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WO2008018405A1 - Vanne - Google Patents

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Info

Publication number
WO2008018405A1
WO2008018405A1 PCT/JP2007/065349 JP2007065349W WO2008018405A1 WO 2008018405 A1 WO2008018405 A1 WO 2008018405A1 JP 2007065349 W JP2007065349 W JP 2007065349W WO 2008018405 A1 WO2008018405 A1 WO 2008018405A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
valve body
opening
eccentric shaft
support
rotation
Prior art date
Application number
PCT/JP2007/065349
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Takehiro Nishiba
Original Assignee
Nippon Valqua Industries, Ltd.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Valqua Industries, Ltd. filed Critical Nippon Valqua Industries, Ltd.
Priority to JP2008528809A priority Critical patent/JPWO2008018405A1/ja
Priority to EP07792022A priority patent/EP2058566A1/en
Publication of WO2008018405A1 publication Critical patent/WO2008018405A1/ja
Priority to US12/320,757 priority patent/US20090189107A1/en

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K51/00Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
    • F16K51/02Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus specially adapted for high-vacuum installations
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K1/00Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces
    • F16K1/16Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces with pivoted closure-members
    • F16K1/18Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces with pivoted closure-members with pivoted discs or flaps
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K1/00Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces
    • F16K1/24Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces with valve members that, on opening of the valve, are initially lifted from the seat and next are turned around an axis parallel to the seat

Definitions

  • the present invention relates to a valve device used in a processing chamber or the like that performs a predetermined process on a target object such as a semiconductor wafer.
  • This type of gate valve device is formed, for example, by forming a carry-in opening having a width that is small enough to allow a wafer to pass through on a side wall of a processing chamber that can be evacuated, and is attached to the carry-in opening. . During the process, the process is performed with the o-ring or the like of the gate valve device attached and / or with the valve body hermetically closing the carry-in opening.
  • a conventional gate valve device 100 includes a housing 102, a valve body 104 that is drivably provided inside the housing 102, and a valve body 104. And a valve body drive unit 106 that presses against the valve seat after the rotational drive. Further, the casing 102 has a first opening 108 for communicating with an adjacent processing chamber (not shown), and a first seal member 112 described later provided in the valve body 104 for maintenance. 2 openings 110 are formed respectively. The valve body 104 is rotationally driven by the valve body driving unit 106 and pressed against the valve seat, whereby the first opening 108 or the second opening 110 can be closed.
  • the surface of the valve body 104 has a first seal member 112 for hermetically sealing the first opening 108 when the first opening 108 is closed, and a first seal member 112 when the second opening 110 is closed.
  • a second seal member 114 for hermetically sealing the two openings 110 is provided.
  • the first opening 108 is closed by the valve body 104.
  • the second seal member 114 is inertially deformed.
  • the first opening 108 or the second opening 110 can be hermetically sealed by elastically deforming the seal members 112 and 114.
  • Patent Document 1 Japanese Unexamined Patent Publication No. 2006-170373
  • the valve body drive unit has a complicated structure having both a rotation mechanism and an elevating mechanism for elevating and lowering the valve body. Realization was required.
  • the valve element is pressed against each opening by the thrust of the valve element driving unit, the valve element is pressed against each opening.
  • the moving speed of the valve body is increased when the valve body is moved, and the impact force when the valve body is seated in each opening is increased.
  • the present invention is compact and has high reliability of the drive mechanism by driving different drive mechanisms of the rotation mechanism and the lifting mechanism with a single drive source.
  • the purpose is to provide.
  • the present invention can reduce the impact force on each opening of the first seal member and the second seal member, and can make the pressing amount of each seal member against each opening constant, resulting in a long service life. And it aims at providing the valve apparatus which has high sealing performance.
  • Means for solving the problem [0010]
  • the invention according to claim 1 includes a valve body portion that closes or opens an opening formed in the housing.
  • the valve body is pivoted about an axis so that the valve body can be moved to a position opposed to the opening, and the valve body is moved in the radial direction so that the opening can be closed or opened.
  • a drive unit a seal member that is provided in the valve body part and hermetically seals the opening when the valve body closes the opening; and a stagger that restricts rotation of the valve body;
  • the valve body drive part is connected to the valve body part and supported by the valve body part so as to be rotatable, and is separated from the rotation center by a predetermined distance.
  • An eccentric shaft portion that has an eccentric shaft portion whose center is located at the site and rotates the valve body portion in a radial direction; and a drive source that rotates the support portion or the eccentric shaft portion.
  • the valve body part is opposed to the opening part. In location, characterized by blocking the rotation in one direction side of the supporting portion.
  • a valve body that closes or opens the opening, and the valve body is rotated around an axis so as to be movable to a position facing the first opening or the second opening, and the valve body A valve body drive unit that allows the first opening part or the second opening part to be closed or opened by moving a part in a radial direction; and the valve body part provided in the valve body part, the valve body part being the first opening part
  • a first seal member that hermetically seals the first opening when the valve is closed, and a second seal that hermetically seals the second opening when the valve body closes the second opening.
  • a valve device comprising: a seal member; and a strobe portion for restricting rotation of the valve body portion, wherein the valve body drive portion is configured to be the valve body portion.
  • the valve body is configured to rotate by having a support portion that is rotatably supported, and an eccentric shaft portion that is connected to the valve body portion and that is located at a predetermined distance from the rotation center and is centered at a site.
  • An eccentric shaft portion that moves the portion in the radial direction, and a drive source that rotates the support portion or the eccentric shaft portion, and the valve body portion of the stubber portion faces the first opening portion.
  • the support portion is prevented from rotating in one direction, and the valve body portion is opposed to the second opening, and the support portion is prevented from rotating in the other direction. It is characterized by that.
  • the invention according to claim 3 is the valve device according to claim 1 or 2, wherein the support is provided.
  • a rotation power applying unit that applies to the support unit a rotation force that rotates the holding unit in one direction, and the rotation of the support unit is the same as the rotation force applied to the support unit from the rotation power application unit; It is controlled by the force relationship with the driving force from the driving source.
  • the invention according to claim 4 is the valve device according to claim 3, characterized in that the turning power applying portion is a spring.
  • the support portion is prevented from rotating in one direction. Then, the eccentric shaft portion rotates in one direction at a position where the valve body portion faces the opening, so that the valve body portion is radially outward by a distance based on the eccentric amount of the eccentric shaft portion of the eccentric shaft portion. Move and sit in the opening. At this time, the opening is closed while being hermetically sealed by the seal member. On the other hand, when the eccentric shaft portion rotates in the other direction at the position where the valve body portion faces the opening, the valve body portion moves radially inward. Thereby, an opening part is open
  • the amount of movement of the valve body portion radially outward is based on the amount of eccentricity of the eccentric shaft portion of the eccentric shaft portion. For this reason, it is possible to easily control the amount of movement of the valve body portion to the outside in the radial direction only by setting the eccentric amount of the eccentric shaft portion of the eccentric shaft portion to a predetermined value. .
  • the pressing amount of the seal member against the opening can be made constant, and the impact force against the opening of the seal member can be reduced. As a result, the product life of the seal member can be suppressed, and the generation of particles caused by the seal member can be prevented.
  • the valve body portion can be prevented from being displaced with respect to the opening portion. As a result, the opening can be reliably closed and hermetically sealed.
  • the support portion and the eccentric shaft portion are separated by the driving force from the driving source. Both rotate in the specified direction. As a result, the valve body moves to a position facing the first opening.
  • the stagger portion prevents rotation of the support portion in one direction, and the valve body portion is positioned at an appropriate position.
  • eccentricity When the shaft portion rotates in a predetermined direction, the valve body portion moves radially outward by a distance based on the amount of eccentricity of the eccentric shaft portion of the eccentric shaft portion, and is seated on the first opening portion. At this time, the first opening is closed while being hermetically sealed by the first seal member.
  • the support portion is fixed so as not to rotate, and the eccentric shaft portion rotates, so that the valve body portion is only a distance based on the eccentric amount of the eccentric shaft portion of the eccentric shaft portion.
  • the second opening is closed while being hermetically sealed by the second seal member.
  • the valve body portion moves radially inward, and the second opening portion is opened.
  • the amount of movement of the valve body portion radially outward is based on the amount of eccentricity of the eccentric shaft portion of the eccentric shaft portion. For this reason, it is possible to easily control the amount of movement of the valve body portion to the outside in the radial direction only by setting the eccentric amount of the eccentric shaft portion of the eccentric shaft portion to a predetermined value. .
  • the pressing amount of each seal member with respect to each opening can be made constant, and the impact force of each seal member with respect to each opening can be reduced. As a result, it is possible to suppress a decrease in product life of each seal member, and it is possible to prevent generation of particles caused by each seal member.
  • each opening can be reliably closed and sealed with an airtight force S.
  • the rotation of the support portion is controlled by a force relationship between the rotational force applied from the rotational power applying portion to the support portion and the driving force from the drive source. .
  • the rotational force imparted from the rotational force imparting unit to the support unit and the driving force from the drive source counteract each other.
  • the support portion and the valve body portion are rotated in the direction in which the larger of the rotational force and the driving force is applied.
  • the rotational force applied to the support portion from the rotational force applying portion and the driving force from the drive source act in the same direction, the support portion and the valve body in the acting direction in which the rotational force and the driving force act.
  • the part rotates. For this reason, the rotation of the support portion can be easily controlled by adjusting one of the rotational force from the rotational force imparting portion and the driving force from the drive source.
  • the mainspring spring as the rotational force applying portion, it is possible to apply the rotational force in one direction from the mainspring spring to the support portion.
  • the rotational drive of the support portion and the eccentric shaft portion can be interlocked, or the eccentric shaft portion can be rotated by the drive source independently of the support portion.
  • the mainspring spring it is possible to easily configure the rotational force imparting portion using existing parts. As a result, the configuration of the valve device can be simplified, and the manufacturing cost can be reduced.
  • FIG. 1 is an enlarged cross-sectional view showing an attached state of a gate valve device according to a first embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a partially enlarged view showing a main part of the gate valve device according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 3 (A) is a cross-sectional view showing the position of the valve body portion of the gate valve device according to the first embodiment of the present invention in the OPEN state, and (B) is a positional relationship between the eccentric shaft portion and the support portion.
  • FIG. 4 (A) is a cross-sectional view showing the position of the valve body portion of the gate valve device according to the first embodiment of the present invention in a state rotated 90 degrees from the OPEN state, and (B) is the eccentric shaft portion and It is a figure which shows the positional relationship of a support part.
  • FIG. 5 (A) is a cross-sectional view showing the position of the valve body portion in a state where the first opening is closed by the valve body portion of the gate valve device according to the first embodiment of the present invention; It is a figure which shows the positional relationship of the eccentric shaft part and a support part.
  • FIG. 6 (A) is a cross-sectional view showing the position of the valve body portion in a state where the second opening is closed by the valve body portion of the gate valve device according to the first embodiment of the present invention; It is a figure which shows the positional relationship of the eccentric shaft part and a support part.
  • (A) is a sectional view showing the position of the valve body portion of the gate valve device according to the second embodiment of the present invention in the OPEN state
  • (B) is the positional relationship between the eccentric shaft portion and the support portion.
  • (A) is a cross-sectional view showing the position of the valve body portion of the gate valve device according to the second embodiment of the present invention in a state rotated 90 degrees from the OPEN state
  • (B) is the eccentric shaft portion and It is a figure which shows the positional relationship of a support part.
  • FIG. 9 (A) is a cross-sectional view showing the position of the valve body part in a state where the first opening part is closed by the valve body part of the gate valve device according to the second embodiment of the present invention, and (B) It is a figure which shows the positional relationship of the eccentric shaft part and a support part.
  • (A) is a cross-sectional view showing the position of the valve body in a state where the second opening is closed by the valve body of the gate valve device according to the second embodiment of the present invention
  • (B) It is a figure which shows the positional relationship of the eccentric shaft part and a support part.
  • FIG. 12 is a front perspective view showing an attachment state of a valve body and a valve drive mechanism of a conventional gate valve device.
  • Valve body drive mechanism (Valve body drive unit)
  • the side wall 36 defining the processing chamber 12 is formed with an elongated loading / unloading opening 38 through which a semiconductor wafer is passed and loaded, and can communicate with the processing chamber 12.
  • An opening 42 is also formed in the side wall 40 defining the transfer chamber 14.
  • the gate valve device 20 has a substantially rectangular parallelepiped housing 44 made of, for example, aluminum.
  • An elongated first opening 46 communicating with the inside of the processing chamber 12 is formed on one side of the housing 44.
  • O-rings 48 and 50 are respectively interposed at the joint surfaces of the housing 44 and the processing chamber 12 and the transfer chamber 14 so that airtightness can be maintained.
  • valve body 52 and a valve body drive mechanism 11 for driving the valve body 52 are provided in the housing 44. If necessary, the valve body 52 is seated on the first opening 46 so that it can be hermetically sealed. Since the first opening 46 and the carry-in / out opening 38 are integrally communicated with each other, the carry-in / out opening 38 is also opened / closed by opening / closing the first opening 46.
  • the valve body 52 has a flat first seal surface 56 that closes or opens the first opening 46 and a maintenance opening (second opening) 62 described later.
  • a planar second sealing surface 57 that is open is formed.
  • the first seal surface 56 is provided with a valve body seal portion (first seal member) 58 that hermetically seals the first opening portion 46 when the valve body portion 52 closes the first opening portion 46.
  • the second seal surface 57 is located outside the valve body seal portion 58 and is a maintenance seal portion (second seal) that hermetically seals the maintenance opening 62 when the valve body portion 52 closes the maintenance opening 62.
  • Member 60 is provided.
  • the valve body seal part 58 and the maintenance seal part 60 are composed of O-rings.
  • the first seal surface 56 of the valve body 52 is formed in substantially the same shape as the first opening 46.
  • the valve body seal portion 58 described above is attached to the edge portion of the first seal surface 56.
  • the second seal surface 57 of the valve body 52 is formed in substantially the same shape as the maintenance opening 62.
  • a maintenance seal portion 60 is attached to the edge of the second seal surface 57.
  • valve body drive mechanism for rotating the valve body 52 with respect to the housing 44 or moving the valve body 52 in the radial direction. ) 11 is installed.
  • valve body drive mechanism 11 that drives the valve body portion 52
  • support portions 13 are attached to both end portions of the valve body portion 52 in the longitudinal direction.
  • the support portion 13 is formed in a hollow shape.
  • the support portion 13 is supported by the bearing portion 15 of the housing 44 so as to be rotatable.
  • an eccentric shaft (eccentric shaft portion) 17 is arranged inside the support portion 13 so as to be rotatable via a bearing portion (not shown).
  • the eccentric shaft 17 includes a shaft main body portion 17A and an eccentric shaft portion 17B whose center is located at a predetermined distance from the center (axial center) of the shaft main body portion 17A. It is made.
  • a roller 22 is disposed via a slide bearing (not shown), and a support piece 19 extending in the radial direction is attached. That is, the support piece 19 is formed with a insertion portion 21 into which the roller 22 is inserted, and the eccentric shaft portion 17B is rotatably connected via the roller 22. It has become.
  • the radially outer end portion of the support piece 19 is connected to the valve body portion 52.
  • the support piece 19 and the valve body 52 are connected to each other by a fastener such as a screw screw.
  • the support portion 13 is attached with a bellows 33 that extends when the valve body portion 52 moves radially outward and contracts when the valve body portion 52 moves radially inward.
  • a ring-shaped member 25 is attached to the end of the shaft main body 17A.
  • a claw portion 27 is formed on the ring-shaped member 25.
  • a flange portion 31 having an enlarged diameter is attached to the outer peripheral portion of one end portion of the support portion 13.
  • the flange portion 31 is disposed in the storage space portion M formed in the housing 44.
  • a plurality of pin portions protruding in the axial direction are attached to the one axial side surface 31A of the flange portion 31. That is, in this embodiment, three pin portions are respectively attached to the flange portion 31, and each pin portion includes one rotation restricting pin portion 35 and two positioning pin portions 29A and 29B. And is composed of. Of these, the two positioning pin portions 29A and 29B are attached to portions where the distance from the center of the one axial plane 31A of the flange portion 31 is the same.
  • one of the three pin portions has a rotation restricting pin portion 35, which is a distance dimension from the center of one axial plane 31A of the flange portion 31 compared to the other two positioning pin portions 29A and 29B. It is attached to the part where becomes large.
  • One positioning pin 29A is attached to a position shifted to the right by a predetermined angle with respect to the rotation restricting pin 35, and the other positioning pin 29B is centered on the rotation restricting pin 35. It is attached to the part shifted to the left side by a predetermined angle.
  • the opening angle between one positioning pin 29A and the rotation restricting pin 35 and the opening angle between the other positioning pin 29B and the rotation restricting pin 35 are set to be substantially the same. Has been.
  • a spring (rotational force applying portion) 37 is disposed inside the housing space portion M of the housing 44 and outside the flange portion 31 in the radial direction.
  • the mainspring spring 37 is in contact with the outer peripheral surface of the flange portion 31, and the elastic force of the mainspring spring 37 is outside the flange portion 31.
  • the flange portion 31 is provided so as to rotate in a predetermined direction (arrow A direction in FIG. 3) with respect to the peripheral surface.
  • the rotational force from the mainspring spring 37 is always applied to the flange portion 31 so as to rotate in one direction (the direction of arrow A in FIG. 3).
  • stopper portions 39A and 39B that are in contact with the rotation restricting pin portion 35 of the flange portion 31 and not in contact with the positioning pin portions 29A and 29B are attached to the housing 44. Yes.
  • Each stopper member 39A, 39B is arranged at a position where the support portion 13 can rotate by 90 degrees. That is, one stopper member 39B comes into contact with the rotation restricting pin portion 35 of the support portion 13 in a state in which the valve body portion 52 is in a position facing the maintenance opening 62, and the other stop member 39A has the valve body portion 52 The rotation of the support portion 13 is restricted by contacting the rotation restricting pin portion 35 of the support portion 13 in a state facing the first opening 46.
  • a lock member 41 is attached to the housing 44.
  • the lock member 41 is attached so as to be rotatable with respect to one end portion.
  • the rotation restricting pin portion 35 of the flange portion 31 is moved.
  • the stopper member 39B and the lock member 41 are set so as to be sandwiched and locked.
  • the rotation of the lock member 41 is controlled by a control mechanism (not shown) or manually.
  • a drive motor (drive source) 66 is attached to the housing 44.
  • the drive motor 66 includes a motor rotation shaft 66A that rotates in the forward direction and the reverse direction.
  • This motor rotation shaft 66A is connected to the shaft body 17A of the eccentric shaft 17, and the rotation of the motor rotation shaft 66A causes the eccentric shaft 17 to move in one direction (arrow X direction in FIG. 3) or in the reverse direction (arrow Y in FIG. 3).
  • Direction arrow X direction in FIG. 3
  • an elongated maintenance opening 62 for replacing the valve body seal portion 58 is formed in the ceiling portion of the housing 44.
  • the maintenance opening 62 is formed on the outer maintenance seal portion 60 in a state where only the inner valve body seal portion 58 is exposed when the valve body portion 52 is seated on the surrounding seating surface.
  • the size is set so that the can come into contact with the seating surface and hermetically seal.
  • the maintenance opening 62 is formed so as to be slightly wider than the first opening 46, and the maintenance opening 62 is hermetically sealed by the maintenance seal 60. While the inner valve body seal 58 is exposed in the maintenance opening 62. It has become.
  • a maintenance opening / closing lid 68 is airtightly attached to the peripheral portion of the maintenance opening 62 from the outside via an O-ring 70.
  • the maintenance opening / closing lid 68 is detachably attached by a plurality of bolts 72.
  • a transparent plate made of an acrylic resin plate or the like is used as the maintenance opening / closing lid 68, the degree of deterioration of the valve body seal portion 58 without removing the maintenance opening / closing lid 68 can be visually recognized from the outside. it can.
  • a part of the maintenance opening / closing lid 68 may be provided with a transparent window portion for visually recognizing the inside.
  • a gap air supply system 76 is provided to restore the atmospheric pressure.
  • the air gap supply system 76 is provided with a flow path 78 that communicates the air gap 74 and the outside on a partition wall that defines the maintenance opening 62.
  • An on-off valve 80 is provided at the top so that N gas or clean air can be supplied as needed.
  • a gap vacuum exhaust system 82 for evacuating the gap 74 is provided.
  • the gap evacuation system 82 is provided with a flow path 84 communicating the gap 74 and the outside on a partition wall that partitions the maintenance opening 62, and an open / close valve 86 is provided in the flow path 84. If necessary, the atmosphere in the air gap 74 can be evacuated.
  • the eccentric shaft portion 17B of the eccentric shaft 17 is centered on the rotation center. As a reference, it is located on the opposite side of the maintenance opening 62 (radially inward).
  • the spring spring 37 is also exerted with a predetermined elastic force on the outer peripheral surface of the flange portion 31, and the support portion 13 tries to rotate in a predetermined direction (arrow X direction in FIG. 3).
  • Stop driving motor 66 or drive motor By causing the rotational drive force from 66 to act on the eccentric shaft 17 in the direction opposite to the arrow A direction in FIG. 3, the support 52 can oppose the elastic force from the spring 37.
  • the valve body 52 can be positioned at a predetermined position.
  • the eccentric shaft 17B of the eccentric shaft 17 opens the first opening by a distance twice that amount (corresponding to the diameter of the eccentric shaft 17B). Move to the side opposite to the part 46 side (inward in the radial direction) and return to the 90-degree position shown in Figure 4. As a result, the first opening 46 is opened.
  • the rotational driving force of the drive motor 66 is greater than the elastic force from the mainspring spring 37. Therefore, the support portion 13 rotates in a form that opposes the elastic force from the mainspring spring 37. Then, the support portion 13 rotates by 90 degrees together with the eccentric shaft 17 and returns to the position shown in FIG. As a result, the valve body 52 moves to a position facing the maintenance opening 62.
  • the eccentric shaft portion 17B of the eccentric shaft 17 is the maintenance opening 62 side (radially outer side) by a distance twice that amount (corresponding to the diameter size of the eccentric shaft portion 17B). )
  • the valve body 52 is seated on the maintenance opening 62 and the maintenance opening 62 is closed.
  • the maintenance seal 60 is inertially deformed by the pressing force of the valve body 52, and the maintenance opening 62 is sealed airtight ( Maintenance status).
  • the motor rotation shaft 66A of the drive motor 66 is moved in the reverse direction (in FIG. 5). Rotate in the direction of arrow Y).
  • the support portion 13 holds the rotation restricting pin portion 35 of the flange portion 31 between the one stopper member 39 and the lock member 41, the rotation of the support portion 13 is stopped.
  • the amount of movement of the valve body 52 outward in the radial direction is based on the amount of eccentricity of the eccentric shaft portion 17B of the eccentric shaft 17. Become. For this reason, simply by setting the eccentric amount of the eccentric shaft portion 17B of the eccentric shaft 17 to be a predetermined value, the amount of movement of the valve body portion 52 radially outward can be easily controlled to be a constant amount. I can do it. As a result, the pressing amount of the seal members 58 and 60 against the openings 46 and 62 can be made constant with a simple configuration, and the impact on the openings 46 and 62 of the seal members 58 and 60 can be made constant. The force can be reduced. As a result, it is possible to suppress a decrease in product life of each seal member 58, 60, and it is possible to prevent the occurrence of a partition caused by each seal member 58, 60.
  • the mainspring spring 37 as a means for rotating the support portion 13 by 90 degrees, an elastic force acting in one direction from the mainspring spring 37 can be applied to the support portion 13. Thereby, the rotational drive of the support part 13 and the eccentric shaft 17 can be interlocked, and the eccentric shaft 17 can be rotated independently of the support part 13. As a result, it is possible to perform different drive mechanisms of the rotation mechanism and the lifting mechanism by controlling one drive source. Further, by using the spring spring 37, the turning force applying portion can be easily configured using existing parts. As a result, the configuration of the gate valve device 20 can be simplified, and it is compact and can reduce the manufacturing cost.
  • the rotation of the support portion 13 is stopped by the stopper portions 39 ⁇ and 39 ⁇ and the rotation restricting pin portion 35 at the position where the valve body portion 52 faces the first opening 46 and the maintenance opening 62,
  • the valve body 52 can be prevented from being displaced with respect to the first opening 46 and the maintenance opening 62.
  • the first opening 46 and the maintenance opening 62 can be reliably closed and hermetically sealed.
  • a gate valve device according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. Note that the same components as those of the gate valve device according to the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted as appropriate.
  • a plurality of pin portions are not attached to the axial one side plane 31A of the flange portion 31 of the gate valve device of the second embodiment. Specifically, one rotation restricting pin portion 35 and two positioning pin portions 29A and 29B are provided on the one axial side surface 31A of the flange portion 31 of the gate valve device of the first embodiment. However, these pin portions are not provided at all on the one plane 31 A in the axial direction of the flange portion 31 of the gate valve device of the second embodiment.
  • a cylindrical flange portion (stopper portion) 51 is attached to one axial plane 31 A of the flange portion 31 of the gate valve device of the second embodiment instead of each pin portion.
  • the cylindrical flange portion 51 includes a semicircular flange main body 53 and two first hook portions 61 and second hook portions 63 formed integrally with the flange main body 53.
  • the semicircular flange main body 53 has a curved outer peripheral portion 65 that protrudes greatly outward, and an inner peripheral portion 67 that is formed in a groove shape having a diameter smaller than the diameter of the outer peripheral portion 65. Yes.
  • the outer peripheral portion 65 is formed with a groove portion 69 into which a shaft portion 79 of a maintenance handle 77 to be described later enters and engages. Further, a part of the ring-shaped member 25 is configured to be accommodated inside the inner peripheral portion 67 in the radial direction.
  • first hook portion 61 and the second hook portion 63 are integrally formed so as to extend from the outer peripheral portion 65 of the flange main body 53.
  • two first positioning portions 71 and second positioning portions 73 are formed in the flange main body 53 in the radially inner portions of the hook portions 61 and 63, respectively.
  • the positioning portions 71 and 73 are formed with contact surfaces 71A and 73A that can come into contact with the claw portion 27 of the ring-shaped member 25, respectively.
  • the cylindrical flange portion 51 includes the semicircular flange main body 53, and the first hook portion 61 and the second hook portion 63 formed integrally with the flange main body 53, and as a whole. It is formed in a U shape.
  • the housing 44 of the gate valve device of the second embodiment is replaced with two stopper members 39A and 39B provided on the housing 44 of the gate valve device of the first embodiment.
  • a rotation stopper (stopper) 75 is installed.
  • the rotation stopper 75 has a first staggered surface 75A that contacts the first hook portion 61 and a second staggered surface 75B that contacts the second hook portion 63. And are formed.
  • the rotation of the flange portion 31 and the cylindrical flange portion 51 is caused by the first hook portion 61 coming into contact with the first stopper surface 75A or the second hook portion 63 coming into contact with the second stopper surface 75B.
  • the valve body 52 is positioned at an appropriate position.
  • the housing 44 is provided with a maintenance handle 77 that prevents the support portion 13 from rotating.
  • a spring spring 37 is disposed inside the storage space M of the housing 44 and outside the flange 31 in the radial direction.
  • the eccentric shaft portion 17B of the eccentric shaft 17 is maintained on the basis of the rotation center. It is located on the side opposite to the opening 62 side (inside in the radial direction).
  • one positioning pin portion 29A of the flange portion 31 and the claw portion 27 of the ring-shaped member 25 are in contact with each other.
  • a predetermined inertial force acts on the outer peripheral surface of the flange 31 from the spring 37 in the direction of arrow A in FIG. 7, and the support 13 is in a predetermined direction (arrow X in FIG. 7). Try to turn to the (direction) side.
  • the support portion 52 can be removed from the mainspring spring 37 by stopping the drive of the drive motor 66 or by causing the rotational drive force from the drive motor 66 to act on the eccentric shaft 17 in the direction of the arrow Y in FIG. Since the elastic force can be counteracted, the valve body 52 can be positioned at a predetermined position.
  • the eccentric shaft portion 17B of the eccentric shaft 17 is double the distance X (corresponding to the diameter of the eccentric shaft portion 17B) Only the first opening 46 side is moved to the opposite side (radially inner side) and returned to the 90 degree position shown in FIG. As a result, the first opening 46 is opened.
  • the claw portion 27 of the ring-shaped member 25 attached to the eccentric shaft 17 Since it rotates in contact with the contact surface 73A of 73, the eccentric shaft 17 rotates together with the support portion 13 in a predetermined direction (the arrow Y direction in FIG. 8). At this time, attach it to the support 13
  • An elastic force is applied to the outer peripheral surface of the flange portion 31 from the mainspring spring 37.
  • the support portion 13 is It rotates in a form that opposes the elastic force from the spring 37.
  • the support portion 13 rotates by 90 degrees together with the eccentric shaft 17 and returns to the position shown in FIG.
  • the first hook portion 61 of the cylindrical flange portion 51 comes into contact with the first stopper surface 75A of the rotation stopper 75, and further rotation of the support portion 13 is prevented.
  • the valve body 52 moves to a position facing the maintenance opening 62.
  • the eccentric shaft 17B of the eccentric shaft 17 is the maintenance opening 62 side (radial direction) by a distance twice that amount (corresponding to the diameter of the eccentric shaft 17B). Move outward (outward). As a result, the valve body 52 is seated on the maintenance opening 62, and the maintenance opening 62 is closed. At this time, in a state where the valve body 52 is seated on the maintenance opening 62, the maintenance seal portion 60 is inertially deformed by the pressing force of the valve body 52, and the maintenance opening 62 is hermetically sealed (maintenance). Time state).
  • the rotation stop position of the support portion 13 can be set to an accurate position.
  • the valve body 52 can be accurately positioned at a position facing the first opening 46 or the maintenance opening 62.
  • the sealing surface of the valve body 52 and the seating surface of the side wall of the housing 44 Since the valve body 52 is moved outward in the radial direction in the parallel state, the sealing performance by the valve body seal 58 and the maintenance seal 60 can be improved.
  • valve body 52 is moved radially outward while the sealing surfaces 56 and 57 of the valve body 52 and the seating surface of the side wall of the housing 44 are parallel to each other, and the seating surface of the housing 44 is moved to the valve body. Since the seal portion 58 and the maintenance seal portion 60 are in contact with each other, the valve body seal portion 58 and the maintenance seal portion 60 can be prevented from rolling and falling off from the respective seal grooves. As a result, high sealing performance can be maintained over a long period of time.
  • the single rotation stopper 75 since the single rotation stopper 75 is provided, the number of parts provided in the housing 44 can be reduced, and the manufacturing cost can be reduced. In addition, since the number of parts provided in the housing 44 can be reduced, the gate valve device can be prevented from being enlarged.

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Description

明 細 書
バルブ装置
技術分野
[0001] 本発明は、半導体ゥエーハ等の被処理体に対して所定の処理を行う処理チャンバ などに用いられるバルブ装置に関する。
背景技術
[0002] 一般に、半導体デバイスの製造工程にあっては、半導体ゥエーハに各種の処理、 例えば、ドライエッチング、スパッタリング、 CVD (Chemical Vapor Deposition) 等の各種のプロセスが繰り返し行われる。上記した各種の処理の多くは真空雰囲気 にて行われ、この種の処理を行う処理チャンバに対してゥエーハの搬出入を行う搬入 開口は、処理時にはゲートバルブ装置によって気密性が高い状態でシールされる。
[0003] この種のゲートバルブ装置は、例えば真空引き可能になされた処理チャンバの側 壁にゥエーハが通過し得る程度の大きさの僅かな幅の搬入開口を形成し、この搬入 開口に取り付けられる。そして、プロセス時にはこのゲートバルブ装置の oリング等の 付!/、た弁体で上記搬入開口を気密に閉じた状態でプロセス処理を行うことになる。
[0004] ここで、図 11及び図 12に示すように、従来のゲートバルブ装置 100は、筐体 102と 、筐体 102の内部に駆動可能に設けられた弁体 104と、弁体 104を回転駆動後、弁 座に押圧する弁体駆動部 106と、を有している。また、筐体 102には、隣接する処理 チャンバ(図示省略)と連通するための第 1開口部 108と、弁体 104に設けられた後 述の第 1シール部材 112のメンテナンスを行うための第 2開口部 110と、がそれぞれ 形成されている。上記弁体 104は、弁体駆動部 106により回転駆動され、弁座に押 圧されることにより、第 1開口部 108又は第 2開口部 110を閉塞することができるように なっている。なお、弁体 104の表面には、第 1開口部 108を閉塞したときに第 1開口 部 108を気密にシールするための第 1シール部材 112と、第 2開口部 110を閉塞した ときに第 2開口部 110を気密にシールするための第 2シール部材 114と、がそれぞれ 設けられている。
[0005] 上記構成のゲートバルブ装置 100では、弁体 104により第 1開口部 108が閉塞され ている状態では第 1シール部材 112が弾性変形しており、また、弁体 104により第 2 開口部 110が閉塞されている状態では第 2シール部材 114が弹性変形している。こ のように、各シール部材 112、 114が弾性変形されることにより、第 1開口部 108又は 第 2開口部 110を気密にシールすることができる。
特許文献 1 :特開 2006— 170373号公報
発明の開示
発明が解決しょうとする課題
[0006] ところで、上記構成のゲートバルブ装置では、弁体駆動部が、回動機構と、弁体を 昇降するための昇降機構を併せ持った複雑な構造であるため、信頼性の高い駆動 部の実現が求められていた。特に、従来技術に開示されているように、圧縮空気によ る弁体の駆動は、弁体駆動部の推力により弁体を各開口部に押し付けているため、 弁体が各開口部に押し付けられるときに弁体の移動速度が速くなり、弁体が各開口 部に着座したときの衝撃力が大きくなつてしまう。この結果、各シール部材が劣化、破 損し易くなり、パーティクルが発生する問題がある。
[0007] また、第 1シール部材及び第 2シール部材の潰し代の管理あるいは設定は弁体駆 動部の推力のみで制御されている構造となっているため、第 1シール部材及び第 2シ 一ル部材の潰し代の管理あるいは設定を弁体駆動部の推力のみで制御しょうとする と、細かい制御をすることが困難となり、第 1シール部材及び第 2シール部材が潰れ 過ぎの状態となることがある。この結果、安定したシール性能が得られず、第 1シール 部材及び第 2シール部材の製品寿命が低下するとともに、パーティクルが発生し易く なる問題がある。
[0008] そこで、本発明は、上記事情を考慮し、回動機構と昇降機構の異なる駆動機構を 1 つの駆動源で駆動させることで、コンパクトで駆動機構の信頼性が高!、バルブ装置 を提供することを目的とする。
[0009] また、本発明は、第 1シール部材及び第 2シール部材の各開口部に対する衝撃力 を低減し、かつ各シール部材の各開口部に対する押付量を一定にすることができ、 長寿命で、かつ高いシール性能を有するバルブ装置を提供することを目的とする。 課題を解決するための手段 [0010] 請求項 1に記載の発明は、筐体に形成された開口部を閉塞又は開放する弁体部と
、前記弁体部を軸回りに回動させて前記開口部と対向する位置に移動可能にすると ともに前記弁体部を径方向に移動させて前記開口部の閉塞又は開放を可能にする 弁体駆動部と、前記弁体部に設けられ前記弁体部が前記開口部を閉塞したときに前 記開口部を気密にシールするシール部材と、前記弁体部の回動を規制するストツバ 部と、を有するバルブ装置であって、前記弁体駆動部は、前記弁体部を回動可能に 支持する支持部と、前記弁体部に接続されるとともに回動中心から所定の距離だけ 離れた部位に中心が位置する偏心軸部を有し回動することにより前記弁体部を径方 向に移動させる偏心シャフト部と、前記支持部又は前記偏心シャフト部を回動させる 駆動源と、を有し、前記ストツバ部は、前記弁体部が前記開口部と対向する位置で、 前記支持部の一方向側への回動を阻止することを特徴とする。
[0011] 請求項 2に記載の発明は、一方の側壁部には第 1開口部が形成され他方の側壁部 には第 2開口部が形成された筐体の前記第 1開口部又は前記第 2開口部を閉塞又 は開放する弁体部と、前記弁体部を軸回りに回動させて前記第 1開口部又は前記第 2開口部と対向する位置に移動可能にするとともに前記弁体部を径方向に移動させ て前記第 1開口部又は前記第 2開口部の閉塞又は開放を可能にする弁体駆動部と 、前記弁体部に設けられ前記弁体部が前記第 1開口部を閉塞したときに前記第 1開 口部を気密にシールする第 1シール部材と、前記弁体部が前記第 2開口部を閉塞し たときに前記第 2開口部を気密にシールする第 2シール部材と、前記弁体部の回動 を規制するストツバ部と、を有するバルブ装置であって、前記弁体駆動部は、前記弁 体部を回動可能に支持する支持部と、前記弁体部に接続されるとともに回動中心か ら所定の距離だけ離れた部位に中心が位置する偏心軸部を有し回動することにより 前記弁体部を径方向に移動させる偏心シャフト部と、前記支持部又は前記偏心シャ フト部を回動させる駆動源と、を有し、前記ストツバ部は、前記弁体部が前記第 1開口 部と対向する位置で、前記支持部の一方向側への回動を阻止し、前記弁体部が前 記第 2開口部と対向する位置で、前記支持部の他方向側への回動を阻止することを 特徴とする。
[0012] 請求項 3に記載の発明は、請求項 1又は 2に記載のバルブ装置において、前記支 持部を一方向へ回動させる回動力を前記支持部に付与する回動力付与部を備え、 前記支持部の回動は、前記回動力付与部から前記支持部に付与される回動力と前 記駆動源からの駆動力との力関係により制御されることを特徴とする。
[0013] 請求項 4に記載の発明は、請求項 3に記載のバルブ装置において、前記回動力付 与部は、ゼンマイばねであることを特徴とする。
発明の効果
[0014] 請求項 1に記載の発明によれば、弁体部が開口部と対向する位置で、支持部の一 方向側への回動がストツバ部により阻止される。そして、弁体部が開口部と対向する 位置で、偏心シャフト部が一方向側へ回動することにより、弁体部が偏心シャフト部 の偏心軸部の偏心量に基づく距離だけ径方向外側に移動して開口部に着座する。 このとき、開口部は、シール部材により気密にシールされた状態で閉塞される。一方 、弁体部が開口部と対向する位置で、偏心シャフト部が他方向側へ回動すると、弁体 部は、径方向内側に移動する。これにより、開口部が開放される。
[0015] 以上のように、本発明によれば、弁体部の径方向外側への移動量は、偏心シャフト 部の偏心軸部の偏心量に基づくことになる。このため、偏心シャフト部の偏心軸部の 偏心量を所定値となるように設定するだけで、弁体部の径方向外側への移動量が一 定量となるように容易に制御することができる。これにより、簡易な構成で、シール部 材の開口部に対する押付量を一定にすることができ、さらに、シール部材の開口部 に対する衝撃力を低減させることができる。この結果、シール部材の製品寿命の低下 を抑制することができ、また、シール部材が原因となるパーティクルの発生を防止する こと力 Sできる。さらに、弁体部が開口部と対向する位置で、支持部の回動がストツバ部 により停止されるため、弁体部が開口部に対して位置ずれすることを防止できる。こ れにより、開口部を確実に閉塞することができ、気密にシールすることができる。
[0016] 請求項 2に記載の発明によれば、弁体部が第 2開口部と対向する位置にある状態 を基準にすると、駆動源からの駆動力によって、支持部と偏心シャフト部とがともに所 定の方向に回動する。これにより、弁体部が第 1開口部と対向する位置に移動する。 弁体部が第 1開口部と対向する位置に移動すると、ストツバ部により支持部の一方向 側への回動が阻止されて、弁体部が適切な位置に位置決めされる。さらに、偏心シ ャフト部が所定の方向に回動することにより、弁体部が偏心シャフト部の偏心軸部の 偏心量に基づく距離だけ径方向外側に移動して第 1開口部に着座する。このとき、 第 1開口部は、第 1シール部材により気密にシールされた状態で閉塞される。
[0017] 一方、弁体部が第 1開口部と対向する位置で、偏心シャフト部が逆方向に回動する と、弁体部は、径方向内側に移動して、第 1開口部を開放する。さらに、偏心シャフト 部が逆方向に回動すると、支持部が偏心シャフト部の駆動に追随して回動する。これ により、弁体部が第 2開口部と対向する位置に移動して、最初の基準位置に戻る。弁 体部が第 2開口部と対向する位置に移動したときには、ストツバ部により支持部の他 方向側への回動が阻止されて、弁体部が適切な位置に位置決めされる。
[0018] そして、この基準状態において、支持部が回動しないように固定し、偏心シャフト部 が回動することにより、弁体部が偏心シャフト部の偏心軸部の偏心量に基づく距離だ け径方向外側に移動して第 2開口部に着座する。このとき、第 2開口部は、第 2シー ル部材により気密にシールされた状態で閉塞される。一方、偏心シャフト部が逆方向 に回動することにより、弁体部は径方向内側に移動して、第 2開口部が開放される。
[0019] 以上のように、本発明によれば、弁体部の径方向外側への移動量は、偏心シャフト 部の偏心軸部の偏心量に基づくことになる。このため、偏心シャフト部の偏心軸部の 偏心量を所定値となるように設定するだけで、弁体部の径方向外側への移動量が一 定量となるように容易に制御することができる。これにより、簡易な構成で、各シール 部材の各開口部に対する押付量を一定にすることができ、さらに、各シール部材の 各開口部に対する衝撃力を低減させることができる。この結果、各シール部材の製品 寿命の低下を抑制することができ、また、各シール部材が原因となるパーティクルの 発生を防止することができる。さらに、弁体部が各開口部と対向する位置で、支持部 の回動がストッパ部により停止されるため、弁体部が各開口部に対して位置ずれする ことを防止できる。これにより、各開口部を確実に閉塞することができ、気密にシール すること力 Sでさる。
[0020] 請求項 3に記載の発明によれば、支持部の回動は、回動力付与部から支持部に付 与される回動力と駆動源からの駆動力との力関係により制御される。具体的には、回 動力付与部から支持部に付与される回動力と駆動源からの駆動力とが相互に対抗 する場合 (反対の向きに力が作用する場合)には、回動力と駆動力のうち力の大きい 方が作用する方向に支持部及び弁体部が回動する。また、回動力付与部から支持 部に付与される回動力と駆動源からの駆動力とが同じ方向に作用する場合には、回 動力及び駆動力が作用する作用する方向に支持部及び弁体部が回動する。このた め、回動力付与部からの回動力と駆動源からの駆動力の一方を調整することにより、 支持部の回動を容易に制御することができる。
[0021] 請求項 4に記載の発明によれば、回動力付与部としてゼンマイばねを用いることに より、ゼンマイばねから支持部に一方向への回動力を付与することができる。これによ り、支持部と偏心シャフト部の回転駆動を連動させたり、支持部と独立して偏心シャフ ト部を駆動源により回動させたりすることができる。この結果、回動機構と昇降機構の 異なる駆動機構を 1つの駆動源にて駆動可能となる。さらに、ゼンマイばねを用いる ことにより、既存の部品を用いて容易に回動力付与部を構成することができる。これ により、バルブ装置の構成を簡易なものにすることができ、製造コストも低減すること ができる。
図面の簡単な説明
[0022] [図 1]本発明の第 1実施形態に係るゲートバルブ装置の取り付け状態を示す拡大断 面図である。
[図 2]本発明の第 1実施形態に係るゲートバルブ装置の要部を示す部分拡大図であ
[図 3] (A)は OPEN状態における本発明の第 1実施形態に係るゲートバルブ装置の 弁体部の位置を示す断面図であり、 (B)はその偏心シャフト部及び支持部の位置関 係を示す図である。
[図 4] (A)は OPEN状態から 90度回転状態における本発明の第 1実施形態に係るゲ ートバルブ装置の弁体部の位置を示す断面図であり、 (B)はその偏心シャフト部及 び支持部の位置関係を示す図である。
[図 5] (A)は本発明の第 1実施形態に係るゲートバルブ装置の弁体部により第 1開口 部を閉塞した状態の弁体部の位置を示す断面図であり、 (B)はその偏心シャフト部 及び支持部の位置関係を示す図である。 [図 6] (A)は本発明の第 1実施形態に係るゲートバルブ装置の弁体部により第 2開口 部を閉塞した状態の弁体部の位置を示す断面図であり、 (B)はその偏心シャフト部 及び支持部の位置関係を示す図である。
園 7] (A)は OPEN状態における本発明の第 2実施形態に係るゲートバルブ装置の 弁体部の位置を示す断面図であり、 (B)はその偏心シャフト部及び支持部の位置関 係を示す図である。
園 8] (A)は OPEN状態から 90度回転状態における本発明の第 2実施形態に係るゲ ートバルブ装置の弁体部の位置を示す断面図であり、 (B)はその偏心シャフト部及 び支持部の位置関係を示す図である。
[図 9] (A)は本発明の第 2実施形態に係るゲートバルブ装置の弁体部により第 1開口 部を閉塞した状態の弁体部の位置を示す断面図であり、 (B)はその偏心シャフト部 及び支持部の位置関係を示す図である。
園 10] (A)は本発明の第 2実施形態に係るゲートバルブ装置の弁体部により第 2開 口部を閉塞した状態の弁体部の位置を示す断面図であり、 (B)はその偏心シャフト 部及び支持部の位置関係を示す図である。
園 11]従来技術のゲートバルブ装置の部分的な断面図である。
[図 12]従来技術のゲートバルブ装置の弁体と弁駆動機構との取り付け状態を示す前 方からの斜視図である。
符号の説明
11 弁体駆動機構 (弁体駆動部)
12 処理チャンバ
13 支持部
17 偏心シャフト(偏心シャフト部)
17B 偏心軸部
20 ゲートバルブ装置(バルブ装置)
27 爪部
29A 位置決めピン部
29B 位置決めピン部 35 回動規制ピン部 (ストツバ部)
37 ゼンマイばね(回動力付与部)
38 搬出入開口(チャンバ開口部)
39A ストツバ部材 (ストツバ部)
39B ストツバ部材 (ストツバ部)
44 筐体
46 第 1開口部(開口部)
51 円筒フランジ部 (ストツバ部)
52 弁体部
56 第 1シール面
57 第 2シール面
58 弁体シール部(第 1シール部材、シール部材)
60 メンテナンスシール部(第 2シール部材)
62 メンテナンス用開口(第 2開口部)
66 駆動モータ(駆動源)
75 回転ストツバ(ストツバ部)
発明を実施するための最良の形態
[0024] 次に、本発明の第 1実施形態に係るゲートバルブ装置について、図面を参照して 説明する。以下の実施形態では、バルブ装置の一例として、本発明をゲートバルブ 装置に適用した形態に基づいて説明する。
[0025] 図 1に示すように、処理チャンバ 12を区画する側壁 36には、半導体ゥエーハを通 過させて搬出入させる細長い搬出入開口 38が形成され、また、処理チャンバ 12と連 通可能な搬送室 14を区画する側壁 40にも開口 42が形成されている。そして、ゲート バルブ装置 20は、例えばアルミニウムよりなる略直方体状の筐体 44を有している。こ の筐体 44の一側には、処理チャンバ 12内に連通する細長い第 1開口 46が形成され ている。筐体 44と上記処理チャンバ 12及び搬送室 14との接合面には、 Oリング 48、 50がそれぞれ介在されて気密性を保持できるようになつている。
[0026] また、筐体 44内には弁体部 52とこの弁体部 52を駆動する弁体駆動機構 11が設け られており、必要に応じて弁体部 52が上記第 1開口部 46に着座してこれを気密にシ ールできるようになつている。なお、上記第 1開口部 46と搬出入開口 38とは一体的に 連通されてレ、るので、上記第 1開口部 46を開閉することにより搬出入開口 38も開閉 されることになる。
[0027] 具体的には、弁体部 52には、第 1開口部 46を閉塞又は開放する平面状の第 1シー ル面 56と、後述のメンテナンス用開口(第 2開口部) 62を閉塞又は開放する平面状 の第 2シール面 57が形成されている。この第 1シール面 56には、弁体部 52が第 1開 口部 46を閉塞したときに第 1開口部 46を気密にシールする弁体シール部(第 1シー ル部材)58が設けられている。また、第 2シール面 57には、弁体シール部 58の外側 に位置し弁体部 52がメンテナンス用開口 62を閉塞したときにメンテナンス用開口 62 を気密にシールするメンテナンスシール部(第 2シール部材) 60が設けられている。 なお、弁体シール部 58及びメンテナンスシール部 60は、 Oリングで構成されているこ とが好ましい。
[0028] そして、弁体部 52の第 1シール面 56は第 1開口部 46と略同じ形状に形成されてい る。そして、第 1シール面 56の縁部には上述した弁体シール部 58が装着されている 。また、弁体部 52の第 2シール面 57はメンテナンス用開口 62と略同じ形状に形成さ れている。また、第 2シール面 57の縁部には、メンテナンス用シール部 60が装着され ている。
[0029] また、弁体部 52の長手方向両端部近傍には、弁体部 52を筐体 44に対して回動さ せ又は径方向に移動させるための弁体駆動機構(弁体駆動部) 11が取り付けられて いる。
[0030] ここで、弁体部 52を駆動させる弁体駆動機構 11の構成について詳細に説明する。
[0031] 図 2に示すように、弁体部 52の長手方向両端部には、支持部 13が取り付けられて いる。この支持部 13は、中空状に形成されている。この支持部 13は、筐体 44の軸受 部 15により回動可能となるように支持されている。また、支持部 13の内側には、軸受 部(図示省略)を介して偏心シャフト (偏心シャフト部) 17が回動可能となるように配置 されている。この偏心シャフト 17は、シャフト本体部 17Aと、シャフト本体部 17Aの中 心(軸心)から所定の距離だけ離れた部位に中心が位置する偏心軸部 17Bと、で構 成されている。この偏心軸部 17Bの外周には、すべり軸受け(図示省略)を介して口 ーラ 22が配置されており、径方向に延在した支持片 19が取り付けられている。すな わち、この支持片 19には、ローラ 22が揷入される揷入部 21が形成されており、この口 ーラ 22を介して偏心軸部 17Bが回動可能に接続された構成となっている。上記した 支持片 19の径方向外側端部は、弁体部 52と接続されている。なお、支持片 19と弁 体部 52とは、ビスゃネジなどの固着具により接続されている。また、支持部 13には、 弁体部 52が径方向外側に移動する際に伸び、弁体部 52が径方向内側に移動する 際に縮むベローズ 33が取り付けられて!/、る。
[0032] また、図 2及至図 4に示すように、シャフト本体部 17Aの端部には、リング状部材 25 が取り付けられている。このリング状部材 25には、爪部 27が形成されている。
[0033] また、支持部 13の一方側端部の外周部には、拡径したフランジ部 31が取り付けら れている。このフランジ部 31は、筐体 44に形成された収納空間部 Mに配置されてい る。フランジ部 31の軸方向一方側平面 31Aには、軸方向に突出した複数のピン部が 取り付けられている。すなわち、本実施形態では、 3つのピン部がフランジ部 31にそ れぞれ取り付けられており、各ピン部は、 1つの回動規制ピン部 35と、 2つの位置決 めピン部 29A、 29Bと、で構成されている。このうち、 2つの位置決めピン部 29A、 29 Bはフランジ部 31の軸方向一方側平面 31Aの中心からの距離寸法が同じになる部 位に取り付けられている。また、 3つのピン部のうち 1つの回動規制ピン部 35は、他の 2つの位置決めピン部 29A、 29Bと比較して、フランジ部 31の軸方向一方側平面 31 Aの中心からの距離寸法が大きくなる部位に取り付けられている。また、一方の位置 決めピン部 29Aは回動規制ピン部 35を中心として所定の角度だけ右側にずれた部 位に取り付けられており、他方の位置決めピン部 29Bは回動規制ピン部 35を中心と して所定の角度だけ左側にずれた部位に取り付けられている。なお、一方の位置決 めピン部 29Aと回動規制ピン部 35との開き角度と、他方の位置決めピン部 29Bと回 動規制ピン部 35との開き角度と、は略同じになるように設定されている。
[0034] また、筐体 44の収納空間部 Mの内部であってかつフランジ部 31の径方向外側に は、ゼンマイばね(回動力付与部) 37が配置されている。このゼンマイばね 37は、フ ランジ部 31の外周面と接触しており、ゼンマイばね 37の弾性力がフランジ部 31の外 周面に対してフランジ部 31を所定の方向(図 3中矢印 A方向)に回動させるように付 与されている。このように、フランジ部 31には、一方向(図 3中矢印 A方向)に回動す るように、ゼンマイばね 37からの回転力が常に付与されている。
[0035] また、筐体 44には、フランジ部 31の回動規制ピン部 35と接触し位置決めピン部 29 A、 29Bとは接触しない 2つのストッパ部材(ストッパ部) 39A、 39Bが取り付けられて いる。各ストツパ部材 39A、 39Bは、支持部 13が 90度だけ回動できる位置にそれぞ れ配置されている。すなわち、一方のストッパ部材 39Bは弁体部 52がメンテナンス用 開口 62と対向する位置にある状態の支持部 13の回動規制ピン部 35と接触し、他方 のストツバ部材 39Aは弁体部 52が第 1開口部 46と対向する位置にある状態の支持 部 13の回動規制ピン部 35と接触し、支持部 13の回動を規制している。
[0036] また、筐体 44には、ロック部材 41が取り付けられている。このロック部材 41は一方 の端部を基準として回動可能に取り付けられており、ロック部材 41の他方の端部が 径方向内側に移動したときに、フランジ部 31の回動規制ピン部 35を一方のストッパ 部材 39Bとロック部材 41とで挟持させ、係止するように設定されている。なお、ロック 部材 41の回動は、図示しない制御機構又は手動により制御されている。
[0037] さらに、筐体 44には、駆動モータ(駆動源) 66が取り付けられている。この駆動モー タ 66は、正方向及び逆方向に回転するモータ回転軸 66Aを備えている。このモータ 回転軸 66Aは偏心シャフト 17のシャフト本体部 17Aに接続されており、モータ回転 軸 66Aの回転により偏心シャフト 17を一方向(図 3中矢印 X方向)又は逆方向(図 3 中矢印 Y方向)に回動することができるようになつている。
[0038] また、図 1及び図 2に示すように、筐体 44の天井部には、弁体シール部 58を取り替 えるための細長いメンテナンス用開口 62が形成されている。具体的には、このメンテ ナンス用開口 62は、この周囲の着座面に弁体部 52を着座させたときに内側の弁体 シール部 58だけが露出された状態で外側のメンテナンス用シール部 60が着座面に 接触して気密にシールし得るような大きさに設定されている。換言すれば、上記メン テナンス用開口 62は、上記第 1開口部 46の大きさより、僅かな幅だけ広くなるように 形成されており、このメンテナンス用開口 62をメンテナンス用シール部 60で気密にシ ールする一方、内側の弁体シール部 58をメンテナンス用開口 62内に露出させるよう になっている。
[0039] また、図 1に示すように、メンテナンス用開口 62の周辺部には、その外側からメンテ ナンス用開閉蓋 68が Oリング 70を介して気密に取り付けられている。この場合、メン テナンス用開閉蓋 68は、複数本のボルト 72により着脱可能に取り付けられている。ま た、例えば、このメンテナンス用開閉蓋 68として、アクリル樹脂板等よりなる透明板を 用いれば、メンテナンス用開閉蓋 68を取り外すことなぐ弁体シール部 58の劣化の 程度を外側から視認することができる。この場合、メンテナンス用開閉蓋 68の一部に 、内部を視認できる透明な窓部を設けるようにしてもよい。
[0040] また、上記弁体部 52を上記メンテナンス用開口 62に着座させ閉塞したときに、上 記メンテナンス用開閉蓋 68と着座した弁体部 52との間に形成される空隙 74内を大 気圧復帰させるために空隙給気系 76が設けられている。具体的には、図 2に示すよ うに、空隙給気系 76は、上記メンテナンス用開口 62を区画する区画壁に、上記空隙 74と外部とを連通する流路 78を設け、この流路 78に開閉弁 80を介設して必要に応 じて Nガスや清浄空気等を供給できるようになつている。
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[0041] また、図 2に示すように、上記空隙 74内を真空引きするための空隙真空排気系 82 が設けられている。この空隙真空排気系 82は、上記メンテナンス用開口 62を区画す る区画壁に、上記空隙 74と外部とを連通する流路 84を設け、この流路 84に開閉弁 8 6を介設して必要に応じて空隙 74内の雰囲気を真空排気できるようになつている。
[0042] 次に、第 1実施形態のゲートバルブ装置 20の作用について説明する。本実施形態 の作用では、弁体部 52がメンテナンス用開口 62と対向する位置にある状態(OPEN 状態)を基準に説明する。
[0043] 図 2及び図 3に示すように、弁体部 52がメンテナンス用開口 62と対向する位置にあ る状態(OPEN状態)では、偏心シャフト 17の偏心軸部 17Bは、回動中心を基準とし てメンテナンス用開口 62側と反対側 (径方向内側)に位置している。また、 OPEN状 態では、フランジ部 31の一方の位置決めピン部 29Aとリング状部材 25の爪部 27とが 接触している。さらに、 OPEN状態では、フランジ部 31の外周面にゼンマイばね 37 力も所定の弾性力が作用しており、支持部 13は所定の方向(図 3中矢印 X方向)側 に回動しょうとする。なお、駆動モータ 66の駆動を停止したり、あるいは、駆動モータ 66からの回転駆動力を偏心シャフト 17に対して図 3中矢印 A方向とは反対方向に作 用させることにより、支持部 52はゼンマイばね 37からの弾性力に対抗することができ るため、弁体部 52を所定の位置で位置決めすることができる。
[0044] 次に、図 4に示すように、駆動モータ 66が正方向(図 4中矢印 X方向)に向かって駆 動すると、偏心シャフト 17が回動する。これにより、リング状部材 25及び爪部 27が回 動する。このとき、フランジ部 31の外周面にはゼンマイばね 37から所定の弾性力が 作用しているため、フランジ部 31の一方の位置決めピン部 29Aが爪部 27に追従し て回動し、支持部 13は所定の方向(図 4中矢印 X方向)に回動する。すなわち、支持 部 13は、偏心シャフト 17と共に回動する。そして、支持部 13が偏心シャフト 17ととも に 90度回動したところで、フランジ部 31の回動規制ピン部 35がストツパ部材 39Aと 接触するため、ゼンマイばね 37からの弾性力が作用しても支持部 13のそれ以上の 回動は阻止される。このとき、図 4に示すように、弁体部 52は、第 1開口部 46に対向 する位置に移動している。
[0045] 図 5に示すように、図 4に示す 90度の位置から駆動モータ 66のモータ回転軸 66A が正方向にさらに回転すると、偏心シャフト 17は駆動モータ 66の回転駆動力を受け ることになるため、偏心シャフト 17のみが所定の方向(図 5中矢印 X方向)に回動する 。なお、このとき、支持部 13は、ストッパ部材 39Aにより停止させられているため、回 動しない。偏心シャフト 17が図 4に示す 90度の位置から 180度だけ回転すると、偏 心シャフト 17の偏心軸部 17Bは、その偏心量 X 2倍の距離 (偏心軸部 17Bの直径寸 法に相当)だけ第 1開口部 46側 (径方向外側)に移動する。これにより、弁体部 52が 第 1開口部 46に着座し、第 1開口部 46が閉塞される(CLOSE時状態)。このとき、弁 体部 52の押圧力により、弁体シール部 58は弾性変形している。
[0046] 一方、弁体部 52が第 1開口部 46に着座して第 1開口部 46が閉塞された状態から 第 1開口部 46を開放する場合には、駆動モータ 66のモータ回転軸 66Aを逆方向( 図 5中矢印 Y方向)に回転させて偏心シャフト 17を逆方向(図 5中矢印 Y方向)に回 転させる。このとき、ゼンマイばね 37から支持部 13に対して一方向(図 5中矢印 X方 向)に作用する弾性力が付与されているため、支持部 13が偏心シャフト 17に追従し て回動することはない。このため、偏心シャフト 17のみが回動する。偏心シャフト 17を 逆方向(図 5中矢印 Y方向)に 180度回転させると、偏心シャフト 17の偏心軸部 17B は、その偏心量 X 2倍の距離 (偏心軸部 17Bの直径寸法に相当)だけ第 1開口部 46 側と反対側 (径方向内側)に移動して、図 4に示す 90度の位置に戻る。これにより、第 1開口部 46は開放される。
[0047] 図 4に示す 90度の位置から駆動モータ 66のモータ回転軸 66Αをさらに逆方向(図 5中矢印 Υ方向)にさらに回転させると、偏心シャフト 17が回動することになる力 偏 心シャフト 17に取り付けられているリング状部材 25の爪部 27とフランジ部 31の位置 決めピン部 29Αとが接触して回転するため、偏心シャフト 17は支持部 13とともに所 定の方向(図 4中矢印 Υ方向)に回動する。このとき、支持部 13に取り付けられたフラ ンジ部 31の外周面にはゼンマイばね 37から弾性力が作用している力 駆動モータ 6 6の回転駆動力がゼンマイばね 37から弾性力よりも大きくなるため、支持部 13はゼン マイばね 37からの弾性力に対抗する形で回動する。そして、支持部 13は、偏心シャ フト 17とともに 90度だけ回動して、図 3に示す位置に戻る。これにより、弁体部 52は、 メンテナンス用開口 62と対向する位置に移動する。
[0048] ここで、弁体部 52でメンテナンス用開口 62を閉塞する場合には、図 6に示すように 、ロック部材 41を回動させて、フランジ部 31の回動規制ピン部 35を一方のストッパ部 材 39Bとロック部材 41とで挟持させる。この状態で、駆動モータ 66のモータ回転軸 6 6Aを正方向に回転させる。駆動モータ 66のモータ回転軸 66Aを正方向(図 6中矢 印 X方向)に回転させると、支持部 13の回動はロック部材 41により阻止されているの で、爪部 27が位置決めピン 29Bに接触するまで、偏心シャフト 17のみが正方向(図 6中矢印 X方向)に 180度回動する。偏心シャフト 17のみが 180度だけ回転すると、 偏心シャフト 17の偏心軸部 17Bは、その偏心量 X 2倍の距離 (偏心軸部 17Bの直径 寸法に相当)だけメンテナンス用開口 62側 (径方向外側)に向かって移動する。これ により、弁体部 52がメンテナンス用開口 62に着座し、メンテナンス用開口 62が閉塞 される。このとき、弁体部 52がメンテナンス用開口 62に着座した状態では、弁体部 5 2の押圧力によりメンテナンスシール部 60が弹性変形しており、メンテナンス用開口 6 2が気密にシールされる(メンテナンス時状態)。なお、メンテナンス用開口 62を開放 する場合には、上述した通り、駆動モータ 66のモータ回転軸 66Aを逆方向(図 5中 矢印 Y方向)に回転させる。このとき、支持部 13はフランジ部 31の回動規制ピン部 3 5を一方のストッパ部材 39Βとロック部材 41とで挟持されているので、支持部 13の回 動は停止した状態である。
[0049] 以上のように、本実施形態のゲートバルブ装置 20によれば、弁体部 52の径方向外 側への移動量は、偏心シャフト 17の偏心軸部 17Bの偏心量に基づくことになる。この ため、偏心シャフト 17の偏心軸部 17Bの偏心量を所定値となるように設定するだけで 、弁体部 52の径方向外側への移動量が一定量となるように容易に制御することがで きる。これにより、簡易な構成で、各シール部材 58、 60の各開口部 46、 62に対する 押付量を一定にすることができ、さらに、各シール部材 58、 60の各開口部 46、 62に 対する衝撃力を低減させることができる。この結果、各シール部材 58、 60の製品寿 命の低下を抑制することができ、また、各シール部材 58、 60が原因となるパーテイク ルの発生を防止することができる。
[0050] また、支持部 13を 90度回動させる手段として、ゼンマイばね 37を用いることにより、 ゼンマイばね 37から支持部 13に一方向に作用する弾性力を付与することができる。 これにより、支持部 13と偏心シャフト 17の回転駆動を連動させ、また、支持部 13と独 立して偏心シャフト 17を回動させることができる。この結果、回動機構と昇降機構の 異なる駆動機構を 1つの駆動源の制御により行うことができる。さらに、ゼンマイばね 3 7を用いることにより、既存の部品を用いて容易に回動力付与部を構成することがで きる。これにより、ゲートバルブ装置 20の構成を簡易なものにすることができ、コンパ タトで、製造コストも低減すること力 Sできる。さらに、弁体部 52が第 1開口部 46及びメ ンテナンス用開口 62と対向する位置で、支持部 13の回動がストッパ部 39Α、 39Β及 び回動規制ピン部 35により停止されるため、弁体部 52が第 1開口部 46及びメンテナ ンス用開口 62に対して位置ずれすることを防止できる。これにより、第 1開口部 46及 びメンテナンス用開口 62を確実に閉塞することができ、気密にシールすることができ
[0051] 次に、本発明の第 2実施形態に係るゲートバルブ装置について、図面を参照して 説明する。なお、第 1実施形態に係るゲートバルブ装置の構成と重複する構成につ いては同符号を付し、その説明を適宜省略する。 [0052] 図 7乃至図 10に示すように、第 2実施形態のゲートバルブ装置のフランジ部 31の 軸方向一方側平面 31 Aには、複数のピン部が取り付けられていない。具体的には、 第 1実施形態のゲートバルブ装置のフランジ部 31の軸方向一方側平面 31Aには、 1 つの回動規制ピン部 35と、 2つの位置決めピン部 29A、 29Bと、が設けられている構 成を説明したが、第 2実施形態のゲートバルブ装置のフランジ部 31の軸方向一方側 平面 31 Aには、これらのピン部は、一切設けられていない。
[0053] ここで、第 2実施形態のゲートバルブ装置のフランジ部 31の軸方向一方側平面 31 Aには、各ピン部に替えて、円筒フランジ部(ストッパ部) 51が取り付けられている。こ の円筒フランジ部 51は、半円状のフランジ本体 53と、フランジ本体 53に一体形成さ れた 2つの第 1フック部 61及び第 2フック部 63と、で構成されている。半円状のフラン ジ本体 53は、外側に大きく突出した湾曲状の外周部 65と、外周部 65の径よりも小さ な径の溝状に形成された内周部 67と、を有している。この外周部 65には、後述のメ ンテナンス用ハンドル 77の軸部 79が進入して係合する溝部 69が形成されて!/、る。ま た、内周部 67の径方向内側には、リング状部材 25の一部が収容可能に構成されて いる。
[0054] また、第 1フック部 61及び第 2フック部 63は、フランジ本体 53の外周部 65から延び るようにして一体形成されたものである。また、フランジ本体 53であって各フック部 61 、 63の径方向内側の部位には、 2つの第 1位置決め部 71及び第 2位置決め部 73が それぞれ形成されている。各位置決め部 71、 73には、リング状部材 25の爪部 27と 接触可能な接触面 71A、 73Aがそれぞれ形成されている。接触面 71A、 73Aに、リ ング状部材 25の爪部 27が接触することにより、リング状部材 25が停止されるとともに 、弁体部 52が適切な位置に位置決めされる。このように、円筒フランジ部 51は、半円 状のフランジ本体 53と、フランジ本体 53に一体形成された第 1フック部 61及び第 2フ ック部 63と、で構成されており、全体として U字状に形成されている。
[0055] また、第 2実施形態のゲートバルブ装置の筐体 44には、第 1実施形態のゲートバル ブ装置の筐体 44に設けられていた 2つのストッパ部材 39A、 39Bに替えて、 1つの回 転ストッパ(ストッパ部) 75が取り付けられている。この回転ストッパ 75には、第 1フック 部 61が接触する第 1ストツバ面 75Aと、第 2フック部 63が接触する第 2ストツバ面 75B と、が形成されている。これにより、第 1フック部 61が第 1ストツバ面 75Aと接触し、ある いは第 2フック部 63が第 2ストッパ面 75Bと接触することにより、フランジ部 31及び円 筒フランジ部 51の回転が停止されるとともに、弁体部 52が適切な位置に位置決めさ れる。また、筐体 44には、支持部 13の回動を阻止するメンテナンス用ハンドル 77が 設けられている。
[0056] また、第 1実施形態と共通する点として、筐体 44の収納空間部 Mの内部であってか つフランジ部 31の径方向外側には、ゼンマイばね 37が配置されている。
[0057] 次に、第 2実施形態のゲートバルブ装置の作用につ!/、て説明する。本実施形態の 作用では、弁体部 52がメンテナンス用開口 62と対向する位置にある状態(OPEN状 態)を基準に説明する。なお、支持部 13が回動する場合には、メンテナンス用ハンド ル 77の軸部 79が溝部 69に揷入されておらず、メンテナンス用ハンドル 77は、溝部 6 9から退避した位置に置かれて!/、る。
[0058] 図 7に示すように、弁体部 52がメンテナンス用開口 62と対向する位置にある状態( OPEN状態)では、偏心シャフト 17の偏心軸部 17Bは、回動中心を基準としてメンテ ナンス用開口 62側と反対側 (径方向内側)に位置している。また、 OPEN状態では、 フランジ部 31の一方の位置決めピン部 29Aとリング状部材 25の爪部 27とが接触し ている。さらに、 OPEN状態では、フランジ部 31の外周面にゼンマイばね 37から所 定の弹性力が図 7中矢印 A方向に向かって作用しており、支持部 13は所定の方向( 図 7中矢印 X方向)側に回動しょうとする。なお、駆動モータ 66の駆動を停止したり、 あるいは、駆動モータ 66からの回転駆動力を偏心シャフト 17に対して図 7中矢印 Y 方向に作用させることにより、支持部 52はゼンマイばね 37からの弾性力に対抗する ことができるため、弁体部 52を所定の位置で位置決めすることができる。
[0059] 次に、図 8に示すように、駆動モータ 66が正方向(図 8中矢印 X方向)に向かって駆 動すると、偏心シャフト 17が正方向(図 8中矢印 X方向)に回動する。これにより、リン グ状部材 25及び爪部 27が回動する。このとき、フランジ部 31の外周面にはゼンマイ ばね 37から所定の弾性力が作用しているため、円筒フランジ部 51の第 2位置決め部 73が爪部 27に追従して回動し、支持部 13は所定の方向(図 8中矢印 X方向)に回 動する。すなわち、支持部 13は、偏心シャフト 17と共に回動する。そして、支持部 13 が偏心シャフト 17とともに 90度回動したところで、円筒フランジ部 51の第 2フック部 6 3が回転ストッパ 75の第 2ストッパ面 75Bと接触するため、ゼンマイばね 37からの弾 性力が作用しても支持部 13のそれ以上の回動は阻止される。このとき、図 8に示すよ うに、弁体部 52は、第 1開口部 46に対向する位置に移動している。
[0060] 図 9に示すように、図 8に示す 90度の位置から駆動モータ 66のモータ回転軸 66A が正方向にさらに回転すると、偏心シャフト 17は駆動モータ 66の回転駆動力を受け ることになるため、偏心シャフト 17のみが所定の方向(図 9中矢印 X方向)に回動する 。なお、このとき、支持部 13は、回転ストッパ 75により停止させられているため、回動 しない。偏心シャフト 17が図 8に示す 90度の位置から 180度だけ回転すると、偏心シ ャフト 17の偏心軸部 17Bは、その偏心量 X 2倍の距離 (偏心軸部 17Bの直径寸法に 相当)だけ第 1開口部 46側 (径方向外側)に移動する。これにより、弁体部 52が第 1 開口部 46に着座し、第 1開口部 46が閉塞される(CLOSE時状態)。このとき、弁体 部 52の押圧力により、弁体シール部 58は弾性変形している。
[0061] 一方、弁体部 52が第 1開口部 46に着座して第 1開口部 46が閉塞された状態から 第 1開口部 46を開放する場合には、駆動モータ 66のモータ回転軸 66Aを逆方向( 図 9中矢印 Y方向)に回転させて偏心シャフト 17を逆方向(図 9中矢印 Y方向)に回 転させる。このとき、ゼンマイばね 37から支持部 13に対して一方向(図 9中矢印 A方 向)に作用する弾性力が付与されているため、支持部 13が偏心シャフト 17に追従し て回動することはない。このため、偏心シャフト 17のみが回動する。偏心シャフト 17を 逆方向(図 9中矢印 Y方向)に 180度回転させると、偏心シャフト 17の偏心軸部 17B は、その偏心量 X 2倍の距離 (偏心軸部 17Bの直径寸法に相当)だけ第 1開口部 46 側と反対側 (径方向内側)に移動して、図 8に示す 90度の位置に戻る。これにより、第 1開口部 46は開放される。
[0062] 図 8に示す 90度の位置から駆動モータ 66のモータ回転軸 66Aをさらに逆方向(図
8中矢印 Y方向)にさらに回転させると、偏心シャフト 17が回動することになる力 偏 心シャフト 17に取り付けられているリング状部材 25の爪部 27が円筒フランジ部 51の 第 2位置決め部 73の接触面 73Aと接触して回転するため、偏心シャフト 17は支持部 13とともに所定の方向(図 8中矢印 Y方向)に回動する。このとき、支持部 13に取り付 けられたフランジ部 31の外周面にはゼンマイばね 37から弾性力が作用しているが、 駆動モータ 66の回転駆動力がゼンマイばね 37から弾性力よりも大きくなるため、支 持部 13はゼンマイばね 37からの弾性力に対抗する形で回動する。そして、支持部 1 3は、偏心シャフト 17とともに 90度だけ回動して、図 7に示す位置に戻る。このとき、 円筒フランジ部 51の第 1フック部 61が回転ストッパ 75の第 1ストッパ面 75Aと接触し、 支持部 13のそれ以上の回動が阻止される。これにより、弁体部 52は、メンテナンス用 開口 62と対向する位置に移動する。
[0063] ここで、弁体部 52でメンテナンス用開口 62を閉塞する場合には、図 10に示すメン テナンス用ハンドル 77の軸部 79が溝部 69に進入して係合され支持部 13が回動しな いように固定した状態で、駆動モータ 66を正方向(図 10中矢印 X方向)に回動させる 。駆動モータ 66のモータ回転軸 66Aを正方向(図 10中矢印 X方向)に回転させると 、支持部 13の回動はメンテナンス用ハンドル 77により阻止されているので、爪部 27 力 Sフランジ本体 53の第 1位置決め部 71の接触面 71Aに接触するまで、偏心シャフト 17のみが正方向(図 10中矢印 X方向)に 180度回動する。偏心シャフト 17のみが 18 0度だけ回転すると、偏心シャフト 17の偏心軸部 17Bは、その偏心量 X 2倍の距離( 偏心軸部 17Bの直径寸法に相当 )だけメンテナンス用開口 62側 (径方向外側)に向 力、つて移動する。これにより、弁体部 52がメンテナンス用開口 62に着座し、メンテナ ンス用開口 62が閉塞される。このとき、弁体部 52がメンテナンス用開口 62に着座し た状態では、弁体部 52の押圧力によりメンテナンスシール部 60が弹性変形しており 、メンテナンス用開口 62が気密にシールされる(メンテナンス時状態)。なお、メンテ ナンス用開口 62を開放する場合には、上述した通り、駆動モータ 66のモータ回転軸 66Aを逆方向(図 10中矢印 Y方向)に回転させる。このとき、支持部 13はメンテナン ス用ハンドル 77により固定されているので、支持部 13の回動は停止した状態である
[0064] 以上のように、第 2実施形態のゲートバルブ装置によれば、回転ストツバ 75を設け たことにより、支持部 13の回動停止位置を正確な位置に設定することができる。これ により、弁体部 52を第 1開口部 46又はメンテナンス用開口 62と対向する位置に正確 に位置決めすることカできる。また、弁体部 52のシール面と筐体 44の側壁の着座面 が平行の状態で、弁体部 52を径方向外側に向けて移動することになるため、弁体シ ール部 58及びメンテナンスシール部 60によるシール性能を向上させることができる。 また、弁体部 52の各シール面 56、 57と筐体 44の側壁の着座面が平行の状態で弁 体部 52を径方向外側に向けて移動し、筐体 44の着座面が弁体シール部 58及びメ ンテナンスシール部 60に接触するため、弁体シール部 58及びメンテナンスシール部 60が転動して各シール溝から脱落することを防止できる。この結果、高いシール性能 を長期にわたり、維持すること力できる。
[0065] また、単一の回転ストッパ 75を設けているため、筐体 44に設ける部品の部品点数 を削減でき、製造コストを低減できる。また、筐体 44に設ける部品の部品点数を削減 できるため、ゲートバルブ装置が大型化することを防止できる。
[0066] さらに、円筒フランジ 51と回転ストツバ 75とは真空外部の環境で接触するため、両 者の接触により発生するパーティクルが真空内部に浸入することを防止できる。この 結果、パーティクルが真空内部の被処理物に付着することを防止できる。

Claims

請求の範囲
[1] 筐体に形成された開口部を閉塞又は開放する弁体部と、前記弁体部を軸回りに回 動させて前記開口部と対向する位置に移動可能にするとともに前記弁体部を径方向 に移動させて前記開口部の閉塞又は開放を可能にする弁体駆動部と、前記弁体部 に設けられ前記弁体部が前記開口部を閉塞したときに前記開口部を気密にシール するシール部材と、前記弁体部の回動を規制するストツバ部と、を有するバルブ装置 でめって、
前記弁体駆動部は、前記弁体部を回動可能に支持する支持部と、前記弁体部に 接続されるとともに回動中心から所定の距離だけ離れた部位に中心が位置する偏心 軸部を有し回動することにより前記弁体部を径方向に移動させる偏心シャフト部と、 前記支持部又は前記偏心シャフト部を回動させる駆動源と、を有し、
前記ストツバ部は、前記弁体部が前記開口部と対向する位置で、前記支持部の一 方向側への回動を阻止することを特徴とするバルブ装置。
[2] 一方の側壁部には第 1開口部が形成され他方の側壁部には第 2開口部が形成さ れた筐体の前記第 1開口部又は前記第 2開口部を閉塞又は開放する弁体部と、前 記弁体部を軸回りに回動させて前記第 1開口部又は前記第 2開口部と対向する位置 に移動可能にするとともに前記弁体部を径方向に移動させて前記第 1開口部又は前 記第 2開口部の閉塞又は開放を可能にする弁体駆動部と、前記弁体部に設けられ 前記弁体部が前記第 1開口部を閉塞したときに前記第 1開口部を気密にシールする 第 1シール部材と、前記弁体部が前記第 2開口部を閉塞したときに前記第 2開口部を 気密にシールする第 2シール部材と、前記弁体部の回動を規制するストツバ部と、を 有するバルブ装置であって、
前記弁体駆動部は、前記弁体部を回動可能に支持する支持部と、前記弁体部に 接続されるとともに回動中心から所定の距離だけ離れた部位に中心が位置する偏心 軸部を有し回動することにより前記弁体部を径方向に移動させる偏心シャフト部と、 前記支持部又は前記偏心シャフト部を回動させる駆動源と、を有し、
前記ストツバ部は、前記弁体部が前記第 1開口部と対向する位置で、前記支持部 の一方向側への回動を阻止し、前記弁体部が前記第 2開口部と対向する位置で、前 記支持部の他方向側への回動を阻止することを特徴とするバルブ装置。
[3] 前記支持部を一方向へ回動させる回動力を前記支持部に付与する回動力付与部 を備え、
前記支持部の回動は、前記回動力付与部から前記支持部に付与される回動力と 前記駆動源からの駆動力との力関係により制御されることを特徴とする請求項 1又は 2に記載のバルブ装置。
[4] 前記回動力付与部は、ゼンマイばねであることを特徴とする請求項 3に記載のバル ブ装置。
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