Claims (6)
1. Устройство механического перемещения для сканирующего зондового микроскопа, содержащее основание (1), СЗМ головку (2), оснащенную первой опорой (3), второй опорой (4), третьей опорой (5), при этом первая опора (3) сопряжена с основанием (1) и снабжена первым приводом (6), установленным на СЗМ головке (2), а вторая опора (4) и третья опора (5) также сопряжены с основанием (1), отличающееся тем, что вторая опора (4) снабжена вторым приводом (7), установленным на СЗМ головке (2), и третья опора (5) снабжена третьим приводом (8), установленным на СЗМ головке (2).1. A mechanical moving device for a scanning probe microscope containing a base (1), SPM head (2) equipped with a first support (3), a second support (4), a third support (5), while the first support (3) is associated with the base (1) and is equipped with a first drive (6) mounted on the SPM head (2), and the second support (4) and the third support (5) are also associated with the base (1), characterized in that the second support (4) is provided a second drive (7) mounted on the SPM head (2), and a third support (5) is equipped with a third drive (8) mounted on the SPM head (2).
2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что первый привод (6), второй привод (7) и третий привод (8) содержат передаточный механизм (30), обеспечивающий поступательное перемещение первой опоры (3), второй опоры (4) и третьей опоры (5).2. The device according to p. 1, characterized in that the first drive (6), the second drive (7) and the third drive (8) contain a transmission mechanism (30) that provides translational movement of the first support (3), the second support (4) and third support (5).
3. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что первый привод (6), второй привод (7) и третий привод (8) содержат модуль измерения перемещения (39).3. The device according to claim 1, characterized in that the first drive (6), the second drive (7) and the third drive (8) comprise a displacement measuring module (39).
4. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что первый привод (6), второй привод (7) и третий привод (8) содержат датчики крайних положений (40).4. The device according to p. 1, characterized in that the first drive (6), the second drive (7) and the third drive (8) contain sensors of extreme positions (40).
5. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что корпус (25) первого привод (6), второго привод (7) и третьего привода (8) выполнен титана.5. The device according to p. 1, characterized in that the housing (25) of the first drive (6), the second drive (7) and the third drive (8) is made of titanium.
6. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что в него введен теплоотводящий модуль (53), сопряженный с мотором (50).6. The device according to claim 1, characterized in that a heat-removing module (53) coupled to the motor (50) is inserted into it.