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WO2003071256A1 - Fluorescent magnetic flaw detector and fluorescent magnetic flaw detecting method - Google Patents

Fluorescent magnetic flaw detector and fluorescent magnetic flaw detecting method

Info

Publication number
WO2003071256A1
WO2003071256A1 PCT/JP2003/001642 JP0301642W WO03071256A1 WO 2003071256 A1 WO2003071256 A1 WO 2003071256A1 JP 0301642 W JP0301642 W JP 0301642W WO 03071256 A1 WO03071256 A1 WO 03071256A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
poles
inspected
pair
magnetic
electromagnets
Prior art date
Application number
PCT/JP2003/001642
Other languages
French (fr)
Japanese (ja)
Inventor
Shuji Naito
Hideki Matsuda
Manabu Kuninaga
Original Assignee
Nippon Steel Corporation
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Steel Corporation filed Critical Nippon Steel Corporation
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Priority to KR1020047012769A priority patent/KR100667141B1/en
Publication of WO2003071256A1 publication Critical patent/WO2003071256A1/en

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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/72Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables
    • G01N27/82Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables for investigating the presence of flaws
    • G01N27/83Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables for investigating the presence of flaws by investigating stray magnetic fields
    • G01N27/84Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables for investigating the presence of flaws by investigating stray magnetic fields by applying magnetic powder or magnetic ink
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
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    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/91Investigating the presence of flaws or contamination using penetration of dyes, e.g. fluorescent ink

Definitions

  • the fluorescent magnetic particle flaw detector according to (1) characterized in that it is a magnetizing device that generates a plurality of rotating magnetic fields on the surface to be inspected through a magnetized alternating current in which the phases of the electromagnets are shifted at the same frequency.
  • the magnetizing device rotates a pair of electromagnets around an axis perpendicular to the surface to be inspected.
  • four poles are added at regular intervals to one side of the square, and four poles are used to form multiple squares.
  • the magnetizing device generates a plurality of rotating magnetic fields on the surface to be inspected by passing a magnetized alternating current having the same frequency and a phase shifted.
  • the imaging step includes a pan that transmits only the fluorescent spectrum band.
  • FIG. 13 is a diagram showing an example in which an image pickup position is measured by a moving distance measuring device and a defect position is recorded in the embodiment according to the fifth embodiment of the present invention.
  • the cleaning water sprayed from the cleaning water supply nozzle 22 It flows down along the surface of 03 01642 to wash away excess magnetic powder.
  • the leakage magnetic flux at the defective portion is stronger than the leakage magnetic flux due to the unevenness of the non-defective portion. Therefore, when cleaning is performed at an appropriate flow rate, only the unnecessary magnetic powder at the non-defect portion is washed away. As a result, the SN ratio of the image captured by the imaging device 30 increases.
  • the fluorescent magnetic particle flaw detector includes a magnetizing device 40, a magnetic particle liquid spraying device 20, an ultraviolet irradiating device 25, an imaging device 30, and an image processing device 35.
  • the magnetizing device 40 includes three sets of magnetizers 41, 42, 43 provided with electromagnets and a power supply for supplying a magnetizing current to these magnetizers.
  • the electromagnet core 60 has four U-shaped cores 61 to 64 arranged in a line at equal intervals.
  • FIG. 7 is a schematic side view of the fluorescent magnetic particle flaw detector
  • FIG. 8 is a plan view of the above-described device
  • FIG. 9 is a circuit diagram of a power supply and a magnetizing coil of the magnetizing device.
  • the rotating magnetic field R is an alternating magnetic field, it is demagnetized when the magnetized portion of the thick plate 1 moves away from the magnetic pole.
  • the magnetism is magnetized for each magnetizer, so that the magnetic powder attached to the defective portion in the second magnetizer 92 is also held in the third magnetizer 93.
  • the number of turns of all the magnetized coils is made equal and a voltage is applied in parallel as shown in FIG. 9, the number of coil turns, power supply voltage, etc. are not adjusted for each magnetizer. All rotating magnetic fields can be equalized.

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Abstract

A fluorescent magnetic powder flaw detector capable of providing a sharp, bright, florescent-magnetic-powder-pattern image, and being free from complicated mechanisms, low in costs and excellent in maintainability, wherein the light source (26) of a ultraviolet irradiation device (25) uses strobe light, and an imaging device (30) consists of a CCD camera having at the front thereof a band-pass filter (32) for transmitting a fluorescence’s spectral band only and being added with the function of opening a shutter as much as the emission time of strobe light and with an image signal multiplying function. Accordingly, a clear fluorescent magnetic powder pattern can be obtained, and a higher relative speed between an object material of inspection and a flaw detector is made possible.

Description

明 細 書 蛍光磁粉探傷装置及び蛍光磁粉探傷方法 技術分野  Description Fluorescent magnetic particle flaw detector and fluorescent magnetic particle flaw detection method
この発明は製鋼製品の自動表面欠陥探傷装置、 特に熱延製品およ びその溶接部の表層欠陥検査に用いて好適な蛍光磁粉探傷装置およ び蛍光磁粉探傷方法に関する。 背景技術  The present invention relates to an automatic surface defect inspection apparatus for steel products, particularly to a fluorescent magnetic particle inspection apparatus and a fluorescent magnetic particle inspection method suitable for use in surface defect inspection of hot-rolled products and their welds. Background art
熱延鋼帯、 厚板、 鋼管、 条鋼などの熱延製品には表面にスケール や油汚れが付着していたり、 冷延製品に比較し粗度が粗いため、 表 面欠陥検査自動化が困難である。 したがって、 従来、 もっぱら検査 員の目視、 あるいは検出精度を要する場合には磁粉探傷法による目 視検査に頼っていた。  Because hot-rolled products such as hot-rolled steel strips, thick plates, steel pipes, and bar steel have scales and oil stains on their surfaces, and are coarser than cold-rolled products, it is difficult to automate surface defect inspection. is there. Therefore, in the past, the visual inspection of the inspector or the visual inspection by the magnetic particle flaw detection method when detection accuracy was required had been used.
上記磁粉探傷のうち蛍光磁粉を適用する蛍光磁粉探傷では、 欠陥 部に集積した蛍光磁粉に紫外線を照射すれば、 表面のスケールなど の妨害要因が抑制され、 欠陥部だけが顕在化される という利点があ る。 近年、 この利点を利用して蛍光磁粉模様を TVカメラで撮像し、 信号処理することによ り 自動化しよう という試みがある。 しかし、 紫外線を照射して得られる蛍光は通常光照明に比較して微弱である ため、 被検査材と TVカメ ラの相対的な速度が高くなると、 像流れに よ り画像がぼけると同時に、 進行方向と直交する方向に延びた欠陥 は著しく信号レベルが低下するという問題があった。  Among the magnetic particle flaw detection methods described above, the fluorescent magnetic particle flaw detection method using fluorescent magnetic powder has an advantage that, when the fluorescent magnetic powder accumulated on the defective portion is irradiated with ultraviolet rays, disturbing factors such as surface scale are suppressed, and only the defective portion is exposed. There is. In recent years, there have been attempts to take advantage of this advantage by capturing the fluorescent magnetic powder pattern with a TV camera and processing it by signal processing to automate it. However, the fluorescence obtained by irradiating ultraviolet light is weaker than that of ordinary light illumination, so if the relative speed between the test object and the TV camera increases, the image blurs due to the image flow, A defect extending in a direction perpendicular to the traveling direction has a problem that the signal level is significantly reduced.
これら問題に対処するため、 従来の装置では検査対象との相対的 移動速度を打ち消すためのミラー揺動機構、 あるいは検査対象と撮 像装置の相対的移動を抑えるための搬送装置の倣い機構などを設け ていた。 従来の自動探傷装置の 1つは、 被検查材を長手方向に走行 させつつ、 走査ミ ラーを介して撮像箇所の動きに概略同期して TV力 メ ラで撮像し、 欠陥検出精度を向上させている (例えば、 特開平 4 - 65660 号公報参照) 。 また、 他の自動探傷装置では、 逆に被検査 材を静置し、 長手方向に走行する台車上に走査ミラーと TVカメラを 設置して、 走査ミラーを介して撮像箇所の動きに概略同期して TV力 メラで撮像し、 欠陥検出精度を向上させている (例えば、 特開平 5 一 273150号公報参照) 。 In order to address these problems, conventional equipment has a mirror swing mechanism to cancel the relative movement speed with respect to the inspection target, or a copy mechanism of a transport device to suppress the relative movement between the inspection target and the imaging device. Establishment I was One of the conventional automatic flaw detectors is to move the specimen in the longitudinal direction, and use a TV mirror to capture an image in synchronism with the movement of the imaging location via a scanning mirror to improve defect detection accuracy (See, for example, JP-A-4-65660). On the other hand, in other automatic flaw detectors, the material to be inspected is set aside, and a scanning mirror and a TV camera are installed on a carriage that travels in the longitudinal direction. In this way, images are taken with a TV camera to improve the accuracy of defect detection (see, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 5-273150).
上記従来技術には幾つかの問題点がある。 特開平 5— 273150号公 報に述べられているように、 同期を正確に取るために、 タツチロー ルに付けたパルス発生器などにより距離信号を生成する必要がある 。 しかし、 被検查材とタツチロールとの滑りによ り誤差が発生する こ とがある。 また、 被検査材を搬送するときに揺動したり、 被検査 材が曲がっていたりすると、 振動ミラーでは追従できない方向の画 像流れが発生する。 特開平 4一 65660 号公報に開示された装置につ いても、 相対的な揺動や、 被検査材の曲がりに関する問題は発生す る。 さ らに、 相対的な速度が上がると、 ミラーの振れ角度が大きく なり、 結果的に斜めから見るのと同じになり、 光学的に歪んだ画像 となることは避けられない。 しかも、 このような機械機構は、 精度 を向上させよう とすると複雑、 高価になり、 メ ンテナンス性が低下 するなどの問題がある。  The above prior art has several problems. As described in the official gazette of Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-273150, it is necessary to generate a distance signal using a pulse generator or the like attached to a touch roll in order to achieve accurate synchronization. However, an error may occur due to slippage between the test sample and the touch roll. In addition, if the test object swings or is bent when the test object is conveyed, an image flow in a direction that cannot be followed by the vibrating mirror occurs. Even with the apparatus disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 4-65660, there are problems with relative swinging and bending of the material to be inspected. Furthermore, as the relative speed increases, the angle of deflection of the mirror increases, resulting in an image that looks the same as an oblique view, and inevitably results in an optically distorted image. Moreover, such a mechanical mechanism has problems such as complicatedness, high cost, and low maintainability when trying to improve the accuracy.
これらの問題を解決するためには、 瞬間的に静止画像を取得すれ ばよく、 通常の TV撮影等ではス トロボ照明により、 これが可能であ る。 しかし、 通常のフラッシュパルプのスペク トルには、 紫外線成 分はわずかしか含まれておらず、 かつ磁粉探傷で欠陥部に集まる磁 粉は微量である。 したがって、 通常微弱な蛍光画像しか得られず、 通常の TVカメラと紫外線ス ト ロボ照明とでは十分な感度を得られな T JP03/01642 いという問題があった。 発明の開示 In order to solve these problems, it is only necessary to acquire a still image instantaneously, and this can be achieved by stroboscopic illumination in ordinary TV shooting and the like. However, the spectrum of ordinary flash pulp contains only a small amount of ultraviolet light components, and a small amount of magnetic powder gathers at the defect in magnetic particle flaw detection. Therefore, only weak fluorescent images are usually obtained, and sufficient sensitivity cannot be obtained with ordinary TV cameras and ultraviolet strobe lighting. T JP03 / 01642 Disclosure of the invention
本発明は以上のような問題点を解決し、 鮮明な明るい蛍光磁粉模 様の画像を得ることができ、 ミラー揺動機構、 倣い機構などの複雑 な機構を無く して安価かつメンテナンス性に優れた蛍光磁粉探傷装 置を提供することを課題と している。 本発明の要旨は次のとおりで める。  The present invention solves the above-mentioned problems, can obtain a clear and bright fluorescent magnetic powder-like image, eliminates complicated mechanisms such as a mirror swing mechanism and a copying mechanism, and is inexpensive and excellent in maintainability. It is an object of the present invention to provide a fluorescent magnetic particle flaw detector. The gist of the present invention is as follows.
( 1 ) 被検査材である鋼材または鋼部材の溶接部の表層部を磁化 する磁化装置と、 被検査材の表面に磁粉液を散布する磁粉液散布ノ ズルと、 被検査面を照射する紫外線照射装置と、 被検査面を撮像す る撮像装置と、 撮像した画面を処理して疵の有無を判別する画像処 理装置とで構成した蛍光磁粉探傷装置において、  (1) A magnetizing device that magnetizes the surface of a steel material or a welded part of a steel material to be inspected, a magnetic particle liquid spray nozzle that sprays a magnetic powder solution on the surface of the material to be inspected, and ultraviolet light that irradiates the surface to be inspected In a fluorescent magnetic particle flaw detection device including an irradiation device, an imaging device for imaging a surface to be inspected, and an image processing device for processing an imaged screen to determine the presence or absence of a flaw,
前記撮像装置を、 その前面に蛍光のスぺク トル帯のみを透過する パン ドパスフィルターを有し、 かつ前記ス ト ロポ光の発光時間だけ シャッターを開く機能および映像信号倍増機能を付加した CCD 力メ ラとすることによ り、 被検査材と探傷装置の相対速度を高速化可能 と したことを特徴とする蛍光磁粉探傷装置。  A CCD having a band-pass filter on the front surface thereof for transmitting only a fluorescent spectrum band, and having a function of opening a shutter and a function of doubling a video signal for the emission time of the tropo light. A fluorescent magnetic particle flaw detection device characterized in that the relative speed between the material to be inspected and the flaw detection device can be increased by using a force camera.
( 2 ) 前記磁化装置が、 1対の電磁石を被検査面に垂直な軸の回 りに軸対象にかつ磁極が正方形の頂点をなすよ うに配置した 4極を 設けるとともに、 前記正方形の一辺に直角方向に 2極ずつ増やして 磁極が複数の正方形をなすように構成し、 新たに形成した正方形の 対角点に配置した磁極をそれぞれ対とすることにより、 実質的に 1 対の電磁石と し、 それぞれの電磁石に同一周波数で位相をずらせた 磁化交番電流を通じて、 被検査面に複数の回転磁場を生成する磁化 装置であることを特徴とする ( 1 ) 記載の蛍光磁粉探傷装置。  (2) The magnetizing device provides a pair of electromagnets with four poles arranged so that the pair of electromagnets are symmetrical about an axis perpendicular to the surface to be inspected and the magnetic poles form the vertices of a square, and on one side of the square. By increasing the number of poles in the perpendicular direction by two at a time, the magnetic poles form a plurality of squares, and the magnetic poles arranged at the diagonal points of the newly formed square are each paired, effectively forming a pair of electromagnets. The fluorescent magnetic particle flaw detector according to (1), characterized in that it is a magnetizing device that generates a plurality of rotating magnetic fields on the surface to be inspected through a magnetized alternating current in which the phases of the electromagnets are shifted at the same frequency.
( 3 ) 前記磁化装置が、 1対の電磁石を被検査面に垂直な軸の回 りに軸対象にかつ磁極が正方形の頂点をなすよ うに配置した 4極を 設けるとともに、 前記正方形の一辺に直角方向に間隔をおいて 4極 ずつ増やして、 4極の磁極が複数の正方形を成すように配置し、 4 極ごとに磁極を短絡する継鉄を設けることによ り各 4磁極の対象性 を保持して、 対角となる磁化コイルを 1対として、 2対の磁化コィ ルに同一周波数で位相をずらせた磁化交番電流を通じるようにして 、 被検査面に複数の回転磁場を生成する磁化装置であることを特徴 とする .( 1 ) 記載の蛍光磁粉探傷装置。 (3) The magnetizing device rotates a pair of electromagnets around an axis perpendicular to the surface to be inspected. In addition to providing four poles that are arranged axially symmetrically and with the magnetic poles forming the vertices of a square, four poles are added at regular intervals to one side of the square, and four poles are used to form multiple squares. By providing a yoke that short-circuits the magnetic poles at every four poles, the symmetry of each of the four magnetic poles is maintained, and two pairs of magnetized coils are used as diagonal magnetized coils. (1) The fluorescent magnetic particle flaw detector according to (1), wherein the magnetizing device generates a plurality of rotating magnetic fields on the surface to be inspected by passing a magnetized alternating current having the same frequency and a phase shifted.
( 4 ) 前記磁化装置が、 2極すなわち 1対の電磁石を被検査面に 垂直な軸の回りに軸対象にかつ磁極が長方形または正方形の頂点を なすように配置した 4極 1組の 1組または 2組以上で構成され、 当 該各耝の電磁石の対角の磁極または 4極を継鉄で短絡し、 各組の 2 極 1対の磁極に巻いた 2対の磁化コイルに同一周波数で位相をずら せた磁化交番電流を通じて、 被検査面に 1つまたは複数の回転磁場 を生成する磁化装置であることを特徴とする ( 1 ) 記載の蛍光磁粉  (4) The magnetizing device has two poles, i.e., a pair of four poles, in which a pair of electromagnets are arranged symmetrically about an axis perpendicular to the surface to be inspected and the magnetic poles form rectangular or square vertices. Or two or more pairs, the diagonal poles or four poles of each 耝 electromagnet are short-circuited with a yoke, and the same frequency is applied to two pairs of magnetized coils wound around one pair of two poles. (1) The fluorescent magnetic powder according to (1), which is a magnetizing device that generates one or more rotating magnetic fields on the surface to be inspected through a magnetized alternating current having a phase shifted.
( 5 ) 前記撮像装置の撮像位置に対して相対的に移動する被検査 面上の各点の移動距離を計測する距離計測器を具備して、 距離測定 器で計測された移動距離情報を用いて検出した被検査材の表層疵を マッピングすることを特徴とする ( 1 ) 〜 ( 4 ) のいずれかの項に 記載の蛍光磁粉探傷装置。 (5) A distance measuring device that measures the moving distance of each point on the surface to be inspected that moves relatively to the imaging position of the imaging device, and uses the moving distance information measured by the distance measuring device. The fluorescent magnetic particle flaw detector according to any one of (1) to (4), wherein surface flaws of the material to be inspected detected by mapping are mapped.
( 6 ) 被検査材である鋼材または鋼部材の溶接部の表層部を磁化 するステップと、 被検査材の表面に磁粉液を散布する磁粉液散布ス テツプと、 被検査面に紫外線を照射するステップと、 被検査面を撮 像するステップと、 撮像した画面を処理して疵の有無を判別する画 像処理ステップとで構成した蛍光磁粉探傷方法において、  (6) Magnetizing the surface layer of the steel to be inspected or the welded portion of the steel member; magnetic powder spraying step for spraying the magnetic powder on the surface of the material to be inspected; and irradiating ultraviolet rays to the surface to be inspected A method for imaging a surface to be inspected, and an image processing step of processing an imaged screen to determine the presence or absence of a flaw.
前記撮像ステップには、 蛍光のスぺク トル帯のみを透過するパン  The imaging step includes a pan that transmits only the fluorescent spectrum band.
4 P T/JP03/01642 ドパスフィルターを用いること、 かつ前記ス ト 口ポ光の発光時間だ けシャッターを開く こと、 映像信号倍増機能を付加した CCD カメ ラ を用いる一連のステップにより、 被検査材と探傷装置の相対速度を 高速化可能と したことを特徴とする蛍光磁粉探傷方法。 Four By using a PT / JP03 / 01642 pass filter, opening the shutter for the duration of the stop light, and using a CCD camera with a video signal doubling function, A fluorescent magnetic particle flaw detection method characterized in that the relative speed of the flaw detector can be increased.
( 7 ) 前記磁化するステップが、 1対の電磁石を被検査面に垂直 な軸の回りに軸対象にかつ磁極が正方形の頂点をなすよ うに配置し た 4極を設けるステップと ともに、 前記正方形の一辺に直角方向に 2極ずつ増やして磁極が複数の正方形をなすように構成し、 新たに 形成した正方形の対角点に配置した磁極をそれぞれ対とすることに よ り、 実質的に 1対の電磁石とするステップによ り、 それぞれの電 磁石に同一周波数で位相をずらせた磁化交番電流を通じて、 被検査 面に複数の回転磁場を生成する磁化方法であることを特徴とする ( 6 ) 記載の蛍光磁粉探傷方法。  (7) The step of magnetizing comprises: providing a pair of electromagnets symmetrically about an axis perpendicular to the surface to be inspected and four poles arranged such that the magnetic poles form the vertices of a square; By increasing the number of poles by two in the direction perpendicular to one side, the magnetic poles form a plurality of squares, and the magnetic poles arranged at the diagonal points of the newly formed square are each paired, so that substantially one The magnetizing method generates a plurality of rotating magnetic fields on the surface to be inspected through a magnetized alternating current in which the phases are shifted by the same frequency to each electromagnet by the step of forming a pair of electromagnets. (6) The fluorescent magnetic particle flaw detection method described.
( 8 ) 前記磁化するステップが、 1対の電磁石を被検査面に垂直 な軸の回りに軸対象にかつ磁極が正方形の頂点をなすように配置し た 4極を設けるステップと ともに、 前記正方形の一辺に直角方向に 間隔をおいて 4極ずつ増やして、 4極の磁極が複数の正方形を成す ように配置し、 4極ごとに磁極を短絡する継鉄を設けることによ り 各 4磁極の対象性を保持して、 対角となる磁化コイルを 1対と して 、 2対の磁化コイルに同一周波数で位相をずらせた磁化交番電流を 通じるステップによ り、 被検査面に複数の回転磁場を生成する磁化 方法であることを特徴とする ( 6 ) 記載の蛍光磁粉探傷方法。  (8) The step of magnetizing comprises: providing a pair of electromagnets with four poles arranged so that the pair of electromagnets are symmetrical about an axis perpendicular to the surface to be inspected and the magnetic poles form the vertices of a square; The four poles are increased by four poles at regular intervals on one side of each of the four poles, arranged so that the four poles form a plurality of squares, and a yoke that shorts the poles is provided for each four poles. By maintaining the symmetry, the diagonal magnetized coils are paired, and two pairs of magnetized coils are passed through the magnetized alternating current phase-shifted at the same frequency. The fluorescent magnetic particle flaw detection method according to (6), wherein the method is a magnetization method for generating a rotating magnetic field.
( 9 ) 前記磁化するステップが、 2極すなわち 1対の電磁石を被 検査面に垂直な軸の回りに軸対象にかつ磁極が長方形または正方形 の頂点をなすように配置した 4極 1組の 1組または 2組以上で構成 され、 当該各組の電磁石の対角の磁極または 4極を継鉄で短絡し、 各組の 2極 1対の磁極に卷いた 2対の磁化コイルに同一周波数で位 相をずらせた磁化交番電流を通じるステップにより、 被検査面に 1 つまたは複数の回転磁場を生成する磁化方法であることを特徴とす る ( 6 ) 記載の蛍光磁粉探傷方法。 (9) The step of magnetizing comprises: a pair of four poles in which two poles, i.e., a pair of electromagnets, are arranged symmetrically about an axis perpendicular to the surface to be inspected and the magnetic poles form rectangular or square vertices. It consists of two or more pairs, and the diagonal poles or four poles of each set of electromagnets are short-circuited with yoke, and the same frequency is applied to two pairs of magnetized coils wound around one pair of two poles. Rank The fluorescent magnetic particle flaw detection method according to (6), wherein the method is a magnetization method in which one or more rotating magnetic fields are generated on a surface to be inspected by a step of passing a magnetized alternating current having phases shifted.
( 10) 前記撮像するステップの撮像位置に対して相対的に移動す る被検査面上の各点の移動距離を計測するステツプと、 距離測定器 で計測された移動距離情報を用いて検出した被検査材の表層疵をマ ッビングするステップを有することを特徴とする ( 6 ) 〜 ( 9 ) の いずれかの項に記載の蛍光磁粉探傷方法。  (10) The step of measuring the moving distance of each point on the surface to be inspected, which moves relatively to the imaging position in the imaging step, is detected using the moving distance information measured by the distance measuring device. The fluorescent magnetic particle flaw detection method according to any one of (6) to (9), further comprising a step of masking a surface layer flaw of the material to be inspected.
上述したように、 発明の蛍光磁粉探傷装置は、 ス ト ロボ光の発光 時間だけシャッターを開く機能、 および映像信号増倍機能を付加し た CCD カメラを備えている。 これによ り、 相対的にいかなる方向に 移動または揺動していても静止撮影時と同等のぶれのない鮮鋭な画 像を得ることができる。 また、 紫外線ス ト ロボによる微弱な蛍光映 像でも十分な感度をもって撮影可能であり、 鮮明な明るい蛍光磁粉 模様の画像を得ることができる。 このため、 欠陥検出精度は大幅に 向上する。  As described above, the fluorescent magnetic particle flaw detector of the present invention is provided with the CCD camera having the function of opening the shutter for the emission time of the strobe light and the function of multiplying the video signal. As a result, a sharp image without blurring, which is equivalent to that during still shooting, can be obtained regardless of the relative movement or swinging direction. In addition, even a weak fluorescent image by an ultraviolet strobe can be photographed with sufficient sensitivity, and a clear bright fluorescent magnetic powder pattern image can be obtained. Therefore, the accuracy of defect detection is greatly improved.
また、 本発明においては、 磁化装置を 1対の電磁石を被検査面に 垂直な軸の回りに軸対称にかつ磁極が正方形の頂点をなすように配 置した 4極を設けるとともに、 正方形の一辺に直角方向に 2極ずつ 増やして磁極が複数の正方形をなすように構成し、 新たに形成した 正方形の対角点に配置した磁極をそれぞれ対とすることによ り、 実 質的に 1対の電磁石とし、 それぞれの電磁石に同一周波数で位相を ずらせた磁化交番電流を通じて、 被検査面に複数の回転磁場を生成 するように構成しているために、 被検査材は整列する複数の電磁石 を順次通過する間、 磁化されるので磁化時間が長くなり、 被検査材 が高速で移動しても鮮明な蛍光磁粉模様が形成される。  Further, in the present invention, the magnetizing device is provided with four poles in which a pair of electromagnets are arranged axially symmetrically about an axis perpendicular to the surface to be inspected and the magnetic poles form the vertices of a square, and one side of the square is provided. By adding two poles at right angles to each other, the magnetic poles form a plurality of squares, and the magnetic poles arranged at the diagonal points of the newly formed square are paired, so that one pair is practically The magnet to be inspected has a configuration in which multiple rotating magnetic fields are generated on the surface to be inspected through a magnetized alternating current whose phases are shifted by the same frequency to each of the electromagnets. During successive passes, it is magnetized, so the magnetization time becomes longer, and a clear fluorescent magnetic powder pattern is formed even when the material to be inspected moves at high speed.
また、 本発明においては、 磁化装置が、 1対の電磁石を被検查面 42 に垂直な軸の回りに軸対称にかつ磁極が正方形の頂点をなすよ うに 配置した 4極を設けると ともに、 正方形の一辺に直角方向に間隔を おいて 4極ずつ増やして、 4極の磁極が複数の正方形を成すように 配置し、 4極ごとに磁極を短絡する継鉄を設けることにより各 4磁 極の対称性を保持して、 対角となる磁化コイルを 1対として、 2対 の磁化コイルに同一周波数で位相をずらせた磁化交番電流を通じる ようにして、 被検査面に複数の回転磁場を生成するように構成して いるために、 被検查材は整列する複数の電磁石を順次通過する間、 磁化されるので磁化時間が長くなり、 被検査材が高速で移動しても 鮮明な蛍光磁粉模様が形成される。 また、 電磁石ごとにコイル巻き 数、 電源電圧などを調整することなく、 すべての回転磁場を均等化 することができる。 回転磁場の均等化によ り、 欠陥検出能は高くな る。 Further, in the present invention, the magnetizing device may include a pair of electromagnets on the test surface. In addition to providing four poles arranged symmetrically about the axis perpendicular to the axis 42 and with the magnetic poles forming the vertices of a square, increasing the number of poles by four at regular intervals on one side of the square The magnetic poles are arranged so as to form a plurality of squares, and a yoke that shorts the magnetic poles is provided for each of the four poles to maintain the symmetry of each of the four magnetic poles. Since a plurality of rotating magnetic fields are generated on the surface to be inspected by passing a magnetized alternating current having the same frequency and a phase shifted through the pair of magnetized coils, the material to be inspected is aligned with a plurality of aligned magnetic fields. While passing through the electromagnet sequentially, it is magnetized, so the magnetization time becomes longer, and a clear fluorescent magnetic powder pattern is formed even when the material to be inspected moves at high speed. Also, all rotating magnetic fields can be equalized without adjusting the number of coil turns, power supply voltage, and the like for each electromagnet. By equalizing the rotating magnetic field, the defect detection ability is improved.
また、 本発明においては、 磁化装置が、 2極すなわち 1対の電磁 石を被検査面に垂直な軸の回りに軸対象にかつ磁極が長方形または 正方形の頂点をなすように配置した 4極 1組の電磁石の 1組または 2組以上で構成され、 当該各組の電磁石の対角の磁極または 4極を 継鉄で短絡し、 各組の 2極 1対の磁極に巻いた 2対の磁化コィルに 同一周波数で位相をずらせた磁化交番電流を通じて、 被検査面に 1 つまたは複数の回転磁場を生成するよう構成して磁化時間を長く し てもよい。  Further, in the present invention, the magnetizing device is a four-pole one in which two poles, that is, a pair of magnetic stones are arranged symmetrically about an axis perpendicular to the surface to be inspected and the magnetic poles form rectangular or square vertices. It consists of one or more pairs of electromagnets, and the diagonal or four poles of each pair of electromagnets are short-circuited with a yoke, and two pairs of magnets are wound around one pair of magnetic poles. The magnetizing time may be extended by generating one or more rotating magnetic fields on the surface to be inspected through a magnetized alternating current whose phase is shifted by the coil at the same frequency.
また、 本発明においては、 蛍光磁粉探傷装置で検出した各疵の位 置を確定しておく必要がある場合には、 撮像装置の撮像位置に対し て相対的に移動する被検査面上の各点の移動距離を被検査面上のあ る点を基準に計測する距離計測器を蛍光磁粉探傷装置に組み込んで 、 距離測定器で計測された移動距離情報を用いて検出した被検査材 の表層疵をマッピングして、 その後の疵の処理を容易にすることが T JP03/01642 できる。 図面の簡単な説明 Further, in the present invention, when it is necessary to determine the position of each flaw detected by the fluorescent magnetic particle flaw detector, each of the flaws on the surface to be inspected which moves relatively to the imaging position of the imaging device is required. A distance measuring instrument that measures the moving distance of a point with reference to a certain point on the surface to be inspected is incorporated into the fluorescent magnetic particle flaw detector, and the surface layer of the inspected material detected using the moving distance information measured by the distance measuring instrument Mapping flaws to facilitate subsequent flaw processing T JP03 / 01642 Yes. BRIEF DESCRIPTION OF THE FIGURES
図 1は、 本発明の 1実施の形態を示すもので、 蛍光磁粉探傷装置 の模式的側面図である。  FIG. 1 shows one embodiment of the present invention, and is a schematic side view of a fluorescent magnetic particle flaw detector.
図 2は、 本発明の他の実施の形態を示すもので、 蛍光磁粉探傷装 置の模式的側面図である。  FIG. 2 shows another embodiment of the present invention, and is a schematic side view of a fluorescent magnetic particle flaw detector.
図 3は、 図 2に示す蛍光磁粉探傷装置の平面図である。  FIG. 3 is a plan view of the fluorescent magnetic particle flaw detector shown in FIG.
図 4は、 本発明による蛍光磁粉探傷装置の磁化装置の鉄心の斜視 図である。  FIG. 4 is a perspective view of an iron core of the magnetizing device of the fluorescent magnetic particle flaw detector according to the present invention.
図 5は、 図 4に示す磁化装置の電源および磁化コイルの回路図で ある。  FIG. 5 is a circuit diagram of a power supply and a magnetizing coil of the magnetizing device shown in FIG.
図 6は、 本発明による蛍光磁粉探傷装置の電磁石に供給される磁 化電流のダラフである。  FIG. 6 is a graph of a magnetizing current supplied to the electromagnet of the fluorescent magnetic particle flaw detector according to the present invention.
図 7は、 本発明の更に他の実施の形態を示すもので、 蛍光磁粉探 傷装置の模式的側面図である。  FIG. 7 shows still another embodiment of the present invention, and is a schematic side view of a fluorescent magnetic particle flaw detector.
図 8は、 図 7に示す蛍光磁粉探傷装置の平面図である。  FIG. 8 is a plan view of the fluorescent magnetic particle flaw detector shown in FIG.
図 9は、 本発明による蛍光磁粉探傷装置の電源および磁化コイル の回路図である。  FIG. 9 is a circuit diagram of a power supply and a magnetized coil of the fluorescent magnetic particle flaw detector according to the present invention.
図 10は、 図 9に示す光源の他の実施の形態を一部断面で示す図面 である。  FIG. 10 is a drawing showing a partial cross section of another embodiment of the light source shown in FIG.
図 11は、 本発明による蛍光磁粉探傷装置において、 光源および撮 像装置を磁化器の外側に配置した実施態様を示す図である。  FIG. 11 is a diagram showing an embodiment in which the light source and the imaging device are arranged outside the magnetizer in the fluorescent magnetic particle flaw detector according to the present invention.
図 12は、 本発明の請求項 4に基づく実施形態で、 X型または目隠 し型ヨークの磁化器でその外側で撮像した例を示す図である。  FIG. 12 is a view showing an example of an embodiment based on claim 4 of the present invention, in which an X-type or blind-type yoke is used to image outside with a magnetizer.
図 13は、 本発明の請求項 5に基づく実施形態で、 移動距離計測器 で撮像位置を測定し、 欠陥位置を記録する例を示す図である。 発明を実施するための最良の形態 FIG. 13 is a diagram showing an example in which an image pickup position is measured by a moving distance measuring device and a defect position is recorded in the embodiment according to the fifth embodiment of the present invention. BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
以下に、 本発明を図面を参照しながら説明する。  Hereinafter, the present invention will be described with reference to the drawings.
図 1 はこの発明の 1実施の形態を示しており、 蛍光磁粉探傷装置 の模式的構成図である。 蛍光磁粉探傷装置は、 磁化装置 10、 磁粉液 散布装置 20、 紫外線照射装置 25、 撮像装置 30および画像処理装置 35 からなつている。  FIG. 1 shows an embodiment of the present invention, and is a schematic configuration diagram of a fluorescent magnetic particle flaw detector. The fluorescent magnetic particle flaw detector includes a magnetizing device 10, a magnetic particle liquid spraying device 20, an ultraviolet irradiation device 25, an imaging device 30, and an image processing device 35.
磁化装置 10は、 コ字形鉄心 12の脚部 14に磁化コィル 18が巻かれた 電磁石 11からなつている。 磁化コイル 18には直流電源 (図示しない ) から直流が供給される。 なお、 磁化コイル 18は、 脚部 14の上部を つなぐ継鉄 16に卷かれたものであってもよい。  The magnetizing device 10 comprises an electromagnet 11 in which a magnetizing coil 18 is wound around a leg 14 of a U-shaped iron core 12. DC is supplied to the magnetizing coil 18 from a DC power supply (not shown). The magnetizing coil 18 may be wound around a yoke 16 connecting the upper portions of the legs 14.
磁粉液散布装置 20は、 磁粉液噴射ノズル 21および洗浄水供給ノズ ル 22を備えている。 磁粉液噴射ノズル 21に磁粉液タンクが、 また洗 浄水供給ノズル 22に給水タンクがそれぞれ接続されており、 ポンプ The magnetic powder liquid spraying device 20 includes a magnetic powder liquid injection nozzle 21 and a cleaning water supply nozzle 22. A magnetic powder tank is connected to the magnetic powder injection nozzle 21, and a water tank is connected to the washing water supply nozzle 22.
(いずれも図示しない) により磁粉液または洗浄水が供給される。 洗浄水供給ノズル 21の代わりに、 空気を噴出するエアパージノズル であってもよい。 · (Neither is shown) supplies a magnetic powder solution or washing water. Instead of the washing water supply nozzle 21, an air purge nozzle for ejecting air may be used. ·
紫外線照射装置 25は、 紫外線ス ト ロボ光源 26を有している。 紫外 線ス ト口ボ光源 26は、 例えばキセノ ンフラッシュランプと U 340 フ ィルターとの組合せからなっている。 キセノ ンフラッシュランプの バルブには、 硬い紫外線まで透過する材料が用いられている。 キセ ノ ンフラッシュランプの発光時間は、 約 10 S である。 U 340 フィ ルターは、 硬い紫外線から赤外線まで広いスぺク トルで発光、 放射 するス ト ロボ光のうち、 人に比較的安全な約 310〜390nm の紫外線 を透過する。  The ultraviolet irradiation device 25 has an ultraviolet strobe light source 26. The ultraviolet light source 26 is, for example, a combination of a xenon flash lamp and a U340 filter. Xenon flash lamp bulbs are made of materials that transmit hard ultraviolet light. The emission time of the xenon flash lamp is about 10 S. The U340 filter emits and emits strobe light in a wide spectrum from hard ultraviolet rays to infrared rays, and transmits ultraviolet rays of about 310 to 390 nm, which are relatively safe for humans.
撮像装置 30は、 ス ト口ポ光の発光時間だけシャッターを開く機能 および映像信号増倍機能を付加した CCD 力メラからなる撮像部 31、 およびバンドパスフィルター 32との組合せからなっている。 ここで は、 CCD カメ ラと して、 浜松テレビ株式会社製の MCP 型 CCD カメ ラ を用いている。 この CCD カメラは、 イメージインテンシファイアに 入射した光学像が光電面で光電子に変換される。 光電子はマイク口 チャンネルプレー トで数千倍に増幅され、 蛍光面で再び光学像にな る。' シャッター (ゲート) 動作は、 光電面一マイクロチャンネルプ レー ト間の電位で制御する。 光電面電位よりマイク ロチャンネルプ レー ト電位が高い場合、 ゲー ト動作がオン (シャッター開) となり 、 低い場合はオフとなる。 The image pickup device 30 is composed of a combination of an image pickup unit 31 composed of a CCD camera having a function of opening a shutter for a light emission time of the stop light and a function of multiplying a video signal, and a bandpass filter 32. here Uses an MCP CCD camera manufactured by Hamamatsu TV Co., Ltd. as the CCD camera. In this CCD camera, the optical image incident on the image intensifier is converted into photoelectrons on the photocathode. The photoelectrons are amplified several thousand times in the channel plate of the microphone opening, and become an optical image again on the phosphor screen. 'Shutter (gate) operation is controlled by the potential between the photocathode and the microchannel plate. When the microchannel plate potential is higher than the photocathode potential, the gate operation is turned on (the shutter is opened), and when the microchannel plate potential is lower, the gate operation is turned off.
パンドパスフィルター 32は、 蛍光のスぺク トル成分だけを透過す る。 前記紫外線照射装置 25からの照射光は、 蛍光励起用紫外線およ びわずかではあるが U 340 フィルターよ り漏洩した赤外線を含んで いる。 撮像部 30は紫外線から赤外線領域まで波長感度を有している ために、 上記紫外線および赤外線をも取り込む。 パンドパスフィル ター 32はこれら紫外線および赤外線を力ッ ト し、 画像の SN比を高め る。  The bandpass filter 32 transmits only the spectrum component of the fluorescent light. The irradiation light from the ultraviolet irradiation device 25 includes ultraviolet light for fluorescence excitation and, to a small extent, infrared light leaked from the U 340 filter. Since the imaging section 30 has wavelength sensitivity from the ultraviolet to the infrared region, it also captures the ultraviolet and infrared light. The pan-pass filter 32 enhances the ultraviolet and infrared rays to increase the S / N ratio of the image.
画像処理装置 35は、 撮像装置 30からの画像信号について濃度補正 、 平滑化、 2値化処理などを行なって、 疵の有無を判別する。 判別 基準は実操業で得られた検査データに基づき作成され、 表形式で画 像処理装置に保存されている。  The image processing device 35 performs density correction, smoothing, binarization, and the like on the image signal from the imaging device 30 to determine whether there is a flaw. Criteria are created based on inspection data obtained in actual operations and stored in a table format in the image processing device.
上記のように構成された蛍光磁粉探傷装置において、 被検査材 1 は厚板を曲げ整形した ドラム状の溶接構造物であり、 矢印方向に移 動する。 被検査部は、 円周方向に延びる溶接部である。 磁化装置 10 は、 磁束が溶接部を横切るよ うに直流磁化する。 磁化された溶接部 に、 磁粉液嘖射ノズル 21から蛍光磁粉液が散布される。 被検査材 1 の表層部に欠陥があると、 欠陥部に漏洩磁束が発生する。 磁粉液中 の蛍光磁粉が漏洩磁束に吸引されて欠陥部に集積し、 蛍光磁粉模様 を形成する。 洗浄水供給ノズル 22から散布された洗浄水は、 厚板 1 03 01642 の表面に沿って後方に流れ下り、 余分な磁粉液を洗い流す。 一般に 、 欠陥部の漏洩磁束は無欠陥部の凹凸による漏洩磁束より強いため 、 適正な流速で洗浄すると、 無欠陥部の不要磁粉だけが洗い流され る。 この結果、 撮像装置 30で撮像された画像の SN比は高くなる。 In the fluorescent magnetic particle flaw detector configured as described above, the test object 1 is a drum-shaped welded structure obtained by bending and shaping a thick plate, and moves in the direction of the arrow. The part to be inspected is a welded part extending in the circumferential direction. The magnetizing device 10 DC magnetizes the magnetic flux so as to cross the weld. The fluorescent magnetic liquid is sprayed from the magnetic liquid spray nozzle 21 to the magnetized weld. If there is a defect in the surface layer of the material to be inspected 1, leakage magnetic flux is generated at the defect. The fluorescent magnetic powder in the magnetic powder liquid is attracted to the leakage magnetic flux and accumulates at the defective portion to form a fluorescent magnetic powder pattern. The cleaning water sprayed from the cleaning water supply nozzle 22 It flows down along the surface of 03 01642 to wash away excess magnetic powder. In general, the leakage magnetic flux at the defective portion is stronger than the leakage magnetic flux due to the unevenness of the non-defective portion. Therefore, when cleaning is performed at an appropriate flow rate, only the unnecessary magnetic powder at the non-defect portion is washed away. As a result, the SN ratio of the image captured by the imaging device 30 increases.
紫外線ス ト口ポ光源 26によって、 紫外線パルスを上方よ り照射し て欠陥部に集積した蛍光磁粉を発光させる。 紫外線ス ト口ポ光源 26 の発光時間は、 前述のように約 10 μ s ec である。 上記 CCD カメラの シャッターは、 この発光時間だけ開く ように調整している。 通常、 CCD カメラのフレームレートは、 30Hz、 33ms e cである。 したがって 、 画像流れや周囲環境の照度の影響は、 1 Z 3300程度となる。 この ような短い発光時間では、 移動している被検査材はほとんど静止し ている状態に見え、 像流れの全くない鮮明な蛍光磁粉模様を撮像す ることができる。 これによつて、 従来は被検査材を静止した状態で しか検出できなかった微細なクラックまで検出することができ、 欠 陥検出精度を大幅に向上することができる。  Ultraviolet light is emitted from above by the ultraviolet light source 26 to emit fluorescent magnetic powder accumulated at the defect. The emission time of the UV light source 26 is about 10 μsec as described above. The shutter of the above-mentioned CCD camera is adjusted so as to open for this light emission time. Usually, the frame rate of a CCD camera is 30 Hz, 33 ms e c. Therefore, the influence of the image flow and the illuminance of the surrounding environment is about 1 Z 3300. With such a short light emission time, the moving test object appears almost stationary, and a clear fluorescent magnetic powder pattern with no image flow can be imaged. As a result, it is possible to detect even minute cracks, which have conventionally been detected only when the test material is stationary, and the defect detection accuracy can be greatly improved.
図 2〜図 5は、 この発明の他の実施の形態を示している。 図 2は 蛍光磁粉探傷装置の模式的側面図、 図 3は平面図、 図 4は磁化装置 の鉄心の斜視図.、 および図 5は磁化装置の電源および磁化コィルの 回路図である。 この実施の形態で、 図 1に示す装置、 部材と同様の ものには同一の参照符号を付け、 その詳細な説明は省略する。  2 to 5 show another embodiment of the present invention. Fig. 2 is a schematic side view of the fluorescent magnetic particle flaw detector, Fig. 3 is a plan view, Fig. 4 is a perspective view of an iron core of the magnetizing device, and Fig. 5 is a circuit diagram of a power supply and a magnetizing coil of the magnetizing device. In this embodiment, the same components as those shown in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.
磁粉探傷では、 検査規格上、 被検査材の進行方向およびこれと直 交する方向の 2方向磁化が求められる場合がある。 このよ うな場合 、 被検査材を回転磁場で磁化する必要がある。 この実施の形態の蛍 光磁粉探傷装置では、 磁化装置は回転磁場を生成する。  In magnetic particle flaw detection, inspection standards sometimes require two-way magnetization in the direction of travel of the material to be inspected and in the direction perpendicular to the direction of travel. In such a case, the material to be inspected needs to be magnetized by a rotating magnetic field. In the fluorescent particle inspection apparatus of this embodiment, the magnetizing device generates a rotating magnetic field.
蛍光磁粉探傷装置は、 磁化装置 40、 磁粉液散布装置 20、 紫外線照 射装置 25、 撮像装置 30および画像処理装置 35からなつている。 磁粉 液散布装置 20、 紫外線照射装置 25、 撮像装置 30および画像処理装置 35は、 図 1に示す装置と同じであるので、 その説明は省略する。 磁化装置 40は、 電磁石を備えた 3組の磁化器 41, 42, 43とこれら 磁化器に磁化電流を供給する電源とからなっている。 電磁石の鉄心 60は、 等間隔をおいて 1列に並ぶ 4個のコ字形鉄心 61〜 64を備えて いる。 第 1 コ字形鉄心 61の両側端部と第 2コ字形鉄心 62の両側端部 とをそれぞれ継鉄 70で連結して第 1四脚鉄心 57を形成している。 ま た、 第 2コ字形鉄心 62の両側端部と第 3 コ字形鉄心 63の両側端部と をそれぞれ継鉄 70で連結して第 2四脚鉄心 58を形成している。 同様 にして、 第 3四脚鉄心 59を形成している。 第 1四脚鉄心 57で、 第 1 コ字形鉄心 61と第 2コ字形鉄心 62との間隔は、 第 1 コ字形鉄心 61の 脚部 61 A, Bまたは 62 A ' , B ' の間隔に等しくなつている。 した がって、 4本の脚部 61 A, B , 62A ' , B ' は正方形の頂点に位置 している。 第 2四脚鉄心 58および第 3四脚鉄心 59でも、 同様に 4本 の脚部は正方形の頂点に位置している。 The fluorescent magnetic particle flaw detector includes a magnetizing device 40, a magnetic particle liquid spraying device 20, an ultraviolet irradiating device 25, an imaging device 30, and an image processing device 35. Magnetic powder liquid spraying device 20, ultraviolet irradiation device 25, imaging device 30, and image processing device Since 35 is the same as the device shown in FIG. 1, its description is omitted. The magnetizing device 40 includes three sets of magnetizers 41, 42, 43 provided with electromagnets and a power supply for supplying a magnetizing current to these magnetizers. The electromagnet core 60 has four U-shaped cores 61 to 64 arranged in a line at equal intervals. Both end portions of the first U-shaped iron core 61 and both end portions of the second U-shaped iron core 62 are connected to each other by a yoke 70 to form a first four-legged iron core 57. In addition, both ends of the second U-shaped iron core 62 and both ends of the third U-shaped iron core 63 are connected by yoke 70 to form a second quadruped iron core 58. Similarly, a third quadruple core 59 is formed. In the first quadruple iron core 57, the distance between the first U-shaped iron core 61 and the second U-shaped iron core 62 is equal to the distance between the legs 61A, B or 62A ', B' of the first U-shaped iron core 61. I'm sorry. Therefore, the four legs 61A, B, 62A ', B' are located at the vertices of the square. Similarly, in the second quadruple core 58 and the third quadruple core 59, the four legs are located at the vertices of the square.
上記脚部 61 Α, Β〜64Α ' , B ' のそれぞれには、 磁化コイル 75 Α , Β〜78Α ' , Β ' が巻かれている。 これら磁化コイル 75 Α, Β 〜78Α ' , B ' のうち、 上記正方形で一方の対角方向に向かい合う 磁化コイルと、 コ字形鉄心および継鉄 70とで 1つの電磁石が構成さ れている。 例えば、 第 1磁化器 41でコ字形鉄心 61, 62、 継鉄 70、 お よび磁化コイル 75 A, 76 A ' で 1つの電磁石 51が構成され、 磁化コ ィル 75 Β , 76 Β ' でもう 1つの電磁石 54が構成されている。 同様に 、 第 2磁化器 42で電磁石 52, 55が、 また第 3磁化器 43で電磁石 53, 56がそれぞれ構成されている。  Magnetizing coils 75Α, Β-78Α ', and Β' are wound around the legs 61 脚, Β-64Α ', and B', respectively. Of the magnetized coils 75 °, 〜 to 78 ′ ′, and B ′, one magnet is formed by the square-shaped magnetized coil facing in one diagonal direction, the U-shaped iron core and the yoke 70. For example, one electromagnet 51 is composed of the U-shaped iron cores 61 and 62, the yoke 70, and the magnetizing coils 75A and 76A 'in the first magnetizer 41, and the magnetizing coils 75Β and 76Β' are already used. One electromagnet 54 is configured. Similarly, the second magnetizer 42 forms electromagnets 52 and 55, and the third magnetizer 43 forms electromagnets 53 and 56, respectively.
磁化装置 40は、 このよ う に構成された 3組の電磁石 51, 52, 53お よび 3組の電磁石 54, 55, 56とで 6組の電磁石を備えている。 つま り、 1対の電磁石を被検査面に垂直な軸の回りに軸対称にかつ磁極 が正方形の頂点をなすように配置した 4極を設けている。 そして、 上記正方形の一辺に直角方向に 2極ずつ増やして磁極が 3つの正方 形をなすよ うに構成し、 新たに形成した正方形の対角点に配置した 磁極をそれぞれ対とすることによ り、 実質的に 1対の電磁石と して レヽる。 The magnetizing device 40 has six sets of electromagnets including the three sets of electromagnets 51, 52, 53 and the three sets of electromagnets 54, 55, 56 thus configured. That is, four poles are provided in which a pair of electromagnets are arranged axially symmetrically about an axis perpendicular to the surface to be inspected and the magnetic poles form the vertices of a square. And By increasing the number of poles by two in the direction perpendicular to one side of the square, the magnetic poles are configured to form three squares, and the magnetic poles arranged at diagonal points of the newly formed square are paired with each other. As a pair of electromagnets.
図 5は、 磁化コイル 75Α〜78Β ' および電源 80の回路を示してい る。 上記正方形で一方の対角方向に向かい合う磁化コイル 75Α, 76 A' および磁化コイル 77A, 78A' にパワーアンプ 83を介して交流 発信器 81が接続されている。 他方の対角方向に向かい合う磁化コィ ル 75B , 76B ' および磁化コイル 77B, 78B ' に 90° 位相器 85およ びパヮーアンプ 86を介して交流発信器 81が接続されている。 パワー アンプ 83, 86は、 交流発信器 81からの信号によ り所定周波数の交番 磁化電流を各磁化コイル 75A〜78B に供給する。 磁化コイル 75B , 76B ' , 77B , 78B ' には磁化コィノレ 75A, 76A ' , 77A, 78A ' に対し 90° 位相がずれた交番磁化電流が供給される。 図 6は、 電 磁石 51, 52, 53に対し電磁石 54, 55, 56に同一周波数で位相差が 90 ° の磁化交番電流を供給した場合を示している。 なお、 3相交流電 流電源を用い、 位相差を 120° と してもよい。  FIG. 5 shows a circuit of the magnetizing coils 75Α to 78Β ′ and the power supply 80. An AC oscillator 81 is connected via a power amplifier 83 to the magnetizing coils 75 ° and 76A ′ and the magnetizing coils 77A and 78A ′ that are opposite to each other in the above-described square. An AC oscillator 81 is connected to the magnetizing coils 75B and 76B 'and the magnetizing coils 77B and 78B' which face each other in the diagonal direction via a 90 ° phase shifter 85 and a power amplifier 86. The power amplifiers 83 and 86 supply an alternating magnetizing current of a predetermined frequency to each of the magnetizing coils 75A to 78B according to a signal from the AC oscillator 81. The magnetizing coils 75B, 76B ', 77B, 78B' are supplied with an alternating magnetizing current 90 ° out of phase with respect to the magnetizing coils 75A, 76A ', 77A, 78A'. Fig. 6 shows the case where the magnets 51, 52, 53 are supplied with magnetized alternating current having the same frequency and a phase difference of 90 ° to the electromagnets 54, 55, 56. Note that a three-phase AC current power supply may be used and the phase difference may be 120 °.
この実施の形態では磁化器数は 3であるが、 探傷条件およびライ ン速度 (被検査材移動速度) によって磁化器数は変わる。 例えば、 磁粉探傷では磁粉散布時間は 5秒以上とすることが推奨されている 。 したがって、 磁極間隔を lp [cm] 、 ライン (被検査材) 速度を V [cm/sec]とすると、 1磁化器の通過時間 Tfは Tf = lp/ Vとなる。 n = 5 sec /Tf secであれば、  In this embodiment, the number of magnetizers is three, but the number of magnetizers varies depending on the flaw detection conditions and the line speed (movement speed of the test object). For example, in magnetic particle inspection, it is recommended that the magnetic particle spray time be 5 seconds or more. Therefore, if the magnetic pole interval is lp [cm] and the line (inspected material) velocity is V [cm / sec], the transit time Tf of one magnetizer is Tf = lp / V. If n = 5 sec / Tf sec,
nよ り大きい整数 + 2磁化器 (パージ部の磁化器 +撮像部の磁化 器)  Integer greater than n + 2 magnetizers (magnetizer in purge section + magnetizer in imaging section)
を磁化器数とすることが望ましい。  Is preferably the number of magnetizers.
磁粉液噴射ノズル 21および洗浄水供給ノズル 22が、 第 2磁化器 42 に配置されている。 紫外線照射装置 25および撮像装置 30が、 第 3磁 化器 43の直上に配置されている。 The magnetic powder spray nozzle 21 and the washing water supply nozzle 22 Are located in The ultraviolet irradiation device 25 and the imaging device 30 are arranged immediately above the third porcelain 43.
以上のよ うに構成された蛍光磁粉探傷装置において、 厚板 1 は洗 浄水で余分の蛍光磁粉を洗い流すために水平面に対し傾斜した状態 で矢印方向に送られる。 磁化装置 40はコ字形鉄心 61〜64が溶接線 5 をまたぐよ うに配置される。 電磁石 51〜53に対し電磁石 54〜56に同 一周波数で位相差が 90° の磁化交番電流が供給されるので、 磁化器 ごとに被検査面に回転磁場 Rが生じる。 回転磁場 Rは、 溶接線方向 およびこれに対し直角方向に同じ大きさである。 第 2磁化器 42の磁 場回転方向は、 第 1磁化器 41および第 3磁化器 43の磁場回転方向と 逆になつている。  In the fluorescent magnetic particle flaw detector configured as described above, the slab 1 is sent in the direction of the arrow while being inclined with respect to the horizontal plane in order to wash away excess fluorescent magnetic powder with the washing water. The magnetizing device 40 is arranged so that the U-shaped iron cores 61 to 64 straddle the welding line 5. Since a magnetized alternating current having the same frequency and a phase difference of 90 ° is supplied to the electromagnets 54 to 56 for the electromagnets 51 to 53, a rotating magnetic field R is generated on the surface to be inspected for each magnetizer. The rotating magnetic field R has the same magnitude in the direction of the welding line and in the direction perpendicular thereto. The direction of rotation of the magnetic field of the second magnetizer 42 is opposite to the direction of rotation of the magnetic field of the first magnetizer 41 and the third magnetizer 43.
上記回転磁場 Rは交流磁場であるため、 厚板 1 の磁化部分が磁極 から離れるときに脱磁される。 しかし、 この実施の形態の磁化装置 40では磁化器ごとに磁化されるので、 第 2磁化器 42で欠陥部に付着 した磁粉は、 第 3磁化器 43でも保持されている。  Since the rotating magnetic field R is an alternating magnetic field, it is demagnetized when the magnetized portion of the thick plate 1 moves away from the magnetic pole. However, in the magnetizing device 40 of this embodiment, since the magnetizing is performed for each magnetizer, the magnetic powder attached to the defective portion in the second magnetizer 42 is also held in the third magnetizer 43.
一般に、 散布された磁粉液中の磁粉が欠陥部に移動し、 集積して 蛍光磁粉模様を形成するまでにある程度の時間が必要である。 した がって、 高速で移動する厚板を磁粉探傷する場合、 磁化装置の長さ は厚板の移動速度に応じて長く しなければならない。 一方、 上記の よ うな回転磁場を発生するためには、 磁極を正方形の頂点に配置し なければならない。 磁化装置の磁極間隔が狭い方が磁極間の被検査 部に高い磁束密度が生じるが、 そうすると隣り合う コ字形鉄心の間 隔が狭くなり、 蛍光磁粉模様を形成するに十分な時間が得られない 。 この実施の形態では 3つの磁化器 41 , 42, 43でそれぞれ磁化する ので、 磁化時間が長くなり、 厚板 1が高速で移動しても鮮明な蛍光 磁粉模様が形成される。 磁化器数は、 被検査材の送り速度、 あるい は探傷速度により増減可能である。 図 7〜図 9は、 この発明の更に他の実施の形態を示している。 図 7は蛍光磁粉探傷装置の模式的側面図、 図 8は上記装置の平面図、 図 9は磁化装置の電源および磁化コイルの回路図である。 In general, it takes a certain amount of time for the magnetic powder in the sprayed magnetic powder liquid to move to the defect and accumulate to form a fluorescent magnetic powder pattern. Therefore, when a high-speed moving thick plate is subjected to magnetic particle flaw detection, the length of the magnetizing device must be increased according to the moving speed of the thick plate. On the other hand, to generate a rotating magnetic field as described above, the magnetic poles must be arranged at the vertices of a square. When the magnetic pole spacing of the magnetizing device is smaller, a high magnetic flux density is generated in the portion to be inspected between the magnetic poles.However, the spacing between the adjacent U-shaped iron cores becomes narrower, and sufficient time is not obtained to form the fluorescent magnetic powder pattern. . In this embodiment, since the three magnetizers 41, 42, and 43 magnetize each other, the magnetization time becomes longer, and a clear fluorescent magnetic powder pattern is formed even when the thick plate 1 moves at high speed. The number of magnetizers can be increased or decreased according to the feed speed of the test material or the flaw detection speed. 7 to 9 show still another embodiment of the present invention. FIG. 7 is a schematic side view of the fluorescent magnetic particle flaw detector, FIG. 8 is a plan view of the above-described device, and FIG. 9 is a circuit diagram of a power supply and a magnetizing coil of the magnetizing device.
蛍光磁粉探傷装置は、 磁化装置 90、 磁粉液散布装置 20、 紫外線照 射装置 25、 撮像装置 30および画像処理装置 35からなつている。 磁粉 液散布装置 20、 紫外線照射装置 25、 撮像装置 30および画像処理装置 35は、 図 1に示す装置と同じであるので、 その説明は省略する。 磁化装置 90は、 電磁石を備えた 3組の磁化器 91, 92, 93とこれら の磁化器に磁化電流を供給する電源とから構成されている。 第 1磁 化器 91の鉄心は、 第 1 コ字形鉄心 110 の両側端部と第 2 コ字形鉄心 111 の両側端部とをそれぞれ継鉄 112 で連結して形成された第 1四 脚鉄心 107 からなつている。 また、 第 2磁化器 92の鉄心は、 第 3 コ 字形鉄心 113 両側端部と第 4コ字形鉄心 114 の両側端部とをそれぞ れ継鉄 115 で連結して形成された第 2四脚鉄心 108 からなつている 。 同様にして、 第 3磁化器 93の第 3四脚鉄心 109 が形成されている 。 第 1磁化器 91で、 第 1 コ字形鉄心 110 と第 2コ字形鉄心 111 との 間隔は、 第 1 コ字形鉄心 110 の脚部 110A , Bまたは 111 A ' , B ' の間隔に等しくなつている。 したがって、 4本の脚部 110 A , B , 111 A ' , B は正方形の頂点に位置している。 第 2磁化器 92お よび第 3磁化器 93でも、 同様に 4本の脚部は正方形の頂点に位置し ている。  The fluorescent magnetic particle flaw detector includes a magnetizing device 90, a magnetic particle liquid spraying device 20, an ultraviolet irradiating device 25, an imaging device 30, and an image processing device 35. Since the magnetic powder / liquid spraying device 20, the ultraviolet irradiation device 25, the imaging device 30, and the image processing device 35 are the same as those shown in FIG. 1, their description is omitted. The magnetizing device 90 includes three sets of magnetizers 91, 92, and 93 each having an electromagnet and a power supply for supplying a magnetizing current to these magnetizers. The iron core of the first magnetizer 91 is a first quadruple iron core 107 formed by connecting both end portions of the first U-shaped iron core 110 and both end portions of the second U-shaped iron core 111 with yoke 112, respectively. From The iron core of the second magnetizer 92 is formed of a second quadruple formed by connecting both end portions of the third U-shaped iron core 113 and both end portions of the fourth U-shaped iron core 114 with the yoke 115, respectively. It consists of 108 iron cores. Similarly, a third quadruple core 109 of the third magnetizer 93 is formed. In the first magnetizer 91, the distance between the first U-shaped iron core 110 and the second U-shaped iron core 111 is equal to the distance between the legs 110A, B or 111A ', B' of the first U-shaped iron core 110. I have. Therefore, the four legs 110A, B, 111A ', B are located at the vertices of the square. Similarly, in the second magnetizer 92 and the third magnetizer 93, the four legs are located at the vertices of the square.
磁化器 91, 92, 93は、 通板方向に隣り合う磁化器どう しの磁極間 の間隔が各磁化器の磁極間の間隔に等しくなるよ うに配置されてい る。 例えば、 第 1磁化器 91の脚部 111 B ' の磁極と第 2磁化器 92の 脚部 113 Aの磁極との間隔は、 第 1磁化器 91の脚部 110A , 111 B ' の磁極間隔に等しい。 また、 磁化器の数は図 2に示す装置の場合 と同様に探傷条件およびライ ン速度 (被検査材移動速度) によって 決められる。 The magnetizers 91, 92, and 93 are arranged such that the interval between the magnetic poles of adjacent magnetizers in the passing direction is equal to the interval between the magnetic poles of each magnetizer. For example, the distance between the magnetic pole of the leg 111B 'of the first magnetizer 91 and the magnetic pole of the leg 113A of the second magnetizer 92 is determined by the distance between the magnetic poles of the legs 110A and 111B' of the first magnetizer 91. equal. The number of magnetizers depends on the flaw detection conditions and the line speed (movement speed of the test object), as in the case of the device shown in Fig. 2. I can decide.
上記脚部 110A, B〜 117A' , B ' のそれぞれには、 磁化コィ ル 121 A, B〜 126 A' , B ' が卷かれている。 これら磁化コイル 121A, B〜 126A' , B ' のうち、 上記正方形で一方の対角方向 に向かい合う磁化コイルと、 コ字形鉄心および継鉄とで 1つの電磁 石を構成している。 例えば、 コ字形鉄心 110, 111、 鉄心 112 、 およ び磁化コイル 121A, 122A' で 1つの電磁石 101 を構成している 磁化装置 90は、 このよ うに構成された 3組の電磁石 101, 102, 10 3 および 3組の電磁石 104, 105, 106 とで 6組の電磁石を備えてい る。 つまり、 1対の電磁石を被検査面に垂直な軸の回りに軸対称に かつ磁極が正方形の頂点をなすように配置した 4極を設けている。 そして、 上記正方形の一辺に直角方向に間隔をおいて 4極ずつ増や して磁極が 3つの正方形をなすように構成し、 新たに形成した正方 形の対角点に配置した磁極をそれぞれ対とすることによ り、 実質的 に 1対の電磁石と している。  Magnetizing coils 121A, B to 126A ', B' are wound around each of the legs 110A, B to 117A ', B'. Among these magnetized coils 121A, B to 126A ', B', one magnetite is composed of the above-described square-shaped magnetized coil facing one diagonal direction, the U-shaped iron core, and the yoke. For example, the magnetizing device 90 in which the U-shaped iron cores 110 and 111, the iron core 112, and the magnetizing coils 121A and 122A 'make up one electromagnet 101 has three sets of electromagnets 101, 102, There are six sets of electromagnets, including 103 and three sets of electromagnets 104, 105, and 106. That is, four poles are provided in which a pair of electromagnets are arranged axially symmetrically about an axis perpendicular to the surface to be inspected and the magnetic poles form the vertices of a square. The poles are increased by 4 poles at right angles to one side of the square, so that the poles form three squares, and the newly formed poles at the diagonal points of the square are paired, respectively. By doing so, it is effectively a pair of electromagnets.
図 9は、 磁化コイル 121A〜 126B' および電源 130 の回路を示 している。 上記正方形で一方の対角方向に向かい合う磁化コイル 1 21 A, 122A' 、 磁化コイル 123 A, 124 A ' および磁化コイル 1 25A, 126A' にパワーアンプ 133 を介して交流発信器 131 が接続 されている。 他方の対角方向に向かい合う磁化コイル 121B , 12 Β ' 、 磁化コイル 123B, 124B ' および磁化コイル 125B, 126 B ' に 90° 位相器 135 およびパワーアンプ 136 を介して交流発信器 131 が接続されている。 パワーアンプ 133, 136は、 交流発信器 131 からの信号により所定周波数の交番磁化電流を各磁化コイル 121 A 〜 126B ' に供給する。 磁化コイル 121B, 122B ' , 123B , 1 24B ' および 125B, 126B ' には磁化コイル 121 A , 122A' , 01642 FIG. 9 shows the circuits of the magnetizing coils 121A to 126B 'and the power supply 130. An AC oscillator 131 is connected via a power amplifier 133 to the magnetizing coils 121 A and 122A ', the magnetizing coils 123A and 124A', and the magnetizing coils 125A and 126A 'which face one diagonal direction in the square. I have. AC oscillator 131 is connected to magnetizing coils 121B, 12 磁化 ', magnetizing coils 123B, 124B' and magnetizing coils 125B, 126B ', which face each other in the diagonal direction, via 90 ° phase shifter 135 and power amplifier 136. I have. The power amplifiers 133 and 136 supply an alternating magnetizing current of a predetermined frequency to each of the magnetizing coils 121A to 126B 'according to a signal from the AC oscillator 131. The magnetizing coils 121A, 122B ', 123B, 124B' and 125B, 126B 'have magnetizing coils 121A, 122A', 01642
123A , 124A ' および 125 A, 126A ' に対し 90° 位相がずれた 交番磁化電流が供給される。 Alternating magnetizing current with a 90 ° phase shift is supplied to 123A, 124A 'and 125A, 126A'.
以上のように構成された蛍光磁粉探傷装置で、 磁化装置 90はコ字 形鉄心 110, 111 , 113 …等が溶接線 5をまたぐように配置される。 電磁石 101〜103 に対し電磁石 104〜106 に同一周波数で位相差が 90° の磁化交番電流が供給されるので、 磁化器ごとに被検査面に回 転磁場 Rが生じる。 回転磁場 Rは、 溶接線方向およびこれに対し直 角方向に同じ大きさである。 第 1磁化器 91、 第 2磁化器 92および第 3磁化器 93の磁場回転方向は、 同方向となっている。  In the fluorescent magnetic particle flaw detector configured as described above, the magnetizing device 90 is arranged so that the U-shaped iron cores 110, 111, 113, etc., straddle the welding line 5. Since a magnetized alternating current having the same frequency and a phase difference of 90 ° is supplied to the electromagnets 104 to 106 with respect to the electromagnets 101 to 103, a rotating magnetic field R is generated on the surface to be inspected for each magnetizer. The rotating magnetic field R has the same magnitude in the direction of the welding line and in the direction perpendicular thereto. The directions of rotation of the magnetic fields of the first magnetizer 91, the second magnetizer 92, and the third magnetizer 93 are the same.
上記回転磁場 Rは交流磁場であるため、 厚板 1 の磁化部分が磁極 から離れる時に脱磁される。 しかし、 この実施の形態の磁化装置 90 では磁化器ごとに磁化されるので、 第 2磁化器 92で欠陥部に付着し た磁粉は、 第 3磁化器 93でも保持されている。 また、 複数の回転磁 場強度を均等に生成するためには、 すべての A— A ' 磁極対および B - B ' 磁極対に流れる磁束を均等にする必要がある。 この実施の 形態では、 すべての磁化コイルの卷き数を等しく し、 図 9に示すよ うに並列に電圧を印可すれば、 磁化器ごとにコイル卷き数、 電源電 圧などを調整することなくすべての回転磁場を均等化することがで さる。  Since the rotating magnetic field R is an alternating magnetic field, it is demagnetized when the magnetized portion of the thick plate 1 moves away from the magnetic pole. However, in the magnetizing device 90 according to the present embodiment, the magnetism is magnetized for each magnetizer, so that the magnetic powder attached to the defective portion in the second magnetizer 92 is also held in the third magnetizer 93. Also, in order to generate multiple rotating magnetic field strengths uniformly, it is necessary to equalize the magnetic flux flowing through all A-A 'pole pairs and BB' pole pairs. In this embodiment, if the number of turns of all the magnetized coils is made equal and a voltage is applied in parallel as shown in FIG. 9, the number of coil turns, power supply voltage, etc. are not adjusted for each magnetizer. All rotating magnetic fields can be equalized.
図 10は、 光源の他の実施の形態を示している。 光源 140 は、 紫外 線領域で発光する数十個の LED144をマ ト リ ックス状に配列した 1対 の LED パネル 142 を備えている。 LED パネル 142 は、 図 7に示す第 3磁化器 93の脚部 116 A (図示しない) と脚部 117 Β ' との間、 お よび脚部 116 B (図示しない) と脚部 117A ' との間にそれぞれあ つて、 これら脚部の下端寄りに配置されている。 LED144は、 電源 ( 図示しない) からパルス電流が印加され、 発光して検査面を照射す る。 この LED 光源 140 では、 ス ト ロボ光源を小型化できるため、 観 察位置近傍に配置可能である。 したがって、 照明効率が高くなり、 電源も小型ですむ。 FIG. 10 shows another embodiment of the light source. The light source 140 includes a pair of LED panels 142 in which several tens of LEDs 144 that emit light in the ultraviolet region are arranged in a matrix. The LED panel 142 is provided between the leg 116A (not shown) and the leg 117 器 'of the third magnetizer 93 and the leg 116B (not shown) and the leg 117A' shown in FIG. They are located near the lower ends of these legs, with each in between. The LED 144 receives a pulse current from a power supply (not shown), emits light, and irradiates the inspection surface. With this LED light source 140, the strobe light source can be downsized, It can be placed near the expected position. Therefore, the lighting efficiency is high and the power supply is small.
図 11は、 光源および撮像装置が磁化器の外側にある実施の形態を 示している。 磁化器は継鉄タイプ (口型ヨーク) を用いた例である 図 12は、 請求項 4の実施例、 図 13は請求項 5の実施例をそれぞれ 示す。 図 12では、 X型また目隠し型ヨークの磁化器でその外側で撮 像した例である。 図 13は移動距離計測器で撮像位置を測定して、 欠 陥位置を記録する例を示している。  FIG. 11 shows an embodiment in which the light source and the imaging device are outside the magnetizer. The magnetizer is an example using a yoke type (mouth type yoke). FIG. 12 shows an embodiment of claim 4, and FIG. 13 shows an embodiment of claim 5. Fig. 12 shows an example in which an image is taken outside of the magnet with an X-shaped or blind yoke. FIG. 13 shows an example in which the imaging position is measured by a moving distance measuring device and the defect position is recorded.
なお、 以上説明した実施の形態では、 シャッター機能付きのィメ ージインテンシファイアと CCD カメ ラとを組み合わせた MCP 型 CCD カメラを用いたが、 基本的にはシャッター機能と映像信号増倍機能 とを有する超高感度力メラであればよく、 例えば浜松ホ トニクス株 式会社で開発されたシャツター機能付きの EB型 CCD カメラやテキサ スインスツルメント社製のィンパク ト型 CCD カメラを用いてもよい 。 また、 図 10に示す LED 光源は、 図 1および図 2の装置にも適用可 能である。 産業上の利用可能性  In the embodiment described above, the MCP type CCD camera combining the image intensifier with the shutter function and the CCD camera is used. However, basically, the shutter function, the video signal multiplication function and the MCP type CCD camera are used. Any type of ultra-high-sensitivity camera may be used. For example, an EB type CCD camera with a shirt function developed by Hamamatsu Photonics KK or an impact type CCD camera manufactured by Texas Instruments may be used. The LED light source shown in FIG. 10 is also applicable to the devices shown in FIGS. 1 and 2. Industrial applicability
この発明の蛍光磁粉探傷装置は、 ス トロボ光の発光時間だけシャ ッターを開く機能、 および映像信号増倍機能を付加した CCD カメラ を備えているので、 相対的にいかなる方向に移動または揺動してい ても静止撮影時と同等のぶれのない鮮明な明るい蛍光磁粉模様の画 像を得ることができる。 また、 紫外線ス トロボによる微弱な蛍光映 像でも十分な感度をもって撮像可能である。 このため、 欠陥検出精 度は大幅に向上し、 自動検査の高精度化が可能となった。 紫外線照 射装置および撮像装置で、 ミラー揺動機構、 倣い機構などの複雑な 機構が不要となったので、 設備費が安価となり、 メ ンテナンス性も 向上した。 さ らに、 従来の蛍光磁粉探傷装置では暗室を設ける必要 があったが、 屋内の作業環境ではその必要がなくなった。 この点、 構造物の組立溶接部の検査などで設備および作業が簡便となった。 屋外においても、 太陽光の直射を防ぐ天井覆い程度で蛍光磁粉探傷 検査が可能となった。 The fluorescent magnetic particle flaw detector of the present invention is provided with a CCD camera having a function of opening the shutter for the strobe light emission time and a function of multiplying the video signal, so that it can move or swing relatively in any direction. Even with this, it is possible to obtain a clear and bright fluorescent magnetic powder pattern image without blurring, which is the same as in still photography. In addition, even a weak fluorescent image by an ultraviolet strobe can be imaged with sufficient sensitivity. As a result, the accuracy of defect detection has been greatly improved, and the accuracy of automatic inspection has become possible. Ultraviolet irradiators and imaging devices, such as mirror swing mechanisms and Eliminating the mechanism has reduced equipment costs and improved maintainability. In addition, the conventional fluorescent magnetic particle flaw detector required the provision of a dark room, but this is no longer necessary in indoor work environments. In this regard, equipment and work became simpler, such as inspection of welded parts of structures. Even when outdoors, fluorescent magnetic particle flaw detection can be performed with a ceiling covering that prevents direct sunlight.
磁化装置を 4つの磁極を正方形の頂点に配置した複数の電磁石で 回転磁場を形成するよ うに構成した蛍光磁粉探傷装置では、 被検査 材は整列する複数の電磁石を順次通過する間、 磁化されるので磁化 時間が長くなり、 被検查材が高速で移動しても鮮明な蛍光磁粉模様 が形成される。  In a fluorescent magnetic particle inspection system in which a magnetizing device is configured so that a rotating magnetic field is formed by a plurality of electromagnets having four magnetic poles arranged at the vertices of a square, the material to be inspected is magnetized while sequentially passing through a plurality of aligned electromagnets Therefore, the magnetization time becomes longer, and a clear fluorescent magnetic powder pattern is formed even when the test material moves at high speed.

Claims

請 求 の 範 囲 The scope of the claims
1 . 被検査材である鋼材または鋼部材の溶接部の表層部を磁化す る磁化装置と、 被検査材の表面に磁粉液を散布する磁粉液散布ノズ ルと、 被検査面を照射する紫外線照射装置と、 被検査面を撮像する 撮像装置と、 撮像した画面を処理して疵の有無を判別する画像処理 装置とで構成した蛍光磁粉探傷装置において、 1. A magnetizing device that magnetizes the surface layer of the steel material or the welded part of the steel material to be inspected, a magnetic powder spray nozzle that sprays the magnetic powder on the surface of the material to be inspected, and ultraviolet light that irradiates the surface to be inspected In a fluorescent magnetic particle flaw detection device including an irradiation device, an imaging device for imaging a surface to be inspected, and an image processing device for processing an imaged screen to determine the presence or absence of a flaw,
前記撮像装置を、 その前面に蛍光のスぺク トル帯のみを透過する パン ドパスフィルターを有し、 かつ前記ス トロボ光の発光時間だけ シャ ッ ターを開く機能および映像信号倍増機能を付加した CCD 力メ ラとすることによ り、 被検查材と探傷装置の相対速度を高速化可能 としたことを特徴とする蛍光磁粉探傷装置。  The imaging device has a band-pass filter on its front surface that transmits only the fluorescent spectrum band, and a function of opening the shutter only for the strobe light emission time and an image signal doubling function. A fluorescent magnetic particle flaw detector that uses a CCD force camera to increase the relative speed between the test material and the flaw detector.
2 . 前記磁化装置が、 1対の電磁石を被検査面に垂直な軸の回り に軸対象にかつ磁極が正方形の頂点をなすように配置した 4極を設 けるとともに、 前記正方形の一辺に直角方向に 2極ずつ増やして磁 極が複数の正方形をなすように構成し、 新たに形成した正方形の対 角点に配置した磁極をそれぞれ対とすることによ り、 実質的に 1対 の電磁石とし、 それぞれの電磁石に同一周波数で位相をずらせた磁 化交番電流を通じて、 被検査面に複数の回転磁場を生成する磁化装 置であることを特徴とする請求項 1記載の蛍光磁粉探傷装置。  2. The magnetizing device has four poles in which a pair of electromagnets are arranged symmetrically about an axis perpendicular to the surface to be inspected and the magnetic poles form the vertices of a square, and are perpendicular to one side of the square. By increasing the number of poles by two in each direction so that the magnetic poles form a plurality of squares, and making each pair of magnetic poles arranged at the diagonal point of the newly formed square, one pair of electromagnets 2. The fluorescent magnetic particle flaw detector according to claim 1, wherein the magnetizing device is configured to generate a plurality of rotating magnetic fields on a surface to be inspected by using a magnetized alternating current in which the phases of the electromagnets are shifted at the same frequency.
3 . 前記磁化装置が、 1対の電磁石を被検査面に垂直な軸の回り に軸対象にかつ磁極が正方形の頂点をなすように配置した 4極を設 けると ともに、 前記正方形の一辺に直角方向に間隔をおいて 4極ず つ増やして、 4極の磁極が複数の正方形を成すよ うに配置し、 4極 ごとに磁極を短絡する継鉄を設けることによ り各 4磁極の対象性を 保持して、 対角となる磁化コイルを 1対と して、 2対の磁化コイル に同一周波数で位相をずらせた磁化交番電流を通じるようにして、 被検査面に複数の回転磁場を生成する磁化装置であることを特徴と する請求項 1記載の蛍光磁粉探傷装置。 3. The magnetizing device provides a pair of electromagnets with four poles arranged such that the pair of electromagnets are symmetrical about an axis perpendicular to the surface to be inspected and the magnetic poles form the vertices of a square, and on one side of the square Four poles are added at intervals in the perpendicular direction, four poles are arranged so as to form a plurality of squares, and each four poles are targeted by providing a yoke that shorts the poles for every four poles By maintaining the characteristics, the diagonal magnetized coils are made into a pair, and the magnetized alternating current with the same frequency and phase shifted is passed through the two pairs of magnetized coils. 2. The fluorescent magnetic particle flaw detection apparatus according to claim 1, wherein the apparatus is a magnetizing apparatus that generates a plurality of rotating magnetic fields on a surface to be inspected.
4 . 前記磁化装置が、 2極すなわち 1対の電磁石を被検査面に垂 直な軸の回り に軸対象にかつ磁極が長方形または正方形の頂点をな すように配置した 4極 1組の 1組または 2組以上で構成され、 当該 各組の電磁石の対角の磁極または 4極を継鉄で短絡し、 各組の 2極 1対の磁極に卷いた 2対の磁化コイルに同一周波数で位相をずらせ た磁化交番電流を通じて、 被検査面に 1つまたは複数の回転磁場を 生成する磁化装置であることを特徴とする請求項 1記載の蛍光磁粉  4. The magnetizing device has two poles, i.e., a pair of four poles, in which a pair of electromagnets are arranged symmetrically about an axis perpendicular to the surface to be inspected and the magnetic poles are rectangular or square vertices. A pair or two or more pairs, the diagonal poles or four poles of each pair of electromagnets are short-circuited with a yoke, and the same frequency is applied to two pairs of magnetized coils wound on one pair of two poles. 2. The fluorescent magnetic powder according to claim 1, wherein the magnetizing device generates one or a plurality of rotating magnetic fields on the surface to be inspected through a magnetized alternating current having a phase shifted.
5 . 前記撮像装置の撮像位置に対して相対的に移動する被検査面 上の各点の移動距離を計測する距離計測器を具備して、 距離測定器 で計測された移動距離情報を用いて検出した被検查材の表層疵をマ ッビングすることを特徴とする請求項 1〜 4のいずれかの項に記載 の蛍光磁粉探傷装置。 5. Equipped with a distance measuring device that measures the moving distance of each point on the surface to be inspected that moves relatively to the imaging position of the imaging device, using the moving distance information measured by the distance measuring device. The fluorescent magnetic particle flaw detector according to any one of claims 1 to 4, wherein the detected surface layer flaw of the test material is masked.
6 . 被検査材である鋼材または鋼部材の溶接部の表層部を磁化す るステップと、 被検査材の表面に磁粉液を散布する磁粉液散布ステ ップと、 被検查面に紫外線を照射するステップと、 被検査面を撮像 するステップと、 撮像した画面を処理して疵の有無を判別する画像 処理ステップとで構成した蛍光磁粉探傷方法において、  6. Magnetize the surface layer of the steel material or the welded part of the steel material to be inspected, magnetic powder liquid spraying step of spraying the magnetic powder liquid on the surface of the material to be inspected, and ultraviolet light to the surface to be inspected. A fluorescent magnetic particle flaw detection method, comprising: irradiating; imaging an inspected surface; and processing an imaged screen to determine whether there is a flaw.
前記撮像ステップには、 蛍光のスぺク トル帯のみを透過するバン ドパスフィルターを用いること、 かつ前記ス ト口ポ光の発光時間だ けシャッターを開く こと、 映像信号倍増機能を付加した CCD カメラ を用いる一連のステップにより、 被検査材と探傷装置の相対速度を 高速化可能と したことを特徴とする蛍光磁粉探傷方法。  In the imaging step, a band-pass filter that transmits only the fluorescent spectrum band is used, and a shutter is opened only for the emission time of the stop light, and a CCD with a video signal doubling function is added. A fluorescent magnetic particle flaw detection method characterized in that the relative speed between the material to be inspected and the flaw detector can be increased by a series of steps using a camera.
7 . 前記磁化するステップが、 1対の電磁石を被検査面に垂直な 軸の回りに軸対象にかつ磁極が正方形の頂点をなすように配置した 4極を設けるステップと ともに、 前記正方形の一辺に直角方向に 2 極ずつ増やして磁極が複数の正方形をなすように構成し、 新たに形 成した正方形の対角点に配置した磁極をそれぞれ対とすることによ り、 実質的に 1対の電磁石とするステップにより、 それぞれの電磁 石に同一周波数で位相をずらせた磁化交番電流を通じて、 被検査面 に複数の回転磁場を生成する磁化方法であることを特徴とする請求 項 6記載の蛍光磁粉探傷方法。 7. In the magnetizing step, a pair of electromagnets are arranged symmetrically about an axis perpendicular to the surface to be inspected and the magnetic poles form square vertices. Along with the step of providing four poles, two poles are added in the direction perpendicular to one side of the square so that the magnetic poles form a plurality of squares, and the magnetic poles arranged at diagonal points of the newly formed square are paired, respectively. By using a magnetizing method, a plurality of rotating magnetic fields are generated on the surface to be inspected through a magnetized alternating current in which the phases of the respective magnets are shifted at the same frequency by a step of substantially forming a pair of electromagnets. 7. The fluorescent magnetic particle flaw detection method according to claim 6, wherein:
8 . 前記磁化するステップが、 1対の電磁石を被検査面に垂直な 軸の回りに軸対象にかつ磁極が正方形の頂点をなすよ うに配置した 4極を設けるステップと ともに、 前記正方形の一辺に直角方向に間 隔をおいて 4極ずつ増やして、 4極の磁極が複数の正方形を成すよ うに配置し、 4極ごとに磁極を短絡する継鉄を設けることによ り各 4磁極の対象性を保持して、 対角となる磁化コイルを 1対として、 2対の磁化コイルに同一周波数で位相をずらせた磁化交番電流を通 じるステップによ り、 被検査面に複数の回転磁場を生成する磁化方 法であることを特徴とする請求項 6記載の蛍光磁粉探傷方法。  8. The step of magnetizing includes providing a pair of electromagnets with four poles arranged so that the pair of electromagnets are symmetrical about an axis perpendicular to the surface to be inspected and the magnetic poles form a vertex of the square, and one side of the square. The poles of each four poles are increased by increasing the number of poles by four at regular intervals and by arranging the four poles so as to form a plurality of squares, and providing a yoke that shorts the poles every four poles. By maintaining the symmetry, a pair of diagonal magnetized coils is used, and two pairs of magnetized coils pass a magnetized alternating current whose phase is shifted at the same frequency. 7. The fluorescent magnetic particle flaw detection method according to claim 6, wherein the method is a magnetization method for generating a magnetic field.
9 . 前記磁化するステップが、 2極すなわち 1対の電磁石を被検 查面に垂直な軸の回りに軸対象にかつ磁極が長方形または正方形の 頂点をなすように配置した 4極 1組の 1組または 2組以上で構成さ れ、 当該各組の電磁石の対角の磁極または 4極を継鉄で短絡し、 各 組の 2極 1対の磁極に巻いた 2対の磁化コィルに同一周波数で位相 をずらせた磁化交番電流を通じるステップによ り、 被検査面に 1つ または複数の回転磁場を生成する磁化方法であることを特徴とする 請求項 6記載の蛍光磁粉探傷方法。  9. The step of magnetizing comprises: a pair of four poles in which two poles, i.e., a pair of electromagnets, are arranged symmetrically about an axis perpendicular to the surface to be tested and the poles are rectangular or square vertices. It consists of two or more pairs, and the diagonal poles or four poles of each pair of electromagnets are short-circuited with a yoke, and the same frequency is applied to two pairs of magnetized coils wound around one pair of two poles. The fluorescent magnetic particle flaw detection method according to claim 6, wherein the method is a magnetization method that generates one or a plurality of rotating magnetic fields on a surface to be inspected by a step of passing a magnetization alternating current whose phase has been shifted by (1).
10. 前記撮像するステップの撮像位置に対して相対的に移動する 被検査面上の各点の移動距離を計測するステップと、 距離測定器で 計測された移動距離情報を用いて検出した被検査材の表層疵をマツ ビングするステップを有することを特徴とする請求項 6〜 9のいず れかの項に記載の蛍光磁粉探傷方法。 10. Measuring the moving distance of each point on the surface to be inspected, which moves relatively to the imaging position in the imaging step, and inspecting the object using the moving distance information measured by the distance measuring device. Pine surface flaws The method according to any one of claims 6 to 9, further comprising the step of:
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