Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано дл измерени угловых перемещений объектов. Цель изобретени - обеспечение возможности измерени угловых перемещений . На фиг. 1 изображен датчик; на фиг. 2 - электрическа схема датчика Емкостной датчик перемещений со ,держит цилиндрический ротор 1 с дву м диаметрально расположенными вдол его образующей выточками 2 и статор выполненный в виде трех концентрически расположенных цилиндров 3-5 из диэлектрического материала с малым термическим коэффициентом расширени . На внешней поверхности внутреннего цилиндра 3 статора размещены в виде металлизированного покрыти две пары электродов 6 и 7, имеющих вид цилиндрических секторов расположенных симметрично и диаметрально противоположно и охватьшающих ротор 1 с частью выточек 2. На внешней поверхности среднего цилиндра 4 статора размещены три пары электродов 8 - 10, также имеющих вид симметрично и диаметрально расположенных цилиндрических секторов. Перва пара электродов 8 размещена напроти выточек 2 симметрично относительно смежных электродов 6 и 7, размещенных на внутреннем цилиндре 3 статор и электрически подключена к блоку 1 обработки сигналов. Две другие пары электродов 9 и 10 размещены между электродами первой пары и подключены к выходным клеммам генератора 12 питающего напр жени переменного тока. На наружной поверхности цилиндра 5 размещен экранирующий электрод 13. Ротор 1 и электроды 6 и 7 образуют переменные конденсаторы 14 и 15 (фиг. 2). Электроды 8 образуют с электродами 6 и 7 конденсаторы 16 и 17 посто ннрй емкости, а электроды 6, 9 и 7, 10 образуют конденсаторы 18 и 19. Датчик работает следующим образом. От гене:ратора 12 питани на пары электродов 6 и 7 подаютс противофазные напр жени . .Конденсаторы 18, 14 и 19, 15 образуют делители напр жени , сигналы с которьпс поступают на конденсаторы 16 и 17, через которые протекают проитвофазные токи, суммирующиес на входе блока 11 обработки сигнала. В сбалансированном состо нии датчика (исходном нулевом положении ротора 1) суммарный сигнал.на входе блока 11 равен нулю. Перемещение ротора 1 вызывает изменение емкостей конденсаторов 14 и 15, что приводит к по влению сигнала на входе блока 11. Этот сигнал, пропорциональный контролируемому угловому перемещению, регистрируетс соответствующим прибором (не показан). Повьш1ение точности измерений достигаетс исключением вли ни монтажных емкостей на характеристики датчика, так как эти емкости шунтируютс низкоомными выходными сопротивлени ми генератора 12 питани , повышенной стабильностью конденсаторов 14 - 19, обеспечиваемой выбором материала цилиндров 3 - 5, а также исключением вли ни синфазных помех, поступающих на конденсаторы 16 и 17 (вследствие их взаимной компенсации).The invention relates to a measurement technique and can be used to measure angular movements of objects. The purpose of the invention is to provide the possibility of measuring angular movements. FIG. 1 shows a sensor; in fig. 2 is an electrical circuit diagram of the sensor. Capacitive displacement sensor co. Holds a cylindrical rotor 1 with two diametrically located along its forming recesses 2 and a stator made in the form of three concentrically arranged cylinders 3-5 of a dielectric material with a low thermal expansion coefficient. On the outer surface of the inner cylinder 3 of the stator, two pairs of electrodes 6 and 7 are placed in the form of a metallized coating; they have cylindrical sectors arranged symmetrically and diametrically oppositely and cover the rotor 1 with part of the notches 2. On the outer surface of the middle cylinder 4 of the stator there are three pairs of electrodes 8 - 10, also having the appearance of symmetrically and diametrically arranged cylindrical sectors. The first pair of electrodes 8 is placed in front of the notches 2 symmetrically with respect to the adjacent electrodes 6 and 7 placed on the inner cylinder 3 of the stator and electrically connected to the signal processing unit 1. The other two pairs of electrodes 9 and 10 are placed between the electrodes of the first pair and connected to the output terminals of the generator 12 of the alternating current supply voltage. A shielding electrode 13 is placed on the outer surface of the cylinder 5. The rotor 1 and the electrodes 6 and 7 form variable capacitors 14 and 15 (Fig. 2). Electrodes 8 form capacitors 16 and 17 of constant capacitance with electrodes 6 and 7, and electrodes 6, 9 and 7, 10 form capacitors 18 and 19. The sensor works as follows. From the gene: power rator 12, anti-phase voltages are applied to pairs of electrodes 6 and 7. The capacitors 18, 14 and 19, 15 form voltage dividers, the signals from which are fed to the capacitors 16 and 17, through which the output-phase currents are summed up at the input of the signal processing unit 11. In the balanced state of the sensor (the initial zero position of the rotor 1), the total signal at the input of block 11 is zero. The movement of the rotor 1 causes a change in the capacitors of capacitors 14 and 15, which leads to the appearance of a signal at the input of unit 11. This signal, proportional to the controlled angular movement, is recorded by a corresponding device (not shown). Improving the measurement accuracy is achieved by eliminating the effect of mounting capacitances on sensor performance, since these capacitors are shunted by low-impedance output resistors of the power supply generator 12, the increased stability of capacitors 14-19 provided by the choice of cylinder material 3-5, as well as eliminating the effect of common mode noise coming in on capacitors 16 and 17 (due to their mutual compensation).
иг. 1ig. one