SU868116A1

SU868116A1 - Adsorption high-vacuum pump

Info

Publication number: SU868116A1
Application number: SU792848202A
Authority: SU
Inventors: Владислав Иванович Иванов; Владимир Иванович Куприянов; Геннадий Владимирович Варм; Сергей Дмитриевич Копенкин; Виктор Николаевич Семенов
Original assignee: Ленинградский технологический институт холодильной промышленности
Priority date: 1979-12-06
Filing date: 1979-12-06
Publication date: 1981-09-30

Description

(54) АДСОРБЦИОННЫЙ ВЫСОКОВАКУУМНЫЙ НАСОС(54) ADHESIVE HIGH-VOLUME PUMP

II

Изобретение относитс к вакуумной технике .The invention relates to vacuum technology.

Известен адсорбционный высоковакуумный насос, содержащий корпус и расположенную в нем криопанель с крупнопористым и мелкопористым адсорбентами 1J.Known adsorption high vacuum pump, comprising a housing and a cryopanel located in it with a large-porous and small-porous adsorbents 1J.

В известном насосе достигаемый вакуум зависит от начального давлени в откачиваемом объекте. С увеличением начального давлени в откачиваемом объекте уменьшаетс разрежение, которое может создать насос. Это св зано с закупоркой входных отверстий микропор адсорбента и заполнением его пор среднего размера, т. е. насыш .ением при высоких начальных давлени х откачки.In a known pump, the attainable vacuum depends on the initial pressure in the pumped object. With an increase in the initial pressure in the pumped object, the vacuum that the pump can create is reduced. This is due to the blockage of the micropore inlets of the adsorbent and the filling of its medium-sized pores, i.e., saturation at high initial pumping pressures.

Цель изобретени - повышение предельного вакуума.The purpose of the invention is to increase the limiting vacuum.

Указанна цель достигаетс тем, что криопанель герметично закреплена на корпусе с образованием форвакуумной и высоковакуумной полостей, и крупнопористый адсорбент расположен в форвакуумной полости , а мелкодисперсный - в высоковакуумной.This goal is achieved by the fact that the cryopanel is hermetically fixed on the body with the formation of forevacuum and high-vacuum cavities, and the large-pore adsorbent is located in the fore-vacuum cavity, and the fine-dispersed - in the high-vacuum one.

На чертеже изображен предлагаемый насос.The drawing shows the proposed pump.

Адсорбционный высоковакуумный насос содержит корпус 1 и расположенную в нем криопанель 2 с крупнопористым и мелкопористым адсорбентами 3 и 4. Криопанель 2 герметично закреплена на корпусе 1 с образованием форвакуумной и высоковакуумной полостей 5 и 6, и крупнопористый адсорбент 3 расположен в форвакуумной полости 5, а мелкопористый - в высоковакуумной полости 6.The adsorption high vacuum pump comprises a housing 1 and a cryopanel 2 located therein with a large-pore and finely porous adsorbents 3 and 4. The cryopanel 2 is hermetically fixed on the case 1 to form forevacuum and high-vacuum cavities 5 and 6, and the large-porous adsorbent 3 is located in the back vacuum cavity 5, and meloporium has 5 and 6, and the meloporic vacuum cavity 5 and 6 are in the fore vacuum 5, - in the high vacuum cavity 6.

Насос работает следующим образом.The pump works as follows.

После охлаждени криопанели 2 отка10 чивают объект крупнопористым адсорбентом 3 от атмосферного давлени до 10°-ь 10. Па. При этом вместе с воздухом в форвакуумную полость 5 переход т из объекта трудноадсорбируемые примеси воздуха: гелий, водорбд- и неон. Затем откачивают After cooling of the cryopanel 2, the object is recovered by the large-pore adsorbent 3 from atmospheric pressure to 10 ° 10. Pa. At the same time, together with air into the fore vacuum cavity 5, it is difficult to adsorb air impurities from the object: helium, hydrogen, and neon. Then siphon off

15 объект до высокого вакуума мелкопористым адсорбентом 4.15 object to high vacuum finely porous adsorbent 4.

Таким образом, описываемый насос позвол ет откачивать объекты без предварительной откачки от атмосферного давлени до 10-5 Па.Thus, the described pump allows objects to be pumped out without prior pumping from atmospheric pressure to 10-5 Pa.

2020

Claims

1. Aref'ev, AV, et al. Nitrogen-cooled sorptive ultrahigh-vacuum pump with SSNA —05. Instruments and experimental techniques. M., “Science 1968, No. 3, p. 149-153.