RU2674518C1 - Metal surface state studying integrated device - Google Patents
Metal surface state studying integrated device Download PDFInfo
- Publication number
- RU2674518C1 RU2674518C1 RU2018108662A RU2018108662A RU2674518C1 RU 2674518 C1 RU2674518 C1 RU 2674518C1 RU 2018108662 A RU2018108662 A RU 2018108662A RU 2018108662 A RU2018108662 A RU 2018108662A RU 2674518 C1 RU2674518 C1 RU 2674518C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- measuring probe
- vibrating
- video camera
- opening
- optical
- Prior art date
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 title claims abstract description 19
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 19
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims abstract description 28
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 25
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 claims abstract description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 15
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 10
- 230000008569 process Effects 0.000 abstract description 7
- 238000011160 research Methods 0.000 abstract description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 2
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 abstract description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 abstract description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 abstract description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 8
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 8
- 238000013461 design Methods 0.000 description 5
- 239000010445 mica Substances 0.000 description 4
- 229910052618 mica group Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 3
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 3
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000009881 electrostatic interaction Effects 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/64—Manufacture or treatment of solid state devices other than semiconductor devices, or of parts thereof, not peculiar to a single device provided for in groups H01L31/00 - H10K99/00
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля технологического процесса поверхностной отделочно-упрочняющей обработки, а также при проведении научных исследований и лабораторных работ в учебном процессе.The invention relates to measuring technique and can be used to control the technological process of surface finishing and hardening processing, as well as when conducting research and laboratory work in the educational process.
Известна связь работы выхода электрона (определяемой при измерении контактной разности потенциала поверхности) с механическими свойствами поверхности, проявляемыми, например, в процессах трения и износа (см. Пантелеев К.В., Свистун А.И., Жарин А.Л. Методы измерений работы выхода электрона для контроля состояния поверхностей в процессе трения // Приборы и методы измерений, №2(9), 2014, С. 107-112). После установления этой связи для исследуемого материала обычно требуется выяснить причины, приводящие к изменению контактной разности потенциала (КРП). Для этого проводятся металлографические исследования с помощью других приборов, например, микроскопа. The relation between the electron work function (determined when measuring the contact difference of the surface potential) and the mechanical properties of the surface, manifested, for example, in the processes of friction and wear (see Panteleev K.V., Svistun A.I., Zharin A.L., Measurement methods electron work function for monitoring the state of surfaces in the process of friction // Instruments and Methods of Measurement, No. 2 (9), 2014, P. 107-112). After establishing this connection, it is usually required for the material under investigation to find out the reasons leading to a change in the contact potential difference (CLC). For this, metallographic studies are carried out using other devices, for example, a microscope.
Однако, при металлографических исследованиях затруднительно точно попасть в область измерения КРП. Кроме того, с образцом исследуемого материала требуется провести определенные манипуляции, которые могут сопровождаться изменением КРП, например, в результате окисления. Указанные моменты снижают информативность установления корреляции КРП и металлографической структуры поверхности материала, а также определяют продолжительность требуемого времени исследования.However, in metallographic studies, it is difficult to accurately get into the field of measurement of CRP. In addition, certain manipulations are required with the sample of the studied material, which may be accompanied by a change in the CRP, for example, as a result of oxidation. These moments reduce the information content of establishing a correlation between the CRP and the metallographic structure of the surface of the material, and also determine the duration of the required study time.
Известно устройство реализующее измерение работы выхода электрона методом Кельвина-Зисмана (метод вибрирующего электрода) (см. Илюкович А.М. Техника электрометрии. М.:»Энергия» 1976. с.400, стр. 336-339), в основе которого лежит динамический конденсатор, обкладки которого выполнены из различных металлов. Один электрод (неподвижный) – представляет собой исследуемый материал, а другой (вибрирующий) – является эталонным металлом, работа выхода электронов из которого известна. Вне зазора металлы гальванически соединены. Суть метода состоит в том, что в зазоре между указанными металлами, образующими плоский конденсатор, возникает электрическое поле, определяемое различием поверхностных потенциалов электродов. Периодическое изменение зазора конденсатора приводит к тому, что напряженность поля в зазоре также изменяется. Это приводит к появлению переменного тока во внешнем проводнике, соединяющем электроды. Частота переменного тока равна частоте колебания вибрирующего электрода. Включив в разрыв цепи конденсатора источник напряжения и, регулируя его, добиваются исчезновения тока при перемещении одного из электродов. Искомую величину контактной разности потенциалов определяют, измеряя напряжение на источнике при нулевом токе конденсатора.A device is known that implements the measurement of the electron work function by the Kelvin-Zisman method (vibrating electrode method) (see Ilyukovich AM, Electrometry Technique. M.: "Energy" 1976. p. 400, p. 336-339), which is based on dynamic capacitor, the plates of which are made of various metals. One electrode (fixed) - represents the material under study, and the other (vibrating) - is the reference metal, the work function of the electrons from which is known. Outside the gap, the metals are galvanically connected. The essence of the method is that an electric field arises in the gap between the indicated metals forming a flat capacitor, which is determined by the difference in the surface potentials of the electrodes. Periodic change in the gap of the capacitor leads to the fact that the field strength in the gap also changes. This leads to the appearance of alternating current in an external conductor connecting the electrodes. The frequency of the alternating current is equal to the oscillation frequency of the vibrating electrode. By including a voltage source in the gap of the capacitor circuit and regulating it, the current disappears when one of the electrodes is moved. The desired value of the contact potential difference is determined by measuring the voltage at the source at zero capacitor current.
Известна конструкция вибрационного привода с электростатическим возбуждением динамического конденсатора (см. Weissman E., Petersen C., Tarina D. – « J. Physics. Ser. E.»,1968,v.1,p. 426-428). Подвижная обкладка, выполненная виде пластинки слюды, позолоченной с обоих сторон), расположена между двумя неподвижными обкладками. Одна из неподвижных пластин образует с подвижной слюдяной пластинкой исследуемый воздушный зазор. Между второй неподвижной пластины и подвижной слюдяной пластинкой приложено переменное напряжение с собственной частотой свободных колебаний подвижного электрода. Эта конструкция обладает рядом существенных недостатков. Так как колебание эталонного электрода возникает вследствие электростатического взаимодействия, то для этого требуется достаточно большое напряжение. Кроме того, частота возбуждающего напряжения равна частоте полезного сигнала. Это усложняет конструкцию выделения полезного сигнала. Достаточно сложно и дорого изготовить описанную выше слюдяную пластинку и ее крепление. Кроме того, визуальное наблюдение состояния поверхности в области измерения КРП невозможно.A known design of a vibratory drive with electrostatic excitation of a dynamic capacitor (see Weissman E., Petersen C., Tarina D. - "J. Physics. Ser. E.", 1968, v.1, p. 426-428). A movable plate made in the form of a mica plate, gilded on both sides) is located between two stationary plates. One of the fixed plates forms the studied air gap with the movable mica plate. Between the second fixed plate and the moving mica plate, an alternating voltage is applied with the natural frequency of free vibrations of the moving electrode. This design has a number of significant drawbacks. Since the oscillation of the reference electrode occurs due to electrostatic interaction, this requires a sufficiently large voltage. In addition, the frequency of the exciting voltage is equal to the frequency of the useful signal. This complicates the design of the selection of the useful signal. It is rather difficult and expensive to make the mica plate described above and its fastening. In addition, visual observation of the state of the surface in the measurement area of the CRP is impossible.
Другим примером устройства динамического конденсатора может служить устройство, основанное на использовании пьезоэлектрического эффекта (см. Пантелеев К.В. Методы и средства измерения контактной разности потенциалов на основе анализа компенсационной зависимости зонда Кельвина. Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. Минск, 2016. С. 11 рис. 4). В данном устройстве вибрационный привод эталонного электрода выполнен на биморфной пьезоэлектрической пластине. Недостатком этого привода является высокая цена и сложность изготовления биморфной пьезоэлектрической пластины, а также и необходимость достаточно мощного источника возбуждающего напряжения. Кроме того, пьезоэлемент является хрупким элементом, что снижает надежность общей конструкции. В данном устройстве также невозможно визуальное наблюдение состояния поверхности в области измерения КРП.Another example of a dynamic capacitor device can be a device based on the use of the piezoelectric effect (see Panteleev K.V. Methods and means of measuring the contact potential difference based on the analysis of the compensation dependence of the Kelvin probe. Abstract of dissertation for the degree of candidate of technical sciences. Minsk, 2016 .S. 11 Fig. 4). In this device, the vibration drive of the reference electrode is made on a bimorph piezoelectric plate. The disadvantage of this drive is the high price and complexity of manufacturing a bimorph piezoelectric plate, as well as the need for a sufficiently powerful source of exciting voltage. In addition, the piezoelectric element is a fragile element, which reduces the reliability of the overall design. In this device, it is also not possible to visually observe the state of the surface in the measurement area of the FIR.
Наиболее близким аналогом, является (см. SU 1494732 A1, МКИ G01R29/12, опубл. 07.01.1991) устройство для измерения контактной разности потенциалов содержащее электромагнитный вибратор с катушкой индуктивности и подвижным элементом (мембраной) на котором жестко укреплен измерительный зонд, расположенный над поверхностью исследуемого материала. Гармонические колебания зонда возбуждаются в катушке индуктивности посредством сигнала управления, вырабатываемого формирователем. Динамический конденсатор образуется измерительным зондом и измеряемой пластиной. Значение измеряемой величины КРП (контактной разности потенциалов) получается с помощью электронного блока выделения измеряемой величины. The closest analogue is (see SU 1494732 A1, MKI G01R29 / 12, published 07.01.1991) a device for measuring the contact potential difference containing an electromagnetic vibrator with an inductor and a movable element (membrane) on which the measuring probe is rigidly mounted, located above the surface of the test material. Harmonic oscillations of the probe are excited in the inductor by means of a control signal generated by the driver. A dynamic capacitor is formed by a measuring probe and a measuring plate. The value of the measured value of the CRP (contact potential difference) is obtained using the electronic unit for the allocation of the measured value.
Недостатками данного устройства является отсутствие возможности одновременно с величиной КРП осуществлять оптическое наблюдение состояния поверхности исследуемого материала в области измерения КРП.The disadvantages of this device is the inability to simultaneously with the value of the CRP to carry out optical observation of the surface state of the investigated material in the field of measurement of CRP.
Задача предлагаемого изобретения - обеспечение возможности одновременного измерения контактной разности потенциалов (КРП) и оптического наблюдения состояния поверхности.The objective of the invention is the provision of the possibility of simultaneous measurement of the contact potential difference (CRP) and optical observation of the surface condition.
Сущность изобретения заключается в том, что комплексное устройство исследования состояния поверхности металла, содержащее заземленный металлический стол для размещения измеряемой пластины, вибрирующий измерительный зонд, узел электромеханической связи измерительного зонда с электронным блоком выделения измеряемой величины контактной разности потенциала при этом вибрирующий измерительный зонд выполнен в виде диска с отверстием в центре, а в устройство введена оптическая система и видеокамера, расположенные напротив отверстия в измерительном зонде, оптическая система содержит, расположенные на оптической оси, совпадающей с центром отверстия в вибрирующем электроде и объективом видеокамеры, добавочную линзу, а напротив упомянутого отверстия находится светоделительный блок с осветителем, расположенные между добавочной линзой и видеокамерой, соединенной с блоком представления визуальной информации, а значение контактной разности потенциалов определяется с помощью электронного блока выделения измеряемой величины одновременно с оптическим наблюдением поверхности. The essence of the invention lies in the fact that the complex device for studying the state of the metal surface, containing a grounded metal table for accommodating the measured plate, a vibrating measuring probe, an electromechanical connection of the measuring probe with an electronic unit for isolating the measured value of the contact potential difference, while the vibrating measuring probe is made in the form of a disk with a hole in the center, and an optical system and a video camera are inserted into the device, located opposite the hole in measuring probe, the optical system contains, located on the optical axis, coinciding with the center of the hole in the vibrating electrode and the camera lens, an additional lens, and opposite the aforementioned hole is a beam splitting unit with a illuminator located between the additional lens and the camera connected to the visual information presentation unit, and the value of the contact potential difference is determined using the electronic unit for the separation of the measured value simultaneously with optical observation of the surface STI.
Техническим результатом комплексного устройства явилось повышение информативности исследования поверхности материала и снижение времени исследования за счет того, что в комплексном устройстве исследования состояния поверхности металла содержащее заземленный металлический стол для размещения измеряемой пластины, вибрирующий измерительный зонд, узел электромеханической связи измерительного зонда с электронным блоком выделения измеряемой величины контактной разности потенциала, вибрирующий измерительный зонд выполнен виде диска с отверстием в центре, а в устройство введена оптическая система и видеокамера, расположенные напротив отверстия в измерительном зонде, оптическая система содержит, расположенные на оптической оси системы, добавочную линзу, а между упомянутой линзой и видеокамерой соединенной с блоком представления визуальной информации, а значение КРП определяется с помощью электронного блока выделения измеряемой величины одновременно с оптическим наблюдением поверхности. The technical result of the complex device was to increase the information content of the study of the surface of the material and to reduce the study time due to the fact that the complex device for studying the state of the metal surface contains a grounded metal table for placing the measured plate, a vibrating measuring probe, an electromechanical connection of the measuring probe with an electronic unit for measuring the measured value contact potential difference, vibrating measuring probe is made in the form of a disk with a hole in the center, and an optical system and a video camera are inserted in the device, located opposite the hole in the measuring probe, the optical system contains an additional lens located on the optical axis of the system, and between the said lens and the video camera connected to the visual information presentation unit, and determined using the electronic unit for the allocation of the measured value simultaneously with optical observation of the surface.
Сущность изобретения поясняется чертежом, где представлено комплексное устройство исследования состояния поверхности металла. The invention is illustrated by the drawing, which presents a comprehensive device for studying the state of the surface of the metal.
Комплексное устройство исследования состояния поверхности металла содержит заземленный металлический стол 1 для размещения измеряемой пластины 2, вибрирующий измерительный зонд 3, узел электромеханической связи 4 вибрирующего измерительного зонда 3 с электронным блоком 5 выделения измеряемой величины контактной разности потенциала, вибрирующий измерительный зонд 3 выполнен виде диска с отверстием 6 в центре, а в устройство введена оптическая система 7 содержит, расположенные на оптической оси 8 системы видеокамеру 9, добавочную линзу 10, светоделительный блок 11 расположенные напротив отверстия 6. Освещение поверхности металла осуществляется источником света 12, а упомянутая видеокамера 9 соединена с блоком представления визуальной информации 13. Значение контактной разности потенциала определяется с помощью электронного блока выделения измеряемой величины 5 одновременно с оптическим наблюдением поверхности.The complex device for studying the state of the metal surface contains a grounded metal table 1 for accommodating the measured
Комплексное устройство исследования состояния поверхности металла работает следующим образом: на заземленный металлический стол 1 помещается измеряемая пластина 2 контролируемой поверхностью вниз, вибрирующий измерительный зонд 3 с узлом электромеханической связи 4 подводятся к контролируемой поверхности на необходимое расстояние (обычно это 0,2 – 0.3 мм). Наличие контактной разности потенциалов между материалом зонда 3 и измеряемой пластины 2 приводит к возникновению переменного электрического поля, которое компенсируется средствами электронного блока 5, выдающего информацию о значение величины контактной разности потенциалов. Одновременно, через отверстие 6 в вибрирующем измерительном зонде 3 оптическая система 7, состоящая из расположенных на одной оптической оси 8 видеокамеры 9, добавочной линзы 10 и светоделительного блока 11 формирует оптическое изображение поверхности измеряемой пластины через отверстие 8. Освещение поверхности осуществляется источником света 12 через светоделительный блок 11, представляющий собой прозрачный куб с полупрозрачной внутренней поверхностью, который расщепляет световой поток на две части, одна из которых падает нормально на поверхности изучаемой пластины, освещая ее. Отраженный от поверхности световой поток проходит через полупрозрачную внутреннюю поверхность и попадает на видеокамеру 9. Добавочная линза 10 обеспечивает необходимое увеличение и представления резкого изображения поверхности блоком представления визуальной информации 13.An integrated device for studying the state of a metal surface works as follows: a
В соответствии с законами электростатики наличие небольшого отверстия в центре вибрирующего измерительного зонда 3 не влияет на величину измеряемой контактной разности потенциалов.In accordance with the laws of electrostatics, the presence of a small hole in the center of a vibrating
Предлагаемая конструкция комплексного устройства обеспечивает повышение информативности исследования поверхности материала и снижение времени исследования.The proposed design of the integrated device provides an increase in the information content of the study of the surface of the material and reduction of the research time.
При измерении контактной разности потенциалов методом Кельвина вибрирующий измерительный электрод расположен в непосредственной близи к поверхности измеряемой пластины, поэтому отверстие в измерительном электроде играет роль ширмы и процессы дифракции света на нем пренебрежимо малы. Отверстие диаметром 2 мм вполне достаточно для наблюдения поверхности измеряемой пластины с увеличением не менее 30÷60. Надежное измерение КРП возможно при общем диаметре вибрирующего электрода 4÷5 мм. Таким образом в предлагаемом комплексном устройстве вибрирующий электрод будет представлять собой шайбу с наружным диаметром 4÷5 мм и отверстием диаметром 2 мм.When measuring the contact potential difference by the Kelvin method, the vibrating measuring electrode is located close to the surface of the measured plate, therefore, the hole in the measuring electrode plays the role of a screen and the processes of light diffraction on it are negligible. A hole with a diameter of 2 mm is quite enough to observe the surface of the measured plate with an increase of at least 30 ÷ 60. Reliable measurement of the CRP is possible with a total diameter of the vibrating electrode of 4 ÷ 5 mm. Thus, in the proposed complex device, the vibrating electrode will be a washer with an outer diameter of 4 ÷ 5 mm and a hole with a diameter of 2 mm.
В силу очевидности возможности реализации, расчет оптической системы здесь не приводится.Due to the obviousness of the feasibility, the calculation of the optical system is not given here.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2018108662A RU2674518C1 (en) | 2018-03-13 | 2018-03-13 | Metal surface state studying integrated device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2018108662A RU2674518C1 (en) | 2018-03-13 | 2018-03-13 | Metal surface state studying integrated device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2674518C1 true RU2674518C1 (en) | 2018-12-11 |
Family
ID=64753351
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2018108662A RU2674518C1 (en) | 2018-03-13 | 2018-03-13 | Metal surface state studying integrated device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2674518C1 (en) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU1494732A1 (en) * | 1987-06-22 | 1991-01-07 | Предприятие П/Я Р-6707 | Device for measuring contact difference of potentials |
| JPH08153762A (en) * | 1994-11-28 | 1996-06-11 | Nec Corp | Instrument and method for measuring contact potential difference of two-layer film |
| US5767516A (en) * | 1995-05-24 | 1998-06-16 | Hitachi, Ltd. | Electron microscope and sample observing method using the same |
| EA026858B1 (en) * | 2014-12-15 | 2017-05-31 | Белорусский Национальный Технический Университет | Method for measurement of a contact potential difference |
-
2018
- 2018-03-13 RU RU2018108662A patent/RU2674518C1/en active
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU1494732A1 (en) * | 1987-06-22 | 1991-01-07 | Предприятие П/Я Р-6707 | Device for measuring contact difference of potentials |
| JPH08153762A (en) * | 1994-11-28 | 1996-06-11 | Nec Corp | Instrument and method for measuring contact potential difference of two-layer film |
| US5767516A (en) * | 1995-05-24 | 1998-06-16 | Hitachi, Ltd. | Electron microscope and sample observing method using the same |
| EA026858B1 (en) * | 2014-12-15 | 2017-05-31 | Белорусский Национальный Технический Университет | Method for measurement of a contact potential difference |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE69817239T2 (en) | Optical near-field scanning microscope | |
| AU684706B2 (en) | A device for determining the size and charge of colloidal particles | |
| AU2021102459A4 (en) | Observable micro-nano mechanical testing apparatus and method | |
| Chen et al. | Chemical imaging and microspectroscopy with spectral focusing coherent anti-Stokes Raman scattering | |
| SE434089B (en) | PROCEDURE AND PROCEDURE FOR INDICATING AND SEPARATING DRAGON AND PRESSURE GASKETS IN A PRESENT PART OF A FORMAL | |
| JP6657495B2 (en) | Fatigue test equipment | |
| US20150338248A1 (en) | An optical fiber-based force transducer for microscale samples | |
| JPH1048224A (en) | Scanning probe microscope | |
| RU2674518C1 (en) | Metal surface state studying integrated device | |
| JP2009014547A (en) | Observation method for solid substance, grease evaluation method, and method for manufacturing bearing | |
| JP2011252849A (en) | Excitation method for cantilever in atomic force microscope and atomic force microscope | |
| Cupido et al. | Multipoint laser doppler vibrometer for transient analysis | |
| RU2824845C1 (en) | Method for determining value of electron work function | |
| RU2418288C1 (en) | Method of determining magnetic properties of materials | |
| CN110286140A (en) | Method for detecting vibration characteristics of resonator of nano-electromechanical system | |
| JP2008242022A (en) | Polarizing microscopic observation method and polarizing microscope system | |
| Cameron et al. | A servohydraulic-controlled load frame for SEM fatigue studies | |
| RU177659U1 (en) | STAND FOR MEASURING THE OPERATION OF ELECTRON OUTPUT FROM THE SURFACE OF METAL BODIES | |
| Dubey et al. | Investigation of soft and living matter using a micro-extensional rheometer | |
| SU957002A1 (en) | Capacitive displacement converter | |
| RU151872U1 (en) | DEVICE FOR DETERMINING THE MOLECULAR COMPONENT OF THE FRICTION COEFFICIENT | |
| Rajasekharan et al. | Force Measurements for Cancer Cells | |
| Moyal et al. | Free and forced vibration methods in the measurement of the dynamic properties of rubbers | |
| RU2717747C1 (en) | Device for measuring contact potential difference of metal parts of aviation equipment | |
| JP2022077254A (en) | Acoustic emission detection substrate, acoustic emission detection device and scanning probe microscope |