RU2422555C1 - Procedure for electric-explosive application of metal coating on contact surfaces - Google Patents
Procedure for electric-explosive application of metal coating on contact surfaces Download PDFInfo
- Publication number
- RU2422555C1 RU2422555C1 RU2009146449/02A RU2009146449A RU2422555C1 RU 2422555 C1 RU2422555 C1 RU 2422555C1 RU 2009146449/02 A RU2009146449/02 A RU 2009146449/02A RU 2009146449 A RU2009146449 A RU 2009146449A RU 2422555 C1 RU2422555 C1 RU 2422555C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- temperature
- coating
- metal
- plasma jet
- melting
- Prior art date
Links
Landscapes
- Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к технологии нанесения покрытий на металлические поверхности, в частности к технологии импульсного электровзрывного нанесения покрытий с применением в качестве взрываемого материала фольг различных металлов, и может быть использовано в электротехнике для формирования контактных поверхностей с высокой электрической проводимостью.The invention relates to a technology for coating metal surfaces, in particular to a technology for pulsed electric explosive coating using foils of various metals as an explosive material, and can be used in electrical engineering to form contact surfaces with high electrical conductivity.
Известен [1] способ формирования беспористых медных покрытий на алюминиевых контактных поверхностях с помощью магнитоплазменного ускорителя А.А.Сивкова [2]. Способ заключается в формировании плазменной струи с помощью магнитоплазменного ускорителя и воздействии ею на поверхность. При этом имеет место пластическая деформация поверхностного слоя алюминиевой детали-подложки, ее разогрев и оплавление, вследствие чего между наносимым покрытием образуется промежуточный слой, который характеризуется взаимным проникновением и перемешиванием материала потока, образующего покрытие (медь), и материала подложки.Known [1] is the method of forming non-porous copper coatings on aluminum contact surfaces using a magnetoplasma accelerator A. A. Sivkov [2]. The method consists in the formation of a plasma jet using a magnetoplasma accelerator and its impact on the surface. In this case, there is plastic deformation of the surface layer of the aluminum substrate part, its heating and melting, as a result of which an intermediate layer is formed between the applied coating, which is characterized by the mutual penetration and mixing of the coating flow material (copper) and the substrate material.
Недостатком этого способа является образование промежуточного слоя, в котором из-за перемешивания материала потока, образующего покрытие, и материала подложки образуются интерметаллиды. Их наличие ухудшает электрическую проводимость покрытий. Кроме того, интерметаллиды - это хрупкие промежуточные соединения, которые в условиях теплосмен, характерных для работы контактных поверхностей, вследствие термических напряжений способны приводить к разрушению и отслаиванию покрытия.The disadvantage of this method is the formation of an intermediate layer in which intermetallic compounds are formed due to mixing of the coating flow material and the substrate material. Their presence affects the electrical conductivity of the coatings. In addition, intermetallic compounds are fragile intermediate compounds which, under the conditions of heat exchange characteristic of contact surfaces, due to thermal stresses, can lead to destruction and delamination of the coating.
Наиболее близким является способ [3] холодного газодинамического напыления (ХГН), заключающийся в формировании высокоскоростного газового потока, посредством различных газов или газовых смесей, например воздуха, аргона, гелия. В поток с помощью дозатора вводят порошок напыляемого материала, например меди, никеля, алюминия, и др. Используют частицы размерами 1…200 мкм. Введенные в поток частицы ускоряются до скорости 650…1200 м/с, и полученной газопорошковой смесью обрабатывают покрываемое изделие, формируя покрытие.The closest is the method [3] of cold gas-dynamic spraying (CGN), which consists in the formation of a high-speed gas stream using various gases or gas mixtures, such as air, argon, helium. Powder of the sprayed material, for example, copper, nickel, aluminum, etc., is introduced into the stream using a batcher. Particles with sizes of 1 ... 200 microns are used. The particles introduced into the flow are accelerated to a speed of 650 ... 1200 m / s, and the coated product is treated with the obtained gas-powder mixture to form a coating.
Этот способ нанесения металлических покрытий получил развитие как наиболее эффективный способ нанесения покрытий с низкой пористостью и высокой адгезией [4]. Согласно ГОСТ 9581-80 допустимо использование алюминиевых кабельных наконечников с медным, никелевым и цинковым покрытием, нанесенным методом холодного газодинамического напыления (ХГН). Известно электротехническое соединительное изделие [5], реализуемое посредством способа ХГН.This method of applying metal coatings has been developed as the most effective method of applying coatings with low porosity and high adhesion [4]. According to GOST 9581-80, it is permissible to use aluminum cable lugs with a copper, nickel and zinc coating deposited by the method of cold gas-dynamic spraying (CGN). Known electrical connecting product [5], implemented by the CGN method.
Недостатком ХГН является пористость покрытий, которая обычно составляет 3-7% [4] и принципиально неустранима, так как при формировании таких покрытий используется газопорошковая смесь. Пористость является существенным недостатком таких покрытий, нанесенных на контактные поверхности, поскольку она отрицательно сказывается на их электрической проводимости.The disadvantage of CGN is the porosity of the coatings, which is usually 3-7% [4] and fundamentally unrecoverable, since the formation of such coatings uses a gas-powder mixture. Porosity is a significant drawback of such coatings deposited on contact surfaces, since it negatively affects their electrical conductivity.
Задачей заявляемого изобретения является получение беспористых металлических покрытий, не имеющих промежуточного хрупкого слоя на границе с контактной поверхностью и обладающих высокой электрической проводимостью и высокой адгезией с основой.The task of the invention is to obtain non-porous metal coatings that do not have an intermediate brittle layer at the boundary with the contact surface and have high electrical conductivity and high adhesion to the substrate.
Поставленная задача реализуется посредством электровзрывного способа нанесения металлических покрытый на контактные поверхности. Способ включает формирование импульсной многофазной плазменной струи с использованием плазменного ускорителя, воздействие на контактную поверхность осуществляют в вакууме при нагреве поверхности до температуры плавления материала с формированием на ней рельефа покрытия и при пороговом значении удельного потока энергии плазменной струи q, определяемом по соотношению:The task is realized by means of an electric blasting method of deposition of metal coated on contact surfaces. The method includes the formation of a pulsed multiphase plasma jet using a plasma accelerator, the contact surface is exposed to vacuum when the surface is heated to the melting temperature of the material with the formation of a coating relief on it and at a threshold value of the specific energy flux of the plasma jet q, determined by the ratio:
, ,
где Т- температура плавления металла;where T is the melting temperature of the metal;
χ и λ - средние значения температуро- и теплопроводности металла в интервале температур от комнатной до температуры плавления;χ and λ are the average values of the thermal and thermal conductivity of the metal in the temperature range from room temperature to the melting point;
τ - время импульса.τ is the pulse time.
Изобретение позволяет получать беспористые металлические покрытия, обладающие высокой электрической проводимостью и высокой адгезией с материалом контактной поверхности.The invention allows to obtain non-porous metal coatings with high electrical conductivity and high adhesion to the material of the contact surface.
При электровзрывном способе нанесения металлических покрытий на контактные поверхности обработка проводится в вакууме, поэтому возникновение пор, которое имеет место при ХГН в силу того, что при ХГН используется газопорошковая смесь, полностью исключено. Вместе с тем, промежуточный слой, имеющий место при использовании магнитоплазменного ускорителя А.А.Сивкова, также отсутствует, поскольку нанесение покрытия осуществляется в режимах без оплавления поверхности. Получаемые заявляемым способом покрытия по толщине и площади, особенностям границы с основой наиболее близки к ХГН.With the electric blasting method of applying metal coatings on contact surfaces, the treatment is carried out in vacuum, therefore, the occurrence of pores that occurs during CGN due to the fact that a gas-powder mixture is used in CGN is completely excluded. At the same time, the intermediate layer that occurs when using the A.A.Sivkov magnetoplasma accelerator is also absent, since the coating is applied in the modes without surface melting. Obtained by the claimed method of coating in thickness and area, features of the border with the base are closest to CGN.
Исследование структуры методом световой микроскопии поверхности прямых шлифов алюминиевых кабельных наконечников с нанесенным электровзрывным способом медным покрытием показали, что покрытия, полученные заявляемым способом, однородны по структуре и не имеют пор. Вместе с тем, между покрытием и основой отсутствует промежуточный слой. При этом на границе покрытия с основой вследствие силового плазменного воздействия формируется рельеф, который увеличивает адгезию.The study of the structure by light microscopy of the surface of direct sections of aluminum cable lugs coated with an electric blasting method with a copper coating showed that the coatings obtained by the claimed method are uniform in structure and have no pores. However, there is no intermediate layer between the coating and the base. At the same time, a relief is formed at the boundary of the coating with the substrate due to the plasma force, which increases the adhesion.
Указанные признаки не выявлены в других технических решениях при изучении уровня данной области техники и, следовательно, решение является новым и имеет изобретательский уровень.These features are not identified in other technical solutions when studying the level of this technical field and, therefore, the solution is new and has an inventive step.
На чертеже представлена схема импульсного плазменного ускорителя для электровзрывного нанесения металлических покрытий. Плазменный ускоритель состоит из коаксиально-торцевой системы токоподводящих электродов 1 - внутренний электрод, 2 - внешний электрод, разделенных изолятором 3, разрядной камеры 4, локализующей продукты взрыва, и сопла, по которому они истекают в вакуумируемую технологическую камеру. Электровзрыв происходит в результате пропускания через проводник 5 тока большой плотности при разряде конденсаторной батареи.The drawing shows a diagram of a pulsed plasma accelerator for electric explosive deposition of metal coatings. The plasma accelerator consists of a coaxial-end system of current-supplying electrodes 1 - an internal electrode, 2 - an external electrode separated by an insulator 3, a discharge chamber 4, localizing the explosion products, and a nozzle through which they flow into the evacuated technological chamber. An electric explosion occurs as a result of the passage of high-density current through the conductor 5 during the discharge of a capacitor bank.
Примеры конкретного использования.Examples of specific use.
Пример 1.Example 1
Формирование импульсной многофазной плазменной струи продуктов электрического взрыва проводников происходило за счет электрического взрыва круглой медной фольги диаметром 50 мм и толщиной 15 мкм. Воздействие ею на контактную поверхность алюминиевого кабельного наконечника типа ТА по ГОСТ 9581-80 осуществлялось в вакууме при нагреве поверхности до температуры плавления материала с формированием на ней рельефа покрытия и при пороговом значении удельного потока энергии плазменной струи q, определяемом согласно [6] по соотношению:The formation of a pulsed multiphase plasma jet of products of electric explosion of conductors occurred due to electric explosion of round copper foil with a diameter of 50 mm and a thickness of 15 μm. Its impact on the contact surface of an aluminum cable lug type TA according to GOST 9581-80 was carried out in vacuum when the surface was heated to the melting temperature of the material with the formation of a coating relief on it and at a threshold value of the specific energy flux of the plasma jet q, determined according to [6] by the ratio:
, ,
где Т - температура плавления металла;where T is the melting point of the metal;
χ и λ - средние значения температуро- и теплопроводности металла в интервале температур от комнатной до температуры плавления;χ and λ are the average values of the thermal and thermal conductivity of the metal in the temperature range from room temperature to the melting point;
τ - время импульса.τ is the pulse time.
Для алюминия пороговое значение поглощаемой плотности мощности составляет q=3,7 ГВт/м2.For aluminum, the threshold value of the absorbed power density is q = 3.7 GW / m 2 .
Контактную поверхность ориентировали перпендикулярно к оси плазменной струи. При этом расстояние облучаемой поверхности от среза сопла электровзрывного укорителя и значение напряжения обеспечивало достижение необходимого порогового значения удельного потока энергии плазменной струи и нагрева поверхности до температуры плавления, а адгезия бала максимальна.The contact surface was oriented perpendicular to the axis of the plasma jet. In this case, the distance of the irradiated surface from the nozzle exit of the electric blasting accelerator and the voltage value ensured the achievement of the required threshold value of the specific energy flux of the plasma jet and heating the surface to the melting temperature, and ball adhesion was maximal.
За один импульс обработки на контактной поверхности кабельного наконечника площадью 7 см2 формируется однородный слой меди толщиной 12…15 мкм. При повторной обработке толщина покрытия увеличивалась пропорционально числу импульсов. Так при трех импульсах она достигала 45…50 мкм. При этом граница между последовательно наносимыми слоями отсутствовала.For one processing pulse, a uniform copper layer 12 ... 15 μm thick is formed on the contact surface of the cable lug with an area of 7 cm 2 . During reprocessing, the coating thickness increased in proportion to the number of pulses. So with three pulses, it reached 45 ... 50 microns. In this case, the boundary between successively applied layers was absent.
Пример 2.Example 2
Формирование импульсной многофазной плазменной струи продуктов электрического взрыва проводников происходило за счет электрического взрыва круглой никелевой фольги диаметром 50 мм и толщиной 15 мкм. Воздействие ею на контактную поверхность алюминиевого кабельного наконечника типа ТА по ГОСТ 9581-80 осуществлялось в вакууме при нагреве поверхности до температуры плавления материала с формированием на ней рельефа покрытия и при пороговом значении удельного потока энергии плазменной струи q, определяемом согласно [6] по соотношению:The formation of a pulsed multiphase plasma jet of products of electric explosion of conductors occurred due to electric explosion of round nickel foil with a diameter of 50 mm and a thickness of 15 μm. Its impact on the contact surface of an aluminum cable lug type TA according to GOST 9581-80 was carried out in vacuum when the surface was heated to the melting temperature of the material with the formation of a coating relief on it and at a threshold value of the specific energy flux of the plasma jet q, determined according to [6] by the ratio:
, ,
где Т - температура плавления металла;where T is the melting point of the metal;
χ и λ - средние значения температуро- и теплопроводности металла в интервале температур от комнатной до температуры плавления;χ and λ are the average values of the thermal and thermal conductivity of the metal in the temperature range from room temperature to the melting point;
τ - время импульса.τ is the pulse time.
Для алюминия пороговое значение поглощаемой плотности мощности составляет q=3,7 ГВт/м2.For aluminum, the threshold value of the absorbed power density is q = 3.7 GW / m 2 .
Контактную поверхность ориентировали перпендикулярно к оси плазменной струи. При этом расстояние облучаемой поверхности от среза сопла электровзрывного укорителя и значение напряжения обеспечивало достижение необходимого порогового значения удельного потока энергии плазменной струи и нагрева поверхности до температуры плавления, а адгезия бала максимальна.The contact surface was oriented perpendicular to the axis of the plasma jet. In this case, the distance of the irradiated surface from the nozzle exit of the electric blasting accelerator and the voltage value ensured the achievement of the required threshold value of the specific energy flux of the plasma jet and heating the surface to the melting temperature, and ball adhesion was maximal.
За один импульс обработки на контактной поверхности кабельного наконечника площадью 7 см2 формируется однородный слой меди толщиной 12…15 мкм. При повторной обработке толщина покрытия увеличивалась пропорционально числу импульсов. Так при трех импульсах она достигала 45…50 мкм. При этом граница между последовательно наносимыми слоями отсутствовала.For one processing pulse, a uniform copper layer 12 ... 15 μm thick is formed on the contact surface of the cable lug with an area of 7 cm 2 . During reprocessing, the coating thickness increased in proportion to the number of pulses. So with three pulses, it reached 45 ... 50 microns. In this case, the boundary between successively applied layers was absent.
Источники информацииInformation sources
1. Сивков А.А. Нанесение медного покрытия на алюминиевые контактные поверхности с помощью магнитоплазменного ускорителя / А.А.Сивков, Л.В.Корольков, А.С.Сайгаш // Электротехника. 2003. №8. С.41-46.1. Sivkov A.A. Copper coating on aluminum contact surfaces using a magnetoplasma accelerator / A.A. Sivkov, L.V. Korolkov, A.S. Saigash // Electrical Engineering. 2003. No8. S.41-46.
2. RU 2150652, кл. F41В 6/00, Российская Федерация. Коаксиальный ускоритель Сивкова / Сивков А.А. //10.06.2000.2. RU 2150652, cl. F41B 6/00, Russian Federation. Coaxial accelerator Sivkova / Sivkov A.A. //10.06.2000.
3. Авт.св. 16187778 СССР С23С 4/00. Способ получения покрытий / А.П.Алхимов, В.Ф.Косарев, Н.И.Нестерович, Н.И.Папырин // Открытия. Изобретения, 1991, N 1.3. Auto 16187778 USSR C23C 4/00. A method of producing coatings / A.P. Alkhimov, V.F.Kosarev, N.I. Nesterovich, N.I. Papyrin // Discovery. Inventions, 1991, N 1.
4. Клюев О.Ф. Оборудование «ДИМЕТ» для нанесения металлических покрытий при производстве и ремонте деталей машин / О.Ф.Клюев, А.И.Каширин, Т.В.Буздыгар А.В.Шкодкин // Сварочное производство. 2005. №9. С.43-47.4. Klyuev O.F. Equipment "DIMET" for applying metal coatings in the production and repair of machine parts / O.F. Klyuev, A.I. Kashirin, T.V. Buzdygar A.V. Shkodkin // Welding production. 2005. No9. S.43-47.
5. Пат. RU 2096877, кл. Н01R 11/00, Российская Федерация. Электротехническое соединительное изделие / А.П.Алхимов [и др.] // Бюллетень. - 1997. - №32.5. Pat. RU 2096877, class H01R 11/00, Russian Federation. Electrotechnical connecting product / A.P. Alkhimov [et al.] // Bulletin. - 1997. - No. 32.
6. Рыкалин Н.Н. Лазерная и электронно-лучевая обработка материалов: Справ. / Н.Н.Рыкалин, А.А.Углов, И.В.Зуев, А.Н.Кокора. - М.: Машиностроение, 1985. - 496 с.6. Rykalin N.N. Laser and electron beam processing of materials: Ref. / N.N. Rykalin, A.A. Uglov, I.V. Zuev, A.N. Kokora. - M.: Mechanical Engineering, 1985 .-- 496 p.
Claims (1)
,
где Т - температура плавления металла;
χ и λ - средние значения температуро- и теплопроводности металла в интервале температур от комнатной до температуры плавления;
τ - время импульса. The method of electric explosive deposition of metal coatings on contact surfaces, including the formation of a pulsed multiphase plasma jet of electrical explosion products of conductors and its impact on the contact surface, characterized in that the contact surface is carried out in vacuum when the surface is heated to the melting temperature of the material with the formation of a coating relief on it and at a threshold value of the specific energy flux of the plasma jet q, determined by the ratio:
,
where T is the melting point of the metal;
χ and λ are the average values of the thermal and thermal conductivity of the metal in the temperature range from room temperature to the melting point;
τ is the pulse time.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2009146449/02A RU2422555C1 (en) | 2009-12-14 | 2009-12-14 | Procedure for electric-explosive application of metal coating on contact surfaces |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2009146449/02A RU2422555C1 (en) | 2009-12-14 | 2009-12-14 | Procedure for electric-explosive application of metal coating on contact surfaces |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2422555C1 true RU2422555C1 (en) | 2011-06-27 |
Family
ID=44739195
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2009146449/02A RU2422555C1 (en) | 2009-12-14 | 2009-12-14 | Procedure for electric-explosive application of metal coating on contact surfaces |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2422555C1 (en) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2497976C1 (en) * | 2012-10-19 | 2013-11-10 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Сибирский государственный индустриальный университет" | METHOD FOR ELECTROEXPLOSIVE SPUTTERING OF COMPOSITE COATINGS OF Al-TiB2 SYSTEM ONTO ALUMINIUM SURFACES |
RU2518037C1 (en) * | 2013-03-25 | 2014-06-10 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Сибирский государственный индустриальный университет" | METHOD OF ELECTROEXPLOSIVE SPUTTERING OF COMPOSITE WEAR-RESISTANT COATINGS OF SYSTEM TiC-Mo ON FRICTION SURFACE |
RU2547974C2 (en) * | 2013-07-16 | 2015-04-10 | Денис Анатольевич Романов | METHOD FOR ELECTROBLASTING SPUTTERING OF COMPOSITE WEAR-RESISTANT COATINGS OF TiB2-MO SYSTEM ON FRICTION SURFACE |
RU2676122C1 (en) * | 2018-05-23 | 2018-12-26 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Сибирский государственный индустриальный университет", ФГБОУ ВО СибГИУ | Method for applying wear resistant coatings based on aluminum and yttrium oxide to silumin |
RU2686093C1 (en) * | 2018-06-29 | 2019-04-24 | Денис Анатольевич Романов | Method of applying niobium-based bioinert coatings on titanium implants |
RU2686092C1 (en) * | 2018-06-29 | 2019-04-24 | Денис Анатольевич Романов | Method for application of zirconium-based bioinert coatings on titanium implants |
RU2737912C1 (en) * | 2020-03-18 | 2020-12-04 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Сибирский государственный университет", ФГБОУ ВО "СибГИУ" | Method of applying bioinertic tantalum coatings modified with nitrogen ions on titanium implants |
RU2737938C1 (en) * | 2020-03-18 | 2020-12-07 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Сибирский государственный индустриальный университет" ФГБОУ ВО "СибГИУ" | Method of applying bioinertic hafnium coatings modified with nitrogen ions on titanium implants |
-
2009
- 2009-12-14 RU RU2009146449/02A patent/RU2422555C1/en active
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2497976C1 (en) * | 2012-10-19 | 2013-11-10 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Сибирский государственный индустриальный университет" | METHOD FOR ELECTROEXPLOSIVE SPUTTERING OF COMPOSITE COATINGS OF Al-TiB2 SYSTEM ONTO ALUMINIUM SURFACES |
RU2518037C1 (en) * | 2013-03-25 | 2014-06-10 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Сибирский государственный индустриальный университет" | METHOD OF ELECTROEXPLOSIVE SPUTTERING OF COMPOSITE WEAR-RESISTANT COATINGS OF SYSTEM TiC-Mo ON FRICTION SURFACE |
RU2547974C2 (en) * | 2013-07-16 | 2015-04-10 | Денис Анатольевич Романов | METHOD FOR ELECTROBLASTING SPUTTERING OF COMPOSITE WEAR-RESISTANT COATINGS OF TiB2-MO SYSTEM ON FRICTION SURFACE |
RU2676122C1 (en) * | 2018-05-23 | 2018-12-26 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Сибирский государственный индустриальный университет", ФГБОУ ВО СибГИУ | Method for applying wear resistant coatings based on aluminum and yttrium oxide to silumin |
RU2686093C1 (en) * | 2018-06-29 | 2019-04-24 | Денис Анатольевич Романов | Method of applying niobium-based bioinert coatings on titanium implants |
RU2686092C1 (en) * | 2018-06-29 | 2019-04-24 | Денис Анатольевич Романов | Method for application of zirconium-based bioinert coatings on titanium implants |
RU2737912C1 (en) * | 2020-03-18 | 2020-12-04 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Сибирский государственный университет", ФГБОУ ВО "СибГИУ" | Method of applying bioinertic tantalum coatings modified with nitrogen ions on titanium implants |
RU2737938C1 (en) * | 2020-03-18 | 2020-12-07 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Сибирский государственный индустриальный университет" ФГБОУ ВО "СибГИУ" | Method of applying bioinertic hafnium coatings modified with nitrogen ions on titanium implants |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2422555C1 (en) | Procedure for electric-explosive application of metal coating on contact surfaces | |
US6455108B1 (en) | Method for preparation of a thermal spray coated substrate for use in an electrical energy storage device | |
US7557511B2 (en) | Apparatus and method utilizing high power density electron beam for generating pulsed stream of ablation plasma | |
CN102282693B (en) | Method for deposition of at least one electrically conducting film on substrate | |
JPS6199672A (en) | Method and apparatus for surface treatment of article to be processed | |
JP6625728B2 (en) | Plasma generator | |
RU2497976C1 (en) | METHOD FOR ELECTROEXPLOSIVE SPUTTERING OF COMPOSITE COATINGS OF Al-TiB2 SYSTEM ONTO ALUMINIUM SURFACES | |
JP4563966B2 (en) | Semiconductor processing apparatus member and method for manufacturing the same | |
US8460603B2 (en) | Method of manufacturing electrical discharge surface treatment-purpose electrode and electrical discharge surface treatment-purpose electrode | |
JPS6040507B2 (en) | Method for laminating a metal layer or alloy layer on a dielectric workpiece material and apparatus for carrying out this method | |
RU2518037C1 (en) | METHOD OF ELECTROEXPLOSIVE SPUTTERING OF COMPOSITE WEAR-RESISTANT COATINGS OF SYSTEM TiC-Mo ON FRICTION SURFACE | |
RU2547974C2 (en) | METHOD FOR ELECTROBLASTING SPUTTERING OF COMPOSITE WEAR-RESISTANT COATINGS OF TiB2-MO SYSTEM ON FRICTION SURFACE | |
RU2489515C1 (en) | METHOD FOR ELECTROEXPLOSIVE SPUTTERING OF COMPOSITE COATINGS OF TiB2-Cu SYSTEM ONTO COPPER CONTACT SURFACES | |
RU2522874C1 (en) | Method to protect aluminium surface against corrosion | |
RU2451111C1 (en) | Application method of electroerosion resistant molybdenum-copper composition coatings with filled structure to contact surfaces | |
RU2436864C1 (en) | Procedure for application of composite laminate molybdenum-copper coating on copper contact surface | |
RU2404493C1 (en) | Electrotechnical connecting item | |
JP2009235534A (en) | Porous body forming method, electrode, and micro-spark coating device | |
RU2451110C1 (en) | Application method of electroerosion resistant tungsten-copper composition coatings with filled structure to contact surfaces | |
RU2436863C2 (en) | Procedure for application of pseudo-alloy molybdenum-copper coating on copper contact surface | |
CN110670043B (en) | Film deposition method based on gas cluster ion beam sputtering | |
RU97005U1 (en) | DEVICE FOR FORMING SURFACE ALLOYS | |
RU2455388C1 (en) | Method for application of electric-erosion resistant copper-molybdenum composite coatings with layered structure to contact surfaces | |
JP2009114482A (en) | Method and apparatus for treating metal surface by electron beam | |
JP2001508502A (en) | Rotary apparatus for plasma immersion assisted processing of substrates |