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WO2016027558A1 - 搬送装置及び搬送方法 - Google Patents

搬送装置及び搬送方法 Download PDF

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Publication number
WO2016027558A1
WO2016027558A1 PCT/JP2015/067166 JP2015067166W WO2016027558A1 WO 2016027558 A1 WO2016027558 A1 WO 2016027558A1 JP 2015067166 W JP2015067166 W JP 2015067166W WO 2016027558 A1 WO2016027558 A1 WO 2016027558A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
lid
container
detection unit
unit
pressing member
Prior art date
Application number
PCT/JP2015/067166
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
小林　誠
Original Assignee
村田機械株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 村田機械株式会社 filed Critical 村田機械株式会社
Publication of WO2016027558A1 publication Critical patent/WO2016027558A1/ja

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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations

Definitions

  • the present invention relates to a transport apparatus and a transport method.
  • a transport device such as an overhead traveling vehicle is used for transporting a container having a lid that can be attached to and detached from a side surface such as a FOUP (see, for example, Patent Document 1).
  • a transport device in which a pressing member is disposed in front of a lid, and the pressing member is provided with a lid removal detecting unit that monitors the removal of the lid.
  • Patent Document 1 has a problem that the presence or absence of a lid cannot be detected in a container being transported.
  • the above-mentioned overhead traveling vehicle is transported in a state where the container is suspended by a hoist or the like from an automatic warehouse, etc., but if the lid is already removed in the automatic warehouse, or the lid is removed while being suspended and transferred, it falls.
  • the lid is not already present when the container is placed on the overhead traveling vehicle.
  • the abnormality detection unit of Patent Document 1 cannot detect an abnormality.
  • the present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to provide a transport apparatus and a transport method capable of easily and reliably determining the presence of a lid in a container.
  • the transport device of the present invention is a transport device that transports a container having a lid on its side surface, and includes a lid detection unit that detects the presence or absence of a lid in the container.
  • a pressing member that supports the lid removed from the container may be provided, and the lid detecting unit may be provided on the pressing member.
  • the pressing member includes a lid detachment detection unit that detects the lid that has the optical axis disposed in the vicinity of the side surface facing the lid and is detached from the container, and the lid detection unit is provided at a position off the optical axis. Also good.
  • the pressing member may include a stopper that protrudes toward the lid from the lid detection unit and restricts the lid from contacting the lid detection unit. Further, the stopper may hold a part of the wiring of the lid detection unit on the pressing member.
  • cover detection part may be provided in the position facing the area
  • the transport method of the present invention is a method of transporting a container having a lid on a side surface, and includes detecting the presence or absence of a lid in the container.
  • the lid detection unit since the presence or absence of the lid in the container is detected by the lid detection unit, it is possible to easily and reliably determine an abnormal state in which the container does not have a lid.
  • the holding member includes a lid detachment detection unit that detects the lid removed from the container, the optical axis being disposed in the vicinity of the side surface facing the lid, and the lid detection unit is provided at a position off the optical axis. In this case, it is possible to reliably detect the removal of the lid without the lid detection unit preventing the detection by the lid removal detection unit.
  • the holding member has a stopper that protrudes from the lid detection unit to the lid side and restricts the lid from contacting the lid detection unit, the stopper prevents the lid from contacting the lid detection unit. Damage to the lid detection unit can be prevented. Further, when the stopper holds a part of the wiring of the lid detection unit on the pressing member, the wiring of the lid detection unit can be protected by the stopper. In addition, when the lid detection unit is provided at a position facing a region where the container contains no object in the vicinity of the lid, the lid detection unit erroneously sets the contained item as a lid when the lid is removed. Recognition can be reduced.
  • the transport method of the present invention since the presence or absence of a lid in the container is detected, it is possible to easily and reliably determine an abnormal state in which the container does not have a lid.
  • (A) is a figure which shows an example of the pressing member to which the lid
  • (B) is a figure which shows an example of the detection method of a lid
  • FIG. 1 is a diagram conceptually illustrating an example of a transport apparatus 1 according to the present embodiment.
  • the transfer device 1 is used for transferring a container 3 having a lid 2 between, for example, a processing device or an automatic warehouse.
  • the container 3 is, for example, a FOUP that accommodates a semiconductor wafer, but may be a container that accommodates an object other than a semiconductor wafer, such as a reticle pod that accommodates a reticle.
  • the container 3 has an opening 3 a for carrying an object such as a semiconductor wafer into the container 3.
  • the opening 3a is provided on the side surface 3b of the container 3, and the side surface 3b is formed along the vertical direction so that the opening 3a faces the horizontal direction (Y direction in FIG. 1).
  • the lid 2 is detachably provided on the side surface 3b of the container 3 so as to close the opening 3a.
  • Arbitrary structure is applied to the attachment / detachment mechanism of the lid 2.
  • a flange portion 3 c is provided at the top of the container 3.
  • the flange portion 3c includes a base end side connection portion 3d and a rectangular plate-like locked portion 3e attached above the connection portion 3d.
  • the shape of the to-be-latched part 3e may be a disk shape instead of the rectangular plate shape.
  • the conveying device 1 includes an elevator 4 that holds the container 3 and moves it up and down in the vertical direction, an overhead traveling vehicle 5 that moves the elevator 4 in the horizontal direction, a lid detector 6 that detects the presence or absence of a lid in the container 3, And a control unit 7 that controls each unit of the device 1.
  • the overhead traveling vehicle 5 has a travel drive unit 9 and travels along the travel rail (track) 8 by the driving force of the travel drive unit 9.
  • the traveling rail 8 is provided on the ceiling of the clean room, for example, and extends in the X direction.
  • the travel drive unit 9 includes an electric motor, a reduction gear, drive wheels, an encoder, and the like (not shown).
  • the drive wheel is disposed so as to contact the traveling rail 8 and is connected to the output shaft of the electric motor via a reduction gear.
  • the rotation of the output shaft of the electric motor is transmitted to the drive wheels via the speed reducer, and the overhead traveling vehicle 5 travels by the rotation of the drive wheels.
  • the encoder detects the number of rotations of the output shaft of the electric motor and outputs the detection result to the control unit 7.
  • the control unit 7 controls the rotation of the electric motor based on the detection result of the encoder, and controls the speed and stop position of the overhead traveling vehicle 5.
  • the stop position of the overhead traveling vehicle 5 may be set by identifying an indicator plate or the like installed in advance along the traveling rail 8.
  • the overhead traveling vehicle 5 is provided with a support shaft 10 that extends downward from the traveling drive unit 9.
  • a Y-direction moving unit 11 is attached to the lower part of the support shaft 10.
  • a rotating part 12 is attached to the lower part of the Y-direction moving part 11.
  • the elevator 4 is attached to the lower part of the rotating part 12.
  • the Y-direction moving unit 11 has a Y-direction guide (not shown), a Y-direction drive unit, and the like.
  • the Y-direction moving unit 11 can move the rotating unit 12 in the Y direction along the guide by a driving force from a Y-direction driving unit such as an electric motor.
  • the control unit 7 controls the Y direction moving unit 11 to move the rotating unit 12 to the target position in the Y direction. Note that whether or not to provide such a Y-direction moving unit 11 is arbitrary, and the transport apparatus 1 without the Y-direction moving unit 11 may be used.
  • the rotation unit 12 has a rotation shaft, a rotation drive unit, and the like (not shown). This rotation axis is formed along the Z direction and is connected to the elevator 4. An electric motor or the like is used for the rotation drive unit, and the rotation shaft is rotated around the Z direction.
  • the rotation unit 12 rotates the rotation shaft by the driving force from the rotation drive unit, and can rotate the elevator 4 about an axis parallel to the Z direction.
  • the control unit 7 controls the rotating unit 12 to rotate the elevator 4 to the target position. In addition, it is arbitrary whether such a rotation part 12 is provided, and the conveyance apparatus 1 without the rotation part 12 may be sufficient.
  • the elevator 4 includes a holding unit 13 that holds the container 3 and an elevating drive unit 14 that moves the holding unit 13 in the vertical direction.
  • the holding part 13 suspends and holds the container 3 by gripping the flange part 3 c of the container 3.
  • the holding part 13 is, for example, a chuck having a claw part 13a movable in the horizontal direction, and holds the container 3 by inserting the claw part 13a under the locked part 3e.
  • the holding part 13 is connected to a suspension member such as a wire or a belt (not shown).
  • a hoist is used for the raising / lowering drive part 14, The holding part 13 can be lowered
  • the control unit 7 can control the elevator 4 to lower or raise the holding unit 13 at a predetermined speed.
  • the control unit 7 can also control the elevator 4 to hold the holding unit 13 at a target height.
  • the control unit 7 controls the height of the container 3 held by the holding unit 13 by controlling the elevator 4.
  • a state in which the container 3 held by the holding unit 13 is raised to the upper end of the lifting range is appropriately referred to as a lifting holding state.
  • the Y-direction moving unit 11, the rotating unit 12, and the elevator 4 described above are supported by the overhead traveling vehicle 5 and move together with the overhead traveling vehicle 5 in the X direction.
  • a cover 15 is provided on the ⁇ X side side of the Y-direction moving unit 11, the rotating unit 12, and the elevator 4, and a cover 16 is provided on the + X side side.
  • the cover 15 and the cover 16 are each supported by the overhead traveling vehicle 5 via the support shaft 10 and move in the X direction together with the overhead traveling vehicle 5.
  • each of the cover 15 and the cover 16 is positioned below the bottom surface of the container 3 in a state where the container 3 is lifted and held.
  • Fall prevention pieces 17 are provided at the lower end of the cover 15 and the lower end of the cover 16, respectively.
  • the fall prevention piece 17 extends to a position immediately below the bottom surface of the container 3 held by the holding unit 13. Although the fall prevention piece 17 is arrange
  • the fall prevention piece 17 prevents the drop of the container 3 by being caught by the fall prevention piece 17 when the container 3 is detached from the holding portion 13.
  • the fall prevention piece 17 is formed so as to be able to advance and retreat, and retracts out of the range through which the container 3 passes when the container 3 is lifted from below or when the container 3 in the lifted holding state is lowered.
  • the forward / backward movement of the fall prevention piece 17 is controlled by the control unit 7.
  • the conveying device 1 is provided with a pressing member 18 that supports the lid 2 removed from the container 3. At least a part of the pressing member 18 is disposed on the side of the ⁇ Y side with respect to the container 3. Both ends of the pressing member 18 are supported by the cover 15 and the cover 16.
  • the pressing member 18 includes a fixing portion 18a fixed to the cover 15, a fixing portion 18b fixed to the cover 16, and a main body portion 18c between the fixing portion 18a and the fixing portion 18b.
  • the main body portion 18 c is disposed so as to be separated from the lid 2 and opposed to the lid 2 in a state where the container 3 is lifted and held.
  • the main body portion 18 c has an upper end (upper edge portion) disposed below the upper end of the lid 2 and a lower end (lower edge portion) disposed above the lower end of the lid 2.
  • the upper end of the main body 18 c is set to a height that can be supported when the lid 2 is removed from the container 3.
  • the main body 18c is made of a resin or metal plate, but may be a punching metal or a net.
  • the lid detection unit 6 is provided on the pressing member 18.
  • the lid detection unit 6 is provided on the main body 18 c of the pressing member 18 and is disposed so as to face the lid 2 in a state where the container 3 is lifted and held.
  • An end portion on the ⁇ X side of the main body portion 18c is provided with an upper protrusion portion 19a that protrudes upward from the center portion and a lower protrusion portion 20a that protrudes downward from the center portion.
  • an upper protruding portion 19b that protrudes upward from the central portion and a lower protruding portion 20b that protrudes downward from the central portion are provided at the end portion in the + X direction of the main body portion 18c.
  • the upper protruding portion 19a, the upper protruding portion 19b, the lower protruding portion 20a, and the lower protruding portion 20b are arranged at positions (outside) that are separated from the lid 2 in the X direction.
  • the upper protrusion 19a and the upper protrusion 19b are provided with a lid removal detection unit 21.
  • a lid removal detection unit 22 is provided on the lower protrusion 20a and the lower protrusion 20b.
  • FIG. 2A is a diagram illustrating the pressing member 18 to which the lid detection unit 6 and the lid removal detection units 21 and 22 are attached
  • FIG. 2B is a diagram illustrating a detection method of the lid detection unit 6.
  • the main body portion 18c of the pressing member 18 is, for example, a flat plate shape substantially parallel to the XZ plane, but may be a curved surface that is entirely or partially curved.
  • the fixed portion 18a and the fixed portion 18b extend from the main body portion 18c by bending in the Y direction.
  • the fixing portions 18 a and 18 b and the main body portion 18 c are separate members and are joined to each other by screws or the like.
  • the pressing member 18 may be an integrally molded member.
  • the fixing portions 18a and 18b are detachably fixed to the covers 15 and 16 with bolts or the like.
  • the lid removal detection unit 21 includes a light emitting unit 23 provided in the upward projecting portion 19a, an optical sensor (light receiving unit) 24 provided in the upward projecting portion 19b, and a controller 25.
  • the light emitting unit 23 is, for example, a light emitting diode (LED) or a laser diode (LD), and emits light in the direction of the optical axis 21a.
  • the optical axis 21a is set parallel to the X direction.
  • the optical sensor 24 is, for example, a photodiode, and detects light emitted from the light emitting unit 23.
  • the position of the optical sensor 24 in the Z direction is set in accordance with the optical axis 21a so that the light emitted from the light emitting unit 23 can enter.
  • the positions of the light emitting unit 23 and the optical sensor 24 in the Z direction may be different.
  • the optical axis 21a is disposed along the edge of the upper end of the main body 18c.
  • the controller 25 controls the light emitting unit 23 to emit light from the light emitting unit 23.
  • the controller 25 performs control so that light is emitted from the light emitting unit 23 continuously or with a predetermined time interval in the state where the container 3 is held in a suspended state.
  • the controller 25 controls the optical sensor 24 to cause the optical sensor 24 to perform a light detection operation at the timing when the light is emitted from the light emitting unit 23.
  • the controller 25 acquires the detection result from the optical sensor 24, and determines whether or not the optical axis 21a (the optical path between the light emitting unit 23 and the optical sensor 24) is blocked by the lid 2 based on the detection result. To do.
  • the controller 25 determines that the optical axis 21 a is blocked by the lid 2 when light is not detected by the optical sensor 24 while light is emitted from the light emitting unit 23.
  • the controller 25 determines that the optical axis 21 a is blocked by the lid 2
  • the controller 25 outputs a determination result to, for example, the control unit 7 of the transport device 1 (or the upper control unit of the control unit 7).
  • the control unit 7 receives the determination result that the optical axis 21 a is blocked by the lid 2, for example, the control unit 7 warns the operator or the like by voice or display that the lid 2 has been removed from the container 3.
  • the control part 7 may stop the conveyance of the container 3, and may reduce the conveyance speed of the container 3, when the determination result that the optical axis 21a is blocked by the lid 2 is received.
  • the controller 7 may determine whether or not the lid 2 is removed based on the detection result of the optical sensor 24 instead of the controller 25.
  • the lid removal detection unit 22 has the same configuration as the lid removal detection unit 21.
  • the lid removal detection unit 22 includes a light emitting unit 26 provided in the downward projecting portion 20a, an optical sensor (light receiving unit) 27 provided in the downward projecting portion 20b, and a controller 28.
  • the optical axis 22a of the lid removal detection unit 22 is set parallel to the X direction. Depending on the direction of the optical axis 22a, the positions of the light emitting unit 26 and the optical sensor 27 in the Z direction may be different.
  • the optical axis 22a is disposed along the lower edge of the main body 18c.
  • the light emitting unit 26 is controlled by the controller 28 to emit light.
  • the controller 28 performs control so that light is emitted from the light emitting unit 26 continuously or at a predetermined time interval in the state where the container 3 is suspended and held.
  • the optical sensor 27 is controlled by the controller 28 and executes a light detection operation at a timing when light is emitted from the light emitting unit 26. Based on the detection result of the optical sensor 27, the controller 28 determines whether or not the optical axis 22a (the optical path between the light emitting unit 26 and the optical sensor 27) is blocked by the lid 2, and the determination result is, for example, It outputs to the control part 7 of the conveying apparatus 1.
  • the controller 28 may be shared with the controller 25 or may be provided separately from the controller 25.
  • the lid detection unit 6 is attached to the surface of the main body 18c of the pressing member 18 that faces the lid 2.
  • the lid detection unit 6 is disposed at a position deviated from the optical axes 21a and 22a of the lid removal detection units 21 and 22 in the height direction (Z direction).
  • the lid detection unit 6 is disposed below the optical axis 21a of the lid removal detection unit 21 and above the optical axis 22a. That is, the lid detector 6 is disposed between the optical axis 21a and the optical axis 22a.
  • the lid detection unit 6 includes a light emitting unit 31, an optical sensor (light receiving unit) 32, and a controller 33.
  • the light emitting unit 30 is, for example, a light emitting diode (LED) or a laser diode (LD), and emits light toward the + Y direction (the side where the lid 2 is disposed).
  • the optical sensor 32 is, for example, a photodiode, and detects light emitted from the light emitting unit 31 and reflected by the lid 2.
  • a stopper 34 is provided on the surface of the main body 18c of the pressing member 18 on which the lid detector 6 is disposed.
  • the stopper 34 is disposed in the vicinity of the lid detection unit 6.
  • the stopper 34 is set at substantially the same height as the lid detector 6 in the Z direction.
  • the stopper 34 is detachably fixed from the main body 18c with a bolt (not shown) or the like.
  • the stopper 34 has a larger amount of protrusion in the Y direction from the main body 18 c than the amount of protrusion of the lid detector 6.
  • As the stopper 34 a rectangular block shape is used, but the shape such as a columnar shape is arbitrary.
  • the stopper 34 holds a part of the wiring 6 a of the lid detection unit 6 on the pressing member.
  • the stopper 34 is attached to the pressing member 18 so as to cover the wiring 6a.
  • the lid 2 when the lid 2 is in the direction in which light is emitted from the light emitting unit 31 of the lid detection unit 6, at least part of the light emitted from the light emitting unit 31 is the surface of the lid 2. And is incident on the optical sensor 32.
  • the optical sensor 32 detects light emitted from the light emitting unit 31 and reflected by the lid 2.
  • the lid 2 when the lid 2 is far away from the light emitting unit 31, the intensity of the light emitted from the light emitting unit 31 and reflected by the lid 2 is reduced, and the sensitivity of the optical sensor 32 may be reduced, and light may not be detected.
  • an area where the presence or absence of the lid 2 (object) can be detected by the lid detection unit 6 is appropriately referred to as a detection area A1 of the lid detection unit 6.
  • the detection area A1 of the lid detection unit 6 is set so that, for example, the lid 2 enters the detection area A1 when the lid 2 is properly attached to the container 3.
  • the stopper 34 protrudes from the lid detection unit 6 toward the lid 2 side. Therefore, as shown in FIG. 2B, when the lid 2 ⁇ / b> A removed from the container 3 falls to the pressing member 18 side, the lid 2 ⁇ / b> A comes into contact with the lid detection unit 6 by contacting with the stopper 34. do not do. As described above, the stopper 34 restricts the lid 2 from coming into contact with the lid detector 6 and prevents the lid detector 6 from being damaged.
  • the controller 33 controls the light emitting unit 31 to cause the light emitting unit 31 to emit light.
  • the controller 33 controls the optical sensor 32 to execute the detection operation of the optical sensor 32.
  • the controller 33 acquires the detection result from the optical sensor 32, and determines whether or not there is an object in the detection area A1 based on the detection result.
  • the controller 33 determines that the lid 2 exists in the detection area A1 when light is detected by the optical sensor 32 in a state where the light emitting unit 31 emits light. The controller 33 determines that the lid 2 is not present in the detection area A1 when no light is detected by the optical sensor 32 in a state where the light emitting unit 31 emits light. The controller 33 outputs the result of determining that the lid 2 is not present in the detection area A1 to the control unit 7 of the transport device 1.
  • the controller 7 of the transport apparatus 1 instructs the controller 33 to detect the presence / absence of the lid 2 continuously or at a predetermined time interval, for example, when the container 3 is in the suspended holding state.
  • the controller 7 warns the operator or the like by voice or display that the lid 2 is not in the container 3.
  • the controller 7 may stop the conveyance of the container 3 or reduce the conveyance speed of the container 3.
  • the controller 33 may instruct the lid detection unit 6 to detect the presence or absence of the lid 2 while the container 3 is being lifted.
  • the control unit 7 may perform at least one of a warning to an operator and the like and a suspension stop of the container 3. Further, the controller 7 may determine the presence or absence of a lid based on the detection result of the optical sensor 32 instead of the controller 33.
  • FIG. 3 is a diagram illustrating a positional relationship between the lid detection unit 6 and the object OB.
  • the object OB may be projected outward from the attachment position of the lid 2 (indicated by reference symbol OBa in FIG. 3A).
  • the lid detection unit 6 erroneously recognizes that the lid 2 is attached to the container 3 by detecting the object OB. . Therefore, the lid detection unit 6 is provided at a position facing the region A2 where the object OB of the container 3 does not exist in the vicinity of the lid 2 so that the object OB is not detected by mistake.
  • the lid detector 6 is disposed at a position shifted from the intersection CP between the center line CL of the object OB and the pressing member 18 toward the X direction end.
  • the to-be-contained object OB protrudes to the position which contacts the pressing member 18 at the maximum.
  • the lid detection unit 6 is arranged away from the center line CL in the + X direction or the ⁇ X direction so that the object to be accommodated OBa in contact with the pressing member 18 does not enter the detection region A1.
  • FIG. 4 is a diagram illustrating a positional relationship among the lid 2, the lid detection unit 6, the lid removal detection unit 21, and the lid removal detection unit 22 that are detached from the container 3.
  • FIG. 4A shows a view in which the upper part of the lid 2 is tilted toward the pressing member 18 as viewed from the X direction.
  • FIG. 4B shows a state in which the lower part of the lid 2 is slid toward the pressing member 18 as viewed from the X direction.
  • the position of the lid detection unit 6 in the Z direction and the amount of protrusion in the Y direction are set so that the lid 2 removed from the container 3 does not come into contact with the lid detection unit 6 prior to the pressing member 18.
  • the lower the position of the lid detection unit 6 in the Z direction the more difficult the lid detection unit 6 comes into contact with the lid 2 when the upper part of the lid 2 falls toward the pressing member 18.
  • the amount of protrusion in the Y direction of the lid detection unit 6 is reduced (thinned), the lid detection unit 6 is less likely to come into contact with the lid 2 when the upper part of the lid 2 falls toward the pressing member 18.
  • the lid 2 slips from the container 3 and is caught by the fall prevention piece 17.
  • the lid 2 is tilted toward the container 3 with its lower part as a fulcrum.
  • the lid 2 blocks the optical axis 22a (see FIG. 2) of the lid removal detection unit 22 arranged at the lower end of the pressing member 18. Therefore, the removal of the lid 2 can be detected by the lid removal detection unit 22.
  • the position of the lid detection unit 6 in the Z direction and the amount of protrusion in the Y direction are set so that the lid 2 that slides down from the container 3 does not come into contact with the lid detection unit 6 before the pressing member 18.
  • the higher the position of the lid detection unit 6 in the Z direction the more difficult the lid detection unit 6 comes into contact with the lid 2 when the lid 2 slides down and falls toward the container 3.
  • the amount of protrusion in the Y direction of the lid detection unit 6 is reduced (thinned), the lid detection unit 6 is less likely to come into contact with the lid 2 when the lid 2 slides down and falls toward the container 3.
  • the lid detection unit 6 is not in contact with the lid 2 in the state of FIG. 4A, and the lid detection unit 6 is not in contact with the lid 2 in the state of FIG. 4B.
  • the position of the portion 6 in the Z direction and the protrusion amount in the Y direction are set. Therefore.
  • the lid detection unit 6 is disposed in a region near the center in the height direction (Z direction) of the pressing member 18.
  • the stopper 34 shown in FIG. 2 is provided, the stopper 34 protrudes from the lid detection unit 6 in the Y direction. 4A and 4B, the position of the stopper 34 in the Z direction and the amount of protrusion in the Y direction may be set so that the lid 2 does not come into contact with the stopper 34.
  • the lid detection unit 6 since the presence or absence of the lid 2 in the container 3 is detected by the lid detection unit 6, an abnormal state in which the lid 3 is not attached to the container 3 can be easily and reliably determined. Thereby, it is possible to avoid accidentally dropping the contents from the container 3 while the container 3 is being transported.
  • the lid detection unit 6 is provided in a state of protruding from the pressing member 18, but the lid detection unit 6 may be disposed in a recess or an opening formed in the pressing member 18. Thereby, it can suppress that the lid
  • a plurality of lid detection units 6 may be provided. When using a plurality of lid detectors 6, at least one can be used as a spare, or can be used for comparison with other lid detectors 6, and used for fault detection of other lid detectors 6. Also good. Further, the lid detection unit 6 may be provided on a member other than the pressing member 18, for example, the covers 15 and 16 of the overhead traveling vehicle 5.
  • the lid detection unit 6 and the lid removal detection units 21 and 22 each use an optical detection method, but the lid 2 may be detected by other detection methods.
  • a non-contact sensor such as a magnetic sensor, a capacitance sensor, or an ultrasonic sensor, or a contact sensor such as a pressure sensor may be used.
  • the example of the overhead traveling vehicle 5 is described as the conveying device 1.
  • a ground traveling vehicle that travels along a track laid on the floor surface, or on the floor surface.
  • the present invention may be applied to a trackless vehicle traveling on the road.
  • the detachable lid 2 is provided as the container 3, but the present invention is not limited to this.
  • an openable / closable shutter may be used as the lid.
  • the state without a lid is a state in which the shutter remains open.

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Abstract

【課題】容器における蓋の存在を容易かつ確実に判別することが可能な搬送装置を提供する。 【解決手段】搬送装置１は、側面３ｂに蓋２を有する容器３を搬送する搬送装置であって、容器３における蓋２の有無を検出する蓋検出部６を備える。

Description

搬送装置及び搬送方法
　本発明は、搬送装置及び搬送方法に関する。
　天井走行車などの搬送装置は、例えばＦＯＵＰ（フープ）等のように側面等に着脱可能な蓋を有する容器の搬送などに利用されている（例えば、特許文献１参照）。搬送装置においては、容器内の半導体ウエハ等の被収容物の汚染防止あるいは飛び出し、または蓋の落下防止などの観点から、蓋の外れを検出することが望まれる。特許文献１は、蓋の前方に押さえ部材が配置され、この押さえ部材に蓋の外れを監視する蓋外れ検出部を備える搬送装置が提案されている。
特許第４２６４８４０号明細書
　しかしながら、特許文献１は、搬送中の容器において蓋の有無を検出することができないといった問題がある。上記した天井走行車は、自動倉庫等からホイスト等により容器を吊り下げた状態で移送するが、自動倉庫内で既に蓋が外れている場合、あるいは吊り下げて移送する途中で蓋が外れて落下した場合など、天井走行車に容器を配置した段階で既に蓋がない可能性がある。このような場合、特許文献１の蓋外れ検出部では異常を検出できない。その結果、天井走行車の走行中に被収容物の汚染あるいは飛び出しを招く可能性がある。
　本発明は、上述の事情に鑑みなされたもので、容器における蓋の存在を容易かつ確実に判別することが可能な搬送装置及び搬送方法を提供することを目的とする。
　本発明の搬送装置は、側面に蓋を有する容器を搬送する搬送装置であって、容器における蓋の有無を検出する蓋検出部を備える。
　また、容器から外れた蓋を支持する押さえ部材を備え、蓋検出部は、押さえ部材に設けられていてもよい。また、押さえ部材は、蓋と対向する側面近傍に光軸が配置されかつ容器から外れた蓋を検出する蓋外れ検出部を備え、蓋検出部は、光軸から外れた位置に設けられていてもよい。また、押さえ部材は、蓋検出部より蓋側に突出し、蓋が蓋検出部に接触するのを規制するストッパを備えていてもよい。また、ストッパは、蓋検出部の配線の一部を押さえ部材に保持してもよい。また、蓋検出部は、容器の被収容物が蓋の近傍に存在しない領域と対向する位置に設けられていてもよい。
　本発明の搬送方法は、側面に蓋を有する容器を搬送する方法であって、容器における蓋の有無を検出することを含む。
　本発明によれば、容器における蓋の有無を蓋検出部により検出するので、容器に蓋が付いていない異常状態を容易かつ確実に判別することができる。
　また、容器から外れた蓋を支持する押さえ部材を備え、蓋検出部が、押さえ部材に設けられている場合は、蓋の有無の検出に加えて、蓋が外れた場合に押さえ部材により蓋を支持し、蓋の落下を防止できる。また、押さえ部材に、蓋と対向する側面近傍に光軸が配置されかつ容器から外れた蓋を検出する蓋外れ検出部を備え、蓋検出部が、光軸から外れた位置に設けられている場合は、蓋外れ検出部による検出を蓋検出部が妨げずに、蓋の外れを確実に検出できる。また、押さえ部材に、蓋検出部より蓋側に突出し、蓋が蓋検出部に接触するのを規制するストッパを備えている場合は、ストッパにより蓋が蓋検出部に接触するのを防止して蓋検出部の損傷を防止できる。また、ストッパが、蓋検出部の配線の一部を押さえ部材に保持している場合は、ストッパにより蓋検出部の配線を保護することができる。また、蓋検出部が、容器の被収容物が蓋の近傍に存在しない領域と対向する位置に設けられている場合は、蓋が外れているときに蓋検出部が被収容物を蓋として誤認識することを低減することができる。
　また、本発明の搬送方法によれば、容器における蓋の有無を検出するので、容器に蓋が付いていない異常状態を容易かつ確実に判別することができる。
本実施形態に係る搬送装置の一例を概念的に示す図である。 （Ａ）は蓋検出部および蓋外れ検出部が取り付けられた押さえ部材の一例を示す図、（Ｂ）は蓋検出部の検出方法の一例を示す図である。 蓋検出部と被収容物との位置関係の一例を示す図である。 容器から外れた蓋と、蓋検出部と、蓋外れ検出部と、の位置関係の一例を示す図である。
　以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。ただし、本発明はこれに限定されるものではない。また、図面においては実施形態を説明するため、一部分を大きくまたは強調して記載するなど適宜縮尺を変更して表現している。以下の各図において、ＸＹＺ座標系を用いて図中の方向を説明する。このＸＹＺ座標系においては、鉛直方向をＺ方向とし、水平方向をＸ方向、Ｙ方向とする。Ｘ方向、Ｙ方向、及びＺ方向のそれぞれは、図中の矢印の方向が＋方向であり、矢印の方向とは反対の方向が－方向であるものとして説明する。また、以下の実施形態では、例えば、側面に蓋を有する容器を搬送する方法であって、搬送中の容器における蓋の有無を検出することを含む搬送方法の一例を実施している。
　図１は、本実施形態に係る搬送装置１の一例を概念的に示す図である。この搬送装置１は、例えば、処理装置あるいは自動倉庫などの間において、蓋２を有する容器３の搬送に用いられる。容器３は、例えば、半導体ウエハを収容するＦＯＵＰを示しているが、半導体ウエハ以外の物を収容する容器であってもよく、例えば、レチクルを収容するレチクルポッドなどでもよい。
　容器３は、半導体ウエハなどの被収容物を容器３の内部へ搬入するための開口３ａを有する。開口３ａは容器３の側面３ｂに設けられており、この側面３ｂは、鉛直方向に沿って形成されており、開口３ａを水平方向（図１ではＹ方向）に向くようにしている。蓋２は、開口３ａを塞ぐように、容器３の側面３ｂに着脱可能に設けられる。蓋２の着脱機構は任意の構成が適用される。また、容器３の頂部には、フランジ部３ｃが設けられている。フランジ部３ｃは、基端側の接続部３ｄと、接続部３ｄの上方に取り付けられる矩形板状の被係止部３ｅと、を有している。なお、被係止部３ｅの形状は、矩形板状に代えて円盤状であってもよい。
　搬送装置１は、容器３を保持して鉛直方向に昇降させる昇降機４と、昇降機４を水平方向に移動させる天井走行車５と、容器３における蓋の有無を検出する蓋検出部６と、搬送装置１の各部を制御する制御部７と、を備える。
　天井走行車５は、走行駆動部９を有し、走行駆動部９の駆動力によって走行レール（軌道）８に沿って走行する。走行レール８は、例えばクリーンルームの天井に設けられ、Ｘ方向に延びている。走行駆動部９は、不図示の電動モータ、減速機、駆動輪、エンコーダなどを有する。駆動輪は、走行レール８に接するように配置され、減速機を介して電動モータの出力軸に接続される。電動モータの出力軸の回転が減速機を介して駆動輪に伝えられ、駆動輪の回転により天井走行車５が走行する。エンコーダは、電動モータの出力軸の回転数などを検出し、その検出結果を制御部７に出力する。制御部７は、エンコーダの検出結果に基づいて電動モータの回転を制御し、天井走行車５の速度及び停止位置の制御を行う。なお、天井走行車５の停止位置の設定は、走行レール８に沿って予め設置された指標板等を識別することによって行ってもよい。
　天井走行車５は、走行駆動部９から下方に延びる支持軸１０が取り付けられている。支持軸１０の下部はＹ方向移動部１１が取り付けられている。Ｙ方向移動部１１の下部には、回動部１２が取り付けられている。回動部１２の下部には昇降機４が取り付けられている。
　Ｙ方向移動部１１は、不図示のＹ方向ガイド、Ｙ方向駆動部などを有する。Ｙ方向移動部１１は、電動モータ等のＹ方向駆動部からの駆動力によって、回動部１２をガイドに沿ってＹ方向に移動可能である。制御部７は、Ｙ方向移動部１１を制御し、回動部１２をＹ方向の目標位置に移動させる。なお、このようなＹ方向移動部１１を設けるか否かは任意であり、Ｙ方向移動部１１がない搬送装置１であってもよい。
　回動部１２は、不図示の回動軸、回動駆動部などを有する。この回動軸はＺ方向に沿って形成されており、昇降機４に接続されている。回動駆動部は、電動モータ等が用いられ、回動軸をＺ方向の周りで回動させる。回動部１２は、回動駆動部からの駆動力によって回動軸を回動し、昇降機４をＺ方向に平行な軸周りに回動可能である。制御部７は、回動部１２を制御し、昇降機４を目標位置に回動させる。なお、このような回動部１２を設けるか否かは任意であり、回動部１２がない搬送装置１であってもよい。
　昇降機４は、容器３を保持する保持部１３と、保持部１３を鉛直方向に移動させる昇降駆動部１４とを備える。保持部１３は、容器３のフランジ部３ｃを把持することにより、容器３を吊り下げて保持する。保持部１３は、例えば、水平方向に移動可能な爪部１３ａを有するチャックであり、爪部１３ａを被係止部３ｅの下に差し込むことで、容器３を保持する。保持部１３は、不図示のワイヤあるいはベルトなどの吊り下げ部材と接続されている。昇降駆動部１４は、例えばホイストが用いられ、この吊り下げ部材を繰り出すことにより保持部１３を降下させることができ、また、吊り下げ部材を巻き取ることにより保持部１３を上昇させることができる。
　制御部７は、昇降機４を制御して、所定の速度で保持部１３を降下あるいは上昇させることができる。また、制御部７は、昇降機４を制御して、保持部１３を目標の高さに保持させることもできる。制御部７は、昇降機４を制御することにより、保持部１３に保持された容器３の高さを制御する。以下の説明において、保持部１３に保持された容器３が昇降範囲の上端まで上昇した状態を、適宜、吊り上げ保持状態という。
　上述のＹ方向移動部１１、回動部１２、及び昇降機４は、天井走行車５に支持されており、天井走行車５と一体となってＸ方向に移動する。Ｙ方向移動部１１、回動部１２、及び昇降機４の－Ｘ側の側方にはカバー１５が設けられており、＋Ｘ側の側方にはカバー１６が設けられている。カバー１５およびカバー１６は、それぞれ、支持軸１０を介して天井走行車５に支持されており、天井走行車５と一体となってＸ方向に移動する。
　カバー１５及びカバー１６は、容器３の吊り上げ保持状態において、それぞれの下端部が容器３の底面より下方に位置する。カバー１５の下端部およびカバー１６の下端部には、それぞれ、落下防止片１７が設けられている。落下防止片１７は、保持部１３に保持された容器３の底面の直下まで延びている。落下防止片１７は、例えば、容器３の底面から下方に離れた位置に配置されるが、容器３の底面と接触可能であってもよい。落下防止片１７は、保持部１３から容器３が外れた場合、容器３が落下防止片１７に引っかかることで、容器３の落下を防止する。なお、落下防止片１７は進退可能に形成されており、下方から容器３が吊り上げられる際、または、吊り上げ保持状態の容器３を降下させる際に、容器３が通る範囲外へ退避する。この落下防止片１７の進退は、制御部７によって制御される。
　搬送装置１は、容器３から外れた蓋２を支持する押さえ部材１８が設けられている。押さえ部材１８の少なくとも一部は、容器３に対して－Ｙ側の側方に配置される。押さえ部材１８は、カバー１５とカバー１６とに両端が支持されている。押さえ部材１８は、カバー１５に固定される固定部１８ａと、カバー１６に固定される固定部１８ｂと、固定部１８ａと固定部１８ｂとの間の本体部１８ｃとを有する。
　本体部１８ｃは、容器３の吊り上げ保持状態において、蓋２から離間し、かつ蓋２と対向するように配置される。本体部１８ｃは、その上端（上端の縁部）が蓋２の上端よりも下方に配置され、その下端（下端の縁部）が蓋２の下端よりも上方に配置される。本体部１８ｃの上端は、蓋２が容器３から外れたときに支持することが可能な高さに設定される。本体部１８ｃは、樹脂あるいは金属製の板状のものが用いられるが、パンチングメタルあるいは網状のものが用いられてもよい。
　蓋検出部６は、押さえ部材１８に設けられている。蓋検出部６は、押さえ部材１８の本体部１８ｃに設けられており、容器３の吊り上げ保持状態において、蓋２と対向するように配置される。
　本体部１８ｃの－Ｘ側の端部には、中央部よりも上方に突出する上方突出部１９ａと、中央部よりも下方に突出する下方突出部２０ａとが設けられている。また、本体部１８ｃの＋Ｘ方向の端部には、中央部よりも上方に突出する上方突出部１９ｂと、中央部よりも下方に突出する下方突出部２０ｂとが設けられている。また、上方突出部１９ａ、上方突出部１９ｂ、下方突出部２０ａ、及び下方突出部２０ｂは、それぞれ、Ｘ方向において蓋２から外れた位置（外側）に配置される。上方突出部１９ａと上方突出部１９ｂとには、蓋外れ検出部２１が設けられている。下方突出部２０ａと下方突出部２０ｂとには、蓋外れ検出部２２が設けられている。
　次に、蓋検出部６、及び蓋外れ検出部２１、２２について、押さえ部材１８を含めて詳しく説明する。図２（Ａ）は、蓋検出部６および蓋外れ検出部２１、２２が取り付けられた押さえ部材１８を示す図、図２（Ｂ）は蓋検出部６の検出方法を示す図である。
　図２（Ａ）に示すように、押さえ部材１８の本体部１８ｃは、例えばＸＺ面にほぼ平行な平板状であるが、その全部または一部が湾曲した曲面であってもよい。固定部１８ａおよび固定部１８ｂは、それぞれ、本体部１８ｃからＹ方向に折れ曲がって延びている。図２において、固定部１８ａ、１８ｂ、及び本体部１８ｃは、それぞれ別部材であり、ビスなどにより互いに接合されている。なお、押さえ部材１８は、一体成型された部材であってもよい。なお、固定部１８ａ、１８ｂは、カバー１５、１６に対してボルト等によって取り外し可能に固定される。
　蓋外れ検出部２１は、上方突出部１９ａに設けられた発光部２３と、上方突出部１９ｂに設けられた光センサ（受光部）２４と、コントローラ２５とを有する。発光部２３は、例えば発光ダイオード（ＬＥＤ）あるいはレーザーダイオード（ＬＤ）などであり、光軸２１ａの方向に光を射出する。光軸２１ａは、Ｘ方向と平行に設定されている。光センサ２４は、例えばフォトダイオードであり、発光部２３から射出された光を検出する。光センサ２４は、発光部２３から射出された光が入射可能なように、Ｚ方向の位置が光軸２１ａに合わせて設定されている。なお、光軸２１ａの向きによっては、発光部２３と光センサ２４とのＺ方向に位置が異なってもよい。光軸２１ａは、本体部１８ｃの上端の縁部に沿って配置されている。
　コントローラ２５は、発光部２３を制御して、発光部２３から光を射出させる。コントローラ２５は、容器３の吊り上げ保持状態において、連続してまたは所定時間間隔を空けて発光部２３から光を射出させるように制御する。コントローラ２５は、光センサ２４を制御して、発光部２３から光を射出しているタイミングで光の検出動作を光センサ２４に実行させる。コントローラ２５は、光センサ２４から検出結果を取得し、この検出結果に基づいて、光軸２１ａ（発光部２３と光センサ２４との間の光路）が蓋２で遮られているか否かを判定する。コントローラ２５は、発光部２３から光を射出させている状態で、光センサ２４により光が検出されない場合に、光軸２１ａが蓋２で遮られていると判定する。
　コントローラ２５は、光軸２１ａが蓋２で遮られていると判定した場合に、例えば搬送装置１の制御部７（または制御部７の上位制御部）などに判定結果を出力する。制御部７は、光軸２１ａが蓋２で遮られている判定結果を受けた場合、例えば、蓋２が容器３から外れたことを作業者等に音声あるいは表示等で警告する。また、制御部７は、光軸２１ａが蓋２で遮られている判定結果を受けた場合、容器３の搬送を停止してもよいし、容器３の搬送速度を低下させてもよい。なお、制御部７は、コントローラ２５の代わりに、光センサ２４の検出結果に基づいて蓋２が外れているか否かを判定してもよい。
　蓋外れ検出部２２は、蓋外れ検出部２１と同様の構成である。蓋外れ検出部２２は、下方突出部２０ａに設けられた発光部２６と、下方突出部２０ｂに設けられた光センサ（受光部）２７と、コントローラ２８とを有する。蓋外れ検出部２２の光軸２２ａは、Ｘ方向と平行に設定されている。なお、光軸２２ａの向きによっては、発光部２６と光センサ２７とのＺ方向に位置が異なってもよい。光軸２２ａは、本体部１８ｃの下端の縁部に沿って配置されている。
　発光部２６は、コントローラ２８に制御されて光を射出する。コントローラ２８は、容器３の吊り上げ保持状態において、連続してまたは所定時間間隔を空けて発光部２６から光を射出させるように制御する。光センサ２７は、コントローラ２８に制御されて、発光部２６から光を射出しているタイミングで光の検出動作を実行する。コントローラ２８は、光センサ２７の検出結果に基づいて、光軸２２ａ（発光部２６と光センサ２７との間の光路）が蓋２で遮られたか否かを判定し、その判定結果を、例えば搬送装置１の制御部７に出力する。なお、コントローラ２８は、コントローラ２５と共通化されていてもよいし、コントローラ２５と別に設けられていてもよい。
　蓋検出部６は、押さえ部材１８の本体部１８ｃにおいて、蓋２に対向する面に取り付けられている。蓋検出部６は、高さ方向（Ｚ方向）において、蓋外れ検出部２１、２２の光軸２１ａ、２２ａから外れた位置に配置されている。蓋検出部６は、蓋外れ検出部２１の光軸２１ａよりも下方であって光軸２２ａよりも上方に配置されている。すなわち、蓋検出部６は、光軸２１ａと光軸２２ａとの間に配置されている。
　蓋検出部６は、発光部３１、光センサ（受光部）３２、及びコントローラ３３を有する。発光部３０は、例えば発光ダイオード（ＬＥＤ）あるいはレーザーダイオード（ＬＤ）などであり、＋Ｙ方向（蓋２の配置側）向けて光を射出する。光センサ３２は、例えばフォトダイオードであり、発光部３１から射出されて蓋２で反射された光を検出する。
　押さえ部材１８の本体部１８ｃにおいて、蓋検出部６が配置されている面には、ストッパ３４が設けられている。ストッパ３４は、蓋検出部６の近傍に配置されている。例えば、Ｚ方向において、ストッパ３４は、蓋検出部６とほぼ同じ高さに設定される。ストッパ３４は、不図示のボルト等によって本体部１８ｃから取り外し可能に固定される。ストッパ３４は、本体部１８ｃからＹ方向の突出量が、蓋検出部６の突出量より大きい。ストッパ３４は、矩形のブロック形状のものが用いられるが、例えば円柱状など形状は任意である。また、ストッパ３４は、蓋検出部６の配線６ａの一部を押さえ部材に保持する。ストッパ３４は、配線６ａを覆うように、押さえ部材１８に取り付けられている。
　図２（Ｂ）に示すように、蓋検出部６の発光部３１から光が射出される方向に蓋２がある場合、発光部３１から射出された光の少なくとも一部は、蓋２の表面で反射し、光センサ３２に入射する。光センサ３２は、発光部３１から射出されて蓋２で反射した光を検出する。
　例えば、蓋２が発光部３１から大きく離れると、発光部３１から射出されて蓋２で反射した光の強度が小さくなり、光センサ３２の感度未満となって光を検出できない可能性がある。以下の説明において、蓋検出部６により蓋２（物体）の有無を検出可能な領域を、適宜、蓋検出部６の検出領域Ａ１という。蓋検出部６の検出領域Ａ１は、例えば、蓋２が容器３に適正に取り付けられている状態では、この蓋２が検出領域Ａ１に入るように設定される。
　上記したように、ストッパ３４は、蓋検出部６より蓋２側に突出している。そのため、図２（Ｂ）に示すように、容器３から外れた蓋２Ａが押さえ部材１８側に倒れてきた場合、この蓋２Ａは、ストッパ３４と接触することで、蓋検出部６には接触しない。このように、ストッパ３４は、蓋２が蓋検出部６に接触するのを規制し、蓋検出部６が破損するのを防止している。
　コントローラ３３は、発光部３１を制御して、発光部３１に光を射出させる。コントローラ３３は、光センサ３２を制御して、光センサ３２の検出動作を実行させる。コントローラ３３は、光センサ３２から検出結果を取得し、この検出結果に基づいて、検出領域Ａ１に物体があるか否かを判定する。
　コントローラ３３は、発光部３１に光を射出させている状態で、光センサ３２により光が検出された場合に、検出領域Ａ１に蓋２が存在すると判定する。コントローラ３３は、発光部３１に光を射出させている状態で、光センサ３２により光が検出されない場合に、検出領域Ａ１に蓋２が存在しないと判定する。コントローラ３３は、検出領域Ａ１に蓋２が存在しないと判定した結果を搬送装置１の制御部７に出力する。
　搬送装置１の制御部７は、例えば、容器３の吊り上げ保持状態の際に、連続してまたは所定時間間隔を空けて蓋２の有無を検出するようにコントローラ３３に指示する。制御部７は、蓋２が容器３にない判定結果を受けた場合、例えば、蓋２が容器３にないことを作業者等に音声あるいは表示等で警告する。制御部７は、蓋２が容器３にない判定結果を受けた場合、容器３の搬送を停止してもよいし、容器３の搬送速度を低下させてもよい。
　なお、コントローラ３３は、容器３を吊り上げる途中において、蓋２の有無を検出するように蓋検出部６に指示してもよい。この場合、制御部７は、蓋２が容器３にない判定結果を受けた場合、作業者等への警告、及び容器３の吊り上げ停止などの少なくとも一方を行ってもよい。また、制御部７は、コントローラ３３の代わりに、光センサ３２の検出結果に基づいて蓋の有無を判定してもよい。
　次に、Ｘ方向における蓋検出部６の位置について説明する。図３は、蓋検出部６と被収容物ＯＢとの位置関係を示す図である。蓋２が容器３に付いていない場合、被収容物ＯＢは、蓋２の取り付け位置よりも外側へ飛び出した状態となる可能性がある（図３（Ａ）中に符号ＯＢａで示す）。この場合、被収容物ＯＢが蓋検出部６の検出領域Ａ１内にあると、蓋検出部６は、被収容物ＯＢを検出することによって、蓋２が容器３に付いていると誤認識する。従って、蓋検出部６は、誤って被収容物ＯＢを検出しないように、容器３の被収容物ＯＢが蓋２の近傍に存在しない領域Ａ２と対向する位置に設けられる。
　被収容物ＯＢが半導体ウエハのように円盤状である場合、被収容物ＯＢのエッジから蓋２までの距離は、Ｘ方向において被収容物ＯＢの中心線ＣＬから外れるほど、長くなる。本実施形態において、蓋検出部６は、被収容物ＯＢの中心線ＣＬと押さえ部材１８との交点ＣＰからＸ方向端側へずらした位置に配置されている。例えば、被収容物ＯＢは、最大で押さえ部材１８に接触する位置まで飛び出した状態となる。蓋検出部６は、押さえ部材１８と接触した被収容物ＯＢａが検出領域Ａ１に入らないように、中心線ＣＬから＋Ｘ方向または－Ｘ方向に外れて配置されている。
　次に、Ｚ方向における蓋検出部６の位置について説明する。図４は、容器３から外れた蓋２、蓋検出部６、蓋外れ検出部２１、及び蓋外れ検出部２２の位置関係を示す図である。図４（Ａ）には、蓋２の上部が押さえ部材１８に向かって倒れた状態をＸ方向から見た図を示している。図４（Ｂ）には、蓋２の下部が押さえ部材１８に向かって滑った状態をＸ方向から見た図を示している。
　図４（Ａ）に示すように、蓋２の上端が容器３から外れると、蓋２の上部が押さえ部材１８に寄り掛かった状態となる。これにより、押さえ部材１８の上端部に配置されている蓋外れ検出部２１の光軸２１ａ（図２参照）は、蓋２によって遮られる。そのため、蓋外れ検出部２１によって蓋２の外れが検出される。なお、外れた蓋２がその下部を支点として倒れ、押さえ部材１８より先に蓋検出部６に接触する場合、蓋２が蓋外れ検出部２１の光軸２１ａを遮る位置まで倒れないことも考えられる。この場合には、蓋２が容器３から外れていることを検出できない。
　これに対応するため、容器３から外れた蓋２が押さえ部材１８より先に蓋検出部６と接触しないように、蓋検出部６のＺ方向の位置およびＹ方向の突出量が設定される。蓋検出部６のＺ方向の位置を下げるほど、蓋２の上部が押さえ部材１８に向かって倒れた場合に、蓋検出部６が蓋２と接触しにくくなる。また、蓋検出部６のＹ方向の突出量を小さくする（薄くする）ほど、蓋２の上部が押さえ部材１８に向かって倒れた場合に、蓋検出部６が蓋２と接触しにくくなる。
　図４（Ｂ）に示すように、蓋２の下端が容器３から外れると、蓋２が容器３からずり落ちて、落下防止片１７に引っかかった状態となる。蓋２は、その下部を支点として容器３に向かって倒れている。この状態において、押さえ部材１８の下端部に配置されている蓋外れ検出部２２の光軸２２ａ（図２参照）は、蓋２に遮られる。そのため、蓋外れ検出部２２によって蓋２の外れを検出できる。
　なお、図４（Ｂ）に示す場合においても、蓋２が先に蓋検出部６に接触すると、蓋２が蓋外れ検出部２２の光軸２２ａを遮る位置までずり落ちない可能性がある。従って、上記と同様に、容器３からずり落ちた蓋２が押さえ部材１８より先に蓋検出部６と接触しないように、蓋検出部６のＺ方向の位置およびＹ方向の突出量が設定される。蓋検出部６のＺ方向の位置を上げるほど、蓋２がずり落ちて容器３に向かって倒れた場合に、蓋検出部６が蓋２と接触しにくくなる。また、蓋検出部６のＹ方向の突出量を小さくする（薄くする）ほど、蓋２がずり落ちて容器３に向かって倒れた場合に、蓋検出部６が蓋２と接触しにくくなる。
　本実施形態においては、図４（Ａ）の状態において蓋検出部６が蓋２に接触せず、かつ図４（Ｂ）の状態において蓋検出部６が蓋２に接触しないように、蓋検出部６のＺ方向の位置およびＹ方向の突出量が設定される。従って。蓋検出部６は、押さえ部材１８の高さ方向（Ｚ方向）において中央付近の領域に配置されている。なお、図２に示したストッパ３４が設けられる場合、Ｙ方向には蓋検出部６よりストッパ３４が突出している。従って、図４（Ａ）及び（Ｂ）の双方の状態において、蓋２がストッパ３４と接触しないように、ストッパ３４のＺ方向の位置およびＹ方向の突出量が設定されていてもよい。
　このように、本実施形態によれば、容器３における蓋２の有無を蓋検出部６により検出するので、容器３に蓋２が付いていない異常状態を容易かつ確実に判別することができる。これにより、容器３の搬送中に誤って収容物を容器３から落下させることを回避することができる。
　以上、実施形態について説明したが、本発明の技術範囲は、上述した説明に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。例えば、上記した実施形態では、蓋検出部６が押さえ部材１８から突出した状態で設けられるが、押さえ部材１８に形成された凹部あるいは開口部に蓋検出部６が配置されていてもよい。これにより、押さえ部材１８からＹ方向に蓋検出部６が突出するのを抑制でき、蓋検出部６が押さえ部材１８と接触するのを回避して蓋検出部６を保護することができる。
　また、蓋検出部６は、複数設けられていてもよい。複数の蓋検出部６を用いる場合、少なくとも１つを予備として用いること、あるいは他の蓋検出部６と比較に用いることが可能であり、他の蓋検出部６の故障検出などに用いられてもよい。また、蓋検出部６は、押さえ部材１８以外の他の部材、例えば天井走行車５のカバー１５、１６などに設けられてもよい。
　また、上記した実施形態では、蓋検出部６、蓋外れ検出部２１、２２は、それぞれ、光学的な検出手法を用いるが、他の検出手法により蓋２を検出してもよい。例えば、磁気センサ、静電容量センサ、超音波センサなどの非接触式のセンサ、感圧センサなどの接触式のセンサが用いられてもよい。
　また、上記した実施形態では、搬送装置１として天井走行車５の例を記載しているが、これに代えて、床面に敷設された軌道に沿って走行する地上走行車、あるいは床面上を走行する無軌道走行車などに適用されてもよい。
　また、上記した実施形態では、容器３として着脱可能な蓋２を備えているが、これに限定されない。例えば、蓋として、開閉可能なシャッタが用いられてもよい。このシャッタを持つ容器の場合、蓋がない状態とは、シャッタが開けられたままの状態である。
１…搬送装置、２…蓋、３…容器、３ｂ…側面、６…蓋検出部、６ａ…配線、１８…押さえ部材、２１…蓋外れ検出部、２１ａ、２２ａ…光軸、２２…蓋外れ検出部、３４…ストッパ、ＯＢ…被収容物

Claims (7)

  1. 　側面に蓋を有する容器を搬送する搬送装置であって、
    　前記容器における前記蓋の有無を検出する蓋検出部を備える搬送装置。
  2. 　前記容器から外れた前記蓋を支持する押さえ部材を備え、
    　前記蓋検出部は、前記押さえ部材に設けられる請求項１記載の搬送装置。
  3. 　前記押さえ部材は、前記蓋と対向する側面近傍に光軸が配置されかつ前記容器から外れた前記蓋を検出する蓋外れ検出部を備え、
    　前記蓋検出部は、前記光軸から高さ方向に外れた位置に設けられる請求項２記載の搬送装置。
  4. 　前記押さえ部材は、前記蓋検出部より前記蓋側に突出し、前記蓋が前記蓋検出部に接触するのを規制するストッパを備える請求項２または請求項３に記載の搬送装置。
  5. 　前記ストッパは、前記蓋検出部の配線の一部を前記押さえ部材に保持する請求項４記載の搬送装置。
  6. 　前記蓋検出部は、前記容器の被収容物が前記蓋の近傍に存在しない領域と対向する位置に設けられる請求項１～請求項５のいずれか一項に記載の搬送装置。
  7. 　側面に蓋を有する容器を搬送する方法であって、
    　前記容器における前記蓋の有無を検出することを含む、搬送方法。
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