TH74074A -
Silica and silica-based slurry
- Google Patents
Silica and silica-based slurry
Info
Publication number
TH74074A
TH74074ATH201002137ATH0201002137ATH74074ATH 74074 ATH74074 ATH 74074ATH 201002137 ATH201002137 ATH 201002137ATH 0201002137 ATH0201002137 ATH 0201002137ATH 74074 ATH74074 ATH 74074A
DC60 (06/09/45) การประดิษฐ์นี้เกี่ยวข้องกับซิลิกา, สารผสมสเลอรี และวิธีของการเตรียมของมัน โดยเฉพาะซิลิกาของการประดิษฐ์นี้ รวม ถึงอนุภาคเบื้องต้นที่เกาะเป็นกลุ่มก้อน สารผสมสเลอรี ซึ่ง รวมกับซิลิกา เหมาะสำหรับวัตถุขัดถู และมีประโยชน์โดยเฉพาะ สำหรับการทำระนาบเชิงกล ทางเคมีของซับสเตรตของสารกึ่งตัวนำ และไมโครอิเลคโทรนิกซับสเตรตอื่นๆ การประดิษฐ์นี้เกี่ยวข้องกับซิลิกา, สารผสมสเลอรี และวิธีของการเตรียมของมัน โดยเฉพาะซิลิกาของการประดิษฐ์นี้ รวม ถึงอนุภาคเบื้องต้นที่เกาะเป็นกลุ่มก้อน สารผสมสเลอรี ซึ่ง รวมกับซิลิกา เหมาะสำหรับวัตถุขัดถู และมีประโยชน์โดยเฉพาะ สำหรับการทำระนาบเชิงกล ทางเคมีของซับสเตรตของสารกึ่งตัวนำ และไมโครอิเลคโทรนิกชับสเตรตอื่นๆ DC60 (06/09/45) This invention involves silica, slurry mixtures and methods of its preparation. Specifically, the silica of this invention includes the bulking elementary particles, slurry mixtures, which combine with silica, suitable for abrasives. And especially useful For making a mechanical plane Chemistry of the semiconductor substrate And other microelectronic substrates The invention involved silica, slurry mixtures and methods of their preparation. Specifically, the silica of this invention includes the bulking elementary particles, slurry mixtures, which combine with silica, suitable for abrasives. And especially useful For making a mechanical plane Chemistry of the semiconductor substrate And other microelectronic devices
Claims (2)
1. ซิลิกาที่ประกอบด้วย (a) กลุ่มก้อนของอนุภาคเบื้องต้น ซึ่งอนุภาคเบื้องต้นดัง กล่าวมีเส้นผ่าศูนย์กลางโดยเฉลี่ย อย่างน้อยที่สุดเป็น 7 นา โนเมตร ในที่ซึ่งกลุ่มก้อนดังกล่าวมีขนาดกลุ่มก้อนน้อยกว่า 1 ไมครอน ; และ (b) ปริมาณไฮดรอกซิลอย่างน้อยที่สุด 7 หมู่ไฮดรอกซิล ต่อ ตารางนาโนเมตร1. Silica consists of (a) a group of primary particles. Which the elementary particles sound Said to have an average diameter At least 7 nanometers where the cluster is less than 1 micron; And (b) the hydroxyl content of at least 7 hydroxyl groups per square nanometer.2. ซิลิกาของข้อถือสิทธิ 1 ในที่ซึ่งเส้นผ่าศูนย์กลาง เฉลี่ยดังกล่าวของอนุภาคเบื้องต้นดังกล่าว อย่างน้อยที่สุด เป็น 10 นาแท็ก :2. Silica of claim 1 in which the diameter The mean of such elementary particles At least as 10 minutes:
TH201002137A2002-06-10
Silica and silica-based slurry
TH74074A
(en)