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TWI641549B - Carrier handling system and handling method - Google Patents

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TWI641549B
TWI641549B TW104119413A TW104119413A TWI641549B TW I641549 B TWI641549 B TW I641549B TW 104119413 A TW104119413 A TW 104119413A TW 104119413 A TW104119413 A TW 104119413A TW I641549 B TWI641549 B TW I641549B
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高井要
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日商村田機械股份有限公司
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Abstract

於局部台車不設置橫向運送機構，增加可暫時保管的載具數量。在處理裝置的裝載埠間，藉高架行走車與局部台車搬運載具。高架行走車與局部台車一起具備絞車，高架行走車進一步具備橫向運送絞車的橫向運送機構。配置使高架行走車的行走軌道通過裝載埠的正上方部，將局部台車的行走軌道設置在高架行走車的行走軌道的下方且於裝載埠的正上方部。設有可在局部台車的行走軌道正下方的前進位置和從局部台車的行走軌道的正下方向側方離開的後退位置之間自由滑動的滑動暫存區，設有控制局部台車及滑動暫存區的暫存區控制器。為進行載具的移載，在後退位置開放滑動暫存區的上方。藉高架行走車，在裝載埠及位於後退位置的滑動暫存區之間進行載具的移載，並藉局部台車，在裝載埠及位於前進位置的滑動暫存區之間進行載具的移載，並且，局部台車的行走軌道是從裝載埠的正上方部延長而延伸到從正上方部離開局部台車的待機位置為止，局部台車是在待機位置待機。

Description

載具的搬運系統與搬運方法
本發明是關於半導體晶圓等收納用載具的搬運。
以往，為增加半導體處理裝置的運轉率，要求在其裝載埠的附近設置暫時保管裝置(暫存區)。對此申請人提出以專利文獻1(JP2012-111635)，在與高架行走車(OHT：Overhead Hoist Transport)的行走軌道平行並在其下方，設置局部台車的行走軌道。並且，將可移載局部台車與高架行走車雙方的暫存區，設置在局部台車的行走軌道的下方且於裝載埠的正上方以外的部份時，例如可設置四個暫存區。暫存區的數量不足的場合，可考慮在高架行走車與局部台車設置載具的橫向運送機構，在局部台車的行走軌道的斜向下方追加暫存區。
〔先前技術文獻〕 〔專利文獻〕
[專利文獻1]JP2012-111635
但是，一旦在局部台車設置載具的橫向運送機構時，會增加局部台車的高度。因此為了不增加局部台車的高度，有增加可暫時保管載具的數量的必要。本發明的課題，即是在局部台車不設置橫向運送機構，增加、可暫時保管載具的數量。
本發明的載具的搬運系統是在處理裝置的裝載埠間搬運載具，具備：高架行走車，具備使載具升降的絞車，及橫向運送絞車的橫向運送機構；高架行走車的行走軌道，配置在建築物的頂棚空間，並通過裝載埠的正上方部；局部台車，具備使載具升降的絞車；局部台車的行走軌道，設置在高架行走車的行走軌道下方，且於裝載埠的正上方部；滑動暫存區，在上述局部台車的行走軌道正下方的前進位置和從上述局部台車的行走軌道的正下方向側方離開的後退位置之間自由滑動，並可自由裝載載具；及暫存區控制器，控制上述局部台車及上述滑動暫存區， 為進行載具的移載，在上述後退位置開放上述滑動暫存區的上方，上述高架行走車是在裝載埠及位在上述後退位置的滑動暫存區之間進行載具的移載，上述局部台車是在裝載埠及位在上述前進位置的滑動暫存區之間進行載具的移載，並且，上述局部台車的行走軌道是從裝載埠的正上方部延長而延伸到從正上方部離開的局部台車的待機位置為止，上述局部台車是在上述待機位置待機。
本發明的載具的搬運方法是在處理裝置的裝載埠間，藉著具有高架行走車與局部台車的搬運系統，搬運載具，上述搬運系統，具備：高架行走車，具備使載具升降的絞車，及橫向運送絞車的橫向運送機構；高架行走車的行走軌道，配置在建築物的頂棚空間，並通過裝載埠的正上方部；局部台車，具備使載具升降的絞車；局部台車的行走軌道，設置在高架行走車的行走軌道下方，且於裝載埠的正上方部；滑動暫存區，在上述局部台車的行走軌道正下方的前進位置和從上述局部台車的行走軌道的正下方向側方離開的後退位置之間自由滑動，並可自由裝載載具；及 暫存區控制器，控制上述局部台車及上述滑動暫存區，為進行載具的移載，在上述後退位置開放上述滑動暫存區的上方，上述局部台車的行走軌道是從裝載埠的正上方部延長而延伸到從正上方部離開的局部台車的待機位置為止，上述載具的搬運方法是藉上述高架行走車，在裝載埠及位於上述後退位置的滑動暫存區之間進行載具的移載，並藉著上述局部台車在裝載埠及位在上述前進位置的滑動暫存區之間進行載具的移載，上述局部台車是在上述待機位置待機。
局部台車及高架行走車是藉機上的控制器的程式，或上位控制器的程式，構成如上述的動作。並且該說明書中，載具之搬運系統的相關記載也是相當於載具的搬運方法，相反地，載具之搬運方法的相關記載也是相當於載具的搬運系統。並且關於滑動暫存區是以在局部台車的行走軌道的單側沿著行走方向成一列設置複數個為佳，並以在行走軌道的兩側沿著行走方向成兩列設置複數個為佳。
本發明不需增加局部台車的高度，即可藉滑動暫存區增加可暫存載具的個數。滑動暫存區可設裝載埠的正上方部為前進位置，因此較僅設置在局部台車的行走軌道兩端部的場合，可設置更多。高架行走車在與位於後退位置的滑動暫存區之間進行載具的移載，且高架行走車 在與位於前進位置的滑動暫存區之間進行載具的移載，因此對滑動暫存區之移載的控制簡單。局部台車是在從裝載埠的正上方部離開的位置待機，因此即使局部台車發生問題，也不會妨礙裝載埠與高架行走車的移載。
高架行走車具有橫向運送機構，一般在位於後退位置的滑動暫存區，位於前進位置的滑動暫存區，皆可進行載具的移載。並且，藉高架行走車本身的控制，或藉著來自實施例的OHT控制器等的上位的控制器的指令，在位於後退位置的滑動暫存區之間進行載具的移載。藉此，高架行走車與滑動暫存區間的移載不會妨礙局部台車的行走及裝載埠之間的移載。再者局部台車即使藉自我的控制而朝著待機位置移動，仍可根據實施例的暫存區控制器等的上位控制器的指令，朝向待機位置移動。
較佳的是在上述局部台車的行走軌道的正下方，並從裝載埠的正上方部離開的位置，包括上述待機位置的正下方地設置載具可自由載放的固定暫存區。如此一來，可進一步增加暫存區的數量。在此，將固定暫存區設置在比滑動暫存區低一段載具的量的位置時，可以固定暫存區的上部為前進位置，設置滑動暫存區。
並且，作為滑動暫存區以具備可在局部台車的行走軌道的一側方自由滑動的滑動暫存區，及可在另一側方自由滑動的滑動暫存區為佳。並且高架行走車的橫向運送機構是構成絞車可在行走軌道的兩側方自由橫向運送，相對於局部台車之行走軌道一方側的滑動暫存區，或 相對於另一方側的滑動暫存區，高架行走車皆可在後退位置進行載具的移載。如此在局部台車的行走軌道的兩側方設置滑動暫存區，可在與高架行走車之間進行載具的移載為佳。
並以沿著上述高架行走車的行走軌道，設置上述高架行走車與上述暫存區控制器通訊用的終端機，沿著上述局部台車的行走軌道，設置上述局部台車與上述暫存區控制器通訊用的終端機，上述滑動暫存區是由固定在上述後退位置的底座，及在上述前進位置與底座上之間進退的活動的台座構成，進一步設置檢測上述台座位於上述前進位置的感測器，及檢測上述台座位於上述底座上的感測器，上述局部台車是透過終端機對於上述暫存區控制器，構成要求在進入裝載埠正上方部之前的進入許可，在與上述滑動暫存區的移載之前，要求移載的許可，上述高架行走車是透過終端機對於上述暫存區控制器，構成在與裝載埠之間的移載之前要求與裝載埠的移載的許可，並且在與上述滑動暫存區之間的移載之前，要求與上述滑動暫存區的移載的許可，上述暫存區控制器是透過終端機對上述局部台車，如與來自上述高架行走車之裝載埠的移載不衝突的場合，給與進入許可，上述滑動暫存區位於前進位置的場合，許可移載，並透過終端機對上述高架行走車，如與上述局部台車 的進入不衝突的場合，許可與裝載埠的移載，構成上述滑動暫存區位於後退位置的場合，許可與滑動暫存區的移載為佳。
如上述時，可藉著透過終端機的通訊排除高架行走車與裝載埠之間的移載，及與局部台車的行走之間的干涉。因此，可排除高架行走車與局部台車間的干涉。並檢測滑動暫存區位在前進位置或是位在後退位置而許可移載，因此高架行走車或局部台車不致於在未預定位置的滑動暫存區之間進行移載。
2、40、60‧‧‧暫時保管裝置
4‧‧‧高架行走車的行走軌道
6‧‧‧處理裝置
7‧‧‧通路
8‧‧‧局部台車的行走軌道
10‧‧‧局部台車
12‧‧‧滑動暫存區
13‧‧‧框架
14‧‧‧固定暫存區
16‧‧‧裝載埠
18‧‧‧載具
20‧‧‧光感測器
21‧‧‧反射板
22‧‧‧暫存區控制器(控制器)
24‧‧‧架台
25、26‧‧‧前面
30‧‧‧高架行走車(OHT)
32‧‧‧行走部
33‧‧‧橫向運送機構
34‧‧‧升降驅動部
35‧‧‧升降台
36‧‧‧輸送帶
38‧‧‧防止落下外罩
40‧‧‧頂棚
41、43‧‧‧支柱
42‧‧‧安裝部
70‧‧‧底座
71‧‧‧軌道
72‧‧‧台座
73‧‧‧車輪
74‧‧‧定位銷
75‧‧‧載具感測器
76‧‧‧著位感測器
77‧‧‧ID讀取器
78‧‧‧汽缸
79‧‧‧活塞
80‧‧‧線性導件
81‧‧‧軌道
82‧‧‧帶齒輸送帶
83、84‧‧‧感測器
85‧‧‧電纜導件
86‧‧‧車輪
87‧‧‧升降驅動部
88‧‧‧升降台
90‧‧‧材料管理系統(MCS)
92‧‧‧OHT控制器
100~102‧‧‧終端機
第1圖為實施例之載具的搬運系統的主要部上視圖。
第2圖為實施例之載具的暫時保管裝置的附帶部份缺口部側視圖。
第3圖為實施例之搬運系統的附帶部份缺口部側視圖。
第4圖為模式表示使收容能力更大的變形例的主要部上視圖。
第5圖為模式表示使收容能力更大的變形例的主要部側視圖。
第6圖為模式表示對應小處理裝置的變形例的主要部上視圖。
第7圖為滑動暫存區的上視圖。
第8圖為局部台車的上視圖。
第9圖表示實施例的控制系的方塊圖。
第10圖表示實施例的聯鎖機構的方塊圖。
第11圖表示實施例的藉高架行走車進行移載演算法的圖。
第12圖表示實施例的高架行走車與局部台車的干涉之迴避演算法的圖。
第13圖是以支柱從頂棚支撐載具的暫時保管裝置之變形例的附帶部份缺口部側視圖。
以下表示用於實施本發明的最適當實施例。本發明的範圍是根據申請專利範圍的記載，參酌說明書的記載及該領域的習知技術，並根據該業者的理解應可決定。
〔實施例〕
第1圖~第12圖表示實施例的載具的搬運系統與其變形例。搬運系統是由高架行走車系統與暫時保管裝置2構成，皆設置於無塵室內等，從無塵室的頂棚支撐著第3圖表示的高架行走車30(OHT)的行走軌道4。6是半導體等的處理裝置，在處理裝置包括檢查裝置，具備1個~複數個裝載埠16。又半導體晶圓、中間光柵等的物品是收納於FOUP(Front-Opening Unified Pod)等的載具18，暫時保管於滑動暫存區12、固定暫存區14，並藉著高架行走車(OHT)30與局部台車10搬運。
暫時保管裝置2是在無塵室內的通路7，配置在不與人干涉的高度。局部台車10在暫時保管裝置2的最上部，沿著一對局部台車的行走軌道8、8，使得裝載埠16的列的正上方部與處理裝置6平行地行走。局部台車的行走軌道8、8之間，具有載具18可通過的間隙，高架行走車30與局部台車10通過局部台車的行走軌道8、8間隙的方式進行載具18的移載。
與裝載埠16等對應的位置，在暫時保管裝置2的框架13上支撐滑動暫存區12。滑動暫存區12是在位於局部台車的行走軌道8、8正下方的前進位置與從局部台車的行走軌道8、8的下部離開的後退位置之間自由進退。並較佳的是除滑動暫存區12以外，將固定暫存區14設置在局部台車的行走軌道8、8的兩端或一端。並且裝載埠16的上部與固定暫存區14的上部成為局部台車10及高架行走車30的停止位置，固定暫存區14的上部也是局部台車10的待機位置。並且也可設置滑動暫存區12取代固定暫存區14而不設置固定暫存區14。以除了裝載埠16上部的位置作為局部台車10的待機位置，因此即使局部台車10發生問題，也不致妨礙裝載埠16與高架行走車30的移載。
局部台車10及高架行走車30的停止位置是與裝載埠16及固定暫存區14成1：1對應，在每個停止位置設有第10圖表示的終端機100~102，成立高架行走 車30的移載作業與局部台車10的進入的聯鎖。20為光感測器、21為反射板，該等是設置在各個停止位置。並屏蔽與反射板21之間，因此可藉光感測器20檢測來自高架行走車30的升降台、吊掛升降台的輸送帶或者把持於升降台的載具。22為暫存區控制器，進行局部台車10的控制與滑動暫存區12的控制、高架行走車30與局部台車10的聯鎖及與處理裝置6的通訊。
如第2圖、第3圖表示，暫時保管裝置2是被門型的架台24所支撐，架台24的通路7側的前面25是相對於通路7，在與裝載埠16的前面26大致相同的位置進行，或位在比前面26接近處理裝置6的位置。因此通路7的寬度W是根據裝載埠16的位置來決定，即使設置暫時保管裝置2也不會使通路7的寬度W變窄。再者大致相同的是前面的差是例如±100mm以下，尤其是±50mm以下，較佳為前面25、26位於大致相同的位置。但是暫時保管裝置2也可以從無塵室的頂棚或高架行走車30的行走軌道4垂下。但是在架台24支撐暫時保管裝置2並搬入無塵室內，一旦定位時，可容易設置暫時保管裝置2。並且使得架台24的前面25不在比裝載埠16接近通路7側進出時，則不會使通路7變窄。
將高架行走車30的構造表示於第3圖。行走部32在行走軌道4內行走的同時支撐橫向運送機構33，橫向運送機構33是在行走軌道4於水平面內朝著直角的方向橫向運送升降驅動部34。升降驅動部34送出及捲繞 輸送帶36等的吊掛具，夾持載具18及進行自由釋放升降台35的升降。升降驅動部34、升降台35及輸送帶36是構成絞車。並且，上述的光感測器20是檢測絞車及被絞車所支撐的載具。38為防止載具18落下的防止落下外罩，除該等之外，也可追加使得升降驅動部34在垂直軸周圍轉動的機構。並且不具備橫向運送機構33的高架行走車使滑動暫存區12朝向局部台車的行走軌道8、8的下部前進移載。
第1圖~第3圖的暫時保管裝置2是具備4個滑動暫存區12，並具備2個固定暫存區14，處理裝置6的裝載埠16例如為4個。對此，相對於4個裝載埠16，將載具18的收容能力最大的暫時保管裝置40表示於第4圖、第5圖。暫時保管裝置40中，固定暫存區14是設置在比滑動暫存區12低載具一段量的高度的位置(第5圖)，其結果，可增加暫時保管裝置40具有的高度。滑動暫存區12是設置在局部台車的行走軌道8、8的兩側，在固定暫存區14的上部也設置使得從裝載埠16離開的滑動暫存區12’前進。其結果，可設置8個滑動暫存區12、4個從裝載埠16離開的滑動暫存區12’、2個固定暫存區14，固定暫存區14的上部為局部台車10的待機位置。
第6圖表示對應小型的處理裝置6’之收容能力小的暫時保管裝置60。處理裝置6’具備2個裝載埠16，暫時保管裝置60具備4個滑動暫存區，並以從裝載埠16離開的滑動暫存區12’的上部為局部台車10的待機 位置。並且如第5圖表示時，雖可追加2個固定暫存區14，但是暫時保管裝置60具有的高度會增加。
第7圖是表示滑動暫存區12的構造，70為底座被固定在暫時保管裝置的框架上，沿著軌道71、71，在前進位置與後退位置之間，台座72藉著車輪73前進後退。再者前進位置是在局部台車的行走軌道的正下方，後退位置則是在從其離開的位置。設置於台座72的例如3個定位銷74將載具18的底部定位。載具感測器75是檢測載具18的有無，著位感測器76檢測載具18是否著位於定位銷74上的正確位置，ID讀取器77是讀取載具的ID。並且也可不設置ID讀取器77，感測器75、76、ID讀取器77也可同樣設置於固定暫存區。
藉氣壓缸、油壓缸等的汽缸78與活塞79，或是藉未圖示的馬達與帶齒輸送帶等，使線性導件80沿著軌道81前進後退。藉帶齒輸送帶82等所成的倍速機構，以線性導件80的2倍行程，使台座72前進後退。並且該倍速機構被廣泛運用於滑動叉架，又台座72的前進後退的機構為任意。感測器83檢測線性導件80位於後退位置，感測器84檢測線性導件80位於前進位置。電纜導件85可自由彎曲地引導電源線與訊號線，將感測器75、76、ID讀取器77連接於底座70側。感測器83、84的作用是檢測台座72的位置，也可以在軌道71安裝檢測台座的前端位置的光感測器，及檢測後端位置的光感測器等。
第8圖表示局部台車10的構造。局部台車10 是沿著一對局部台車的行走軌道8、8，藉車輪86與未圖示的馬達行走，並藉升降驅動部87與未圖示的輸送帶等，使得載具18夾持/釋放自如用的升降台88升降。局部台車10除此之外，並具備與暫存區控制器22的通訊裝置及與高架行走車30之聯鎖用的終端機的通訊裝置、電池等的電源、機上的控制器。
第9圖表示暫時保管裝置2與其周圍的控制系。材料管理系統(MCS)90是與未圖示的上位控制器等通訊，接收載具之搬運相關的要求，對OHT控制器92與暫存區控制器22進行搬運的指示。OHT控制器92是對複數台的高架行走車30進行搬運指示，暫存區控制器22是對局部台車10進行搬運的指示，並控制滑動暫存區12的前進後退。暫存區控制器22是藉著光感測器20、感測器75、76、ID讀取器77、感測器83、84及後述的終端機等，檢測暫時保管裝置2的狀態(各暫存區之載具的有無與滑動暫存區12的位置)，並進行高架行走車30與局部台車10的聯鎖。
第10圖表示高架行走車30與局部台車10的聯鎖機構。光感測器20是檢測來自高架行走車30的輸送帶、升降台等的絞車，或檢測高架行走車30升降的載具。藉此，可和高架行走車30的停止位置一起檢測出高架行走車30進行載具的移載。
高架行走車30在與行走軌道正下方的裝載埠、固定裝載埠及在行走軌道正下方前進的滑動暫存區之 間，進行載具移載的場合，透過終端機100對暫存區控制器22要求移載的許可。局部行走車10在與該等的位置之間進行載具移載的場合，透過終端機101對暫存區控制器22要求移載的許可。
暫存區控制器22是根據感測器83、84的訊號來檢測滑動暫存區的位置，並確認，滑動暫存區與固定暫存區之載具的有無，可移載的場合即許可其要求。又暫存區控制器22是與處理裝置6通訊，將高架行走車30及局部台車10與裝載埠之間的載具的移載要求轉送至處理裝置6，從處理裝置6接收許可訊號。暫存區控制器22是依據上述的處理，從終端機100、101，對高架行走車30與局部台車10送出移載的許可。來自暫存區控制器22的移載許可訊號被設定於終端機100、101，在高架行走車30與局部台車10確認移載的許可之後，執行移載。
局部台車10與高架行走車30移載的相關處理已作說明，但從高架行走車30的移載是與局部台車10的進入衝突。為此局部台車10在每欲進入停止位置時，透過終端機101，要求暫存區控制器22的許可。暫存區控制器22只要不與高架行走車30的移載干涉，則在每停止位置許可來自局部台車10的進入要求，局部台車10在透過終端機101確認進入許可訊號之後，進入許可的停止位置。
高架行走車30是在與後退位置(從局部台車10的行走軌道下方離開的位置)具有的滑動暫存區之 間，可藉橫向運送裝置進行載具的移載。該移載是不與局部台車10的行走干涉，也不與局部台車10進行的移載干涉。此時，高架行走車30從終端機102對暫存區控制器22要求移載的許可暫存區控制器22在所要求的滑動暫存區為可移載的狀態時，許可其要求。並可以使終端機102與終端機100成為一體。
對裝載埠及固定暫存區的高架行走車30進行的移載時，雖干涉局部台車10的進入(行走)，但是藉終端機100，101進行聯鎖可迴避干涉。即使透過終端機100的聯鎖仍有不充分的場合，藉著來自高架行走車30的輸送帶、升降台、載具等的檢測，可迴避局部台車10與高架行走車30的干涉。位在後退位置的滑動暫存區與高架行走車30的移載，可透過終端機102而成立聯鎖。又，暫存區控制器22可藉著感測器83、84，檢測滑動暫存區的位置。
該等的聯鎖並非暫存區控制器22，也可以其他的控制器來處理。又暫存區控制器22從局部台車10接收位置的報告的場合，對內置有暫存區控制器22的聯鎖處理部要求局部台車10的進入許可或自我許可來取代終端機101與局部台車10的通訊。
第11圖表示藉高架行走車進行與暫時保管裝置的移載演算法的圖。與滑動暫存區的移載(處理p1)中，只要高架行走車具備橫向搬運裝置，使得滑動暫存區從行走軌道的下方位置後退，在不與局部台車干涉的位置 移載。不具有橫向運送裝置的場合，則使滑動暫存區朝向行走軌道的下方前進移載，此時的聯鎖是與裝載埠的移載相同。
與裝載埠的移載(處理p2)是使滑動暫存區從第1圖的局部台車的行走軌道8、8的正下方後退移載。且在與固定暫存區的移載(處理p3)如第5圖表示，在固定暫存區上具有滑動暫存區的場合，則使得滑動暫存區從固定暫存區的上部後退進行移載。
第12圖表示高架行走車與局部台車的干涉之迴避演算法。高架行走車(OHT)在與位於局部台車的行走軌道正下方的滑動暫存區、裝載埠、固定暫存區之間，進行載具移載的場合，事先透過終端機要求移載的許可。又，局部台車是對每欲進入的停止位置要求進入的許可，移載的場合，除進入的許可外，並要求移載的許可。並在相同的停止位置，藉著僅許可來自高架行走車的移載要求與局部台車之進入要求的其中一方，可迴避高架行走車與局部台車的干涉(處理p5)。
在高架行走車與裝載埠等的移載開始之後一旦引起錯誤時，會有對終端機不能送出移載中的訊號。在此狀況下，有暫存區控制器會有不能辨識高架行走車是在移載中的可能性。藉暫存區控制器永久記憶高架行走車是在移載中即可解決此一問題，但高架行走車的絞車、升降中的載具等則可確實以第1圖的光感測器20檢測出。為此檢測出絞車等時，禁止局部台車進入其停止位置(處理 p6)。
在局部台車對每停車位置要求進入的許可。暫存區控制器在對局部台車許可進入的範圍中，不許可高架行走車進行與裝載埠等的移載(處理p7)。再者與從第1圖的局部台車的行走軌道8、8的下方離開的位置具有的滑動暫存區的移載不會與局部台車干涉。因此，不須進行干涉的迴避處理(處理p8)。
再者如第13圖表示，從無塵室的頂棚40藉著支柱41與安裝部42，支撐暫時保管裝置2，架台24也可以省略。且43為高架行走車30的行走軌道4的支柱。

Claims (8)

  1. 一種載具的搬運系統，係於處理裝置的裝載埠間搬運載具，具備：高架行走車，具備使載具升降的絞車，及橫向運送絞車的橫向運送機構；高架行走車的行走軌道，配置在建築物的頂棚空間，並通過裝載埠的正上方部；局部台車，具備使載具升降的絞車；局部台車的行走軌道，設置在高架行走車的行走軌道下方，且於裝載埠的正上方部；滑動暫存區，在上述局部台車的行走軌道正下方的前進位置和從上述局部台車的行走軌道的正下方向側方離開的後退位置之間自由滑動，並可自由裝載載具；及暫存區控制器，控制上述局部台車及上述滑動暫存區，為進行載具的移載，在上述後退位置開放上述滑動暫存區的上方，上述高架行走車是在裝載埠及位在上述後退位置的滑動暫存區之間進行載具的移載，上述局部台車是在裝載埠及位在上述前進位置的滑動暫存區之間進行載具的移載，並且，上述局部台車的行走軌道是從裝載埠的正上方部延長而延伸到從正上方部離開的局部台車的待機位置為 止，上述局部台車是在上述待機位置待機。
  2. 如申請專利範圍第1項記載的載具的搬運系統，其中，在上述局部台車的行走軌道的正下方，並從裝載埠的正上方部離開的位置，包括上述待機位置的正下方地設置載具可自由載放的固定暫存區。
  3. 如申請專利範圍第1項記載的載具的搬運系統，其中，作為上述滑動暫存區具備，可在上述局部台車的行走軌道的一側方自由滑動的滑動暫存區，及可在另一側方自由滑動的滑動暫存區，上述高架行走車的橫向運送機構是構成絞車可在行走軌道的兩側方自由橫向運送，相對於上述局部台車之行走軌道一方側的滑動暫存區，或相對於另一方側的滑動暫存區，上述高架行走車皆可在上述後退位置進行載具的移載。
  4. 如申請專利範圍第2項記載的載具的搬運系統，其中，作為上述滑動暫存區具備，可在上述局部台車的行走軌道的一側方自由滑動的滑動暫存區，及可在另一側方自由滑動的滑動暫存區，上述高架行走車的橫向運送機構是構成絞車可在行走軌道的兩側方自由橫向運送，相對於上述局部台車之行走軌道一方側的滑動暫存區，或相對於另一方側的滑動暫存區，上述高架行走車皆可在上述後退位置進行載具的移載。
  5. 如申請專利範圍第1項至第4項中任一項記載的載具的搬運系統，其中，沿著上述高架行走車的行走軌道，設置上述高架行走車與上述暫存區控制器通訊用的終端機，沿著上述局部台車的行走軌道，設置上述局部台車與上述暫存區控制器通訊用的終端機，上述滑動暫存區是由固定在上述後退位置的底座，及在上述前進位置與底座上之間進退的活動的台座構成，進一步設置檢測上述台座位於上述前進位置的感測器，及檢測上述台座位於上述底座上的感測器，上述局部台車是透過終端機對於上述暫存區控制器，在進入裝載埠正上方部之前要求進入許可，構成在與上述滑動暫存區的移載之前，要求移載的許可，上述高架行走車是透過終端機對於上述暫存區控制器，在與裝載埠之間的移載之前要求與裝載埠的移載的許可，並且構成在與上述滑動暫存區之間的移載之前，要求與上述滑動暫存區的移載的許可，上述暫存區控制器是透過終端機對上述局部台車，如與來自上述高架行走車之裝載埠的移載不衝突的場合，給與進入許可，上述滑動暫存區位於前進位置的場合，許可移載，並透過終端機對上述高架行走車，如與上述局部台車 的進入不衝突的場合，許可與裝載埠的移載，構成上述滑動暫存區位於後退位置的場合，許可與上述滑動暫存區的移載。
  6. 一種載具的搬運方法，係於處理裝置的裝載埠間，藉著具有高架行走車與局部台車的搬運系統，搬運載具的載具的搬運方法，上述搬運系統，具備：高架行走車，具備使載具升降的絞車，及橫向運送絞車的橫向運送機構；高架行走車的行走軌道，配置在建築物的頂棚空間，並通過裝載埠的正上方部；局部台車，具備使載具升降的絞車；局部台車的行走軌道，設置在高架行走車的行走軌道下方，且於裝載埠的正上方部；滑動暫存區，在上述局部台車的行走軌道正下方的前進位置和從上述局部台車的行走軌道的正下方向側方離開的後退位置之間自由滑動，並可自由裝載載具；及暫存區控制器，控制上述局部台車及上述滑動暫存區，為進行載具的移載，在上述後退位置開放上述滑動暫存區的上方，上述局部台車的行走軌道是從裝載埠的正上方部延長而延伸到從正上方部離開的局部台車的待機位置為止，上述載具的搬運方法是藉上述高架行走車，在裝載埠 及位於上述後退位置的滑動暫存區之間進行載具的移載，並藉著上述局部台車在裝載埠及位於上述前進位置的滑動暫存區之間進行載具的移載，上述局部台車是在上述待機位置待機。
  7. 如申請專利範圍第6項記載的載具的搬運方法，其中，上述搬運系統作為上述滑動暫存區，具備：可在上述局部台車的行走軌道的一側方自由滑動的滑動暫存區，及可在另一側方自由滑動的滑動暫存區，上述高架行走車的橫向運送機構是構成絞車可在行走軌道的兩側方自由橫向運送，上述載具的搬運方法是相對於上述局部台車之行走軌道一方側的滑動暫存區，或相對於另一方側的滑動暫存區，上述高架行走車皆可在上述後退位置進行載具的移載。
  8. 如申請專利範圍第6項或第7項記載的載具的搬運方法，其中，上述搬運系統具備：沿著上述高架行走車的行走軌道設置，且係上述高架行走車與上述暫存區控制器通訊用的終端機，及沿著上述局部台車的行走軌道設置，且係上述局部台車與上述暫存區控制器通訊用的終端機，上述滑動暫存區是由固定在上述後退位置的底座，及在上述前進位置與底座上之間進退的活動的台座構成，上述載具的搬運方法，進一步藉第1感測器檢測上述台座位於上述前進位置，並藉第2感測器檢測上述台座位 於上述底座上，上述局部台車是透過終端機對於上述暫存區控制器，在進入裝載埠正上方部之前要求進入許可，在與上述滑動暫存區的移載之前，要求移載的許可，上述高架行走車是透過終端機對於上述暫存區控制器，在與裝載埠之間的移載之前要求與裝載埠的移載的許可，並且在與上述滑動暫存區之間的移載之前，要求與上述滑動暫存區的移載的許可，上述暫存區控制器是透過終端機對上述局部台車，如與來自上述高架行走車之裝載埠的移載不衝突的場合，許可進入，上述滑動暫存區位於前進位置的場合，許可移載，並透過終端機對上述高架行走車，如與上述局部台車的進入不衝突的場合，許可與裝載埠的移載，上述滑動暫存區位於後退位置的場合，許可與滑動暫存區的移載。
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Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106463442B (zh) * 2014-06-19 2019-11-05 村田机械株式会社 载具的临时保管装置以及临时保管方法
US10734267B2 (en) * 2015-08-14 2020-08-04 Murata Machinery, Ltd. Conveyance system
JP6652106B2 (ja) * 2017-05-10 2020-02-19 株式会社ダイフク 物品搬送設備
KR102020227B1 (ko) * 2017-08-24 2019-09-10 세메스 주식회사 캐리어 이송 장치 및 방법
US10622236B2 (en) 2017-08-30 2020-04-14 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Apparatus and method for handling wafer carrier doors
WO2019087571A1 (ja) * 2017-11-02 2019-05-09 村田機械株式会社 天井搬送車システム及び天井搬送車システムでの物品の一時保管方法
CN113056405B (zh) * 2018-10-29 2024-08-06 村田机械株式会社 高架搬运车以及高架搬运车系统
JP2022522146A (ja) 2019-03-01 2022-04-14 ラム リサーチ コーポレーション 一体型ツール昇降機
KR102303109B1 (ko) 2019-07-05 2021-09-15 세메스 주식회사 반송체 제어 장치 및 이를 구비하는 반송체 제어 시스템
TWI741711B (zh) * 2020-04-30 2021-10-01 盟立自動化股份有限公司 懸掛式搬運系統及多節式搬運裝置
CN113998403B (zh) * 2020-07-28 2022-09-23 长鑫存储技术有限公司 转运系统及转运方法
US12131932B2 (en) 2020-07-28 2024-10-29 Changxin Memory Technologies, Inc. Transfer system and transfer method

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW201004854A (en) * 2008-07-07 2010-02-01 Semes Co Ltd Substrate processing apparatus and method for transferring substrate for the apparatus
TW201219285A (en) * 2010-11-04 2012-05-16 Muratec Automation Co Ltd Transport system and transport method
TW201233611A (en) * 2010-11-04 2012-08-16 Muratec Automation Co Ltd System and method for transporting an article between processing devices
TWI449116B (zh) * 2007-08-30 2014-08-11 Tokyo Electron Ltd Container exchange system, container exchange method and substrate processing system
TWI462862B (zh) * 2010-03-08 2014-12-01 Daifuku Kk 物品搬送設備

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20080240892A1 (en) * 2007-03-28 2008-10-02 International Business Machines Corporation Storage buffer device for automated material handling systems
JP2010184760A (ja) * 2009-02-10 2010-08-26 Muratec Automation Co Ltd 移載システム
JP5212165B2 (ja) * 2009-02-20 2013-06-19 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置
WO2010135205A2 (en) * 2009-05-18 2010-11-25 Crossing Automation, Inc. Integrated systems for interfacing with substrate container storage systems

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI449116B (zh) * 2007-08-30 2014-08-11 Tokyo Electron Ltd Container exchange system, container exchange method and substrate processing system
TW201004854A (en) * 2008-07-07 2010-02-01 Semes Co Ltd Substrate processing apparatus and method for transferring substrate for the apparatus
TWI462862B (zh) * 2010-03-08 2014-12-01 Daifuku Kk 物品搬送設備
TW201219285A (en) * 2010-11-04 2012-05-16 Muratec Automation Co Ltd Transport system and transport method
TW201233611A (en) * 2010-11-04 2012-08-16 Muratec Automation Co Ltd System and method for transporting an article between processing devices

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US20170194182A1 (en) 2017-07-06
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CN106663649B (zh) 2019-05-21

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