RU2020410C1 - Device for continuous control of parameters of hexahedral fiber-optic rod during its drawing - Google Patents
Device for continuous control of parameters of hexahedral fiber-optic rod during its drawing Download PDFInfo
- Publication number
- RU2020410C1 RU2020410C1 SU5033170A RU2020410C1 RU 2020410 C1 RU2020410 C1 RU 2020410C1 SU 5033170 A SU5033170 A SU 5033170A RU 2020410 C1 RU2020410 C1 RU 2020410C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- rod
- size
- computing device
- hexahedral
- hexagonal
- Prior art date
Links
- 230000010365 information processing Effects 0.000 claims abstract description 9
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 9
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims abstract description 6
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 11
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims description 6
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 2
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims description 2
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims 3
- 102000010410 Nogo Proteins Human genes 0.000 claims 1
- 108010077641 Nogo Proteins Proteins 0.000 claims 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 abstract description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 6
- 238000009826 distribution Methods 0.000 abstract description 5
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 abstract description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 abstract 1
- 230000007717 exclusion Effects 0.000 abstract 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 3
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 2
- 238000010622 cold drawing Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 230000003534 oscillatory effect Effects 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 238000009827 uniform distribution Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для бесконтактного контроля размера и угла закручивания шестигранного волоконно-оптического стержня при его изготовлении в холодной зоне вытяжки. The invention relates to measuring technique and can be used for contactless control of the size and angle of twisting of a hexagonal fiber optic rod in its manufacture in the cold drawing zone.
Известно устройство [1] для бесконтактного контроля размера шестигранного стержня, содержащее осветитель, узел сканирования, выполненный в виде двух синхронно вращающихся специальных призм, объектив, специальную колеблющуюся диафрагму, связанную с приводом вращения призм, и фотоэлектрический преобразователь, преобразующий теневые картины проекций шестигранного стержня в электрические сигналы, пропорциональные величинам проекций шестигранника, и выбирающий из этих электрических сигналов минимальный, соответствующий размеру контролируемого шестигранника. Под размером шестигранного стержня принимается величина диаметра окружности, вписанной в шестиугольник, образованный сечением шестигранного стержня плоскостью, перпендикулярной его геометрической оси. A device [1] is known for contactless control of the size of a hexagonal rod, comprising a illuminator, a scanning unit made in the form of two synchronously rotating special prisms, a lens, a special oscillating diaphragm associated with a rotational drive of the prisms, and a photoelectric converter that converts shadow patterns of the projections of the hexagonal rod into electrical signals proportional to the values of the projections of the hexagon, and choosing from these electrical signals the minimum corresponding to the size of the control iruemogo hexagon. Under the size of the hexagonal rod, the diameter of the circle inscribed in the hexagon, formed by the cross section of the hexagonal rod by a plane perpendicular to its geometric axis, is taken.
Недостатки известного устройства - сложность конструкции и трудности, связанные с синхронизацией вращения призм и колебательных движений диафрагмы. The disadvantages of the known device is the design complexity and difficulties associated with synchronizing the rotation of the prisms and oscillatory movements of the diaphragm.
Наиболее близким по своей технической сущности к предлагаемому изобретению является устройство [2] для непрерывного контроля размера шестигранного стержня при его изготовлении, содержащее осветитель, коллиматор, узел сканирования, выполненный в виде двух зеркал, расположенных под углом 45о друг к другу и образующих двугранный угол, объектив и фотоэлектрический преобразователь, соединенный с блоком обработки информации.The closest in technical essence to the present invention is a device [2] for continuous monitoring of the size of the hexagonal rod in its manufacture, containing a illuminator, a collimator, a scanning unit, made in the form of two mirrors located at an angle of 45 about each other and forming a dihedral angle , a lens and a photoelectric converter connected to the information processing unit.
Недостатки данного устройства - необходимость в оптико-механическом сканировании контролируемого шестигранника пучком лучей в поиске минимального размера теневой картины, что снижает быстродействие устройства, и отсутствие возможности определения угла закручивания шестигранника во время вытяжки, что приводит к неопределенности качества готовой продукции и к погрешности измерения размера шестигранного стержня в процессе изготовления. The disadvantages of this device are the need for optical-mechanical scanning of the controlled hexagon with a beam of rays in search of the minimum size of the shadow picture, which reduces the speed of the device, and the inability to determine the angle of rotation of the hexagon during drawing, which leads to uncertainties in the quality of the finished product and to measurement error in the size of the hexagon rod in the manufacturing process.
Изобретение позволяет расширить функциональные возможности устройства, заключающиеся в обеспечении возможности определения угла закручивания контролируемого шестигранника при одновременном повышении быстродействия работы устройства за счет исключения оптико-механического сканирования светового пучка и замены его оптоэлектронным сканированием. The invention allows to expand the functionality of the device, which consists in providing the ability to determine the twist angle of the controlled hexagon while increasing the speed of the device by eliminating the optomechanical scanning of the light beam and replacing it with optoelectronic scanning.
Технический результат достигается тем, что в качестве осветителя использован лазер, после коллиматора дополнительно установлены светоделитель, делящий излучение лазера на два параллельных лазерных пучка, оси которых расположены в плоскости, проходящей через ось шестигранного стержня, и формирующих два измерительных канала, в первом из которых между светоделителем и контролируемым объектом расположен рассеиватель излучения. Фотоэлектрический преобразователь выполнен в виде координатно-чувствительного фотоприемника, соединенного с блоком обработки информации, состоящим из последовательно соединенных устройства обработки видеосигнала, вычислительного устройства и индикатора размера стержня. Второй измерительный канал содержит последовательно расположенные после контролируемого объекта поляризационный светофильтр, второй объектив, в задней фокальной плоскости которого расположены симметрично относительно оптической оси второго объектива две идентичные щелевые диафрагмы, за которыми закреплены два двухплощадочных фотоприемника, соединенных со вторым блоком обработки информации, состоящим из последовательно соединенных компаратора, счетчика интерференционных полос, второго вычислительного устройства и индикатора угла закручивания стержня. Второе вычислительное устройство соединено с первым. The technical result is achieved by the fact that a laser is used as a illuminator, a beam splitter is additionally installed after the collimator, dividing the laser radiation into two parallel laser beams, whose axes are located in a plane passing through the axis of the hexagonal rod, and forming two measuring channels, in the first of which between a beam splitter and a controlled object is a radiation diffuser. The photoelectric converter is made in the form of a coordinate-sensitive photodetector connected to an information processing unit, consisting of series-connected video signal processing devices, a computing device and a rod size indicator. The second measuring channel contains a polarizing optical filter sequentially located after the controlled object, a second lens, in the rear focal plane of which are located two symmetrical diaphragms symmetrically relative to the optical axis of the second lens, behind which two two-site photodetectors are connected, connected to the second information processing unit, consisting of series-connected a comparator, a counter of interference fringes, a second computing device and an indicator la torsion rod. The second computing device is connected to the first.
На фиг. 1 и 2 представлена схема двухканального измерительного устройства; на фиг. 3 - распределение освещенности теневой картины в плоскости анализа; на фиг.4 - эпюра видеосигнала, снимаемого с фотоприемного устройства первого канала; на фиг.5 - распределение освещенности в дифракционной картине в плоскости анализа; на фиг.6 - эпюра фотоэлектрического сигнала, снимаемого с фотоприемника второго канала при закручивании шестигранного стержня. In FIG. 1 and 2 show a diagram of a two-channel measuring device; in FIG. 3 - distribution of illumination of the shadow picture in the plane of analysis; figure 4 - plot of the video signal taken from the photodetector of the first channel; figure 5 - distribution of illumination in the diffraction pattern in the plane of analysis; figure 6 - plot of the photoelectric signal taken from the photodetector of the second channel when twisting the hexagonal rod.
Устройство содержит лазер 1, коллиматор 2, светоделитель 3, формирующий два измерительных канала, в первом из которых расположен матовый рассеиватель 4, излучение оси которого направляется на стержень 5 объектива 6, координатно-чувствительный фотоприемник 7 и блок обработки информации, состоящий из устройства обработки видеосигнала 8, вычислительного устройства 9 и регистратора 10 размера шестигранного стержня. Во втором измерительном канале последовательно расположены поляризационный светофильтр 11, объектив 12, в задней фокальной плоскости которого установлены две идентичные щелевые диафрагмы 13 и 13', за которыми закреплены два двухплощадочных фотоприемника 14 и 14', соединенных со вторым блоком обработки информации, состоящим из компаратора 15, счетчика 16 интерференционных полос, второго вычислительного устройства 17 и регистратора 18 угла α закручивания шестигранного стержня 5. Второе вычислительное устройство 17 соединено с первым вычислительным устройством 9. Все оптико-электронные элементы устройства закреплены на единой платформе, имеющей отверстие для беспрепятственного прохождения контролируемого шестигранного стержня 5, а также возможность вращения вокруг геометрической оси шестигранного стержня 5. The device comprises a
Устройство располагается в холодной зоне вытяжки шестигранного волоконно-оптического стержня и работает следующим образом. The device is located in the cold zone of the extraction of the hexagonal fiber optic rod and works as follows.
Параллельный пучок лазера 1, сформированный коллиматором 2, попадает на светоделитель 3, (систему из двух зеркал и т.п.), который делит лазерный пучок на два. Первый из пучков попадает на рассеиватель 4 (например, матовую пластинку), который нарушает когерентность лазерного пучка и освещает контролируемый шестигранный стержень 5. Объектив 6 формирует с необходимым увеличением резкую теневую картину в плоскости анализа ПА, оптически сопряженную с предметом исследования стержнем 5. В плоскости анализа ПА расположен координатно-чувствительный фотоприемник 7 (например, ПЭС-линейка), который сканирует теневую картину и преобразует распределение освещенности в ней 1 (х) в видеосигнал V(t), направляемый в устройство обработки видеосигнала 8, откуда он поступает в вычислительное устройство 9, имеющее два входа. Вычислительное устройство 9 вычисляет размер теневой картины S', но так как в него заранее вводится величина линейного увеличения V объектива 6, то на выходе вычислительного устройства 9 формируется закодированный сигнал о размере S теневой проекции шестигранного стержня 5, направляемый в регистратор 10 (например, цифровой вольтметр, дисплей и т.п.). A
Во время вытяжки для шестигранного волоконно-оптического стержня характерны поперечные смещения на величину порядка 1-1,5S и закручивание вокруг собственной геометрической оси. Поперечные смещения шестигранного стержня приводят к смещению теневой картины в плоскости анализа ПА, однако путем правильного выбора увеличения V объектива 6 и размера светочувствительной зоны координатно-чувствительного фотоприемника 7 (равной ≈ 3S', где S' = VS) влияние поперечного смещения шестигранного стержня на правильность измерений исключается. В то же время его закручивание вокруг геометрической оси приводит к изменению размера теневой картины, что сказывается на точности измерений размера шестигранного стержня, так как
S' = S˙V˙K( α), где К(α ) - коэффициент искажения размера S за счет угла закручивания α. Коэффициент К( α) искажения размера S для стержня шестигранной формы определяется по формуле:
K(α) = + cosα
Перед началом измерений путем поворота платформы вокруг геометрической оси шестигранного стержня 5 добиваются минимального размера S' теневой картины от шестигранного стержня 5, что соответствует увеличенному размеру шестигранного стержня 5 без учета его закручивания.During drawing, the hexagonal fiber optic rod is characterized by lateral displacements of the order of 1-1.5 S and twisting around its own geometric axis. Transverse displacements of the hexagonal rod lead to a shift in the shadow pattern in the plane of analysis of PA, however, by correctly choosing the magnification V of the lens 6 and the size of the photosensitive zone of the coordinate-sensitive photodetector 7 (equal to ≈ 3S ', where S' = VS), the effect of the transverse displacement of the hexagonal rod on the correctness measurements are excluded. At the same time, twisting it around the geometric axis leads to a change in the size of the shadow pattern, which affects the accuracy of measurements of the size of the hexagonal rod, since
S '= S˙V˙K (α), where K (α) is the distortion coefficient of size S due to the twist angle α. The distortion coefficient K (α) of size S for a hexagonal rod is determined by the formula:
K (α) = + cosα
Before starting measurements by turning the platform around the geometric axis of the
Для определения угла α закручивания шестигранного волоконно-оптического стержня 5 в устройстве предусмотрен второй измерительный канал, состоящий из последовательно установленных поляризационного светофильтра 11, объектива 12, в задней фокальной плоскости которого симметрично относительно оптической оси второго канала расположены две идентичные по размерам щелевые диафрагмы 13 и 13', а за ними закреплены два двухплощадочных фотоприемника 14 и 14', связанных со вторым блоком обработки сигналов. To determine the angle α of rotation of the hexagonal fiber
При попадании лазерного излучения на поверхности контролируемого шестигранного стержня 5 происходит развертка лазерного пучка в плоскость на 360о с образованием дифракционно-интерференционной картины. Пучки лучей, отраженные и частично преломленные оптическими волокнами, составляющими шестигранный стержень 5 при поперечном освещении интерферируют между собой, формируя интерференционную картину, промодулированную дифракцией лазерного излучения на краях шестигранного стержня 5. При самопроизвольном закручивании стержня 5 во время вытяжки происходит перераспределение энергии в дифракционно-интерференционной картине за счет изменения углов падения лазерных лучей на грани стержня 5, что приводит к появлению бегущей интерференционной картины и изменению угловых координат дифракционных максимумов и минимумов за счет изменения размера дифракционного экрана (проекции поперечного сечения стержня 5). Одновременно изменятся размер S' теневой картины, анализируемой в первом измерительном канале.After contact of the laser radiation on the surface of Controlled
Интерференционно-дифракционная картина, наблюдаемая в развертке лазерного пучка в плоскость вследствие наличия неоднородностей граней стержня 5 (вызываемых неравномерностью укладки и сплющивания некоторых оптических волокон, составляющих стержень), обладает значительной неравномерностью распределения освещенности и нелинейностью ее изменения при закручивании стержня 5 вокруг его геометрической оси. The interference-diffraction pattern observed in the sweep of the laser beam into the plane due to the heterogeneity of the faces of the rod 5 (caused by the uneven stacking and flattening of some of the optical fibers that make up the rod) has a significant unevenness in the distribution of illumination and nonlinearity of its change when the
Многократно проведенные эксперименты показали, что зона наиболее равномерного распределения освещенности, описываемая аналитически, расположена в дальней зоне Фраунгофера, где наблюдается четкая дифракционная картина с неподвижным нулевым максимумом и симметричными дифракционными максимумами до 20-40 порядка слева и справа от него. При закручивании стержня на угол α вследствие интерференции света происходит поочередное затухание дифракционных максимумов по принципу бегущей волны (фиг.5). Одновременно с этим, вследствие изменения размера дифракционного экрана (теневой проекции стержня 5), происходит сдвиг дифракционных максимумов в направлениях к нулевому максимуму (при увеличении теневой проекции), и наоборот - от нулевого максимума (при уменьшении теневой проекции). Repeated experiments have shown that the zone of the most uniform distribution of illumination, described analytically, is located in the far Fraunhofer zone, where a clear diffraction pattern is observed with a fixed zero maximum and symmetric diffraction maxima up to 20-40 orders of magnitude to the left and right of it. When the rod is twisted through an angle α due to light interference, the diffraction peaks alternately decay according to the traveling wave principle (Fig. 5). At the same time, due to a change in the size of the diffraction screen (shadow projection of the rod 5), the diffraction maxima shift in the directions to the zero maximum (with increasing shadow projection), and vice versa, from the zero maximum (with decreasing shadow projection).
Поэтому для контроля бегущих интерференционных полос, характеризующих угловое закручивание шестигранного стержня 5, достаточным условием является расположение фотоприемников в зоне дифракции. Для определения направления закручивания контролируемого шестигранного стержня 5 фотоприемник достаточно выполнить, например, двухплощадочным. Это позволит путем сравнения электрических сигналов, снимаемых с обеих площадок фотоприемника, определить знак закручивания стержня, одновременно вычисляя количество пробежавших интерференционных полос, пропорциональных величине угла закручивания α. Therefore, to control traveling interference fringes characterizing the angular twisting of the
Для учета сдвигов дифракционных максимумов при закручивании стержня 5 в устройстве использованы два двухплощадочных фотоприемника 14 и 14', расположенных симметрично относительно оптической оси второго измерительного канала и регистрирующих положение одноименных дифракционных максимумов слева и справа от нулевого максимума дифракционной картины. Интерференционные полосы при закручивании стержня бегут в одном направлении во всей развертке лазерного пучка, а дифракционные максимумы картины Фраунгофера сдвигаются симметрично нулевого максимума, поэтому при сравнении сигналов, поступающих с фотоприемников 14 и 14' в компаратор 15, устраняется погрешность в подсчете числа интерференционных полос из-за дифракции на сечении шестигранного стержня 5. Светочувствительные площадки фотоприемников 14 и 14' ограничены для воздействия светового излучения диафрагмами 13 и 13', установленными непосредственно перед ними и имеющими идентичную ширину b, равную расстоянию между двумя соседними минимумами дифракционной картины. To take into account the shifts of the diffraction maxima when the
Для повышения контраста анализируемой дифракционной картины и устранения влияния спектров лазерного излучения перед объективом 12 установлен поляризационный светофильтр 11 с возможностью юстировки путем вращения вокруг оптической оси второго измерительного канала. В результате пробега интерференционных полос с каждой светочувствительной площадки фотоприемников 14 и 14' поступает периодический сигнал, близкий к синусоиде. Количество полос определяется счетчиком интерференционных полос 16 и несет информацию об угле закручивания α. Сигнал в цифровом виде поступает со счетчика 16 в вычислительное устройство 17, куда заранее вводятся данные о длине волны излучения λ и номинальном размере Sном контролируемого стержня 5, где определяется величина угла закручивания α. Информация с вычислительного устройства 17 поступает на индикатор 18 (например, цифровое табло с таймером), фиксирующим величину угла закручивания α за определенный промежуток времени. Это позволяет соизмерить угол α со скоростью вытяжки шестигранного стержня 5 и регулировать длину стержня при его дальнейшей разрезке или устранить неполадки в технологической цепочке при недопустимо большом значении α. В блоке 17 также вычисляется коэффициент К( α), который посылается в цифровом виде в вычислительное устройство 9 первого измерительного канала, где вводится в виде поправки при вычислении реального размера S контролируемого стержня 5 по формуле:
S = . Таким образом, осуществляется дополнительный контроль одного из важнейших параметров шестигранного волоконно-оптического стержня - угол α закручивания, который по техническим условиям производства не должен превышать ± 3о на длине стержня до 140 мм, и одновременно повышается быстродействие измерений размера шестигранного стержня за счет замены оптико-механического сканирования светового пучка на оптоэлектронное с учетом поправки за угол закручивания стержня.To increase the contrast of the analyzed diffraction pattern and eliminate the influence of laser radiation spectra, a polarizing light filter 11 is installed in front of the lens 12 with the possibility of alignment by rotation around the optical axis of the second measuring channel. As a result of the run of interference fringes, a periodic signal close to a sinusoid is received from each photosensitive area of the
S = . Thus, an additional control of one of the most important parameters of a hexagonal fiber-optic rod is carried out - the twist angle α, which according to production specifications should not exceed ± 3 о on the length of the rod up to 140 mm, and at the same time, the speed of measurements of the size of the hexagonal rod increases due to the replacement of optical - mechanical scanning of the light beam for optoelectronic, taking into account corrections for the angle of twist of the rod.
Проведенные экспериментальные исследования по контролю шестигранных волоконно-оптических стержней размером от 350 до 750 мкм во время вытяжки при использовании в качестве координатно-чувствительного фотоприемника ПЗС-линейки типа 1200 ЦЛ2 и линейном увеличении V = =15хпоказали, что среднеквадратическая погрешность измерений размера шестигранного стержня составила ± 2-5 мкм, а угла закручивания стержня ± 0,1о в диапазоне 360о.The experimental studies on the control of hexagonal fiber optic rods ranging in size from 350 to 750 μm during drawing using a CCD array of type 1200 TsL2 and a linear magnification of V = 15 x as the coordinate-sensitive photodetector showed that the standard error of measuring the size of the hexagonal rod amounted to ± 2-5 microns, and the angle of twist of the rod ± 0.1 about in the range of 360 about .
Claims (1)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU5033170 RU2020410C1 (en) | 1992-03-19 | 1992-03-19 | Device for continuous control of parameters of hexahedral fiber-optic rod during its drawing |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU5033170 RU2020410C1 (en) | 1992-03-19 | 1992-03-19 | Device for continuous control of parameters of hexahedral fiber-optic rod during its drawing |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2020410C1 true RU2020410C1 (en) | 1994-09-30 |
Family
ID=21599771
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU5033170 RU2020410C1 (en) | 1992-03-19 | 1992-03-19 | Device for continuous control of parameters of hexahedral fiber-optic rod during its drawing |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2020410C1 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
ES2206024A1 (en) * | 2001-05-18 | 2004-05-01 | Universidad Politecnica De Madrid | LIGHT SOURCE DEVICE. |
-
1992
- 1992-03-19 RU SU5033170 patent/RU2020410C1/en active
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
1. Авторское свидетельство СССР N 553441, кл. G 01B 11/00, 1977. * |
2. Авторское свидетельство СССР N 759846, кл. G 01B 11/08, 1980. * |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
ES2206024A1 (en) * | 2001-05-18 | 2004-05-01 | Universidad Politecnica De Madrid | LIGHT SOURCE DEVICE. |
ES2206024B2 (en) * | 2001-05-18 | 2006-07-16 | Victor Company Of Japan Limited (Titular Al 50%) | LIGHT SOURCE DEVICE. |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US3586665A (en) | Apparatus for producing phase-shifted electric signals | |
EP0561015A1 (en) | Interferometric phase-measuring | |
CN205317659U (en) | Non -linear spectral characteristic measuring device of nonlinearity photonics material | |
US4893024A (en) | Apparatus for measuring the thickness of a thin film with angle detection means | |
DE3685631T2 (en) | ABSORPTION METER FOR DETERMINING THE THICKNESS, MOISTURE OR OTHER PARAMETERS OF A FILM OR COATING. | |
RU2020410C1 (en) | Device for continuous control of parameters of hexahedral fiber-optic rod during its drawing | |
CN107356331A (en) | Adjustable multimodal and realize spectral resolution light source measured directly | |
HU203595B (en) | Process and apparatus for contactless definition of diameter of thin wires | |
US5541744A (en) | Holographic process and device using incoherent light | |
CN212180228U (en) | Measuring device for grating period | |
US4639132A (en) | Direct determination of modulation transfer function by moire deflectrometry | |
DK173474B1 (en) | Method and apparatus for determining a flow rate | |
RU1820204C (en) | Method of measurement of angles of deflection of beams in phase object, indicated onto hologram | |
SU1383162A1 (en) | Method of measuring double refraction of substances | |
JPS63218827A (en) | Light spectrum detector | |
SU871013A1 (en) | Device for checking mirror drum pyramid shape | |
JPS6223103B2 (en) | ||
CN117666160A (en) | Super-resolution imaging device and super-resolution imaging system | |
SU1702330A1 (en) | Arrangement for searching vertical traces of particles | |
SU1268948A1 (en) | Device for checking angular parameters of plane-parallel plates | |
SU1474455A1 (en) | Method of measuring linear displacements | |
RU1827540C (en) | Method for measuring diameter of single-fiber light guides | |
SU1714348A1 (en) | Device for control of angle of beam deflection and of pyramidality of prisms ap-@@@ | |
RU1825969C (en) | Method for testing geometric parameters of capillary tubes | |
SU731278A1 (en) | Device for measuring small dimensions |