WO2019030801A1

WO2019030801A1 - 蒸着用マスク及び蒸着用マスクの製造方法

Info

Publication number: WO2019030801A1
Application number: PCT/JP2017/028592
Authority: WO
Inventors: 信作中島
Original assignee: シャープ株式会社
Priority date: 2017-08-07
Filing date: 2017-08-07
Publication date: 2019-02-14
Also published as: US20190352764A1

Abstract

マスクフレーム（２）の開口（２ａ）においては、カバーシート（４）は、ハウリングシート（３）に備えられた凹部（３ａ）を介して、ハウリングシート（３）と交差している。

Description

蒸着用マスク及び蒸着用マスクの製造方法

　本発明は、蒸着用マスクと、蒸着用マスクの製造方法とに関するものである。

　近年、さまざまなフラットパネルディスプレイが開発されており、特に、ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ　ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）表示装置は、低消費電力化、薄型化および高画質化などを実現できる点から、優れたフラットパネルディスプレイとして高い注目を浴びている。

　上記ＥＬ表示装置としては、ＯＬＥＤ（Organic Light Emitting Diode：有機発光ダイオード）を備えた有機ＥＬ（Electro Luminescence：エレクトロルミネッセンス）ディスプレイ、又は無機発光ダイオードを備えた無機ＥＬディスプレイ等のＥＬディスプレイ、ＱＬＥＤ（Quantum dot Light Emitting Diode：量子ドット発光ダイオード）を備えたＱＬＥＤディスプレイ等を例に挙げることができる。

　このようなＥＬ表示装置の製造工程においては、基板上に高精細な発光層を含む蒸着膜を形成するため、高精細な蒸着用マスクを必要とするので、高精細な蒸着用マスクへの要求が高い。

　特許文献１には、中央部に大きな開口を備えた枠状のマスクフレームと、各々が複数の単位マスキングパターン部を有するとともに、各々が互いに所定の幅で重畳する一方向に細長い形状の単位マスク部材（ディバイデッドマスクとも称する）とを備えた蒸着用マスクについて記載されており、上記一方向に細長い形状の単位マスク部材は、上記一方向において引張り力が加えられた状態でマスクフレームに固定されている。

　特許文献２には、長方形の貫通穴からなる複数の基板側開口部を備えた一つの支持基板に対して、成膜パターンに対応する複数の開口部を備えた単位マスク部材を個々に、位置合わせして取り付けた構成の蒸着用マスクについて記載されている。

日本国公開特許公報「特開２００４‐１４５１３号」公報（２００４年０１月１５日公開）日本国公開特許公報「特開２００８‐１５６６８６号」公報（２００８年０７月１０日公開）

　特許文献１に記載されている蒸着用マスクの場合、複数の一方向に細長い形状の単位マスク部材を備えた構成であり、各々の単位マスク部材は、その長手方向において、容易に撓む。

　しかしながら、特許文献１に記載されている蒸着用マスクの場合、上記単位マスク部材の各々が撓むのを防止するための上記長手方向と直交する方向に配置され、上記枠状のマスクフレームに固定されるハウリングシートを備えていない。

　したがって、特許文献１に記載されている蒸着用マスクの場合、単位マスク部材の上記長手方向における撓みの影響で、十分に満足できる程の高精細な蒸着用マスクとはならない。

　一方、特許文献２に記載されている蒸着用マスクの場合、各々の単位マスク部材の長さが短いので、上述した特許文献１に記載されている蒸着用マスクの場合のような単位マスク部材の長手方向における撓みの問題は生じない。

　しかしながら、単位マスク部材の個々を、長方形の貫通穴からなる複数の基板側開口部を備えた一つの支持基板に対して、位置合わせして取り付けるので、位置合わせして取り付ける工程が複雑になるという問題がある。

　そこで、上記特許文献１及び上記特許文献２に開示されている蒸着用マスクの問題点を改善するため、下記図６に図示されているように、ハウリングシート１０３と、カバーシート１０４とを備えたマスクフレーム１０２が提案されている。

　図６の（ａ）は、ハウリングシート１０３と、カバーシート１０４とが固定されている従来のマスクフレーム１０２の概略構成を示す図であり、図６の（ｂ）は、図６の（ａ）に図示したＣ部分の部分拡大図である。

　図６の（ａ）に図示した従来のマスクフレーム１０２の場合、図示してないが第１方向の長さが上記第１方向と直交する第２方向の長さより長い、細長い形状の単位マスク部材（図１参照）が撓むのを防止するための長手方向が第２方向に沿うように配置されたハウリングシート１０３を備えているので、特許文献１に記載されている蒸着用マスクの場合のような単位マスク部材の長手方向における撓みの問題は抑制できる。

　また、図６の（ａ）に図示した従来のマスクフレーム１０２の場合、図示してないが細長い形状の単位マスク部材（図１参照）の各々を、長手方向が第１方向に沿うように配置されたカバーシート１０４を間に挟むように、上記第１方向において引張り力が加えられた状態で、マスクフレーム１０２に固定するので、位置合わせ及び取り付け工程における効率が高く、特許文献２に記載されている蒸着用マスクの場合のように位置合わせして取り付ける工程が複雑になることを抑制できる。

　しかしながら、図６の（ａ）及び図６の（ｂ）に図示されているように、マスクフレーム１０２の開口１０２ａにおいては、長手方向が第２方向に沿うように配置されたハウリングシート１０３と、長手方向が第１方向に沿うように配置されたカバーシート１０４とが互いに交差するように備えられているが、図６の（ｂ）に図示されているように、ハウリングシート１０３の上をカバーシート１０４が通る場合、ハウリングシート１０３とカバーシート１０４との間には、カバーシート１０４の厚さ分の段差が生じることとなる。

　一方、図示してないが、カバーシート１０４の上をハウリングシート１０３が通る場合、ハウリングシート１０３とカバーシート１０４との間には、ハウリングシート１０３の厚さ分の段差が生じることとなる。

　以上のように、ハウリングシート１０３とカバーシート１０４との間の段差が大きい場合は、ハウリングシート１０３と接するように形成された単位マスク部材は、カバーシート１０４の厚さ分の段差の影響で、カバーシート１０４と平面視において重ねることができなかったり、ハウリングシート１０３の厚さ分の段差の影響で、カバーシート１０４と離れて形成されるので、カバーシート１０４による遮蔽効果が弱くなるという問題がある。

　本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、カバーシートによる遮蔽効果が高い高精細な蒸着用マスクと、カバーシートによる遮蔽効果が高く、かつ、単位マスク部材（ディバイデッドマスク）を位置合わせして取り付ける工程が複雑になることを抑制した高精細な蒸着用マスクの製造方法を提供することを目的とする。

　本発明の蒸着用マスクは、上記の課題を解決するために、開口を有する枠状のマスクフレームと、上記マスクフレームに所定間隔で固定されているとともに、複数の開口を含む開口群を複数有し、第１方向の長さが、上記第１方向と直交する第２方向の長さより長い複数の単位マスク部材と、長手方向が上記第１方向に沿うように上記マスクフレームに固定された複数のカバーシートと、長手方向が上記第２方向に沿うように上記マスクフレームに固定された複数のハウリングシートとを備えた蒸着用マスクであって、上記複数のカバーシートと上記複数のハウリングシートとは、上記マスクフレームの開口において、互いに交差しており、上記カバーシートと上記ハウリングシートとが互いに交差する部分においては、上記カバーシートは、上記ハウリングシートに備えられた凹部を介して、上記ハウリングシートと交差しており、上記複数の単位マスク部材の各々は、上記複数のハウリングシートの各々における上記凹部以外の部分と接するとともに、上記マスクフレームの開口において上記複数のカバーシートによって区切られた領域の各々の上に配置されていることを特徴としている。

　上記構成によれば、ハウリングシートとカバーシートとの間の段差を小さくできるので、カバーシートによる遮蔽効果が高い高精細な蒸着用マスクを実現できる。

　本発明の蒸着用マスクの製造方法は、上記の課題を解決するために、開口を有する枠状のマスクフレームと、上記マスクフレームに所定間隔で固定されているとともに、複数の開口を含む開口群を複数有し、第１方向の長さが、上記第１方向と直交する第２方向の長さより長い複数の単位マスク部材と、長手方向が上記第１方向に沿うように上記マスクフレームに固定された複数のカバーシートと、長手方向が上記第２方向に沿うように上記マスクフレームに固定された複数のハウリングシートとを備えた蒸着用マスクの製造方法であって、上記複数のハウリングシートの各々に凹部を形成する工程と、上記マスクフレームの開口において、上記カバーシートは、上記ハウリングシートに備えられた凹部を介して、上記ハウリングシートと交差するように、上記複数のカバーシートと上記複数のハウリングシートとを上記マスクフレームに固定する工程と、上記複数の単位マスク部材の各々が、上記複数のハウリングシートの各々における上記凹部以外の部分と接するとともに、上記マスクフレームの開口において上記複数のカバーシートによって区切られた領域の各々の上に配置されるように、上記複数の単位マスク部材の各々を上記マスクフレームに固定する工程と、を含むことを特徴としている。

　上記方法によれば、ハウリングシートとカバーシートとの間の段差を小さくできるとともに、複数の開口を含む開口群を複数有し、第１方向の長さが、上記第１方向と直交する第２方向の長さより長い複数の単位マスク部材を位置合わせして取り付けるので、カバーシートによる遮蔽効果が高く、かつ、単位マスク部材（ディバイデッドマスク）を位置合わせして取り付ける工程が複雑になることを抑制した高精細な蒸着用マスクの製造方法を実現できる。

　本発明の一態様によれば、カバーシートによる遮蔽効果が高い高精細な蒸着用マスクと、カバーシートによる遮蔽効果が高く、かつ、単位マスク部材（ディバイデッドマスク）を位置合わせして取り付ける工程が複雑になることを抑制した高精細な蒸着用マスクの製造方法とを提供できる。

ディバイデッドマスクの概略構成を示す図である。実施形態１の蒸着用マスクの概略構成及び製造工程を説明するための図である。（ａ）は、図２の（ｄ）に図示した蒸着用マスクに備えられたハウリングシートの概略構成及び製造工程を説明するための図であり、（ｂ）は、図２の（ｄ）に図示した蒸着用マスクにおけるカバーシートとハウリングシートとが互いに交差する部分を示す図である。実施形態２の蒸着用マスクの概略構成及び製造工程を説明するための図である。（ａ）は、図４の（ｄ）に図示した蒸着用マスクに備えられたハウリングシートの概略構成及び製造工程を説明するための図であり、（ｂ）は、図４の（ｄ）に図示した蒸着用マスクにおけるカバーシートとハウリングシートとが互いに交差する部分を示す図である。ハウリングシートと、カバーシートとを備えた従来のマスクフレームの概略構成を示す図である。

　本発明の実施の形態について図１から図５に基づいて説明すれば、次の通りである。以下、説明の便宜上、特定の実施形態にて説明した構成と同一の機能を有する構成については、同一の符号を付記し、その説明を省略する場合がある。

　なお、下記の実施形態においては、有機ＥＬ表示装置を製造する際に用いられる蒸着用マスクを一例に挙げて説明するが、これに限定されることはなく、例えば、無機ＥＬディスプレイやＱＬＥＤディスプレイを製造する際に用いられる蒸着用マスクであってもよい。

　〔実施形態１〕
　図１、図２及び図３に基づき、本発明の実施形態１について説明する。

　図１は、ディバイデッドマスク（単位マスク部材）２２の概略構成を示す図である。

　図１に図示されているように、本実施形態においては、ディバイデッドマスク２２は、ロール状の厚さ３０μｍのインバー薄板材２１に、開口２３及び取り付け端子部を形成するためのエッチング工程と、個別化のための切断工程とを行い得られる。

　インバー薄板材２１は厚さ１０μｍ以上、５０μｍ以下のものを用いることが好ましく、本実施形態においては、厚さ３０μｍのものを用いた。

　図示されているように、ディバイデッドマスク２２は、複数の開口２３を含む開口群２２ａを複数（本実施形態の場合は４つ）有し、図中の左右方向である第１方向の長さが、上記第１方向と直交する図中の上下方向である第２方向の長さより長い細長い形状となっている。

　本実施形態においては、一つの開口群２２ａは、一つの５インチの有機ＥＬ表示装置の例えば、赤色発光層を形成するための開口を含むものとして説明するが、これに限定されることはなく、一つの開口群２２ａの大きさや一つの開口群２２ａが含む開口２３の数は、製造する有機ＥＬ表示装置の大きさや解像度によって変わることは言うまでもない。

　また、本実施形態においては、ディバイデッドマスク２２は、インバー薄板材２１を用いて形成した場合を一例に挙げて説明したが、これに限定されることはなく、ディバイデッドマスク２２は、インバー薄板材２１以外の金属薄板材や合金薄板材を用いて形成されてもよい。

　図２は、蒸着用マスク１の概略構成及び製造工程を説明するための図である。

　図３の（ａ）は、図２の（ｄ）に図示した蒸着用マスク１に備えられたハウリングシート３の概略構成及び製造工程を説明するための図であり、図３の（ｂ）は、図２の（ｃ）に図示する点線Ａの部分拡大図である。

　蒸着用マスク１は、マスクフレーム２と、マスクフレーム２に所定間隔で固定されている複数のディバイデッドマスク２２と、長手方向が図中左右方向である第２方向に沿うようにマスクフレーム２に固定された複数のハウリングシート３と、長手方向が図中上下方向である第１方向に沿うようにマスクフレーム２に固定された複数のカバーシート４と、を備えている。

　図２の（ａ）は、開口２ａを有する枠状のマスクフレーム２の概略構成を示す図である。

　図２の（ｂ）に図示されているように、長手方向が図中左右方向である第２方向に沿うように、複数のハウリングシート３はマスクフレーム２に固定されている。

　本実施形態においては、ハウリングシート３をマスクフレーム２に溶接することで、ハウリングシート３をマスクフレーム２に固定したが、これに限定されることはない。

　図２の（ｂ）に図示されているように、複数のハウリングシート３の各々には、凹部３ａが、第１方向に沿って形成されているとともに、第２方向においては、凹部３ａが、所定間隔で形成されている。

　図３の（ａ）に図示されているように、複数の凹部３ａを有するハウリングシート３を形成する工程においては、先ず、ハウリングシート３０の所定領域上に、レジスト膜３１を形成した後、レジスト膜３１をマスクとして、ハーフエッチングを行うことで、所定規則に沿って形成された複数の凹部３ａを有するハウリングシート３を形成できる。

　図２の（ｃ）に図示されているように、マスクフレーム２の開口２ａにおいて、複数のカバーシート４の各々は、複数のハウリングシート３の各々に備えられた複数の凹部３ａを介して、ハウリングシート３と交差するように、マスクフレーム２に固定されている。

　本実施形態においては、カバーシート４をマスクフレーム２に溶接することで、カバーシート４をマスクフレーム２に固定したが、これに限定されることはない。

　図３の（ｂ）は、図２の（ｃ）に図示する点線Ａの部分拡大図であり、カバーシート４とハウリングシート３とが互いに交差する部分においては、カバーシート４は、ハウリングシート３の凹部３ａを埋めるように配置されている。

　以上のように、ハウリングシート３には、凹部３ａが形成されており、カバーシート４は、ハウリングシート３の凹部３ａを埋めるように配置されているので、ハウリングシート３とカバーシート４との間の段差を小さくすることができる。

　ハウリングシート３は、厚さ８０μｍ以上、２００μｍ以下のものを用いることが好ましく、本実施形態においては、厚さ１００μｍのものを用いた。

　カバーシート４は、厚さ１０μｍ以上、５０μｍ以下のものを用いることが好ましく、本実施形態においては、厚さ３０μｍのものを用いた。

　そして、本実施形態においては、ハウリングシート３の凹部３ａの深さを、カバーシート４の厚さである３０μｍとすることで、図３の（ｂ）に図示されているように、ハウリングシート３とカバーシート４との間の段差がなくなるように、ハウリングシート３とカバーシート４とを面一状に形成することができる。

　なお、ハウリングシート３及びカバーシート４は、同一材料またはそれぞれ異なる材料で形成されてもよく、例えば、インバー薄板材やインバー薄板材以外の金属薄板材や合金薄板材を用いて形成されてもよい。

　図２の（ｄ）に図示されているように、複数のディバイデッドマスク２２の各々は、複数のハウリングシート３の各々における凹部３ａ以外の部分と接するとともに、マスクフレーム２の開口２ａにおいて複数のカバーシート４によって区切られた領域の各々の上に配置されるように、複数のディバイデッドマスク２２は、マスクフレーム２に固定されている。

　図２の（ｄ）に図示する蒸着用マスク１によれば、ハウリングシート３とカバーシート４との間の段差を無くすことができるので、カバーシート４による遮蔽効果が高い蒸着用マスク１を実現できる。

　また、カバーシート４をハウリングシート３の凹部３ａが支えているので、カバーシート４の強度を向上させることができる。

　また、ディバイデッドマスク２２が、複数のハウリングシート３の各々における凹部３ａ以外の部分と接する部分で溶接できる。

　さらに、ディバイデッドマスク２２は、面一状に形成されたハウリングシート３とカバーシート４との上に配置されるので、隣接するディバイデッドマスク２２間において、カバーシート４が突出しない。

　本実施形態においては、ディバイデッドマスク２２をマスクフレーム２に溶接することで、ディバイデッドマスク２２をマスクフレーム２に固定したが、これに限定されることはない。

　図２の（ｄ）に図示されているように、蒸着用マスク１に備えられた長手方向が図中左右方向である第２方向に沿うように、マスクフレーム２に固定されている複数のハウリングシート３は、ディバイデッドマスク２２が、上記第１方向において、撓むのを抑制する。

　また、蒸着用マスク１に備えられた長手方向が図中上下方向である第１方向に沿うように、マスクフレーム２に固定されている複数のカバーシート４は、隣接するディバイデッドマスク２２間の隙間を無くす。

　なお、本実施形態においては、図２に図示するように、先ず、ハウリングシート３をマスクフレーム２に固定した後に、カバーシート４をマスクフレーム２に固定し、最後に、ディバイデッドマスク２２をマスクフレーム２に固定する場合を一例に挙げて説明したが、これらの固定順序は、特に限定されず、例えば、先ず、ディバイデッドマスク２２をマスクフレーム２に固定した後に、ハウリングシート３及びカバーシート４の一方をマスクフレーム２に固定し、最後に、ハウリングシート３及びカバーシート４の他方をマスクフレーム２に固定してもよい。

　また、図２及び図３には図示してないが、ハウリングシート３とカバーシート４とを溶接などをして固定させてもよい。

　〔実施形態２〕
　次に、図４及び図５に基づき、本発明の実施形態２について説明する。本実施形態の蒸着用マスク１０においては、ハウリングシート３とカバーシート４とが互いに交差する部分において、ハウリングシート３は、カバーシート４をハウリングシート３の凹部３ａで覆うように配置されている点において、実施形態１とは異なり、その他については実施形態１において説明したとおりである。説明の便宜上、実施形態１の図面に示した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付し、その説明を省略する。

　図４は、蒸着用マスク１０の概略構成及び製造工程を説明するための図である。

　図５の（ａ）は、図４の（ｄ）に図示した蒸着用マスク１０に備えられたハウリングシート３の概略構成及び製造工程を説明するための図であり、図５の（ｂ）は、図４の（ｃ）に図示する点線Ｂの部分拡大図である。

　蒸着用マスク１０は、マスクフレーム２と、マスクフレーム２に所定間隔で固定されている複数のディバイデッドマスク２２と、長手方向が図中左右方向である第２方向に沿うようにマスクフレーム２に固定された複数のハウリングシート３と、長手方向が図中上下方向である第１方向に沿うようにマスクフレーム２に固定された複数のカバーシート４と、を備えている。

　図４の（ａ）は、開口２ａを有する枠状のマスクフレーム２の概略構成を示す図である。

　図４の（ｂ）に図示されているように、長手方向が図中上下方向である第１方向に沿うように、複数のハウリングシート３はマスクフレーム２に固定されている。

　図４の（ｃ）及び図５の（ａ）に図示されているように、複数のハウリングシート３の各々には、凹部３ａが、第１方向に沿って形成されているとともに、第２方向においては、凹部３ａが、所定間隔で形成されている。

　そして、マスクフレーム２の開口２ａにおいて、カバーシート４とハウリングシート３とが互いに交差する部分においては、カバーシート４は、ハウリングシート３に備えられた凹部３ａを介して、ハウリングシート３と交差している。

　具体的には、図５の（ｂ）に図示されているように、ハウリングシート３とカバーシート４とが互いに交差する部分において、ハウリングシート３は、カバーシート４をハウリングシート３の凹部３ａで覆うように配置されている。

　以上のように、ハウリングシート３には、凹部３ａが形成されており、ハウリングシート３は、カバーシート４をハウリングシート３の凹部３ａで覆うように配置されているので、ハウリングシート３とカバーシート４との間の段差を小さくすることができる。

　図４の（ｄ）に図示する蒸着用マスク１０によれば、ハウリングシート３とカバーシート４との間の段差を小さくできるので、カバーシート４による遮蔽効果が高い蒸着用マスク１０を実現できる。

　また、ハウリングシート３をカバーシート４が支えているので、ハウリングシート３の強度を向上させることができる。

　また、ディバイデッドマスク２２を、複数のハウリングシート３の各々における凹部３ａが形成されている面の反対側の面と接する部分で溶接できる。

　〔まとめ〕
　本発明の態様１に係る蒸着用マスクは、上記の課題を解決するために、開口を有する枠状のマスクフレームと、上記マスクフレームに所定間隔で固定されているとともに、複数の開口を含む開口群を複数有し、第１方向の長さが、上記第１方向と直交する第２方向の長さより長い複数の単位マスク部材と、長手方向が上記第１方向に沿うように上記マスクフレームに固定された複数のカバーシートと、長手方向が上記第２方向に沿うように上記マスクフレームに固定された複数のハウリングシートとを備えた蒸着用マスクであって、上記複数のカバーシートと上記複数のハウリングシートとは、上記マスクフレームの開口において、互いに交差しており、上記カバーシートと上記ハウリングシートとが互いに交差する部分においては、上記カバーシートは、上記ハウリングシートに備えられた凹部を介して、上記ハウリングシートと交差しており、上記複数の単位マスク部材の各々は、上記複数のハウリングシートの各々における上記凹部以外の部分と接するとともに、上記マスクフレームの開口において上記複数のカバーシートによって区切られた領域の各々の上に配置されていることを特徴としている。

　本発明の態様２に係る蒸着用マスクは、上記態様１において、上記ハウリングシートの厚さは、上記カバーシートの厚さより厚く形成されており、上記カバーシートと上記ハウリングシートとが互いに交差する部分においては、上記カバーシートは、上記ハウリングシートの上記凹部を埋めるように配置されており、上記ハウリングシートの凹部の深さは、上記カバーシートの厚さと同じであることが好ましい。

　上記構成によれば、ハウリングシートとカバーシートとの間の段差を無くすことができるので、カバーシートによる遮蔽効果が高い蒸着用マスクを実現できる。

　本発明の態様３に係る蒸着用マスクは、上記態様１において、上記カバーシートと上記ハウリングシートとが互いに交差する部分においては、上記ハウリングシートは、上記カバーシートを上記ハウリングシートの上記凹部で覆うように配置されていてもよい。

　本発明の態様４に係る蒸着用マスクは、上記態様１から３の何れかにおいて、上記複数の単位マスク部材の各々は、上記複数のハウリングシートに固定されていてもよい。

　上記構成によれば、強度が向上された蒸着用マスクを実現できる。

　本発明の態様５に係る蒸着用マスクは、上記態様１から４の何れかにおいて、上記複数の単位マスク部材と、上記複数のカバーシートと、上記複数のハウリングシートとは、上記マスクフレームに溶接されて固定されていてもよい。

　本発明の態様６に係る蒸着用マスクは、上記態様４において、上記複数の単位マスク部材の各々は、上記複数のハウリングシートに溶接されて固定されていてもよい。

　本発明の態様７に係る蒸着用マスクは、上記態様１から６の何れかにおいて、上記複数のハウリングシートは、８０μｍ以上、２００μｍ以下の厚さで形成されており、上記複数のカバーシートは、１０μｍ以上、５０μｍ以下の厚さで形成されており、上記複数の単位マスク部材は、１０μｍ以上、５０μｍ以下の厚さで形成されていてもよい。

　上記構成によれば、マスクフレーム以外の部分が薄型の蒸着用マスクを実現できる。

　本発明の態様８に係る蒸着用マスクの製造方法は、上記の課題を解決するために、開口を有する枠状のマスクフレームと、上記マスクフレームに所定間隔で固定されているとともに、複数の開口を含む開口群を複数有し、第１方向の長さが、上記第１方向と直交する第２方向の長さより長い複数の単位マスク部材と、長手方向が上記第１方向に沿うように上記マスクフレームに固定された複数のカバーシートと、長手方向が上記第２方向に沿うように上記マスクフレームに固定された複数のハウリングシートとを備えた蒸着用マスクの製造方法であって、上記複数のハウリングシートの各々に凹部を形成する工程と、上記マスクフレームの開口において、上記カバーシートは、上記ハウリングシートに備えられた凹部を介して、上記ハウリングシートと交差するように、上記複数のカバーシートと上記複数のハウリングシートとを上記マスクフレームに固定する工程と、上記複数の単位マスク部材の各々が、上記複数のハウリングシートの各々における上記凹部以外の部分と接するとともに、上記マスクフレームの開口において上記複数のカバーシートによって区切られた領域の各々の上に配置されるように、上記複数の単位マスク部材の各々を上記マスクフレームに固定する工程と、を含むことを特徴としている。

　本発明の態様９に係る蒸着用マスクの製造方法は、上記態様８において、上記ハウリングシートの厚さは、上記カバーシートの厚さより厚く形成されており、上記複数のハウリングシートの各々に凹部を形成する工程においては、上記ハウリングシートの凹部の深さを、上記カバーシートの厚さと同じに形成し、上記複数のカバーシートと上記複数のハウリングシートとを上記マスクフレームに固定する工程においては、上記カバーシートと上記ハウリングシートとが互いに交差する部分において、上記カバーシートは、上記ハウリングシートの上記凹部を埋めるように配置していてもよい。

　上記方法によれば、ハウリングシートとカバーシートとの間の段差を無くすことができるので、カバーシートによる遮蔽効果が高い蒸着用マスクを実現できる。

　本発明の態様１０に係る蒸着用マスクの製造方法は、上記態様８において、上記複数のカバーシートと上記複数のハウリングシートとを上記マスクフレームに固定する工程においては、上記カバーシートと上記ハウリングシートとが互いに交差する部分において、上記ハウリングシートは、上記カバーシートを上記ハウリングシートの上記凹部で覆うように配置していてもよい。

　上記方法によれば、ハウリングシートとカバーシートとの間の段差を小さくできるので、カバーシートによる遮蔽効果が高い高精細な蒸着用マスクを実現できる。

　本発明の態様１１に係る蒸着用マスクの製造方法は、上記態様８から１０の何れかにおいて、上記複数の単位マスク部材の各々を、上記複数のハウリングシートに固定する工程を含んでいてもよい。

　上記方法によれば、強度が向上された蒸着用マスクを実現できる。

　本発明の態様１２に係る蒸着用マスクの製造方法は、上記態様８から１１の何れかにおいて、上記複数のカバーシートと上記複数のハウリングシートとを上記マスクフレームに固定する工程と、上記複数の単位マスク部材の各々を上記マスクフレームに固定する工程とにおいては、上記複数の単位マスク部材と、上記複数のカバーシートと、上記複数のハウリングシートとを、上記マスクフレームに溶接してもよい。

　本発明の態様１３に係る蒸着用マスクの製造方法は、上記態様１１において、上記複数の単位マスク部材の各々を、上記複数のハウリングシートに固定する工程においては、上記複数の単位マスク部材の各々を、上記複数のハウリングシートに溶接してもよい。

　〔付記事項〕
　本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。さらに、各実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を組み合わせることにより、新しい技術的特徴を形成することができる。

　本発明は、蒸着用マスク及び蒸着用マスクの製造方法に利用することができる。

　１　　　　　蒸着用マスク
　２　　　　　マスクフレーム
　２ａ　　　　開口
　３　　　　　ハウリングシート
　３ａ　　　　凹部
　４　　　　　カバーシート
　１０　　　　蒸着用マスク
　２１　　　　インバー薄板材
　２２　　　　ディバイデッドマスク（単位マスク部材）
　２２ａ　　　開口群
　２３　　　　開口

Claims

　開口を有する枠状のマスクフレームと、上記マスクフレームに所定間隔で固定されているとともに、複数の開口を含む開口群を複数有し、第１方向の長さが、上記第１方向と直交する第２方向の長さより長い複数の単位マスク部材と、長手方向が上記第１方向に沿うように上記マスクフレームに固定された複数のカバーシートと、長手方向が上記第２方向に沿うように上記マスクフレームに固定された複数のハウリングシートとを備えた蒸着用マスクであって、
　上記複数のカバーシートと上記複数のハウリングシートとは、上記マスクフレームの開口において、互いに交差しており、
　上記カバーシートと上記ハウリングシートとが互いに交差する部分においては、上記カバーシートは、上記ハウリングシートに備えられた凹部を介して、上記ハウリングシートと交差しており、
　上記複数の単位マスク部材の各々は、上記複数のハウリングシートの各々における上記凹部以外の部分と接するとともに、上記マスクフレームの開口において上記複数のカバーシートによって区切られた領域の各々の上に配置されていることを特徴とする蒸着用マスク。
　上記ハウリングシートの厚さは、上記カバーシートの厚さより厚く形成されており、
　上記カバーシートと上記ハウリングシートとが互いに交差する部分においては、上記カバーシートは、上記ハウリングシートの上記凹部を埋めるように配置されており、
　上記ハウリングシートの凹部の深さは、上記カバーシートの厚さと同じであることを特徴とする請求項１に記載の蒸着用マスク。
　上記カバーシートと上記ハウリングシートとが互いに交差する部分においては、上記ハウリングシートは、上記カバーシートを上記ハウリングシートの上記凹部で覆うように配置されていることを特徴とする請求項１に記載の蒸着用マスク。
　上記複数の単位マスク部材の各々は、上記複数のハウリングシートに固定されていることを特徴とする請求項１から３の何れか１項に記載の蒸着用マスク。
　上記複数の単位マスク部材と、上記複数のカバーシートと、上記複数のハウリングシートとは、上記マスクフレームに溶接されて固定されていることを特徴とする請求項１から４の何れか１項に記載の蒸着用マスク。
　上記複数の単位マスク部材の各々は、上記複数のハウリングシートに溶接されて固定されていることを特徴とする請求項４に記載の蒸着用マスク。
　上記複数のハウリングシートは、８０μｍ以上、２００μｍ以下の厚さで形成されており、
　上記複数のカバーシートは、１０μｍ以上、５０μｍ以下の厚さで形成されており、
　上記複数の単位マスク部材は、１０μｍ以上、５０μｍ以下の厚さで形成されていることを特徴とする請求項１から６の何れか１項に記載の蒸着用マスク。
　開口を有する枠状のマスクフレームと、上記マスクフレームに所定間隔で固定されているとともに、複数の開口を含む開口群を複数有し、第１方向の長さが、上記第１方向と直交する第２方向の長さより長い複数の単位マスク部材と、長手方向が上記第１方向に沿うように上記マスクフレームに固定された複数のカバーシートと、長手方向が上記第２方向に沿うように上記マスクフレームに固定された複数のハウリングシートとを備えた蒸着用マスクの製造方法であって、
　上記複数のハウリングシートの各々に凹部を形成する工程と、
　上記マスクフレームの開口において、上記カバーシートは、上記ハウリングシートに備えられた凹部を介して、上記ハウリングシートと交差するように、上記複数のカバーシートと上記複数のハウリングシートとを上記マスクフレームに固定する工程と、
　上記複数の単位マスク部材の各々が、上記複数のハウリングシートの各々における上記凹部以外の部分と接するとともに、上記マスクフレームの開口において上記複数のカバーシートによって区切られた領域の各々の上に配置されるように、上記複数の単位マスク部材の各々を上記マスクフレームに固定する工程と、を含むことを特徴とする蒸着用マスクの製造方法。
　上記ハウリングシートの厚さは、上記カバーシートの厚さより厚く形成されており、
　上記複数のハウリングシートの各々に凹部を形成する工程においては、上記ハウリングシートの凹部の深さを、上記カバーシートの厚さと同じに形成し、
　上記複数のカバーシートと上記複数のハウリングシートとを上記マスクフレームに固定する工程においては、上記カバーシートと上記ハウリングシートとが互いに交差する部分において、上記カバーシートは、上記ハウリングシートの上記凹部を埋めるように配置していることを特徴とする請求項８に記載の蒸着用マスクの製造方法。
　上記複数のカバーシートと上記複数のハウリングシートとを上記マスクフレームに固定する工程においては、上記カバーシートと上記ハウリングシートとが互いに交差する部分において、上記ハウリングシートは、上記カバーシートを上記ハウリングシートの上記凹部で覆うように配置していることを特徴とする請求項８に記載の蒸着用マスクの製造方法。
　上記複数の単位マスク部材の各々を、上記複数のハウリングシートに固定する工程を含むことを特徴とする請求項８から１０の何れか１項に記載の蒸着用マスクの製造方法。
　上記複数のカバーシートと上記複数のハウリングシートとを上記マスクフレームに固定する工程と、上記複数の単位マスク部材の各々を上記マスクフレームに固定する工程とにおいては、上記複数の単位マスク部材と、上記複数のカバーシートと、上記複数のハウリングシートとを、上記マスクフレームに溶接することを特徴とする請求項８から１１の何れか１項に記載の蒸着用マスクの製造方法。
　上記複数の単位マスク部材の各々を、上記複数のハウリングシートに固定する工程においては、上記複数の単位マスク部材の各々を、上記複数のハウリングシートに溶接することを特徴とする請求項１１に記載の蒸着用マスクの製造方法。