Claims (3)
1. Способ определения положения ротора микромеханического гироскопа по оси возбуждения колебаний, заключающийся в измерении выходного сигнала емкостного датчика, отличающийся тем, что измеряют сигнал емкостного датчика, образованного ротором и электродами, расположенными по оси измерения выходного сигнала гироскопа.1. The method of determining the position of the rotor of a micromechanical gyroscope along the axis of excitation of oscillations, which consists in measuring the output signal of the capacitive sensor, characterized in that the signal of the capacitive sensor formed by the rotor and electrodes located along the axis of measurement of the output signal of the gyroscope is measured.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что формируют дополнительный сигнал синфазный с основной составляющей измеренного сигнала, перемножают эти сигналы и выделяют постоянную составляющую произведения сигналов.2. The method according to claim 1, characterized in that they form an additional common-mode signal with the main component of the measured signal, multiply these signals and isolate the constant component of the product of the signals.
3. Микромеханический гироскоп, содержащий ротор и статор с первой группой электродов, образующих гребенчатый двигатель по оси возбуждения колебаний, и второй группой электродов, расположенных по оси измерения выходного сигнала, емкостной датчик, образованный электродами второй группы и преобразователем емкость - напряжение, систему фазовой автоподстройки частоты (ФАПЧ), вход которой подключен к выходу емкостного датчика, отличающийся тем, что в него введены умножитель, входы которого подключены к выходам емкостного датчика и ФАПЧ, выпрямитель, вход которого подключен к выходу емкостного датчика, интегратор, вход которого подключен к выходу выпрямителя, фазосдвигающее устройство, вход которого подключен к выходу емкостного датчика, и устройство суммирования, входы которого подключены к выходам интегратора и фазосдвигающего устройства, а выход устройства суммирования соединен с электродами первой группы.3. A micromechanical gyroscope containing a rotor and a stator with a first group of electrodes forming a comb engine along the axis of excitation of oscillations, and a second group of electrodes located along the axis of measurement of the output signal, a capacitive sensor formed by electrodes of the second group and a capacitor-voltage converter, phase-locked loop system frequency (PLL), the input of which is connected to the output of the capacitive sensor, characterized in that a multiplier is inserted into it, the inputs of which are connected to the outputs of the capacitive sensor and PLL, rectifier an amplifier whose input is connected to the output of the capacitive sensor, an integrator whose input is connected to the output of the rectifier, a phase-shifting device, the input of which is connected to the output of the capacitive sensor, and a summing device, the inputs of which are connected to the outputs of the integrator and phase-shifting device, and the output of the summing device is connected to electrodes of the first group.