于颗粒的排出，防置堵塞。
3.开孔支撑垫、多孔物可分散真空吸附力，使晶圆受力均匀，提高晶圆磨削质量。
附图说明
图1吸盘整体结构示意图。
图2吸盘侧视结构示意图。
图3吸盘剖面结构示意图。
图4吸持面剖面结构示意图。
图中：
101—吸持面，102—吸持面固定螺钉，103—上吸孔，201—开孔支撑垫固定螺栓，202—气道接口，203—气道接口固定螺栓，301—开孔支撑垫，302—多孔物，401—下吸孔，402—吸持面螺孔。
具体实施方式：
下面结合附图对本发明进行详细说明：
图1为吸盘整体结构示意图，包括：吸持面101，吸持面固定螺钉102，上吸孔103，开孔支撑垫固定螺栓201，气道接口202，气道接口固定螺栓203，开孔支撑垫301，多孔物302，下吸孔401，吸持面螺孔402。吸持面101表面上吸孔103分布区域高于吸持面101边缘区域，可防止磨屑回流堵塞吸盘，吸持面101由吸持面固定螺钉102与吸盘侧壁固定。
图2为吸盘侧视结构示意图，吸持面101，开孔支撑垫固定螺栓201，气道接口202，气道接口固定螺栓203；气道接口202由气道接口固定螺栓203固定在吸盘底端。
图3为吸盘剖面结构示意图，吸持面101，吸持面固定螺钉102，上吸孔103，开孔支撑垫固定螺栓201，气道接口固定螺栓203，开孔支撑垫301，多孔物302；吸持面101底端为多孔物302，多孔物为多孔透气物质，抽真空时可使吸孔内负压分布均衡，上部吸孔103对晶圆进行均匀吸附。此外，磨屑颗粒可透过多孔物到达开孔支撑垫301；开孔支撑垫301用于支撑多孔物302，开孔支撑垫301上设有直径较大的通孔，一方面可排出磨屑颗粒，另一方面用于抽真空时的气道。
图4为吸持面剖面结构示意图，包括：吸持面101，上吸孔103，下吸孔401，吸持面螺孔402；上吸孔103的直径小于下吸孔401直径，此设计一方面可以较好吸附晶圆，另一方面可较好排出吸孔中的磨屑颗粒。

Claims (5)

1.一种大尺寸晶圆真空吸盘，其特征在于包括：吸持面(101)、吸持面固定螺钉(102)、上吸孔(103)、下吸孔(401)、多孔物(302)、开孔支撑垫(301)、开孔支撑垫固定螺栓(201)、气道接口(202)和气道接口固定螺栓(203)；吸持面(101)与吸盘侧壁通过吸持面固定螺钉(102)连接；上吸孔(103)位于吸持面上表面，下吸孔(401)位于吸持面下表面；多孔物(302)位于吸持面下方由开孔支撑垫支撑，开孔支撑垫(301)由开孔支撑垫固定螺栓(201)与吸盘底端固定；开孔支撑垫(301)与吸盘底面形成空腔，吸盘底部中心区域设有气道接口(202)，气道接口(202)与吸盘底部通过气道接口固定螺栓(203)固定。
2.根据权利要求1所述的一种大尺寸晶圆真空吸盘，其特征在于，吸持面(101)与吸盘侧壁之间有密封垫。
3.根据权利要求1所述的一种大尺寸晶圆真空吸盘，其特征在于，吸持面(101)上的上吸孔(103)布置区域高于吸持面边缘区域。
4.根据权利要求1所述的一种大尺寸晶圆真空吸盘，其特征在于，上吸孔(103)直径小于下吸孔(401)直径。
5.根据权利要求1所述的一种大尺寸晶圆真空吸盘，其特征在于，多孔物(302)为带孔透气物质。
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