WO2010081678A1

WO2010081678A1 - Variables telezentrisches mikroskopsystem

Info

Publication number: WO2010081678A1
Application number: PCT/EP2010/000129
Authority: WO
Inventors: Johannes Winterot; Joerg Sprenger; Johannes Knoblich
Original assignee: Carl Zeiss Microimaging Gmbh
Priority date: 2009-01-15
Filing date: 2010-01-13
Publication date: 2010-07-22
Also published as: DE102009004741A1

Abstract

Die Erfindung bezieht sich auf ein telezentrisches Mikroskopsystem mit einem Objektiv, einem dem Objektiv nachgeordneten afokalen Vergrößerungssystem mit kontinuierlicher variabler Vergrößerung, dessen Eintrittspupille (EP) im bildseitigen Brennpunkt des Objektivs liegt, und einem dem Vergrößerungssystem nachgeordneten Tubussystem. Die Erfindung bezieht sich weiterhin auf ein afokales Vergrößerungssystem mit variabler Vergrößerung für telezentrische Mikroskopsysteme. Erfindungsgemäß ist das Vergrößerungssystem als afokales Vergrößerungssystem mit negativer Fernrohrvergrößerung ausgebildet, die Austrittspupille (AP) ist reell nach der letzten beweglichen Linsengruppe, und im Bereich zwischen der Eintrittspupille (EP) und der Austrittspupille (AP) ist ein Zwischenbild (ZB) ausgebildet, das bei Änderung der Vergrößerung seine Lage ändert.

Description

Variables telezentrisches Mikroskopsystem

Die Erfindung bezieht sich auf ein objektseitig telezentrisches Mikroskopsystem mit einem Objektiv, einem dem Objektiv nachgeordneten afokalen Vergrößerungssystem mit kontinuierlich variabler Vergrößerung, dessen Eintrittspupille im bildseitigen Brennpunkt des Objektivs liegt, und einem dem Vergrößerungssystem nachgeordneten Tubussystem. Die Erfindung bezieht sich weiterhin auf ein afokales Vergrößerungssystem mit kontinuierlich variabler Vergrößerung für telezentrische Mikroskopsysteme.

Unter telezentrischen Mikroskopsystemen an sich sind Mikroskope zu verstehen mit dem Aufbau: Objektiv, einer dem Objektiv folgenden zweiten optischen Stufe mit einer Tubuswechselstelle, wobei die Abbildung des Zwischenbildes in das Okularzwischenbild vorgesehen ist, und einer nachfolgenden Tubuslinse bzw. einem Tubussystem.

Von inversen Mikroskopen sind Systeme mit Objektiv, einem afokalen Vergrößerungssystem mit konstanter negativer Fernrohrvergrößerung und einem Tubussystem bekannt. Die TeIe- zentrie wird dabei durch eine objektivnahe Blende erreicht.

Mikroskopsysteme, bei denen dem Objektiv als zweite optische Stufe ein variables, also kontinuierlich änderbares afokales Vergrößerungssystem nachgeordnet ist, sind beispielsweise aus der Patentliteratur bekannt.

In US 2006-0092504 Al ist ein derartiges Mikroskopsystem beschrieben. Wird hierbei die Vergrößerung geändert, so an- dem sich auch die Positionen der Eintritts- und der Austrittspupille des Vergrößerungssystems, die Pupillen wandern also im Strahlengang in Abhängigkeit von der Vergrößerungseinstellung.

Dieses Mikroskopsystem kann nicht über den gesamten Vergrößerungsbereich telezentrisch sein, weil der bildseitige Brennpunkt des Objektivs nicht konstant auf der Eintrittspupille des nachgeordneten Vergrößerungssystems liegt.

Variable telezentrische Mikroskopsysteme jedoch, insbesondere mit objektseitiger Telezentrie, sind unter applikati- ven Gesichtspunkten vor allem dann wünschenswert, wenn tiefer liegende Strukturen innerhalb eines Objektes beobachtet und vermessen werden sollen. Von Vorteil ist dabei, daß sich mit einer axialen Objektverschiebung der Abbildungsmaßstab nicht ändert, also das Bild der Struktur unabhängig vom Abstand zwischen Objekt und Objektiv immer gleich groß erscheint. Dies erlaubt z.B. eine unkomplizierte Scharfeinstellung. Außerdem läßt sich die Ausleuchtung in koaxialem Auflicht deutlich verbessern. Die Beleuchtungsverhältnisse für Durchlicht vereinfachen sich und gestatten den Einsatz von klassischen Kontrastierungsverfahren der Mikroskopie durch Eingriff in die Kondensorbrennebene der Durchlichtbe- leuchtungseinrichtung .

Zwar ist bei einem in US 2006-0114554 Al beschriebenen Mikroskopsystem eine feste Eintrittspupillenlage zwischen Objektiv und Vergrößerungssystem vorgesehen, jedoch wird diese mit einer feststehenden, vorverlegten Blende erzwungen.

Um die bildseitige Apertur des Mikroskops in sinnvollen Bereichen zu halten und die Korrektion des Vergrößerungssys- _ _

tems zu ermöglichen, ist der Durchmesser der Blendenöffnung mit der Vergrößerungsänderung gekoppelt. Nachteilig dabei ist jedoch, daß die Lage der Austrittspupille des Vergrößerungssystems virtuell ist und großen Änderungen unterworfen ist, wodurch die Auslegung der nachfolgenden optischen Baugruppen kompliziert ist.

Dies wird bei dem letztgenannten Mikroskopsystem insbesondere anhand der extrem großen Durchmesser der Linsengruppen deutlich, die innerhalb des Vergrößerungssystems der Austrittspupille zugewandt sind.

Von diesem Stand der Technik ausgehend liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, ein Mikroskopsystem zu schaffen, bei dem die Vorteile eines afokalen Vergrößerungssystems in Verbindung mit objektseitiger Telezentrie besser nutzbar sind, indem beispielsweise der Nachteil einer mit der Vergrößerungsänderung gekoppelten Blendenöffnung beseitigt wird und große Bauteildurchmesser am bildseitigen Ausgang des afokalen Vergrößerungswechslers vermieden werden.

Diese Aufgabe wird gelöst mit einem Mikroskopsystem der eingangs beschriebenen Art, welches die Merkmale des Anspruchs 1 aufweist. Ausgestaltungen des erfindungsgemäßen Mikroskopsystems sind in den zugehörigen Unteransprüchen angegeben.

Bei dem erfindungsgemäßen Mikroskopsystem folgt dem Objektiv ein variables afokales Vergrößerungssystem mit relativ zu ortsfesten Linsengruppen konstanter Eintritts- und reeller Austrittspupillenlage, wobei die Eintrittspupille des Vergrößerungssystems im bildseitigen Brennpunkt des Objektivs angeordnet ist. Sie befindet sich, von der Objektseite _- _-

aus betrachtet, bevorzugt vor der erster Linsengruppe des Vergrößerungssystems .

Die Austrittspupille befindet sich in vorteilhaften Ausgestaltungen, ebenfalls von der Objektseite aus betrachtet, hinter der letzten bewegten Linsengruppe des Vergrößerungssystems .

In die Erfindung eingeschlossen sind allerdings auch Ausgestaltungen, bei denen die Positionen der Ein- und Austrittspupille von den vorgenannten Positionen abweichen.

Die Austrittspupille ist im erfindungsgemäßen Mikroskopsystem reell und somit durch eine körperliche Blende realisierbar, die der Bündelbegrenzung dient. Mit dem festen Durchmesser der Blendenöffnung werden konstante bildseitige Bündeldurchmesser beim Eintritt in das Tubussystem erziele, was zugleich konstante bildseitige Aperturen hinter dem Tubussystem ermöglicht. Außerdem wird so die objektseitige Telezentrie des Gesamtsystems erreicht.

Die Fernrohrvergrößerung des erfindungsgemäßen Mikroskopsystems ist negativ, sie unterscheidet sich damit im Vorzeichen von den eingangs zitierten bekannten Lösungen für Zoomsysteme.

Die Brennweiten und Bewegungen der Linsengruppen des erfindungsgemäßen kontinuierlich änderbaren Vergrößerungssystems sind so ausgelegt, daß das System afokal mit einer negativen Fernvergrößerung ist und die feste Eintrittspupille stets an einem reellen Ort nach der letzten beweglichen Linsengruppe abgebildet wird. Die erfindungsgemäßen Systeme haben in ihrem Inneren ein Zwischenbild. Die Brennweiten und Bewegungen der Linsengruppen sind weiterhin so ausgelegt, daß das Zwischenbild stets im gleichen Zwischenraum als reelles Bild mit ausreichendem Abstand zu den Bauelementen entsteht.

Die vorteilhafteste Ausfuhrung der Erfindung ergibt sich bei außerhalb der Linsengruppen des Vergroßerungssystems angeordneten festen Ein- und Austrittspupillenlagen.

Die feste Eintrittspupillenlage erlaubt die objektseitige Telezentrie des Mikroskopsystems. Die zugängliche Aus- trittspupillenlage ermöglicht eine einfache Definition des Abbildungsbundeis und die Anwendung von in der klassischen Mikroskopie bekannten Kontrastierungsverfahren durch Pupil- leneingriffe. Die Anpassung der Beleuchtung für koaxiales Auflicht und die Dimensionierung des Tubussystems vereinfachen sich. Im Zubdimιιenwirκen mit einem visuellen Beobachtungstubus ist durch die Vorzeichenwahl der Fernrohrvergro- ßerung keine aufwendige Bildaufrichtung notwendig.

Die variable Vergrößerung wird erzielt, indem mindestens eine der Linsengruppen des Vergroßerungssystems entlang seiner optischen Achse verschiebbar ist, wobei erfindungs- gemaß die Positionen der Eintrittspupille über den gesamten Vergroßerungsbereich konstant ist und an einen reellen Ort nach der letzten bewegten Linsengruppe abgebildet wird, wahrend die Position des Zwischenbildes in Abhängigkeit von der Variation der Vergrößerung veränderlich ist.

Mit unterschiedlichen Kombinationen von festen und bewegten Linsengruppen und Brennweiten sind verschiedene feste Ein- trittspupillenlagen erzielbar. In die Erfindung eingeschlossen sind variable telezentri- sche Mikroskopsysteme, bei denen das Objektiv eine Brennweite f im Bereich von 25 mm bis 500 mm aufweist, das Vergrößerungssystem für eine variable Fernrohrvergrößerung im Bereich zwischen dem -0,2fachen und dem - 7,5fachen ausgestaltet ist, und das Tubussystem mit einer Brennweite f im Bereich von 20 mm bis 500 mm ausgeführt ist.

Eine konkrete Ausgestaltung eines solchen Mikroskopsystems sieht beispielsweise ein Objektiv mit einer Brennweite f =80 mm, ein Vergrößerungssystem für variable Fernrohrvergrößerung im Bereich des -0,25fachen bis -5,0fachen und ein Tubussystem mit einer festen Brennweite f'=200 mm vor.

Die Erfindung beziehe sich weiterhin aut ein variables afokales Vergrößerungssystem an sich, speziell ausgebildet zur Verwendung in telezentrischen Mikroskopsystemen, mit folgenden Merkmalen: afokal mit negativer Fernrohrvergrößerung, feste Position der Eintrittspupille relativ zu ortsfesten Linsengruppen, reelle Austrittspupille hinter der letzten bewegten Linsengruppe des Vergrößerungssystems, und ein zwischen der Eintrittspupille und der Austrittspupille ausgebildetes Zwischenbild.

Die Vergrößerung ist in einem bestimmten Vergrößerungsbereich variierbare, wobei die Positionen der Eintrittspupille über den gesamten Vergrößerungsbereich konstant ist und an einen reellen Ort nach der letzten bewegten Linsengruppe abgebildet wird, während die Position des Zwischenbildes in _

Abhängigkeit von der Variation der Vergrößerung seine Lage ändert .

Afokale Vergroßerungssysteme nach der vorliegenden Erfindung erfordern mindestens vier Linsengruppen, sie sind beispielsweise mit vier, fünf, sechs oder auch mehr Linsengruppen ausfuhrbar.

So laßt sich eine festpositionierte Eintritts- und Austrittspupillenlage bereits mit einem 4-gliedrigen System erreichen, wenn die Steuerkurven für die beweglichen Linsengruppen den folgenden Beziehungen genügen:

Für Systeme mit fünf Linsengruppen gelten die Beziehungen :

^s>^'

Zusatzlich laßt sich hierbei eine Nebenbedingung erfüllen, wie beispielsweise ein fester Abstand zwischen erster und letzter Linsengruppe nach der Funktion:

Für Systeme mit sechs Linsengruppen laßt sich die folgende Beziehung angeben: r = - SMJl - ¹^, _&t flu flu _& jj _{^ s}. ₊ Y^ ₊ in-A ₊f_{s +s};

Ji₁JtJJi ^~ hh hh Ji Vs /5 <=i

In den vorgenannten Beziehungen gelten: al^s Brennweite der jeweiligen Linsengruppe, t_λ,t₂...t₅ als die zu ermittelnden Brennpunktabstande, beispielsweise t_]=d_]-f_i-f₂ und damit die durch die Steuer- kurven verkörperten Luftabstände zwischen den Linsengruppen,

F' als Fernrohr- bzw. Winkelvergrößerung des afokalen Systems, U_p als über alle Vergrößerungseinstellungen hinweg konstanter Abstand zwischen Eintritts- und Austrittspupille, s_p bzw. s_p' als objekt- bzw. bildseitige Pupillen- schnittweite .

Die Beziehungen sind leicht in Bedingungen für nur reelle Austrittspupillenlage nach der letzten bewegten Linsengruppe modifizierbar. Simulationen haben gezeigt, daß die Lösungsmengen nicht leer sind und in für den praktischen Gebrauch interessanten Bereichen hinreichend große Zoum.Lciktür6n möglich sind.

In einer konkreten Ausführungsform besitzt das erfindungsgemäße Vergrößerungssystem eine variable Fernrohrvergrößerung im Bereich des -0,25fachen bis -5,0fachen. Es umfaßt fünf Linsengruppen, wovon, objektseitig beginnend, die erste und fünfte Linsengruppe fest im Strahlengang positioniert sind, während die dazwischen liegenden drei Linsengruppen beweglich sind. Die festen und beweglichen Linsengruppen weisen die Brechkraftverteilung + - x + - + auf, wobei x die Position des Zwischenbildes zwischen den Linsengruppen bezeichnet.

Die Linsen innerhalb der Linsengruppen sind vorzugsweise miteinander verkittet. Das Zwischenbild entsteht dabei im freien Strahlengang, d.h. außerhalb von optischen Baugruppen, wodurch ein zusätzlicher Vorteil wiederum insofern entsteht, als störende Effekte, etwa aufgrund von Abschattungen durch kleinste Unsauberkeiten, vermieden werden.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand von Ausführungsbeispielen erläutert. In den zugehörigen Zeichnungen zeigen:

Fig.l die optischen Baugruppen im Strahlengang eines erfindungsgemäßen variablen telezentrischen Mikroskopsystems,

Fig.2 die optischen Baugruppen im Strahlengang eines erfindungsgemäßen afokalen Vergrößerungssystems mit variabler Vergrößerung.

Die Prinzipdarstellung in Fig.l zeigt die optischen Baugruppen eines Ausführungsbeispiels des erfindungsgemäßen variablen telezentrischen Mikroskopsystems, gegliedert nach Objektiv, afokalem Vergrößerungssystem und Tubussystem.

Die Objektebene ist mit O bezeichnet. Das Objektiv mit der Brennweite f'= 80 mm besteht aus den Linsen Ll bis L8.

Die Eintrittspupille des Vergrößerungssystems ist mit EP bezeichnet, sie fällt mit dem bildseitigen Brennpunkt des Objektivs zusammen und erzeugt die objektseitige TeIe- zentrie. Das Vergrößerungssystem umfaßt die Linsengruppen LGl mit positiver Brechkraft, LG2 mit negativer Brechkraft, LG3 mit positiver Brechkraft, LG4 negativer Brechkraft und LG5 mit positiver Brechkraft. Die Linsengruppe LGl besteht aus den Linsen L9 und LlO und ist im Strahlengang fest positioniert. Die Linsengruppe LG2 besteht aus den Linsen LIl und L12 und ist in Richtung des Strahlengangs verschiebbar. Die Linsengruppe LG3 besteht aus den Linsen L13 und L14 und einer weiteren Linse L15 und ist in Richtung des Strahlengangs verschiebbar. Die Linsengruppe LG4 besteht aus den Linsen L16 und L17 und ist in Richtung des Strahlengangs verschiebbar. Die Linsengruppe LG5 besteht aus den Linsen L18 und L19 und ist im Strahlengang fest positioniert.

Die Austrittspupille des Vergrößerungssystems ist mit AP bezeichnet. Das Tubussystem hat die Brennweite f'=200 mm und besteht aus der Linse L20. Die Bildebene trägt die Bezeichnung B.

Zwischen den Linsengruppen LGl und LG2 einerseits und den Linsengruppen LG3, LG4 und LG5 andererseits und somit auch zwischen der Eintrittspupille EP und der Austrittspupille AP ist ein Zwischenbild ZB ausgebildet.

Mit der Verschiebung der Linsengruppen LG2 bis LG4 werden die Abstände Vl bis V5 zwischen den Linsengruppen LGl bis LG5 verändert und dadurch die Vergrößerung der Objektabbildung variiert.

Mit der Variation der Vergrößerung behalten die Eintrittspupille EP und die Austrittspupille AP ihre Positionen im Strahlengang relativ zu den ortsfesten Linsengruppen LGl und LG5 bei, während sich die Position des Zwischenbildes ZB mit der Variation der Vergrößerung ändert. - -

Die Konstruktionsdaten des Objektivs, des Vergrößerungssystems und des Tubussystems sind der angefügten Tabelle 1 zu entnehmen. Die Tabelle 2 gibt Auskunft über die Abstände Vl bis V5 zwischen den Linsengruppen LGl bis LG5 bei ausgewählten Vergrößerungseinstellungen.

Die Abbildung des Objektes liefert ein aufrechtes und seitenrichtiges Bild nach der Tubuslinse bzw. dem Tubussystem, so daß keine Anordnungen zur Bildaufrichtung erforderlich sind.

Fig.2 zeigt ein Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen afokalen Vergrößerungssystems, das insbesondere zur Verwendung in telezentrischen Mikroskopsystemen geeignet ist.

Das Vergrößerungssystem besteht aus den Linsengruppen LGl bis LG5 mir den bereits oben beschriebenen Eigenschaften hinsichtlich Brechkraft, Zusammensetzung aus Linsen L9 bis L19 und fester bzw. verschiebbarer Positionierung im Strahlengang. Die Eintrittspupille liegt vor der Linsengruppe LGl und ist mit EP bezeichnet.

Die Austrittspupille liegt nach der Linsengruppe LG5 und ist mit AP bezeichnet. Zwischen den Linsengruppen LGl und LG2 einerseits und den Linsengruppen LG3, LG4 und LG5 andererseits und somit auch zwischen der Eintrittspupille EP und der Austrittspupille AP ist ein Zwischenbild ZB ausgebildet.

Mit der Verschiebung der Linsengruppen LG2 bis LG4 werden die Abstände Vl bis V5 zwischen den Linsengruppen LGl bis LG5 verändert und so die Vergrößerung variiert. Mit der Variation der Vergrößerung behalten die Eintrittspupille EP - -

und die Austrittspupille AP ihre Positionen im Strahlengang bei, dagegen ändert sich die Position des Zwischenbildes ZB mit der Variation der Vergrößerung.

Die Konstruktionsdaten des Vergrößerυngssystems, namentlich der Linsen L9 bis L19 und der daraus gebildeten Linsengruppen LGl bis LG5 sind der Tabelle 1 zu entnehmen. Die Tabelle 2 gibt Auskunft über die Abstände Vl bis V5 zwischen den Linsengruppen LGl bis LG5 bei ausgewählten Vergrößerungseinstellungen.

Im Rahmen der Erfindung liegt es, neben dem afokalen Vergrößerungssystem mit variabler Vergrößerung, wie vorstehend beschrieben, afokale Vergrößerungssysteme mit unveränderlicher Vergrößerung aus den Linsengruppen LGl bis LG5 nach Tabelle 1 zu bilden, wobei die Linsengruppen LGl bis LG5 in festen Abständen zueincuiuej: anzuordnen sind. Die Abstände sind der Tabelle 2 in Zuordnung zu der jeweils gewünschten Vergrößerung zu entnehmen. Ebenso sind in die Erfindung Systeme eingeschlossen, die sich durch proportionale Abwandlungen der geometrischen Daten ergeben.

Ein wesentlicher Vorteil der als besonders vorteilhaft beschriebenen Ausführung der Erfindung liegt darin, daß die Konstanz der bildseitigen Austrittspupillenlage gute Anwendungsmöglichkeiten für Mikroskopieverfahren wie Auflicht- Phasenkontrast, Interferenzkontrast, Differentialinterferenzkontrast (DIC) sowie Optische Kohärenz-Tomographie (OCT) oder scannende Verfahren bietet.

Eine feste Blende am Ort der Austrittspupille ersetzt die variable Blende in der Eintrittspupille und gestattet konstante bildseitige Aperturen über dem gesamten Zoombereich. Die mit der Erfindung angestrebte Reduzierung des Durchmessers für die dem Vergrößerungssystem nachgeordnete Optik zeigt sich beispielhaft an der einfachen und schlanken Ausführung der Tubuslinse, wie aus Fig.l ersichtlich ist.

BezeichDicken Abstand Brechzahl

Lfd. Nr . Radien r nung d a n_e Abbezahl v_e

1 Objekt

100

2 89,12956

Ll 11,5 1,53019 76, 62

3 -106,96148

9,48527

4 327, 61242

L2 11,5 1, 49845 81,05

5 -51,00615

L3 6,8 1, 61664 44,27

6 oo

0,20838

7 102,39743

L4 7,2 1,49845 81,05

8 -239,0529

4, 99982

9 62, 45827

L5 10,5 1,53019 76,62

10 -80,32177

L6 7,2 1, 61664 44,27

11 37,81571

13,28984

12 -33,34496

L7 3,5 1,51045 60,99

13 172.82005

L8 5,9 1,76651 39,82

14 -70, 90234

2,6369

15 EP

5

16 305, 66184

L9 6 1,71615 53, 6

17 -142,36071

LlO 4 1,754529 35,09

18 -306,86236

Vl

19 -53,32726

LIl 1,5 1, 49845 81,05

20 63, 44654

L12 4 1,754529 35,09

21 126, 99452

V2

22 -56,72551

L13 4,7 1, 743412 32,04

23 30,87437

L14 9,3 1,65376 55,88

24 -40, 95164

0,1

25 45, 97842

L15 6 1,75844 52,09

26 OO

V3

27 ZB

V4

28 -λS.46SQS L16 4,6 1,754529 35,09

-8,22881

L17 2,5 1,74791 44,57

195,69747

V5

31,3116

L18 3,3 1,754529 35,09

13,71534

L19 4,1 1, 62033 63,04

-59,02686

45, 74037

AP

62, 45459

CO

L20 4 1, 49845 81,05

-99,68997

204 , 1558

3

Bild

Tabelle 1

CM

0) X!

Bezugszeichenliste

Ll bis L20 Linsen

LGl bis LG5 Linsengruppen

EP Eintrittspupille

AP Austrittspupille

ZB Zwischenbild

Vl bis V5 Abstände

Claims

Patentansprüche

1. Variables telezentrisches Mikroskopsystem, umfassend ein Objektiv, ein dem Objektiv nachgeordnetes variables afokales Ver- grόßerungssystem, bestehend aus mehreren Linsengruppen, von denen mindestens eine zur Änderung der Vergrößerung in Richtung des Strahlengangs verschiebbar ist, mit einer Eintrittspupille (EP) , die im bildseitigen Brennpunkt des Objektivs liegt, und einer Austrittspupille (AP), und ein dem Vergroßerungssystem nachgeordnetes Tubussystem, dadurch gekennzeichnet, daß das Vergroßerungssystem als afokales Vergroßerungssystem mit negativer Fernrohrvergroßerung ausgebildet ist, die Austrittspupille (AP) reell ist, und im Bereich zwischen der bintrittspupille (EP) und der Austrittspupille (AP) ein Zwischenbild (ZB) ausgebildet ist, das bei Änderung der Vergrößerung seine Lage ändert.

2. Variables telezentrisches Mikroskopsystem nach Anspruch 1, bei dem die Positionen der Eintrittspupille (EP) und der Austrittspupille (AP) relativ zu ortsfesten Linsengruppen im Strahlengang konstant sind, und sich die Austrittspupille (AP) hinter der letzten verschiebbaren Linsengruppe des Vergroßerungswechslers befindet .

3. Variables telezentrisches Mikroskopsystem nach Anspruch 1 oder 2, bei dem das Vergroßerungssystem aus mindestens vier Linsengruppen besteht.

4. Variables telezentrisches Mikroskopsystem nach einem der vorgenannten Ansprüche, bei dem das Objektiv eine Brennweite f im Bereich von 25 mm bis 500 mm aufweist, das Vergrößerungssystem für eine Fernrohrvergrößerung in einem Bereich zwischen -0,2fachen und dem -7,5fachen ausgestaltet ist, und das Tubussystem mit einer Brennweite f im Bereich von

20 mm bis 500 mm ausgeführt ist.

5. Variables telezentrisches Mikroskopsystem nach Anspruch 4, bei dem das Objektiv eine Brennweite f'=80 mm aufweist, das Vergrößerungssystem für eine Fernrohrvergrößerung in einem Bereich zwischen dem -0,25fachen und dem -5,0fachen ausgestaltet ist, und das Tubussystem mit einer Brennweite f'=200 mm ausgeführt ist.

6. Variables telezentrisches Mikroskopsystem nach einem der vorgenannten Ansprüche mit folgenden Konstruktionsdaten für das Objektiv, das Vergrößerungssystem und das Tubussystem:

L18 3 , 3 1,754529 35,09

LG 5 13 , 71534 L19 4 , 1 1,62033 63,04

59 , 02686

45 , 74 037

AP 62 , 454 59

OO L20 Tubus 4 1,49845 81,05

99 , 68997

204,15583 Bi ld

Afokales Vergrößerungssystem, bestehend aus mehreren Linsengruppen, von denen mindestens eine zur Änderung der Vergrößerung in Richtung des Strahlengangs verschiebbar ist, mit einer ortsfesten objektseitigen Eintrittspupille (EP) und einer bildseitigen Austrittspupille (AP) , gekennzeichnet durch eine variable negative Fernrohrvergroßerung , eine reelle Austrittspupille (AP) , und ein im Bereich zwischen der Eintrittspupille (EP) und der Austrittspupille (AP) ausgebildetes Zwischenbild (ZB) , das bei Änderung der Vergrößerung seine Lage ändert.

Afokales Vergrößerungssystem nach Anspruch 7, bei dem die Positionen der Eintrittspupille (EP) und der Austrittspupille (AP) relativ zu ortsfesten Linsengruppen im Strahlengang konstant sind, und sich die Austrittspupille (AP) hinter der letzten verschiebbaren Linsengruppe des Vergrößerungswechslers befindet .

9. Afokales Vergrößerungssystem nach einem der Ansprüche 7 oder 8, ausgebildet für eine variable Vergrößerung in einem Bereich vom -0,2fachen bis -7,5fachen.

10. Afokales Vergrößerungssystem nach einem der Ansprüche 7 bis 9, ausgestaltet für eine variable Vergrößerung in einem Bereich vom -0,25fachen bis -5, Ofachen, umfassend fünf Linsengruppen (LGl, LG2, LG3, LG4 , LG5) , wovon, objektseitig beginnend, die erste Linsengruppe (LGl) und fünfte Linsengruppe (LG5) fest im Strahlengang positioniert sind, während die dazwischen liegenden drei Linsengruppen (LG2, LG3, LG4 ) beweglich sind, und mit einer Brechkraftverteilung + - x + - + der festen Linsengruppen (LGl, LG5) und der beweglichen Linsengruppen (LG2, LG3, LG4), wobei x die Position des Zwischenbildes (ZB) zwischen den Linsengruppen LG2 und LG3 ist.

11. Afokales Vergrößerungssystem nach einem der Ansprüche 7 bis 10 mit folgenden Konstruktionsdaten:

12. Afokales Vergrößerungssystem nach Anspruch 11 mit ausgewählten Vergrößerungen F bei den variablen Abständen Vl bis V5 nach folgender Tabelle: r -5,00 -2 ,28 -1 , 04 -0 ,47

V -0 ,25

Vl 179,450 177 ,381 128 ,983 61, 435 1, 900

V2 34,595 5, 109 2, 000 6, 154 31, 079

V3 15,000 27, 953 51, 658 65, 386 68, 113

V4 17,005 44, 754 77, 918 131 ,914 165 ,341

V5 23,850 14, 703 9, 342 5, 012 3, 467