201103848 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明疋有關於一種基板處理糸統及其基板搬運裝置，且 特別是有關於一種可偵測位置異常之基板及基板缺角的基板 處理系統及其基板搬運裝置。 【先前技術】 在顯示裝置的製程中，由於基板需要經過多道製程程序， 因此必須使用搬運裝置來在各道製程程序之間搬運基板。目前 的作法是藉由機械手臂將基板由儲放匣(Cassette)中取出，並運 送至製程機台上進行製程反應，之後再於製程結束後，從機台 上將基板送回至儲放匣内，以進行一系列的製程步驟。 而且，為獲得儲放E内所存放的基板數量或其他資訊，機 械手臂在伸入儲放匣内拾取基板前，會先在距離儲放匣一特定 =離之處做上昇與下降的動作，以便於藉由設置在機械手臂前 鈿的映射感測器（mapping sensor)來感測存放在儲放匣内之基 板的資訊。 然而，當存放在儲放匣内的基板位置異常而過於突出儲放 籲£外時則谷易發生機械手臂在進行映射感測時撞擊到突出的 基板因而導致基板破損。此時，必須暫停整個搬運流程，並 以人工的方式排除破片。如此一來，將導致維修成本提高及浪 費人力的問題。 此外’近年來顯示面板的尺寸日趨擴大，而大尺寸的玻璃 ^板在運送過程中容易發生缺角或破損的情形，但由於習知的 /土板搬運裝置並沒有偵測缺角的功能因此當具有缺角的基板 3待被移it至製程機台上時’才能因為基板之尺寸不符等因素 而被機台操作者發覺。這樣不僅造成機台操作者的困擾，同時 也會耗費較多的製造工時。 201103848 【發明内容】 有鑑於此，本發明的目的就是在提供一種基板搬運裝置， 其可在做映射感測時，同時偵測欲拾取的基板是否有擺放位置 突出的情況，以避免撞傷基板。 本發明的再一目的是提供一種基板搬運裝置，其可在將基 板運送至製程機台上前，先偵測基板是否有缺角的情況。 本發明的又_目的是提供-種基域理祕，其可在做映 射感測時，同時感測儲放E内的基板是否有突出的情況，以避 免撞傷基板。 本發明的另-目的是提供—種基板處理系統，其可在將基 板從儲放E内取出後，先伯測基板是否有缺角的情況。 本發明提出-種基板搬運裝置，包括域、承載單元以及 至/基板犬出感測器。其中，承載單元適於在一待機位置與 至少:工作位置之間移動，並具有承載面與彼此相對的第一端 及第二端:且第-端係連接至主體。基板突出感測器則是配置 於承載單7L上’並位於其第二端。而且，基板突出感測器具有 第一感測面，其係與承載單元之承載面朝向同一方向。 籲本發明提出-種基板處理系統，包括儲放g與上述基板搬 運裝置。料，儲放E具有多個容置空間，用以儲放多個基板。 而且這些谷置空間是沿一排列方向彼此層疊，基板即是分別 位於對應之容置空間内。此外，承载單元之承载面與基板突出 感測器之第一感測面均朝向此排列方向。 在本發明的較佳實施例中，上述之主體包括一校正平台， 具有彼此相對的第一側邊與第二側邊，而承載單元從工作^置 移至待機位置時，係經由第二側邊朝向第一側邊移動。 在本發明的較佳實施例中，上述之基板搬運裝置更包括多 201103848 =破片感湘，配置於上述校正平台上，並鄰近料第二側 在本發明的較佳實施例中，上述之 單元’配置於校正平台旁’並位於;一置二 的較佳實施例中’上述之基板搬運裝置更包括至 ίΓ ίί感測11，配置於承載單元之轉面上，並鄰近承 載早70的第一端。 在本^明的較佳實施例中，上述之基板搬運裝置更包括-映射感測器(mapping sensor)，配置於承載單元之第二端。而 二器具有第二感測面，其係大致垂直於基:突出感 測器之第一感測面。 載單月端的較佳實施例中，上述之映射感測器設於承 本發明還提出-種基板搬運裝置，包括承載單元、主體及 多1破片感測器。其中，承載單元適於在待機位置與工作位置 ,間移動/並具有—承載面及彼此相對之-第-端與一第二 =接至承載單兀之第一端，並包括具有彼此相對的 1 立置邊之校正平台。承載單元從工作位置移至待 則，經由校正平台的第二側邊朝向第-側邊移動。破 片感測益則疋配置於校正平台上，並鄰近其第二側邊。 本發明更提出—種基板處理系統’包括儲放上述之其 3運襄置。射，儲放£具有多個容置空間，用以儲放多‘ 土而且，這些容置空間是沿一排列方向彼此層疊， ==應之容置空間内。此外，承載單元之承載面係朝 201103848 在本發明的較佳實施例中，上述之破 校正平台之第二側邊而間隔排列。破片感測器係大致平行 在本發明的較佳實施例中，上述之基板 少-位置校正單元’配置於校正平台旁=置 二側邊之間。 位於第一側邊與第 在本發明的較佳實施例中，上述之基板 =置校正感測器’配置於承載單元之承載面上，=
在本發明的較佳實施例中，上述之基板搬運裝 映射感測器（maPPing sensor)，配置於承載單元之第一 二T射感測器具有第二感測面，大致垂直於承載單：之承= 面並朝向上述之儲放匣。 在本發明的較佳實施例中’上述之映射感測器係嵌設 載早元的第二端。 本發明之基板處理系統係在基板搬運裝置中設置有基板突 出感測器，以於承載單元對儲放匣内的基板進行映射感測時， 同時檢知是否有基板過度突出於儲放匣外，因而避免承載單元 在映γ感測過程中撞傷突出的基板。另外，本發明之基板搬運 裝置還可以設置有多個破片感測器，以便於在將基板從儲放匣 内取出後，先檢知基板是否破損，進而確保經由基板搬運裝置 搬運至製程機台上的基板均無破片。 由上述可知’本發明不但能夠有效地提高基板的生產良 率’更可以提升後續製程的運作流暢度。 為讓本發明之上述和其他目的、特徵和優點能更明顯易 懂’下文特舉較佳實施例，並配合所附圖式，作詳細說明如下。 【實施方式】 201103848 立圖1為本發明之一實施例中基板處理系統的侧面簡單示 意圖，圖2則為圖丨之基板搬運裝置的立體示意圖。請同時參 照圖1及圖2 ’基板處理系統100包括儲放匣110與基板搬運 裝，120。其中，儲放匣11〇具有多個沿排列方向L彼此層疊 的容置空間112，用以儲放多個基板101。而基板1〇1即是分 別位於對應之容置空間112内。 基板，運裝置120包括主體122、承載單元124以及至少 一個基板突出感測器126。其中，承載單元124適於在待機位 φ 置與至少一個工作位置之間移動，並具有承載面125與彼此相 對的第一端121及第二端123，且第一端121係連接至主體 122。具體來說，承載單元124的工作位置係指其在作動時的 所在位置，如拾取基板1〇1時的所在位置或其他工作狀態下的 所在位置。 承上所述’基板突出感測器126則是配置於承載單元124 上，並位於其第二端123，如圖3所示。基板突出感測器126 具有第一感測面127，其係與承載單元124之承載面125朝向 同一方向。具體來說，承載單元124之承載面125與基板突出 φ 感測器126之第一感測面127均朝向儲放匣11〇之容置空間 112的排列方向l。 除此之外’基板搬運裝置12〇更包括一映射感測器 (mapping sensor)128，與基板突出感測器丨26同樣位於承載單 元124的第二端123。值得一提的是，本實施例之映射感測器 128係嵌設於承載單元124的第二端123，但本發明並不限於 此。在其他實施例中，映射感測器128也可以是凸設於承載單 元124的第二端123’如圖4所示。具體來說，映射感測器128 具有第二感測面129，且其所朝向的方向係與基板突出感測器 201103848 126的第一感測面127垂直，也就是朝向儲放匣n〇。 請再參照圖1 ’承載單元124在伸入儲放E 110之容置空 間112拾取基板101之前，會先對儲放匣n〇内的基板1(n進 行映射感測，以得知是否每一容置空間U2内均放置有基板 1〇1，或是依此獲得各基板101的相關資訊。具體來說，在進 行映射感測時’承載單元124之第二端123與儲放匣110之間 的距離為D，且承载單元124係於此處沿容置空間112的排列 方向L移動，以透過映射感測器128對儲存匣11〇内的基板 φ 1〇1進行映射感測。舉例來說，承載單元124之第二端123與 儲放匣110之間的距離約為20釐米至30釐米。 *當承載單元124沿容置空間112的排列方向L移動時， 可藉由基板突出感測器126來感測儲放匣110内的基板1〇1是 否有異常突出的情況。如圖1所示，當儲放匣11〇内至少有一 片基板101突出容置空間112而位於承載單元124之第二端 123的上方時，即可藉由基板突出感測器126感測到此情況， 並，訊號回傳至用控制承載單元124移動的控制系統，而使承 載單元124停止移動，以避免撞擊到突出的基板1〇1。 # 為使熟客此技藝者更加瞭解本發明，下文將舉例說明映射 感測器與基板突出感測器回傳至控制電路的訊號波形，但其並 非用以限定本發明。 ^ 圖5 A為本發明之一實施例中映射感測器所回傳的訊號波 形時序圖，®5B|福本發明之—實施射基錢$感測器所 回傳的訊號波形時序圖。請同時參照圖丨及圖5A，若儲放在 儲存H 110内的基板101均位於正常的位置，則在承載單元 =4沿容置空間112的排列方向L移動時，映射感測器128每 感測到-片基板1(Π，其所回傳的訊號會對應生成一個脈衝波 201103848 形’而接連生成脈衝波形之間的時間差即為承载單元124在相 鄰之基板101之間移動所需的時間。也就是說，如圖1所示， 若儲存匣110内儲放有6片基板101，映射感測器128所回傳 的訊號將會對應生成6個脈衝波形。其中，本實施例之脈衝波 的峰值例如是5V。 另外’由於儲存匣110内的基板101均位於正常的位置， 基板突出感測器126並未感測到任何異狀，因此其所回傳的訊 號波形係與啟動時的訊號波形相同。 圖6A為本發明之另一實施例中映射感測器所回傳的訊號 波形時序圖，圖6B則為本發明之另一實施例中基板突出感測 器所回傳的訊號波形時序圖。請同時參照圖1、圖6A及圖， 在基板突出感測器126未感測到異常突出於儲存匣的基板 101前，映射感測器i28每感測到一片基板iOi，其所回傳的 訊號會對應生成一個脈衝波形。當基板突出感測器126感測到 異常突出的基板1〇1時，其所回傳的訊號波形會上升至峰值 ^例如是5V)，而承載單元124的控制系統即是依據此訊號 停止移動承載單元124。此時，由於承載單元124不再繼續沿 各置空間112的排列方向L移動，因此映射感測器128所傳回 的訊號亦會終止脈衝波形的生成。 以圖1為例’儲存匣u〇内儲放有6片基板1〇1，且映射 f測器128在完成3片基板1〇1的映射感測後，基板突出感測 器126隨即感測到第四片基板1〇1有異常突出的情況，並透過 控制系統停止移動承載單元124，則在映射感測器128所回傳 的訊號波形圖中，僅會出現3個脈衝波形，如圖6a所示。 ^由上述可知’基板搬運裝置120可避免在進行映射感測時 撞傷基板1G卜進而能夠提高基板的生產良率。 201103848 正平主體122可以包括校正平台训，而校 中承口載的第一側邊211與第二側邊213。其 中承載早70 124的待機位置即是位 ί承載單元124從工作位置移動回待機位置mtr正平 口 210的第二側邊213朝向第一側邊211移動。， 特別的是，基板搬運裝置i 2 〇還可 220山，其係配置於校正平台训上，並鄰近校正平台
。需要注意的是’這些破片感· 22g的排列方式及 /、在权正平台210上的位置可以依照實務上基板ι〇ι容易破損 之處來做碰。由於目前基板1G1較料破裂處為兩側角落及 中間侧邊（如圖7A至圖7(：所示），因此本實施例之基板搬 運裝置120例如是包括破片感測器2施、破片感測器2施及 破片感測器220c，且其係大致平行第二側邊213而間隔排列， 但本發明並不限定於此。 請同時參照圖1及圖2,當承載單元124由儲放匣11〇内 拾取基板101之後，承载單元124會經由校正平台210的第二 側邊213朝向第一側邊211移動，以回到其待機位置。在移動 的過程中，即可藉由這些破片感測器22〇來檢知基板1〇1是否 有破損。 詳細來說，這些破片感測器220例如是光感測器。也就是 說’破片感測器220係透過感測其所發出之光束是否被基板 101反射回來判定基板1〇1有無破損。當破片感測器220檢知 基板101有破損時，其傳回控制系統的訊號將會使基板搬運裝 置100停止運作，並通知相關人員以人工的方式排除破片。 圖8A至圖8C分別繪示本發明之不同實施例中破片感測 器所回傳的訊號波形時序圖。請同時參照圖2、圖7A及圖8A， 201103848 當承載單元124所拾取的基板101具有如圖7A所示之破損情 形時’破片感測器220c所回傳的訊號會對應生成一個脈衝波 形’如波形(c)所示。控制系統即是依據此訊號來停止作動基板 搬運裝置120。在此’由於基板101在破片感測器220a與破 片感測器220b所對應處均無破損，因此破片感測器22〇a所傳 回的訊號波形(a)與破片感測器220b所傳回的訊號波形(b)係與 其啟動時的訊號波形相同。 同理可知，當承載單元124所拾取的基板1〇1具有如圖 7B所示之破損情形時，僅有破片感測器22加所回傳的訊號會 生成一個脈衝波形，如圖8B所示。另一方面，當承載單元124 所拾取的基板1〇1具有如圖7C所示之破損情形時，僅有破片 感測器220b所回傳的訊號會生成一個脈衝波形，如圖8C所 示。換s之，控制系統或相關人員可以依據這些破片感測器 220所回傳的訊號得知基板1〇1是否有破損及其破損處。 由上述可知，本發明可避免基板搬運裝置12〇將已破損之 ，板運送至製程機台上，而對後續製程造成影響。值得一提的 是，基板101的破損程度（如裂縫大小）可以依據承載單元 12二的^動速度與破片感測器220連續接收到光束之間的時間 差來推得。 另外，基板搬運裝置100在校正平台210旁更配置有至少 。。組位置校正單元’如圖2所標示之31〇&與。位置校正 早兀31〇a與310b係位於校正平台21〇之第一侧邊2ιι與第二 ^之間，用以校正承載單元124所拾取回的基板101在 早元124上的擺放位置，以避免基板1〇1因擺放位置錯誤 =在搬運過程中受損。具體來說，位置校正單元她例如是 左右位置校正單元，位置校正單元3勘例如是前後位置校正 201103848 左右平移基㈣ 平移基板101在承鮮元124上的x位=31Gb収用以前後 另-方面，基板搬縣置⑽還可以包括結— 感測盗320 ’其係、配置於承載單幻2 近承載單元124的第一端121。二 戟面25上，並鄰 感測面係與承載丄 運裝置U)0例如是包括兩在本實施例中’基板搬
^ ^ A 弟鳊121與第二端123之間的兩側邊。 =1 夺參照圖1及圖2，當承載單元m伸人η ίίίΓ1時’可藉由位置校正感測器320來檢知基板⑻是 否杨轉移㈣現象，關斷承鮮元12 修正其取纽置。 進碰轉 晋右：士= 基板處理系統係在基板掩運裝置中設 ^基板犬域測器，以於承載單謂儲放_的基板進行映 射感測時，同時檢知是否有基板過度突出於儲放£外，因而避 免承載早兀在映射感測過程中撞傷突出的基板。由此可知 ⑩發明能夠有效地提高基板的生產良率。 此外，本發明之基板搬運裝置還可以設置有多個破片感測 器，以便於在縣板從錢_取出後，先檢知基板是否破 損，進而確保經由基板搬運裝置搬運至製程機台 破片。如此-來，將可提升後續製程的運作流暢度，避免發生、 製私機台因需停機排除破片而延誤製程工時的問題。 雖然本發明已以較佳實施例揭露如上，然其並非用以限定 本發明，任何熟習此技藝者’在不脫離本發明之精神和範圍 内，當可作些狀更動錢飾’因此本發明之倾範圍當視後 12 201103848 附之申請糊朗所界定者為準。 【圖式簡單說明】 圖1為本發明之—實施例中基板處理系統的側面簡單示 意圖。 ' 圖2為圖1之基板搬運裝置的立體示意圖。 圖3為圖2之承載單元的放大示意圖。 圖4本發明之另一實施例中基板處理系統的側面簡單示 意圖。 圖5A為本發明之一實施例中映射感測器所回傳的訊號波 形時序圖。 圖5B為本發明之一實施例中基板突出感測器所回傳的訊 號波形時序圖。 圖6 A為本發明之另一實施例中映射感測器所回傳的訊號 波形時序圖。 圖6 B為本發明之另一實施例中基板突出感測器所回傳的 δίΐ號波形時序圖。 圖7Α至圖7C分別為基板破損的示意圖。 圖8Α至圖8C分別繪示本發明之不同實施例中破片感測 器所回傳的訊號波形時序圖。 【主要元件符號說明】 100 :基板處理系統 101 :基板 110 :儲放匣 112 :容置空間 !2〇 :基板搬運裝置 121:第—端义 13 201103848 122 :主體 123 :第二端 124 :承載單元 125 :承載面 126 :基板突出感測器 127 :第一感測面 128 :映射感測器 129 :第二感測面 210 :校正平台 脅211:第一側邊 213 :第二側邊 220、220a、220b、220c :破片感測器 310a、310b :位置校正單元 320 :位置校正感測器 D :距離 L:排列方向
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