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WO2020250637A1 - プローブピン、検査治具および検査ユニット - Google Patents

プローブピン、検査治具および検査ユニット Download PDF

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WO2020250637A1
WO2020250637A1 PCT/JP2020/020160 JP2020020160W WO2020250637A1 WO 2020250637 A1 WO2020250637 A1 WO 2020250637A1 JP 2020020160 W JP2020020160 W JP 2020020160W WO 2020250637 A1 WO2020250637 A1 WO 2020250637A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
contact portion
contact
elastic
probe pin
socket
Prior art date
Application number
PCT/JP2020/020160
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
直哉 笹野
宏真 寺西
貴浩 酒井
Original Assignee
オムロン株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by オムロン株式会社 filed Critical オムロン株式会社
Priority to CN202080040779.3A priority Critical patent/CN113924499A/zh
Priority to KR1020217039154A priority patent/KR102710367B1/ko
Publication of WO2020250637A1 publication Critical patent/WO2020250637A1/ja

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    • G01R31/50—Testing of electric apparatus, lines, cables or components for short-circuits, continuity, leakage current or incorrect line connections
    • G01R31/54—Testing for continuity

Definitions

  • This disclosure relates to probe pins, inspection jigs and inspection units.
  • continuity inspection, operating characteristic inspection, etc. are generally performed in the manufacturing process. These inspections are performed by connecting the terminals for connecting to the main body board installed in the electronic component module and the terminals of the inspection device using probe pins.
  • This probe pin includes a pair of contacts that can contact the electrode terminals of the electronic component and the electrode terminals of the connected electronic component, respectively, and a meandering portion that connects the pair of contacts by interposing between the pair of contacts. There is.
  • a pair of contacts are arranged at the center in the width direction perpendicular to the expansion / contraction direction of the meandering portion so that each contact does not fall in the width direction when the meandering portion is expanded / contracted. For this reason, when a plurality of the probe pins are arranged side by side in the width direction, it becomes difficult to narrow the arrangement interval of the adjacent contacts. For example, for a pair of terminals of the narrow pitched electronic component module, each of the probe pins is arranged. It may not be possible to bring the contacts into contact with each other at the same time, and it may not be possible to cope with the narrowing of the pitch of the electronic component module.
  • An object of the present disclosure is to provide a probe pin capable of narrowing the pitch of a contact object, an inspection jig equipped with the probe pin, and an inspection unit equipped with the inspection jig.
  • the probe pin of the example of the present disclosure is An elastic part that can be elastically deformed along the first direction, With the first contact portion to which one end of the elastic portion in the first direction is connected, A second contact portion to which the other end of the elastic portion in the first direction is connected is provided.
  • the elastic portion is a probe pin that can be accommodated in the socket in a state of being expandable and contractible in the first direction.
  • the elastic part A first contact portion extending from the first contact portion along a second direction intersecting the first direction to form one end of the elastic portion in the first direction.
  • a second that is arranged on the same side of the first contact portion and the second contact portion in the second direction and extends from the second contact portion along the second direction to form the other end of the elastic portion.
  • Each of the first contact portion and the second contact portion is configured to be able to contact the inside of the socket in the first direction while being housed in the socket.
  • the inspection jig of the example of the present disclosure is With the probe pin With the socket capable of accommodating the probe pin, When the probe pin is housed in the socket, each of the first contact portion and the second contact portion is configured to abut on the inner surface of the socket in the first direction.
  • the inspection unit of the example of the present disclosure is At least one of the inspection jigs is provided.
  • the elastic portion extends from the first contact portion along the second direction to form one end of the elastic portion, and the first contact portion and the second contact portion in the second direction. It has a second contact portion that is arranged on the same side with respect to the contact portion and extends from the second contact portion along the second direction to form the other end of the elastic portion.
  • Each of the first contact portion and the second contact portion is configured to be able to contact the inside of the socket in the first direction when housed in the socket.
  • the probe pin can realize an inspection jig capable of inspecting a narrow-pitched inspection object.
  • the inspection jig can realize an inspection unit capable of inspecting a narrow-pitch inspection object.
  • the perspective view which shows the probe pin of one Embodiment of this disclosure The plan view of the inspection jig provided with the probe pin of FIG. It is a figure for demonstrating the state of the elastic part when an external force is applied to the 1st contact part of the probe pin of FIG. The figure for demonstrating the state of the elastic part when an external force is applied to the 2nd contact part of the probe pin of FIG.
  • the plan view of the inspection jig provided with the probe pin of FIG. FIG. 5 is a diagram for explaining a state of an elastic portion when an external force is applied to the first contact portion and the second contact portion of the probe pin of FIG.
  • FIG. 5 is a diagram for explaining a state of an elastic portion when an external force is applied to the second contact portion of the probe pin of FIG.
  • the probe pin 10 of the embodiment of the present disclosure is, for example, as shown in FIG. 1, has an elongated thin plate shape in the first direction X and has conductivity.
  • the probe pin 10 is used in a state of being housed in an insulating socket 100 as shown in FIG. 2, and constitutes an inspection jig 2 together with the socket 100.
  • the inspection jig 2 houses a plurality of probe pins 10.
  • the inspection jig 2 constitutes a part of the inspection unit 1.
  • the inspection unit 1 has a pair of inspection jigs 2.
  • the first contact portions 321 and 331 and the second contact portion 41 of the probe pin 10 which will be described later, intersect (for example, orthogonally) in the first direction X in a state of being exposed to the outside from the socket 100. It is arranged so as to be adjacent to the second direction Y.
  • each socket 100 has a plurality of accommodating portions 101 (only one is shown in FIG. 2) inside the socket 100.
  • Each accommodating portion 101 has a slit shape, and each accommodating portion 101 is configured to be electrically independently accommodating and holding one probe pin 10. Further, the accommodating portions 101 are arranged in a line and at equal intervals along a direction intersecting the first direction X and the second direction Y (that is, the paper surface penetrating direction in FIG. 2).
  • each socket 100 is not limited to the case where the probe pin 10 is housed and a gap is formed between the inner surface of the first direction X and the probe pin 10. .
  • each socket 100 may be configured such that the probe pin 10 is accommodated in a state where the contact portions 201 and 202 at both ends thereof are in contact with the inner surface of the socket 100.
  • each probe pin 10 has an elastic portion 20 that can be elastically deformed along the first direction X and a first contact portion 30 in which both ends of the elastic portion 20 in the first direction X are connected. And a second contact portion 40.
  • Each probe pin 10 is formed by an electroforming method as an example, and the elastic portion 20, the first contact portion 30, and the second contact portion 40 are arranged in series and integrally formed along the first direction X. ing.
  • the elastic portion 20 includes a first contact portion 201 forming one end of the elastic portion 20 in the first direction X and a second contact portion 201 forming the other end of the elastic portion 20 in the first direction X. It has a contact portion 202.
  • the first contact portion 201 extends from the first contact portion 30 in the second direction Y.
  • the second contact portion 202 is arranged on the same side of the first contact portion 201 and the second contact portion 40 in the second direction Y, and extends from the second contact portion 40 along the second direction Y.
  • Each of the first contact portion 201 and the second contact portion 202 is configured to be able to contact the inside of the socket 100 constituting the accommodation portion 101 in the first direction X in a state of being housed in the socket 100. ..
  • the elastic portion 20 is composed of a plurality of elastic pieces (in this embodiment, two band-shaped elastic pieces) 21 and 22 arranged with a gap 23 between them, as an example. ing.
  • Each of the elastic pieces 21 and 22 has a meandering shape composed of a plurality of extending portions 24 extending in the second direction Y and a plurality of curved portions 25 connected to the adjacent extending portions 24, respectively.
  • the elastic portion 20 is composed of four extending portions 24 and three curved portions 25.
  • Each extending portion 24 is arranged with a gap 27 from each other in the first direction X.
  • Each extending portion 24 arranged at both ends of the first direction X constitutes the first contact portion 201 and the second contact portion 202, respectively.
  • the extending portion 24 constituting the first contact portion 201 one end in the second direction Y is connected to the first contact portion 30, and the other end in the second direction Y is connected to the curved portion 25.
  • the extending portion 24 constituting the second contact portion 202 one end of the second direction Y is connected to the second contact portion 40, and the other end of the second direction Y is connected to the curved portion 25.
  • One end of the extending portion 24 constituting the second contact portion 202 is connected to the second contact portion 40 in a state where the two elastic pieces 21 and 22 are connected by the connecting portion 26 and integrated. There is.
  • each curved portion 25 is arranged on one side of the second direction Y with respect to one end 301 of the first contact portion 30 in the second direction Y.
  • the first contact portion 30 includes, as an example, a main body portion 31 to which the elastic portion 20 is connected and a pair extending from the main body portion 31 in the first direction X and in a direction away from the elastic portion 20. It has legs 32 and 33.
  • the main body 31 has a through hole 311 provided at the end on the elastic portion 20 side in the first direction X.
  • the through hole 311 is connected to the gap 23 between the elastic pieces 21 and 22 of the elastic portion 20.
  • the legs 32 and 33 are arranged with a gap 34 in the second direction Y and are configured to be elastically deformable in the second direction Y, and have first contact portions 321 and 331 provided at the tips thereof. ing.
  • Each of the first contact portions 321 and 331 is configured to be able to contact the convex contact 50 of the inspection object, which is an example of the contact object, from the first direction X.
  • each of the leg portions 32 and 33 has protrusions 322 and 332 provided on the side surfaces facing the second direction Y. The protrusions 322 and 332 project so as to close the gap 34 between the pair of legs 32 and 33, and prevent the convex contact 50 from being excessively inserted into the gap 34.
  • the second contact portion 40 has a substantially rectangular shape extending in the first direction X as an example.
  • the tip of the second contact portion 40 in the first direction X and farther from the elastic portion 20 has a substantially triangular shape that tapers in the first direction X and away from the elastic portion 20, and the second contact portion 41 is formed. It is configured.
  • the second contact portion 41 is configured to be able to contact the terminal 60 of the inspection object, which is an example of the contact object, from the first direction X.
  • a notch 42 is provided on the side surface 401 of the pair of side surfaces facing each other in the second direction Y of the second contact portion 40 to which the elastic portion 20 is not connected. The notch 42 is provided at the end of the side surface 401 of the second contact 40 near the elastic portion 20 in the first direction X.
  • FIG. 3 shows the state of the elastic portion 20 when an external force in the X1 direction toward the inside of the socket 100 is applied to the second contact portion 41 of the second contact portion 40.
  • the elastic portion 20 elastically deforms without contacting the adjacent elastic pieces 21 and 22.
  • the elastic portion 20 is arranged on one side in the second direction Y with respect to the side surface 401 (see FIG. 2) to which the elastic portion 20 is not connected.
  • the second contact portion 41 contacts the surface of the terminal 60 and is on the other side (that is, the second direction) in the second direction Y with respect to the side surface 401 of the second contact portion 40.
  • the second contact portion 40 moves from the side surface 401 in the second direction Y to the side opposite to the side where the elastic portion 20 is arranged).
  • the film can be removed by the wiping operation of the second contact portion 41, so that the influence of the film formation on the contact reliability and the like can be reduced.
  • the elastic portion 20 is elastically deformed without contacting the adjacent elastic pieces 21 and 22, and the wiping operation similar to the case where only the external force in the X1 direction is applied by the second contact portion 41 is performed. Will be.
  • the first contact portions 321 and 331 move along the first direction X toward the inside of the socket 100 by an external force in the X2 direction.
  • the elastic portion 20 extends from the first contact portion 30 along the second direction Y to form one end of the elastic portion 20, and the first contact portion 201 and the second contact portion 201 in the second direction Y. It has a second contact portion 202 that is arranged on the same side of the first contact portion 201 and the second contact portion 40 and extends from the second contact portion 40 along the second direction Y to form the other end of the elastic portion 20. ..
  • Each of the first contact portion 201 and the second contact portion 202 is configured to be able to contact the inside of the socket 100 in the first direction X when housed in the socket 100.
  • the first contact portion 30 is provided at the end portion far from the elastic portion 20 in the first direction X, and the first contact portions 321 and 331 capable of contacting the contact object 50 from the first direction X.
  • the second contact portion 40 is provided at the end portion far from the elastic portion 20 in the first direction X, and has a second contact portion 41 capable of contacting the contact object 60 from the first direction X.
  • the elastic portions 20 extend along the second direction Y, and are connected to a plurality of extending portions 24, which are respectively arranged with a gap 27 in the first direction X, and adjacent extending portions 24. It has a curved portion 25 that has been formed.
  • Each of the extending portions 24 arranged at both ends of the first direction X constitutes the first contact portion 201 and the second contact portion 202, respectively.
  • the curved portion 25 is arranged on one side of the second direction Y with respect to one end of the first contact portion 30 in the second direction Y.
  • the elastic portion 20 has a plurality of elastic pieces 21 and 22 arranged so as to have a gap 23 between them. With such a configuration, the elastic portion 20 can be elastically deformed more smoothly, and the durability of the elastic portion 20 can be improved.
  • the inspection jig 2 capable of inspecting an inspection object having a narrow pitch. Further, the inspection jig 2 provided with the probe pin 10 can realize an inspection unit 1 capable of inspecting an inspection object having a narrow pitch.
  • each of the first contact portion 30 and the second contact portion 40 can adopt any shape and configuration as long as both ends of the elastic portion 20 in the first direction X can be connected to each other.
  • each of the first contact portion 30 and the second contact portion 40 may be provided with contact portions capable of contacting the contact object from the second direction Y.
  • the first contact portion 30 may be provided with a contact portion having the same configuration as the second contact portion 41, or the second contact portion 40 may be provided with a plurality of contact portions.
  • the elastic portion 20 can adopt any shape and configuration as long as it has the first contact portion 201 and the second contact portion 202.
  • the elastic portion 20 may have a shape other than the meandering shape, or may be composed of one elastic piece.
  • the elastic portion 20 may have at least two extending portions 24 and at least one curved portion 25. Further, for example, the elastic portion 20 may have a larger number of extending portions 24 and curved portions 25 than the probe pins 10 of FIG. 1, as shown in FIGS. 5 to 8.
  • the elastic portion 20 is provided in the extending portion 24 in the middle of the first direction X and has a rib 28 connecting the pair of elastic pieces 21 and 22. ..
  • FIGS. 7 and 8 even if an external force is applied to any of the first contact portions 321 and 331 and the second contact portion 41 by the rib 28, the elastic piece 21 adjacent to the elastic portion 20 , 22 are elastically deformed without contact.
  • FIG. 7 shows the state of the elastic portion 20 when external forces in the X1 and X2 directions are applied to the first contact portions 321 and 331 and the second contact portion 41, respectively.
  • the probe pin 10 of the first aspect of the present disclosure is An elastic portion 20 that can be elastically deformed along the first direction X, With the first contact portion 30 to which one end of the elastic portion 20 in the first direction X is connected, A second contact portion 40 to which the other end of the elastic portion 20 in the first direction X is connected is provided.
  • the elastic portion 20 is a probe pin 10 that can be accommodated in the socket 100 in a state of being expandable and contractible in the first direction X.
  • the elastic portion 20 A first contact portion 201 extending from the first contact portion 30 along a second direction Y intersecting the first direction X to form one end of the elastic portion 20 in the first direction.
  • the elastic portion 20 is arranged on the same side of the first contact portion 201 and the second contact portion 40 in the second direction Y and extends from the second contact portion 40 along the second direction Y. It has a second contact portion 202 that constitutes the other end, and has a second contact portion 202. Each of the first contact portion 201 and the second contact portion 202 is configured to be able to contact the inside of the socket 100 in the first direction X while being housed in the socket 100.
  • the probe pin 10 of the first aspect for example, when a plurality of probe pins 10 having contact portions 321, 331, and 41 in each of the first contact portion 30 and the second contact portion 40 are accommodated in the socket 100.
  • the arrangement interval of the contact portions 321, 331, 41 of the probe pin 10 adjacent to the second direction Y can be reduced. As a result, it is possible to realize a probe pin 10 capable of narrowing the pitch of the contact objects 50 and 60.
  • the probe pin 10 of the second aspect of the present disclosure is The first contact portion 321 is provided at an end portion of the first direction X far from the elastic portion 20 and is capable of contacting the contact object 50 from the first direction X.
  • the second contact portion 40 is provided at an end portion far from the elastic portion 20 in the first direction X, and a second contact portion 41 capable of contacting the contact object 60 from the first direction X is provided.
  • the probe pin 10 of the second aspect for example, when a plurality of probe pins 10 having contact portions 321, 331, and 41 in each of the first contact portion 30 and the second contact portion 40 are accommodated in the socket 100.
  • the arrangement interval of the contact portions 321, 331, and 41 of the probe pin 10 adjacent to the second direction Y can be more reliably reduced.
  • the probe pin 10 of the third aspect of the present disclosure is The elastic portion 20 is arranged on one side of the second direction Y with respect to one end 301 of the first contact portion 30 in the second direction Y.
  • the direction X1 in which at least one of the first contact portions 321 and 331 or the second contact portion 41 is in the first direction X and the first contact portions 321 and 331 and the second contact portion 41 approach each other.
  • X2 is configured to be movable toward the other side of the second direction Y when an external force is applied.
  • the contact object 60 is brought into contact with the second contact portion 41 from the first direction X, and the first contact portions 321 and 331 and the second contact portion 41 are brought into contact with each other. It is assumed that an external force in the X1 direction that approaches each other is applied. In this case, the second contact portion 41 moves to the other side in the second direction Y with respect to the side surface 401 of the second contact portion 40 in the second direction Y while contacting the surface of the terminal 60.
  • this wiping operation for example, even if a film is formed on the surface of the terminal 60, the film can be removed, so that the influence of the formation of the film on the contact reliability and the like can be reduced.
  • the probe pin 10 of the fourth aspect of the present disclosure is The elastic portion 20 A plurality of extending portions 24 extending along the second direction Y and arranged in the first direction X with a gap 27 from each other. It has a curved portion 25 connected to the extending portion 24 adjacent to the extending portion 24, and has a curved portion 25.
  • Each of the extending portions 24 arranged at both ends of the first direction X constitutes the first contact portion 201 and the second contact portion 202, respectively.
  • the curved portion 25 is arranged on one side of the second direction Y with respect to one end 301 of the first contact portion 30 in the second direction Y.
  • the probe pin 10 of the fourth aspect the probe pin 10 capable of narrowing the pitch of the contact objects 50 and 60 can be easily realized.
  • the probe pin 10 of the fifth aspect of the present disclosure is The elastic portion 20 It has a plurality of elastic pieces 21 and 22 arranged with a gap 23 between them.
  • the elastic portion 20 can be elastically deformed more smoothly, and the durability of the elastic portion 20 can be improved.
  • the inspection jig 2 of the sixth aspect of the present disclosure is The probe pin 10 of the above aspect and The socket 100 capable of accommodating the probe pin 10 is provided.
  • each of the first contact portion 201 and the second contact portion 202 abuts on the inner surface of the socket 100 in the first direction X. It is configured.
  • the inspection jig 2 of the sixth aspect it is possible to realize the inspection jig 2 capable of inspecting a narrow-pitched inspection object by the probe pin 10.
  • the inspection unit 1 of the seventh aspect of the present disclosure is At least one of the inspection jigs 2 is provided.
  • the inspection jig 2 can realize the inspection unit 1 capable of inspecting a narrow-pitched inspection object.
  • the probe pin of the present disclosure can be applied to an inspection jig used for inspection of semiconductors such as a camera device, a USB device, an HDMI (registered trademark) device, or a QFN device and a SON device.
  • the inspection jig of the present disclosure can be applied to an inspection unit used for inspection of semiconductors such as a camera device, a USB device, an HDMI (registered trademark) device, or a QFN device and a SON device.
  • an inspection unit used for inspection of semiconductors such as a camera device, a USB device, an HDMI (registered trademark) device, or a QFN device and a SON device.
  • the inspection unit of the present disclosure can be used for inspection of semiconductors such as camera devices, USB devices, HDMI (registered trademark) devices, or QFN devices and SON devices.

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Abstract

プローブピンが、第１方向に沿って弾性変形可能な弾性部と、弾性部の第１方向の一端が接続された第１接触部と、弾性部の第１方向の他端が接続された第２接触部とを備える。弾性部が、第１接触部から第２方向に沿って延びて弾性部の一端を構成する第１当接部と、第２方向において第１当接部と第２接触部に対する同じ側に配置され、第２接触部から第２方向に沿って延びて弾性部の他端を構成する第２当接部とを有する。第１当接部および第２当接部の各々が、ソケットに収容された状態で第１方向においてソケットの内部に当接可能に構成されている。

Description

プローブピン、検査治具および検査ユニット
　本開示は、プローブピン、検査治具および検査ユニットに関する。
　カメラあるいは液晶パネル等の電子部品モジュールでは、一般に、その製造工程において、導通検査および動作特性検査等が行われる。これらの検査は、プローブピンを用いて、電子部品モジュールに設置されている本体基板に接続するための端子と、検査装置の端子とを接続することにより行われる。
　このようなプローブピンとしては、特許文献１に記載されたものがある。このプローブピンは、電子部品の電極端子および被接続電子部品の電極端子に対してそれぞれ接触可能な一対のコンタクトと、一対のコンタクト間に介在して一対のコンタクトを接続する蛇行部とを備えている。
特開２００２－１３４２０２号公報
　前記プローブピンでは、蛇行部の伸縮方向に直行する幅方向の中心に一対のコンタクトをそれぞれ配置して、蛇行部を伸縮させた際に各コンタクトが幅方向に倒れないようにしている。このため、複数の前記プローブピンを幅方向に並べて配置すると、隣接する各コンタクトの配置間隔を狭くすることが難しくなり、例えば、狭ピッチ化された電子部品モジュールの一対の端子に対して、各コンタクトを同時に接触させた状態にすることができず、電子部品モジュールの狭ピッチ化に対応することができない場合がある。
　本開示は、接触対象物の狭ピッチ化に対応可能なプローブピン、このプローブピンを備えた検査治具、および、この検査治具を備えた検査ユニットを提供することを目的とする。
　本開示の一例のプローブピンは、
　第１方向に沿って弾性変形可能な弾性部と、
　前記弾性部の前記第１方向の一端が接続された第１接触部と、
　前記弾性部の前記第１方向の他端が接続された第２接触部と
を備え、
　前記弾性部が、前記第１方向に伸縮可能な状態でソケットに収容可能なプローブピンであって、
　前記弾性部が、
　前記第１接触部から前記第１方向に交差する第２方向に沿って延びて前記弾性部の前記第１方向の一端を構成する第１当接部と、
　前記第２方向において前記第１当接部と前記第２接触部に対する同じ側に配置され、前記第２接触部から前記第２方向に沿って延びて前記弾性部の前記他端を構成する第２当接部と
を有し、
　前記第１当接部および前記第２当接部の各々が、前記ソケットに収容された状態で前記第１方向において前記ソケットの内部に当接可能に構成されている。
　また、本開示の一例の検査治具は、
　前記プローブピンと、
　前記プローブピンを収容可能な前記ソケットと
を備え、
　前記ソケットに前記プローブピンを収容したときに、前記第１当接部および前記第２当接部の各々が、前記第１方向において、前記ソケットの内面に当接するように構成されている。
　また、本開示の一例の検査ユニットは、
　前記検査治具を少なくとも１つ備える。
　前記プローブピンによれば、弾性部が、第１接触部から第２方向に沿って延びて弾性部の一端を構成する第１当接部と、第２方向において第１当接部と第２接触部に対する同じ側に配置され第２接触部から第２方向に沿って延びて弾性部の他端を構成する第２当接部とを有する。第１当接部および第２当接部の各々が、ソケットに収容されたときに第１方向においてソケットの内部に当接可能に構成されている。このような構成により、例えば、第１接触部および第２接触部の各々に接点部をそれぞれ設けたプローブピンをソケットに複数収容する場合、第２方向に隣接するプローブピンの接点部の配置間隔を小さくすることができる。その結果、接触対象物の狭ピッチ化に対応可能なプローブピンを実現できる。
　前記検査治具によれば、前記プローブピンにより、狭ピッチ化された検査対象物を検査可能な検査治具を実現できる。
　前記検査ユニットによれば、前記検査治具により、狭ピッチ化された検査対象物を検査可能な検査ユニットを実現できる。
本開示の一実施形態のプローブピンを示す斜視図。 図１のプローブピンを備えた検査治具の平面図。 図１のプローブピンの第１接点部に対して外力を加えた場合の弾性部の状態を説明するための図。 図１のプローブピンの第２接点部に対して外力を加えた場合の弾性部の状態を説明するための図。 図１のプローブピンの変形例を示す斜視図。 図５のプローブピンを備えた検査治具の平面図。 図５のプローブピンの第１接点部および第２接点部に対して外力を加えた場合の弾性部の状態を説明するための図。 図５のプローブピンの第２接点部に対して外力を加えた場合の弾性部の状態を説明するための図。
　以下、本開示の一例を添付図面に従って説明する。なお、以下の説明では、必要に応じて特定の方向あるいは位置を示す用語（例えば、「上」、「下」、「右」、「左」を含む用語）を用いるが、それらの用語の使用は図面を参照した本開示の理解を容易にするためであって、それらの用語の意味によって本開示の技術的範囲が限定されるものではない。また、以下の説明は、本質的に例示に過ぎず、本開示、その適用物、あるいは、その用途を制限することを意図するものではない。さらに、図面は模式的なものであり、各寸法の比率等は現実のものとは必ずしも合致していない。
　本開示の一実施形態のプローブピン１０は、例えば、図１に示すように、第１方向Ｘに細長い薄板状で導電性を有している。このプローブピン１０は、一例として、図２に示すように、絶縁性のソケット１００に収容された状態で使用され、ソケット１００と共に検査治具２を構成する。検査治具２には、一例として、複数のプローブピン１０が収容されている。
　また、図２に示すように、検査治具２は、検査ユニット１の一部を構成している。この実施形態では、検査ユニット１は、一対の検査治具２を有している。各検査治具２は、後述するプローブピン１０の第１接点部３２１、３３１および第２接点部４１が、ソケット１００から外部に露出した状態で、第１方向Ｘに交差（例えば、直交）する第２方向Ｙに隣接するように配置されている。
　各ソケット１００は、図２に示すように、その内部に複数の収容部１０１（図２には、１つのみ示す）を有している。各収容部１０１は、スリット状を有し、それぞれ１つのプローブピン１０を電気的に独立して収容可能かつ保持可能に構成されている。また、各収容部１０１は、第１方向Ｘおよび第２方向Ｙに交差する方向（すなわち、図２の紙面貫通方向）に沿って一列に並んでかつ等間隔に配置されている。
　なお、各ソケット１００は、図２に示すように、プローブピン１０を収容した状態で、第１方向Ｘの内面とプローブピン１０との間に隙間が形成されるように構成する場合に限らない。例えば、各ソケット１００は、プローブピン１０が、その両端の当接部２０１、２０２が共にソケット１００の内面に接触した状態で収容されるように構成してもよい。
　各プローブピン１０は、図２に示すように、第１方向Ｘに沿って弾性変形可能な弾性部２０と、この弾性部２０の第１方向Ｘの両端がそれぞれ接続された第１接触部３０および第２接触部４０とを備えている。各プローブピン１０は、一例として、電鋳法で形成され、弾性部２０、第１接触部３０および第２接触部４０が、第１方向Ｘに沿って直列的に配置されかつ一体に構成されている。
　弾性部２０は、図２に示すように、弾性部２０の第１方向Ｘの一端を構成する第１当接部２０１と、弾性部２０の第１方向Ｘの他端を構成する第２当接部２０２とを有している。第１当接部２０１は、第１接触部３０から第２方向Ｙに延びている。第２当接部２０２は、第２方向Ｙにおいて第１当接部２０１と第２接触部４０に対する同じ側に配置されて、第２接触部４０から第２方向Ｙに沿って延びている。第１当接部２０１および第２当接部２０２の各々は、ソケット１００に収容された状態で、第１方向Ｘにおいて収容部１０１を構成するソケット１００の内部に当接可能に構成されている。
　また、弾性部２０は、図２に示すように、一例として、相互に隙間２３を空けて配置された複数の弾性片（この実施形態では、２つの帯状の弾性片）２１、２２で構成されている。各弾性片２１、２２は、第２方向Ｙにそれぞれ延びた複数の延在部２４と、隣接する延在部２４にそれぞれ接続された複数の湾曲部２５とで構成された蛇行形状を有している。この実施形態では、弾性部２０は、４つの延在部２４と、３つの湾曲部２５とで構成されている。
　各延在部２４は、第１方向Ｘにおいて相互に隙間２７を空けて配置されている。第１方向Ｘの両端に配置された各延在部２４が、第１当接部２０１および第２当接部２０２をそれぞれ構成している。第１当接部２０１を構成する延在部２４は、第２方向Ｙの一端が第１接触部３０に接続され、第２方向Ｙの他端が湾曲部２５に接続されている。第２当接部２０２を構成する延在部２４は、第２方向Ｙの一端が第２接触部４０に接続され、第２方向Ｙの他端が湾曲部２５に接続されている。なお、第２当接部２０２を構成する延在部２４の一端は、２つの弾性片２１、２２が接続部２６により接続されて一体化された状態で、第２接触部４０に接続されている。
　各湾曲部２５は、一例として、第１接触部３０の第２方向Ｙの一端３０１に対して、第２方向Ｙの一方側に配置されている。
　第１接触部３０は、図２に示すように、一例として、弾性部２０が接続された本体部３１と、この本体部３１から第１方向Ｘでかつ弾性部２０から離れる方向に延びる一対の脚部３２、３３とを有している。
　本体部３１は、第１方向Ｘの弾性部２０側の端部に設けられた貫通孔３１１を有している。この貫通孔３１１は、弾性部２０の弾性片２１、２２間の隙間２３に接続されている。
　各脚部３２、３３は、第２方向Ｙに隙間３４を空けて配置され第２方向Ｙに弾性変形可能に構成されており、その先端に設けられた第１接点部３２１、３３１を有している。第１接点部３２１、３３１の各々は、接触対象物の一例である検査対象物の凸接点５０に第１方向Ｘから接触可能に構成されている。また、各脚部３２、３３は、第２方向Ｙに対向する側面に設けられた突起部３２２、３３２を有している。各突起部３２２、３３２は、一対の脚部３２、３３の間の隙間３４を塞ぐように突出しており、凸接点５０の隙間３４への過剰挿入を防止している。
　第２接触部４０は、図２に示すように、一例として、第１方向Ｘに延びる略矩形状を有している。第２接触部４０の第１方向Ｘでかつ弾性部２０から遠い方の先端は、第１方向Ｘでかつ弾性部２０から離れるに従って先細りとなる略三角形状を有し、第２接点部４１を構成している。第２接点部４１は、接触対象物の一例である検査対象物の端子６０に第１方向Ｘから接触可能に構成されている。また、第２接触部４０の第２方向Ｙにおいて対向する一対の側面のうちの弾性部２０が接続されてない側面４０１には、切欠部４２が設けられている。この切欠部４２は、第２接触部４０の側面４０１における第１方向Ｘの弾性部２０に近い端に設けられている。
　図３に、第２接触部４０の第２接点部４１に対して、ソケット１００の内部に向かうＸ１方向の外力を加えた場合の弾性部２０の状態を示す。図３に示すように、第２接点部４１に対してＸ１方向の外力が加えられると、弾性部２０は、隣接する弾性片２１、２２が接触することなく弾性変形する。また、弾性部２０が、第１接触部３０の第２方向Ｙの一端３０１（図２参照）に対して、あるいは、第２接触部４０の第２方向Ｙにおいて対向する一対の側面のうちの弾性部２０が接続されてない側面４０１（図２参照）に対して、第２方向Ｙにおける一方側に配置されている。このため、第２接点部４１は、Ｘ１方向の外力が加えられると、端子６０の表面に接触しながら、第２接触部４０の側面４０１に対する第２方向Ｙにおける他方側（すなわち、第２方向Ｙにおいて、第２接触部４０の第２方向Ｙの側面４０１から、弾性部２０が配置されている側とは反対側に向かう方向）に移動する。例えば、端子６０の表面上に被膜が形成されたとしても、第２接点部４１のワイピング動作により、この被膜を除去することができるので、被膜の形成による接触信頼性などに対する影響を軽減できる。
　また、図４に、Ｘ１方向の外力に加えて、第１接触部３０の第１接点部３２１、３３１に対して、ソケット１００の内部に向かうＸ２方向の外力を加えた場合の弾性部２０の状態を示す。この場合においても、弾性部２０は、隣接する弾性片２１、２２が接触することなく弾性変形し、第２接点部４１によって、Ｘ１方向の外力のみが加えられた場合と同様のワイピング動作が行われる。第１接点部３２１、３３１は、Ｘ２方向の外力によって、ソケット１００の内部に向かって第１方向Ｘに沿って移動する。
　前記プローブピン１０によれば、弾性部２０が、第１接触部３０から第２方向Ｙに沿って延びて弾性部２０の一端を構成する第１当接部２０１と、第２方向Ｙにおいて第１当接部２０１と第２接触部４０に対する同じ側に配置され第２接触部４０から第２方向Ｙに沿って延びて弾性部２０の他端を構成する第２当接部２０２とを有する。第１当接部２０１および第２当接部２０２の各々が、ソケット１００に収容されたときに第１方向Ｘにおいてソケット１００の内部に当接可能に構成されている。このような構成により、例えば、第１接触部３０および第２接触部４０の各々に第１接点部３２１、３３１および第２接点部４１をそれぞれ設けたプローブピン１０をソケット１００に複数収容する場合、第２方向Ｙに隣接するプローブピン１０の第１接点部３２１、３３１および第２接点部４１の配置間隔を小さくすることができる。その結果、接触対象物５０、６０の狭ピッチ化に対応可能なプローブピン１０を実現できる。
　また、第１接触部３０が、第１方向Ｘにおける弾性部２０から遠い方の端部に設けられ、接触対象物５０に対して第１方向Ｘから接触可能な第１接点部３２１、３３１を有し、第２接触部４０が、第１方向Ｘにおける弾性部２０から遠い方の端部に設けられ、接触対象物６０に対して第１方向Ｘから接触可能な第２接点部４１を有している。このような構成により、例えば、第１接触部３０および第２接触部４０の各々に接点部３２１、３３１、４１をそれぞれ設けたプローブピン１０をソケット１００に複数収容する場合、第２方向Ｙに隣接するプローブピン１０の接点部３２１、３３１、４１の配置間隔をより確実に小さくすることができる。
　また、弾性部２０が、第２方向Ｙに沿ってそれぞれ延びると共に、第１方向Ｘに相互に隙間２７を空けてそれぞれ配置された複数の延在部２４と、隣接する延在部２４に接続された湾曲部２５とを有する。第１方向Ｘの両端に配置された延在部２４の各々が、第１当接部２０１および第２当接部２０２をそれぞれ構成する。湾曲部２５が、第１接触部３０の第２方向Ｙの一端に対して、第２方向Ｙの一方側に配置されている。このような構成により、接触対象物５０、６０の狭ピッチ化に対応可能なプローブピン１０を容易に実現できる。
　また、弾性部２０が、相互に隙間２３を空けて配置された複数の弾性片２１、２２を有している。このような構成により、弾性部２０をより円滑に弾性変形させて、弾性部２０の耐久性を向上させることができる。
　前記プローブピン１０により、狭ピッチ化された検査対象物を検査可能な検査治具２を実現できる。また、前記プローブピン１０を備えた検査治具２により、狭ピッチ化された検査対象物を検査可能な検査ユニット１を実現できる。
　なお、第１接触部３０および第２接触部４０の各々は、弾性部２０の第１方向Ｘの両端がそれぞれ接続可能であれば、任意の形状および構成を採用することができる。例えば、第１接触部３０および第２接触部４０の各々に第２方向Ｙから接触対象物に接触可能な接点部を設けてもよい。また、例えば、第１接触部３０に第２接点部４１と同じ構成の接点部を設けてもよいし、第２接触部４０に複数の接点部を設けてもよい。
　弾性部２０は、第１当接部２０１および第２当接部２０２を有していれば、任意の形状および構成を採用することができる。例えば、弾性部２０は、蛇行形状以外の形状あってもよいし、１つの弾性片で構成されていてもよい。
　また、弾性部２０は、少なくとも２つの延在部２４と、少なくとも１つの湾曲部２５を有していればよい。また、例えば、弾性部２０は、図５～図８に示すように、図１のプローブピン１０よりも多い数の延在部２４および湾曲部２５を有することもできる。図５～図８のプローブピン１０では、弾性部２０は、その第１方向Ｘの中間の延在部２４に設けられて、一対の弾性片２１、２２を接続するリブ２８を有している。図７および図８に示すように、このリブ２８によって、第１接点部３２１、３３１および第２接点部４１のいずれに対して外力が加えられたとしても、弾性部２０の隣接する弾性片２１、２２は、接触することなく弾性変形する。なお、図７では、第１接点部３２１、３３１および第２接点部４１のそれぞれに対して、Ｘ１方向およびＸ２方向の外力を加えた場合の弾性部２０の状態を示している。
　以上、図面を参照して本開示における種々の実施形態を詳細に説明したが、最後に、本開示の種々の態様について説明する。なお、以下の説明では、一例として、参照符号も添えて記載する。
　本開示の第１態様のプローブピン１０は、
　第１方向Ｘに沿って弾性変形可能な弾性部２０と、
　前記弾性部２０の前記第１方向Ｘの一端が接続された第１接触部３０と、
　前記弾性部２０の前記第１方向Ｘの他端が接続された第２接触部４０と
を備え、
　前記弾性部２０が、前記第１方向Ｘに伸縮可能な状態でソケット１００に収容可能なプローブピン１０であって、
　前記弾性部２０が、
　前記第１接触部３０から前記第１方向Ｘに交差する第２方向Ｙに沿って延びて前記弾性部２０の前記第１方向の一端を構成する第１当接部２０１と、
　前記第２方向Ｙにおいて前記第１当接部２０１と前記第２接触部４０に対する同じ側に配置され、前記第２接触部４０から前記第２方向Ｙに沿って延びて前記弾性部２０の前記他端を構成する第２当接部２０２と
を有し、
　前記第１当接部２０１および前記第２当接部２０２の各々が、前記ソケット１００に収容された状態で前記第１方向Ｘにおいて前記ソケット１００の内部に当接可能に構成されている。
　第１態様のプローブピン１０によれば、例えば、第１接触部３０および第２接触部４０の各々に接点部３２１、３３１、４１をそれぞれ設けたプローブピン１０をソケット１００に複数収容する場合、第２方向Ｙに隣接するプローブピン１０の接点部３２１、３３１、４１の配置間隔を小さくすることができる。その結果、接触対象物５０、６０の狭ピッチ化に対応可能なプローブピン１０を実現できる。
　本開示の第２態様のプローブピン１０は、
　前記第１接触部３０が、前記第１方向Ｘにおける前記弾性部２０から遠い方の端部に設けられ、接触対象物５０に対して前記第１方向Ｘから接触可能な第１接点部３２１、３３１を有し、
　前記第２接触部４０が、前記第１方向Ｘにおける前記弾性部２０から遠い方の端部に設けられ、接触対象物６０に対して前記第１方向Ｘから接触可能な第２接点部４１を有する。
　第２態様のプローブピン１０によれば、例えば、第１接触部３０および第２接触部４０の各々に接点部３２１、３３１、４１をそれぞれ設けたプローブピン１０をソケット１００に複数収容する場合、第２方向Ｙに隣接するプローブピン１０の接点部３２１、３３１、４１の配置間隔をより確実に小さくすることができる。
　本開示の第３態様のプローブピン１０は、
　前記弾性部２０が、前記第１接触部３０の前記第２方向Ｙの一端３０１に対して、前記第２方向Ｙの一方側に配置されており、
　前記第１接点部３２１、３３１または前記第２接点部４１の少なくともいずれかが、前記第１方向Ｘでかつ前記第１接点部３２１、３３１および前記第２接点部４１が相互に接近する方向Ｘ１、Ｘ２の外力を加えたときに、前記第２方向Ｙの他方側に向かって移動可能に構成されている。
　第３態様のプローブピン１０によれば、例えば、第２接点部４１に対して、第１方向Ｘから接触対象物６０を接触させて、第１接点部３２１、３３１および第２接点部４１が相互に接近するＸ１方向の外力を加えるとする。この場合、第２接点部４１は、端子６０の表面に接触しながら、第２接触部４０の第２方向Ｙの側面４０１に対する第２方向Ｙにおける他方側に移動する。このワイピング動作により、例えば、端子６０の表面上に被膜が形成されたとしても、この被膜を除去することができるので、被膜の形成による接触信頼性などに対する影響を軽減できる。
　本開示の第４態様のプローブピン１０は、
　前記弾性部２０が、
　前記第２方向Ｙに沿ってそれぞれ延びると共に、前記第１方向Ｘに相互に隙間２７を空けてそれぞれ配置された複数の延在部２４と、
　隣接する前記延在部２４に接続された湾曲部２５と
を有し、
　前記第１方向Ｘの両端に配置された前記延在部２４の各々が、前記第１当接部２０１および前記第２当接部２０２をそれぞれ構成し、
　前記湾曲部２５が、前記第１接触部３０の前記第２方向Ｙの一端３０１に対して、前記第２方向Ｙの一方側に配置されている。
　第４態様のプローブピン１０によれば、接触対象物５０、６０の狭ピッチ化に対応可能なプローブピン１０を容易に実現できる。
　本開示の第５態様のプローブピン１０は、
　前記弾性部２０が、
　相互に隙間２３を空けて配置された複数の弾性片２１、２２を有している。
　第５態様のプローブピン１０によれば、弾性部２０をより円滑に弾性変形させて、弾性部２０の耐久性を向上させることができる。
　本開示の第６態様の検査治具２は、
　前記態様のプローブピン１０と、
　前記プローブピン１０を収容可能な前記ソケット１００と
を備え、
　前記ソケット１００に前記プローブピン１０を収容したときに、前記第１当接部２０１および前記第２当接部２０２の各々が、前記第１方向Ｘにおいて、前記ソケット１００の内面に当接するように構成されている。
　第６態様の検査治具２によれば、前記プローブピン１０により、狭ピッチ化された検査対象物を検査可能な検査治具２を実現できる。
　本開示の第７態様の検査ユニット１は、
　前記検査治具２を少なくとも１つ備える。
　第７態様の検査ユニット１によれば、前記検査治具２により、狭ピッチ化された検査対象物を検査可能な検査ユニット１を実現できる。
　なお、前記様々な実施形態または変形例のうちの任意の実施形態または変形例を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。また、実施形態同士の組み合わせまたは実施例同士の組み合わせまたは実施形態と実施例との組み合わせが可能であると共に、異なる実施形態または実施例の中の特徴同士の組み合わせも可能である。
　本開示は、添付図面を参照しながら好ましい実施形態に関連して充分に記載されているが、この技術の熟練した人々にとっては種々の変形や修正は明白である。そのような変形や修正は、添付した請求の範囲による本開示の範囲から外れない限りにおいて、その中に含まれると理解されるべきである。
　本開示のプローブピンは、例えば、カメラデバイス、ＵＳＢデバイス、ＨＤＭＩ（登録商標）デバイス、あるいは、ＱＦＮデバイスおよびＳＯＮデバイスなどの半導体の検査に用いる検査治具に適用できる。
　本開示の検査治具は、例えば、カメラデバイス、ＵＳＢデバイス、ＨＤＭＩ（登録商標）デバイス、あるいは、ＱＦＮデバイスおよびＳＯＮデバイスなどの半導体の検査に用いる検査ユニットに適用できる。
　本開示の検査ユニットは、例えば、カメラデバイス、ＵＳＢデバイス、ＨＤＭＩ（登録商標）デバイス、あるいは、ＱＦＮデバイスおよびＳＯＮデバイスなどの半導体の検査に用いることができる。
１　検査ユニット
２　検査治具
１０　プローブピン
２０　弾性部
２０１　第１当接部
２０２　第２当接部
２１、２２　弾性片
２３　隙間
２４　延在部
２５　湾曲部
２６　接続部
２７　隙間
２８　リブ
３０　第１接触部
３０１　一端
３１　本体部
３１１　貫通孔
３２、３３　脚部
３２１、３３１　第１接点部
３２２、３３２　突起部
３４　隙間
４０　第２接触部
４０１　側面
４１　第２接点部
４２　切欠部
５０　凸接点
６０　端子
１００　ソケット
１０１　収容部

Claims (7)

  1. 　第１方向に沿って弾性変形可能な弾性部と、
    　前記弾性部の前記第１方向の一端が接続された第１接触部と、
    　前記弾性部の前記第１方向の他端が接続された第２接触部と
    を備え、
    　前記弾性部が、前記第１方向に伸縮可能な状態でソケットに収容可能なプローブピンであって、
    　前記弾性部が、
    　前記第１接触部から前記第１方向に交差する第２方向に沿って延びて前記弾性部の前記第１方向の一端を構成する第１当接部と、
    　前記第２方向において前記第１当接部と前記第２接触部に対する同じ側に配置され、前記第２接触部から前記第２方向に沿って延びて前記弾性部の前記他端を構成する第２当接部と
    を有し、
    　前記第１当接部および前記第２当接部の各々が、前記ソケットに収容された状態で前記第１方向において前記ソケットの内部に当接可能に構成されている、プローブピン。
  2. 　前記第１接触部が、前記第１方向における前記弾性部から遠い方の端部に設けられ、接触対象物に対して前記第１方向から接触可能な第１接点部を有し、
    　前記第２接触部が、前記第１方向における前記弾性部から遠い方の端部に設けられ、接触対象物に対して前記第１方向から接触可能な第２接点部を有する、請求項１のプローブピン。
  3. 　前記弾性部が、前記第１接触部の前記第２方向の一端に対して、前記第２方向の一方側に配置されており、
    　前記第１接点部または前記第２接点部の少なくともいずれかが、前記第１方向でかつ前記第１接点部および前記第２接点部が相互に接近する方向の外力を加えたときに、前記第２方向の他方側に向かって移動可能に構成されている、請求項２のプローブピン。
  4. 　前記弾性部が、
    　前記第２方向に沿ってそれぞれ延びると共に、前記第１方向に相互に隙間を空けてそれぞれ配置された複数の延在部と、
    　隣接する前記延在部に接続された湾曲部と
    を有し、
    　前記第１方向の両端に配置された前記延在部の各々が、前記第１当接部および前記第２当接部をそれぞれ構成し、
    　前記湾曲部が、前記第１接触部の前記第２方向の一端に対して、前記第２方向の一方側に配置されている、請求項１から３のいずれか１つのプローブピン。
  5. 　前記弾性部が、
    　相互に隙間を空けて配置された複数の弾性片を有している、請求項１から４のいずれか１つのプローブピン。
  6. 　請求項１から５のいずれか１つのプローブピンと、
    　前記プローブピンを収容可能な前記ソケットと
    を備え、
    　前記ソケットに前記プローブピンを収容したときに、前記第１当接部および前記第２当接部の各々が、前記第１方向において、前記ソケットの内面に当接するように構成されている、検査治具。
  7. 　請求項６の検査治具を少なくとも１つ備える、検査ユニット。
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