TW295699B - - Google Patents

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A7 B7 經濟部中央標準局貝工消f合作社印製 五、 發明説明（3 ) 1 I 明 領 域 1 本 發 明 偽 有 關 於 抗 熔 絲 (a n t if U S e s ), 且尤其偽有關 1 1 於 _____κ 種 抗 熔 絲 9 該 種 抗 熔 絲 之 設 計 偽 具 有 低 電容 並 提 升 産 ^-S I 請 'I 量 1 0 閲 ή 背 面 1 I 明 背 景 1 1 之 1 1 抗 熔 絲 (a n t i f U S e s )- -般偽使用於大範圍的可規劃閘 注 意 1 I 事 1 陣 列 (Ρ Γ 0 g Γ am m a b 1 e g a t e a Γ Γ ay S ) 0 一 般 而 言在 欲 規 HI 之 項 再 1 閘 陣 列 中 » 所 有 該 等 抗 熔 絲 最 初 % 在 非 導 電 狀態 〇 某 1¾ 抗 ，寫 本 頁 1 熔 絲 被 選 擇 以 成 為 導 體 t 而 其 他 的 抗 熔 絲 則 維持 為 非 導 體 ^—- I 0 理 所 當 妖 » 對 於 該 規 割 之 裝 置 的 適 當 操 作 而言 $ 重 要 的 1 是 在 該 方 式 中 選 擇 以 維 持 非 導 電 功 能 的 該 等 抗熔 絲 0 由 於 1 1 一 個 範 圍 之 可 規 割 閘 陣 列 通 常 包 含 有 數 十 萬 個抗 熔 絲 » 則 訂 1 難 以 用 般 先 前 技 藝 之 型 式 的 抗 熔 絲 來 達 成 此項 1 現 在 説 1 I 明 該 先 V t- 刖 技 m 型 式 的 抗 熔 絲 〇 1 I 第 1至第4圖 顯 示 一 種 先 刖 技 藝 之 抗 熔 絲 1 0的 製 造 0 如 1 —^4 旅 其 中 (第1圖 )所示， 最初， 金屬電極12偽設置覆於二氣化 1 I 矽 基 底 1 4 〇 接 下 來 1 氣 化 層 16偽沈 澱 覆 於 該 金屬 電 極 1 2 0 1 1 在 施 加 —* 層 感 光 抗 独 劑 (p h 〇 to re si St)並將之作圖樣之後， 該 氣 化 層 16被蝕刻 以 在 其 中 提 供 開 P 向 下 至 電極 1 2 » 以 曝 1 I 光 電 極 1 2的 表 面 24 0 在 移 除 了 作 了 圖 樣 的 抗 蝕劑 之 後 t 一 1 層 像 是 非 結 晶 形 的 矽 之 抗 熔 絲 材 料 18偽 沈 澱 覆於 産 生 之 結 1 1 I 構 (第2圖 )， 以接觭電極1 2的- -部份。 抗蝕劑像施加至抗 1 1 1 熔 絲 層 18, 並 被 作 圖 樣 以 便 在 独 刻 該 層 1 8時 ,此 抗 熔 絲 材 1 1 料 會 形 成 第 3圖所示之形狀。 1 1 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) Λ4規格（210X297公釐） A7 B7 經濟部中央標準局負工消费合作社印製 五、 發明説明（4 ) 1 1 在 移 除 此 抗 蝕 劑 之 後 ,形 成 第 二 電 極 的 金 屬 層 20傜 沈 1 1 I 澱 並 被 作 圖 樣 » 如 第 3圖所示。 1 1 已 發 現 氣 化 層 1 6向 下 独刻 至 電 極 12的 步 驟 造 成 生 産 I 請 1 量 問 題 y 如 現 在 將 參 照 第 3圖之- -部份的放大視圖之第4圖 先 間 1 | 讀 1 1 而 說 明 者 0 背 1¾ 1 I 之 1 當氧化物層1 6的蝕刻開始時， 通常在氧化物16鄰接電 念 1 事 1 極 12的 區 域 22不 形 成 尖 角。 反 之 其 有 時 發 生 > 即 ㈡· 田 項 再 填 1 蝕 刻 兀 成 時 9 亦 即 9 田 電 極表 面24曝 光 時 9 抗 蝕 劑 殘 渣 和 ^3 本 裝 Ϊ) 1 /或不規則的氣化物23殘留在域22的角落。 此結構中的瑕 ，疵 "TO? 造 成 從 一 個 電 極 到 另 一個 電 極 的 洩 漏 路 徑 9 致 使 應 為 1 非 導 體 的 抗 熔 絲 動 作 如 導 體。 該 問 題 存 在 於 此 種 小 型 裝 置 1 1 之 蝕 刻 的 凹 凸 中 〇 訂 1 當 此 種 瑕 疵 相 當 不 尋 常時 ， 將 了 解 到 數 十 萬 値 抗 熔 絲 1 1 中 的 每 個 抗 熔 絲 必 須 適 當 地操 作 0 1 1 I 此 外 1 由 於 在 抗 熔 絲 層18與電 極 1 2之 間 於 表 面 24之 相 1 ，咸 當 大 的 接 觸 區 域 » 抗 熔 絲 1 0顯 現 出 高 電 容 9 造 成 該 裝 置 的 1 性 能 劣 化 0 此 外 t 此 種 抗 熔絲 10在側 面 測 量 時 » 占 有 了 重 1 1 大 區 域 0 最 後 * 當 接 觸 開 口之 寬 高 比 例 (a s P e c t r a t i 0)非 常 高 時 9 (亦即， 深而小的接觸）， 則 金 靥 20之步 级 通 逹 範 1 I 圍 (s t e P C 0 V € r a g e )會非常差。 1 發 明 概 沭 1 1 本 抗 熔 絲 結 構 及 其 製造 方 法 t 提 供 該 抗 熔 絲 結 構 包 1 1 括 有 基 底 以 及 在 基 底 上 的第 一 電 極 t 其 定 義 了 頂 表 面 和 1 1 側 表 面 0 抗 熔 絲 材 料 係 配 置於 該 第 一 電 極 上 * 至 少 在 頂 表 1 1 本紙張尺度通用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐） 4 A 7 B7 經濟部中央標準局Μ工消f合作社印製 五、 發明説明（5 ) 1 % | 面 之 一 部 份以 及 至 少其側 表 面 之 一 部 份 % 而 第一 電極 傜 在 1 I 抗 熔 絲 材 料上 0 氧 化物之 蝕 刻 偽 避 免 以 防 止 上述 的瑕 疵 問 1 1 _| 題 f 同 時 抗熔 絲 材 料與第 一 電 極 接 觸 的 區 域 相較 於先 前 技 請 1 藝 為 減 少 ,以 致 降 低了抗 熔 絲 電 容 0 同 時 1 該抗 熔絲 結 構 先 間 1 I 讀 1 I 之 側 面 尺 寸相 較 於 先前技 藝 結 構 為 減 少 0 背 1¾ 1 | 之 1 式 簡 單説 明 /王 意 1 事 1 第 1 - 4圖顯示如上所述之- -般抗熔絲結構的製造； 項 再 第 5 - 8圖顯示根據本發明之抗熔絲結構的製造，即特 --3 裝 I 1 別 的 製 造 9 1 第 5圖顯示依照本發明於熔絲結構之製造第- -步驟， 1 1 其 中 在 基 層上 設 有 一金靥 層 9 1 1 第 6圖偽類似於第5圖 所 示 但 是 更 進 一 步顯 示了 作 了 訂 1 圖 案 之 金 屬並 包 括 有抗熔 絲 材 料 » 1 I 第 7圖像類似於第6圖 所 示 t 但 是 顯 示 了 施加 至該 裝 置 1 I 的 第 二 電 極； 以 及 1 旅 第 8圖偽類似於第7圖 所 示 t 但 是 顯 示 了 以該 裝置 形 成 1 的 接 觸 1 以及 金 m 化層以 接 觸 該 第 一 電 極 〇 1 1 較 伴 育 旅 例之 説 明 ί 現 在 參照 第 5 - 8圖。 1 | 如 第 5圖所示， 舉例而言， 最初開始偽提供- -層二氣 1 I 化 矽 30於 矽製 基 質 (未圖示） 0 例 如 像 是 T i w之金屬4 2 2係 1 1 I 沈 澱 覆 於 二氣 化 矽 30 ,該 金 屬 層 32 之 厚 度 為 例如 1 00C A 0 1 1 而 後 感 光 抗蝕 劑 (未圖示） 像 在 金 屬 層 32 上 作 圖樣 ,且 將 金 1 1 屬 層 32蝕 刻成 第 6圖所示之構造以形成第- -電極33。在移 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210 X 297公釐） Μ Β7 經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 五、' 發明説明（ 6 ) 1 1 除 感 光 抗 独 劑 之 後 ，一層 非 結晶 形的 矽 34 (抗熔 絲材料） 像 1 1 1 沈 澱 覆 於 該 産 生 的 結構上 達 厚度 例如 為 1 0 0 0 A 〇 1 1 1 接 下 來 1 如 第 7圖所示， 例如像是T iw之金屬層36偽 沈 I 請 1 澱 覆 於 該 産 生 的 結 構上達 厚 度為 5 0 0 A 〇 接箸其 後，4000 先 閱 1 I 讀 1 | A 厚 之 例 如 為 鋁 之 層38偽 沈 澱覆 於該 τ i w 層 3 6， 而後例如 背 1¾ 1 1 之 1 為 T i w 之 500 A 厚 的 層40偽 沈 澱覆 於該 鋁 層3 8。在施加一 1 事 1 感 光 抗 η 劑 於 T i w層之頂層40並將該感光抗蝕劑 作圖樣之 項 再 填 i 後 » 由 T i w層， A 1層和T i w 層 36 , 38和 40組成的金屬層係 蝕 Ί 裝 I 刻 以 形 成 第 二 電 極 42 〇 頁 n_- 1 1 接 下 來 » 如 第 8圖所示， 中間層電介質4 4 (例如S i 0 2 ) 1 偽 沈 澱 至 厚 度 為 8 0 0 0 A 〇 在 該S i 0 2層 施 加感光抗蝕劑並 將 1 1 感 光 抗 蝕 劑 作 圖 樣 之後， 便 蝕刻 該S i 0 2 層以提供向下穿 通 訂 1 至 層 34的 開 η » 該 層34亦 被 蝕刻 以提 供 穿通至電極33的 開 1 I □ 0 同 時 9 氣 化 物 層44亦 經 蝕刻 以提 供 穿通至電極42的 開 1 1 □ 0 1 一 1 戎 當 移 除 感 光 抗 蝕劑時 1 根據 一般 實 作，鋁質接觸46 ， 1 47傷 提 供 至 電 極 33 ,42〇 1 1 參 照 第 8圖， 將可注意到作用如抗熔絲材料 之非結晶 矽 層 34的 一 部 份 % 配置於 電 極33 之頂 表 面33A的 一部份， 1 I 以 及 電 極 33 之 側 表 面 3 3 B 〇 此夕卜， 電極42的一部 份4 2 A偽 沿 1 1 側 表 面 33 B的- -部份但與之相分隔而配置。該層 34的一部 1 1 *1 份 亦 與 氣 化 物 3C 接 觸。第 二 電極 之一 部 份42B偽 沿著第- 1 1 電 極 3： ’之 頂 表 面 33 A之一部份但與之相分隔而配 置。 1 1 此 種 結 構 與 其 製造方 法 提供 許多 優 點。 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（2丨OX 297公釐） A7 B7 五、發明説明（7 ) 首先，如在先前技藝中蝕刻氯化物以曝光電極可完全 經濟部中央標準局負工消费合作社印裝 班 裝面 ί 同 ， 不 了， 抗對著 瑕該側χ, γ 故 供外 ，之顯 的 ，的寸米一寸 , 提此 中|£可 中 Β10尺徹 尺 口 法。。31技容 物亦絲面 3 的 開' 方加域域前電 化 面熔側^ΟΤΤΓ綠 之 造增區區先之 氧 表抗之 11Ρ邊 例 製量的之於置 於側該10ins31到 比 之産多絲較裝 生該 ，絲 f 第緣 高 絲生得熔相該 産的份熔FS如邊 寬 熔之小抗域， 之件部抗 於之 高 抗造用之區小 述 元的該r較18有。種製佔效的減 上 。之置 ，彡相矽 沒題此 ，藝有觸的 如加置裝言 D 此形 中問及述技義接域 注增裝該而 U 。晶 構的絲所前定際區 關地該越例帛量結 結圍熔上先在實箸 要著用跨舉5ί産非10本範抗如於 ，9¾ 隨 需顯利伸 αο 生該έΒ在達本 ，較的極 。 不可由延少至的 ， 於通見先相到電多 , 量藉向減少高中 由级可首置意U 得 此産 ，側幅 減常置 '4 ，步 ， 。裝 注^^小 因生 外會大可非装 1 後屬此點之將料要 。 而此不可Ϊ)持藝有最金因優生如材域 。 I屋 除因 之寸 0〇 維技將 有 多産 絲區低 免。 置尺第時前其 會 許所 熔照降 批衣 訂 ^ 泠 (請先間请-A'-而之注意事項fi-填β本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X297公釐） 7

Claims (1)

1. 295699 A8 B8 C8 D8 經濟部中央標準局爲工消費合作社印製 六、申請專利範圍 1 I 1 . 一 種 抗 熔 絲 結 構 1 包 括 有 ： 1 I 基 底 » 1 1 第 一 導 體 1 在 該 基 底 上 > 定 義 了 頂 表面和側 表面； 請 閱 1 I 抗 熔 絲 材 料 9 在 該 導 體 上 « 配 置 於 至少其頂 表面的- 1 I 讀 1 | 部 份 和 至 少 其 側 表 面 的 一 部 份 1 以 及 背 1 1 之 1 第 二 導 體 * 在 該 抗 熔 絲 材 料 上 〇 注 意 1 事 1 2 .申 請 專 利 範 圍 第 1項之抗熔絲結構， 其中該第二導體 的 項 再- -•fc. 1 1 裝 一 部 份 偽 沿 著 該 表 面 至 少 一 部 份 配 置但與之 相分隔。 -寫 .本 頁 1 3 .申 請 專 利 範 圍 第 1項之抗熔絲結構， 其中該抗熔絲材 料 s_^ 1 I 、.的 一 部 份 % 與 該 基 底 接 觸 0 1 4 .申 請 專 利 範 圍 第 1項之抗熔絲結構， 其中該第二導體 的 1 1 一 部 份 偽 沿 著 該 第 一 導 體 之 頂 表 面 的至少一 部份配置 訂 1 但 與 之 相 分 隔 以 致 重 叠 於 該 第 一 導體一個 範圍。 1 I 5 .申 請 專 利 範 圍 第 4項之結構， 其中該第一導體和第二 導 1 I 體 之 重 叠 係 為 0 . 5徹米或以下。 1 Η 旅 6 .— 種 製 造 抗 熔 絲 結 構 的 方 法 » 包 括 有： 1 提 供 基 底 > 1 1 提 供 導 體 於 該 基 底 上 並 具 有 頂 表 面 及側表面 » i 提 供 抗 熔 絲 材 料 於 該 頂 表 面 的 至 少 一部份以 及該側表 1 1 面 的 至 少 一 部 份 以 及 1 提 供 第 二 導 體 於 該 抗 熔 絲 材 料 上 0 1 1 * I 7 .申 請 專 利 範 圍 第 6項之方法， 尚包活步驟有提供第二 導 1 1 1 體 使 其 一 部 份 % 沿 著 該 側 表 面 之 至 少一部份 配置但與 1 1 之 相 分 隔 0 1 1 本紙浪尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規洛（210X297公釐） A8 B8 C8 D8 295699 申請專利範圍 .申請專利範圍第6項之方法，尚包括步驟有提供抗熔絲 材料使其一部份與該基底接觸。 法 方 之 項 第 該 著 第沿 圍 係 範份 利部 專 一 請的 申體 9 導 二 第 該 使 以 驟 步 供 提 尚 配 份 部1 少 至 面 表 頂 之 捿 Αβ 導 隔第 分圍 相範 之利 與專 但請 置申 圍 範 Δε- 個1 逹 澧 ΑΒ 導1 第 該 於 « S S 致 以 第 該 供 提 有 驟 步 括 包 尚 法 方 之 項 抗 該 供 提 有 驟 步 括 包 尚 法 。 方矽 之的 。 項形 屬10晶 金第結 為圍非 體範為 導利料 二 專材 第請絲 和申熔 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝- 訂 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 9 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐）