RU2817562C1 - Piezoelectric dispenser - Google Patents
Piezoelectric dispenser Download PDFInfo
- Publication number
- RU2817562C1 RU2817562C1 RU2023131929A RU2023131929A RU2817562C1 RU 2817562 C1 RU2817562 C1 RU 2817562C1 RU 2023131929 A RU2023131929 A RU 2023131929A RU 2023131929 A RU2023131929 A RU 2023131929A RU 2817562 C1 RU2817562 C1 RU 2817562C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- nozzle
- liquid supply
- along
- piezoelectric
- membrane
- Prior art date
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 26
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims abstract description 7
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims abstract description 5
- 238000009736 wetting Methods 0.000 claims abstract description 5
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims abstract 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 4
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 4
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 2
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 239000002952 polymeric resin Substances 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 229920001169 thermoplastic Polymers 0.000 description 1
Abstract
Description
Изобретение относится к устройствам для дозирования жидкости, предназначенное для работы в принтерах. Подобные устройства имеют широкое применение и встраиваются в различные системы дозирования, которые требуют, чтобы эти устройства осуществляли подачу капель объемом от нескольких пиколитров до нескольких нанолитров с высокой точностью и достаточно большой частотой.The invention relates to devices for liquid dispensing, intended for use in printers. Such devices are widely used and are integrated into various dosing systems, which require that these devices deliver droplets in volumes ranging from several picoliters to several nanoliters with high accuracy and sufficiently high frequency.
Пьезоэлектрические дозаторы являются хорошо известными и эффективными устройствами, применяемыми в различных областях техники. Данные устройства обладают высокой эффективностью при использовании их для дозирования в различных принтерах. Ширина применения пьезоэлектрических дозаторов обширна, но для в каждом случае характеристики подобных устройств существенно различны, например, известны следующие дозаторы:Piezoelectric dispensers are well-known and effective devices used in various fields of technology. These devices are highly efficient when used for dispensing in various printers. The scope of application of piezoelectric dispensers is extensive, but in each case the characteristics of such devices are significantly different, for example, the following dispensers are known:
Известен пьезоэлектрический дозатор с продольным преобразователем и сменной капиллярной трубкой (Международная заявка PCT/US2012/022091), заявитель Biodot INC. Продольный преобразователь обычно содержит пьезоэлектрический привод, соединенный с трубкой. Приведение в действие пьезоэлектрического привода импульсом напряжения вызывает радиальное движение трубки внутрь и генерирует акустическое давление или волну напряжения через стенку трубки, что приводит к осевому движению и смещению стенки трубки.A known piezoelectric dispenser with a longitudinal transducer and a replaceable capillary tube (International application PCT/US2012/022091), applicant Biodot INC. The longitudinal transducer typically contains a piezoelectric actuator connected to a tube. Actuating the piezoelectric actuator with a voltage pulse causes radial inward movement of the tube and generates an acoustic pressure or stress wave through the tube wall, resulting in axial motion and displacement of the tube wall.
Известен патент US6232129 устройство с пьезоэлектрическим приводом для сбора и дозирования проб жидкости. Пробы жидкости собираются или втягивается в устройство путем погружения наконечника в жидкость. Далее наконечник помещают в область печати, а подача электрического сигнала приводит дозированию жидкости. Устройство опционально включает в себя второй пьезоэлектрический элемент, выполняющий функцию датчика, позволяющего определить заполнен ли дозатор, засорен или работает должным образом.Known patent US6232129 is a device with a piezoelectric drive for collecting and dosing liquid samples. Liquid samples are collected or drawn into the device by immersing the tip in the liquid. Next, the tip is placed in the printing area, and an electrical signal is applied to dispense the liquid. The device optionally includes a second piezoelectric element that acts as a sensor to determine whether the dispenser is full, clogged, or functioning properly.
Описанные выше устройства сложны в изготовлении, т.к. для их создания требуется множество специфичных элементов, а использование капиллярных трубок дает преимущество их замены, но при этом имеет существенный недостаток, проявляющийся в том, что для новой трубки траектория полета капли будет отличаться от траектории полета, которая была ранее. Также эти устройства занимают существенно больше места чем классические. Следовательно, при использовании дозаторов со сменными трубками возникает сложность их применения в устройствах принтерной печать, например, ориентированных на массовое производство матриц олигонуклиотидов. В этом случае преимуществом обладают классические пьезоэлектрические дозирующие устройства (без сменной трубки). The devices described above are difficult to manufacture, because their creation requires many specific elements, and the use of capillary tubes gives the advantage of replacing them, but at the same time has a significant drawback, which is manifested in the fact that for the new tube the flight path of the drop will be different from the flight path that was before. Also, these devices take up significantly more space than classic ones. Consequently, when using dispensers with replaceable tubes, it becomes difficult to use them in printer devices, for example, those aimed at mass production of oligonucliotide matrices. In this case, classic piezoelectric dosing devices (without a replaceable tube) have an advantage.
Ближайшим аналогом заявляемого изобретения, является пьезоэлектрический дозатор патента США № 5094594, который состоит из насосного агрегата с соответствующей камерой и деформируемого сегмента камеры, на котором расположен пьезоэлемент с электрическим управлением. Перекачиваемая жидкость подается в камеру насоса через впускной капилляр (входной канал). Данный насос предназначен для генерации микрокапель и состоит из по меньшей мере одной насосной камеры (камеры подачи жидкости), или нескольких камер, расположенных параллельно.The closest analogue of the claimed invention is a piezoelectric dispenser of US patent No. 5094594, which consists of a pump unit with a corresponding chamber and a deformable chamber segment on which an electrically controlled piezoelectric element is located. The pumped liquid is supplied to the pump chamber through the inlet capillary (inlet channel). This pump is designed to generate microdroplets and consists of at least one pumping chamber (liquid supply chamber), or several chambers located in parallel.
Одним из основных недостатков, аналогов данного изобретения является создание дозаторов с соплом, поверхность которого на выходе имеет различную шероховатость по длине периметра отверстия, а именно: Дозаторы изготавливаются из двух пластин композитного материала кремниевого и стеклянного, которые соединены друг с другом анодным соединением. Торцевая часть у таких пластин из различных материалов обладает различной шероховатостью, в дополнение к этому при создании в пластине (пластинах) канала для сопла края этого канала имеют существенные неоднородности (неровности) из-за технологического процесса при изготовлении. В итоге на выходе сопла часть жидкости соприкасается с одной пластиной, часть с другой, а неровности на выходе сопла существенно увеличивают периметр отверстия. Это при работе дозатора приводит к отклонению капли от нужной траектории, т.е. создаются изделия, при дозировании которыми жидкость может отклоняется на различные углы, следовательно, создание серийных образцов с одинаковыми характеристиками становится проблематичным. Даже существенно проблематичный процесс снижения шероховатости поверхности на выходе по средствам химической полировки позволяет лишь частично компенсировать данную проблему.One of the main disadvantages of the analogues of this invention is the creation of dispensers with a nozzle, the surface of which at the outlet has a different roughness along the length of the perimeter of the hole, namely: Dispensers are made of two plates of a composite material of silicon and glass, which are connected to each other by an anode connection. The end part of such plates made of different materials has different roughness, in addition to this, when creating a channel for a nozzle in the plate (plates), the edges of this channel have significant inhomogeneities (irregularities) due to the manufacturing process. As a result, at the nozzle exit, part of the liquid comes into contact with one plate, part with another, and irregularities at the nozzle exit significantly increase the perimeter of the hole. During operation of the dispenser, this leads to the deviation of the drop from the desired trajectory, i.e. products are being created in which, when dosing, the liquid can be deflected at different angles, therefore, the creation of serial samples with the same characteristics becomes problematic. Even the significantly problematic process of reducing the surface roughness at the output by means of chemical polishing can only partially compensate for this problem.
Из уровня техники считается, что форма сопла не имеет существенного значения в случае использования капиллярных трубок (используются в аналогах), однако для дозаторов, аналогичных прототипу форма сопла играет существенную роль из-за особенностей шероховатости поверхности на его выходе. В данном случае влияние шероховатости играет существенную роль, т.к. от нее зависит угол смачивания. В зависимости от угла смачивания капли могут существенно откланяться от нужных траекторий, что приводит к снижению точности при попадании капель в нужное место.From the prior art it is believed that the shape of the nozzle is not significant in the case of using capillary tubes (used in analogues), however, for dispensers similar to the prototype, the shape of the nozzle plays a significant role due to the characteristics of the surface roughness at its outlet. In this case, the influence of roughness plays a significant role, because the contact angle depends on it. Depending on the contact angle, the drops can deviate significantly from the desired trajectories, which leads to a decrease in accuracy when the drops hit the desired location.
В отличие от аналога предлагаемое изобретение создается не из кремниевой и стеклянной пластин, а из двух кремниевых по средствам бондирования, в одной из которых, как и в аналоге, формируется каналы (области) путем жидкостного травления, но по кристаллографическому направлению полупроводника. Использование одинаковых пластин и травление по кристаллографическому направлению полупроводника повышает повторяемость при создании различных образцов и позволяет создавать дозаторы с практически одинаковой шероховатостью торцевой части по всему периметру вокруг выхода сопла. В данном случае сопло получается треугольной формы. Капли при вылете из такого сопла имеют меньшее отклонение от нужной траектории, чем из сопла другой формы.Unlike the analogue, the proposed invention is created not from silicon and glass wafers, but from two silicon ones by means of bonding, in one of which, like in the analogue, channels (regions) are formed by liquid etching, but along the crystallographic direction of the semiconductor. The use of identical wafers and etching along the crystallographic direction of the semiconductor increases repeatability when creating different samples and allows you to create dispensers with almost the same roughness of the end part along the entire perimeter around the nozzle exit. In this case, the nozzle is triangular in shape. Drops leaving such a nozzle have a smaller deviation from the desired trajectory than from a nozzle of another shape.
Технический результат заявляемого изобретения заключается в увеличении кучности при вылете капель из сопла. The technical result of the claimed invention is to increase the accuracy when drops fly out of the nozzle.
Технический результата достигается за счет треугольного сечения на выходе и использования одинаковых кремниевых пластин. Увеличение кучности позволяет повысить точность попадания капель в заданную точку при использовании пьезоэлектрического дозатора в принтерах.The technical result is achieved due to the triangular cross-section at the output and the use of identical silicon wafers. Increasing the accuracy makes it possible to increase the accuracy of droplets hitting a given point when using a piezoelectric dispenser in printers.
На фиг 1. приведена зависимость объема капли от угла смачивания при фиксированных параметрах жидкости, длительности импульса и средней скорости жидкости (разности потенциалов) через сечение на выходе из сопла при фиксированных остальных параметрах системы – а, зависимость угла отклонения капли от разности углов смачивания θ1 - θ2 (θ1 и θ2 – углы смачивания в градусах, соответствующие разным половинам периметра сопла на выходе) при фиксированных остальных параметрах системы – б, зависимость угла отклонения капли от расстояния до плоскости параллельной одной из сторон треугольного сопла и делящей периметр его сечения пополам (в положительную сторону откладывается расстояние от этой плоскости до параллельной грани сечения сопла, а вертикальные линии соответствуют границам сечения сопла) – в.Figure 1 shows the dependence of the droplet volume on the contact angle for fixed liquid parameters, pulse duration and average liquid velocity (potential difference) through the cross section at the nozzle exit for fixed other system parameters - a, dependence of the droplet deflection angle on the difference in contact angles θ 1 - θ 2 (θ 1 and θ 2 – wetting angles in degrees, corresponding to different halves of the nozzle perimeter at the outlet) with the remaining parameters of the system fixed - b, dependence of the drop deflection angle on the distance to the plane parallel to one of the sides of the triangular nozzle and dividing the perimeter of its cross-section in half (the distance from this plane to the parallel face of the nozzle section is plotted in the positive direction, and the vertical lines correspond to the boundaries of the nozzle section) - c.
На фиг. 2а представлен чертеж (вид сверху) дозатора, и трехмерная схема геометрии функциональных элементов внутренней части (фиг. 2б) в пропорции 1:2:5 (длина:ширина:высота), где 1 – сопло (с треугольным выходом), 2 – выходной канал, 3- входной канал в камеру подачи жидкости, 4 – камера подачи жидкости, 5 – мембрана, 6– пьезоэлемент.In fig. Figure 2a shows a drawing (top view) of the dispenser, and a three-dimensional diagram of the geometry of the functional elements of the internal part (Fig. 2b) in the proportion 1:2:5 (length:width:height), where 1 is the nozzle (with a triangular outlet), 2 is the outlet channel, 3 – inlet channel to the liquid supply chamber, 4 – liquid supply chamber, 5 – membrane, 6 – piezoelectric element.
На фиг. 3 представлены фотография макета дозатора – а и сопла треугольной формы – б.In fig. Figure 3 shows a photograph of a dispenser layout – a and a triangular nozzle – b.
Использование пьезодозаторов является эффективным для различного рода принтерной печати, т.к. данные дозаторы позволяют осуществлять вылет капель с большой частотой, что сопровождается высокими скоростями. На таких скоростях особо важную роль играет угол смачивания поверхности сопла, обусловленный шероховатостью торцевой части. С помощью численного моделирования нами показано, что от угла смачивания существенно зависит объем вылетающей капли (фиг. 1а), а от того насколько угол смачивания одинаков в различных точках по периметру сопла зависит то, на сколько будет отклоняться капля в полете (фиг. 1б). The use of piezodosers is effective for various types of printing, because These dispensers allow droplets to be ejected with high frequency, which is accompanied by high speeds. At such speeds, the wetting angle of the nozzle surface, caused by the roughness of the end part, plays a particularly important role. Using numerical modeling, we have shown that the volume of an emitted drop significantly depends on the contact angle (Fig. 1a), and how much the drop will deviate in flight depends on how much the contact angle is the same at different points along the perimeter of the nozzle (Fig. 1b) .
Заявляемый пьезодозатор изготавливается из двух пластин, технологический канал сопла делается в одной пластине. В этом случае при фиксированной разности углов смачивания для треугольного сопла значение угла отклонения капли соответствует пересечению правой вертикальной линии на фиг. 1в и кривой зависимости угла отклонения капли от расстояния до плоскости параллельной одной из сторон треугольного сопла и делящей периметр его сечения пополам.The inventive piezodischarger is made of two plates, the technological channel of the nozzle is made in one plate. In this case, at a fixed difference in contact angles for a triangular nozzle, the value of the drop deflection angle corresponds to the intersection of the right vertical line in Fig. 1c and the curve of the dependence of the angle of deflection of the drop on the distance to the plane parallel to one of the sides of the triangular nozzle and dividing the perimeter of its cross-section in half.
Угол смачивания существенно зависит от шероховатости поверхности. Из фиг. 1 видно, что создание сопла с углом смачивания одинаковым по всему его периметру является приоритетной задачей для серийного производства пьезодозаторов. Такое влияние угла смачивания на работу дозирующей системы обусловлено высокими скоростями вылета капель, которые свойственны именно пьезодозаторам. Отметим, что даже сильные изменения геометрии сечения сопла не приводят к таким отклонениям, которые показаны на фиг. 1б.The contact angle significantly depends on the surface roughness. From fig. 1 it can be seen that creating a nozzle with a wetting angle that is the same along its entire perimeter is a priority task for the serial production of piezodispensers. This influence of the contact angle on the operation of the dosing system is due to the high droplet emission rates, which are characteristic of piezodispensers. Note that even strong changes in the geometry of the nozzle cross-section do not lead to such deviations as shown in Fig. 1b.
Канал вылета капель в предлагаемом изобретении технологически создается следующим образом: На полупроводниковой пластине формируется маска на основе резиста или диэлектрика или металла с топологическим рисунком повторяющий форму канала дозатора. Через сформированную маску, с помощью жидкостного травителя вытравливается канал в полупроводнике. Так как скорость травления полупроводниковой подложки отличается в зависимости от кристаллографического направления, то формируется треугольная форма выходного сопла дозатора. На фиг. 2 показан чертеж дозатора с треугольным соплом.The droplet emission channel in the proposed invention is technologically created as follows: A mask based on a resist or dielectric or metal with a topological pattern repeating the shape of the dispenser channel is formed on the semiconductor wafer. Through the formed mask, a channel in the semiconductor is etched using a liquid etchant. Since the etching rate of the semiconductor substrate differs depending on the crystallographic direction, a triangular shape of the dispenser output nozzle is formed. In fig. Figure 2 shows a drawing of a dispenser with a triangular nozzle.
Осуществление данного изобретения заключается в следующем:The implementation of this invention is as follows:
Пьезоэлектрический дозатор, пример реализации которого представлен на фотографии фиг. 3а, имеет внутреннюю геометрию, пример которой показан на фиг. 2б.Piezoelectric dispenser, an example of the implementation of which is shown in the photograph of Fig. 3a has an internal geometry, an example of which is shown in FIG. 2b.
На фиг. 4 показана схема сечения дозатора (секущая плоскость проходит вдоль линии 12 на фиг. 2а перпендикулярно рисунку), на которой 1 – сопло (с треугольным выходом), 2 – выходной канал, 3 – входной канал в камеру подачи жидкости, 4 – камера подачи жидкости, 5 – мембрана, 6 – пьезоэлемент, 7 – пластина, на которую крепится пьезоэлемент, 8 – пластина с технологическими каналами, 9 – область приклейки пьезоэлемента, покрытая тонким электропроводящим слоем, 10 – тонкий электропроводящим слой, 11 – термопластическая полимерная смола, фиксирующая пьезоэлемент.In fig. Figure 4 shows a cross-sectional diagram of the dispenser (the cutting plane runs along line 12 in Fig. 2a perpendicular to the figure), in which 1 is a nozzle (with a triangular outlet), 2 is an output channel, 3 is an inlet channel to the liquid supply chamber, 4 is a liquid supply chamber , 5 – membrane, 6 – piezoelement, 7 – plate on which the piezoelement is attached, 8 – plate with technological channels, 9 – gluing area of the piezoelement, covered with a thin electrically conductive layer, 10 – thin electrically conductive layer, 11 – thermoplastic polymer resin that fixes the piezoelement .
Дозатор работает по средствам выдавливания жидкости через канал 2 и сопло 1 (фиг. 4) при механическом (акустическом) воздействии пьезоэлемента 6 (фиг. 4) на мембрану 5 (фиг. 4). Жидкость поступает через канал 3 (фиг. 4). Механическое воздействие осуществляется по средствам пьезоэффекта возникающего при создании разности потенциалов между обкладками 9 и 10 (фиг. 4). В итоге, при подаче на обкладки 9 и 10 (фиг. 4) сигнала импульсного типа, из сопла 1 (фиг. 4) вылетает капля. На выходе сопло 1 (фиг. 4) имеет вид, показанный на фиг. 3б.The dispenser operates by squeezing liquid through channel 2 and nozzle 1 (Fig. 4) under the mechanical (acoustic) effect of the piezoelectric element 6 (Fig. 4) on the membrane 5 (Fig. 4). Liquid enters through channel 3 (Fig. 4). The mechanical effect is carried out by means of the piezoelectric effect that occurs when creating a potential difference between the plates 9 and 10 (Fig. 4). As a result, when a pulse-type signal is applied to plates 9 and 10 (Fig. 4), a droplet flies out of nozzle 1 (Fig. 4). At the exit, nozzle 1 (Fig. 4) has the appearance shown in Fig. 3b.
Экспериментальная проверка поводилась на пяти дозаторах с квадратным и 5 дозаторах с треугольным соплом. Доказано, что в случае квадратного сопла, площадь сечения которого на выходе равна площади сечения треугольного сопла на выходе при приложении разности потенциалов от 30 до 300 В угол отклонения капли от заданного направления составляет от 30 до 45 градусов, при этом для треугольного сопла он не превышает 10 градусов.Experimental testing was carried out on five dispensers with a square and 5 dispensers with a triangular nozzle. It has been proven that in the case of a square nozzle, the cross-sectional area of which at the outlet is equal to the cross-sectional area of the triangular nozzle at the outlet, when applying a potential difference from 30 to 300 V, the angle of deflection of the drop from a given direction is from 30 to 45 degrees, while for a triangular nozzle it does not exceed 10 degrees.
Claims (1)
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2817562C1 true RU2817562C1 (en) | 2024-04-16 |
Family
ID=
Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5136310A (en) * | 1990-09-28 | 1992-08-04 | Xerox Corporation | Thermal ink jet nozzle treatment |
| US5867192A (en) * | 1997-03-03 | 1999-02-02 | Xerox Corporation | Thermal ink jet printhead with pentagonal ejector channels |
| JP2000509651A (en) * | 1997-02-19 | 2000-08-02 | ハーン−シカルト−ゲゼルシャフト フュア アンゲヴァンテ フォルシュング エー ファオ | Micro-injection device and its operation method |
| JP3228028B2 (en) * | 1994-11-07 | 2001-11-12 | 富士ゼロックス株式会社 | Method of manufacturing ink jet recording head |
| US6416294B1 (en) * | 1998-01-22 | 2002-07-09 | Hans-Schickard-Gesellschaft Fur Angewandte Forschung E.V. | Microdosing device |
| JP2002370351A (en) * | 2001-06-15 | 2002-12-24 | Fuji Xerox Co Ltd | Ink jet recording head and ink jet recorder |
| JP2003225943A (en) * | 2002-01-16 | 2003-08-12 | Xerox Corp | Feature forming method |
| US20040071601A1 (en) * | 2002-10-15 | 2004-04-15 | Larson Bradley James | Methods and apparata for precisely dispensing microvolumes of fluids |
Patent Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5136310A (en) * | 1990-09-28 | 1992-08-04 | Xerox Corporation | Thermal ink jet nozzle treatment |
| JP3228028B2 (en) * | 1994-11-07 | 2001-11-12 | 富士ゼロックス株式会社 | Method of manufacturing ink jet recording head |
| JP2000509651A (en) * | 1997-02-19 | 2000-08-02 | ハーン−シカルト−ゲゼルシャフト フュア アンゲヴァンテ フォルシュング エー ファオ | Micro-injection device and its operation method |
| DE59800391D1 (en) * | 1997-02-19 | 2001-01-25 | Hahn Schickard Ges | MICRODOSING DEVICE AND METHOD FOR OPERATING THE SAME |
| US5867192A (en) * | 1997-03-03 | 1999-02-02 | Xerox Corporation | Thermal ink jet printhead with pentagonal ejector channels |
| US6416294B1 (en) * | 1998-01-22 | 2002-07-09 | Hans-Schickard-Gesellschaft Fur Angewandte Forschung E.V. | Microdosing device |
| JP2002370351A (en) * | 2001-06-15 | 2002-12-24 | Fuji Xerox Co Ltd | Ink jet recording head and ink jet recorder |
| JP2003225943A (en) * | 2002-01-16 | 2003-08-12 | Xerox Corp | Feature forming method |
| US20040071601A1 (en) * | 2002-10-15 | 2004-04-15 | Larson Bradley James | Methods and apparata for precisely dispensing microvolumes of fluids |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Т. А. Акулинин и др. Жидкостной пьезоэлектрический микродозатор на основе кремниевой подложки // Электронные средства и системы управления. Материалы докладов Международной научно-практической конференции. - 2022. - 1-1. - С. 66-69. * |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP1321294B1 (en) | Piezoelectric ink-jet printhead and method for manufacturing the same | |
| KR101192565B1 (en) | A fluid ejector | |
| US8388116B2 (en) | Printhead unit | |
| JPH06218921A (en) | Ink jetting device | |
| EP3019337B1 (en) | Liquid ejection head and process for producing the same | |
| WO1994015791A1 (en) | Ink jet head | |
| RU2817562C1 (en) | Piezoelectric dispenser | |
| JP2001232245A (en) | Liquid discharging head | |
| JPH09323431A (en) | Ink jet recording head, manufacture of the head, and ink jet recording apparatus using the same | |
| US10611144B2 (en) | Fluid ejection devices with reduced crosstalk | |
| JP2004082722A (en) | Method of manufacturing liquid jet head | |
| Kwon et al. | Directional droplet ejection by nozzleless acoustic ejectors built on ZnO and PZT | |
| KR20110126587A (en) | Discharge head and discharge device | |
| JP2003516252A (en) | Resonant cavity droplet ejector with localized ultrasonic excitation and method of manufacturing the same | |
| JPS5840509B2 (en) | inkjet gun | |
| JP2004202849A (en) | Manufacturing method for liquid injection head | |
| US11225070B2 (en) | Fluidic dies with beveled edges underneath electrical leads | |
| JP2000310645A (en) | Liquid injection device | |
| JPH06246916A (en) | Ink jet device | |
| RU2822864C1 (en) | Piezoelectric dispenser and dispensing method | |
| TW568837B (en) | Piezo-electrical ink-jetting nozzle head and its production method | |
| JPH09156097A (en) | Liquid spouting apparatus an its manufacture | |
| JPH06226973A (en) | Ink jet apparatus | |
| JP2003062994A (en) | Ink-jet head | |
| JPH06226972A (en) | Ink jet apparatus |