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WO2024142662A1 - Resin material, cured article, and multilayer printed wiring board - Google Patents

Resin material, cured article, and multilayer printed wiring board Download PDF

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WO2024142662A1
WO2024142662A1 PCT/JP2023/041619 JP2023041619W WO2024142662A1 WO 2024142662 A1 WO2024142662 A1 WO 2024142662A1 JP 2023041619 W JP2023041619 W JP 2023041619W WO 2024142662 A1 WO2024142662 A1 WO 2024142662A1
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WO
WIPO (PCT)
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compound
resin material
thermosetting compound
maleimide
weight
Prior art date
Application number
PCT/JP2023/041619
Other languages
French (fr)
Japanese (ja)
Inventor
悠太 大當
奨 馬場
さやか 脇岡
良平 増井
Original Assignee
積水化学工業株式会社
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Filing date
Publication date
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    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
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    • B32B15/04Layered products comprising a layer of metal comprising metal as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08FMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
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    • C08F22/36Amides or imides
    • C08F22/40Imides, e.g. cyclic imides
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
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    • C08G73/10Polyimides; Polyester-imides; Polyamide-imides; Polyamide acids or similar polyimide precursors
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    • C08K3/00Use of inorganic substances as compounding ingredients
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    • C08L33/24Homopolymers or copolymers of amides or imides
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08LCOMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
    • C08L79/00Compositions of macromolecular compounds obtained by reactions forming in the main chain of the macromolecule a linkage containing nitrogen with or without oxygen or carbon only, not provided for in groups C08L61/00 - C08L77/00
    • C08L79/04Polycondensates having nitrogen-containing heterocyclic rings in the main chain; Polyhydrazides; Polyamide acids or similar polyimide precursors
    • C08L79/08Polyimides; Polyester-imides; Polyamide-imides; Polyamide acids or similar polyimide precursors
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/03Use of materials for the substrate

Definitions

  • the present invention relates to a resin material containing a maleimide compound.
  • the present invention also relates to a cured product of the resin material.
  • the present invention also relates to a multilayer printed wiring board using the resin material.
  • resin materials have been used to obtain electronic components such as semiconductor devices, laminates, and printed wiring boards.
  • resin materials are used to form insulating layers for insulating between internal layers and to form insulating layers located on the surface.
  • Wiring which is generally metal, is laminated on the surface of the insulating layer.
  • film-like resin materials resin films
  • the resin materials are used as insulating materials for multilayer printed wiring boards, including build-up films.
  • Item 4 The resin material according to any one of items 1 to 3, wherein the inorganic substance forming the hollow inorganic particles (B) includes silica, aluminosilicate, or silsesquioxane.
  • the resin material according to the present invention has the above-mentioned configuration, which allows for good lamination properties and low dielectric constant and dielectric tangent of the cured product.
  • the resin material according to the present invention uses hollow inorganic particles (B), which allows the dielectric constant and dielectric tangent of the cured product to be low.
  • the resin material according to the present invention uses, in addition to hollow inorganic particles (B), a maleimide compound (A) having 1) two or more maleimide groups, 2) a skeleton derived from dimer diamine, and 3) a skeleton derived from a diamine compound having an alicyclic skeleton other than dimer diamine, which allows the lamination properties to be improved.
  • the resin material according to the present invention is preferably a thermosetting resin material.
  • the resin film is preferably a thermosetting resin film.
  • “100% by weight of the components in the resin material excluding the solvent” means 100% by weight of the components in the resin material excluding the solvent when the resin material contains a solvent, and means 100% by weight of the resin material when the resin material does not contain a solvent. "100% by weight of the components in the resin material excluding the solvent” means 100% by weight of the non-volatile components in the resin material. In addition, in the following description, “100% by weight of the components in the resin material excluding the hollow inorganic particles (B) and the solvent” means 100% by weight of the components in the resin material excluding the hollow inorganic particles (B) and the solvent when the resin material contains hollow inorganic particles (B) and a solvent.
  • the second diamine compound has an aromatic skeleton.
  • the maleimide compound (A) has an aromatic skeleton.
  • the content of the maleimide compound (A) in 100% by weight of the components in the resin material excluding the hollow inorganic particles (B) and the solvent is preferably 20% by weight or more, more preferably 30% by weight or more, preferably 99% by weight or less, more preferably 95% by weight or less.
  • the content of the maleimide compound (A) is equal to or more than the above lower limit and equal to or less than the above upper limit, the lamination properties can be further improved.
  • the surface roughness after the roughening treatment can be further reduced, and the plating peel strength of the cured product can be further increased.
  • the hollow inorganic particles (B) are preferably surface-treated hollow inorganic particles, and more preferably surface-treated with a coupling agent.
  • a coupling agent By surface-treating the hollow inorganic particles (B), the surface roughness of the roughened cured product is further reduced, and the adhesive strength between the cured product and the metal layer is further increased.
  • finer wiring can be formed on the surface of the cured product, and better inter-wiring insulation reliability and inter-layer insulation reliability can be imparted to the cured product.
  • the hollow inorganic particles (B) can be produced by a conventionally known method.
  • the hollow inorganic particles (B) can be produced by, for example, the methods described in JP-A-2015-155373 and JP-A-2016-121026.
  • the content of hollow inorganic particles (B) in 100% by weight of the components excluding the solvent in the resin material is preferably 10% by weight or more, more preferably 15% by weight or more, preferably 60% by weight or less, more preferably 55% by weight or less, and even more preferably 50% by weight or less. If the content of hollow inorganic particles (B) is equal to or greater than the lower limit, the dielectric constant and dielectric tangent of the cured product of the resin material can be further reduced. In addition, the thermal dimensional stability can be improved, and warping of the cured product can be effectively suppressed.
  • the above amine compounds include diethylamine, triethylamine, diethylenetetramine, triethylenetetramine, diethylenetriamine, ethylenediamine, tris(dimethylaminomethyl)phenol, benzyldimethylamine, m-xylylenedi(dimethylamine), N,N'-dimethylpiperazine, N-methylpyrrolidine, N-methylhydroxypiperidine, m-xylylenediamine, isophoronediamine, N-aminoethylpiperazine, polyoxypropylenepolyamine, and 4,4-dimethylaminopyridine.
  • the amine compounds may also be modified versions of these amine compounds.
  • organic phosphorus compounds include organic phosphine compounds such as triphenylphosphine, tricyclohexylphosphine, tribenzylphosphine, diphenyl(alkylphenyl)phosphine, tris(alkylphenyl)phosphine, tris(alkoxyphenyl)phosphine, tris(alkylalkoxyphenyl)phosphine, tris(dialkylphenyl)phosphine, tris(trialkylphenyl)phosphine, tris(tetraalkylphenyl)phosphine, tris(dialkoxyphenyl)phosphine, tris(trialkoxyphenyl)phosphine, tris(tetraalkoxyphenyl)phosphine, trialkylphosphine, dialkylarylphosphine, and alkyldiarylphosphine, as well as phosphonium salt compounds such as triphenylpho
  • the above peroxides include diacyl peroxides, peroxy esters, peroxy dicarbonates, monoperoxy carbonates, peroxy ketals, dialkyl peroxides, dibenzyl peroxide, dicumyl peroxide, hydroperoxides, and ketone peroxides.
  • the curing accelerator (C) preferably contains an amine compound, an imidazole compound, a peroxide or an organic phosphorus compound, and more preferably contains an imidazole compound or a peroxide. In this case, the effect of the present invention can be exerted even more effectively.
  • the content of the curing accelerator (C) relative to 100 parts by weight of the total content of the maleimide compound (A) and the thermosetting compound (D) is preferably 0.01 parts by weight or more, more preferably 0.05 parts by weight or more, preferably 10 parts by weight or less, more preferably 5 parts by weight or less.
  • the content of the curing accelerator (C) is equal to or more than the above lower limit and equal to or less than the above upper limit, the effects of the present invention can be more effectively exhibited.
  • the thermosetting compound (D) is a thermosetting compound (D1), a thermosetting compound (D2), or a thermosetting compound (D3).
  • the thermosetting compound (D) is at least one of a thermosetting compound (D1), a thermosetting compound (D2), and a thermosetting compound (D3).
  • the thermosetting compound (D) may contain a thermosetting compound (D1), a thermosetting compound (D2), or a thermosetting compound (D3).
  • thermosetting compound (D3) is a thermosetting compound that does not have a maleimide group but has a functional group (D3).
  • the functional group (D3) is different from a maleimide group.
  • the functional group (D3) is a functional group capable of reacting with a maleimide group.
  • Thermosetting compound (D) has a functional group (maleimide group or functional group (D3)) that can react with the maleimide compound (A).
  • the maleimide groups of the thermosetting compound (D1) and the thermosetting compound (D2) can react with the maleimide group of the maleimide compound (A).
  • the functional group (D3) of the thermosetting compound (D3) can react with the maleimide group of the maleimide compound (A).
  • the thermosetting compound (D) preferably contains a thermosetting compound having an epoxy group, a vinyl group, a styryl group, a benzoxazine group, a cyanate group, an allyl group, a methacryloyl group, an acryloyl group, a hydroxyl group, a thiol group, an amino group, or a maleimide group. It is more preferable that the thermosetting compound (D) contains a thermosetting compound having an epoxy group, a vinyl group, a styryl group, a benzoxazine group, a cyanate group, an allyl group, a methacryloyl group, or a maleimide group.
  • thermosetting compound (D) contains a thermosetting compound having an epoxy group, a vinyl group, a styryl group, a benzoxazine group, an allyl group, a methacryloyl group, or a maleimide group. It is particularly preferable that the thermosetting compound (D) contains a thermosetting compound having a styryl group. In this case, the effect of the present invention can be exerted even more effectively.
  • the viscosity of the above-mentioned thermosetting compound that is liquid at 25°C is preferably 10,000 mPa ⁇ s or less, and more preferably 5,000 mPa ⁇ s or less at 25°C.
  • the molecular weight of the thermosetting compound (D) means the molecular weight that can be calculated from the structural formula when the thermosetting compound (D) is not a polymer and when the structural formula of the thermosetting compound (D) can be identified.
  • the thermosetting compound (D) is a polymer, it means the weight average molecular weight in terms of polystyrene measured by gel permeation chromatography (GPC).
  • the content of the thermosetting compound (D) in 100% by weight of the components excluding the solvent in the resin material is preferably 1% by weight or more, more preferably 5% by weight or more, and preferably 50% by weight or less, more preferably 40% by weight or less.
  • the content of the thermosetting compound (D) is equal to or more than the above lower limit and equal to or less than the above upper limit, the dielectric constant and dielectric tangent of the cured product can be further reduced, and the thermal dimensional stability of the cured product can be further improved.
  • the content of the thermosetting compound (D) in 100% by weight of the components in the resin material excluding the hollow inorganic particles (B) and the solvent is preferably 5% by weight or more, more preferably 10% by weight or more, and preferably 80% by weight or less, more preferably 70% by weight or less.
  • the content of the thermosetting compound (D) is equal to or more than the above lower limit and equal to or less than the above upper limit, the dielectric constant and dielectric tangent of the cured product can be further reduced, and the thermal dimensional stability of the cured product can be further improved.
  • the weight ratio of the content of the thermosetting compound (D) to the content of the maleimide compound (A) is preferably 0.1 or more, more preferably 0.2 or more, and preferably 4 or less, more preferably 3 or less.
  • the weight ratio (content of the thermosetting compound (D)/content of the maleimide compound (A)) is equal to or more than the above lower limit and equal to or less than the above upper limit, the effects of the present invention can be more effectively exhibited.
  • thermosetting compound (D1) thermosetting compound having one maleimide group
  • the thermosetting compound (D) may contain a thermosetting compound (D1) or may be a thermosetting compound (D1).
  • the resin material may contain a thermosetting compound (D1).
  • the thermosetting compound (D1) is a monofunctional maleimide compound.
  • the thermosetting compound (D1) may have an aliphatic skeleton, an alicyclic skeleton, or an aliphatic skeleton and an alicyclic skeleton.
  • the thermosetting compound (D1) may have an aromatic skeleton. Only one type of thermosetting compound (D1) may be used, or two or more types may be used in combination.
  • thermosetting compound (D1) examples include N-phenylmaleimide, N-propylmaleimide, N-laurylmaleimide, and N-cyclohexylmaleimide.
  • thermosetting compound (D1) is preferably N-phenylmaleimide. In this case, the effects of the present invention can be more effectively achieved.
  • the content of the thermosetting compound (D1) in 100% by weight of the components excluding the solvent in the resin material is preferably 1% by weight or more, more preferably 5% by weight or more, and preferably 50% by weight or less, more preferably 40% by weight or less.
  • the content of the thermosetting compound (D1) is equal to or more than the above lower limit and equal to or less than the above upper limit, the dielectric constant and dielectric tangent of the cured product can be further reduced, and the thermal dimensional stability of the cured product can be further improved.
  • thermosetting compound (D2) a thermosetting compound having two or more maleimide groups, which does not have at least one of the skeleton (i) derived from a dimer diamine and the skeleton (ii) derived from a diamine compound having an alicyclic skeleton other than a dimer diamine]
  • the thermosetting compound (D) may contain a thermosetting compound (D2) or may be a thermosetting compound (D2).
  • the resin material may contain a thermosetting compound (D2).
  • the thermosetting compound (D2) has two or more maleimide groups.
  • the thermosetting compound (D2) is a polyfunctional maleimide compound.
  • thermosetting compound (D2) does not have at least one of the skeleton (i) derived from dimer diamine and the skeleton (ii) derived from a diamine compound having an alicyclic skeleton other than dimer diamine.
  • the thermosetting compound (D2) is different from the maleimide compound (A).
  • the thermosetting compound (D2) may have the skeleton (i) derived from dimer diamine and may not have the skeleton (ii) derived from a diamine compound having an alicyclic skeleton other than dimer diamine.
  • the thermosetting compound (D2) may have 2 maleimide groups, 3 or more maleimide groups, 4 or more maleimide groups, 800 or less maleimide groups, 500 or less maleimide groups, or 300 or less maleimide groups.
  • thermosetting compound (D2) is a maleimide compound having two maleimide groups. Therefore, it is preferable that the thermosetting compound (D2) is a bismaleimide compound.
  • thermosetting compounds (D2) include “MIR-5000-60T” and “MIR-3000-70MT” manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., "NE-X-9470S” manufactured by DIC Corporation, “BMI-3000J”, “BMI-2500”, “BMI-1500”, and “BMI-687” manufactured by Designer Molecules Inc., and "BMI”, “BMI-70”, and “BMI-80” manufactured by Kei-I Chemicals Co., Ltd.
  • thermosetting compound (D3) may have one functional group (D3), two functional groups, two or more functional groups, three or more functional groups, four or more functional groups, 200 or less functional groups, 150 or less functional groups, or 100 or less functional groups.
  • the epoxy compound may be a glycidyl ether compound.
  • the glycidyl ether compound is a compound having at least one glycidyl ether group.
  • the epoxy compound contains an epoxy compound that is liquid at 25°C, and it is more preferable that the epoxy compound contains an epoxy compound that is liquid at 25°C and an epoxy compound that is solid at 25°C.
  • the epoxy compound contains an epoxy compound that is liquid at 25°C, a resin material with high fluidity is easily obtained when forming the insulating layer, and good lamination properties can be achieved.
  • the plating peel strength of the cured product can be further increased.
  • the molecular weight of the epoxy compound is preferably 1000 or less. In this case, a resin material with high fluidity is easily obtained when forming the insulating layer, and good lamination properties can be obtained. In addition, since good lamination properties can be obtained, the plating peel strength of the cured product can be further increased.
  • the molecular weight of the epoxy compound may be 50 or more, or may be 100 or more.
  • the content of the vinyl compound in the resin material (100% by weight, excluding the solvent) is preferably 1% by weight or more, more preferably 5% by weight or more, and preferably 50% by weight or less, and more preferably 40% by weight or less. If the content of the vinyl compound is equal to or more than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the dielectric constant and dielectric tangent of the cured product can be further reduced, and the thermal dimensional stability of the cured product can be further improved.
  • the thermosetting compound (D) may contain a thermosetting compound (cyanate compound) having a cyanate group, or may be a thermosetting compound (cyanate compound) having a cyanate group.
  • the thermosetting compound (D3) may contain a thermosetting compound (cyanate compound) having a cyanate group, or may be a thermosetting compound (cyanate compound) having a cyanate group.
  • the above cyanate compounds may be used alone or in combination of two or more.
  • the thermosetting compound (D) may contain a thermosetting compound (styryl compound) having a styryl group, or may be a thermosetting compound (styryl compound) having a styryl group.
  • the thermosetting compound (D3) may contain a thermosetting compound (styryl compound) having a styryl group, or may be a thermosetting compound (styryl compound) having a styryl group.
  • the styryl compound may be used alone or in combination of two or more.
  • the resin material does not contain or contains a solvent.
  • the resin material optionally contains a solvent.
  • the resin material may or may not contain a solvent.
  • the solvent may also be used to obtain a slurry containing hollow inorganic particles (B). Only one type of the solvent may be used, or two or more types may be used in combination.
  • the boiling point of the solvent is preferably 200°C or lower, more preferably 180°C or lower.
  • the content of the solvent in the resin composition is not particularly limited. The content of the solvent can be changed as appropriate, taking into account the coatability of the resin composition, etc.
  • thermoplastic resins include polyimide resins, phenoxy resins, and polyvinyl acetal resins.
  • the resin material may or may not contain glass cloth. It is preferable that the resin material does not contain glass cloth. It is preferable that the resin material is not a prepreg.
  • Methods for forming a resin composition into a film to obtain a resin film include the following: Extrusion molding, in which the resin composition is melt-kneaded and extruded using an extruder, and then molded into a film using a T-die or circular die. Casting molding, in which a resin composition containing a solvent is cast into a film. Other conventionally known film molding methods. Extrusion molding and casting molding are preferred because they can be made thinner. Films include sheets.
  • the resin film does not have to be a prepreg. If the resin film is not a prepreg, migration will not occur along the glass cloth or the like. In addition, when the resin film is laminated or precured, irregularities caused by the glass cloth will not occur on the surface.
  • the resin film can be used in the form of a laminated film comprising a metal foil or a base film and a resin film laminated on the surface of the metal foil or base film.
  • the metal foil is preferably a copper foil.
  • the multilayer board is a multilayer board comprising a circuit board, an insulating layer laminated on the surface of the circuit board, and copper foil laminated on the surface of the insulating layer opposite to the surface on which the circuit board is laminated.
  • the insulating layer is formed by using a copper-clad laminate comprising copper foil and a resin film laminated on one surface of the copper foil, and curing the resin film.
  • the copper foil is etched to form a copper circuit.
  • the insulating layers 13 to 16 are formed from a cured product of the above-mentioned resin material.
  • the surfaces of the insulating layers 13 to 16 are roughened, so that fine holes (not shown) are formed in the surfaces of the insulating layers 13 to 16.
  • the metal layer 17 extends into the fine holes.
  • the width dimension (L) of the metal layer 17 and the width dimension (S) of the portion where the metal layer 17 is not formed can be reduced.
  • good insulation reliability is provided between the upper metal layer and the lower metal layer that are not connected by via hole connections and through hole connections (not shown).
  • Glass transition temperature is 150° C. or higher.
  • Glass transition temperature is 130° C. or higher and less than 150° C.
  • Glass transition temperature is 100° C. or higher and less than 130° C.
  • Glass transition temperature is less than 100° C.

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Abstract

Provided is a resin material with which improved lamination properties as well as a decrease in dielectric constant and dielectric tangent of a cured article can be achieved. The resin material according to the present invention comprises a maleimide compound (A) having at least two maleimide groups, hollow inorganic particles (B) and a curing accelerator (C), in which the maleimide compound (A) has a skeleton derived from a dimer diamine and a skeleton derived from a diamine compound having an alicyclic backbone other than a dimer diamine.

Description

樹脂材料、硬化物及び多層プリント配線板Resin materials, cured products and multi-layer printed wiring boards
 本発明は、マレイミド化合物を含む樹脂材料に関する。また、本発明は、上記樹脂材料の硬化物に関する。さらに、本発明は、上記樹脂材料を用いた多層プリント配線板に関する。 The present invention relates to a resin material containing a maleimide compound. The present invention also relates to a cured product of the resin material. Furthermore, the present invention also relates to a multilayer printed wiring board using the resin material.
 従来、半導体装置、積層板及びプリント配線板等の電子部品を得るために、様々な樹脂材料が用いられている。例えば、多層プリント配線板では、内部の層間を絶縁するための絶縁層を形成したり、表層部分に位置する絶縁層を形成したりするために、樹脂材料が用いられている。上記絶縁層の表面には、一般に金属である配線が積層される。また、上記絶縁層を形成するために、フィルム状の樹脂材料(樹脂フィルム)が用いられることがある。上記樹脂材料は、ビルドアップフィルムを含む多層プリント配線板用の絶縁材料等として用いられている。 Traditionally, various resin materials have been used to obtain electronic components such as semiconductor devices, laminates, and printed wiring boards. For example, in multilayer printed wiring boards, resin materials are used to form insulating layers for insulating between internal layers and to form insulating layers located on the surface. Wiring, which is generally metal, is laminated on the surface of the insulating layer. Also, film-like resin materials (resin films) are sometimes used to form the insulating layers. The resin materials are used as insulating materials for multilayer printed wiring boards, including build-up films.
 下記の特許文献1には、(A)エポキシ樹脂、(B)硬化剤、及び(C)中空無機粒子を含み、(C)中空無機粒子が特定の構成を満たす樹脂組成物が開示されている。 The following Patent Document 1 discloses a resin composition that contains (A) an epoxy resin, (B) a curing agent, and (C) hollow inorganic particles, in which the (C) hollow inorganic particles satisfy a specific configuration.
特開2020-083966号公報JP 2020-083966 A
 上記特許文献1に記載のように、エポキシ化合物と中空無機粒子とを含む樹脂材料が知られている。中空無機粒子を用いることにより、樹脂材料の硬化物の誘電率及び誘電正接をある程度低くすることができる。 As described in Patent Document 1 above, a resin material containing an epoxy compound and hollow inorganic particles is known. By using hollow inorganic particles, the dielectric constant and dielectric tangent of the cured resin material can be lowered to a certain degree.
 しかしながら、中空無機粒子の比重は比較的小さいため、中空無機粒子を含む従来の樹脂材料では、樹脂材料中での中空無機粒子の分散性を高めることは困難である。中空無機粒子の分散性が低い樹脂材料を、凹凸表面を有する積層対象部材上にラミネートした場合には、ラミネートされた樹脂材料の表面(積層対象部材とは反対側の表面)に凹凸が生じるなど、ラミネート性が低下することがある。 However, because the specific gravity of hollow inorganic particles is relatively small, it is difficult to increase the dispersibility of hollow inorganic particles in conventional resin materials that contain hollow inorganic particles. When a resin material with low dispersibility of hollow inorganic particles is laminated onto a lamination target member having an uneven surface, unevenness may appear on the surface of the laminated resin material (the surface opposite the lamination target member), and lamination properties may be reduced.
 本発明の目的は、ラミネート性を良好にすることができ、かつ、硬化物の誘電率及び誘電正接を低くすることができる樹脂材料を提供することである。また、本発明は、上記樹脂材料の硬化物を提供することも目的とする。さらに、本発明は、上記樹脂材料を用いた多層プリント配線板を提供することも目的とする。 The object of the present invention is to provide a resin material that can improve lamination properties and reduce the dielectric constant and dielectric tangent of the cured product. Another object of the present invention is to provide a cured product of the above resin material. Furthermore, another object of the present invention is to provide a multilayer printed wiring board using the above resin material.
 本明細書において、以下の樹脂材料、硬化物及び多層プリント配線板を開示する。  This specification discloses the following resin material, cured product, and multilayer printed wiring board.
 項1.マレイミド基を2個以上有するマレイミド化合物(A)と、中空無機粒子(B)と、硬化促進剤(C)とを含み、前記マレイミド化合物(A)が、ダイマージアミンに由来する骨格と、ダイマージアミン以外の脂環式骨格を有するジアミン化合物に由来する骨格とを有する、樹脂材料。 Item 1. A resin material comprising a maleimide compound (A) having two or more maleimide groups, hollow inorganic particles (B), and a curing accelerator (C), wherein the maleimide compound (A) has a skeleton derived from a dimer diamine and a skeleton derived from a diamine compound having an alicyclic skeleton other than a dimer diamine.
 項2.前記ダイマージアミン以外の脂環式骨格を有するジアミン化合物が、トリシクロデカンジアミン、ノルボルナンジアミン又はイソホロンジアミンである、項1に記載の樹脂材料。 Item 2. The resin material according to Item 1, wherein the diamine compound having an alicyclic skeleton other than the dimer diamine is tricyclodecane diamine, norbornane diamine, or isophorone diamine.
 項3.樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、前記マレイミド化合物(A)の含有量が、10重量%以上80重量%以下である、項1又は2に記載の樹脂材料。 Item 3. The resin material according to item 1 or 2, in which the content of the maleimide compound (A) is 10% by weight or more and 80% by weight or less, based on 100% by weight of the components excluding the solvent in the resin material.
 項4.前記中空無機粒子(B)を形成する無機物が、シリカ、アルミノシリケート又はシルセスキオキサンを含む、項1~3のいずれか1項に記載の樹脂材料。 Item 4. The resin material according to any one of items 1 to 3, wherein the inorganic substance forming the hollow inorganic particles (B) includes silica, aluminosilicate, or silsesquioxane.
 項5.樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、前記中空無機粒子(B)の含有量が、60重量%以下である、項1~4のいずれか1項に記載の樹脂材料。 Item 5. The resin material according to any one of items 1 to 4, in which the content of the hollow inorganic particles (B) is 60% by weight or less based on 100% by weight of the components excluding the solvent in the resin material.
 項6.下記の熱硬化性化合物(D1)、下記の熱硬化性化合物(D2)又は下記の熱硬化性化合物(D3)である熱硬化性化合物(D)をさらに含む、項1~5のいずれか1項に記載の樹脂材料。 Item 6. The resin material according to any one of items 1 to 5, further comprising a thermosetting compound (D) which is the following thermosetting compound (D1), the following thermosetting compound (D2), or the following thermosetting compound (D3).
 熱硬化性化合物(D1):マレイミド基を1個有する熱硬化性化合物
 熱硬化性化合物(D2):マレイミド基を2個以上有する熱硬化性化合物であって、ダイマージアミンに由来する骨格(i)及びダイマージアミン以外の脂環式骨格を有するジアミン化合物に由来する骨格(ii)の内の少なくとも一方を有さない熱硬化性化合物
 熱硬化性化合物(D3):マレイミド基を有さずかつマレイミド基と反応可能な官能基を有する熱硬化性化合物
Thermosetting compound (D1): a thermosetting compound having one maleimide group. Thermosetting compound (D2): a thermosetting compound having two or more maleimide groups, which does not have at least one of the skeleton (i) derived from dimer diamine and the skeleton (ii) derived from a diamine compound having an alicyclic skeleton other than dimer diamine. Thermosetting compound (D3): a thermosetting compound having no maleimide group and a functional group capable of reacting with a maleimide group.
 項7.前記熱硬化性化合物(D)が、エポキシ基、ビニル基、スチリル基、ベンゾオキサジン基、シアネート基、アリル基、メタクリロイル基又はマレイミド基を有する熱硬化性化合物を含む、項6に記載の樹脂材料。 Item 7. The resin material according to Item 6, wherein the thermosetting compound (D) includes a thermosetting compound having an epoxy group, a vinyl group, a styryl group, a benzoxazine group, a cyanate group, an allyl group, a methacryloyl group, or a maleimide group.
 項8.樹脂フィルムである、項1~7のいずれか1項に記載の樹脂材料。 Item 8. The resin material according to any one of items 1 to 7, which is a resin film.
 項9.多層プリント配線板において、絶縁層を形成するために用いられる、項1~8のいずれか1項に記載の樹脂材料。 Item 9. The resin material described in any one of items 1 to 8, which is used to form an insulating layer in a multilayer printed wiring board.
 項10.樹脂材料の硬化物であって、前記樹脂材料が、項1~9のいずれか1項に記載の樹脂材料である、硬化物。 Item 10. A cured product of a resin material, the resin material being the resin material described in any one of items 1 to 9.
 項11.回路基板と、前記回路基板の表面上に配置された複数の絶縁層と、複数の前記絶縁層間に配置された金属層とを備え、複数の前記絶縁層の内の少なくとも1層が、項1~9のいずれか1項に記載の樹脂材料の硬化物である、多層プリント配線板。 Item 11. A multilayer printed wiring board comprising a circuit board, a plurality of insulating layers disposed on a surface of the circuit board, and a metal layer disposed between the plurality of insulating layers, at least one of the plurality of insulating layers being a cured product of the resin material described in any one of items 1 to 9.
 本発明に係る樹脂材料は、マレイミド基を2個以上有するマレイミド化合物(A)と、中空無機粒子(B)と、硬化促進剤(C)とを含み、上記マレイミド化合物(A)が、ダイマージアミンに由来する骨格と、ダイマージアミン以外の脂環式骨格を有するジアミン化合物に由来する骨格とを有する。本発明に係る樹脂材料では、上記の構成が備えられているので、ラミネート性を良好にすることができ、かつ、硬化物の誘電率及び誘電正接を低くすることができる。 The resin material according to the present invention includes a maleimide compound (A) having two or more maleimide groups, hollow inorganic particles (B), and a curing accelerator (C), and the maleimide compound (A) has a skeleton derived from dimer diamine and a skeleton derived from a diamine compound having an alicyclic skeleton other than dimer diamine. The resin material according to the present invention has the above-mentioned configuration, and therefore can have good lamination properties and can reduce the dielectric constant and dielectric tangent of the cured product.
図1は、本発明の一実施形態に係る樹脂材料を用いた多層プリント配線板を模式的に示す断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view showing a multilayer printed wiring board using a resin material according to one embodiment of the present invention.
 以下、本発明の詳細を説明する。 The details of the present invention are explained below.
 (樹脂材料)
 本発明に係る樹脂材料は、マレイミド基を2個以上有するマレイミド化合物(A)と、中空無機粒子(B)と、硬化促進剤(C)とを含み、上記マレイミド化合物(A)が、ダイマージアミンに由来する骨格と、ダイマージアミン以外の脂環式骨格を有するジアミン化合物に由来する骨格とを有する。
(Resin material)
The resin material according to the present invention comprises a maleimide compound (A) having two or more maleimide groups, hollow inorganic particles (B), and a curing accelerator (C), in which the maleimide compound (A) has a skeleton derived from a dimer diamine and a skeleton derived from a diamine compound having an alicyclic skeleton other than a dimer diamine.
 本発明に係る樹脂材料では、上記の構成が備えられているので、ラミネート性を良好にすることができ、かつ、硬化物の誘電率及び誘電正接を低くすることができる。 The resin material according to the present invention has the above-mentioned configuration, which allows for good lamination properties and low dielectric constant and dielectric tangent of the cured product.
 本発明に係る樹脂材料では、中空無機粒子(B)が用いられているので、硬化物の誘電率及び誘電正接を低くすることができる。また、本発明に係る樹脂材料では、中空無機粒子(B)に加えて、1)2個以上のマレイミド基、2)ダイマージアミンに由来する骨格及び3)ダイマージアミン以外の脂環式骨格を有するジアミン化合物に由来する骨格を有するマレイミド化合物(A)が用いられているので、ラミネート性を良好にすることができる。 The resin material according to the present invention uses hollow inorganic particles (B), which allows the dielectric constant and dielectric tangent of the cured product to be low. In addition, the resin material according to the present invention uses, in addition to hollow inorganic particles (B), a maleimide compound (A) having 1) two or more maleimide groups, 2) a skeleton derived from dimer diamine, and 3) a skeleton derived from a diamine compound having an alicyclic skeleton other than dimer diamine, which allows the lamination properties to be improved.
 また、本発明に係る樹脂材料では、硬化物のガラス転移温度を大きくすることができる。 In addition, the resin material according to the present invention can increase the glass transition temperature of the cured product.
 また、本発明に係る樹脂材料では、粗化処理後の表面粗度を小さくすることができ、粗化処理後の表面粗度のばらつきも抑えることができる。さらに、本発明に係る樹脂材料では、硬化物のメッキピール強度を高めることもできる。従って、本発明に係る樹脂材料では、これらの性能が求められる用途(例えばプリント配線板用途等)に好適に用いることができる。 In addition, the resin material according to the present invention can reduce the surface roughness after roughening treatment, and can also suppress the variation in surface roughness after roughening treatment. Furthermore, the resin material according to the present invention can increase the plating peel strength of the cured product. Therefore, the resin material according to the present invention can be suitably used in applications where these properties are required (for example, printed wiring board applications, etc.).
 本発明に係る樹脂材料は、樹脂組成物であってもよく、樹脂フィルムであってもよい。上記樹脂組成物は、流動性を有する。上記樹脂組成物は、ペースト状であってもよい。上記ペースト状には液状が含まれる。取扱性に優れることから、本発明に係る樹脂材料は、樹脂フィルムであることが好ましい。 The resin material according to the present invention may be a resin composition or a resin film. The resin composition has fluidity. The resin composition may be in a paste form. The paste form includes a liquid form. Since it is easy to handle, the resin material according to the present invention is preferably a resin film.
 本発明に係る樹脂材料は、熱硬化性樹脂材料であることが好ましい。上記樹脂材料が樹脂フィルムである場合には、該樹脂フィルムは、熱硬化性樹脂フィルムであることが好ましい。 The resin material according to the present invention is preferably a thermosetting resin material. When the resin material is a resin film, the resin film is preferably a thermosetting resin film.
 なお、以下の説明において、「上記樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%」は、上記樹脂材料が溶剤を含む場合には、上記樹脂材料中の上記溶剤を除く成分100重量%を意味し、上記樹脂材料が溶剤を含まない場合には、上記樹脂材料100重量%を意味する。「上記樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%」は、上記樹脂材料中の不揮発性成分100重量%を意味する。また、以下の説明において、「上記樹脂材料中の中空無機粒子(B)及び溶剤を除く成分100重量%」は、上記樹脂材料が中空無機粒子(B)及び溶剤を含む場合には、上記樹脂材料中の上記中空無機粒子(B)及び上記溶剤を除く成分100重量%を意味する。「上記樹脂材料中の中空無機粒子(B)及び溶剤を除く成分100重量%」は、上記樹脂材料が中空無機粒子(B)を含みかつ溶剤を含まない場合には、上記樹脂材料中の上記中空無機粒子(B)を除く成分100重量%を意味する。「上記樹脂材料中の中空無機粒子(B)及び溶剤を除く成分100重量%」は、上記樹脂材料中の中空無機粒子(B)を除く不揮発性成分100重量%を意味する。 In the following description, "100% by weight of the components in the resin material excluding the solvent" means 100% by weight of the components in the resin material excluding the solvent when the resin material contains a solvent, and means 100% by weight of the resin material when the resin material does not contain a solvent. "100% by weight of the components in the resin material excluding the solvent" means 100% by weight of the non-volatile components in the resin material. In addition, in the following description, "100% by weight of the components in the resin material excluding the hollow inorganic particles (B) and the solvent" means 100% by weight of the components in the resin material excluding the hollow inorganic particles (B) and the solvent when the resin material contains hollow inorganic particles (B) and a solvent. "100% by weight of the components in the resin material excluding the hollow inorganic particles (B) and the solvent" means 100% by weight of the components in the resin material excluding the hollow inorganic particles (B) when the resin material contains hollow inorganic particles (B) and does not contain a solvent. "100% by weight of components excluding hollow inorganic particles (B) and solvent in the resin material" means 100% by weight of non-volatile components excluding hollow inorganic particles (B) in the resin material.
 以下、本発明に係る樹脂材料に用いられる各成分の詳細、及び本発明に係る樹脂材料の用途などを説明する。 The following provides details about each component used in the resin material of the present invention, as well as applications of the resin material of the present invention.
 [マレイミド化合物(A)]
 上記樹脂材料は、マレイミド基を2個以上有するマレイミド化合物(マレイミド化合物(A))を含む。マレイミド化合物(A)は、マレイミド基を2個以上有するマレイミド化合物である。マレイミド化合物(A)は、ダイマージアミンに由来する骨格と、ダイマージアミン以外の脂環式骨格を有するジアミン化合物に由来する骨格とを有する。マレイミド化合物(A)は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Maleimide compound (A)]
The resin material includes a maleimide compound having two or more maleimide groups (maleimide compound (A)). The maleimide compound (A) is a maleimide compound having two or more maleimide groups. The maleimide compound (A) has a skeleton derived from dimer diamine and a skeleton derived from a diamine compound having an alicyclic skeleton other than dimer diamine. Only one type of maleimide compound (A) may be used, or two or more types may be used in combination.
 マレイミド化合物(A)は、マレイミド基を2個有していてもよく、3個以上有していてもよく、4個以上有していてもよく、800個以下有していてもよく、500個以下有していてもよく、300個以下有していてもよい。 The maleimide compound (A) may have 2 maleimide groups, 3 or more maleimide groups, 4 or more maleimide groups, 800 or less maleimide groups, 500 or less maleimide groups, or 300 or less maleimide groups.
 硬化物の誘電率及び誘電正接をより一層低くする観点からは、マレイミド化合物(A)は、マレイミド基を2個有するマレイミド化合物であることが好ましい。したがって、マレイミド化合物(A)は、ビスマレイミド化合物であることが好ましい。 From the viewpoint of further reducing the dielectric constant and dielectric tangent of the cured product, it is preferable that the maleimide compound (A) is a maleimide compound having two maleimide groups. Therefore, it is preferable that the maleimide compound (A) is a bismaleimide compound.
 本発明の効果を発揮する観点から、マレイミド化合物(A)は、ダイマージアミンに由来する骨格と、ダイマージアミン以外の脂環式骨格を有するジアミン化合物に由来する骨格とを有する。 In order to achieve the effects of the present invention, the maleimide compound (A) has a skeleton derived from a dimer diamine and a skeleton derived from a diamine compound having an alicyclic skeleton other than a dimer diamine.
 本明細書において、上記「ダイマージアミン以外の脂環式骨格を有するジアミン化合物」を「第2のジアミン化合物」と記載することがある。したがって、マレイミド化合物(A)は、ダイマージアミンに由来する骨格と、第2のジアミン化合物に由来する骨格とを有する。第2のジアミン化合物は、ダイマージアミン以外のジアミン化合物である。第2のジアミン化合物は、脂環式骨格を有する。 In this specification, the above-mentioned "diamine compound having an alicyclic skeleton other than dimer diamine" may be referred to as the "second diamine compound." Therefore, the maleimide compound (A) has a skeleton derived from dimer diamine and a skeleton derived from the second diamine compound. The second diamine compound is a diamine compound other than dimer diamine. The second diamine compound has an alicyclic skeleton.
 マレイミド化合物(A)は、ダイマージアミンに由来する骨格を有する。なお、ダイマージアミンに由来する骨格を有するマレイミド化合物(A)は、脂肪族骨格を有する。 The maleimide compound (A) has a skeleton derived from dimer diamine. The maleimide compound (A) having a skeleton derived from dimer diamine has an aliphatic skeleton.
 上記ダイマージアミン(上記ダイマージアミンの市販品)としては、BASFジャパン社製「バーサミン551」(3,4-ビス(1-アミノヘプチル)-6-ヘキシル-5-(1-オクテニル)シクロヘキセン)、コグニクスジャパン社製「バーサミン552」(バーサミン551の水添物)、並びに、クローダジャパン社製「PRIAMINE1075」及び「PRIAMINE1074」等が挙げられる。上記ダイマージアミンは、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。 Examples of the above dimer diamine (commercially available dimer diamine) include "VERSAMINE 551" (3,4-bis(1-aminoheptyl)-6-hexyl-5-(1-octenyl)cyclohexene) manufactured by BASF Japan, "VERSAMINE 552" (hydrogenated product of VERSAMINE 551) manufactured by Cognix Japan, and "PRIAMINE 1075" and "PRIAMINE 1074" manufactured by Croda Japan. Only one type of the above dimer diamine may be used, or two or more types may be used in combination.
 マレイミド化合物(A)は、第2のジアミン化合物に由来する骨格を有する。 The maleimide compound (A) has a skeleton derived from the second diamine compound.
 上記第2のジアミン化合物が有する上記脂環式骨格としては、モノシクロアルカン環、ビシクロアルカン環、トリシクロアルカン環、テトラシクロアルカン環、及びジシクロペンタジエン環等が挙げられる。上記第2のジアミン化合物は、上記脂環式骨格を1種のみ有していてもよく、2種以上有していてもよい。 The alicyclic skeleton of the second diamine compound includes a monocycloalkane ring, a bicycloalkane ring, a tricycloalkane ring, a tetracycloalkane ring, and a dicyclopentadiene ring. The second diamine compound may have only one type of alicyclic skeleton, or two or more types.
 上記第2のジアミン化合物は、脂肪族骨格を有していてもよく、有していなくてもよい。上記第2のジアミン化合物は、芳香族骨格を有していてもよく、有していなくてもよい。 The second diamine compound may or may not have an aliphatic skeleton. The second diamine compound may or may not have an aromatic skeleton.
 硬化物のガラス転移温度をより一層大きくする観点からは、上記第2のジアミン化合物は、芳香族骨格を有することが好ましい。マレイミド化合物(A)は、芳香族骨格を有することが好ましい。 From the viewpoint of further increasing the glass transition temperature of the cured product, it is preferable that the second diamine compound has an aromatic skeleton. It is preferable that the maleimide compound (A) has an aromatic skeleton.
 上記芳香族骨格としては、ベンゼン環、ナフタレン環、アントラセン環、フェナントレン環、テトラセン環、クリセン環、トリフェニレン環、テトラフェン環、ピレン環、ペンタセン環、ピセン環及びペリレン環等が挙げられる。マレイミド化合物(A)は、上記芳香族骨格を1種のみ有していてもよく、2種以上有していてもよい。 The aromatic skeleton includes a benzene ring, a naphthalene ring, an anthracene ring, a phenanthrene ring, a tetracene ring, a chrysene ring, a triphenylene ring, a tetraphene ring, a pyrene ring, a pentacene ring, a picene ring, and a perylene ring. The maleimide compound (A) may have only one type of the aromatic skeleton, or two or more types.
 上記第2のジアミン化合物としては、トリシクロデカンジアミン、ノルボルナンジアミン、イソホロンジアミン、1,3-ビス(アミノメチル)シクロヘキサン、1,4-ビス(アミノメチル)シクロヘキサン、ビス(アミノメチル)ノルボルナン、3(4),8(9)-ビス(アミノメチル)トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン、1,3-シクロヘキサンジアミン、1,4-シクロヘキサンジアミン、4,4’-メチレンビス(シクロヘキシルアミン)、4,4’-メチレンビス(2-メチルシクロヘキシルアミン)、1,4-ジアミノブタン、1,10-ジアミノデカン、1,12-ジアミノドデカン、1,7-ジアミノヘプタン、1,6-ジアミノヘキサン、1,5-ジアミノペンタン、1,8-ジアミノオクタン、1,3-ジアミノプロパン、1,11-ジアミノウンデカン、2-メチル-1,5-ジアミノペンタン、1,1-ビス(4-アミノフェニル)シクロヘキサン、2,7-ジアミノフルオレン、4,4’-エチレンジアニリン、4,4’-メチレンビス(2,6-ジエチルアニリン)、及び4,4’-メチレンビス(2-エチル-6-メチルアニリン)等が挙げられる。上記第2のジアミン化合物は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。 The second diamine compound may be tricyclodecanediamine, norbornanediamine, isophoronediamine, 1,3-bis(aminomethyl)cyclohexane, 1,4-bis(aminomethyl)cyclohexane, bis(aminomethyl)norbornane, 3(4),8(9)-bis(aminomethyl)tricyclo[5.2.1.02,6]decane, 1,3-cyclohexanediamine, 1,4-cyclohexanediamine, 4,4'-methylenebis(cyclohexylamine), 4,4'-methylenebis(2-methylcyclohexylamine), 1,4-diamino Examples of the second diamine compound include butane, 1,10-diaminodecane, 1,12-diaminododecane, 1,7-diaminoheptane, 1,6-diaminohexane, 1,5-diaminopentane, 1,8-diaminooctane, 1,3-diaminopropane, 1,11-diaminoundecane, 2-methyl-1,5-diaminopentane, 1,1-bis(4-aminophenyl)cyclohexane, 2,7-diaminofluorene, 4,4'-ethylenedianiline, 4,4'-methylenebis(2,6-diethylaniline), and 4,4'-methylenebis(2-ethyl-6-methylaniline). Only one type of the second diamine compound may be used, or two or more types may be used in combination.
 上記第2のジアミン化合物は、トリシクロデカンジアミン、ノルボルナンジアミン又はイソホロンジアミンであることが好ましい。この場合には、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができる。 The second diamine compound is preferably tricyclodecane diamine, norbornane diamine, or isophorone diamine. In this case, the effects of the present invention can be more effectively achieved.
 マレイミド化合物(A)は、酸二無水物に由来する骨格を有することが好ましく、ジアミン化合物と酸二無水物との反応物に由来する骨格を有することがより好ましく、ダイマージアミンと酸二無水物との反応物に由来する骨格を有することが更に好ましい。 The maleimide compound (A) preferably has a skeleton derived from an acid dianhydride, more preferably has a skeleton derived from a reaction product of a diamine compound and an acid dianhydride, and even more preferably has a skeleton derived from a reaction product of a dimer diamine and an acid dianhydride.
 上記酸二無水物としては、テトラカルボン酸二無水物等が挙げられる。上記テトラカルボン酸二無水物としては、ピロメリット酸二無水物、3,3’,4,4’-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’-ビフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、1,4,5,8-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’-ビフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’-ジメチルジフェニルシランテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’-テトラフェニルシランテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4-フランテトラカルボン酸二無水物、4,4’-ビス(3,4-ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルスルフィド二無水物、4,4’-ビス(3,4-ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルスルホン二無水物、4,4’-ビス(3,4-ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルプロパン二無水物、3,3’,4,4’-パーフルオロイソプロピリデンジフタル酸二無水物、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ビス(フタル酸)フェニルホスフィンオキサイド二無水物、p-フェニレン-ビス(トリフェニルフタル酸)二無水物、m-フェニレン-ビス(トリフェニルフタル酸)二無水物、ビス(トリフェニルフタル酸)-4,4’-ジフェニルエーテル二無水物、及びビス(トリフェニルフタル酸)-4,4’-ジフェニルメタン二無水物等が挙げられる。上記酸二無水物は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。 Examples of the acid dianhydride include tetracarboxylic dianhydrides. Examples of the tetracarboxylic dianhydrides include pyromellitic dianhydride, 3,3',4,4'-benzophenone tetracarboxylic dianhydride, 3,3',4,4'-biphenylsulfone tetracarboxylic dianhydride, 1,4,5,8-naphthalene tetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7-naphthalene tetracarboxylic dianhydride, 3,3',4,4'-biphenyl ether tetracarboxylic dianhydride, 3,3',4,4'-dimethyldiphenylsilane tetracarboxylic dianhydride, 3,3',4,4'-tetraphenylsilane tetracarboxylic dianhydride, 1,2,3,4-furan tetracarboxylic dianhydride, 4,4'-bis(3,4-dicarboxyphenoxy)diphenylsulfonate, and 4,4'-bis(3,4-dicarboxyphenoxy)diphenylsulfonate. Examples of the dianhydride include 4,4'-bis(3,4-dicarboxyphenoxy)diphenylsulfone dianhydride, 4,4'-bis(3,4-dicarboxyphenoxy)diphenylpropane dianhydride, 3,3',4,4'-perfluoroisopropylidenediphthalic dianhydride, 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, bis(phthalic acid)phenylphosphine oxide dianhydride, p-phenylene-bis(triphenylphthalic acid) dianhydride, m-phenylene-bis(triphenylphthalic acid) dianhydride, bis(triphenylphthalic acid)-4,4'-diphenylether dianhydride, and bis(triphenylphthalic acid)-4,4'-diphenylmethane dianhydride. The above dianhydrides may be used alone or in combination of two or more.
 マレイミド化合物(A)の分子量は、好ましくは700以上、より好ましくは800以上、更に好ましくは900以上、好ましくは20万以下、より好ましくは10万以下、更に好ましくは5万以下である。上記分子量が上記下限以上及び上記上限以下であると、絶縁層の形成時に流動性が高い樹脂材料が得られやすく、ラミネート性を良好にすることができる。また、ラミネート性を良好にすることができるので、硬化物のメッキピール強度をより一層高めることができる。 The molecular weight of the maleimide compound (A) is preferably 700 or more, more preferably 800 or more, even more preferably 900 or more, and preferably 200,000 or less, more preferably 100,000 or less, even more preferably 50,000 or less. When the molecular weight is equal to or greater than the lower limit and equal to or less than the upper limit, a resin material with high fluidity is easily obtained when forming the insulating layer, and good lamination properties can be achieved. Furthermore, because good lamination properties can be achieved, the plating peel strength of the cured product can be further increased.
 マレイミド化合物(A)の分子量は、マレイミド化合物(A)が重合体ではない場合、及びマレイミド化合物(A)の構造式が特定できる場合は、当該構造式から算出できる分子量を意味する。また、マレイミド化合物(A)が重合体である場合は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により測定されたポリスチレン換算での重量平均分子量を意味する。 The molecular weight of the maleimide compound (A) means the molecular weight that can be calculated from the structural formula when the maleimide compound (A) is not a polymer and when the structural formula of the maleimide compound (A) can be identified. When the maleimide compound (A) is a polymer, it means the weight average molecular weight in terms of polystyrene measured by gel permeation chromatography (GPC).
 マレイミド化合物(A)は、例えば、テトラカルボン酸二無水物等の酸二無水物と、ダイマージアミンと、第2のジアミン化合物とを反応させて反応物を得た後、該反応物と無水マレイン酸とを反応させて得ることもできる。 The maleimide compound (A) can also be obtained by, for example, reacting an acid dianhydride such as a tetracarboxylic dianhydride with a dimer diamine and a second diamine compound to obtain a reaction product, and then reacting the reaction product with maleic anhydride.
 上記樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、マレイミド化合物(A)の含有量は、好ましくは10重量%以上、より好ましくは15重量%以上、更に好ましくは20重量%以上、好ましくは80重量%以下、より好ましくは70重量%以下、更に好ましくは60重量%以下である。マレイミド化合物(A)の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、ラミネート性をより一層良好にすることができる。また、粗化処理後の表面粗度をより一層小さくすることができ、さらに、硬化物のメッキピール強度をより一層高めることもできる。 The content of the maleimide compound (A) in 100% by weight of the components excluding the solvent in the resin material is preferably 10% by weight or more, more preferably 15% by weight or more, even more preferably 20% by weight or more, preferably 80% by weight or less, more preferably 70% by weight or less, and even more preferably 60% by weight or less. When the content of the maleimide compound (A) is equal to or more than the above lower limit and equal to or less than the above upper limit, the lamination properties can be further improved. In addition, the surface roughness after the roughening treatment can be further reduced, and the plating peel strength of the cured product can be further increased.
 上記樹脂材料中の中空無機粒子(B)及び溶剤を除く成分100重量%中、マレイミド化合物(A)の含有量は、好ましくは20重量%以上、より好ましくは30重量%以上、好ましくは99重量%以下、より好ましくは95重量%以下である。マレイミド化合物(A)の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、ラミネート性をより一層良好にすることができる。また、粗化処理後の表面粗度をより一層小さくすることができ、さらに、硬化物のメッキピール強度をより一層高めることもできる。 The content of the maleimide compound (A) in 100% by weight of the components in the resin material excluding the hollow inorganic particles (B) and the solvent is preferably 20% by weight or more, more preferably 30% by weight or more, preferably 99% by weight or less, more preferably 95% by weight or less. When the content of the maleimide compound (A) is equal to or more than the above lower limit and equal to or less than the above upper limit, the lamination properties can be further improved. In addition, the surface roughness after the roughening treatment can be further reduced, and the plating peel strength of the cured product can be further increased.
 [中空無機粒子(B)]
 上記樹脂材料は、中空無機粒子(中空無機粒子(B))を含む。中空無機粒子(B)は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Hollow inorganic particles (B)]
The resin material contains hollow inorganic particles (hollow inorganic particles (B)). The hollow inorganic particles (B) may be used alone or in combination of two or more kinds.
 中空無機粒子(B)は、中空を有する無機粒子である。中空無機粒子(B)は、中空と、該中空を囲む外殻とを有する。上記外殻で囲まれた上記中空の個数は、通常、1個である。 The hollow inorganic particles (B) are inorganic particles having a hollow space. The hollow inorganic particles (B) have a hollow space and an outer shell surrounding the hollow space. The number of the hollow spaces surrounded by the outer shell is usually one.
 中空無機粒子(B)は、無機物により形成されている。より具体的には、中空無機粒子(B)の上記外殻は、無機物により形成されている。 The hollow inorganic particles (B) are formed from an inorganic material. More specifically, the outer shell of the hollow inorganic particles (B) is formed from an inorganic material.
 中空無機粒子(B)を形成する無機物としては、シリカ、アルミノシリケート、シルセスキオキサン、アルミナ、ガラス、コーディエライト、シリコン酸化物、硫酸バリウム、炭酸バリウム、タルク、クレイ、雲母粉、酸化亜鉛、ハイドロタルサイト、ベーマイト、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、酸化マグネシウム、窒化ホウ素、窒化アルミニウム、窒化マンガン、ホウ酸アルミニウム、炭酸ストロンチウム、チタン酸ストロンチウム、チタン酸カルシウム、チタン酸マグネシウム、チタン酸ビスマス、酸化チタン、酸化ジルコニウム、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸バリウム、ジルコン酸バリウム、ジルコン酸カルシウム、リン酸ジルコニウム、及びリン酸タングステン酸ジルコニウム等が挙げられる。上記無機物は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。 Inorganic substances that form the hollow inorganic particles (B) include silica, aluminosilicate, silsesquioxane, alumina, glass, cordierite, silicon oxide, barium sulfate, barium carbonate, talc, clay, mica powder, zinc oxide, hydrotalcite, boehmite, aluminum hydroxide, magnesium hydroxide, calcium carbonate, magnesium carbonate, magnesium oxide, boron nitride, aluminum nitride, manganese nitride, aluminum borate, strontium carbonate, strontium titanate, calcium titanate, magnesium titanate, bismuth titanate, titanium oxide, zirconium oxide, barium titanate, barium zirconate titanate, barium zirconate, calcium zirconate, zirconium phosphate, and zirconium tungstate phosphate. The above inorganic substances may be used alone or in combination of two or more.
 中空無機粒子(B)を形成する無機物は、シリカ、アルミノシリケート又はシルセスキオキサンを含むことが好ましく、シリカ又はアルミノシリケートを含むことが好ましい。中空無機粒子(B)は、中空シリカ粒子、中空アルミノシリケート粒子又は中空シルセスキオキサン粒子を含むことが好ましく、中空シリカ粒子又は中空アルミノシリケート粒子を含むことが好ましい。この場合には、樹脂材料の硬化物の誘電率及び誘電正接をより一層低くすることができる。 The inorganic material forming the hollow inorganic particles (B) preferably contains silica, aluminosilicate, or silsesquioxane, and more preferably contains silica or aluminosilicate. The hollow inorganic particles (B) preferably contain hollow silica particles, hollow aluminosilicate particles, or hollow silsesquioxane particles, and more preferably contain hollow silica particles or hollow aluminosilicate particles. In this case, the dielectric constant and dielectric tangent of the cured product of the resin material can be further reduced.
 中空無機粒子(B)の平均粒径は、好ましくは50nm以上、より好ましくは75nm以上、更に好ましくは100nm以上、好ましくは10μm以下、より好ましくは5μm以下、更に好ましくは2μm以下である。上記平均粒径が上記下限以上及び上記上限以下であると、エッチング後の表面粗度を小さくし、かつメッキピール強度を高くすることができ、また、絶縁層と金属層との密着性をより一層高めることができる。 The average particle size of the hollow inorganic particles (B) is preferably 50 nm or more, more preferably 75 nm or more, even more preferably 100 nm or more, and preferably 10 μm or less, more preferably 5 μm or less, and even more preferably 2 μm or less. When the average particle size is equal to or greater than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the surface roughness after etching can be reduced and the plating peel strength can be increased, and the adhesion between the insulating layer and the metal layer can be further improved.
 中空無機粒子(B)の平均粒径として、50%となるメディアン径(d50)の値が採用される。上記平均粒径は、レーザー回折散乱方式の粒度分布測定装置を用いて測定可能である。なお、中空無機粒子(B)が凝集粒子の場合には、中空無機粒子(B)の平均粒径は、一次粒子径を意味する。 The value of the median diameter (d50) at 50% is adopted as the average particle diameter of the hollow inorganic particles (B). The above average particle diameter can be measured using a particle size distribution measuring device that uses a laser diffraction scattering method. Note that, when the hollow inorganic particles (B) are agglomerated particles, the average particle diameter of the hollow inorganic particles (B) means the primary particle diameter.
 中空無機粒子(B)の形状は特に限定されないが、中空無機粒子(B)は、球状であることが好ましい。この場合には、硬化物の表面の表面粗さが効果的に小さくなり、更に硬化物と金属層との接着強度が効果的に高くなる。中空無機粒子(B)が球状である場合には、中空無機粒子(B)のアスペクト比は、好ましくは2以下、より好ましくは1.5以下である。 The shape of the hollow inorganic particles (B) is not particularly limited, but it is preferable that the hollow inorganic particles (B) are spherical. In this case, the surface roughness of the cured product is effectively reduced, and the adhesive strength between the cured product and the metal layer is effectively increased. When the hollow inorganic particles (B) are spherical, the aspect ratio of the hollow inorganic particles (B) is preferably 2 or less, more preferably 1.5 or less.
 中空無機粒子(B)の内部に含まれる空孔の数(中空の数)は、特に限定されないが、1個であることが好ましい。 The number of holes (number of hollows) contained inside the hollow inorganic particle (B) is not particularly limited, but it is preferable that the number is one.
 中空無機粒子(B)の空孔率は、好ましくは20体積%以上、より好ましくは30体積%以上、更に好ましくは40体積%以上、好ましくは90体積%以下、より好ましくは85体積%以下、更に好ましくは80体積%以下である。上記空孔率が上記下限以上及び上記上限以下であると、樹脂材料の硬化物の誘電率及び誘電正接をより一層低くすることができる。 The porosity of the hollow inorganic particles (B) is preferably 20% by volume or more, more preferably 30% by volume or more, even more preferably 40% by volume or more, and preferably 90% by volume or less, more preferably 85% by volume or less, and even more preferably 80% by volume or less. If the porosity is equal to or greater than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the dielectric constant and dielectric tangent of the cured product of the resin material can be further reduced.
 中空無機粒子(B)の内部に含まれる空孔の数(中空の数)が1個の場合の空孔率は以下のようにして算出することができる。透過電子顕微鏡(TEM)を用いて、中空無機粒子(B)を撮影する。得られた顕微鏡写真から、任意の中空無機粒子(B)50個の粒子径をそれぞれ測定し、その平均値を平均粒子径(X)とする。また、中空無機粒子(B)を半分に切断し、透過電子顕微鏡(TEM)を用いて、切断された中空無機粒子(B)を撮影する。得られた顕微鏡写真から、任意の切断された中空無機粒子(B)50個の切断面の空洞部の直径を測定し、その平均値を空洞部の平均直径(Y)とする。下記式により空孔率を算出する。 When the number of holes (number of hollows) contained inside hollow inorganic particles (B) is one, the porosity can be calculated as follows. Photograph hollow inorganic particles (B) using a transmission electron microscope (TEM). From the obtained micrograph, the particle diameters of 50 arbitrary hollow inorganic particles (B) are measured, and the average value is taken as the average particle diameter (X). In addition, hollow inorganic particles (B) are cut in half, and the cut hollow inorganic particles (B) are photographed using a transmission electron microscope (TEM). From the obtained micrograph, the diameters of the cavities of the cut surfaces of 50 arbitrary cut hollow inorganic particles (B) are measured, and the average value is taken as the average diameter of the cavities (Y). Calculate the porosity using the following formula.
 空孔率(体積%)=(Y/X)×100
 X:平均粒子径(X)
 Y:空洞部の平均直径(Y)
Porosity (volume %)=(Y 3 /X 3 )×100
X: average particle size (X)
Y: average diameter of the cavity (Y)
 中空無機粒子(B)の内部に含まれる空孔の数(中空の数)が2個以上の場合の上記空孔率も、透過電子顕微鏡(TEM)を用いて、中空無機粒子(B)の粒子径から求められる中空無機粒子(B)の体積と、空洞部の直径から求められる空洞部の体積とから求めることができる。 When the number of holes (number of hollows) contained inside the hollow inorganic particles (B) is 2 or more, the above porosity can also be calculated using a transmission electron microscope (TEM) from the volume of the hollow inorganic particles (B) calculated from the particle diameter of the hollow inorganic particles (B) and the volume of the hollow parts calculated from the diameter of the hollow parts.
 中空無機粒子(B)は、表面処理された中空無機粒子であることが好ましく、カップリング剤により表面処理された中空無機粒子であることがより好ましい。中空無機粒子(B)が表面処理されていることにより、粗化硬化物の表面の表面粗さがより一層小さくなり、硬化物と金属層との接着強度がより一層高くなる。また、中空無機粒子(B)が表面処理されていることにより、硬化物の表面により一層微細な配線を形成することができ、かつより一層良好な配線間絶縁信頼性及び層間絶縁信頼性を硬化物に付与することができる。 The hollow inorganic particles (B) are preferably surface-treated hollow inorganic particles, and more preferably surface-treated with a coupling agent. By surface-treating the hollow inorganic particles (B), the surface roughness of the roughened cured product is further reduced, and the adhesive strength between the cured product and the metal layer is further increased. Furthermore, by surface-treating the hollow inorganic particles (B), finer wiring can be formed on the surface of the cured product, and better inter-wiring insulation reliability and inter-layer insulation reliability can be imparted to the cured product.
 上記カップリング剤としては、シランカップリング剤、チタンカップリング剤及びアルミニウムカップリング剤等が挙げられる。上記シランカップリング剤としては、メタクリルシラン、アクリルシラン、フェニルアミノシラン、フェニルシラン、イミダゾールシラン、ビニルシラン、アルキルアミノシラン、及びエポキシシラン等が挙げられる。 The above-mentioned coupling agents include silane coupling agents, titanium coupling agents, and aluminum coupling agents. The above-mentioned silane coupling agents include methacrylsilane, acrylic silane, phenylaminosilane, phenylsilane, imidazole silane, vinyl silane, alkylaminosilane, and epoxy silane.
 中空無機粒子(B)は、シランカップリング剤により表面処理された中空無機粒子であることが好ましく、ビニルシラン、フェニルアミノシラン又はフェニルシランにより表面処理された中空無機粒子であることがより好ましい。この場合には、ラミネート性をより一層良好にすることができる。また、ラミネート性を良好にすることができるので、硬化物のメッキピール強度をより一層高めることができる。 The hollow inorganic particles (B) are preferably hollow inorganic particles that have been surface-treated with a silane coupling agent, and more preferably hollow inorganic particles that have been surface-treated with vinyl silane, phenylamino silane, or phenyl silane. In this case, the lamination properties can be further improved. In addition, because the lamination properties can be improved, the plating peel strength of the cured product can be further increased.
 中空無機粒子(B)は従来公知の方法により製造することができる。中空無機粒子(B)は、例えば、特開2015-155373号公報及び特開2016-121026号公報等に記載の方法により、製造することができる。 The hollow inorganic particles (B) can be produced by a conventionally known method. The hollow inorganic particles (B) can be produced by, for example, the methods described in JP-A-2015-155373 and JP-A-2016-121026.
 上記樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、中空無機粒子(B)の含有量は、好ましくは10重量%以上、より好ましくは15重量%以上、好ましくは60重量%以下、より好ましくは55重量%以下、更に好ましくは50重量%以下である。中空無機粒子(B)の含有量が上記下限以上であると、樹脂材料の硬化物の誘電率及び誘電正接をより一層低くすることができる。また、熱寸法安定性を高め、硬化物の反りを効果的に抑えることができる。中空無機粒子(B)の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化物の表面の表面粗さをより一層小さくすることができ、かつ硬化物の表面により一層微細な配線を形成することができる。さらに、この中空無機粒子(B)の含有量であれば、硬化物の熱膨張率を低くすることと同時に、スミア除去性を良好にすることも可能である。 The content of hollow inorganic particles (B) in 100% by weight of the components excluding the solvent in the resin material is preferably 10% by weight or more, more preferably 15% by weight or more, preferably 60% by weight or less, more preferably 55% by weight or less, and even more preferably 50% by weight or less. If the content of hollow inorganic particles (B) is equal to or greater than the lower limit, the dielectric constant and dielectric tangent of the cured product of the resin material can be further reduced. In addition, the thermal dimensional stability can be improved, and warping of the cured product can be effectively suppressed. If the content of hollow inorganic particles (B) is equal to or greater than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the surface roughness of the cured product can be further reduced, and finer wiring can be formed on the surface of the cured product. Furthermore, with this content of hollow inorganic particles (B), it is possible to lower the thermal expansion coefficient of the cured product and at the same time improve smear removal properties.
 上記樹脂材料において、中空無機粒子(B)の含有量の、マレイミド化合物(A)の含有量に対する重量比(中空無機粒子(B)の含有量/マレイミド化合物(A)の含有量)は、好ましくは0.1以上、より好ましくは0.2以上、好ましくは3以下、より好ましくは2.5以下である。上記重量比(中空無機粒子(B)の含有量/マレイミド化合物(A)の含有量)が上記下限以上及び上記上限以下であると、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができる。 In the above resin material, the weight ratio of the content of hollow inorganic particles (B) to the content of maleimide compound (A) (content of hollow inorganic particles (B)/content of maleimide compound (A)) is preferably 0.1 or more, more preferably 0.2 or more, and preferably 3 or less, more preferably 2.5 or less. When the weight ratio (content of hollow inorganic particles (B)/content of maleimide compound (A)) is equal to or more than the above lower limit and equal to or less than the above upper limit, the effects of the present invention can be more effectively exhibited.
 上記樹脂材料において、中空無機粒子(B)の含有量の、マレイミド化合物(A)と熱硬化性化合物(D)との合計含有量に対する重量比(中空無機粒子(B)の含有量/マレイミド化合物(A)と熱硬化性化合物(D)との合計含有量)は、好ましくは0.05以上、より好ましくは0.1以上、好ましくは2以下、より好ましくは1.5以下である。上記重量比(中空無機粒子(B)の含有量/マレイミド化合物(A)と熱硬化性化合物(D)との合計含有量)が上記下限以上及び上記上限以下であると、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができる。 In the above resin material, the weight ratio of the content of hollow inorganic particles (B) to the total content of maleimide compound (A) and thermosetting compound (D) (content of hollow inorganic particles (B)/total content of maleimide compound (A) and thermosetting compound (D)) is preferably 0.05 or more, more preferably 0.1 or more, preferably 2 or less, more preferably 1.5 or less. When the weight ratio (content of hollow inorganic particles (B)/total content of maleimide compound (A) and thermosetting compound (D)) is equal to or more than the above lower limit and equal to or less than the above upper limit, the effects of the present invention can be exhibited even more effectively.
 [硬化促進剤(C)]
 上記樹脂材料は、硬化促進剤(硬化促進剤(C))を含む。硬化促進剤(C)の使用により、硬化速度がより一層速くなる。樹脂材料を速やかに硬化させることで、硬化物における架橋構造が均一になるとともに、未反応の官能基数が減り、結果的に架橋密度が高くなる。また、硬化促進剤(C)の使用により、樹脂材料を比較的低い温度でも良好に硬化させることができる。硬化促進剤(C)は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Curing Accelerator (C)]
The resin material contains a curing accelerator (curing accelerator (C)). The use of the curing accelerator (C) further accelerates the curing speed. By quickly curing the resin material, the crosslinked structure in the cured product becomes uniform, and the number of unreacted functional groups is reduced, resulting in a high crosslink density. In addition, the use of the curing accelerator (C) allows the resin material to be cured well even at a relatively low temperature. Only one type of curing accelerator (C) may be used, or two or more types may be used in combination.
 硬化促進剤(C)としては、イミダゾール化合物等のアニオン性硬化促進剤;アミン化合物等のカチオン性硬化促進剤;有機リン化合物及び有機金属化合物等のアニオン性及びカチオン性硬化促進剤以外の硬化促進剤;過酸化物等のラジカル性硬化促進剤等が挙げられる。 Examples of the curing accelerator (C) include anionic curing accelerators such as imidazole compounds; cationic curing accelerators such as amine compounds; curing accelerators other than anionic and cationic curing accelerators such as organophosphorus compounds and organometallic compounds; and radical curing accelerators such as peroxides.
 上記イミダゾール化合物としては、2-ウンデシルイミダゾール、2-ヘプタデシルイミダゾール、2-メチルイミダゾール、2-エチル-4-メチルイミダゾール、2-フェニルイミダゾール、2-フェニル-4-メチルイミダゾール、1-ベンジル-2-メチルイミダゾール、1-ベンジル-2-フェニルイミダゾール、1,2-ジメチルイミダゾール、1-シアノエチル-2-メチルイミダゾール、1-シアノエチル-2-エチル-4-メチルイミダゾール、1-シアノエチル-2-ウンデシルイミダゾール、1-シアノエチル-2-フェニルイミダゾール、1-シアノエチル-2-ウンデシルイミダゾリウムトリメリテイト、1-シアノエチル-2-フェニルイミダゾリウムトリメリテイト、2,4-ジアミノ-6-[2’-メチルイミダゾリル-(1’)]-エチル-s-トリアジン、2,4-ジアミノ-6-[2’-ウンデシルイミダゾリル-(1’)]-エチル-s-トリアジン、2,4-ジアミノ-6-[2’-エチル-4’-メチルイミダゾリル-(1’)]-エチル-s-トリアジン、2,4-ジアミノ-6-[2’-メチルイミダゾリル-(1’)]-エチル-s-トリアジンイソシアヌル酸付加物、2-フェニルイミダゾールイソシアヌル酸付加物、2-メチルイミダゾールイソシアヌル酸付加物、2-フェニル-4,5-ジヒドロキシメチルイミダゾール及び2-フェニル-4-メチル-5-ジヒドロキシメチルイミダゾール等が挙げられる。 The above imidazole compounds include 2-undecylimidazole, 2-heptadecylimidazole, 2-methylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole, 1-benzyl-2-methylimidazole, 1-benzyl-2-phenylimidazole, 1,2-dimethylimidazole, 1-cyanoethyl-2-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-ethyl-4-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazolium trimellitate, and 1-cyanoethyl-2-phenylimidazolium trimethylate. Limellitate, 2,4-diamino-6-[2'-methylimidazolyl-(1')]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6-[2'-undecylimidazolyl-(1')]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6-[2'-ethyl-4'-methylimidazolyl-(1')]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6-[2'-methylimidazolyl-(1')]-ethyl-s-triazine isocyanuric acid adduct, 2-phenylimidazole isocyanuric acid adduct, 2-methylimidazole isocyanuric acid adduct, 2-phenyl-4,5-dihydroxymethylimidazole, and 2-phenyl-4-methyl-5-dihydroxymethylimidazole.
 上記アミン化合物としては、ジエチルアミン、トリエチルアミン、ジエチレンテトラミン、トリエチレンテトラミン、ジエチレントリアミン、エチレンジアミン、トリス(ジメチルアミノメチル)フェノール、ベンジルジメチルアミン、m-キシリレンジ(ジメチルアミン)、N,N’-ジメチルピペラジン、N-メチルピロリジン、N-メチルハイドロオキシピペリジン、m-キシリレンジアミン、イソホロンジアミン、N-アミノエチルピペラジン、ポリオキシプロピレンポリアミン、及び4,4-ジメチルアミノピリジン等が挙げられる。また、アミン化合物は、これらのアミン化合物の変性品であってもよい。 The above amine compounds include diethylamine, triethylamine, diethylenetetramine, triethylenetetramine, diethylenetriamine, ethylenediamine, tris(dimethylaminomethyl)phenol, benzyldimethylamine, m-xylylenedi(dimethylamine), N,N'-dimethylpiperazine, N-methylpyrrolidine, N-methylhydroxypiperidine, m-xylylenediamine, isophoronediamine, N-aminoethylpiperazine, polyoxypropylenepolyamine, and 4,4-dimethylaminopyridine. The amine compounds may also be modified versions of these amine compounds.
 上記有機リン化合物としては、トリフェニルホスフィン、トリシクロヘキシルホスフィン、トリベンジルホスフィン、ジフェニル(アルキルフェニル)ホスフィン、トリス(アルキルフェニル)ホスフィン、トリス(アルコキシフェニル)ホスフィン、トリス(アルキルアルコキシフェニル)ホスフィン、トリス(ジアルキルフェニル)ホスフィン、トリス(トリアルキルフェニル)ホスフィン、トリス(テトラアルキルフェニル)ホスフィン、トリス(ジアルコキシフェニル)ホスフィン、トリス(トリアルコキシフェニル)ホスフィン、トリス(テトラアルコキシフェニル)ホスフィン、トリアルキルホスフィン、ジアルキルアリールホスフィン、及びアルキルジアリールホスフィン等の有機ホスフィン化合物、並びに、テトラフェニルホスホニウム・テトラフェニルボレート等のホスホニウム塩化合物等が挙げられる。 The above-mentioned organic phosphorus compounds include organic phosphine compounds such as triphenylphosphine, tricyclohexylphosphine, tribenzylphosphine, diphenyl(alkylphenyl)phosphine, tris(alkylphenyl)phosphine, tris(alkoxyphenyl)phosphine, tris(alkylalkoxyphenyl)phosphine, tris(dialkylphenyl)phosphine, tris(trialkylphenyl)phosphine, tris(tetraalkylphenyl)phosphine, tris(dialkoxyphenyl)phosphine, tris(trialkoxyphenyl)phosphine, tris(tetraalkoxyphenyl)phosphine, trialkylphosphine, dialkylarylphosphine, and alkyldiarylphosphine, as well as phosphonium salt compounds such as tetraphenylphosphonium and tetraphenylborate.
 上記有機金属化合物としては、ナフテン酸亜鉛、ナフテン酸コバルト、オクチル酸スズ、オクチル酸コバルト、ビスアセチルアセトナートコバルト(II)及びトリスアセチルアセトナートコバルト(III)等が挙げられる。 The above-mentioned organometallic compounds include zinc naphthenate, cobalt naphthenate, tin octoate, cobalt octoate, cobalt bisacetylacetonate (II), and cobalt trisacetylacetonate (III).
 上記過酸化物としては、ジアシルパーオキサイド、パーオキシエステル、パーオキシジカボネート、モノパーオキシカーボネート、パーオキシケタール、ジアルキルパーオキサイド、ジベンジルパーオキサイド、ジクミルパーオキサイド、ハイドロパーオキサイド、及びケトンパーオキサイド等が挙げられる。 The above peroxides include diacyl peroxides, peroxy esters, peroxy dicarbonates, monoperoxy carbonates, peroxy ketals, dialkyl peroxides, dibenzyl peroxide, dicumyl peroxide, hydroperoxides, and ketone peroxides.
 硬化促進剤(C)は、アミン化合物、イミダゾール化合物、過酸化物又は有機リン化合物を含むことが好ましく、イミダゾール化合物又は過酸化物を含むことがより好ましい。この場合には、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができる。 The curing accelerator (C) preferably contains an amine compound, an imidazole compound, a peroxide or an organic phosphorus compound, and more preferably contains an imidazole compound or a peroxide. In this case, the effect of the present invention can be exerted even more effectively.
 上記樹脂材料において、マレイミド化合物(A)と熱硬化性化合物(D)との合計含有量100重量部に対する、硬化促進剤(C)の含有量は、好ましくは0.01重量部以上、より好ましくは0.05重量部以上、好ましくは10重量部以下、より好ましくは5重量部以下である。硬化促進剤(C)の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができる。 In the above resin material, the content of the curing accelerator (C) relative to 100 parts by weight of the total content of the maleimide compound (A) and the thermosetting compound (D) is preferably 0.01 parts by weight or more, more preferably 0.05 parts by weight or more, preferably 10 parts by weight or less, more preferably 5 parts by weight or less. When the content of the curing accelerator (C) is equal to or more than the above lower limit and equal to or less than the above upper limit, the effects of the present invention can be more effectively exhibited.
 [熱硬化性化合物(D)]
 上記樹脂材料は、下記の熱硬化性化合物(D1)、下記の熱硬化性化合物(D2)又は下記の熱硬化性化合物(D3)である熱硬化性化合物(D)を含まないか又は含む。
[Thermosetting compound (D)]
The resin material does not contain or contains a thermosetting compound (D), which is the following thermosetting compound (D1), the following thermosetting compound (D2), or the following thermosetting compound (D3).
 熱硬化性化合物(D1):マレイミド基を1個有する熱硬化性化合物
 熱硬化性化合物(D2):マレイミド基を2個以上有する熱硬化性化合物であって、ダイマージアミンに由来する骨格(i)及びダイマージアミン以外の脂環式骨格を有するジアミン化合物に由来する骨格(ii)の内の少なくとも一方を有さない熱硬化性化合物
 熱硬化性化合物(D3):マレイミド基を有さずかつマレイミド基と反応可能な官能基を有する熱硬化性化合物
Thermosetting compound (D1): a thermosetting compound having one maleimide group. Thermosetting compound (D2): a thermosetting compound having two or more maleimide groups, which does not have at least one of the skeleton (i) derived from dimer diamine and the skeleton (ii) derived from a diamine compound having an alicyclic skeleton other than dimer diamine. Thermosetting compound (D3): a thermosetting compound having no maleimide group and a functional group capable of reacting with a maleimide group.
 熱硬化性化合物(D)は、熱硬化性化合物(D1)、熱硬化性化合物(D2)又は熱硬化性化合物(D3)である。熱硬化性化合物(D)は、熱硬化性化合物(D1)、熱硬化性化合物(D2)及び熱硬化性化合物(D3)の内の少なくとも1種である。熱硬化性化合物(D)は、熱硬化性化合物(D1)を含んでいてもよく、熱硬化性化合物(D2)を含んでいてもよく、熱硬化性化合物(D3)を含んでいてもよい。 The thermosetting compound (D) is a thermosetting compound (D1), a thermosetting compound (D2), or a thermosetting compound (D3). The thermosetting compound (D) is at least one of a thermosetting compound (D1), a thermosetting compound (D2), and a thermosetting compound (D3). The thermosetting compound (D) may contain a thermosetting compound (D1), a thermosetting compound (D2), or a thermosetting compound (D3).
 また、本明細書において、熱硬化性化合物(D3)が有する上記「マレイミド基と反応可能な官能基」を「官能基(D3)」と記載することがある。したがって、熱硬化性化合物(D3)は、マレイミド基を有さずかつ官能基(D3)を有する熱硬化性化合物である。官能基(D3)は、マレイミド基とは異なる。官能基(D3)は、マレイミド基と反応可能な官能基である。 Furthermore, in this specification, the above-mentioned "functional group capable of reacting with a maleimide group" possessed by the thermosetting compound (D3) may be referred to as the "functional group (D3)." Therefore, the thermosetting compound (D3) is a thermosetting compound that does not have a maleimide group but has a functional group (D3). The functional group (D3) is different from a maleimide group. The functional group (D3) is a functional group capable of reacting with a maleimide group.
 熱硬化性化合物(D)は、マレイミド化合物(A)と反応可能な官能基(マレイミド基又は官能基(D3))を有する。熱硬化性化合物(D1)及び熱硬化性化合物(D2)が有するマレイミド基は、マレイミド化合物(A)が有するマレイミド基と反応可能である。熱硬化性化合物(D3)が有する官能基(D3)は、マレイミド化合物(A)が有するマレイミド基と反応可能である。 Thermosetting compound (D) has a functional group (maleimide group or functional group (D3)) that can react with the maleimide compound (A). The maleimide groups of the thermosetting compound (D1) and the thermosetting compound (D2) can react with the maleimide group of the maleimide compound (A). The functional group (D3) of the thermosetting compound (D3) can react with the maleimide group of the maleimide compound (A).
 熱硬化性化合物(D1)及び熱硬化性化合物(D2)はそれぞれ、マレイミド基とは異なる官能基であって、マレイミド基と反応可能な官能基を有していてもよい。熱硬化性化合物(D)、熱硬化性化合物(D1)、熱硬化性化合物(D2)及び熱硬化性化合物(D3)はそれぞれ、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。 The thermosetting compound (D1) and the thermosetting compound (D2) may each have a functional group that is different from a maleimide group and is capable of reacting with a maleimide group. The thermosetting compound (D), the thermosetting compound (D1), the thermosetting compound (D2), and the thermosetting compound (D3) may each be used alone or in combination of two or more kinds.
 熱硬化性化合物(D)は、エポキシ基、ビニル基、スチリル基、ベンゾオキサジン基、シアネート基、アリル基、メタクリロイル基、アクリロイル基、水酸基、チオール基、アミノ基又はマレイミド基を有する熱硬化性化合物を含むことが好ましい。熱硬化性化合物(D)は、エポキシ基、ビニル基、スチリル基、ベンゾオキサジン基、シアネート基、アリル基、メタクリロイル基又はマレイミド基を有する熱硬化性化合物を含むことがより好ましい。熱硬化性化合物(D)は、エポキシ基、ビニル基、スチリル基、ベンゾオキサジン基、アリル基、メタクリロイル基、又はマレイミド基を有する熱硬化性化合物を含むことが更に好ましい。熱硬化性化合物(D)は、スチリル基を有する熱硬化性化合物を含むことが特に好ましい。この場合には、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができる。 The thermosetting compound (D) preferably contains a thermosetting compound having an epoxy group, a vinyl group, a styryl group, a benzoxazine group, a cyanate group, an allyl group, a methacryloyl group, an acryloyl group, a hydroxyl group, a thiol group, an amino group, or a maleimide group. It is more preferable that the thermosetting compound (D) contains a thermosetting compound having an epoxy group, a vinyl group, a styryl group, a benzoxazine group, a cyanate group, an allyl group, a methacryloyl group, or a maleimide group. It is even more preferable that the thermosetting compound (D) contains a thermosetting compound having an epoxy group, a vinyl group, a styryl group, a benzoxazine group, an allyl group, a methacryloyl group, or a maleimide group. It is particularly preferable that the thermosetting compound (D) contains a thermosetting compound having a styryl group. In this case, the effect of the present invention can be exerted even more effectively.
 硬化物の誘電率及び誘電正接をより一層低くし、かつ硬化物の線膨張係数(CTE)を良好にする観点からは、熱硬化性化合物(D)は、25℃で液状の熱硬化性化合物を含むことが好ましく、25℃で液状の熱硬化性化合物と25℃で固形の熱硬化性化合物とを含むことがより好ましい。特に、熱硬化性化合物(D)が25℃で液状の熱硬化性化合物を含む場合には、絶縁層の形成時に流動性が高い樹脂材料が得られやすく、ラミネート性を良好にすることができる。また、ラミネート性を良好にすることができるので、硬化物のメッキピール強度をより一層高めることができる。 From the viewpoint of further reducing the dielectric constant and dielectric tangent of the cured product and improving the coefficient of linear expansion (CTE) of the cured product, it is preferable that the thermosetting compound (D) contains a thermosetting compound that is liquid at 25°C, and it is more preferable that the thermosetting compound contains a thermosetting compound that is liquid at 25°C and a thermosetting compound that is solid at 25°C. In particular, when the thermosetting compound (D) contains a thermosetting compound that is liquid at 25°C, a resin material with high fluidity is easily obtained when forming the insulating layer, and good lamination properties can be achieved. In addition, because good lamination properties can be achieved, the plating peel strength of the cured product can be further increased.
 上記25℃で液状の熱硬化性化合物の25℃での粘度は、10000mPa・s以下であることが好ましく、5000mPa・s以下であることがより好ましい。 The viscosity of the above-mentioned thermosetting compound that is liquid at 25°C is preferably 10,000 mPa·s or less, and more preferably 5,000 mPa·s or less at 25°C.
 熱硬化性化合物(D)の粘度は、例えば動的粘弾性測定装置(レオロジカ・インスツルメンツ社製「VAR-100」)等を用いて測定することができる。 The viscosity of the thermosetting compound (D) can be measured, for example, using a dynamic viscoelasticity measuring device ("VAR-100" manufactured by Rheologica Instruments).
 熱硬化性化合物(D)の分子量は、好ましくは100以上、より好ましくは200以上、更に好ましくは300以上、好ましくは20万以下、より好ましくは10万以下、更に好ましくは5万以下である。上記分子量が上記下限以上及び上記上限以下であると、絶縁層の形成時に流動性が高い樹脂材料が得られやすく、ラミネート性を良好にすることができる。また、ラミネート性を良好にすることができるので、硬化物のメッキピール強度をより一層高めることができる。 The molecular weight of the thermosetting compound (D) is preferably 100 or more, more preferably 200 or more, even more preferably 300 or more, and preferably 200,000 or less, more preferably 100,000 or less, even more preferably 50,000 or less. If the molecular weight is equal to or greater than the lower limit and equal to or less than the upper limit, a resin material with high fluidity is easily obtained when forming the insulating layer, and good lamination properties can be achieved. Furthermore, because good lamination properties can be achieved, the plating peel strength of the cured product can be further increased.
 熱硬化性化合物(D)の分子量は、熱硬化性化合物(D)が重合体ではない場合、及び熱硬化性化合物(D)の構造式が特定できる場合は、当該構造式から算出できる分子量を意味する。また、熱硬化性化合物(D)が重合体である場合は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により測定されたポリスチレン換算での重量平均分子量を意味する。 The molecular weight of the thermosetting compound (D) means the molecular weight that can be calculated from the structural formula when the thermosetting compound (D) is not a polymer and when the structural formula of the thermosetting compound (D) can be identified. When the thermosetting compound (D) is a polymer, it means the weight average molecular weight in terms of polystyrene measured by gel permeation chromatography (GPC).
 上記樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、熱硬化性化合物(D)の含有量は、好ましくは1重量%以上、より好ましくは5重量%以上、好ましくは50重量%以下、より好ましくは40重量%以下である。熱硬化性化合物(D)の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化物の誘電率及び誘電正接をより一層低くすることができ、また、硬化物の熱寸法安定性をより一層高めることができる。 The content of the thermosetting compound (D) in 100% by weight of the components excluding the solvent in the resin material is preferably 1% by weight or more, more preferably 5% by weight or more, and preferably 50% by weight or less, more preferably 40% by weight or less. When the content of the thermosetting compound (D) is equal to or more than the above lower limit and equal to or less than the above upper limit, the dielectric constant and dielectric tangent of the cured product can be further reduced, and the thermal dimensional stability of the cured product can be further improved.
 上記樹脂材料中の中空無機粒子(B)及び溶剤を除く成分100重量%中、熱硬化性化合物(D)の含有量は、好ましくは5重量%以上、より好ましくは10重量%以上、好ましくは80重量%以下、より好ましくは70重量%以下である。熱硬化性化合物(D)の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化物の誘電率及び誘電正接をより一層低くすることができ、また、硬化物の熱寸法安定性をより一層高めることができる。 The content of the thermosetting compound (D) in 100% by weight of the components in the resin material excluding the hollow inorganic particles (B) and the solvent is preferably 5% by weight or more, more preferably 10% by weight or more, and preferably 80% by weight or less, more preferably 70% by weight or less. When the content of the thermosetting compound (D) is equal to or more than the above lower limit and equal to or less than the above upper limit, the dielectric constant and dielectric tangent of the cured product can be further reduced, and the thermal dimensional stability of the cured product can be further improved.
 上記樹脂材料において、熱硬化性化合物(D)の含有量の、マレイミド化合物(A)の含有量に対する重量比(熱硬化性化合物(D)の含有量/マレイミド化合物(A)の含有量)は、好ましくは0.1以上、より好ましくは0.2以上、好ましくは4以下、より好ましくは3以下である。上記重量比(熱硬化性化合物(D)の含有量/マレイミド化合物(A)の含有量)が上記下限以上及び上記上限以下であると、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができる。 In the above resin material, the weight ratio of the content of the thermosetting compound (D) to the content of the maleimide compound (A) (content of the thermosetting compound (D)/content of the maleimide compound (A)) is preferably 0.1 or more, more preferably 0.2 or more, and preferably 4 or less, more preferably 3 or less. When the weight ratio (content of the thermosetting compound (D)/content of the maleimide compound (A)) is equal to or more than the above lower limit and equal to or less than the above upper limit, the effects of the present invention can be more effectively exhibited.
 [熱硬化性化合物(D1):マレイミド基を1個有する熱硬化性化合物]
 熱硬化性化合物(D)は、熱硬化性化合物(D1)を含んでいてもよく、熱硬化性化合物(D1)であってもよい。上記樹脂材料は、熱硬化性化合物(D1)を含んでいてもよい。熱硬化性化合物(D1)は、単官能マレイミド化合物である。熱硬化性化合物(D1)は、脂肪族骨格を有していてもよく、脂環式骨格を有していてもよく、脂肪族骨格と脂環式骨格とを有していてもよい。熱硬化性化合物(D1)は、芳香族骨格を有していてもよい。熱硬化性化合物(D1)は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Thermosetting compound (D1): thermosetting compound having one maleimide group]
The thermosetting compound (D) may contain a thermosetting compound (D1) or may be a thermosetting compound (D1). The resin material may contain a thermosetting compound (D1). The thermosetting compound (D1) is a monofunctional maleimide compound. The thermosetting compound (D1) may have an aliphatic skeleton, an alicyclic skeleton, or an aliphatic skeleton and an alicyclic skeleton. The thermosetting compound (D1) may have an aromatic skeleton. Only one type of thermosetting compound (D1) may be used, or two or more types may be used in combination.
 熱硬化性化合物(D1)としては、N-フェニルマレイミド、N-プロピルマレイミド、N-ラウリルマレイミド及びN-シクロヘキシルマレイミド等が挙げられる。 Examples of the thermosetting compound (D1) include N-phenylmaleimide, N-propylmaleimide, N-laurylmaleimide, and N-cyclohexylmaleimide.
 熱硬化性化合物(D1)は、N-フェニルマレイミドであることが好ましい。この場合には、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができる。 The thermosetting compound (D1) is preferably N-phenylmaleimide. In this case, the effects of the present invention can be more effectively achieved.
 上記樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、熱硬化性化合物(D1)の含有量は、好ましくは1重量%以上、より好ましくは5重量%以上、好ましくは50重量%以下、より好ましくは40重量%以下である。熱硬化性化合物(D1)の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化物の誘電率及び誘電正接をより一層低くすることができ、また、硬化物の熱寸法安定性をより一層高めることができる。 The content of the thermosetting compound (D1) in 100% by weight of the components excluding the solvent in the resin material is preferably 1% by weight or more, more preferably 5% by weight or more, and preferably 50% by weight or less, more preferably 40% by weight or less. When the content of the thermosetting compound (D1) is equal to or more than the above lower limit and equal to or less than the above upper limit, the dielectric constant and dielectric tangent of the cured product can be further reduced, and the thermal dimensional stability of the cured product can be further improved.
 [熱硬化性化合物(D2):マレイミド基を2個以上有する熱硬化性化合物であって、ダイマージアミンに由来する骨格(i)及びダイマージアミン以外の脂環式骨格を有するジアミン化合物に由来する骨格(ii)の内の少なくとも一方を有さない熱硬化性化合物]
 熱硬化性化合物(D)は、熱硬化性化合物(D2)を含んでいてもよく、熱硬化性化合物(D2)であってもよい。上記樹脂材料は、熱硬化性化合物(D2)を含んでいてもよい。熱硬化性化合物(D2)は、マレイミド基を2個以上有する。熱硬化性化合物(D2)は、多官能マレイミド化合物である。熱硬化性化合物(D2)は、ダイマージアミンに由来する骨格(i)及びダイマージアミン以外の脂環式骨格を有するジアミン化合物に由来する骨格(ii)の内の少なくとも一方を有さない。熱硬化性化合物(D2)は、マレイミド化合物(A)とは異なる。熱硬化性化合物(D2)は、ダイマージアミンに由来する骨格(i)を有しかつダイマージアミン以外の脂環式骨格を有するジアミン化合物に由来する骨格(ii)を有さなくてもよい。熱硬化性化合物(D2)は、ダイマージアミンに由来する骨格(i)を有さずかつダイマージアミン以外の脂環式骨格を有するジアミン化合物に由来する骨格(ii)を有していてもよい。熱硬化性化合物(D2)は、ダイマージアミンに由来する骨格(i)を有さずかつダイマージアミン以外の脂環式骨格を有するジアミン化合物に由来する骨格(ii)を有さなくてもよい。熱硬化性化合物(D2)は、芳香族骨格を有していてもよい。上記熱硬化性化合物(D2)は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Thermosetting compound (D2): a thermosetting compound having two or more maleimide groups, which does not have at least one of the skeleton (i) derived from a dimer diamine and the skeleton (ii) derived from a diamine compound having an alicyclic skeleton other than a dimer diamine]
The thermosetting compound (D) may contain a thermosetting compound (D2) or may be a thermosetting compound (D2). The resin material may contain a thermosetting compound (D2). The thermosetting compound (D2) has two or more maleimide groups. The thermosetting compound (D2) is a polyfunctional maleimide compound. The thermosetting compound (D2) does not have at least one of the skeleton (i) derived from dimer diamine and the skeleton (ii) derived from a diamine compound having an alicyclic skeleton other than dimer diamine. The thermosetting compound (D2) is different from the maleimide compound (A). The thermosetting compound (D2) may have the skeleton (i) derived from dimer diamine and may not have the skeleton (ii) derived from a diamine compound having an alicyclic skeleton other than dimer diamine. The thermosetting compound (D2) may not have the skeleton (i) derived from dimer diamine and may have the skeleton (ii) derived from a diamine compound having an alicyclic skeleton other than dimer diamine. The thermosetting compound (D2) may not have a skeleton (i) derived from a dimer diamine and may not have a skeleton (ii) derived from a diamine compound having an alicyclic skeleton other than a dimer diamine. The thermosetting compound (D2) may have an aromatic skeleton. The thermosetting compound (D2) may be used alone or in combination of two or more kinds.
 熱硬化性化合物(D2)は、マレイミド基を2個有していてもよく、3個以上有していてもよく、4個以上有していてもよく、800個以下有していてもよく、500個以下有していてもよく、300個以下有していてもよい。 The thermosetting compound (D2) may have 2 maleimide groups, 3 or more maleimide groups, 4 or more maleimide groups, 800 or less maleimide groups, 500 or less maleimide groups, or 300 or less maleimide groups.
 硬化物の誘電率及び誘電正接をより一層低くする観点からは、熱硬化性化合物(D2)は、マレイミド基を2個有するマレイミド化合物であることが好ましい。したがって、熱硬化性化合物(D2)は、ビスマレイミド化合物であることが好ましい。 From the viewpoint of further reducing the dielectric constant and dielectric tangent of the cured product, it is preferable that the thermosetting compound (D2) is a maleimide compound having two maleimide groups. Therefore, it is preferable that the thermosetting compound (D2) is a bismaleimide compound.
 熱硬化性化合物(D2)の市販品としては、日本化薬社製「MIR-5000-60T」及び「MIR-3000-70MT」、DIC社製「NE-X-9470S」、Designer Molecules Inc.社製「BMI-3000J」、「BMI-2500」、「BMI-1500」及び「BMI-687」、ケイ・アイ化成社製「BMI」、「BMI-70」及び「BMI-80」等が挙げられる。 Commercially available thermosetting compounds (D2) include "MIR-5000-60T" and "MIR-3000-70MT" manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., "NE-X-9470S" manufactured by DIC Corporation, "BMI-3000J", "BMI-2500", "BMI-1500", and "BMI-687" manufactured by Designer Molecules Inc., and "BMI", "BMI-70", and "BMI-80" manufactured by Kei-I Chemicals Co., Ltd.
 上記樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、熱硬化性化合物(D2)の含有量は、好ましくは1重量%以上、より好ましくは5重量%以上、好ましくは50重量%以下、より好ましくは40重量%以下である。熱硬化性化合物(D2)の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化物の誘電率及び誘電正接をより一層低くすることができ、また、硬化物の熱寸法安定性をより一層高めることができる。 The content of the thermosetting compound (D2) in 100% by weight of the components excluding the solvent in the resin material is preferably 1% by weight or more, more preferably 5% by weight or more, and preferably 50% by weight or less, more preferably 40% by weight or less. When the content of the thermosetting compound (D2) is equal to or more than the above lower limit and equal to or less than the above upper limit, the dielectric constant and dielectric tangent of the cured product can be further reduced, and the thermal dimensional stability of the cured product can be further improved.
 [熱硬化性化合物(D3):マレイミド基を有さずかつマレイミド基と反応可能な官能基を有する熱硬化性化合物]
 熱硬化性化合物(D)は、熱硬化性化合物(D3)を含んでいてもよく、熱硬化性化合物(D3)であってもよい。上記樹脂材料は、熱硬化性化合物(D3)を含んでいてもよい。上記熱硬化性化合物(D3)は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Thermosetting compound (D3): a thermosetting compound having no maleimide group and having a functional group capable of reacting with a maleimide group]
The thermosetting compound (D) may contain a thermosetting compound (D3), or may be a thermosetting compound (D3). The resin material may contain a thermosetting compound (D3). The thermosetting compound (D3) may be used alone or in combination of two or more.
 熱硬化性化合物(D3)は、官能基(D3)を1個有していてもよく、2個有していてもよく、2個以上有していてもよく、3個以上有していてもよく、4個以上有していてもよく、200個以下有していてもよく、150個以下有していてもよく、100個以下有していてもよい。 The thermosetting compound (D3) may have one functional group (D3), two functional groups, two or more functional groups, three or more functional groups, four or more functional groups, 200 or less functional groups, 150 or less functional groups, or 100 or less functional groups.
 官能基(D3)としては、エポキシ基、ビニル基、スチリル基、ベンゾオキサジン基、シアネート基、アリル基、メタクリロイル基、アクリロイル基、水酸基、チオール基及びアミノ基等が挙げられる。熱硬化性化合物(D3)は、官能基(D3)を、1種のみ有していてもよく、2種以上有していてもよい。 Functional groups (D3) include epoxy groups, vinyl groups, styryl groups, benzoxazine groups, cyanate groups, allyl groups, methacryloyl groups, acryloyl groups, hydroxyl groups, thiol groups, and amino groups. The thermosetting compound (D3) may have only one type of functional group (D3), or may have two or more types.
 <エポキシ基を有する熱硬化性化合物(エポキシ化合物)>
 熱硬化性化合物(D)は、エポキシ基を有する熱硬化性化合物(エポキシ化合物)を含んでいてもよく、エポキシ基を有する熱硬化性化合物(エポキシ化合物)であってもよい。熱硬化性化合物(D3)は、エポキシ基を有する熱硬化性化合物(エポキシ化合物)を含んでいてもよく、エポキシ基を有する熱硬化性化合物(エポキシ化合物)であってもよい。上記エポキシ化合物は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
<Thermosetting compound having an epoxy group (epoxy compound)>
The thermosetting compound (D) may contain a thermosetting compound (epoxy compound) having an epoxy group, or may be a thermosetting compound (epoxy compound) having an epoxy group. The thermosetting compound (D3) may contain a thermosetting compound (epoxy compound) having an epoxy group, or may be a thermosetting compound (epoxy compound) having an epoxy group. The above epoxy compounds may be used alone or in combination of two or more.
 上記エポキシ化合物としては、ビスフェノールA型エポキシ化合物、ビスフェノールF型エポキシ化合物、ビスフェノールS型エポキシ化合物、ビスフェノールE型エポキシ化合物、フェノールノボラック型エポキシ化合物、クレゾールノボラック型エポキシ化合物、ビフェニル型エポキシ化合物、ビフェニルノボラック型エポキシ化合物、ビフェノール型エポキシ化合物、ナフタレン型エポキシ化合物、フルオレン型エポキシ化合物、フェノールアラルキル型エポキシ化合物、ナフトールアラルキル型エポキシ化合物、ジシクロペンタジエン型エポキシ化合物、アントラセン型エポキシ化合物、アダマンタン骨格を有するエポキシ化合物、トリシクロデカン骨格を有するエポキシ化合物、ナフチレンエーテル型エポキシ化合物、及びトリアジン核を骨格に有するエポキシ化合物等が挙げられる。 The above epoxy compounds include bisphenol A type epoxy compounds, bisphenol F type epoxy compounds, bisphenol S type epoxy compounds, bisphenol E type epoxy compounds, phenol novolac type epoxy compounds, cresol novolac type epoxy compounds, biphenyl type epoxy compounds, biphenyl novolac type epoxy compounds, biphenol type epoxy compounds, naphthalene type epoxy compounds, fluorene type epoxy compounds, phenol aralkyl type epoxy compounds, naphthol aralkyl type epoxy compounds, dicyclopentadiene type epoxy compounds, anthracene type epoxy compounds, epoxy compounds having an adamantane skeleton, epoxy compounds having a tricyclodecane skeleton, naphthylene ether type epoxy compounds, and epoxy compounds having a triazine nucleus in the skeleton.
 上記エポキシ化合物は、グリシジルエーテル化合物であってもよい。上記グリシジルエーテル化合物とは、グリシジルエーテル基を少なくとも1個有する化合物である。 The epoxy compound may be a glycidyl ether compound. The glycidyl ether compound is a compound having at least one glycidyl ether group.
 上記エポキシ化合物は、芳香環を有するエポキシ化合物を含むことが好ましく、ナフタレン骨格又はフェニル骨格を有するエポキシ化合物を含むことがより好ましく、芳香環を有するエポキシ化合物であることがさらに好ましい。この場合には、硬化物の誘電率及び誘電正接をより一層低くすることができ、かつ硬化物の熱寸法安定性をより一層高めることができる。 The above epoxy compound preferably contains an epoxy compound having an aromatic ring, more preferably contains an epoxy compound having a naphthalene skeleton or a phenyl skeleton, and even more preferably is an epoxy compound having an aromatic ring. In this case, the dielectric constant and dielectric tangent of the cured product can be further reduced, and the thermal dimensional stability of the cured product can be further improved.
 硬化物の誘電率及び誘電正接をより一層低くし、かつ硬化物の線膨張係数(CTE)を良好にする観点からは、上記エポキシ化合物は、25℃で液状のエポキシ化合物を含むことが好ましく、25℃で液状のエポキシ化合物と25℃で固形のエポキシ化合物とを含むことがより好ましい。特に、上記エポキシ化合物が25℃で液状のエポキシ化合物を含む場合には、絶縁層の形成時に流動性が高い樹脂材料が得られやすく、ラミネート性を良好にすることができる。また、ラミネート性を良好にすることができるので、硬化物のメッキピール強度をより一層高めることができる。 From the viewpoint of further lowering the dielectric constant and dielectric tangent of the cured product and improving the coefficient of linear expansion (CTE) of the cured product, it is preferable that the epoxy compound contains an epoxy compound that is liquid at 25°C, and it is more preferable that the epoxy compound contains an epoxy compound that is liquid at 25°C and an epoxy compound that is solid at 25°C. In particular, when the epoxy compound contains an epoxy compound that is liquid at 25°C, a resin material with high fluidity is easily obtained when forming the insulating layer, and good lamination properties can be achieved. In addition, because good lamination properties can be achieved, the plating peel strength of the cured product can be further increased.
 上記25℃で液状のエポキシ化合物の25℃での粘度は、10000mPa・s以下であることが好ましく、5000mPa・s以下であることがより好ましい。 The viscosity of the epoxy compound that is liquid at 25°C is preferably 10,000 mPa·s or less, and more preferably 5,000 mPa·s or less.
 上記エポキシ化合物の粘度は、例えば動的粘弾性測定装置(レオロジカ・インスツルメンツ社製「VAR-100」)等を用いて測定することができる。 The viscosity of the epoxy compound can be measured, for example, using a dynamic viscoelasticity measuring device ("VAR-100" manufactured by Rheologica Instruments).
 上記エポキシ化合物の分子量は1000以下であることがより好ましい。この場合には、絶縁層の形成時に流動性が高い樹脂材料が得られやすく、ラミネート性を良好にすることができる。また、ラミネート性を良好にすることができるので、硬化物のメッキピール強度をより一層高めることができる。上記エポキシ化合物の分子量は、50以上であってもよく、100以上であってもよい。 The molecular weight of the epoxy compound is preferably 1000 or less. In this case, a resin material with high fluidity is easily obtained when forming the insulating layer, and good lamination properties can be obtained. In addition, since good lamination properties can be obtained, the plating peel strength of the cured product can be further increased. The molecular weight of the epoxy compound may be 50 or more, or may be 100 or more.
 上記エポキシ化合物の分子量は、上記エポキシ化合物が重合体ではない場合、及び上記エポキシ化合物の構造式が特定できる場合は、当該構造式から算出できる分子量を意味する。また、上記エポキシ化合物が重合体である場合は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により測定されたポリスチレン換算での重量平均分子量を意味する。 The molecular weight of the epoxy compound means the molecular weight that can be calculated from the structural formula when the epoxy compound is not a polymer and when the structural formula of the epoxy compound can be specified. When the epoxy compound is a polymer, it means the weight average molecular weight in terms of polystyrene measured by gel permeation chromatography (GPC).
 上記樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、上記エポキシ化合物の含有量は、好ましくは1重量%以上、より好ましくは5重量%以上、好ましくは50重量%以下、より好ましくは40重量%以下である。上記エポキシ化合物の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化物の誘電率及び誘電正接をより一層低くすることができ、また、硬化物の熱寸法安定性をより一層高めることができる。 The content of the epoxy compound is preferably 1% by weight or more, more preferably 5% by weight or more, and preferably 50% by weight or less, more preferably 40% by weight or less, out of 100% by weight of the components excluding the solvent in the resin material. When the content of the epoxy compound is equal to or more than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the dielectric constant and dielectric tangent of the cured product can be further reduced, and the thermal dimensional stability of the cured product can be further improved.
 <ビニル基を有する熱硬化性化合物(ビニル化合物)>
 熱硬化性化合物(D)は、ビニル基を有する熱硬化性化合物(ビニル化合物)を含んでいてもよく、ビニル基を有する熱硬化性化合物(ビニル化合物)であってもよい。熱硬化性化合物(D3)は、ビニル基を有する熱硬化性化合物(ビニル化合物)を含んでいてもよく、ビニル基を有する熱硬化性化合物(ビニル化合物)であってもよい。上記ビニル化合物は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
<Thermosetting compound having a vinyl group (vinyl compound)>
The thermosetting compound (D) may contain a thermosetting compound (vinyl compound) having a vinyl group, or may be a thermosetting compound (vinyl compound) having a vinyl group. The thermosetting compound (D3) may contain a thermosetting compound (vinyl compound) having a vinyl group, or may be a thermosetting compound (vinyl compound) having a vinyl group. The vinyl compounds may be used alone or in combination of two or more.
 上記ビニル化合物としては、ジビニルベンジルエーテル化合物が挙げられる。 The vinyl compound may be a divinylbenzyl ether compound.
 上記樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、上記ビニル化合物の含有量は、好ましくは1重量%以上、より好ましくは5重量%以上、好ましくは50重量%以下、より好ましくは40重量%以下である。上記ビニル化合物の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化物の誘電率及び誘電正接をより一層低くすることができ、また、硬化物の熱寸法安定性をより一層高めることができる。 The content of the vinyl compound in the resin material (100% by weight, excluding the solvent) is preferably 1% by weight or more, more preferably 5% by weight or more, and preferably 50% by weight or less, and more preferably 40% by weight or less. If the content of the vinyl compound is equal to or more than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the dielectric constant and dielectric tangent of the cured product can be further reduced, and the thermal dimensional stability of the cured product can be further improved.
 <シアネート基を有する熱硬化性化合物(シアネート化合物)>
 熱硬化性化合物(D)は、シアネート基を有する熱硬化性化合物(シアネート化合物)を含んでいてもよく、シアネート基を有する熱硬化性化合物(シアネート化合物)であってもよい。熱硬化性化合物(D3)は、シアネート基を有する熱硬化性化合物(シアネート化合物)を含んでいてもよく、シアネート基を有する熱硬化性化合物(シアネート化合物)であってもよい。上記シアネート化合物は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
<Thermosetting compound having a cyanate group (cyanate compound)>
The thermosetting compound (D) may contain a thermosetting compound (cyanate compound) having a cyanate group, or may be a thermosetting compound (cyanate compound) having a cyanate group. The thermosetting compound (D3) may contain a thermosetting compound (cyanate compound) having a cyanate group, or may be a thermosetting compound (cyanate compound) having a cyanate group. The above cyanate compounds may be used alone or in combination of two or more.
 上記シアネート化合物は、シアネートエステル化合物であることが好ましい。 The above cyanate compound is preferably a cyanate ester compound.
 上記シアネートエステル化合物としては、ノボラック型シアネートエステル樹脂、ビスフェノール型シアネートエステル樹脂、並びにこれらが一部三量化されたプレポリマー等が挙げられる。上記ノボラック型シアネートエステル樹脂としては、フェノールノボラック型シアネートエステル樹脂及びアルキルフェノール型シアネートエステル樹脂等が挙げられる。上記ビスフェノール型シアネートエステル樹脂としては、ビスフェノールA型シアネートエステル樹脂、ビスフェノールE型シアネートエステル樹脂及びテトラメチルビスフェノールF型シアネートエステル樹脂等が挙げられる。 The above cyanate ester compounds include novolac-type cyanate ester resins, bisphenol-type cyanate ester resins, and prepolymers in which these are partially trimerized. The above novolac-type cyanate ester resins include phenol novolac-type cyanate ester resins and alkylphenol-type cyanate ester resins. The above bisphenol-type cyanate ester resins include bisphenol A-type cyanate ester resins, bisphenol E-type cyanate ester resins, and tetramethylbisphenol F-type cyanate ester resins.
 上記シアネートエステル化合物の市販品としては、ビスフェノールA型シアネートエステル樹脂(三菱ガス社製「P-201」)、フェノールノボラック型シアネートエステル樹脂(ロンザジャパン社製「PT-30」及び「PT-60」)、並びにビスフェノール型シアネートエステル樹脂が三量化されたプレポリマー(ロンザジャパン社製「BA-230S」、「BA-3000S」、「BTP-1000S」及び「BTP-6020S」)等が挙げられる。 Commercially available products of the above cyanate ester compounds include bisphenol A cyanate ester resin ("P-201" manufactured by Mitsubishi Gas Co.), phenol novolac cyanate ester resin ("PT-30" and "PT-60" manufactured by Lonza Japan Co.), and prepolymers in which bisphenol cyanate ester resins have been trimerized ("BA-230S", "BA-3000S", "BTP-1000S" and "BTP-6020S" manufactured by Lonza Japan Co.), etc.
 上記樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、上記シアネート化合物の含有量は、好ましくは1重量%以上、より好ましくは5重量%以上、好ましくは50重量%以下、より好ましくは40重量%以下である。上記シアネート化合物の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化物の誘電率及び誘電正接をより一層低くすることができ、また、硬化物の熱寸法安定性をより一層高めることができる。 The content of the cyanate compound in 100% by weight of the components excluding the solvent in the resin material is preferably 1% by weight or more, more preferably 5% by weight or more, and preferably 50% by weight or less, and more preferably 40% by weight or less. When the content of the cyanate compound is equal to or more than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the dielectric constant and dielectric tangent of the cured product can be further reduced, and the thermal dimensional stability of the cured product can be further improved.
 <ベンゾオキサジン基を有する熱硬化性化合物(ベンゾオキサジン化合物)>
 熱硬化性化合物(D)は、ベンゾオキサジン基を有する熱硬化性化合物(ベンゾオキサジン化合物)を含んでいてもよく、ベンゾオキサジン基を有する熱硬化性化合物(ベンゾオキサジン化合物)であってもよい。熱硬化性化合物(D3)は、ベンゾオキサジン基を有する熱硬化性化合物(ベンゾオキサジン化合物)を含んでいてもよく、ベンゾオキサジン基を有する熱硬化性化合物(ベンゾオキサジン化合物)であってもよい。上記ベンゾオキサジン化合物は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
<Thermosetting compound having a benzoxazine group (benzoxazine compound)>
The thermosetting compound (D) may contain a thermosetting compound (benzoxazine compound) having a benzoxazine group, or may be a thermosetting compound (benzoxazine compound) having a benzoxazine group. The thermosetting compound (D3) may contain a thermosetting compound (benzoxazine compound) having a benzoxazine group, or may be a thermosetting compound (benzoxazine compound) having a benzoxazine group. The above benzoxazine compounds may be used alone or in combination of two or more.
 上記ベンゾオキサジン化合物としては、P-d型ベンゾオキサジン、及びF-a型ベンゾオキサジン等が挙げられる。 The above benzoxazine compounds include P-d type benzoxazine and F-a type benzoxazine.
 上記ベンゾオキサジン化合物の市販品としては、四国化成工業社製「P-d型」等が挙げられる。 Commercially available products of the above benzoxazine compounds include "P-d type" manufactured by Shikoku Chemical Industry Co., Ltd.
 上記樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、上記ベンゾオキサジン化合物の含有量は、好ましくは1重量%以上、より好ましくは5重量%以上、好ましくは50重量%以下、より好ましくは40重量%以下である。上記ベンゾオキサジン化合物の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化物の誘電率及び誘電正接をより一層低くすることができ、また、硬化物の熱寸法安定性をより一層高めることができる。 The content of the benzoxazine compound in the resin material (100% by weight, excluding the solvent) is preferably 1% by weight or more, more preferably 5% by weight or more, and preferably 50% by weight or less, and more preferably 40% by weight or less. When the content of the benzoxazine compound is equal to or more than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the dielectric constant and dielectric tangent of the cured product can be further reduced, and the thermal dimensional stability of the cured product can be further improved.
 <スチリル基を有する熱硬化性化合物(スチリル化合物)>
 熱硬化性化合物(D)は、スチリル基を有する熱硬化性化合物(スチリル化合物)を含んでいてもよく、スチリル基を有する熱硬化性化合物(スチリル化合物)であってもよい。熱硬化性化合物(D3)は、スチリル基を有する熱硬化性化合物(スチリル化合物)を含んでいてもよく、スチリル基を有する熱硬化性化合物(スチリル化合物)であってもよい。上記スチリル化合物は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
<Thermosetting compound having a styryl group (styryl compound)>
The thermosetting compound (D) may contain a thermosetting compound (styryl compound) having a styryl group, or may be a thermosetting compound (styryl compound) having a styryl group. The thermosetting compound (D3) may contain a thermosetting compound (styryl compound) having a styryl group, or may be a thermosetting compound (styryl compound) having a styryl group. The styryl compound may be used alone or in combination of two or more.
 上記スチリル化合物の市販品としては、三菱ガス化学社製「OPE-2St」及び「OPE-1200」等が挙げられる。 Commercially available products of the above styryl compounds include "OPE-2St" and "OPE-1200" manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd.
 上記樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、上記スチリル化合物の含有量は、好ましくは1重量%以上、より好ましくは5重量%以上、好ましくは50重量%以下、より好ましくは40重量%以下である。上記スチリル化合物の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化物の誘電率及び誘電正接をより一層低くすることができ、また、硬化物の熱寸法安定性をより一層高めることができる。 The content of the styryl compound is preferably 1% by weight or more, more preferably 5% by weight or more, and preferably 50% by weight or less, more preferably 40% by weight or less, based on 100% by weight of the components excluding the solvent in the resin material. When the content of the styryl compound is equal to or more than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the dielectric constant and dielectric tangent of the cured product can be further reduced, and the thermal dimensional stability of the cured product can be further improved.
 <メタクリロイル基を有する熱硬化性化合物(メタクリル化合物)>
 熱硬化性化合物(D)は、メタクリロイル基を有する熱硬化性化合物(メタクリル化合物)を含んでいてもよく、メタクリロイル基を有する熱硬化性化合物(メタクリル化合物)であってもよい。熱硬化性化合物(D3)は、メタクリロイル基を有する熱硬化性化合物(メタクリル化合物)を含んでいてもよく、メタクリロイル基を有する熱硬化性化合物(メタクリル化合物)であってもよい。上記メタクリル化合物は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
<Thermosetting compound having a methacryloyl group (methacrylic compound)>
The thermosetting compound (D) may contain a thermosetting compound (methacrylic compound) having a methacryloyl group, or may be a thermosetting compound (methacrylic compound) having a methacryloyl group. The thermosetting compound (D3) may contain a thermosetting compound (methacrylic compound) having a methacryloyl group, or may be a thermosetting compound (methacrylic compound) having a methacryloyl group. The above-mentioned methacrylic compounds may be used alone or in combination of two or more.
 上記メタクリル化合物の市販品としては、SABIC社製「SA9000-111」等が挙げられる。 Commercially available products of the above methacrylic compound include "SA9000-111" manufactured by SABIC.
 上記樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、上記メタクリル化合物の含有量は、好ましくは1重量%以上、より好ましくは5重量%以上、好ましくは50重量%以下、より好ましくは40重量%以下である。上記メタクリル化合物の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化物の誘電率及び誘電正接をより一層低くすることができ、また、硬化物の熱寸法安定性をより一層高めることができる。 The content of the methacrylic compound in the resin material (100% by weight, excluding the solvent) is preferably 1% by weight or more, more preferably 5% by weight or more, and preferably 50% by weight or less, and more preferably 40% by weight or less. If the content of the methacrylic compound is equal to or more than the lower limit and equal to or less than the upper limit, the dielectric constant and dielectric tangent of the cured product can be further reduced, and the thermal dimensional stability of the cured product can be further improved.
 [溶剤]
 上記樹脂材料は、溶剤を含まないか又は含む。上記樹脂材料は、任意に溶剤を含む。上記樹脂材料は、溶剤を含んでいてもよく、含んでいなくてもよい。上記溶剤の使用により、樹脂材料の粘度を好適な範囲に制御でき、樹脂材料の塗工性を高めることができる。また、上記溶剤は、中空無機粒子(B)を含むスラリーを得るために用いられてもよい。上記溶剤は1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[solvent]
The resin material does not contain or contains a solvent. The resin material optionally contains a solvent. The resin material may or may not contain a solvent. By using the solvent, the viscosity of the resin material can be controlled within a suitable range, and the coatability of the resin material can be improved. The solvent may also be used to obtain a slurry containing hollow inorganic particles (B). Only one type of the solvent may be used, or two or more types may be used in combination.
 上記溶剤としては、アセトン、メタノール、エタノール、ブタノール、2-プロパノール、2-メトキシエタノール、2-エトキシエタノール、1-メトキシ-2-プロパノール、2-アセトキシ-1-メトキシプロパン、トルエン、キシレン、メチルエチルケトン、N,N-ジメチルホルムアミド、メチルイソブチルケトン、N-メチル-ピロリドン、n-ヘキサン、シクロヘキサン、シクロヘキサノン及び混合物であるナフサ等が挙げられる。 The above solvents include acetone, methanol, ethanol, butanol, 2-propanol, 2-methoxyethanol, 2-ethoxyethanol, 1-methoxy-2-propanol, 2-acetoxy-1-methoxypropane, toluene, xylene, methyl ethyl ketone, N,N-dimethylformamide, methyl isobutyl ketone, N-methyl-pyrrolidone, n-hexane, cyclohexane, cyclohexanone, and naphtha, which is a mixture.
 上記溶剤の多くは、上記樹脂組成物をフィルム状に成形するときに除去されることが好ましい。従って、上記溶剤の沸点は、好ましくは200℃以下、より好ましくは180℃以下である。上記樹脂組成物中の上記溶剤の含有量は特に限定されない。上記樹脂組成物の塗工性などを考慮して、上記溶剤の含有量は適宜変更可能である。 Most of the solvent is preferably removed when the resin composition is molded into a film. Therefore, the boiling point of the solvent is preferably 200°C or lower, more preferably 180°C or lower. The content of the solvent in the resin composition is not particularly limited. The content of the solvent can be changed as appropriate, taking into account the coatability of the resin composition, etc.
 上記樹脂材料がBステージフィルムである場合には、上記Bステージフィルム100重量%中、上記溶剤の含有量は、好ましくは1重量%以上、より好ましくは2重量%以上、好ましくは10重量%以下、より好ましくは5重量%以下である。 If the resin material is a B-stage film, the content of the solvent in 100% by weight of the B-stage film is preferably 1% by weight or more, more preferably 2% by weight or more, preferably 10% by weight or less, more preferably 5% by weight or less.
 [他の成分]
 耐衝撃性、耐熱性、樹脂の相溶性及び作業性等の改善を目的として、上記樹脂材料は、上述した成分(マレイミド化合物(A)、中空無機粒子(B)、硬化促進剤(C)、熱硬化性化合物(D)及び溶剤)以外の他の成分を含んでいてもよい。上記他の成分としては、熱可塑性樹脂;有機充填材;無機充填材;レベリング剤;難燃剤;カップリング剤;着色剤;酸化防止剤;紫外線劣化防止剤;消泡剤;増粘剤;揺変性付与剤等が挙げられる。上記他の成分は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Other ingredients]
For the purpose of improving impact resistance, heat resistance, resin compatibility, workability, etc., the resin material may contain other components in addition to the above-mentioned components (maleimide compound (A), hollow inorganic particles (B), curing accelerator (C), thermosetting compound (D) and solvent). Examples of the other components include thermoplastic resins; organic fillers; inorganic fillers; leveling agents; flame retardants; coupling agents; colorants; antioxidants; ultraviolet degradation inhibitors; defoamers; thickeners; thixotropy-imparting agents, etc. The other components may be used alone or in combination of two or more.
 上記熱可塑性樹脂としては、ポリイミド樹脂、フェノキシ樹脂及びポリビニルアセタール樹脂等が挙げられる。 The above-mentioned thermoplastic resins include polyimide resins, phenoxy resins, and polyvinyl acetal resins.
 上記カップリング剤としては、シランカップリング剤、チタンカップリング剤及びアルミニウムカップリング剤等が挙げられる。上記シランカップリング剤としては、ビニルシラン、アミノシラン、イミダゾールシラン及びエポキシシラン等が挙げられる。 The above coupling agents include silane coupling agents, titanium coupling agents, and aluminum coupling agents. The above silane coupling agents include vinyl silane, amino silane, imidazole silane, and epoxy silane.
 上記樹脂材料は、ガラスクロスを含んでいてもよく、含んでいなくてもよい。上記樹脂材料は、ガラスクロスを含まないことが好ましい。上記樹脂材料は、プリプレグではないことが好ましい。 The resin material may or may not contain glass cloth. It is preferable that the resin material does not contain glass cloth. It is preferable that the resin material is not a prepreg.
 (樹脂フィルム)
 上述した樹脂組成物をフィルム状に成形することにより樹脂フィルム(Bステージ化物/Bステージフィルム)が得られる。上記樹脂材料は、樹脂フィルムであることが好ましい。樹脂フィルムは、Bステージフィルムであることが好ましい。
(Resin film)
The above-mentioned resin composition is molded into a film to obtain a resin film (B-stage product/B-stage film). The above-mentioned resin material is preferably a resin film. The resin film is preferably a B-stage film.
 樹脂組成物をフィルム状に成形して、樹脂フィルムを得る方法としては、以下の方法が挙げられる。押出機を用いて、樹脂組成物を溶融混練し、押出した後、Tダイ又はサーキュラーダイ等により、フィルム状に成形する押出成形法。溶剤を含む樹脂組成物をキャスティングしてフィルム状に成形するキャスティング成形法。従来公知のその他のフィルム成形法。薄型化に対応可能であることから、押出成形法又はキャスティング成形法が好ましい。フィルムにはシートが含まれる。  Methods for forming a resin composition into a film to obtain a resin film include the following: Extrusion molding, in which the resin composition is melt-kneaded and extruded using an extruder, and then molded into a film using a T-die or circular die. Casting molding, in which a resin composition containing a solvent is cast into a film. Other conventionally known film molding methods. Extrusion molding and casting molding are preferred because they can be made thinner. Films include sheets.
 樹脂組成物をフィルム状に成形し、熱による硬化が進行し過ぎない程度に、例えば50℃~150℃で1分間~10分間加熱乾燥させることにより、Bステージフィルムである樹脂フィルムを得ることができる。 The resin composition is molded into a film and dried by heating for 1 to 10 minutes at, for example, 50°C to 150°C, to the extent that the heat does not cause excessive curing, to obtain a resin film that is a B-stage film.
 上述のような乾燥工程により得ることができるフィルム状の樹脂組成物をBステージフィルムと称する。上記Bステージフィルムは、半硬化状態にある。半硬化物は、完全に硬化しておらず、硬化がさらに進行され得る。 The film-like resin composition that can be obtained by the drying process described above is called a B-stage film. The B-stage film is in a semi-cured state. A semi-cured product is not completely cured, and curing can continue.
 上記樹脂フィルムは、プリプレグでなくてもよい。上記樹脂フィルムがプリプレグではない場合には、ガラスクロス等に沿ってマイグレーションが生じなくなる。また、樹脂フィルムをラミネート又はプレキュアする際に、表面にガラスクロスに起因する凹凸が生じなくなる。 The resin film does not have to be a prepreg. If the resin film is not a prepreg, migration will not occur along the glass cloth or the like. In addition, when the resin film is laminated or precured, irregularities caused by the glass cloth will not occur on the surface.
 上記樹脂フィルムは、金属箔又は基材フィルムと、該金属箔又は基材フィルムの表面に積層された樹脂フィルムとを備える積層フィルムの形態で用いることができる。上記金属箔は銅箔であることが好ましい。 The resin film can be used in the form of a laminated film comprising a metal foil or a base film and a resin film laminated on the surface of the metal foil or base film. The metal foil is preferably a copper foil.
 上記積層フィルムの上記基材フィルムとしては、ポリエチレンテレフタレートフィルム及びポリブチレンテレフタレートフィルム等のポリエステル樹脂フィルム、ポリエチレンフィルム及びポリプロピレンフィルム等のオレフィン樹脂フィルム、並びにポリイミド樹脂フィルム等が挙げられる。上記基材フィルムの表面は、必要に応じて、離型処理されていてもよい。 The base film of the laminated film may be a polyester resin film such as a polyethylene terephthalate film or a polybutylene terephthalate film, an olefin resin film such as a polyethylene film or a polypropylene film, or a polyimide resin film. The surface of the base film may be subjected to a release treatment, if necessary.
 樹脂フィルムの硬化度をより一層均一に制御する観点からは、上記樹脂フィルムの厚さは、好ましくは5μm以上であり、好ましくは200μm以下である。上記樹脂フィルムを回路の絶縁層として用いる場合、上記樹脂フィルムにより形成された絶縁層の厚さは、回路を形成する導体層(金属層)の厚さ以上であることが好ましい。上記絶縁層の厚さは、好ましくは5μm以上であり、好ましくは200μm以下である。 From the viewpoint of controlling the degree of cure of the resin film more uniformly, the thickness of the resin film is preferably 5 μm or more and preferably 200 μm or less. When the resin film is used as an insulating layer of a circuit, the thickness of the insulating layer formed by the resin film is preferably equal to or greater than the thickness of the conductor layer (metal layer) that forms the circuit. The thickness of the insulating layer is preferably 5 μm or more and preferably 200 μm or less.
 (樹脂材料の他の詳細)
 上記樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、マレイミド化合物(A)と中空無機粒子(B)との合計含有量は、好ましくは80重量%以上、より好ましくは85重量%以上、好ましくは100重量%未満、より好ましくは99重量%以下である。上記合計含有量が上記下限以上及び上記上限未満(又は上記上限以下)であると、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができる。
(Other details of resin material)
The total content of the maleimide compound (A) and the hollow inorganic particles (B) in the resin material (100% by weight) excluding the solvent is preferably 80% by weight or more, more preferably 85% by weight or more, preferably less than 100% by weight, more preferably 99% by weight or less. When the total content is equal to or more than the lower limit and less than the upper limit (or equal to or less than the upper limit), the effects of the present invention can be more effectively exhibited.
 上記樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、マレイミド化合物(A)と中空無機粒子(B)と熱硬化性化合物(D)との合計含有量は、好ましくは85重量%以上、より好ましくは90重量%以上、更に好ましくは95重量%以上、好ましくは100重量%未満、より好ましくは99重量%以下である。上記合計含有量が上記下限以上及び上記上限未満(又は上記上限以下)であると、本発明の効果をより一層効果的に発揮することができる。 The total content of the maleimide compound (A), hollow inorganic particles (B) and thermosetting compound (D) in the resin material (100% by weight, excluding the solvent) is preferably 85% by weight or more, more preferably 90% by weight or more, even more preferably 95% by weight or more, preferably less than 100% by weight, and more preferably 99% by weight or less. When the total content is equal to or more than the lower limit and less than the upper limit (or equal to or less than the upper limit), the effects of the present invention can be more effectively exhibited.
 上記樹脂材料を180℃で30分間加熱した後、200℃で60分間加熱して樹脂材料の硬化物を得たときに、得られた硬化物の10GHzでの誘電率(Dk)は、好ましくは2.5以下、より好ましくは2.2以下、更に好ましくは2.0以下である。上記硬化物の10GHzでの誘電率(Dk)は、1.5以上であってもよい。 When the resin material is heated at 180°C for 30 minutes and then heated at 200°C for 60 minutes to obtain a cured resin material, the dielectric constant (Dk) of the obtained cured product at 10 GHz is preferably 2.5 or less, more preferably 2.2 or less, and even more preferably 2.0 or less. The dielectric constant (Dk) of the cured product at 10 GHz may be 1.5 or more.
 上記硬化物の10GHzでの誘電率(Dk)は、以下のようにして測定することができる。樹脂材料を180℃で30分間加熱した後、200℃で60分間加熱して樹脂材料の硬化物を得る。得られた硬化物の誘電率(Dk)を、誘電率測定装置(例えば、関東電子応用開発社製「空洞共振摂動法誘電率測定装置CP521」)を用いて、空洞共振法で常温(23℃)及び周波数10GHzの条件で測定する。 The dielectric constant (Dk) of the cured product at 10 GHz can be measured as follows. The resin material is heated at 180°C for 30 minutes, and then heated at 200°C for 60 minutes to obtain a cured product of the resin material. The dielectric constant (Dk) of the resulting cured product is measured by the cavity resonance method using a dielectric constant measuring device (for example, the "Cavity Resonance Perturbation Method Dielectric Constant Measuring Device CP521" manufactured by Kanto Electronics Application Development Co., Ltd.) at room temperature (23°C) and a frequency of 10 GHz.
 上記樹脂材料を180℃で30分間加熱した後、200℃で60分間加熱して樹脂材料の硬化物を得たときに、得られた硬化物の25℃以上150℃以下での平均線膨張係数(CTE)は、好ましくは40ppm/℃以下、より好ましくは35ppm/℃以下、更に好ましくは30ppm/℃以下である。上記硬化物の25℃以上150℃以下での平均線膨張係数(CTE)は、0ppm/℃であってもよく、0ppm/℃以上であってもよい。 When the resin material is heated at 180°C for 30 minutes and then at 200°C for 60 minutes to obtain a cured product of the resin material, the average coefficient of linear expansion (CTE) of the obtained cured product at 25°C or more and 150°C or less is preferably 40 ppm/°C or less, more preferably 35 ppm/°C or less, and even more preferably 30 ppm/°C or less. The average coefficient of linear expansion (CTE) of the above cured product at 25°C or more and 150°C or less may be 0 ppm/°C or more.
 上記硬化物の25℃以上150℃以下での平均線膨張係数(CTE)は、以下のようにして測定することができる。樹脂材料を180℃で30分間加熱した後、200℃で60分間加熱して樹脂材料の硬化物を得る。得られた硬化物の25℃以上150℃以下での平均線膨張係数(CTE)を、熱機械的分析装置(例えば、エスアイアイ・ナノテクノロジー社製「EXSTAR TMA/SS6100」)を用いて、引っ張り荷重33mN及び昇温速度5℃/分の条件で測定する。 The average coefficient of linear expansion (CTE) of the cured product at 25°C to 150°C can be measured as follows. The resin material is heated at 180°C for 30 minutes, and then heated at 200°C for 60 minutes to obtain a cured product of the resin material. The average coefficient of linear expansion (CTE) of the resulting cured product at 25°C to 150°C is measured using a thermomechanical analyzer (e.g., "EXSTAR TMA/SS6100" manufactured by SII Nanotechnology) under conditions of a tensile load of 33 mN and a heating rate of 5°C/min.
 なお、上記樹脂材料を用いて多層基板等の部品等を製造する際には、180℃で30分間加熱した後、200℃で60分間加熱して硬化物を得てもよく、この加熱条件以外の加熱条件で樹脂材料を加熱して硬化物を得てもよい。 When using the above resin material to manufacture components such as multilayer boards, the resin material may be heated at 180°C for 30 minutes and then at 200°C for 60 minutes to obtain a cured product, or the resin material may be heated under heating conditions other than these to obtain a cured product.
 上記樹脂材料は、様々な用途に用いることができる。上記樹脂材料は、例えば、半導体装置において半導体チップを埋め込むモールド樹脂を形成するために好適に用いられる。また、上記樹脂材料は、液晶ポリマー(LCP)の代替用途、ミリ波アンテナ用途、再配線層用途に好適に用いられる。上記樹脂材料は、上記用途に限られず、配線形成用途全般に好適に用いられる。 The above resin material can be used for various applications. For example, the above resin material is suitable for use in forming a molded resin for embedding a semiconductor chip in a semiconductor device. The above resin material is also suitable for use as an alternative to liquid crystal polymer (LCP), for millimeter wave antenna applications, and for rewiring layer applications. The above resin material is not limited to the above applications, and is suitable for use in general wiring formation applications.
 上記樹脂材料は、接着材料として好適に用いられる。上記樹脂材料は、例えば、パワーオーバーレイパッケージ用接着材料、プリント配線基板用接着材料、フレキシブルプリント回路基板のカバーレイ用接着材料、半導体接合用接着材料として好適に用いられる。上記樹脂材料は、接着材料であることが好ましい。 The above resin material is preferably used as an adhesive material. The above resin material is preferably used as, for example, an adhesive material for power overlay packages, an adhesive material for printed wiring boards, an adhesive material for coverlays of flexible printed circuit boards, and an adhesive material for semiconductor bonding. The above resin material is preferably an adhesive material.
 上記樹脂材料は、絶縁材料として好適に用いられる。上記樹脂材料は、プリント配線板において絶縁層を形成するために好適に用いられ、多層プリント配線板において絶縁層を形成するためにより好適に用いられる。上記樹脂材料は、絶縁材料であることが好ましく、層間絶縁材料であることがより好ましい。上記絶縁材料は、接着材料としての役割も備え得る。 The resin material is preferably used as an insulating material. The resin material is preferably used to form an insulating layer in a printed wiring board, and more preferably used to form an insulating layer in a multilayer printed wiring board. The resin material is preferably an insulating material, and more preferably an interlayer insulating material. The insulating material may also function as an adhesive material.
 本発明に係る硬化物は、上述した樹脂材料が硬化された樹脂材料の硬化物である。本発明に係る硬化物は、樹脂材料の硬化物であって、該樹脂材料が上述した樹脂材料である。本発明に係る硬化物は、上述した樹脂材料を硬化させることにより得ることができる。本発明に係る硬化物を得る際の、上記樹脂材料の加熱条件は、樹脂材料が硬化する限り、特に限定されない。 The cured product according to the present invention is a cured product of a resin material obtained by curing the resin material described above. The cured product according to the present invention is a cured product of a resin material, and the resin material is the resin material described above. The cured product according to the present invention can be obtained by curing the resin material described above. The heating conditions for the resin material when obtaining the cured product according to the present invention are not particularly limited, as long as the resin material is cured.
 (積層構造体及び銅張積層板)
 上記樹脂フィルムに対して、片面又は両面に金属層を表面に有する積層対象部材を積層することにより、積層構造体を得ることができる。上記積層構造体は、金属層を表面に有する積層対象部材と、上記金属層の表面上に積層された樹脂フィルムとを備え、上記樹脂フィルムが上述した樹脂材料である。上記樹脂フィルムと上記積層対象部材とを積層する方法は特に限定されず、公知の方法を用いることができる。例えば、平行平板プレス機又はロールラミネーター等の装置を用いて、加熱しながら又は加熱せずに加圧しながら、上記樹脂フィルムを、上記積層対象部材に積層可能である。
(Laminated structure and copper-clad laminate)
A laminated structure can be obtained by laminating a laminated target member having a metal layer on one or both sides of the resin film. The laminated structure includes a laminated target member having a metal layer on its surface and a resin film laminated on the surface of the metal layer, and the resin film is the above-mentioned resin material. The method of laminating the resin film and the laminated target member is not particularly limited, and a known method can be used. For example, the resin film can be laminated on the laminated target member while applying pressure with or without heating using a device such as a parallel plate press or a roll laminator.
 上記金属層の材料は銅であることが好ましい。 The material of the metal layer is preferably copper.
 上記金属層を表面に有する積層対象部材は、銅箔等の金属箔であってもよい。 The laminated member having the above-mentioned metal layer on its surface may be a metal foil such as copper foil.
 上記樹脂材料は、銅張積層板を得るために好適に用いられる。上記銅張積層板の一例として、銅箔と、該銅箔の一方の表面に積層された樹脂フィルムとを備え、上記樹脂フィルムが上述した樹脂材料である、銅張積層板が挙げられる。 The above resin material is preferably used to obtain a copper-clad laminate. One example of the above copper-clad laminate is a copper-clad laminate that includes copper foil and a resin film laminated on one surface of the copper foil, the resin film being made of the above resin material.
 上記銅張積層板の上記銅箔の厚さは特に限定されない。上記銅箔の厚さは、1μm以上100μm以下であることが好ましい。また、上記樹脂材料の硬化物と銅箔との接着強度を高めるために、上記銅箔は微細な凹凸を表面に有することが好ましい。凹凸の形成方法は特に限定されない。上記凹凸の形成方法としては、公知の薬液を用いた処理による形成方法、公知のプラズマ処理による形成方法、及び公知のUV処理による形成方法等が挙げられる。 The thickness of the copper foil of the copper-clad laminate is not particularly limited. The thickness of the copper foil is preferably 1 μm or more and 100 μm or less. In addition, in order to increase the adhesive strength between the cured resin material and the copper foil, it is preferable that the copper foil has fine irregularities on its surface. The method of forming the irregularities is not particularly limited. Examples of the method of forming the irregularities include a method of forming the irregularities by treatment using a known chemical solution, a method of forming the irregularities by known plasma treatment, and a method of forming the irregularities by known UV treatment.
 (絶縁層付き回路基板)
 上記樹脂材料は、絶縁層付き回路基板を得るために好適に用いられる。上記絶縁層付き回路基板の一例として、回路基板と、該回路基板の表面上に配置された絶縁層とを備え、上記絶縁層が、上述した樹脂材料の硬化物である絶縁層付き回路基板が挙げられる。
(Circuit board with insulating layer)
The resin material is preferably used to obtain a circuit board with an insulating layer. One example of the circuit board with an insulating layer is a circuit board with an insulating layer that includes a circuit board and an insulating layer disposed on a surface of the circuit board, the insulating layer being a cured product of the resin material described above.
 上記絶縁層付き回路基板において、上記絶縁層は、回路基板の回路が設けられた表面上に積層されていることが好ましい。上記絶縁層付き回路基板において、上記絶縁層の一部は、上記回路間に埋め込まれていることが好ましい。 In the circuit board with an insulating layer, it is preferable that the insulating layer is laminated on the surface of the circuit board on which the circuits are provided. In the circuit board with an insulating layer, it is preferable that a portion of the insulating layer is embedded between the circuits.
 上記絶縁層付き回路基板は、従来公知の方法により得ることができる。 The above-mentioned circuit board with insulating layer can be obtained by a conventional method.
 (多層基板及び多層プリント配線板)
 上記樹脂材料は、多層基板を得るために好適に用いられる。上記多層基板の一例として、回路基板と、該回路基板上に積層された絶縁層とを備える多層基板が挙げられる。上記多層基板の絶縁層が、上述した樹脂材料の硬化物である。上記絶縁層は、回路基板の回路(金属層)が設けられた表面上に積層されていることが好ましい。上記絶縁層の一部は、上記回路間に埋め込まれていることが好ましい。
(Multilayer boards and multilayer printed wiring boards)
The resin material is preferably used to obtain a multilayer board. An example of the multilayer board is a multilayer board including a circuit board and an insulating layer laminated on the circuit board. The insulating layer of the multilayer board is a cured product of the resin material. The insulating layer is preferably laminated on the surface of the circuit board on which the circuit (metal layer) is provided. A part of the insulating layer is preferably embedded between the circuits.
 上記多層基板では、上記絶縁層の上記回路基板が積層された表面とは反対側の表面が粗化処理されていることが好ましい。 In the multilayer board, it is preferable that the surface of the insulating layer opposite the surface on which the circuit board is laminated is roughened.
 粗化処理方法は、従来公知の粗化処理方法を用いることができ、特に限定されない。上記絶縁層の表面は、粗化処理の前に膨潤処理されていてもよい。 The roughening treatment method can be any conventionally known roughening treatment method, and is not particularly limited. The surface of the insulating layer may be subjected to a swelling treatment before the roughening treatment.
 また、上記多層基板は、上記絶縁層の粗化処理された表面に積層された銅めっき層をさらに備えることが好ましい。 It is also preferable that the multilayer substrate further comprises a copper plating layer laminated on the roughened surface of the insulating layer.
 上記多層基板の他の例として、回路基板と、該回路基板の表面上に積層された絶縁層と、該絶縁層の上記回路基板が積層された表面とは反対側の表面に積層された銅箔とを備える多層基板が挙げられる。上記絶縁層が、銅箔と該銅箔の一方の表面に積層された樹脂フィルムとを備える銅張積層板を用いて、上記樹脂フィルムを硬化させることにより形成されていることが好ましい。さらに、上記銅箔はエッチング処理されており、銅回路であることが好ましい。 Another example of the multilayer board is a multilayer board comprising a circuit board, an insulating layer laminated on the surface of the circuit board, and copper foil laminated on the surface of the insulating layer opposite to the surface on which the circuit board is laminated. It is preferable that the insulating layer is formed by using a copper-clad laminate comprising copper foil and a resin film laminated on one surface of the copper foil, and curing the resin film. Furthermore, it is preferable that the copper foil is etched to form a copper circuit.
 上記多層基板の他の例として、回路基板と、該回路基板の表面上に積層された複数の絶縁層とを備える多層基板が挙げられる。上記回路基板上に配置された上記複数の絶縁層の内の少なくとも1層が、上記樹脂材料を用いて形成される。上記多層基板は、上記樹脂フィルムを用いて形成されている上記絶縁層の少なくとも一方の表面に積層されている回路をさらに備えることが好ましい。 Another example of the multilayer board is a multilayer board comprising a circuit board and a plurality of insulating layers laminated on a surface of the circuit board. At least one of the plurality of insulating layers arranged on the circuit board is formed using the resin material. It is preferable that the multilayer board further comprises a circuit laminated on at least one surface of the insulating layer formed using the resin film.
 上記樹脂材料は、多層プリント配線板において、絶縁層を形成するために好適に用いられる。 The above resin materials are suitable for use in forming insulating layers in multilayer printed wiring boards.
 上記多層プリント配線板は、例えば、回路基板と、上記回路基板の表面上に配置された複数の絶縁層と、複数の上記絶縁層間に配置された金属層とを備える。上記多層プリント配線板では、上記絶縁層の内の少なくとも1層が、上述した樹脂材料の硬化物である。 The multilayer printed wiring board includes, for example, a circuit board, a plurality of insulating layers arranged on the surface of the circuit board, and a metal layer arranged between the insulating layers. In the multilayer printed wiring board, at least one of the insulating layers is a cured product of the resin material described above.
 図1は、本発明の一実施形態に係る樹脂材料を用いた多層プリント配線板を模式的に示す断面図である。 FIG. 1 is a cross-sectional view showing a multilayer printed wiring board using a resin material according to one embodiment of the present invention.
 図1に示す多層プリント配線板11では、回路基板12の上面12aに、複数の絶縁層13~16が積層されている。絶縁層13~16は、硬化物層である。回路基板12の上面12aの一部の領域には、金属層17が形成されている。複数の絶縁層13~16のうち、回路基板12側とは反対の外側の表面に位置する絶縁層16以外の絶縁層13~15には、上面の一部の領域に金属層17が形成されている。金属層17は回路である。回路基板12と絶縁層13の間、及び積層された絶縁層13~16の各層間に、金属層17がそれぞれ配置されている。下方の金属層17と上方の金属層17とは、図示しないビアホール接続及びスルーホール接続の内の少なくとも一方により互いに接続されている。 In the multilayer printed wiring board 11 shown in FIG. 1, a plurality of insulating layers 13-16 are laminated on the upper surface 12a of the circuit board 12. The insulating layers 13-16 are hardened layers. A metal layer 17 is formed on a partial area of the upper surface 12a of the circuit board 12. Of the plurality of insulating layers 13-16, the insulating layers 13-15 other than the insulating layer 16 located on the outer surface opposite the circuit board 12 side have a metal layer 17 formed on a partial area of the upper surface. The metal layer 17 is a circuit. The metal layer 17 is disposed between the circuit board 12 and the insulating layer 13, and between each of the laminated insulating layers 13-16. The lower metal layer 17 and the upper metal layer 17 are connected to each other by at least one of via hole connections and through hole connections not shown.
 多層プリント配線板11では、絶縁層13~16が、上記樹脂材料の硬化物により形成されている。本実施形態では、絶縁層13~16の表面が粗化処理されているので、絶縁層13~16の表面に図示しない微細な孔が形成されている。また、微細な孔の内部に金属層17が至っている。また、多層プリント配線板11では、金属層17の幅方向寸法(L)と、金属層17が形成されていない部分の幅方向寸法(S)とを小さくすることができる。また、多層プリント配線板11では、図示しないビアホール接続及びスルーホール接続で接続されていない上方の金属層と下方の金属層との間に、良好な絶縁信頼性が付与されている。 In the multilayer printed wiring board 11, the insulating layers 13 to 16 are formed from a cured product of the above-mentioned resin material. In this embodiment, the surfaces of the insulating layers 13 to 16 are roughened, so that fine holes (not shown) are formed in the surfaces of the insulating layers 13 to 16. The metal layer 17 extends into the fine holes. In the multilayer printed wiring board 11, the width dimension (L) of the metal layer 17 and the width dimension (S) of the portion where the metal layer 17 is not formed can be reduced. In the multilayer printed wiring board 11, good insulation reliability is provided between the upper metal layer and the lower metal layer that are not connected by via hole connections and through hole connections (not shown).
 以下、実施例及び比較例を挙げることにより、本発明を具体的に説明する。本発明は、以下の実施例に限定されない。 The present invention will be specifically explained below by giving examples and comparative examples. The present invention is not limited to the following examples.
 以下の材料を用意した。 The following materials were prepared:
 (マレイミド化合物(A))
 マレイミド化合物(A1)(下記の合成例A1に従って合成、マレイミド基の個数:2個、重量平均分子量:4300)
 マレイミド化合物(A2)(下記の合成例A2に従って合成、マレイミド基の個数:2個、重量平均分子量:12000)
(Maleimide Compound (A))
Maleimide compound (A1) (synthesized according to Synthesis Example A1 below, number of maleimide groups: 2, weight average molecular weight: 4300)
Maleimide compound (A2) (synthesized according to Synthesis Example A2 below, number of maleimide groups: 2, weight average molecular weight: 12,000)
 <合成例A1>
 500mLのナスフラスコに、105gのトルエンと、41gのN-メチル-2-ピロリドン(NMP)と、7gのメタンスルホン酸とを入れた。次いで、ダイマージアミン(クローダジャパン社製「PRIAMINE1075」)9.9g(24.2mmol)と、ノルボルナンジアミン(三井化学ファイン社製「Pro-NBDA」)8.6g(55.8mmol)とを添加した。次いで、ビフェニル酸二無水物15.9g(54mmol)と、ビシクロ[2.2.2]オクト-7-エン-2,3,5,6-テトラカルボン酸二無水物1.5g(6mmol)とを混合した後、少しずつ添加した。ディーンスターク装置にナスフラスコを取り付け、3.5時間加熱還流した。このようにして、両末端にアミンを有しかつ複数のイミド骨格を有する化合物を得た。縮合時に排出される水分を除去し、室温に戻した後、無水マレイン酸4.42g(45mmol)を加えて撹拌し、同様に加熱し反応させた。このようにして、両末端にマレイミド骨格を有する化合物を得た。有機層を、水とエタノールとの混合溶媒で洗浄した後、混合溶媒を除去し、トルエン溶液を得た。次いで、トルエン溶液にイソプロパノールを添加して生成物の再沈殿を行った。その後真空オーブンで乾燥させ、マレイミド化合物(A1)を得た。
<Synthesis Example A1>
In a 500 mL eggplant flask, 105 g of toluene, 41 g of N-methyl-2-pyrrolidone (NMP), and 7 g of methanesulfonic acid were placed. Then, 9.9 g (24.2 mmol) of dimer diamine ("PRIAMINE 1075" manufactured by Croda Japan) and 8.6 g (55.8 mmol) of norbornane diamine ("Pro-NBDA" manufactured by Mitsui Fine Chemicals) were added. Then, 15.9 g (54 mmol) of biphenyl dianhydride and 1.5 g (6 mmol) of bicyclo[2.2.2]oct-7-ene-2,3,5,6-tetracarboxylic dianhydride were mixed and then added little by little. The eggplant flask was attached to a Dean-Stark apparatus and heated under reflux for 3.5 hours. In this way, a compound having amines at both ends and having multiple imide skeletons was obtained. The water discharged during the condensation was removed, and the mixture was returned to room temperature, after which 4.42 g (45 mmol) of maleic anhydride was added, stirred, and similarly heated to react. In this way, a compound having a maleimide skeleton at both ends was obtained. The organic layer was washed with a mixed solvent of water and ethanol, and the mixed solvent was removed to obtain a toluene solution. Next, isopropanol was added to the toluene solution to reprecipitate the product. The mixture was then dried in a vacuum oven to obtain a maleimide compound (A1).
 <合成例A2>
 500mLのナスフラスコに、105gのトルエンと、41gのN-メチル-2-ピロリドン(NMP)と、7gのメタンスルホン酸とを入れた。次いで、ダイマージアミン(クローダジャパン社製「PRIAMINE1075」)9.3g(23mmol)と、トリシクロデカンジアミン10.2g(53mmol)とを添加した。次いで、ピロメリット酸二無水物13.1g(60mmol)を少しずつ添加した。ディーンスターク装置にナスフラスコを取り付け、3.5時間加熱還流した。このようにして、両末端にアミンを有しかつ複数のイミド骨格を有する化合物を得た。縮合時に排出される水分を除去し、室温に戻した後、無水マレイン酸4.42g(45mmol)を加えて撹拌し、同様に加熱し反応させた。このようにして、両末端にマレイミド骨格を有する化合物を得た。有機層を、水とエタノールとの混合溶媒で洗浄した後、混合溶媒を除去し、トルエン溶液を得た。次いで、トルエン溶液にイソプロパノールを添加して生成物の再沈殿を行った。その後真空オーブンで乾燥させ、マレイミド化合物(A2)を得た。
<Synthesis Example A2>
In a 500 mL eggplant flask, 105 g of toluene, 41 g of N-methyl-2-pyrrolidone (NMP), and 7 g of methanesulfonic acid were placed. Then, 9.3 g (23 mmol) of dimer diamine ("PRIAMINE 1075" manufactured by Croda Japan) and 10.2 g (53 mmol) of tricyclodecane diamine were added. Then, 13.1 g (60 mmol) of pyromellitic dianhydride was added little by little. The eggplant flask was attached to a Dean-Stark apparatus and heated under reflux for 3.5 hours. In this way, a compound having amines at both ends and multiple imide skeletons was obtained. After removing the moisture discharged during condensation and returning to room temperature, 4.42 g (45 mmol) of maleic anhydride was added and stirred, and similarly heated and reacted. In this way, a compound having maleimide skeletons at both ends was obtained. The organic layer was washed with a mixed solvent of water and ethanol, and the mixed solvent was removed to obtain a toluene solution. Next, isopropanol was added to the toluene solution to reprecipitate the product, which was then dried in a vacuum oven to obtain maleimide compound (A2).
 (熱硬化性化合物(D))
 マレイミド化合物(D1)(Designer Molecules Inc.社製「BMI3000J」、ダイマージアミンに由来する脂肪族骨格を有しかつダイマージアミン以外の脂環式骨格を有さないマレイミド化合物、マレイミド基の個数:2個)
 マレイミド化合物(D2)(日本化薬社製「MIR-3000-70MT」、ダイマージアミンに由来する脂肪族骨格及びダイマージアミン以外の脂環式骨格の双方を有さずかつ芳香族骨格を有するマレイミド化合物、固形分70重量%)
 オリゴフェニレンエーテル・スチレン化合物(三菱ガス化学社製「OPE-2St」)
 ポリフェニレンエーテル・メタクリル酸化合物(SABIC社製「SA9000-111」、25℃で固形)
 ビフェニル型エポキシ化合物(日本化薬社製「NC3000」、25℃で固形)
 N-フェニルマレイミド(25℃で固形)
 シアネート化合物含有液(ロンザジャパン社製「BA-3000S」、固形分75重量%)
(Thermosetting Compound (D))
Maleimide compound (D1) ("BMI3000J" manufactured by Designer Molecules Inc., a maleimide compound having an aliphatic skeleton derived from dimer diamine and having no alicyclic skeleton other than dimer diamine, number of maleimide groups: 2)
Maleimide compound (D2) ("MIR-3000-70MT" manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., a maleimide compound having neither an aliphatic skeleton derived from dimer diamine nor an alicyclic skeleton other than dimer diamine, and having an aromatic skeleton, solid content 70% by weight)
Oligophenylene ether-styrene compound ("OPE-2St" manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc.)
Polyphenylene ether-methacrylic acid compound (SABIC SA9000-111, solid at 25°C)
Biphenyl-type epoxy compound ("NC3000" manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., solid at 25°C)
N-Phenylmaleimide (solid at 25°C)
Cyanate compound-containing liquid ("BA-3000S" manufactured by Lonza Japan, solid content 75% by weight)
 (中空無機粒子(B))
 中空シリカ粒子(下記の作製方法Bに従って作製した粒子を下記の表面処理法Bに従って表面処理した粒子、ビニルシランによる表面処理物、平均粒径:1μm、空孔率:50体積%)
 中空アルミノシリケート粒子(市販品(太平洋セメント社製「セルスフィアーズNF」)の中空アルミノシリケート粒子を下記の表面処理法Bに従って表面処理した粒子、ビニルシランによる表面処理物、平均粒径:1μm、空孔率:75体積%)
(Hollow Inorganic Particles (B))
Hollow silica particles (particles prepared according to the preparation method B described below and surface-treated according to the surface treatment method B described below, surface-treated with vinylsilane, average particle size: 1 μm, porosity: 50% by volume)
Hollow aluminosilicate particles (commercially available hollow aluminosilicate particles ("CellSpheres NF" manufactured by Taiheiyo Cement Corporation) surface-treated according to the following surface treatment method B, surface-treated with vinylsilane, average particle size: 1 μm, porosity: 75% by volume)
 <作製方法B>
 純水965.5gにEO-PO-EO型ブロックコポリマー(EO80-PO30-EO80,ADEKA社製「プルロニック(登録商標)F68」)4.5gを添加し溶解するまで撹拌した。得られた水溶液にn-ドデカン30gを加えた後、シャフトジェネレータ(IKA社製「T50 digital ULTRA TURRAX」)を用いて予備乳化を行った。次いで、高圧乳化機(エスエムテー社製「LAB2000」)を用いて圧力40MPaで3回乳化作業を行い、微細エマルションを得た。得られた微細エマルションに、希釈したケイ酸ソーダ水溶液(SiO濃度10質量%、NaO濃度3.6質量%)30gを2Mの塩酸とともにpHが2となるようにゆっくりと加え、25℃に保持しながらよく撹拌した。次いで、1Mの水酸化ナトリウム水溶液をpHが6となるようにゆっくりと滴下し、オイルコア-シリカシェル粒子分散液を得た。
<Production Method B>
4.5 g of EO-PO-EO type block copolymer (EO80-PO30-EO80, ADEKA "Pluronic (registered trademark) F68") was added to 965.5 g of pure water and stirred until dissolved. 30 g of n-dodecane was added to the obtained aqueous solution, and then preliminary emulsification was performed using a shaft generator (IKA "T50 digital ULTRA TURRAX"). Next, emulsification was performed three times at a pressure of 40 MPa using a high-pressure emulsifier (SMT "LAB2000") to obtain a fine emulsion. 30 g of diluted sodium silicate aqueous solution ( SiO2 concentration 10 mass%, Na2O concentration 3.6 mass%) was slowly added to the obtained fine emulsion together with 2M hydrochloric acid so that the pH was 2, and the mixture was thoroughly stirred while maintaining the temperature at 25°C. Next, a 1M aqueous solution of sodium hydroxide was slowly added dropwise so that the pH became 6, to obtain an oil core-silica shell particle dispersion liquid.
 得られたオイルコア-シリカシェル粒子分散液を70℃に加熱し、撹拌しながら1Mの水酸化ナトリウム水溶液をゆっくりと添加し、pHを9とした。次いで、希釈ケイ酸ソーダ水溶液を、pHが9前後で維持されるように0.5Mの塩酸とともに徐々に添加した。次いで、70℃で2日間保持した後、ゆっくりと室温まで冷却し、中空シリカ前駆体分散液を得た。 The resulting oil core-silica shell particle dispersion was heated to 70°C, and 1M aqueous sodium hydroxide solution was slowly added with stirring to adjust the pH to 9. Next, a diluted aqueous sodium silicate solution was gradually added together with 0.5M hydrochloric acid so that the pH was maintained at around 9. The mixture was then kept at 70°C for 2 days and then slowly cooled to room temperature to obtain a hollow silica precursor dispersion.
 得られた中空シリカ前駆体分散液を、0.45μmの孔径を有する親水性ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)製メンブレンフィルターを用いて加圧ろ過した(圧力0.28MPa)。ろ過後の中空シリカケーキを窒素雰囲気下にて、60℃で1時間及び400℃で4時間か焼(昇温速度5℃/min)し、有機成分を除去することにより中空シリカ前駆体を得た。得られた中空シリカ前駆体を800℃で4時間焼成(昇温速度5℃/min)し、中空シリカ粒子を得た。 The obtained hollow silica precursor dispersion was filtered under pressure (pressure 0.28 MPa) using a hydrophilic polytetrafluoroethylene (PTFE) membrane filter with a pore size of 0.45 μm. The hollow silica cake after filtration was calcined in a nitrogen atmosphere at 60°C for 1 hour and at 400°C for 4 hours (heating rate 5°C/min) to remove organic components and obtain hollow silica precursor. The obtained hollow silica precursor was fired at 800°C for 4 hours (heating rate 5°C/min) to obtain hollow silica particles.
 <表面処理法B>
 作製方法Bで得られた中空無機粒子100重量部又は市販品(太平洋セメント社製「セルスフィアーズNF」)の中空無機粒子100重量部を、ヘンシェル型ミキサーに投入し、撹拌しながら100℃に加温した。撹拌中の中空無機粒子に、ビニルトリメトキシシラン(信越化学工業社製「KBM-1003」)1重量部を噴霧した。噴霧完了してから10分後に、表面処理された中空無機粒子を回収した。
<Surface treatment method B>
100 parts by weight of the hollow inorganic particles obtained by Preparation Method B or 100 parts by weight of a commercially available product ("CellSpheres NF" manufactured by Pacific Cement Corporation) hollow inorganic particles were charged into a Henschel type mixer and heated to 100° C. while stirring. 1 part by weight of vinyltrimethoxysilane ("KBM-1003" manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) was sprayed onto the hollow inorganic particles while stirring. 10 minutes after the completion of spraying, the surface-treated hollow inorganic particles were collected.
 (硬化促進剤(C))
 過酸化物(日油社製「パーブチルP」)
 イミダゾール化合物(2-フェニル-4-メチルイミダゾール、四国化成工業社製「2P4MZ」、アニオン性硬化促進剤)
(Curing Accelerator (C))
Peroxide (NOF Corp. "Perbutyl P")
Imidazole compound (2-phenyl-4-methylimidazole, "2P4MZ" manufactured by Shikoku Chemical Industry Co., Ltd., anionic curing accelerator)
 (実施例1~13及び比較例1,2)
 下記の表1,3及び5に示す成分を下記の表1,3及び5に示す配合量(単位は固形分重量部)で配合し、均一な溶液となるまで常温で撹拌し、樹脂材料を得た。
(Examples 1 to 13 and Comparative Examples 1 and 2)
The components shown in Tables 1, 3 and 5 below were mixed in the amounts (unit: parts by weight of solid content) shown in Tables 1, 3 and 5 below, and stirred at room temperature until a homogeneous solution was obtained, to obtain a resin material.
 樹脂フィルムの作製:
 アプリケーターを用いて、離型処理されたポリエチレンテレフタレートフィルム(PETフィルム、東レ社製「XG284」、厚み25μm)の離型処理面上に得られた樹脂材料を塗工した後、100℃のギヤオーブン内で2分30秒間乾燥し、溶剤を揮発させた。このようにして、PETフィルム上に、厚さが40μmである樹脂フィルム(Bステージフィルム)が積層されている積層フィルム(PETフィルムと樹脂フィルムとの積層フィルム)を得た。
Preparation of resin film:
The obtained resin material was applied to the release-treated surface of a release-treated polyethylene terephthalate film (PET film, Toray Industries, Inc., "XG284", thickness 25 μm) using an applicator, and then dried for 2 minutes and 30 seconds in a gear oven at 100° C. to volatilize the solvent. In this way, a laminated film (a laminated film of a PET film and a resin film) was obtained in which a resin film (B-stage film) having a thickness of 40 μm was laminated on the PET film.
 (評価)
 (1)硬化物の誘電率(Dk)及び誘電正接(Df)
 得られた厚さ40μmの樹脂フィルムを180℃で30分間加熱して仮硬化させた後、200℃で60分間加熱して、硬化物を得た。得られた硬化物を、幅2mm、長さ80mmの大きさに裁断して10枚を重ね合わせ、測定サンプルとした。関東電子応用開発社製「空洞共振摂動法誘電率測定装置CP521」及びキーサイトテクノロジー社製「ネットワークアナライザーN5224A PNA」を用いて、空洞共振法で常温(23℃)及び周波数10GHzにて、硬化物の誘電率(Dk)及び誘電正接(Df)を測定した。
(evaluation)
(1) Dielectric constant (Dk) and dielectric loss tangent (Df) of the cured product
The obtained resin film having a thickness of 40 μm was heated at 180° C. for 30 minutes to be temporarily cured, and then heated at 200° C. for 60 minutes to obtain a cured product. The obtained cured product was cut into a size of 2 mm wide and 80 mm long, and 10 sheets were stacked together to obtain a measurement sample. The dielectric constant (Dk) and dielectric loss tangent (Df) of the cured product were measured at room temperature (23° C.) and a frequency of 10 GHz by the cavity resonance method using a "Cavity Resonance Perturbation Method Dielectric Constant Measurement Device CP521" manufactured by Kanto Electronics Application Development Co., Ltd. and a "Network Analyzer N5224A PNA" manufactured by Keysight Technologies, Inc.
 [硬化物の誘電率(Dk)の判定基準]
 ○:誘電率が2.2以下
 △:誘電率が2.2を超え2.5以下
 ×:誘電率が2.5超える
[Criteria for dielectric constant (Dk) of cured product]
○: Dielectric constant is 2.2 or less △: Dielectric constant is more than 2.2 and less than 2.5 ×: Dielectric constant is more than 2.5
 [硬化物の誘電正接(Df)の判定基準]
 ○○:誘電正接が0.003以下
 ○:誘電正接が0.003を超え0.005以下
 △:誘電正接が0.005を超え0.007以下
 ×:誘電正接が0.007を超える
[Criteria for dielectric tangent (Df) of cured product]
○○: Dielectric dissipation factor is 0.003 or less. ○: Dielectric dissipation factor is more than 0.003 and less than 0.005. △: Dielectric dissipation factor is more than 0.005 and less than 0.007. ×: Dielectric dissipation factor is more than 0.007.
 (2)硬化物のガラス転移温度(Tg)
 得られた厚さ40μmの樹脂フィルムを180℃で30分間加熱して仮硬化させた後、200℃で60分間加熱して、硬化物を得た。得られた硬化物を、5mm×50mmの大きさに裁断した。熱機械的分析装置(エスアイアイ・ナノテクノロジー社製「DMS6100」)を用いて、チャック間距離20mm、振幅10μm、張力振幅初期値400mN、5℃/分の昇温速度で50℃から330℃まで温度を上昇させる条件、及び周波数10Hzの条件で測定を行った。得られた測定結果において、損失正接のピーク温度をガラス転移温度Tg(℃)とした。
(2) Glass transition temperature (Tg) of the cured product
The obtained resin film having a thickness of 40 μm was heated at 180° C. for 30 minutes to be temporarily cured, and then heated at 200° C. for 60 minutes to obtain a cured product. The obtained cured product was cut into a size of 5 mm×50 mm. Using a thermomechanical analyzer (SII Nanotechnology Inc.'s "DMS6100"), measurements were performed under the following conditions: chuck distance 20 mm, amplitude 10 μm, initial tension amplitude value 400 mN, temperature increase rate of 5° C./min from 50° C. to 330° C., and frequency of 10 Hz. In the obtained measurement results, the peak temperature of the loss tangent was taken as the glass transition temperature Tg (° C.).
 [硬化物のガラス転移温度(Tg)の判定基準]
 ○○:ガラス転移温度が150℃以上
 ○:ガラス転移温度が130℃以上150℃未満
 △:ガラス転移温度が100℃以上130℃未満
 ×:ガラス転移温度が100℃未満
[Criteria for determining the glass transition temperature (Tg) of the cured product]
○○: Glass transition temperature is 150° C. or higher. ○: Glass transition temperature is 130° C. or higher and less than 150° C. △: Glass transition temperature is 100° C. or higher and less than 130° C. ×: Glass transition temperature is less than 100° C.
 (3)ラミネート性
 厚さ18μmの銅層に縦1mm×横2mmの矩形の範囲がエッチングされるようにマスクをつけて、銅をエッチングすることで、1mm×2mmの矩形状の窪みを有する100mm角の基板を用意した。この基板の銅箔面の両面をメック社製「Cz8101」に浸漬して、銅箔の表面を粗化処理した。名機製作所社製「バッチ式真空ラミネーターMVLP-500-IIA」を用いて、粗化処理された基板の両面に、積層フィルムの樹脂フィルム(Bステージフィルム)側を基板上に重ねてラミネートして、積層構造体を得た。ラミネートの条件は、30秒減圧して気圧を13hPa以下とし、その後30秒間、100℃及び圧力0.7MPaでラミネートし、更にプレス圧力0.8MPa及びプレス温度100℃で60秒間プレスする条件とした。PETフィルムを剥離して、100℃で30分間加熱した後、180℃で30分間さらに加熱し、樹脂フィルムを半硬化させた。銅パターンが存在する部分の樹脂フィルムの半硬化物の表面(基板とは反対側の表面)と、銅パターンが存在しない部分の樹脂フィルム半硬化物の表面(基板とは反対側の表面)とを観察し、光学式段差計を用いて、隣り合う凹部部分と凸部部分との高低差の最大値を求めた。
(3) Lamination A 100 mm square substrate having a rectangular recess of 1 mm x 2 mm was prepared by etching the copper with a mask attached to a copper layer having a thickness of 18 μm so that a rectangular range of 1 mm x 2 mm was etched. Both sides of the copper foil surface of this substrate were immersed in "Cz8101" manufactured by Mec Co., Ltd. to roughen the surface of the copper foil. Using "Batch-type vacuum laminator MVLP-500-IIA" manufactured by Meiki Seisakusho Co., Ltd., the resin film (B stage film) side of the laminated film was laminated on both sides of the roughened substrate to obtain a laminated structure. The lamination conditions were as follows: decompression for 30 seconds to make the air pressure 13 hPa or less, then lamination at 100 ° C. and pressure 0.7 MPa for 30 seconds, and further pressing at a press pressure of 0.8 MPa and a press temperature of 100 ° C. for 60 seconds. The PET film was peeled off, and the resin film was semi-cured by heating at 100° C. for 30 minutes and then further heating at 180° C. for 30 minutes. The surface of the semi-cured resin film in the portion where the copper pattern was present (the surface opposite the substrate) and the surface of the semi-cured resin film in the portion where the copper pattern was not present (the surface opposite the substrate) were observed, and the maximum height difference between adjacent concave and convex portions was determined using an optical step gauge.
 [ラミネート性の判定基準]
 ○:高低差の最大値が1.5μm未満
 △:高低差の最大値が1.5μm以上2μm未満
 ×:高低差の最大値が2μm以上
[Lamination criteria]
○: The maximum height difference is less than 1.5 μm △: The maximum height difference is 1.5 μm or more and less than 2 μm ×: The maximum height difference is 2 μm or more
 (4)粗化処理後の表面粗度のばらつき
 ラミネート工程及び半硬化処理:
 両面銅張積層板(CCL基板)(昭和電工マテリアルズ社製「MCL-E-679FG」)を用意した。この両面銅張積層板の銅箔面の両面をメック社製「Cz8101」に浸漬して、銅箔の表面を粗化処理した。粗化処理された銅張積層板の両面に、名機製作所社製「バッチ式真空ラミネーターMVLP-500-IIA」を用いて、積層フィルムの樹脂フィルム(Bステージフィルム)側を銅張積層板上に重ねてラミネートして、積層構造体を得た。ラミネートの条件は、30秒減圧して気圧を13hPa以下とし、その後30秒間、100℃及び圧力0.7MPaでラミネートし、更にプレス圧力0.8MPa及びプレス温度100℃で60秒間プレスする条件とした。次いで、PETフィルムを剥離して、180℃で30分間加熱し、樹脂フィルムを半硬化させた。このようにして、CCL基板に樹脂フィルムの半硬化物が積層されている積層体を得た。
(4) Variation in surface roughness after roughening treatment Lamination process and semi-curing treatment:
A double-sided copper-clad laminate (CCL substrate) ("MCL-E-679FG" manufactured by Showa Denko Materials Co., Ltd.) was prepared. Both sides of the copper foil surface of this double-sided copper-clad laminate were immersed in "Cz8101" manufactured by MEC Co., Ltd., and the surface of the copper foil was roughened. On both sides of the roughened copper-clad laminate, the resin film (B stage film) side of the laminated film was laminated on the copper-clad laminate using a "batch type vacuum laminator MVLP-500-IIA" manufactured by Meiki Seisakusho Co., Ltd., to obtain a laminated structure. The lamination conditions were as follows: the pressure was reduced for 30 seconds to a pressure of 13 hPa or less, and then laminated at 100 ° C. and a pressure of 0.7 MPa for 30 seconds, and further pressed at a pressure of 0.8 MPa and a press temperature of 100 ° C. for 60 seconds. Next, the PET film was peeled off and heated at 180 ° C. for 30 minutes to semi-cure the resin film. In this manner, a laminate was obtained in which a semi-cured resin film was laminated on a CCL substrate.
 粗化処理:
 (a)膨潤処理:
 60℃の膨潤液(アトテックジャパン社製「スウェリングディップセキュリガントP」)に、得られた積層体を入れて、10分間揺動させた。その後、純水で洗浄した。
Roughening treatment:
(a) Swelling treatment:
The obtained laminate was placed in a swelling liquid (Swelling Dip Securigant P, manufactured by Atotech Japan) at 60° C. and shaken for 10 minutes, and then washed with pure water.
 (b)過マンガン酸塩処理(粗化処理及びデスミア処理):
 80℃の過マンガン酸カリウム(アトテックジャパン社製「コンセントレートコンパクトCP」)粗化水溶液に、膨潤処理後の積層体を入れて、30分間揺動させた。次に、25℃の洗浄液(アトテックジャパン社製「リダクションセキュリガントP」)を用いて2分間処理した後、純水で洗浄を行い、評価サンプルを得た。
(b) Permanganate treatment (roughening treatment and desmear treatment):
The laminate after the swelling treatment was placed in a roughening aqueous solution of potassium permanganate ("Concentrate Compact CP" manufactured by Atotech Japan) at 80° C. and swung for 30 minutes. Next, the laminate was treated for 2 minutes using a cleaning solution ("Reduction Securigant P" manufactured by Atotech Japan) at 25° C., and then washed with pure water to obtain an evaluation sample.
 表面粗さの測定:
 評価サンプル(粗化処理された硬化物)の表面において、94μm×123μmの領域を任意に10箇所選択した。この10箇所の各領域について、非接触3次元表面形状測定装置(Veeco社製「WYKO NT1100」)を用いて、算術平均粗さRaを測定した。測定された10箇所の算術平均粗さRaから表面粗さの均一性を評価した。測定された10箇所の算術平均粗さRaの最大値と最小値との差の絶対値から、粗化処理後の表面粗度のばらつきを評価した。なお、上記算術平均粗さRaは、JIS B0601:1994に準拠して測定した。
Surface roughness measurement:
On the surface of the evaluation sample (roughened cured product), 10 areas of 94 μm × 123 μm were arbitrarily selected. For each of the 10 areas, the arithmetic mean roughness Ra was measured using a non-contact three-dimensional surface shape measuring device (Veeco's "WYKO NT1100"). The uniformity of the surface roughness was evaluated from the arithmetic mean roughness Ra measured at the 10 points. The variation in the surface roughness after the roughening treatment was evaluated from the absolute value of the difference between the maximum and minimum values of the arithmetic mean roughness Ra measured at the 10 points. The arithmetic mean roughness Ra was measured in accordance with JIS B0601:1994.
 [粗化処理後の表面粗度のばらつきの判定基準]
 ○○:算術平均粗さRaの最大値と最小値との差の絶対値が25nm未満
 ○:算術平均粗さRaの最大値と最小値との差の絶対値が25nm以上50nm未満
 △:算術平均粗さRaの最大値と最小値との差の絶対値が50nm以上100nm未満
 ×:算術平均粗さRaの最大値と最小値との差の絶対値が100nm以上
[Criteria for judging the variation in surface roughness after roughening treatment]
◯: The absolute value of the difference between the maximum and minimum values of the arithmetic mean roughness Ra is less than 25 nm. ○: The absolute value of the difference between the maximum and minimum values of the arithmetic mean roughness Ra is 25 nm or more and less than 50 nm. Δ: The absolute value of the difference between the maximum and minimum values of the arithmetic mean roughness Ra is 50 nm or more and less than 100 nm. ×: The absolute value of the difference between the maximum and minimum values of the arithmetic mean roughness Ra is 100 nm or more.
 組成及び結果を下記の表1~6に示す。 The compositions and results are shown in Tables 1 to 6 below.
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
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Figure JPOXMLDOC01-appb-T000002
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Figure JPOXMLDOC01-appb-T000003
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Figure JPOXMLDOC01-appb-T000004
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Figure JPOXMLDOC01-appb-T000005
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Figure JPOXMLDOC01-appb-T000006
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000006
 11…多層プリント配線板
 12…回路基板
 12a…上面
 13~16…絶縁層
 17…金属層
11: multilayer printed wiring board 12: circuit board 12a: upper surface 13-16: insulating layers 17: metal layer

Claims (11)

  1.  マレイミド基を2個以上有するマレイミド化合物(A)と、
     中空無機粒子(B)と、
     硬化促進剤(C)とを含み、
     前記マレイミド化合物(A)が、ダイマージアミンに由来する骨格と、ダイマージアミン以外の脂環式骨格を有するジアミン化合物に由来する骨格とを有する、樹脂材料。
    A maleimide compound (A) having two or more maleimide groups;
    Hollow inorganic particles (B);
    and a curing accelerator (C),
    The resin material, wherein the maleimide compound (A) has a skeleton derived from a dimer diamine and a skeleton derived from a diamine compound having an alicyclic skeleton other than a dimer diamine.
  2.  前記ダイマージアミン以外の脂環式骨格を有するジアミン化合物が、トリシクロデカンジアミン、ノルボルナンジアミン又はイソホロンジアミンである、請求項1に記載の樹脂材料。 The resin material according to claim 1, wherein the diamine compound having an alicyclic skeleton other than the dimer diamine is tricyclodecane diamine, norbornane diamine, or isophorone diamine.
  3.  樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、前記マレイミド化合物(A)の含有量が、10重量%以上80重量%以下である、請求項1又は2に記載の樹脂材料。 The resin material according to claim 1 or 2, wherein the content of the maleimide compound (A) is 10% by weight or more and 80% by weight or less out of 100% by weight of the components excluding the solvent in the resin material.
  4.  前記中空無機粒子(B)を形成する無機物が、シリカ、アルミノシリケート又はシルセスキオキサンを含む、請求項1~3のいずれか1項に記載の樹脂材料。 The resin material according to any one of claims 1 to 3, wherein the inorganic substance forming the hollow inorganic particles (B) includes silica, aluminosilicate, or silsesquioxane.
  5.  樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、前記中空無機粒子(B)の含有量が、60重量%以下である、請求項1~4のいずれか1項に記載の樹脂材料。 The resin material according to any one of claims 1 to 4, in which the content of the hollow inorganic particles (B) is 60% by weight or less out of 100% by weight of the components excluding the solvent in the resin material.
  6.  下記の熱硬化性化合物(D1)、下記の熱硬化性化合物(D2)又は下記の熱硬化性化合物(D3)である熱硬化性化合物(D)をさらに含む、請求項1~5のいずれか1項に記載の樹脂材料。
     熱硬化性化合物(D1):マレイミド基を1個有する熱硬化性化合物
     熱硬化性化合物(D2):マレイミド基を2個以上有する熱硬化性化合物であって、ダイマージアミンに由来する骨格(i)及びダイマージアミン以外の脂環式骨格を有するジアミン化合物に由来する骨格(ii)の内の少なくとも一方を有さない熱硬化性化合物
     熱硬化性化合物(D3):マレイミド基を有さずかつマレイミド基と反応可能な官能基を有する熱硬化性化合物
    The resin material according to any one of claims 1 to 5, further comprising a thermosetting compound (D) which is the following thermosetting compound (D1), the following thermosetting compound (D2), or the following thermosetting compound (D3).
    Thermosetting compound (D1): a thermosetting compound having one maleimide group. Thermosetting compound (D2): a thermosetting compound having two or more maleimide groups, which does not have at least one of the skeleton (i) derived from dimer diamine and the skeleton (ii) derived from a diamine compound having an alicyclic skeleton other than dimer diamine. Thermosetting compound (D3): a thermosetting compound having no maleimide group and a functional group capable of reacting with a maleimide group.
  7.  前記熱硬化性化合物(D)が、エポキシ基、ビニル基、スチリル基、ベンゾオキサジン基、シアネート基、アリル基、メタクリロイル基又はマレイミド基を有する熱硬化性化合物を含む、請求項6に記載の樹脂材料。 The resin material according to claim 6, wherein the thermosetting compound (D) includes a thermosetting compound having an epoxy group, a vinyl group, a styryl group, a benzoxazine group, a cyanate group, an allyl group, a methacryloyl group, or a maleimide group.
  8.  樹脂フィルムである、請求項1~7のいずれか1項に記載の樹脂材料。 The resin material according to any one of claims 1 to 7, which is a resin film.
  9.  多層プリント配線板において、絶縁層を形成するために用いられる、請求項1~8のいずれか1項に記載の樹脂材料。 The resin material according to any one of claims 1 to 8, which is used to form an insulating layer in a multilayer printed wiring board.
  10.  樹脂材料の硬化物であって、
     前記樹脂材料が、請求項1~9のいずれか1項に記載の樹脂材料である、硬化物。
    A cured product of a resin material,
    A cured product, wherein the resin material is the resin material according to any one of claims 1 to 9.
  11.  回路基板と、
     前記回路基板の表面上に配置された複数の絶縁層と、
     複数の前記絶縁層間に配置された金属層とを備え、
     複数の前記絶縁層の内の少なくとも1層が、請求項1~9のいずれか1項に記載の樹脂材料の硬化物である、多層プリント配線板。
    A circuit board;
    a plurality of insulating layers disposed on a surface of the circuit board;
    a metal layer disposed between a plurality of the insulating layers;
    A multilayer printed wiring board, wherein at least one of the insulating layers is a cured product of the resin material according to any one of claims 1 to 9.
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