RU2195739C2 - X-ray tube anode - Google Patents
X-ray tube anode Download PDFInfo
- Publication number
- RU2195739C2 RU2195739C2 RU2000104488/09A RU2000104488A RU2195739C2 RU 2195739 C2 RU2195739 C2 RU 2195739C2 RU 2000104488/09 A RU2000104488/09 A RU 2000104488/09A RU 2000104488 A RU2000104488 A RU 2000104488A RU 2195739 C2 RU2195739 C2 RU 2195739C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- target
- anode
- base
- ray tube
- electron beam
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J35/00—X-ray tubes
- H01J35/02—Details
- H01J35/04—Electrodes ; Mutual position thereof; Constructional adaptations therefor
- H01J35/08—Anodes; Anti cathodes
- H01J35/10—Rotary anodes; Arrangements for rotating anodes; Cooling rotary anodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2235/00—X-ray tubes
- H01J2235/08—Targets (anodes) and X-ray converters
- H01J2235/083—Bonding or fixing with the support or substrate
Landscapes
- X-Ray Techniques (AREA)
- Radiation-Therapy Devices (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к области рентгеновской техники, а более конкретно к анодам рентгеновских трубок (РТ), и может быть использовано в медицине для диагностики и терапии, в технических устройствах для неразрушающего контроля изделий и научных исследований для проведения рентгеноструктурного анализа материалов. The invention relates to the field of X-ray technology, and more particularly to anodes of X-ray tubes (RT), and can be used in medicine for diagnosis and therapy, in technical devices for non-destructive testing of products and scientific research for X-ray analysis of materials.
Основной проблемой при эксплуатации анодов рентгеновских трубок является образование трещин на фокусной дорожке из-за существенной неравномерности ее нагрева, а также за счет разницы коэффициентов термического расширения (КТР) материалов основы анода и его мишени. Это приводит к уменьшению мощности рентгеновского излучения и, как следствие, к уменьшению ресурса анода. The main problem in the operation of anodes of X-ray tubes is the formation of cracks in the focal track due to the significant unevenness of its heating, as well as due to the difference in thermal expansion coefficients (CTE) of the materials of the anode base and its target. This leads to a decrease in the power of x-ray radiation and, as a consequence, to a decrease in the resource of the anode.
Известен вращающийся анод рентгеновской трубки, в котором для предотвращения растрескивания мишени на ее поверхности образуют большое число щелей, расположенных симметрично относительно оси симметрии анода (Заявка ЕПВ N 0323365, з. 30.12.88, oп. 05.07.89, МКИ H 01 J 35/10). A rotating anode of an X-ray tube is known in which, to prevent cracking of the target, a large number of slots are formed on its surface symmetrically with respect to the axis of symmetry of the anode (EPO Application No. 0323365, p. 30.12.88, op. 05.07.89, MKI H 01 J 35 / 10).
Однако известная конструкция все же не позволяет в достаточной мере избавиться от напряжений, возникающих в мишени. Кроме того, при такой конструкции происходит потеря мощности рентгеновской трубки пропорционально площади щелей в мишени, а также данная конструкция сложна в технологическом исполнении. However, the known design still does not allow to sufficiently get rid of the stresses arising in the target. In addition, with such a design, the power of the X-ray tube is proportional to the area of the slits in the target, and this design is also difficult to manufacture.
Известен стационарный анод рентгеновской трубки, в котором анодная основа имеет периферийную стенку с расположенными напротив друг друга торцевыми поверхностями, где для улучшения контакта мишени и основы в одной торцевой поверхности сделана выточка с направленной вверх и отклоняющейся стенкой (Патент ЕПВ N 0709873, з. 27.10.95 г. , опубл. 01.05.96 г., МКИ H 01 J 35/08). A stationary anode of an X-ray tube is known in which the anode base has a peripheral wall with end surfaces located opposite each other, where a groove with an upward and deflecting wall is made in order to improve contact between the target and the base (EPO Patent No. 0709873, p. 27.10. 95 g., Published on 05/01/96, MKI H 01 J 35/08).
Недостатком такой конструкции является разрушение металлических материалов мишени и основы в зоне воздействия электронного пучка при больших мощностях эксплуатации, происходящее из-за рассогласованности КТР материалов мишени и основы, а также за счет существенной неравномерности разогрева анода. The disadvantage of this design is the destruction of the metal materials of the target and the base in the zone of influence of the electron beam at high operating powers, due to the mismatch of the KTP of the target and base materials, as well as due to the significant non-uniformity of the heating of the anode.
Задачей авторов является увеличение срока службы, повышение нагрузочной способности анода. The authors' task is to increase the service life, increase the load capacity of the anode.
Для решения поставленной задачи авторы предлагают в аноде рентгеновской трубки, состоящем из основы и мишени, границу раздела мишени и основы в зоне воздействия электронного пучка в сечении плоскостью, проходящей через ось электронного пучка, выполнять в виде эллипса, при этом полуоси эллипса выбирать так, чтобы граница раздела мишени и основы представляла собой изотерму со значением температуры, не превышающей допустимую температуру основы для максимальной мощности рентгеновской трубки. Анод рентгеновской трубки может быть выполнен стационарным, а граница раздела мишени и основы выполнена в виде эллипсоида. Анод может быть выполнен вращающимся, причем плоскость сечения, проходящая через ось электронного пучка, проходит через ось вращения анода. Мишень и/или основа могут быть выполнены монокристаллическими. Мишень может быть выполнена двухслойной, причем материал слоя подверженного воздействию электронного пучка имеет больший предел текучести, чем материал слоя, прилегающего к основе. To solve this problem, the authors propose in the anode of the x-ray tube, consisting of a base and a target, the interface between the target and the base in the zone of influence of the electron beam in the section of the plane passing through the axis of the electron beam, to perform in the form of an ellipse, with the semi-axis of the ellipse chosen so that the boundary between the target and the base was an isotherm with a temperature value not exceeding the allowable base temperature for the maximum power of the x-ray tube. The anode of the x-ray tube can be made stationary, and the interface between the target and the base is made in the form of an ellipsoid. The anode can be made rotating, and the section plane passing through the axis of the electron beam passes through the axis of rotation of the anode. The target and / or base can be made single-crystal. The target can be made two-layer, and the material of the layer exposed to the electron beam has a greater yield strength than the material of the layer adjacent to the base.
Выполнение границы раздела мишени и основы в виде эллипса в сечении плоскостью, проходящей через ось электронного пучка, позволяет снизить напряжения в мишени, вызванные различием КТР материалов основы и мишени. Это происходит потому, что при такой форме границы влияния различных компонент тензора напряжений на напряженное состояние мишени компенсируют друг друга. Например, при превышении КТР материала основы над материалом мишени радиальные напряжения в мишени растягивающие, а осевые - сжимающие. Уменьшение напряжений в мишени позволяет повышать нагрузочную способность анода по сравнению с прототипом. Implementation of the interface between the target and the base in the form of an ellipse in cross section by a plane passing through the axis of the electron beam allows one to reduce stresses in the target caused by the difference in the CTE of the base and target materials. This is because, with this form, the boundaries of the influence of various components of the stress tensor on the stress state of the target cancel each other out. For example, when the KTE of the base material exceeds the target material, the radial stresses in the target are tensile, and axial stresses are compressive. The reduction of stresses in the target allows to increase the load capacity of the anode in comparison with the prototype.
Когда граница раздела представляет собой изотерму, равномерное распределение температуры позволяет также снизить напряжения в зоне этой границы, что обеспечивает сохранение лучшего контакта мишень-основа, чем у прототипа, за счет чего повышается ресурс анода. When the interface is an isotherm, a uniform temperature distribution also reduces stresses in the area of this boundary, which ensures that the target-base contact is better than the prototype, thereby increasing the anode resource.
Расчетно-экспериментальные данные, полученные авторами, показали, что форма изотермической границы раздела мишени и основы в сечении плоскостью, проходящей через ось электронного пучка, близка к эллипсу. Выполнение границы в виде изотермы со значением температуры, не превышающей допустимую температуру основы для максимальной мощности рентгеновской трубки, позволяет эксплуатировать анод во всех паспортных режимах рентгеновской трубки и, кроме того, экономить дорогостоящий материал мишени (в приведенных аналоге и прототипе радиус мишени относительно центра электронного пучка существенно превышает аналогичный радиус в предлагаемом аноде). The calculated and experimental data obtained by the authors showed that the shape of the isothermal interface between the target and the base in cross section by a plane passing through the axis of the electron beam is close to an ellipse. The implementation of the border in the form of an isotherm with a temperature value not exceeding the allowable base temperature for the maximum power of the x-ray tube allows the anode to be used in all passport modes of the x-ray tube and, in addition, saves expensive target material (in the given analogue and prototype, the radius of the target relative to the center of the electron beam significantly exceeds the same radius in the proposed anode).
Для конкретного анода рентгеновской трубки полуоси эллипса определяют с помощью расчета, например, методом конечных элементов, температурного поля анода в режиме с максимальной мощностью с учетом геометрических размеров анода, свойств материалов, зависящих от температуры, мощности рентгеновской трубки и размеров фокусного пятна. For a particular anode of an X-ray tube, the semi-axis of the ellipse is determined by calculating, for example, by the finite element method, the temperature field of the anode in the maximum power mode taking into account the geometric dimensions of the anode, the properties of materials depending on temperature, the power of the X-ray tube, and the size of the focal spot.
Данные, полученные авторами, показывают, что в случае стационарного анода выполнение границы раздела мишени и основы в виде эллипсоида позволяет получить уменьшение максимальной температуры (в случае превышения коэффициента теплопроводности основы над соответствующим коэффициентом мишени) и существенное снижение уровня напряжений в зоне воздействия электронного пучка и на границе раздела мишени и основы. В случае вращающегося анода получить аналогичный эффект позволяет выполнение границы раздела мишени и основы в виде эллипса в сечении плоскостью, проходящей как через ось электронного пучка, так и через ось вращения анода. The data obtained by the authors show that, in the case of a stationary anode, the execution of the interface between the target and the base in the form of an ellipsoid allows one to obtain a decrease in the maximum temperature (if the thermal conductivity of the base exceeds the corresponding coefficient of the target) and a significant decrease in the voltage level in the zone of influence of the electron beam and the boundary between the target and the base. In the case of a rotating anode, a similar effect allows one to make the interface between the target and the base in the form of an ellipse in cross section by a plane passing through both the axis of the electron beam and the axis of rotation of the anode.
Выполнение мишени и/или основы монокристаллическими, как показали расчетно-экспериментальные исследования, позволяет увеличить допустимую температуру эксплуатации анода за счет повышения температуры рекристаллизации слоев основы и мишени, а также существенного снижения взаимодиффузии материалов подложки и мишени. Монокристаллический тугоплавкий металл обладает большей пластичностью и прочностью, чем поликристаллический, что позволяет повысить ресурс анодов. Кроме того, монокристаллический материал обладает большей теплопроводностью, чем поликристаллический, а увеличение теплопроводности материала мишени и/или прилегающего к нему слоя обеспечивает лучшее охлаждение фокусной дорожки анода. The execution of the target and / or the base single-crystal, as shown by experimental calculations, allows you to increase the permissible operating temperature of the anode due to an increase in the temperature of recrystallization of the layers of the base and the target, as well as a significant reduction in the interdiffusion of the substrate and target materials. Monocrystalline refractory metal has greater ductility and strength than polycrystalline, which allows to increase the resource of the anodes. In addition, single-crystal material has a higher thermal conductivity than polycrystalline, and an increase in thermal conductivity of the target material and / or the adjacent layer provides better cooling of the focal track of the anode.
Выполнение слоя мишени, прилегающего к основе, из материала, предел текучести которого меньше предела текучести материала слоя мишени, подверженного воздействию электронного пучка, позволяет уменьшить пластические деформации мишени, возникающие при неравномерном нагреве в процессе эксплуатации анода. Уменьшение пластических деформаций мишени на поверхности, облучаемой электронами, происходит за счет пластической деформации прилегающего к основе слоя мишени. The implementation of the target layer adjacent to the base of the material, the yield strength of which is less than the yield strength of the material of the target layer exposed to the electron beam, can reduce the plastic deformation of the target that occurs during uneven heating during operation of the anode. The plastic deformation of the target on the surface irradiated by electrons is reduced due to plastic deformation of the target layer adjacent to the base.
Выбирая оптимальные величины полуосей эллипса в сечении на границе раздела мишени и основы, как показали расчетно-экспериментальные исследования, можно, при заданных режимах эксплуатации рентгеновской трубки, избежать перегрева зоны фокусной дорожки и зоны соединения слоев подложки, кроме того, подобрать толщину мишени минимальной, что приводит к упрощению изготовления анода и уменьшению его стоимости из-за меньшего расхода материала мишени. Choosing the optimal values of the semiaxes of the ellipse in the cross section at the interface between the target and the base, as shown by calculation and experimental studies, it is possible, for given operating modes of the x-ray tube, to avoid overheating of the focal track zone and the zone of connection of the substrate layers, in addition, to select the minimum target thickness, which leads to a simplification of the manufacture of the anode and a decrease in its cost due to the lower consumption of target material.
На фиг.1 показан стационарный анод, на фиг.2 - вращающийся анод, где: 1 - основа, 2 - мишень, 3 - электронный пучок, 4 - ось вращающегося анода; а - полуось эллипса по глубине, b - радиальная полуось. Figure 1 shows a stationary anode, figure 2 - a rotating anode, where: 1 - the base, 2 - the target, 3 - the electron beam, 4 - the axis of the rotating anode; a - semi-axis of the ellipse in depth, b - radial axis.
Примеры конкретного выполнения. Examples of specific performance.
1. Основу для стационарного анода выполняют из меди диаметром 14 мм, высотой в центральной части 5 мм, с углом наклона рабочей поверхности 20o. В центральной части рабочей поверхности выполняют углубление в виде эллипсоида с полуосью по глубине 0,4 мм, по радиусу - 0,643 мм, затем из парогазовой фазы наносят в это углубление вольфрамовую мишень. Диаметр фокусного пятна составляет 0,579 мм, максимальная мощность эксплуатации рентгеновской трубки - 420 Вт (непрерывный режим), торец анода, противоположный рабочей поверхности, охлаждают водой. Допустимая температура медной основы - 700oС.1. The basis for the stationary anode is made of copper with a diameter of 14 mm, a height in the central part of 5 mm, with an inclination angle of the working surface of 20 o . In the central part of the working surface, a depression is made in the form of an ellipsoid with a semiaxis of 0.4 mm in depth and 0.643 mm in radius, then a tungsten target is applied from the vapor-gas phase into this depression. The diameter of the focal spot is 0.579 mm, the maximum operating power of the X-ray tube is 420 W (continuous mode), the anode end opposite the working surface is cooled with water. The permissible temperature of the copper base is 700 o C.
Как показал анализ расчетов, проведенных методом конечных элементов, при эксплуатации такого анода максимальная температура ниже максимальной температуры прототипа аналогичных габаритных размеров с мишенью толщиной 0,4 мм, радиусом 2 мм на 150oС, интенсивность напряжений в центре фокусного пятна меньше аналогичной интенсивности напряжений прототипа в 3 раза, интенсивность напряжений на границе раздела мишени и основы на 40% ниже, чем в прототипе.As the analysis of calculations performed by the finite element method showed, when operating such an anode, the maximum temperature is lower than the maximum temperature of the prototype of the same overall dimensions with a target thickness of 0.4 mm, a radius of 2 mm by 150 o C, the stress intensity in the center of the focal spot is less than the similar stress intensity of the
2. Основу для вращающегося анода рентгеновской трубки выполняют из молибдена, его диаметр составляет 90 мм, толщина центральной части - 5,5 мм, а угол конусности рабочей поверхности - 16o. На фокусной дорожке, соответствующей размеру эффективного фокуса 1•1 мм, выполняют тороидальную проточку, имеющую в радиальном сечении форму эллипса с полуосями по глубине 2,116 мм, по радиусу - 1,2 мм. Затем из парогазовой фазы наносят в полученное углубление вольфрамовую мишень. Максимальная мощность эксплуатации анода составляет 40 кВт (при экспозиции 0,1 с), допустимая температура подложки принималась равной 1500oС.2. The basis for the rotating anode of the x-ray tube is made of molybdenum, its diameter is 90 mm, the thickness of the central part is 5.5 mm, and the taper angle of the working surface is 16 o . On the focal track corresponding to the effective focus size of 1 • 1 mm, a toroidal groove is made having an ellipse in the radial section with semi-axes in the depth of 2.116 mm and in the radius of 1.2 mm. Then, a tungsten target is applied from the vapor-gas phase to the obtained depression. The maximum operating power of the anode is 40 kW (with an exposure of 0.1 s), the allowable substrate temperature was taken equal to 1500 o C.
Интенсивность напряжений на поверхности фокусной дорожки такого анода ~ на 26% ниже соответствующей интенсивности напряжений аналогичного по габаритным размерам анода с толщиной вольфрамового покрытия 1,2 мм, нанесенного на всей конической поверхности; интенсивность напряжений на границе мишень-основа в зоне фокусной дорожки в заявляемом аноде ~ на 20% меньше соответствующей интенсивности анода с мишенью, нанесенной на всей конической поверхности. The stress intensity on the surface of the focal track of such an anode is ~ 26% lower than the corresponding stress intensity of a similar in overall dimensions anode with a tungsten coating thickness of 1.2 mm deposited on the entire conical surface; the stress intensity at the target-base interface in the focal track zone in the inventive anode is ~ 20% less than the corresponding intensity of the anode with the target deposited on the entire conical surface.
Заявляемая конструкция анода обеспечивает в сравнении с прототипом повышенные нагрузочную способность и срок службы рентгеновской трубки. The inventive design of the anode provides in comparison with the prototype increased load capacity and service life of the x-ray tube.
Claims (5)
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2000104488/09A RU2195739C2 (en) | 2000-02-25 | 2000-02-25 | X-ray tube anode |
| PCT/RU2000/000179 WO2001063641A1 (en) | 2000-02-25 | 2000-05-17 | Anode x-ray tube |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2000104488/09A RU2195739C2 (en) | 2000-02-25 | 2000-02-25 | X-ray tube anode |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2000104488A RU2000104488A (en) | 2002-08-20 |
| RU2195739C2 true RU2195739C2 (en) | 2002-12-27 |
Family
ID=20231028
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2000104488/09A RU2195739C2 (en) | 2000-02-25 | 2000-02-25 | X-ray tube anode |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2195739C2 (en) |
| WO (1) | WO2001063641A1 (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013184213A2 (en) * | 2012-05-14 | 2013-12-12 | The General Hospital Corporation | A distributed, field emission-based x-ray source for phase contrast imaging |
| RU2586621C2 (en) * | 2015-02-04 | 2016-06-10 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники" | X-ray source |
| RU2594172C1 (en) * | 2015-05-21 | 2016-08-10 | Общество С Ограниченной Ответственностью "Твинн" | X-ray source |
| RU2668085C2 (en) * | 2014-07-18 | 2018-09-26 | Кэнон Кабусики Кайся | Anode and x-ray generating tube, x-ray generating apparatus and radiography system using same |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU851545A1 (en) * | 1979-10-05 | 1981-07-30 | Московский Ордена Трудового Красногознамени Научно-Исследовательский Peht-Гено-Радиологический Институт | X-ray tube anode |
| US4577340A (en) * | 1983-09-19 | 1986-03-18 | Technicare Corporation | High vacuum rotating anode X-ray tube |
| FR2625605A1 (en) * | 1987-12-30 | 1989-07-07 | Thomson Cgr | ROTATING ANODE FOR X-RAY TUBE |
| JPH08129980A (en) * | 1994-10-28 | 1996-05-21 | Shimadzu Corp | Positive electrode for x-ray tube |
-
2000
- 2000-02-25 RU RU2000104488/09A patent/RU2195739C2/en not_active IP Right Cessation
- 2000-05-17 WO PCT/RU2000/000179 patent/WO2001063641A1/en active Application Filing
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013184213A2 (en) * | 2012-05-14 | 2013-12-12 | The General Hospital Corporation | A distributed, field emission-based x-ray source for phase contrast imaging |
| WO2013184213A3 (en) * | 2012-05-14 | 2014-02-06 | The General Hospital Corporation | A distributed, field emission-based x-ray source for phase contrast imaging |
| US10068740B2 (en) | 2012-05-14 | 2018-09-04 | The General Hospital Corporation | Distributed, field emission-based X-ray source for phase contrast imaging |
| RU2668085C2 (en) * | 2014-07-18 | 2018-09-26 | Кэнон Кабусики Кайся | Anode and x-ray generating tube, x-ray generating apparatus and radiography system using same |
| US10998161B2 (en) | 2014-07-18 | 2021-05-04 | Canon Kabushiki Kaisha | Anode, and x-ray generating tube, x-ray generating apparatus, and radiography system using the same |
| RU2586621C2 (en) * | 2015-02-04 | 2016-06-10 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники" | X-ray source |
| RU2594172C1 (en) * | 2015-05-21 | 2016-08-10 | Общество С Ограниченной Ответственностью "Твинн" | X-ray source |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO2001063641A1 (en) | 2001-08-30 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN104051207B (en) | Hybrid design of an anode disk structure for high power X-ray tube configurations of the rotary-anode type | |
| US9543108B2 (en) | Rotating X-ray anode with an at least partly radially aligned ground structure | |
| US4455504A (en) | Liquid cooled anode x-ray tubes | |
| US4607380A (en) | High intensity microfocus X-ray source for industrial computerized tomography and digital fluoroscopy | |
| KR101788907B1 (en) | Rotary x-ray anode | |
| US9818569B2 (en) | High dose output, through transmission target X-ray system and methods of use | |
| JPH0787082B2 (en) | Rotating anode target for X-ray tube | |
| CN101042975B (en) | X-ray generating method and X-ray generating apparatus | |
| US4631742A (en) | Electronic control of rotating anode microfocus x-ray tubes for anode life extension | |
| CN111466008B (en) | Rotary anode for X-ray source | |
| RU2195739C2 (en) | X-ray tube anode | |
| JP2020095951A (en) | Multilayer x-ray source target with stress relieving layer | |
| US20080019481A1 (en) | Monochromatic x-ray source and x-ray microscope using one such source | |
| RU2481667C2 (en) | Collector of scattered electrodes | |
| Kandlakunta et al. | Design and numerical simulations of W-diamond transmission target for distributed x-ray sources | |
| US11101096B2 (en) | High dose output, through transmission and relective target X-ray system and methods of use | |
| US3973156A (en) | Anode disc for an X-ray tube comprising a rotary anode | |
| US4335327A (en) | X-Ray tube target having pyrolytic amorphous carbon coating | |
| JP5651690B2 (en) | Anode disk element having a heat transfer film | |
| KR101150778B1 (en) | X-ray tube apparatus of industrial computed tomography equipment | |
| CN104034741B (en) | X-ray source for X-ray grating differential contrast imaging | |
| US8569724B2 (en) | Induction heated buffer gas heat pipe for use in an extreme ultraviolet source | |
| JP6153314B2 (en) | X-ray transmission type target and manufacturing method thereof | |
| RU2117358C1 (en) | X-ray tube revolving anode | |
| WO2020065703A1 (en) | Thermal field emission electron source and electron beam application device |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20040226 |