Nothing Special   »   [go: up one dir, main page]

RU2748391C1 - Device for reading information from wireless sensor on surface acoustic waves - Google Patents

Device for reading information from wireless sensor on surface acoustic waves Download PDF

Info

Publication number
RU2748391C1
RU2748391C1 RU2020135037A RU2020135037A RU2748391C1 RU 2748391 C1 RU2748391 C1 RU 2748391C1 RU 2020135037 A RU2020135037 A RU 2020135037A RU 2020135037 A RU2020135037 A RU 2020135037A RU 2748391 C1 RU2748391 C1 RU 2748391C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
physical quantity
output
frequency
measured physical
sensor
Prior art date
Application number
RU2020135037A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Геворк Яковлевич Карапетьян
Евгений Михайлович Кайдашев
Original Assignee
федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования «Южный федеральный университет»
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования «Южный федеральный университет» filed Critical федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования «Южный федеральный университет»
Priority to RU2020135037A priority Critical patent/RU2748391C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2748391C1 publication Critical patent/RU2748391C1/en

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01SRADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S13/00Systems using the reflection or reradiation of radio waves, e.g. radar systems; Analogous systems using reflection or reradiation of waves whose nature or wavelength is irrelevant or unspecified
    • G01S13/74Systems using reradiation of radio waves, e.g. secondary radar systems; Analogous systems
    • G01S13/75Systems using reradiation of radio waves, e.g. secondary radar systems; Analogous systems using transponders powered from received waves, e.g. using passive transponders, or using passive reflectors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01QANTENNAS, i.e. RADIO AERIALS
    • H01Q23/00Antennas with active circuits or circuit elements integrated within them or attached to them
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
  • Arrangements For Transmission Of Measured Signals (AREA)

Abstract

FIELD: monitoring systems.SUBSTANCE: invention is intended for use in systems for monitoring the state of objects in order to prevent unforeseen situations when monitoring rapidly changing physical quantities. The high-frequency harmonic oscillator 1 generates a sounding continuous radio signal of one frequency with constant amplitude to the transmitting and receiving antenna 7, directed to the transmitting and receiving antenna 8 of the receiving interdigital transducer 10 of the surface acoustic wave sensor 9. The low-frequency signal modulated in accordance with the change in the measured physical quantity at the output of the detector 3 is fed to the input of the ADC 4, which continuously digitizes the signals from the sensor 9, which is connected to the computer 5, which determines the measured physical quantity in real time, and from the output of the low-pass filter the time dependence of the measured physical quantity is removed.EFFECT: invention allows monitoring the measured physical quantity continuously and recording all its changes over time, which eliminates the loss of information.1 cl, 6 dwg

Description

Изобретение относится к области электроники и предназначено для считывания информации с беспроводных датчиков на поверхностных акустических волнах, используемых в системах мониторинга состояния объектов с целью предупреждения непредвиденных ситуаций при контроле быстроменяющихся физических величин, а именно, интенсивности ультрафиолетового излучения, состава вредных газов, величины деформаций и микро перемещений конструкций объектов инфраструктуры, температуры окружающей среды на различных объектах.The invention relates to the field of electronics and is intended for reading information from wireless sensors on surface acoustic waves used in systems for monitoring the state of objects in order to prevent unforeseen situations when monitoring rapidly changing physical quantities, namely, the intensity of ultraviolet radiation, the composition of harmful gases, the magnitude of deformations and micro displacements of structures of infrastructure facilities, ambient temperature at various facilities.

Считыватель информации с беспроводного датчика на поверхностных акустических волнах (ПАВ) формирует опросные радиосигналы и излучает их посредством антенны. Датчик физической величины (микро перемещений, деформации, ультрафиолетового излучения, состава газовой смеси, температуры) попадая в область действия антенны, в ответ на сигнал опроса передает ответный радиосигнал, содержащий информацию о физической величине, которая определяется считывателем и передается на внешнее устройство обработки данных. An information reader from a wireless surface acoustic wave (SAW) sensor generates interrogating radio signals and emits them through an antenna. A physical quantity sensor (micro displacements, deformation, ultraviolet radiation, gas composition, temperature), falling into the antenna area, in response to the polling signal transmits a response radio signal containing information about the physical quantity, which is determined by the reader and is transmitted to an external data processing device.

Из уровня техники широко известно использование считывателя для получения информации о физических величинах от беспроводных датчиков на ПАВ (RU2296950, 6МПК G01 D5/00 опубл. 27.02.2006) [1], RU 2387051, 6МПК, H01L41/107, G01D5/12, опубл. 20.04.2010) [2], RU2550697, МПК-2006.01 G01D5/00, B82B1/00, опубл. 10.05.2015 [3], RU2581570, МПК-2006.01 H03H9/25, опубл. 20.04.2016 [4],   RU2585487, МПК-2006.01 G01K 11/24, H01L 41/08, опубл. 27.05.2016) [5]. It is widely known from the prior art to use a reader to obtain information about physical quantities from wireless SAW sensors (RU2296950, 6MPK G01 D5 / 00 publ. 27.02.2006) [1], RU 2387051, 6MPK, H01L41 / 107, G01D5 / 12, publ. ... 20.04.2010) [2], RU2550697, MPK-2006.01 G01D5 / 00, B82B1 / 00, publ. 05/10/2015 [3], RU2581570, MPK-2006.01 H03H9 / 25, publ. 04/20/2016 [4], RU2585487, MPK-2006.01 G01K 11/24, H01L 41/08, publ. 05/27/2016) [5].

Опросный радиоимпульс принимается приемо-передающей антенной датчика на ПАВ и попадает приемо-передающий встречно штыревой преобразователь (ВШП), расположенный на пьезоэлектрическом звукопроводе, где преобразуется в импульсы ПАВ, которые, распространяясь вдоль звукопровода, отражаются от расположенных на пути распространения ПАВ отражательных ВШП, первый из которых является опорным, а последний может быть соединен с импедансом, величина которого зависит от измеряемой физической величины. При изменении импеданса изменяется коэффициент отражения ПАВ от отражательного ВШП, что приводит к изменению амплитуды и фазы отраженных от него ПАВ. Отраженные от него и от другого ВШП импульсы ПАВ приходят на приемопередающий ВШП, где преобразуются в электромагнитный сигнал, представляющий последовательность радиоимпульсов, амплитуда и фаза которых пропорциональны амплитуде ПАВ падающих на приемо-передающий ВШП, и попадают на считыватель. В считывателе амплитуды отраженных ПАВ от первого и последнего ВШП сравниваются и определяется значение измеряемой физической величины, если последний ВШП нагружен на импеданс, или измеряют задержку ПАВ между первым и последним ВШП, если последний не нагружен. Амплитуда и фаза (задержка) отраженных ПАВ также может меняться, если ПАВ проходят под пленкой, расположенной между соседними отражательными ВШП. В этом случае под действием измеряемой физической величины, например, интенсивности электромагнитного излучения в видимой или ультрафиолетовой области (Wenbo Penga, Yongning Heat, Changbao Wenb, Ke Maa, Surface acoustic wave ultraviolet detector based on zinc oxide nanowire sensing layer//Sensors and Actuators A: Physical Volume 184, September 2012, Pages 34–40 [6], US Patent 6914279, МПК7 H01L 29/82 от 05.06.2005 [7], US Patent 7989851, МПК-2006.01 H01L 29/82 от 02.08.2011 [8]) при наличии помех сигналы, отраженные от датчиков, могут быть на их уровне, и сигналы не могут быть обнаружены, так как усреднять принятые импульсы не предоставляется возможным из-за отсутствия синхронизации по частоте заполнения зондирующих импульсов, что является недостатком известных технических решений.The interrogation radio pulse is received by the transceiving antenna of the sensor on the SAW and the transceiver transceiver transducer (IDT), located on the piezoelectric sound conductor, gets into it, where it is converted into SAW pulses, which, propagating along the acoustic line, are reflected from the reflective IDTs located on the path of SAW propagation, the first of which is a reference, and the latter can be connected to an impedance, the value of which depends on the measured physical quantity. When the impedance changes, the reflection coefficient of the SAW from the reflective IDT changes, which leads to a change in the amplitude and phase of the SAW reflected from it. The SAW pulses reflected from it and from another IDT arrive at the transceiving IDT, where they are converted into an electromagnetic signal representing a sequence of radio pulses, the amplitude and phase of which are proportional to the amplitude of the SAW incident on the transceiving IDT, and enter the reader. In the reader, the amplitudes of the reflected SAWs from the first and last IDTs are compared and the value of the measured physical quantity is determined if the last IDT is loaded with impedance, or the SAW delay between the first and last IDTs is measured if the latter is not loaded. The amplitude and phase (delay) of the reflected SAWs can also change if the SAWs pass under a film located between adjacent reflective IDTs. In this case, under the action of a measurable physical quantity, for example, the intensity of electromagnetic radiation in the visible or ultraviolet region (Wenbo Penga, Yongning Heat, Changbao Wenb, Ke Maa, Surface acoustic wave ultraviolet detector based on zinc oxide nanowire sensing layer // Sensors and Actuators A : Physical Volume 184, September 2012, Pages 34-40 [6], US Patent 6914279, IPC 7 H01L 29/82 dated 05.06.2005 [7], US Patent 7989851, IPC-2006.01 H01L 29/82 dated 02.08.2011 [ 8]) in the presence of interference, the signals reflected from the sensors can be at their level, and the signals cannot be detected, since it is not possible to average the received pulses due to the lack of synchronization in the filling frequency of the probing pulses, which is a disadvantage of the known technical solutions ...

Указанный недостаток устранен в способе (RU 2629892, 6МПК Н03Н 31/00, опубл.04.09.2017) [9], в котором согласно зависимого п. 2 формулы изобретения считыватель содержит измеритель комплексных коэффициентов передачи (ИККП) «Обзор-103», подключенный к компьютеру. Стандартный измеритель комплексных коэффициентов передачи состоит из генераторного блока, блока управления, АЦП, измерительного блока, измеряющего комплексные коэффициенты передачи S11, S21, КСВН, ГВЗ. Блок управления задает параметры линейно - частотной модуляции (ЛЧМ) импульса, АЦП оцифровывает данные. Выход (вход) ИККП подсоединен с приемо-передающей антенной. На приемо-передающий ВШП датчика на ПАВ периодически подают с антенны считывателя зондирующий электромагнитный импульс, в котором частота дискретно меняется по линейному закону. Этот импульс отражается от приемо-передающей антенны датчика и вновь попадает на прием-передающую антенну считывателя, где измеряют частотную зависимость комплексного коэффициента отражения S11 этой антенны и ваыполняют Фурье-преобразование полученной частотной зависимости, по которому определяют амплитуду и задержку отраженных от датчика импульсов, причем длительность зондирующего электромагнитного импульса выбирается таким образом, что измерения на каждой частоте ведутся некоторое время, за которое ПАВ проходит расстояние большее, чем удвоенное расстояние между ВШП. Частота заполнения электромагнитного импульса формируется с помощью цифрового синтезатора частоты. При этом определение значения параметра S11 в каждой частотной точке производится некоторое время, за которое ПАВ проходит расстояние большее, чем удвоенное расстояние между ВШП, это приводит к повышению точности измерений из - за того, что амплитуды отраженного сигнала измеряются на определенной частоте более одного раза, а также из-за того, что фазы сигналов помех носят случайный характер и взаимно ослабляются за время измерения. Кроме того, из-за периодичности посылки частотно-модулированных импульсов измерение в каждой частотной точке производится несколько раз и эти измерения могут также суммироваться (усредняться), что также приводит к уменьшению влияния помех на результаты измерений, а, следовательно, к повышению точности измерений.This drawback is eliminated in the method (RU 2629892, 6MPK N03N 31/00, publ. 04.09.2017) [9], in which, according to the dependent claim 2 of the claims, the reader contains a complex transmission coefficient meter (IKKP) "Obzor-103" connected to the computer. A standard complex transfer ratio meter consists of a generator unit, a control unit, an ADC, a measuring unit that measures complex transfer coefficients S11, S21, VSWR, GVZ. The control unit sets the parameters of the linear - frequency modulation (chirp) of the pulse, the ADC digitizes the data. The output (input) of the IKKP is connected to the transmitting and receiving antenna. A probing electromagnetic pulse is periodically fed to the transceiver IDT of the SAW sensor from the reader antenna, in which the frequency discretely changes according to a linear law. This pulse is reflected from the transmitting-receiving antenna of the sensor and again falls on the receiving-transmitting antenna of the reader, where the frequency dependence of the complex reflection coefficient S 11 of this antenna is measured and the Fourier transform of the obtained frequency dependence is performed, according to which the amplitude and delay of the pulses reflected from the sensor are determined. moreover, the duration of the probing electromagnetic pulse is selected in such a way that measurements at each frequency are carried out for some time, during which the SAW travels a distance greater than twice the distance between IDTs. The filling frequency of the electromagnetic pulse is generated using a digital frequency synthesizer. In this case, the determination of the value of the parameter S 11 at each frequency point is made for some time, during which the SAW travels a distance greater than twice the distance between IDTs, this leads to an increase in the measurement accuracy due to the fact that the amplitudes of the reflected signal are measured at a certain frequency more than once , and also due to the fact that the phases of the interference signals are random and mutually attenuated during the measurement. In addition, due to the periodicity of sending frequency-modulated pulses, the measurement at each frequency point is made several times and these measurements can also be summed (averaged), which also leads to a decrease in the influence of interference on the measurement results, and, consequently, to an increase in the measurement accuracy.

Для повышения помехоустойчивости датчик на поверхностных акустических волнах для беспроводного пассивного измерения перемещений (RU 2486646, МПК: H01Q 23/00 (2006.01),G01S 13/75 (2006.01) опубл. 27.06.2013) [10] содержит считывающее устройство и устройство на ПАВ, при этом считывающее устройство состоит из приемо-передатчика и антенны, а устройство на ПАВ содержит антенну и резонаторы на ПАВ, каждый из которых содержит встречно-штыревой преобразователь, который электрически связан с антенной устройства на ПАВ, и двух отражательных структур. Опрос датчика считывающим устройством происходит следующим образом. По команде с компьютера считывающее устройство формирует N опросных радиоимпульсов, где N равно, например, 5, с фиксированными, равноотстоящими несущими частотами f 01 …f N  (например, f 01=433 и f 0N=434 МГц). Длительность каждого опросного импульса зависит от добротности резонаторов и при нагруженной добротности, например, ~8000 может быть, например, ~10 мкс. Опросные импульсы через антенну излучаются в направлении устройства на ПАВ в корпусе. Ответные сигналы устройства на ПАВ в корпусе на каждый опросный радиоимпульс через антенну поступают в считывающее устройство. Считывающее устройство выполняет усиление, фильтрацию и оцифровку принятых сигналов. Оцифрованные сигналы передаются в компьютер, где проходят обработку в соответствии с заданными алгоритмами. В результате обработки в компьютере определяются резонансные частоты резонаторов fR1 и fR2, по значениям которых определяется величина перемещения ΔX. To increase noise immunity, a surface acoustic wave sensor for wireless passive displacement measurement (RU 2486646, IPC: H01Q 23/00 (2006.01), G01S 13/75 (2006.01) publ. 06/27/2013) [10] contains a reader and a SAW device , while the reader consists of a transceiver and an antenna, and the SAW device contains an antenna and SAW resonators, each of which contains an interdigital converter, which is electrically connected to the antenna of the SAW device, and two reflective structures. The sensor is polled by the reader as follows. On command from the computer, the reader generates N interrogation radio pulses, where N is equal, for example, 5, with fixed, equally spaced carrier frequencies f 01 ... f N (for example, f 01 = 433 and f 0N = 434 MHz). The duration of each interrogation pulse depends on the Q-factor of the resonators and with a loaded Q-factor, for example, ~ 8000, it can be, for example, ~ 10 μs. Interrogation pulses are emitted through the antenna in the direction of the SAW device in the housing. The response signals of the SAW device in the housing for each polling radio pulse through the antenna are fed to the reader. The reader performs amplification, filtering and digitization of the received signals. The digitized signals are transmitted to a computer, where they are processed in accordance with the specified algorithms. As a result of processing in the computer, the resonant frequencies of the resonators f R1 and f R2 are determined, according to the values of which the magnitude of the displacement ΔX is determined.

Однако, если измеряемая физическая величина изменяется за время меньшее, чем произойдет время между импульсами, то это приведет к потере информации от измеряемой физической величины и, следовательно, к снижению точности измерений. Кроме того измеряемая физическая величина может измениться в промежутке времени между посылкой считывающих импульсов, что также снижает точность измерения. However, if the measured physical quantity changes in a time less than the time between pulses, this will lead to the loss of information from the measured physical quantity and, consequently, to a decrease in the measurement accuracy. In addition, the measured physical quantity can change in the time interval between the sending of the readout pulses, which also reduces the measurement accuracy.

Задачей настоящего изобретения является возможность считывания сигналов от датчика на ПАВ, когда измеряемая физическая величина быстро изменяется в процессе измерения. Это достигается за счет того, что информация с датчика считывается непрерывно, а не последовательностью считывающих импульсов, в течении которых и между которыми измеряемая физическая величина могла бы измениться. The object of the present invention is the ability to read signals from a SAW sensor when the measured physical quantity changes rapidly during the measurement. This is achieved due to the fact that information from the sensor is read continuously, and not by a sequence of readout pulses, during which and between which the measured physical quantity could change.

Предлагаемое устройство считывания информации с беспроводного датчика на поверхностных акустических волнах содержит высокочастотный генератор гармонических колебаний, который посылает зондирующий радиосигнал одной частоты с постоянной амплитудой через резистор на приемопередающую антенну считывателя, направленную на приемопередающую антенну приемного встречно-штыревого преобразователя датчика на поверхностных акустических волнах, выход резистора подключен ко входу детектора, выход которого соединен с входом АЦП, выход которого подключен ко входу вычислителя, который определяет измеряемую физическую величину из уравнения f(x i ) - F(x i )= 0 в реальном масштабе времени и выход которого соединен со входом ФНЧ, с выхода которого снимается временная зависимость измеряемой физической величины x(t) , где f(x i ) - сигнал на выходе АЦП, F(x i ) - известная зависимость амплитуды сигнала отраженного от датчика от измеряемой физической величины. при этом приемопередающая антенна одним концом соединена с корпусом генератора гармонических колебаний, а другим концом с резистором в точке соединения его с входом детектора.The proposed device for reading information from a wireless sensor on surface acoustic waves contains a high-frequency harmonic oscillator, which sends a probing radio signal of one frequency with a constant amplitude through a resistor to the transceiver antenna of the reader, directed to the transceiver antenna of the receiving interdigital transducer of the sensor on surface acoustic waves, the output of the resistor connected to the input of the detector, the output of which is connected to the input of the ADC, the output of which is connected to the input of the calculator, which determines the measured physical quantity from the equation f (x i ) - F (x i ) = 0 in real time and whose output is connected to the input of the low-pass filter , from the output of which the time dependence of the measured physical quantity x (t) is taken, where f (x i ) is the signal at the ADC output, F (x i ) is the known dependence of the amplitude of the signal reflected from the sensor on the measured physical quantity. in this case, the transceiver antenna is connected at one end to the body of the harmonic oscillator, and at the other end to a resistor at the point of its connection with the detector input.

В предпочтительном варианте выполнения в качестве детектора использована детекторная головка. In a preferred embodiment, a detector head is used as the detector.

Сущность изобретения состоит в том, что предлагаемое устройство считывания информации позволяет следить за измеряемой физической величиной непрерывно и фиксировать все ее изменения во времени, что исключает потерю информации, присущую известным считывателям на основе измерения комплексных коэффициентов ЛЧМ импульсами, The essence of the invention lies in the fact that the proposed device for reading information allows you to monitor the measured physical quantity continuously and record all its changes in time, which eliminates the loss of information inherent in known readers based on the measurement of complex coefficients of chirp pulses,

Устройство считывания информации с беспроводного датчика на поверхностных акустических волнах (ПАВ) поясняется фигурами чертежей, где:The device for reading information from a wireless sensor on surface acoustic waves (SAW) is illustrated by the figures of the drawings, where:

Фиг.1- функциональная схема устройства считывания информации с беспроводного датчика на ПАВ, где обозначено:Fig. 1 is a functional diagram of a device for reading information from a wireless sensor on a SAW, where it is indicated:

1- высокочастотный генератор гармонических колебаний;1- high-frequency generator of harmonic oscillations;

2- резистор;2- resistor;

3- детектор;3- detector;

4- АЦП;4- ADC;

5- вычислитель f(x i ) - F(x i )= 0; 5- calculator f (x i ) - F (x i ) = 0;

6- ФНЧ;6- LPF;

7- приемопередающая антенна считывателя;7- transceiver antenna of the reader;

8 -приемопередающая антенна датчика на ПАВ; 8 -transmitter antenna of the SAW sensor;

9 - датчик на ПАВ; 9 - surfactant sensor;

10- приемопередающий ВШП; 10- transceiving IDT;

11- отражательный ВШП. 11- reflective IDT.

Фиг. 2 - график изменении частотной зависимости параметра S11 антенны при физическом воздействии на датчик на ПАВ.FIG. 2 is a graph of the change in the frequency dependence of the parameter S11 of the antenna during physical impact on the sensor on the SAW.

Фиг. 3 - осциллограмма на выходе детекторной головки при физическом воздействии с частотой 500 кГц на датчик на ПАВ.FIG. 3 - oscillogram at the output of the detector head under physical impact with a frequency of 500 kHz on a SAW sensor.

Фиг. 4 - осциллограмма на выходе детекторной головки при физическом воздействии с частотой 50 кГц на датчик на ПАВ.FIG. 4 - oscillogram at the output of the detector head under physical impact with a frequency of 50 kHz on a SAW sensor.

Фиг. 5 - осциллограмма на выходе детекторной головки при физическом воздействии с частотой 5 кГц на датчик на ПАВ. FIG. 5 - oscillogram at the output of the detector head under physical impact with a frequency of 5 kHz on a SAW sensor.

Фиг. 6 - осциллограмма на выходе детекторной головки при физическом воздействии с частотой 500 Гц на датчик на ПАВ.FIG. 6 - oscillogram at the output of the detector head under physical impact with a frequency of 500 Hz on a SAW sensor.

Устройство считывания информации с беспроводного датчика на поверхностных акустических волнах содержит высокочастотный генератор гармонических колебаний 1, который посылает зондирующий радиосигнал одной частоты с постоянной амплитудой через резистор 2 на приемопередающую антенну 7 считывателя, направленную на приемопередающую антенну 8 приемного встречно-штыревого преобразователя 10 датчика на поверхностных акустических волнах 9, выход резистора 2 подключен ко входу детектора 3, выход которого соединен с входом АЦП 4, выход которого подключен ко входу вычислителя 5, который определяет измеряемую физическую величину из уравнения f(x i ) - F(x i )= 0 в реальном масштабе времени и выход которого соединен со входом ФНЧ 6, с выхода которого снимается временная зависимость измеряемой физической величины x(t) , где f(x i ) - сигнал на выходе АЦП, F(x i ) - известная зависимость амплитуды сигнала отраженного от датчика 9 от измеряемой физической величины, при этом приемопередающая антенна считывателя одним концом соединена с корпусом генератора гармонических колебаний, а другим концом с резистором 2 в точке соединения его с входом детектора 3. The device for reading information from a wireless sensor on surface acoustic waves contains a high-frequency harmonic oscillator 1, which sends a probing radio signal of one frequency with a constant amplitude through a resistor 2 to the transceiver antenna 7 of the reader, directed to the transceiver antenna 8 of the receiving interdigital transducer 10 of the sensor on surface acoustic waves waves 9, the output of resistor 2 is connected to the input of the detector 3, the output of which is connected to the input of the ADC 4, the output of which is connected to the input of the calculator 5, which determines the measured physical quantity from the equation f (x i ) - F (x i ) = 0 in real time scale and the output of which is connected to the input of the low-pass filter 6, from the output of which the time dependence of the measured physical quantity x (t) is taken, where f (x i ) is the signal at the ADC output, F (x i ) is the known dependence of the amplitude of the signal reflected from the sensor 9 from the measured physical quantity, while the transceiver antenna read One end of the probe is connected to the body of the harmonic oscillator, and the other end is connected to resistor 2 at the point of its connection with the input of the detector 3.

Вычислитель 5 представляет собой компьютер, в память которого введены значения F(x i ). Также в него вводятся значения f(x i ) и решается уравнение f(x i ) - F(x i )= 0 одним из многочисленных известных методов (например, методом половинного деления).The calculator 5 is a computer in the memory of which the values of F (x i ) are entered. Also, the values f (x i ) are entered into it and the equation f (x i ) - F (x i ) = 0 is solved by one of the many well-known methods (for example, the method of half division).

Высокочастотный генератор гармонических колебаний 1 (ВЧ генератор) выдает зондирующий непрерывный радиосигнал одной частоты с постоянной амплитудой на приемо-передающую антенну 7 (показано на фиг.1 в виде синусоиды, стрелка вниз), направленную на приемо-передающую антенну 8 приемного встречно-штыревого преобразователя 10 датчика на поверхностных акустических волнах 9.A high-frequency harmonic oscillator 1 (HF generator) provides a sounding continuous radio signal of one frequency with a constant amplitude to the transmitting and receiving antenna 7 (shown in Fig. 1 as a sinusoid, arrow down), directed to the transmitting and receiving antenna 8 of the receiving interdigital converter 10 surface acoustic wave sensors 9.

В этом случае напряжение U на приемо-передающей антенне 7 с импедансом Z определяют по формуле: In this case, the voltage U at the transmit-receive antenna 7 with impedance Z is determined by the formula:

Figure 00000001
, (1)
Figure 00000001
, (one)

где: Uг - амплитуда напряжения на ВЧ генераторе;where: U g - voltage amplitude at the HF generator;

Rг - внутреннее сопротивление ВЧ генератора; R g - internal resistance of the RF generator;

R - сопротивление резистора R - resistor resistance

Z - импеданс приемопередающей антенны считывателя. Z is the impedance of the transceiver antenna of the reader.

Радиосигнал от приемопередающей антенны 8 датчика 9 преобразуется приемным встречно-штыревым преобразователем 10 в поверхностную акустическую волну, которая распространяется в сторону отражательного ВШП 11. При изменении физической величины может меняться скорость или затухание и скорость ПАВ, или коэффициент отражения ПАВ от отражательного ВШП 11 под действием изменения импеданса Z1, величина которого зависит от измеряемой физической величины, что приведет к изменению импеданса ВШП 11, а следовательно, и к изменению амплитуды ПАВ, отраженных от него. Далее отраженные ПАВ попадают на приемо-передающий ВШП 10, что приводит к изменению его импеданса, а также сигнала отраженного от антенны 8, подсоединенной к ВШП 10 датчика 9. Отраженный от датчика сигнал (показан на фиг.1. в виде синусоиды и стрелки вверх) попадает на приемопередающую антенну 7 считывателя и изменяет (модулирует) ее импеданс Z, который можно определить, зная параметр S11 антенны [11]:The radio signal from the transmitting-receiving antenna 8 of the sensor 9 is converted by the receiving interdigital transducer 10 into a surface acoustic wave, which propagates towards the reflective IDT 11. When the physical quantity changes, the speed or attenuation and velocity of the SAW, or the SAW reflection coefficient from the reflective IDT 11 under the influence of changes in the impedance Z1, the value of which depends on the measured physical quantity, which will lead to a change in the impedance of the IDT 11, and, consequently, to a change in the amplitude of the SAW reflected from it. Next, the reflected SAW fall on the transmitting-receiving IDT 10, which leads to a change in its impedance, as well as the signal reflected from the antenna 8 connected to the IDT 10 of the sensor 9. The signal reflected from the sensor (shown in Fig. 1 in the form of a sinusoid and an upward arrow ) hits the transceiver antenna 7 of the reader and changes (modulates) its impedance Z, which can be determined knowing the parameter S11 of the antenna [11]:

Figure 00000002
, (2)
Figure 00000002
, (2)

где R0 – сопротивление измерительного прибора. where R 0 is the resistance of the measuring device.

На фиг.2. показана частотная зависимость параметра S11, когда коэффициент отражения ПАВ от отражательного ВШП разный. Видно, что на частоте 439,45 МГц параметр S11 меняется особенно сильно. Тогда и импеданс Z антенны будет меняться на данной частоте также больше, чем на других частотах. Выбрав эту частоту равной частоте генератора 1 получим максимальное изменение напряжения на входе детекторной головки 4 при изменении коэффициента отражения ПАВ от отражательного ВШП. Fig. 2. the frequency dependence of the parameter S11 is shown, when the reflection coefficient of the SAW from the reflective IDT is different. It can be seen that at a frequency of 439.45 MHz, the S11 parameter changes especially strongly. Then the impedance Z of the antenna will also change more at this frequency than at other frequencies. Choosing this frequency equal to the frequency of the generator 1, we obtain the maximum change in the voltage at the input of the detector head 4 with a change in the SAW reflection coefficient from the reflective IDT.

Таким образом, в соответствии с формулой (1) напряжение на входе детекторной головки 3 будет промодулировано в соответствии с изменением измеряемой физической величины (если Z << R г + R ), а на выходе детектора 3, в качестве которого использована детекторная головка (например. от прибора Х1-42) будет огибающая промодулированного ВЧ сигнала. Далее низкочастотный сигнал поступает на вход АЦП 4, который непрерывно оцифровывает сигнала от датчика на ПАВ 9. При этом частота дискретизации АЦП подбирается таким образом, чтобы между отсчетами изменение физической величины было маловероятно. Это позволяет засечь любые изменения в измеряемой физической величине в интервале времени, который будет много меньше периода колебаний ВЧ сигнала, что при частотах ВЧ сигнала в диапазоне 433-2500 МГц может составить 4-20 мкс. Полученный массив данных с АЦП 4 поступает на вычислитель 5, где определяются дискретные значения измеряемой физической величины x i вследствие решения уравнения f(x i ) - F(x i )=0, где f(x i ) - сигнал на выходе АЦП 4, F(x i ) – известная зависимость амплитуды сигнала отраженного от датчика от измеряемой физической величины (калибровочная кривая). Таким образом, вычислитель - это компьютерная программа, установленная на ПК, решающее уравнение f(x i ) - F(x i )=0 в реальном масштабе времени. Далее дискретный сигнал x i поступает на фильтр низких частот 6 (ФНЧ), где он преобразуется в непрерывный сигнал x(t). Таким образом на выходе считывателя получается непрерывная зависимость измеряемой физической величины от времени, что позволяет отслеживать любые ее изменения. Thus, in accordance with formula (1), the voltage at the input of the detector head 3 will be modulated in accordance with the change in the measured physical quantity (if Z << R r + R ), and at the output of detector 3, which is used as a detector head (for example, from the X1-42 device), there will be an envelope of the modulated RF signal. Then the low-frequency signal is fed to the input of the ADC 4, which continuously digitizes the signal from the sensor to the SAW 9. In this case, the sampling frequency of the ADC is selected in such a way that a change in the physical quantity between samples is unlikely. This makes it possible to detect any changes in the measured physical quantity in a time interval that will be much less than the oscillation period of the HF signal, which at frequencies of the HF signal in the range of 433-2500 MHz can be 4-20 μs. The resulting data array from ADC 4 is fed to the calculator 5, where discrete values of the measured physical quantity are determinedx i due to the solution of the equationf (x i ) - F (x i ) =0, wheref (x i ) -signal at the output of ADC 4,F (x i ) - the known dependence of the amplitude of the signal reflected from the sensor on the measured physical quantity (calibration curve). Thus, a calculator is a computer program installed on a PC that solves the equationf(x i ) - F (x i ) =0 in real time. Further discrete signalx i goes to low-pass filter 6 (LPF), where it is converted into a continuous signalx (t)... Thus, at the output of the reader, a continuous dependence of the measured physical quantity on time is obtained, which makes it possible to track any changes in it.

Пример выполнения.An example of execution.

Датчик на ПАВ 9 представляет собой линию задержки, содержащей один приемо-передающий 10 и один отражательный 11 узкополосные ВШП. The SAW sensor 9 is a delay line containing one transceiver 10 and one reflective 11 narrowband IDT.

Узкополосные ВШП содержат каждый по 20 одно- волновых секций, расстояние между которыми равно 17 длин ПАВ на центральной частоте в приемо-передающем ВШП и 260 длин ПАВ - в отражательном ВШП. Между ВШП расстояние равно 1 см. Расстояние между антеннами – 2 м.Narrowband IDTs each contain 20 single-wave sections, the distance between which is equal to 17 SAW lengths at the central frequency in the transmit-receive IDT and 260 SAW lengths in the reflective IDT. The distance between the IDTs is 1 cm. The distance between the antennas is 2 m.

В качестве элемента, меняющего коэффициент отражения отражательного ВШП использован варикап КВ-102, который подсоединяется к отражательному ВШП 9. На варикап через дроссели, которые имеют большое сопротивление на частотах в районе 439 МГц подавалось переменное напряжение в виде прямоугольных импульсов. Длительность импульсов равна расстоянию между ними, а частота следования выбирается равной 500кГц, 50 кГц, 5 кГц соответственно. As an element that changes the reflection coefficient of the reflective IDT, a KV-102 varicap is used, which is connected to the reflective IDT 9. An alternating voltage in the form of rectangular pulses was applied to the varicap through chokes that have high resistance at frequencies around 439 MHz. The duration of the pulses is equal to the distance between them, and the repetition rate is chosen equal to 500 kHz, 50 kHz, 5 kHz, respectively.

Выход детекторной головки 4 подсоединялся к одному из входов цифрового осциллографа «Rigol», на другой вход которого подавалось напряжение, подаваемое на варикапы. В качестве детекторной головки использовалась детекторная головка от прибора Х1-42. Rг=R=50 Ом. Таким образом можно визуально непрерывно наблюдать за изменением измеряемой физической величиной.The output of the detector head 4 was connected to one of the inputs of the digital oscilloscope "Rigol", to the other input of which the voltage supplied to the varicaps was applied. The detector head from the X1-42 device was used as a detector head. R g = R = 50 ohms. Thus, it is possible to visually continuously observe the change in the measured physical quantity.

Из фиг.3 видно, что на частоте 500 кГц подаваемые импульсы имеют отличную от прямоугольной форму, но импульсы на выходе детекторной головки значительно отличаются от формы подаваемых на варикап импульсов. Хорошо видно, что изменение амплитуды напряжения на выходе детекторной головки следует за изменениями напряжения на варикапе. При понижении частоты импульсы (фиг.4-6), подаваемые на варикап имеют прямоугольную форму, а импульсы на выходе детектора отличаются от прямоугольной формы, постепенно приближаясь к ней по мере понижения частоты (фиг.6). Figure 3 shows that at a frequency of 500 kHz, the supplied pulses have a different from rectangular shape, but the pulses at the output of the detector head differ significantly from the shape of the pulses supplied to the varicap. It is clearly seen that the change in the voltage amplitude at the output of the detector head follows the changes in the voltage at the varicap. When the frequency decreases, the pulses (Fig. 4-6) supplied to the varicap have a rectangular shape, and the pulses at the detector output differ from the rectangular shape, gradually approaching it as the frequency decreases (Fig. 6).

Таким образом показано, заявляемый считыватель позволяет измерять дистанционно без проводов физические величины с помощью пассивного датчика физических величин на поверхностных акустических волнах в непрерывном режиме в отличие от известных решений, где опрос пассивных датчиков проводился исключительно в импульсном режиме. Thus, it is shown that the inventive reader allows you to remotely measure physical quantities without wires using a passive sensor of physical quantities on surface acoustic waves in a continuous mode, unlike known solutions, where the interrogation of passive sensors was carried out exclusively in a pulsed mode.

Источники информации: Information sources:

1. RU2296950, 6МПК G01 D5/00 опубл. 27.02.2006.1.RU2296950, 6MPK G01 D5 / 00 publ. February 27, 2006.

2. RU 2387051, 6МПК, H01L41/107, G01D5/12, опубл. 20.04.2010).2. RU 2387051, 6MPK, H01L41 / 107, G01D5 / 12, publ. 20.04.2010).

3.  RU2550697, МПК-2006.01 G01D5/00, B82B1/00, опубл. 10.05.2015.3. RU2550697, MPK-2006.01 G01D5 / 00, B82B1 / 00, publ. 05/10/2015.

4. RU2581570, МПК-2006.01 H03H9/25, опубл. 20.04.2016.4. RU2581570, MPK-2006.01 H03H9 / 25, publ. 04/20/2016.

5.  RU2585487, МПК-2006.01 G01K 11/24, H01L 41/08, опубл. 27.05.2016. 5. RU2585487, MPK-2006.01 G01K 11/24, H01L 41/08, publ. 05/27/2016.

6. Wenbo Penga, Yongning Heat, Changbao Wenb, Ke Maa, Surface acoustic wave ultraviolet detector based on zinc oxide nanowire sensing layer//Sensors and Actuators A: Physical Volume 184, September 2012, Pages 34–40. 6. Wenbo Penga, Yongning Heat, Changbao Wenb, Ke Maa, Surface acoustic wave ultraviolet detector based on zinc oxide nanowire sensing layer // Sensors and Actuators A: Physical Volume 184, September 2012, Pages 34–40.

7. US Patent 6914279, МПК7 H01L 29/82 от 05.06.2005.7. US Patent 6914279, IPC 7 H01L 29/82 dated 05.06.2005.

8. US Patent 7989851, МПК-2006.01 H01L 29/82 от 02.08.2011.8. US Patent 7989851, IPC-2006.01 H01L 29/82 dated 02.08.2011.

9. RU 2629892, 6МПК Н03Н 31/00, опубл.04.09.2017).9. RU 2629892, 6MPK N03N 31/00, publ. 04.09.2017).

10. RU 2486646, МПК-2006: H01Q 23/00,G01S 13/75, опубл. 27.06.2013. 10. RU 2486646, MPK-2006: H01Q 23/00, G01S 13/75, publ. June 27, 2013.

11. СВЧ – устройства электронных средств. Лекция 1. Матрица рассеяния. Согласующие устройства. https://ppt-online.org/150867.11. Microwave - electronic devices. Lecture 1. Scattering matrix. Matching devices. https://ppt-online.org/150867.

Claims (2)

1. Устройство считывания информации с беспроводного датчика на поверхностных акустических волнах, содержащее высокочастотный генератор гармонических колебаний, который посылает зондирующий радиосигнал одной частоты с постоянной амплитудой через резистор на приемо-передающую антенну считывателя, направленную на приемо-передающую антенну приемного встречно-штыревого преобразователя датчика на поверхностных акустических волнах, выход резистора подключен к входу детектора, выход которого соединен с входом АЦП, выход которого подключен к входу вычислителя, который определяет дискретные значения измеряемой физической величины x i из уравнения f(x i ) - F(x i )= 0 в реальном масштабе времени и выход которого соединен с входом ФНЧ, с выхода которого снимается временная зависимость измеряемой физической величины x(t) , где f(x i ) сигнал на выходе АЦП, F(x i ) - известная зависимость амплитуды сигнала, отраженного от датчика, от измеряемой физической величины, при этом приемо-передающая антенна считывателя одним концом соединена с корпусом генератора гармонических колебаний, а другим концом - с резистором в точке соединения его с входом детектора.1. A device for reading information from a wireless sensor on surface acoustic waves, containing a high-frequency harmonic oscillator, which sends a probing radio signal of one frequency with a constant amplitude through a resistor to the receiving-transmitting antenna of the reader, directed to the receiving-transmitting antenna of the receiving interdigital transducer of the sensor on surface acoustic waves, the output of the resistor is connected to the input of the detector, the output of which is connected to the input of the ADC, the output of which is connected to the input of the calculator, which determines the discrete values of the measured physical quantity x i from the equation f (x i ) - F (x i ) = 0 in real time and the output of which is connected to the input of the low-pass filter, from the output of which the time dependence of the measured physical quantity is taken x (t) ,Where f (x i ) -signal at the ADC output, F (x i ) - the known dependence of the amplitude of the signal reflected from the sensor on the measured physical quantity, while the receiving-transmitting antenna of the reader is connected at one end to the body of the harmonic oscillator, and at the other end to a resistor at the point of its connection with the detector input. 2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что в качестве детектора использована детекторная головка.2. The device according to claim 1, characterized in that a detector head is used as a detector.
RU2020135037A 2020-10-26 2020-10-26 Device for reading information from wireless sensor on surface acoustic waves RU2748391C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2020135037A RU2748391C1 (en) 2020-10-26 2020-10-26 Device for reading information from wireless sensor on surface acoustic waves

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2020135037A RU2748391C1 (en) 2020-10-26 2020-10-26 Device for reading information from wireless sensor on surface acoustic waves

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2748391C1 true RU2748391C1 (en) 2021-05-25

Family

ID=76034014

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2020135037A RU2748391C1 (en) 2020-10-26 2020-10-26 Device for reading information from wireless sensor on surface acoustic waves

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2748391C1 (en)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2387051C1 (en) * 2008-12-01 2010-04-20 Федеральное Государственное Образовательное Учреждение Высшего Профессионального Образования "Южный Федеральный Университет" Detector of physical value on surface acoustic waves
RU123180U1 (en) * 2012-06-07 2012-12-20 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина)" SENSOR ON SURFACE ACOUSTIC WAVES WITH WIRE ANTENNA
RU2486646C1 (en) * 2012-05-05 2013-06-27 Открытое акционерное общество "Научно-производственное предприятие "Радар ммс" Surface acoustic wave sensor for wireless passive measurement of displacements
CN107941391B (en) * 2017-11-17 2020-04-28 杭州电子科技大学 Wireless passive temperature compensation method for film body acoustic wave pressure sensor

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2387051C1 (en) * 2008-12-01 2010-04-20 Федеральное Государственное Образовательное Учреждение Высшего Профессионального Образования "Южный Федеральный Университет" Detector of physical value on surface acoustic waves
RU2486646C1 (en) * 2012-05-05 2013-06-27 Открытое акционерное общество "Научно-производственное предприятие "Радар ммс" Surface acoustic wave sensor for wireless passive measurement of displacements
RU123180U1 (en) * 2012-06-07 2012-12-20 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина)" SENSOR ON SURFACE ACOUSTIC WAVES WITH WIRE ANTENNA
CN107941391B (en) * 2017-11-17 2020-04-28 杭州电子科技大学 Wireless passive temperature compensation method for film body acoustic wave pressure sensor

Non-Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
"ВЫСОКИЕ ТЕХНОЛОГИИ В ПРОМЫШЛЕННОСТИ РОССИИ", XXVIII Международного симпозиума "ТОНКИЕ ПЛЕНКИ В ЭЛЕКТРОНИКЕ",VIII Международной научно-технической конференции "НАНОИНЖЕНЕРИЯ", 2013/12. *
Article: "Reader Architectures for Wireless Surface Acoustic Wave Sensors", censors 2018, May 2018. *
Статья: "Пассивный беспроводный датчик на поверхностных акустических волнах для измерения параметров газовых и жидких сред", Г.Я. Карапетьян и др., Ж. Инженерный вестник Дона, номер 2, 2012. *
Статья: "УСТРОЙСТВА НА ПОВЕРХНОСТНЫХ АКУСТИЧЕСКИХ ВОЛНАХ: БЛИЖАЙШИЕ ПЕРСПЕКТИВЫ", Сборник научных трудов XXI Международной научно-технической конференции *
Статья: "УСТРОЙСТВА НА ПОВЕРХНОСТНЫХ АКУСТИЧЕСКИХ ВОЛНАХ: БЛИЖАЙШИЕ ПЕРСПЕКТИВЫ", Сборник научных трудов XXI Международной научно-технической конференции "ВЫСОКИЕ ТЕХНОЛОГИИ В ПРОМЫШЛЕННОСТИ РОССИИ", XXVIII Международного симпозиума "ТОНКИЕ ПЛЕНКИ В ЭЛЕКТРОНИКЕ",VIII Международной научно-технической конференции "НАНОИНЖЕНЕРИЯ", 2013/12. Статья: "Пассивный беспроводный датчик на поверхностных акустических волнах для измерения параметров газовых и жидких сред", Г.Я. Карапетьян и др., Ж. Инженерный вестник Дона, номер 2, 2012. Article: "Reader Architectures for Wireless Surface Acoustic Wave Sensors", censors 2018, May 2018. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Seifert et al. Mechanical sensors based on surface acoustic waves
US9404890B2 (en) Method for noninvasive determination of acoustic properties of fluids inside pipes
KR101810724B1 (en) Multiphase fluid characterization system
US9354094B2 (en) Apparatus and method for noninvasive particle detection using doppler spectroscopy
US5233352A (en) Level measurement using autocorrelation
WO1990005283A1 (en) Method and apparatus for measuring mass flow
US9477857B2 (en) Surface acoustic wave tag-based coherence multiplexing
RU2387051C1 (en) Detector of physical value on surface acoustic waves
US20030185101A1 (en) Method and apparatus for spread spectrum distance measurement and for spread spectrum velocity profile measurement
RU2748391C1 (en) Device for reading information from wireless sensor on surface acoustic waves
US5099691A (en) Method for measuring length, and apparatus for implementing the method
Williamson et al. Coherent Detection Technique for Variable‐Path‐Length Measurements of Ultrasonic Pulses
RU2629892C1 (en) Method for measuring physical values using sensors on surface acoustic waves
Martin et al. Ultrasonic ranging gets thermal correction
RU2661455C1 (en) Method for determining the viscoelastic properties of liquid and solid media and the device for its implementation
RU2723146C1 (en) Ultrasonic method for determination of mechanical stresses in rails and device for its implementation
KR20140119278A (en) Method for non-contact, non-power and wireless measurement of temperature by surface acoustic wave
RU2350901C1 (en) Method for detection of dielectric coat thickness
RU2000112085A (en) METHOD FOR RADIOACOUSTIC SOUNDING OF THE ATMOSPHERE
RU2756413C1 (en) Method and device for temperature monitoring based on passive delay lines on surface acoustic waves with anti-collision function
Saitoh et al. Wireless sensor system using surface acoustic wave devices
Chivers et al. A Spectroscopic Method for Measurement of the Ultrasonic Properties of Polymers—
JP4024553B2 (en) Sonic velocity measuring method and sonic velocity measuring apparatus
RU2267139C2 (en) Mode of sounding of atmosphere or ocean
Febryarto et al. Ultrasonic-Based Liquid Level Measurement in Dynamic Dialysate Preparation Chamber