TWI317420B

TWI317420B - Apparatus and method for orthogonal alignment of a specimen hard-docked to a tester with a tiltable imager

Info

Publication number: TWI317420B
Application number: TW095104273A
Authority: TW
Inventors: Jonathan Frank; Rick Portune
Original assignee: Dcg Systems Inc
Priority date: 2005-02-10
Filing date: 2006-02-08
Publication date: 2009-11-21
Also published as: US20060176477A1; US7480051B2; KR20070101396A; WO2006086637A1; TW200636221A; KR101213008B1

Description

一顯像器之傾斜以允許對準允許硬對接到連接於該試片

1317420 九、發明說明：【發月所屬之技術領域】本發明關於一種用於控制於一試片的設備與方法，其可的一測試器。【先前技術】、♦先前技術當中已有許多種用於檢測試片（例如基板）的光于系統。這種系統當中的一例可見於美國專利編號 6’621’275，其已授權給本受讓人，並在完整引述做為參照這些系統可用於半導體基板或積體電路之檢測或測試及除錯。用於透過該矽基板顯像覆晶式積體電路的系統示例係揭示於美國專利編號5,2〇8,648， 5,220,403及 5,940,545，其皆在此完整引述做為參照。第1 A圖及第1 B圖為連接到一放射測試及除錯系統之自動化測試系統（AT E)的配置中主要組件的概要架構圖（例如美國加州Milpitas的Credence Systems公司所提供的 SapphireTM and the EmiScopeTM) ’ 可有助於瞭解本發明。類似於EmiScope之系統係揭示於共同授權之美國專利申請案第1 0/9 1 2,896號，其在此完整引述做為參照。由本說明可以瞭解到此配置係用於例示本發明之特徵；但是，本發明之應用性並不限於這樣的配置’而是更可應用到許多其它系統及配置。在第1A圖及第1B圖中，顯示出ATE 100之測試頭11〇 5 1317420

延伸於該放射測試器1 5 0之上，藉以透過彈性連接器1 1 5連接到受測裝置（DUT，"Device under test")130。該測試頭 110可使用操縱臂105來移動對接。該ATE 100通常包括_ 控制器，例如一預先程式化的電腦1 0 5，其可利用本技術所熟知的方式產生及傳遞測試信號到該DUT 1 3 0。尤其是該 ATE 1 00係用於產生信號以促使DUT 1 3 0執行多項工作，其係由晶片設計者所設計來檢查及/或除錯該DUT 1 3 0。由該控制器1 0 5所產生的多種信號透過連接器！丨5傳遞到該DUT 130»如本技術中所熟知，當DUT 13 0對於自該ATE接收到多種測試信號做反應時，D U T的多個主動元件即會放射光線。然後該光線由該放射測試器1 5 〇偵測，並由該放射測試器150使用來解譯DUT 1 3 0之運作。在該放射測試器端，DUT 13〇係爽持在一轉接板155 上，其透過傾斜機制165連接到一自我調整及隔絕振動之工作台1 6 0。該傾斜機制165可使用伺服馬達來實施，或是利用在先前引述之共同授權的專利中請案中有更為完整說明之方法來實施。目為僅顯示一個傾斜機制，其必須瞭解到可使用多種機制來達到所需要之傾斜的適當自由度。該工作台16〇可以是任何商章庫用夕自_ 系應用之自我調整及隔絕振動的工作台（例如美國麻州B〇Ston的Febreeka®所提供的

Precision-Aire™ ? 公司所提供的光學或是美國麻州Boston的Kinetic Systems 台5000系列）。這種工作台通常包括一置於活塞170上的桌面175。每個活塞170例如可用氣動方式運 6

其可瞭解到，為了最大的集光效率 1317420 作上升或下降，藉以調整到桌面丨7 5。一水平控制閥1 8 〇可用於控制該活塞，藉以提供該桌面175之自動調整。一 x_y_z 床台1 8 5連接到該桌面1 7 5之底部。該床台1 8 5係用於支撐及引導該集光器190 ’藉以收集來自DUT 130之光線。該集光器可包括一接物鏡及—固態浸沒透鏡（SIL)，其為本技術中所熟知。該放射測試器之多種元件由—控制器1 9 5透過連接器120控制’其可由預先程式化的一泛用型電腦來執行特定的工作。測的表面需要正交於該集光器190之光學軸。為此目的，該傾斜機制1 6 5即可操作於傾斜該轉接板丨5 5，如雙箭頭所不，藉以達到所想要的對準。在第！ A圖中，該轉接板i 5 5 顯示成與該桌面I75同高，而在第⑺圖中，該轉接板1§5顯示成傾斜於該桌面175。但是，當可操作該可傾斜機制165 來傾斜該轉接板155時，如第1B圖中所示該測試頭ιι〇為不動，且不會隨該轉接板155移動。因此在先前技術中，使用一彈性連接器U5來維持該測試頭n〇與dut 13〇之間的連接。但卜這種彈性轉接器之使用會造成這種配置的一些缺點。這種彈性轉接器較為複雜及昂貴。此外，為了維持準確的測試，每個這種彈性轉接^要被Μ $ Μ 化，而增加了該配置的成本。不只是該特性化，該彈性轉接器會造成測試的…。再者，該轉接器會受到由於重複傾斜造成的重複應力’而會過早失效因此，在本技術中需要一種系統可以允許將該测試頭 7

1317420 對接於該DUT，而不需要彈性轉接器，即所謂的硬對接而仍可維持將該DUT對準於集光器光學轴之能力。【發明内容】本發明人提供一種用於硬對接測試頭到DUT的設備方法，其可允許要檢測的試片可以在角度上對準於一光測試工具的光學轴。在本發明一個態樣中，提供用於正交對準一試片到集光器之光學軸的系統。該系統包含一自我調整桌面；試片夾持器，用於耦合到該桌面，並夾持在一固定方向集光器，其耦合於該桌面；一活塞，其耦合於該桌面，用於維持該桌面的調整方向；一控制閥，可感應該桌面調整方向，並耦合於該活塞來控制該活塞的操作；及一準器，其耦合於該桌面，並可操作於改變該集光器之光轴相對於該試片的對準，而不需要改變該試片夾持器之定方向。在多種所例示的實施中，該對準器之結構為一阻閥，用於阻斷該控制閥之運作，及一傾斜機制，其耦合該桌面與該試片夾持器之間。該傾斜機制可以實施成複電動馬達。根據另一種實施，該對準器之結構為數個起器，每個即耦合於該等活塞及該桌面。根據又另一種實友該對準器之結構為支撐了該集光器之一傾斜床台。該「斜床台」的意義為允許改變該光學軸相對於該試片之角對準之床台，而相對於允許在該試片的平面上以及與其與學並的對學固斷於數重 ^ > 傾度距 8

1317420 離之引導的床台。根據另一種實施，該集光器係耦合於一夾持器，且該夾持器包含旋轉機制，其可允許改變該光學轴相對於該試片的角度對準。本發明多種具體實施例亦可提供一種方法以相對於一試片導向一光學系統。該方法特別適用於一種光學系統，其具有一桌面、耦合於該桌面的集光器、及耦合於該桌面的一試片夾持器。該方法之步驟為放置該試片於該試片夾持器中；固定該試片夾持器在一固定的方向；並控制該光學系統，藉以放置該集光器在一個方向上，可使該集光器之光學轴垂直於該試片上所要的一區域，而不會干擾該試片夾持器之固定方向。在一示例中，控制該光學系統之程序係由傾斜該桌面來實施。根據另一示例，控制該光學系統之程序係由傾斜該集光器來實施。當使用一固態浸沒透鏡時，一旦到達適當的傾斜，該SIL會接觸到該試片。在一更為特定的實施中，提供了一種測試一積體電路 (1C)之系統，其可模擬操作條件。該系統包括一桌面；一耦合於該桌面的試片夾持器。該IC係裝設於該試片夾持器上；一集光器配置，耦合於該桌面；一轉接器，用於硬對接一測試頭到該IC，藉此夾持該試片夾持器在一固定方向上；一對準器，耦合於該桌面，並可操作於改變該集光器之光學轴相對於該IC的對準，而不需要改變該試片夾持器之固定方向。在多種實施例中，該系統另可包括複數活塞，其耦合於該桌面，並可操作於維持該桌面的調整方向，及複數控 9

式方施實 rL 1317420 制閥，其每個可感應該桌面的調整方向，並個別耗合於該等活塞之一來控制該活塞的操作。該系統亦可包括阻斷閥’其可用於阻斷個別的控制閥之操作，及一傾斜機制，其耦合於該桌面與該試片夾持器之間。該傾斜機制可以實施成複數個電動馬達’例如步進馬達或伺服馬達。該可傾式夾持器可以實施成一測試工作台，其具有起重器系統，可操作於調整該測試工作台之傾斜，且該起重器系統可以實施成複數個起重器及複數個馬達，每個馬達輛入於一個別的起重器》該對準器另可實施成複數個起重器，其搞合於個別的活塞，或是成為支撐該集光器之傾斜床a。現在將參照第2 A圖及第2 B圖來詳細說明本發明一具體實施例，為了說明起見，將以實施於第I A圖及第丨B圖中的系統來描述。這種系統可特別適用於積體電路之光子放射測試。因為來自積體電路之光子放射非常微弱，參照第 2A圖及第2B圖所述之系統使用一固態浸沒透鏡（SIL)。但疋’本技術專業人士可立即觀察到本發明可輕易地實施於使用了 SIL及未使用SIL的其它光學系統當中。在第2A圖及第2B圖當中，相同於或類似於第1A圖及第 1B圖中之元件具有相同的序號’除非是在2〇〇系列而非1〇〇系列。為了例示本發明所解決的問題，該DUT 230在第2A 圖及第2B圖中係描述為具有一歪斜表面。因此，該dut 230 之表面並未垂直於該集光器290之光學軸。此由虛線"p"表 10

1317420 示，其代表了垂直於該DUT 2 3 0之表面的線，而虛線" 代表了集光器290之光學軸。當然，本發明亦可應用在其它場合，例如當DUT之表面為不規則，且要檢查的一局部區域並未垂直於該集光器290之光學軸。在第2Α圖及第2Β圖之具體實施例中，將一阻斷閥225 插入在每個水平控制閥2 8 0之每條線上。每個阻斷閥2 2 5可以用手動控制或遙控。如果該阻斷閥為遙控，其可連接到該控制器2 9 5，而根據該控制器2 9 5所執行的程式來控制。該阻斷閥2 2 5之功能為阻斷該控制閥2 8 0之運作，並將其脫離於該活塞2 7 0。當該阻斷閥2 2 5在開放位置時，該水平控制閥280即耦合於該活塞270，並可操作於維持該桌面275 之高度。另一方面，當該阻斷閥在封閉位置時，該水平控制閥2 8 0不能夠改變施加於該活塞2 7 0之壓力，因此該活塞 270不能夠維持該桌面在一水平位置。更特定而言，如在先前技術中所知，一自我調整氣動式桌面使用氣壓來維持該桌面在一高度位置。舉例而言，該桌面可放置在四個活塞上，其每個皆可連接到一控制閥。當放置一重量在該桌面的一側而干擾該桌面的平衡時，該干擾即由該等控制閥所感應，其即會改變活塞内的壓力，藉以回復該桌面到一水平位置。在正常操作下，該桌面可被允許自動地維持其水平位置，而使用床台285來引導該集光器290，所以可以檢測到DUT 230之適當區域。但是，如前所述，有時候要被檢測的區域並未垂直地對準於該集光器290之光學軸。這種狀況會造成影像品質以及集光 11 1317420 器2 90之收集效率的降低。為了克服這個問題，即必須要改變DUT230與該集光器290之間的角度方向。在先前技術中，DUT 230與該集光器290之間的角度方向係使用該傾斜機制2 6 5傾斜該轉接板2 5 5來改變，如前所述，其需要使用一彈性轉接器^15。根據本發明此具體實施例，另一方面，未使用彈性轉接器，而是該測試頭2ι〇硬對接到該轉接板2 5 5。藉由硬對接，其代表一旦該測試頭對接到DUT，在DUT與該測試頭之間即不允許相對運動。因此，為了硬對接該測試頭到DUT，該使用者可使用一硬的連接器’而非像是連接器115之彈性連接器。據本發明一例示的方法，在該測試頭2 1 0硬對接到言轉接板255且該桌面已經穩定在該水平位置時，該阻斷e 225即被啟動’藉以採取到關閉的位置。在此狀況下，該；面275即被壓力化的活塞27〇所反制平衡，而使其非常容j 傾斜該桌面27S但是，如果該桌面27s已傾斜，該活塞27 將無法修正該傾斜，因為來自該等控制閥28〇之管路即由全等阻斷闊225所阻斷。目此，當該傾斜機制㈤被啟動^ 變該DUT 23 0與該集光器29〇之間的角度方向時即會们該桌面275，而非該轉接板255。此係因為該轉接板…藉£ 硬對接到該測試頭21〇而夾持在其位置上而該桌面為其乘坐在壓力化的活案270 1· α?ι-τ4· 扪基270上而可輕易移動❽此傾斜位j 即例示於第2B圖。機由比較第2A圖及第2B圖可制2 6 5是在有些延伸的位置上以知道，在第2 A圖中該傾斜。該桌面由該等活塞270來 12 1317420 維持水平，JL φ $ h Υ兩個可見於圖面’而其皆顯示為延伸同的程度。另一士

万面’第2Β圖中該傾斜機制265已被拉出來降低其延伸。LL 因此’該桌面275即由右方活塞270R延伸而傾斜，而贫& +， ° 方活塞270L為壓縮。該轉接板255因為其被硬對接到該測讀、武頌210而並未移動。因此’在該DUT 230 ” Λ集光器290之間的角度方向已經有所改變，如第2B圖中重疊的兩條虛線Μ ρ „及·，〇，所示。第3 Α圖及第3Β圖所示為本發明另一具體實施例。為了 Ή示的目的此具體實施例係以實施在第ία圖及第1Β圖之系統當中來說明。同時，相同於或類似於第1Α圖及第1Β圖中之元件具有相同的序號，除非是在3〇〇系列而非1〇〇系列。在第3Α圖及第3Β圖之具體實施例中，該轉接板355即透過彈性連接302連接到該桌面375。該彈性係指該連接允許該轉接板3 5 5與該桌面3 75之間的相對運動。這種連接例如可為一摺箱配置、一軸承配置及類似者。升降機制362R 及362L係提供於活塞370之上方。當僅顯示有兩個升降機制時，其將可瞭解到可以使用不同的數目。例如，在每個活塞上可提供一個升降機制，所以如果使用四個活塞時，可使用四個升降機制。該升降機制可為手動控制或遙控。如果想要遙控，該升降機制可為連接到該控制器3 9 5之一伺服馬達。在第3A圖及第3B圖之具體實施例中’當需要改變該 DUT與該集光器之間的角度方向時，該升降機制362即被啟動，藉以傾斜該桌面3 7 5，而該轉接板3 5 5仍然以硬對接方 13 1317420 式連接到該測試頭3 1 0。此即示於第3 B圖，其中升降機制 3 62R即會延伸，而同時升降機制3 62L即收縮，所以該桌面 3 7 5即傾斜。第4 A圖及第4B圖所示為本發明另一具體實施例。為了例示的目的，此具體實施例係以實施在第1 A圖及第1 B圖之系統當中來說明。同時，相同於或類似於第1 A圖及第1 B圖中之元件具有相同的序號，除非是在4 0 0系列而非1 0 0系列。在第4 A圖與第4B圖的具體實施例中，該轉接板4 5 5即固接到該桌面4 7 5，所以不允許有相對運動。例如，該轉接板455可以栓接到該桌面475。亦如圖所示，該x-y-z床台485 即具有一額外的運動元件468，例如一 R-Theta床台。該運動元件468能夠移動該集光器490，藉以改變該集光器490 相對於該DUT 430之角度方向。此即示於第4B圖，其中該運動元件468即被啟動來移動該集光器490，如該雙箭頭所例示。其可瞭解到由於圖面只有二維的特性，僅顯示一個運動元件468，其可提供在頁面之平面上的角度運動。但是，其可提供一第二元件，而可允許在垂直於頁面的平面上之角度運動，即進出該頁面。第5A圖及第5B圖所示為本發明另一具體實施例。為了例示的目的，此具體實施例係以實施於第1 A圖及第1 B圖之系統中來說明。同時，相同或類似於第1 A圖及第1 B圖之元件具有相同的編號，除了其係在5 0 0系列而非1 0 0系列。在第5 A圖與第5 B圖的具體實施例中，該轉接板5 5 5即固接到該桌面5 7 5，所以不允許有相對運動。例如，該轉接板5 5 5 14 1317420 可以栓接到該桌面575。第5A圖及第5B圖之具體實施類似於第4A圖及第4B圖，其中可提供額外的運動自由達到較佳的操控該集光器590。在第5A圖及第5B圖之具體實施例中，在該集光署之支撐上提供有兩個旋轉元件5 64 A及5 6 4B。該等旋轉 564A及564B可以手動控制或遙控。如果想要遙控，該轉元件564A及564B可為步進馬達或伺服馬達而連接控制器595。利用該x-y-z床台585，該集光器590可以適當的空間位置上，以能夠進行該DUT 530之特定區檢查。如果所欲的特定區域並未垂直於該集光器590之轴，兩個旋轉元件564A及/或564B中的一個可以用來該集光器590，藉以提供連接到該角度方向’如箭頭所當本發明已經參考其特定具體實施例來加以說明其並未限制於那些具體實施例。尤其是熟知該項技術了解可在不違背下附申請專利範圍所述之本發明的精範圍之情況下，對其做出多種修改及變化。此外，所述引用的先前技術參照皆在此引用為參照° 【圖式簡單說明】第1A圖及第1B圖為描述根據先前技術之測試及系統之主要組件的概略架構圖。第2 A圖及第2B圖為本發明一具體實施例，其實施 1A圖及第1B圖中的系統。第3A圖及第3B圖為本發明另一具體實施例’其實例係度來 I 590 元件等旋到該置於域之光學傾斜 7f\ 〇時，者將神及有上除錯於第施於 15

1317420 第1A圖及第1B圖中的系統。第4 A圖及第4B圖為本發明另一具體實施例，其實施於第1 A圖及第1 B圖中的系統。第5 A圖及第5 B圖為本發明一具體實施例，其實施於第 1A圖及第1B圖中的系統。本發明在此處係參照其特定具體實施例來說明，並以圖式來例舉說明。但是必須瞭解到在圖面中所述之多種具體實施例僅為示例性質，其並非限制如所附之申請專利範圍中所定義的本發明。【主要元件符號說明】 100 白動測試設備 185 X- y-j ζ床台 105 操縱臂 190 集光器 110 測試頭 195 控制器 115 彈性連接器 200 白動測試設備 120 連接器 205 操縱臂 130 受測裝置 210 測試頭 150 放射測試器 2 15 彈性轉接器 155 轉接板 220 連接器 160 工作台 225 阻斷閥 165 傾斜機制 230 受測裝置 170 活塞 250 放射測試器 175 桌面 255 轉接板 180 水平控制閥 260 工作台 16 1317420

265 傾斜機制 3 85 x-y-z床台 270 活塞 390 集光器 270L 左方活塞 395 控制器 270R 右方活塞 400 自動測試設備 275 桌面 402 彈性連接 280 水平控制閥 405 操縱臂 285 x-y-z床台 4 10 測試頭 290 集光器 420 連接器 295 控制器 430 受測裝置 300 自動測試設備 450 放射測試器 302 彈性連接 455 轉接板 305 操縱臂 460 工作台 3 10 測試頭 468 運動元件 3 20 連接器 470 活塞 330 受測裝置 475 桌面 3 50 放射測試器 480 水平控制閥 355 轉接板 485 x-y-ζ床台 360 工作台 490 集光器 3 62 升降機制 495 控制器 3 62L 升降機制 500 自動測試設備 3 62R 升降機制 502 彈性連接 370 活塞 505 操縱臂 375 桌面 5 10 測試頭 3 80 水平控制閥 520 連接器 17 1317420 53 0 受測裝置 570 活塞 550 放射測試器 575 桌面 555 轉接板 580 水平控制閥 560 工作台 5 85 X- y-2 :床台 564 旋轉元件 590 集光器 564A 旋轉元件 595 控制器 564B 旋轉元件

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Claims

1317420 弟句。屮乃號翻/案时 ”年5月日修正本 ' '*" " 1 J·**··** m.·».· ι.^·ι . I----ΓΓιιιι·ρ ,11 ,,Μ·!·. 月修m 十、申請專利範圍： 1. 一種用於正交對準一試片到一集光器之光學軸的系統，包含：一自我調整桌面；一試片夾持器，其耦合於該桌面，並夾持在一固定的方向；集光器，其耦合於該桌面；一活塞，其耦合於該桌面，並可操作以維持該桌面的水平方向；一控制閥，其感應該桌面的水平方向，並耦合於該活塞以控制該活塞的操作；及一對準器，其耦合於該桌面，並可操作以在不改變該試片之該固定的方向下相對於該試片而改變該集光器之該光學軸的角度對準。 2. 如申請專利範圍第1項所述之系統，其中該對準器包含一阻斷閥，其可操作以阻斷該控制閥之操作；及一傾斜機制，其耦合於該桌面與該試片夾持器之間。 3. 如申請專利範圍第2項所述之系統，其中該傾斜機制包含複數電動馬達。 4. 如申請專利範圍第1項所述之系統，其中該對準器包含耦合於該活塞之起重機。 5. 如申請專利範圍第1項所述之系統，其中該對準器包含一傾斜床台，其支撐該集光器。 6. 如申請專利範圍第1項所述之系統，其中該集光器耦 19 1317420 合於一夾持器，且其中該夾持器包含旋轉機制。 7. 如申請專利範圍第6項所述之系統，其中該旋轉機制包含電動馬達。 8. 如申請專利範圍第1項所述之系統，其中該集光器包含一固態浸沒透鏡。

9. 一種用於相對於一試片導向一光學系統之方法，該光學系統具有一桌面、耦合於該桌面之集光器、及耦合於該桌面的一試片夾持器，該方法包含下列步驟：放置該試片在該試片炎持器中；固定該試片夹持器在一固定的方向；及控制該光學系統，藉以放置該集光器在一個方向上，使得在不改變該試片之該固定的方向下該集光器之光學軸可垂直於該試片上所欲的一區域，其中該控制該光學系統之步驟，包括改變該集光器之該光學軸的角度對準之步驟。 10. 如申請專利範圍第9項所述之方法，其中該控制之步驟包含傾斜該桌面之步驟。 11. 如申請專利範圍第9項所述之方法，其中該控制之步驟包含傾斜該集光器之步驟。 12. 如申請專利範圍第9項所述之方法，其中該集光器包含一固態浸沒透鏡，而該方法另包含放置該固態浸沒透鏡以接觸於該試片之步驟。 13. —種用以測試一積體電路（1C)以模擬操作條件之系統，該系統包含： 20

1317420 一桌面；一試片夾持器，其耦合於該桌面，該IC係該試片夾持器；集光器，其耦合於該桌面；一轉接器，用於硬對接一測試頭到該1C，夾持該試片夾持器在一固定的方向上；及一對準器，其耦合於該桌面，並可操作以變該試片夾持器之該固定的方向下相對於該1C 集光器之該光學軸的角度對準。 14.如申請專利範圍第1 3項所述之系統，另包含：複數活塞，其耦合於該桌面，並可操作以桌面的水平方向；複數控制閥，其中每一控制閥感應該桌面方向，並個別耦合於該等活塞中的一個，以控塞之操作。 1 5.如申請專利範圍第14項所述之系統，其中該對含：複數阻斷閥，其中每一阻斷閥可操作以阻別控制閥之操作；及一傾斜機制，其耦合於該該試片夾持器之間。 1 6.如申請專利範圍第1 5項所述之系統，其中該傾包含複數電動馬達。 1 7.如申請專利範圍第1 5項所述之系統，其中該傾包含一測試工作台，其具有起重機系統可操作該測試平台之傾斜度，該起重機系統包含複數連接到並藉此在不改改變該維持該的水平制該活準器包斷一個桌面與斜機制斜機制以調整起重機 21 1317420 及複數馬達，該等馬達之每一者分別耦合於一個別起重機。 1 8.如申請專利範圍第1 4項所述之系統，其中該對準器包含複數起重機，其耦合於個別活塞。 1 9 ·如申請專利範圍第1 4項所述之系統，其中該對準器包含一傾斜床台，其支撐該集光器。 2 〇.如申請專利範圍第14項所述之系統，其中該集光器耦

合於一夾持器，且其中該夾持器包含旋轉機制。 21. —種用於對準一試片之一檢測表面使其正交於一集光器之一光學軸之系統，該系統包含：一測試頭；一桌面，其與該測試頭相隔一距離；一轉接板，其透過一硬式連接器硬對接到該測試頭，該轉接板係固定於該試片，使該試片之該檢測表面曝露出；集光器，其透過一 x-y-z床台耦合於該桌面，且朝向該試片之該檢測表面；複數活塞，其耦合於該桌面，用以進行該桌面之自我調整及隔絕振動操作；複數水平控制閥，其耦合於該等活塞以控制該等活塞；複數阻斷閥，其耦合於該等水平控制閥，且能夠阻斷該等水平控制閥對該等活塞之控制；及一光學軸控制機制，用以在該轉接板保持在固定 22 Ι3Ί7420

位置下，相對於該測試頭改變該集光器之方向以對該該光學軸，使得該光學轴正交於該試片之該檢測面，其中該光學軸控制機制係選自由以下組成之組：一傾斜機制，其耦合該桌面到該轉接板，當等阻斷閥阻斷該水平控制閥時，該傾斜機制可操以傾斜該桌面，一彈性連接，其耦合該桌面到該轉接板；及降機制，其位於該等活塞與該桌面之間，當該等斷閥阻斷該等水平控制閥時，該升降機制可操作該桌面上升高於一些但非全部的該等活塞，藉此斜該桌面，及一或多旋轉元件，其耦合於該集光器與該桌之間，該等旋轉元件可操作以旋轉該光學轴。準表群該作升阻將傾面

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