RU2390738C2 - Method of measuring average wavelength of narrow-band optical radiation - Google Patents
Method of measuring average wavelength of narrow-band optical radiation Download PDFInfo
- Publication number
- RU2390738C2 RU2390738C2 RU2008119917/28A RU2008119917A RU2390738C2 RU 2390738 C2 RU2390738 C2 RU 2390738C2 RU 2008119917/28 A RU2008119917/28 A RU 2008119917/28A RU 2008119917 A RU2008119917 A RU 2008119917A RU 2390738 C2 RU2390738 C2 RU 2390738C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- radiation
- wavelength
- channels
- spectral
- narrow
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к оптике и может быть использовано для определения средней длины волны узкополосного светового излучения без использования спектрального диспергирующего прибора, в том числе и при картировании распределения длины волны излучения по поверхности. При этом речь идет об определении именно только средней длины волны излучения, сосредоточенного в пределах нанометровых спектральных ширин, без определения параметров его спектрального распределения.The invention relates to optics and can be used to determine the average wavelength of narrow-band light radiation without using a spectral dispersive device, including when mapping the distribution of the radiation wavelength over the surface. In this case, we are talking about determining just the average wavelength of radiation concentrated within the nanometer spectral widths without determining the parameters of its spectral distribution.
Известны способы определения распределения излучения в случае широкополосного излучения с помощью спектральных приборов, например спектрометров с дифракционной решеткой или диспергирующей призмой. В случае необходимости регистрации пространственного распределения спектров, очевидным является способ вырезания узкого протяженного в одном из направлений участка посредством проектирования его на щель спектрографа и разворачивания его спектрального состава в другом направлении. Также достаточно очевидным является исследование спектров разбросанных в двумерной плоскости точечных источников, например звезд, посредством проектирования их во входную плоскость спектрографа, щель которого снята. Эти методы можно применять и для измерения узкополосных источников. Такие способы можно считать аналогами предлагаемого метода. Недостатком подобного подхода является то, что сплошное картирование двумерного распределения при помощи спектрометра с большим пространственным объемом становится практически невозможным.Known methods for determining the distribution of radiation in the case of broadband radiation using spectral instruments, for example spectrometers with a diffraction grating or dispersing prism. If it is necessary to register the spatial distribution of the spectra, the obvious way is to cut out a narrow section stretched out in one direction by projecting it onto the slit of the spectrograph and expanding its spectral composition in the other direction. It is also quite obvious to study the spectra of point sources scattered in the two-dimensional plane, for example, stars, by projecting them into the input plane of the spectrograph, the gap of which is removed. These methods can also be used to measure narrow-band sources. Such methods can be considered analogues of the proposed method. The disadvantage of this approach is that the continuous mapping of a two-dimensional distribution using a spectrometer with a large spatial volume becomes almost impossible.
Вместе с тем колориметрическим способом, частным случаем которого является зрение человека, без труда осуществляется двумерное восприятие распределения цвета. Принципы такого восприятия человеческим глазом или прибором хорошо известны и описаны во многих источниках (см., например, [1-2]). Суть его состоит в следующем. Излучение разделяется на 3 канала, селективная чувствительность канала с номером i есть Si(λ). В этом случае сигнал в этом канале будетAt the same time, the colorimetric method, a particular case of which is human vision, easily carries out a two-dimensional perception of the distribution of color. The principles of such perception by the human eye or device are well known and described in many sources (see, for example, [1-2]). Its essence is as follows. The radiation is divided into 3 channels, the selective sensitivity of the channel with the number i is S i (λ). In this case, the signal in this channel will be
где Ф(λ) - яркость источника. По соотношению яркостей в каналах определяют цвет источника. В силу того, что о спектральном распределении таким образом можно сказать немного, вопрос о точном определении средней длины волны здесь не ставится. Когда мы точно знаем, что излучение в силу каких то причин в каждой точке узкополосно, то для такого узкополосного излучения можно ставить вопрос не о простом цветовом восприятии, а о точном измерении средней длины волны этим способом. При этом в рабочем диапазоне длин волн требуется не менее чем два канала регистрации с различными спектральными чувствительностями. Подобный способ был предложен в патенте JP 2007183218 [3]. Его можно считать прототипом предлагаемого метода. При выборе критерия для ограничения рабочего диапазона длин волн в этом способе учитывается разность спектральных чувствительностей каналов. Следствием этого является сужение рабочего диапазона длин волн. К тому же в этом изобретении не определяется для какого рода излучения способ пригоден. Связано это, видимо, с тем, что авторы имели в виду лазерные источники монохроматического излучения.where f (λ) is the brightness of the source. The ratio of the brightness in the channels determines the color of the source. Due to the fact that a little can be said about the spectral distribution in this way, the question of accurately determining the average wavelength is not raised here. When we know for sure that radiation for some reason at each point is narrow-band, then for such narrow-band radiation, the question can be posed not about simple color perception, but about accurate measurement of the average wavelength in this way. Moreover, in the working wavelength range, at least two recording channels with different spectral sensitivities are required. A similar method was proposed in JP patent 2007183218 [3]. It can be considered a prototype of the proposed method. When choosing a criterion for limiting the operating wavelength range, this method takes into account the difference in the spectral sensitivity of the channels. The consequence of this is a narrowing of the operating wavelength range. Moreover, this invention does not determine what kind of radiation the method is suitable for. This is apparently due to the fact that the authors had in mind laser sources of monochromatic radiation.
Задачей, решаемой предлагаемым изобретением, является разработка способа, позволяющего с высокой точностью без спектрального прибора определять пространственное распределение средней длины волны узкополосного светового излучения в широком диапазоне длин волн.The problem solved by the invention is the development of a method that allows with high accuracy without a spectral device to determine the spatial distribution of the average wavelength of narrow-band light radiation in a wide range of wavelengths.
Задача решается следующим образом.The problem is solved as follows.
В общем случае от исследуемого источника одна часть излучения направляется на один приемник, вторая часть - на другой. Спектральные характеристики приемников должны быть определены предварительно. Минимальное количество приемников - два. Удобнее делить излучение при помощи полупрозрачного зеркала или делительного кубика. Спектральные характеристики пропускания каждого из каналов являются составной частью общих спектральных характеристик этих каналов. Общие спектральные характеристики в каждом из каналов должны различаться. Удобнее иметь приемники с примерно одинаковыми спектральными свойствами, а для изменения спектральной характеристики в одном из каналов можно применить поглощающий светофильтр с монотонно изменяющимся с длиной волны пропусканием на рабочем участке спектрального диапазона.In the general case, from the source under study, one part of the radiation is directed to one receiver, the second part to the other. The spectral characteristics of the receivers must be determined in advance. The minimum number of receivers is two. It is more convenient to share the radiation with a translucent mirror or dividing cube. The spectral transmission characteristics of each channel are an integral part of the general spectral characteristics of these channels. The general spectral characteristics in each of the channels should be different. It is more convenient to have receivers with approximately the same spectral properties, and to change the spectral characteristic in one of the channels, you can use an absorbing filter with a transmission monotonically changing with a wavelength in the working section of the spectral range.
На фиг.1 схематически показаны совпадающие (что не обязательно) спектральные чувствительности приемников S(λ) и пропускание фильтра α(λ). Рабочий диапазон (λ1-λ2) показан вертикальными линиями и находится в пределах монотонного изменения пропускания фильтра и, естественно, ненулевого значения чувствительности приемников. При сформулированных условиях при средней длине волны излучения λx отношение величины сигнала приемника в канале с фильтром J2 к величине сигнала приемника в канале без фильтра J1 будет α(λx)=J1/J2. Отсюда, поскольку мы знаем спектральное пропускание фильтра α(λ), нетрудно определить искомую среднюю длину волны излучения λx при помощи выражения λх=α-1(J1/J2), где α-1(а) - функция, обратная к α(λ). Подобным же образом можно определить алгоритм действия в случае неидентичных характеристик приемника. В случае немонотонности спектральной зависимости пропускания фильтра на интересующем нас участке, можно использовать дополнительный канал, в котором используется фильтр, спектральная зависимость которого на участке, который выходит за границы рабочего для первого фильтра, является монотонной. В случае необходимости число каналов можно увеличивать далее.Figure 1 schematically shows the coincident (which is not necessary) spectral sensitivities of the receivers S (λ) and the filter transmission α (λ). The operating range (λ 1 -λ 2 ) is shown by vertical lines and is within the range of a monotonic change in filter transmission and, naturally, a non-zero value of the sensitivity of the receivers. Under the conditions formulated at an average radiation wavelength λ x, the ratio of the value of the receiver signal in the channel with filter J 2 to the value of the receiver signal in the channel without filter J 1 will be α (λ x ) = J1 / J2. Hence, since we know the spectral transmission of the filter α (λ), it is easy to determine the desired average radiation wavelength λ x using the expression λ x = α -1 (J1 / J2), where α -1 (a) is the function inverse to α (λ). In a similar way, one can determine the algorithm of action in the case of non-identical characteristics of the receiver. In the case of non-monotonicity of the spectral dependence of the filter transmission in the area of interest to us, an additional channel can be used in which the filter is used, the spectral dependence of which in the area that goes beyond the working boundaries for the first filter is monotonic. If necessary, the number of channels can be increased further.
В случае одномерного или двумерного пространственного распределения узкополосных источников, нужно в каждом из каналов использовать соответствующие пространственно-чувствительные датчики, такие, чтобы применяемая система обеспечивала требуемое пространственное разрешение. Как оказалось, в качестве приемников может быть применена матрица современного цифрового фотоаппарата с мегапиксельным разрешением.In the case of one-dimensional or two-dimensional spatial distribution of narrow-band sources, it is necessary in each channel to use appropriate spatially sensitive sensors, such that the system used provides the required spatial resolution. As it turned out, the matrix of a modern digital camera with megapixel resolution can be used as receivers.
В случае стационарного во времени распределения излучения, можно пользоваться одноканальной системой, делая требуемое количество регистрации распределения с соответствующим изменением пропускания в этом канале (минимум еще одну при необходимости двухканальной регистрации, или две - для трехканальной).In the case of a stationary distribution of radiation over time, it is possible to use a single-channel system, making the required amount of registration of the distribution with a corresponding change in transmittance in this channel (at least one more if necessary two-channel registration, or two for three-channel).
Первый шаг в осуществлении описываемого способа - это определение спектральных характеристик описываемой системы. Далее по приведенным выше критериям определяются рабочие диапазоны, и в их пределах определяются рабочие характеристики системы, дающие длину волны излучения по соотношению интенсивностей в каналах. На заключительном этапе по измеренному соотношению величин сигналов в каналах определяется средняя длина волны излучения для данного источника. В случае пространственного источника данная процедура проводится для всей исследуемой поверхности.The first step in the implementation of the described method is the determination of the spectral characteristics of the described system. Further, according to the above criteria, the operating ranges are determined, and within their limits the operating characteristics of the system are determined that give the radiation wavelength according to the ratio of intensities in the channels. At the final stage, the average radiation wavelength for a given source is determined from the measured ratio of signal values in the channels. In the case of a spatial source, this procedure is carried out for the entire investigated surface.
Покажем применение этого метода на примере топографического сенсора на основе гидрогеля, который представляет голограмму Денисюка (плоский слой гидрогеля, в котором расположены регулярно слои, содержащие частицы серебра или иного рассеивающего вещества с размерами десятки нм). Толщина пленки гидрогеля составляет обычно от нескольких мкм до нескольких десятков мкм. Такие слои обычно получают фотографически при интерференции встречных пучков лазерного излучения, так что расстояние между слоями равно половине длины волны излучения, которое использовалось при записи (если в результате фотообработки при получении металлического серебра не происходит усадки или набухания эмульсии, в противном случае расстояние между слоями изменяется). Эти слои образуют структуру типа интерференционного фильтра, которая при падении излучения белого света работает как многослойное зеркало, отражающее свет только той длины волны, которая в 2 раза больше расстояния между слоями. В гидрогелевую полимерную матрицу датчика встраиваются химические группы, делающие ее чувствительной к тому или иному веществу (например, к глюкозе) или параметру раствора (например, к кислотности среды). Под действием этого вещества матрица датчика сжимается или набухает, расстояние между слоями увеличивается, и цвет отраженного излучения изменяется [4]. При однородной структуре голограммы слои расположены равномерно, число их достаточно велико (при толщине 20 мкм около 80) и отраженное излучение имеет спектральную ширину менее 10 нм.Let us show the application of this method by the example of a topographic hydrogel-based sensor, which represents a Denisyuk hologram (a flat hydrogel layer in which layers containing silver particles or other scattering matter with sizes of tens of nm are regularly located). The thickness of the hydrogel film is usually from a few microns to several tens of microns. Such layers are usually obtained photographically by interference of counterpropagating laser beams, so that the distance between the layers is equal to half the wavelength of the radiation used during recording (if the emulsion does not shrink or swell as a result of photo processing, otherwise the distance between the layers changes ) These layers form a structure such as an interference filter, which, when white light is incident, acts as a multilayer mirror that reflects light only at that wavelength that is 2 times the distance between the layers. Chemical groups are embedded in the hydrogel polymer matrix of the sensor, making it sensitive to a particular substance (for example, glucose) or a solution parameter (for example, to the acidity of the medium). Under the action of this substance, the sensor matrix contracts or swells, the distance between the layers increases, and the color of the reflected radiation changes [4]. With a homogeneous hologram structure, the layers are evenly distributed, their number is quite large (with a thickness of 20 μm about 80) and the reflected radiation has a spectral width of less than 10 nm.
На фиг.2 показано пространственное одномерное распределение сигнала в фотографии спектра лампы накаливания для красных, зеленых и синих сенсоров (обозначены соответствующими цветами) фотоаппарата Sony F717, полученной нами (фирмы-производители не представляют подобной информации). По оси абсцисс отложена длина волны (в нм), по оси ординат - величина сигнала. Отмечены участки цветовой чувствительности (рабочие диапазоны). Следует отметить, что цветопередача фотоаппарата весьма неудовлетворительна, поскольку, например, на интервале 540 нм - 575 нм система совершенно не чувствует изменения цвета. Однако, если измеряемое излучение находится внутри одного из двух отмеченных интервалов, для измерений этот фотоаппарат вполне пригоден. Следует отметить, что мы исследовали около десятка фотоаппаратов разных фирм среднего класса и высшего среднего, и у всех характеристики практически такие же.Figure 2 shows the spatial one-dimensional distribution of the signal in a photograph of the spectrum of an incandescent lamp for red, green and blue sensors (indicated by the corresponding colors) of the Sony F717 camera obtained by us (manufacturers do not provide such information). The wavelength (in nm) is plotted along the abscissa, and the signal is plotted along the ordinate. Marked areas of color sensitivity (operating ranges). It should be noted that the color rendering of the camera is very unsatisfactory, because, for example, in the range of 540 nm - 575 nm, the system does not feel any color change at all. However, if the measured radiation is inside one of the two marked intervals, this camera is quite suitable for measurements. It should be noted that we examined about a dozen cameras of different firms of the middle class and the upper middle, and all the characteristics are almost the same.
На фиг.3 синяя кривая показывает спектр отражения подобной голограммы для одной из точек голограммы при средней длине волны отражения 677 нм (определяется концентрацией чувствительного вещества), красная - аппроксимацию спектральной линии гауссовой функцией, ширина на половине высоты которой составляет 8 нм.In Fig. 3, the blue curve shows the reflection spectrum of a similar hologram for one of the hologram points at an average reflection wavelength of 677 nm (determined by the concentration of the sensitive substance), the red curve shows the approximation of the spectral line by a Gaussian function whose width at half height is 8 nm.
На фиг.4 показана фотография поверхности голограммы при такой концентрации, чтобы средняя длина волны находилась в рабочем диапазоне длин волн. Ниже показаны средние длины волн для проходящих через одну из точек голограммы горизонтального (верхний график) и вертикального (нижний график) сечений. Для этих сечений по оси ординат показаны длины волн, пересчитанные по полученным характеристикам соотношений сигналов в цветных каналах (здесь - красного и зеленого). По оси абсцисс отложены номера пикселей в сечении. Хорошо видно, что средняя длина волны отражения в различных точках находится в интервале 579-580 нм. Этот интервал соответствует близким значениям величин сигналов каналов (зеленый - примерно 80% от красного).Figure 4 shows a photograph of the surface of the hologram at such a concentration that the average wavelength is in the working range of wavelengths. The average wavelengths for the horizontal (upper graph) and vertical (lower graph) sections passing through one of the hologram points are shown below. For these cross sections, the ordinate axis shows the wavelengths recalculated from the obtained characteristics of the signal ratios in the color channels (here, red and green). The abscissa shows the number of pixels in the section. It is clearly seen that the average reflection wavelength at various points is in the range 579-580 nm. This interval corresponds to close values of the channel signals (green - approximately 80% of red).
На фиг.5 для этой же фотографии показана в серых тонах карта распределений по пространству для всего изображения пересчитанных по тем же характеристикам длин волн отраженного света и два сечения для другой точки с увеличенным по оси ординат масштабом. Густой черный тон соответствует выходу соотношений каналов из рабочего диапазона. Обращают на себя внимание довольно малый высокочастотный шум, составляющий заметно менее 1 нм, и общая нестабильность по полю, составляющая менее 2 нм. Следует отметить, что число пикселей в этой карте составляет около 500000. В принципе не составляет труда получать такую карту емкостью на порядок больше. Получение подобной спектральной информации для изображения такого объема с такой спектральной точностью каким-либо другим способом представляется весьма проблематичным.Figure 5 for the same photograph shows in gray tones a map of the spatial distributions for the entire image recalculated according to the same characteristics of the wavelengths of reflected light and two sections for another point with an enlarged ordinate. A thick black tone corresponds to the output of the channel ratios from the working range. Noteworthy is the rather small high-frequency noise, which is noticeably less than 1 nm, and the general instability in the field, which is less than 2 nm. It should be noted that the number of pixels in this card is about 500,000. In principle, it is not difficult to get such a card with a capacity an order of magnitude larger. Obtaining such spectral information for an image of such a volume with such spectral accuracy in any other way seems very problematic.
На фиг.6 показана та же карта в условных цветах, а на фиг.7 - изометрия этого распределения, повернутая для лучшей наглядности вокруг вертикальной оси примерно на 180°. На фиг.6 и 7 выходу соотношений каналов из рабочего диапазона соответствует густой синий цвет.Figure 6 shows the same map in arbitrary colors, and figure 7 is an isometry of this distribution, rotated for better clarity around the vertical axis by about 180 °. In Fig.6 and 7, the output of the channel ratios from the operating range corresponds to a dense blue color.
Следует отметить, что можно пользоваться для измерений сенсором с одним набором спектральных характеристик, пропуская в различные моменты времени регистрируемое излучение через селективные светофильтры и регистрируя сигналы, полученные с различными фильтрами. Такой метод известен и осуществим, например, с помощью обтюратора. Каждый сигнал, зарегистрированный на соответствующем временном отрезке с различными фильтрами, можно обрабатывать способом, изложенным выше, как сигнал соответствующего канала (временного канала).It should be noted that it is possible to use a sensor with one set of spectral characteristics for measurements, passing the detected radiation through selective filters at different time instants and registering the signals received with different filters. Such a method is known and feasible, for example, using an obturator. Each signal recorded on the corresponding time interval with different filters can be processed in the manner described above as the signal of the corresponding channel (time channel).
Техническим результатом является расширение функциональных возможностей колориметрического способа, что позволило с высокой степенью точности (не хуже 1 нм) определить пространственное двумерное непрерывное распределение среднего значения длины волны узкополосного в каждой точке излучения мегапиксельного объема. В применении к топографическим сенсорам это позволило определить распределение набухания топографического сенсора по его поверхности с тем же числом точек с помощью цифрового фотоаппарата в динамическом и статическом режимах с точностью до долей процента.The technical result is to expand the functionality of the colorimetric method, which made it possible to determine with spatial accuracy (no worse than 1 nm) a spatial two-dimensional continuous distribution of the average value of the narrowband wavelength at each point of the megapixel volume radiation. As applied to topographic sensors, this made it possible to determine the distribution of swelling of the topographic sensor on its surface with the same number of points using a digital camera in dynamic and static modes accurate to a fraction of a percent.
ЛитератураLiterature
1. Физическая энциклопедия. - М.: Советская энциклопедия, 1988 г.1. Physical encyclopedia. - M .: Soviet Encyclopedia, 1988
2. Гуревич М.М. Цвет и его измерение, М.-Л., 1950.2. Gurevich M.M. Color and its measurement, M.-L., 1950.
3. Патент Японии JP 2007183218 от 19.07.2007.3. Japan patent JP 2007183218 from 07.19.2007.
4. Marshall A.J. et al., 2006, Analyte-responsive holograms for (bio)chemical analysis, J. Phys. Condens. Matter., 18, 8619-626; и патент США №5989923 от 23.11.1999.4. Marshall A.J. et al., 2006, Analyte-responsive holograms for (bio) chemical analysis, J. Phys. Condens. Matter., 18, 8619-626; and U.S. Patent No. 5989923 of 11/23/1999.
Claims (3)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2008119917/28A RU2390738C2 (en) | 2008-05-21 | 2008-05-21 | Method of measuring average wavelength of narrow-band optical radiation |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2008119917/28A RU2390738C2 (en) | 2008-05-21 | 2008-05-21 | Method of measuring average wavelength of narrow-band optical radiation |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2008119917A RU2008119917A (en) | 2009-11-27 |
| RU2390738C2 true RU2390738C2 (en) | 2010-05-27 |
Family
ID=41476242
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2008119917/28A RU2390738C2 (en) | 2008-05-21 | 2008-05-21 | Method of measuring average wavelength of narrow-band optical radiation |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2390738C2 (en) |
-
2008
- 2008-05-21 RU RU2008119917/28A patent/RU2390738C2/en not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2008119917A (en) | 2009-11-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6057924A (en) | Optical system for measuring and inspecting partially transparent substrates | |
| JP4237175B2 (en) | Apparatus and method for measuring thickness and shape of transparent thin film using white light interferometer | |
| US20100007894A1 (en) | Multilayer Structure Measuring Method and Multilayer Structure Measuring Apparatus | |
| US7092101B2 (en) | Methods and systems for static multimode multiplex spectroscopy | |
| US8836952B2 (en) | Optical coherence tomographic imaging method and optical coherence tomographic imaging apparatus | |
| US20100245832A1 (en) | Spectrometer and interferometric method | |
| US6130748A (en) | Chemical sensor based on porous silicon | |
| US20080212089A1 (en) | Multi-spectral techniques for defocus detection | |
| CN109387155B (en) | Morphology detection device and morphology detection method | |
| JPH07134007A (en) | Measuring device for film thickness of thin-film by high space resolution | |
| TW200532164A (en) | Film thickness measuring method and apparatus | |
| JP7203998B2 (en) | Assembly for Spectrophotometric Measurement of Turbid Samples Using Multicolored Rectangular Light Sheets | |
| JP4011902B2 (en) | Birefringence measuring apparatus and method considering wavelength dependence | |
| RU2390738C2 (en) | Method of measuring average wavelength of narrow-band optical radiation | |
| US7649660B2 (en) | High throughput holographic spectrometer using the multiplexed hologram | |
| CN113390507B (en) | Spectrum information acquisition method and spectrum detection device | |
| IL110466A (en) | Film thickness mapping using interferometric spectral imaging | |
| KR101054017B1 (en) | Calibration method of the spectrometer | |
| JP2009019893A (en) | Sensing method and sensing device | |
| CN114323276A (en) | Uncooled hyperspectral imaging chip and hyperspectral imager | |
| RU2801836C1 (en) | Fast hyperspectrometer with controlled spectral filter | |
| WO1996000887A1 (en) | An improved optical sensor and method | |
| JP2001141607A (en) | Method for inspecting hologram color filter | |
| JPH09236404A (en) | Determination of optical path difference by measuring color variation of white interference fringe | |
| Charsley et al. | High-Speed Compressive Spectroscopy at 3.3 µm by Spectral Shaping with a Digital Micromirror Device |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20180522 |