RU176010U1 - Fiber-optic superconducting single-photon detector - Google Patents
Fiber-optic superconducting single-photon detector Download PDFInfo
- Publication number
- RU176010U1 RU176010U1 RU2017117185U RU2017117185U RU176010U1 RU 176010 U1 RU176010 U1 RU 176010U1 RU 2017117185 U RU2017117185 U RU 2017117185U RU 2017117185 U RU2017117185 U RU 2017117185U RU 176010 U1 RU176010 U1 RU 176010U1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- optical
- detector
- module
- meander
- fiber
- Prior art date
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 33
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims abstract description 11
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims abstract description 6
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 5
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 239000002887 superconductor Substances 0.000 claims abstract description 5
- 241000510609 Ferula Species 0.000 claims description 3
- 230000005855 radiation Effects 0.000 abstract description 15
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 11
- CFJRGWXELQQLSA-UHFFFAOYSA-N azanylidyneniobium Chemical compound [Nb]#N CFJRGWXELQQLSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 6
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 6
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000002070 nanowire Substances 0.000 description 2
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 1
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N palladium Substances [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N60/00—Superconducting devices
- H10N60/01—Manufacture or treatment
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
Abstract
Использование: для детекторов оптического излучения с высокой квантовой эффективностью. Сущность полезной модели заключается в том, что сверхпроводниковый однофотонный детектор представляет собой оптический модуль на базе оптической розетки FC и включает криогенный предусилитель и сменный модуль с отрезком оптической ферулы с одномодовым волокном, при этом на боковых поверхностях модуля сформированы золотые контактные площадки, а на коре оптического волокна сформированы чувствительные слои из сверхпроводника в виде меандровой структуры, причем меандровая структура представляет собой два меандра, ориентированных ортогонально друг другу и разделенных слоем диэлектрика толщиной, равной четверти длины волны. Технический результат: обеспечение возможности повышения общей эффективности SSPD без усложнения его конструкции. 4 ил.Usage: for optical radiation detectors with high quantum efficiency. The essence of the utility model is that the superconducting single-photon detector is an optical module based on an FC optical socket and includes a cryogenic preamplifier and a replaceable module with a segment of an optical ferule with a single-mode fiber, while gold contact pads are formed on the side surfaces of the module, and on the optical core fibers, sensitive layers of a superconductor are formed in the form of a meander structure, the meander structure being two meanders oriented by It is parallel to each other and separated by a dielectric layer with a thickness equal to a quarter of the wavelength. Effect: providing the possibility of increasing the overall efficiency of SSPD without complicating its design. 4 ill.
Description
Область техникиTechnical field
Полезная модель относится к области однофотонных детекторов и может найти применение при создании систем квантовой криптографии и сетей с квантовым распределением ключей. Также заявленное устройство может найти применение и в иных устройствах регистрации оптического излучения, требующих высокого разрешения и высокой квантовой эффективности.The utility model relates to the field of single-photon detectors and can find application in the creation of quantum cryptography systems and networks with a quantum key distribution. Also, the claimed device can find application in other devices for recording optical radiation, requiring high resolution and high quantum efficiency.
Предшествующий уровень техникиState of the art
Устройство относится к сверхпроводниковым однофотонным детекторам (Superconducting Single Photon Detector - SSPD) имеющим структуру меандра (Goltsman G., Okunev О., Chulkova G. et al. // Appl. Phys. Lett. 2001. V. 79.P. 705., а также Gol'tsman G.N., Smirnov K., Kouminov P. et al. // IEEE Trans., Appl.Supercond. 2003. V. 13. P. 192.).The device relates to superconducting single photon detectors (SSPDs) having a meander structure (Goltsman G., Okunev O., Chulkova G. et al. // Appl. Phys. Lett. 2001. V. 79.P. 705. and Gol'tsman GN, Smirnov K., Kouminov P. et al. // IEEE Trans., Appl. Supercond. 2003. V. 13. P. 192.).
Такие детекторы (US 6812464 В1 Superconducting single photon detector, 2004-11-02) обычно состоят из полупроводниковой подложки (например, Si), покрытой диэлектрическим слоем (например, SiO2), поверх которого напыляется пленка из сверхпроводящего материала (например, NbN) с топологией в виде меандра и проводящие (Au, Nb, Pd) контактные площадки, обеспечивающие подачу тока смещения на детектор и съем сигнала.Such detectors (US 6,812,464 B1 Superconducting single photon detector, 2004-11-02) typically consist of a semiconductor substrate (e.g., Si) coated with a dielectric layer (e.g., SiO2) over which a film of superconducting material (e.g., NbN) is sprayed with topology in the form of a meander and conductive (Au, Nb, Pd) contact pads, providing bias current to the detector and signal pickup.
Общая эффективность SSPD определяется совокупностью нескольких показателей.The overall effectiveness of SSPDs is determined by a combination of several indicators.
Одним из таких важных показателей является квантовая эффективность, а другим точность совмещения оптического пучка с зоной регистрации SSPD, которая обладает малыми размерами и реализация эффективного охлаждения без потери функциональных возможностей.One of such important indicators is quantum efficiency, and the other is the accuracy of combining the optical beam with the SSPD recording zone, which is small in size and realizes effective cooling without loss of functionality.
Небольшая квантовая эффективность SSPD, то есть отношение количества детектированных фотонов к общему числу фотонов, падающих на детектор ограничена несколькими факторами. Во-первых, это коэффициент заполнения k=a/b, где a - ширина сверхпроводящей полоски, b - период структуры. Эта величина характеризует область поглощения падающего излучения. Предел фактора заполнения для простого одиночного меандра, известный авторам составляет 75% (RU 2300825 С1 Быстродействующий сверхпроводниковый однофотонный детектор, 2007-10-06).The small quantum efficiency of SSPD, that is, the ratio of the number of detected photons to the total number of photons incident on the detector, is limited by several factors. Firstly, it is the fill factor k = a / b, where a is the width of the superconducting strip, b is the period of the structure. This value characterizes the absorption region of the incident radiation. The limit of the filling factor for a simple single meander, known to the authors is 75% (RU 2300825 C1 High-speed superconducting single-photon detector, 2007-10-06).
Вторым фактором, влияющим на эффективность сверхпроводящего детектора, является поглощение падающего излучения веществом детектора NbN. Так, для толщины 4 нм оптическая абсорбция достигает около 30% на длине волны 1,55 мкм. Эффективность детектирования на такой толщине и длине волны (для коэффициента заполнения 75%), в теории, не может превысить 20-25%) из-за малой толщины слоя NbN при нормальном падении излучения. Ввиду невозможности реализации оптимального фактора заполнения (близкого к единице) для эффективного поглощения падающего излучения веществом детектора был предложен метод увеличения абсорбции света путем создания резонаторных структур с использованием отражающего металлического слоя и диэлектрического покрытия толщиной в четверть длины волны. Четвертьволновый резонатор располагался на поверхности светочувствительного элемента. Свет, падающий на вещество детектора со стороны подложки и не поглотившийся им, проходит через слой диэлектрика, отражается от металлического слоя с изменением фазы на пи и складывается в противофазе со светом, отраженным от границы диэлектрик-сверхпроводящая пленка.A second factor affecting the efficiency of the superconducting detector is the absorption of the incident radiation by the substance of the NbN detector. So, for a thickness of 4 nm, optical absorption reaches about 30% at a wavelength of 1.55 μm. The detection efficiency at such a thickness and wavelength (for a duty cycle of 75%), in theory, cannot exceed 20-25%) due to the small thickness of the NbN layer with normal radiation incidence. In view of the impossibility of realizing an optimal filling factor (close to unity) for the effective absorption of incident radiation by the detector material, a method was proposed for increasing light absorption by creating resonator structures using a reflective metal layer and a dielectric coating of a quarter wavelength thickness. A quarter-wave resonator was located on the surface of the photosensitive element. The light incident on the detector substance from the substrate side and not absorbed by it passes through the dielectric layer, is reflected from the metal layer with a phase change in pi, and is added in antiphase with light reflected from the dielectric-superconducting film interface.
Другим возможным подходом является комбинирование нескольких слоев NbN для достижения фактора заполнения, близкого к единице (US 9240539 В2 Efficient Polarization Independent Single Photon Detector, 2016-01-19 и US 9490112 B2 System and method for characterizing ions using a superconducting transmission line detector, 2016-11-08) и расположение их один над другим, причем так, что эти меандры будут перпендикулярны друг другу. Это позволяет достигать квантовой эффективности порядка 85%. В то же время, такие решения (в частности US 9240539 В2 Efficient Polarization Independent Single Photon Detector, 2016-01-19) имеют неэффективную компоновку, когда четвертьволновой резонатор SiO2 расположен после обоих слоев меандров, что увеличивает габариты, повышает общую хрупкость и очень существенно затрудняет установку детектора на базу стандартной FC-оптической розетки.Another possible approach is to combine multiple NbN layers to achieve a fill factor close to unity (US 9240539 B2 Efficient Polarization Independent Single Photon Detector, 2016-01-19 and US 9490112 B2 System and method for characterizing ions using a superconducting transmission line detector, 2016 -11-08) and their location one above the other, and so that these meanders will be perpendicular to each other. This allows us to achieve a quantum efficiency of about 85%. At the same time, such solutions (in particular, US 9240539 B2 Efficient Polarization Independent Single Photon Detector, 2016-01-19) have an ineffective layout when the quarter-wave SiO2 resonator is located after both layers of meanders, which increases the dimensions, increases the overall fragility and is very significant complicates the installation of the detector on the base of a standard FC-optical outlet.
Основная же трудность при точном совмещении состоит в обеспечении одновременно широких возможностей (в том числе измерения поляризации фотонов) с конструктивной простотой и трудности охлаждения. Так, известно решение (US 2014353476 Al Fiber optical superconducting nanowire single photon detector, 2014-12-04) для детектирования одиночных фотонов, сущность которого заключается в создании SSPD детектора непосредственно на конце волокна. Весь процесс изготовления происходит на верхней грани оксидно-циркониевого наконечника ферулы, из стандартного полированного разъема волокна (оптическая FC-розетка), содержащего одномодовое волокно. Недостатками такого решения являются технологическая сложность изготовления и эксплуатации, невозможность определения поляризации оптического излучения.The main difficulty with precise combination is to provide both broad capabilities (including measuring the polarization of photons) with constructive simplicity and cooling difficulties. Thus, a solution is known (US 2014353476 Al Fiber optical superconducting nanowire single photon detector, 2014-12-04) for the detection of single photons, the essence of which is to create an SSPD detector directly at the end of the fiber. The entire manufacturing process takes place on the upper edge of the zirconium oxide ferrule tip, from a standard polished fiber connector (FC optical socket) containing a single-mode fiber. The disadvantages of this solution are the technological complexity of manufacturing and operation, the inability to determine the polarization of optical radiation.
Еще одной немаловажной проблемой при создании фотонных детекторов является их эффективное охлаждение. Так, при нагревании элементов детектора возникает паразитное тепловое излучение и соответствующие шумы детектора, которые существенно снижают общую эффективность. В упомянутом выше техническом решении (US 2014353476 A1) эффективность охлаждения является еще одним слабым местом.Another important problem in creating photonic detectors is their effective cooling. So, when heating the elements of the detector, spurious thermal radiation and the corresponding noise of the detector occur, which significantly reduce the overall efficiency. In the technical solution mentioned above (US 2014353476 A1), cooling efficiency is another weakness.
По совокупности общих признаков за прототип выбрано решение для детектирования одиночных фотонов (US 2014353476 A1 Fiber optical superconducting nanowire single photon detector, 2014-12-04).Based on the set of common features, the solution for the detection of single photons was selected as the prototype (US 2014353476 A1 Fiber optical superconducting nanowire single photon detector, 2014-12-04).
Сущность полезной моделиUtility Model Essence
Задачей настоящей полезной модели являлось создание высокоэффективного SSPD без усложнения его конструкции и без потери функциональных возможностей.The objective of this utility model was to create a high-performance SSPD without complicating its design and without losing functionality.
Технический результат заключается в повышении общей эффективности SSPD без усложнения его конструкции.The technical result is to increase the overall efficiency of SSPD without complicating its design.
Задача решается за счет решения не тривиальной проблемы объединения самых последних достижений в данной области и устранение их общих недостатков.The problem is solved by solving the non-trivial problem of combining the latest achievements in this field and eliminating their common shortcomings.
Согласно настоящей полезной модели, сверхпроводниковый однофотонный детектор представляет собой оптический модуль на базе стандартной оптической розетки FC и включает криогенный предусилитель и сменный модуль с отрезком оптической ферулы с одномодовым волокном. На боковых поверхностях модуля сформированы золотые контактные площадки, а на коре оптического волокна сформированы чувствительные слои из сверхпроводника в виде меандровой структуры, причем меандровая структура представляет собой два меандра, ориентированных ортогонально друг другу и разделенных слоем диэлектрика толщиной, равной четверти длины волны.According to this utility model, a superconducting single-photon detector is an optical module based on a standard FC optical socket and includes a cryogenic preamplifier and a replaceable module with a single-mode fiber segment of an optical ferula. Gold contact pads are formed on the lateral surfaces of the module, and sensitive layers of a superconductor in the form of a meander structure are formed on the cortex of the optical fiber, the meander structure being two meanders oriented orthogonally to each other and separated by a dielectric layer with a thickness equal to a quarter of the wavelength.
Краткое описание чертежейBrief Description of the Drawings
Заявленная полезная модель поясняется чертежами, на которых:The claimed utility model is illustrated by drawings, in which:
Фиг. 1 - изображение меандровой структуры.FIG. 1 is an image of a meander structure.
Фиг. 2 - общий вид детектора.FIG. 2 - general view of the detector.
Фиг. 3 - вид детектора со стороны волокна.FIG. 3 is a fiber side view of the detector.
Фиг. 4 - вид детектора в профиль. Подробное описание полезной модели.FIG. 4 - view of the detector in profile. Detailed description of the utility model.
На Фиг. 1 схематично изображена меандровая струкутра однофотонного сверхпроводникового детектора, в котором чувствительный элемент располагается одновременно в двух и более разнесенных в пространстве плоскостях, разделенных слоем диэлектрика.In FIG. Figure 1 schematically shows the meander structure of a single-photon superconductor detector in which the sensitive element is located simultaneously in two or more spatially separated planes separated by a dielectric layer.
Здесь цифрами обозначены 1 и 3 - соответствующие чувствительные слои, выполненные, например, из NbN в форме меандров, 2 - промежуточный слой диэлектрика, например, Si02.Here, the numbers denote 1 and 3 — corresponding sensitive layers made, for example, of NbN in the form of meanders, 2 — an intermediate layer of a dielectric, for example, Si02.
Меандры 1 и 3 повернуты перпендикулярно друг относительно друга, что существенно повышает фактор заполнения и, как следствие общую эффективность детектора.The
Слой 2 диэлектрика имеет толщину равную четверти длины волны и выступает в качестве четвертьволновой пластины резонатора с отражающими поверхностями, одна из которых - граница верхнего меандра и оксида кремния (SiO2), а вторая - граница раздела оксида кремния и нижнего меандра. Это еще более повышает эффективность детектирования. При этом, ввиду того, что пластина 2 располагается между чувствительными слоями 1 и 3, не происходит увеличения размеров всего модуля и повышается эффективность использования доступного пространства. Это позволяет реализовать детектор на базе стандартной оптической розетки FC.The
Такой чувствительный модуль работает следующим образом. Оптическое излучение источника попадает на меандровую структуру первого слоя. Результат поглощения оптического излучения регистрируется верхним слоем сверхпроводящего однофотонного детектора. Если поглощения излучения в структуре первого слоя не произошло, фотон проходит диэлектрический слой и попадает на второй слой детектора, где может быть поглощен, проникнуть дальше, либо отразиться в направлении первого детектора и т.д.Such a sensitive module operates as follows. The optical radiation of the source falls on the meander structure of the first layer. The result of the absorption of optical radiation is recorded by the upper layer of a superconducting single-photon detector. If radiation absorption did not occur in the structure of the first layer, the photon passes through the dielectric layer and enters the second layer of the detector, where it can be absorbed, penetrate further, or be reflected in the direction of the first detector, etc.
Чувствительные элементы из NbN предпочтительно имеют толщину порядка 3,5-5 нм.Sensitive elements of NbN preferably have a thickness of the order of 3.5-5 nm.
На Фиг. 2 изображает детектор на базе оптической розетки FC в сборе. Детектор содержит приемный модуль 6 на базе розетки FC с закрепленным на нем криогенным предусилителем 5 со вставленным сменным оптически сопряженным модулем сверхпроводящего детектора 4, состоящего из полированного с двух торцевых сторон отрезка цилиндрической оптической ферулы 7 с вклеенным одномодовым волокном 8, на кор 9 которого напыляются пленки нитрида ниобия (NbN) с топологией в виде меандров 10 и золотые (Аu) контактные площадки 11, обеспечивающие подачу тока смещения на детектор и съем ВЧ сигнала. При этом дополнительно имеется оптический четвертьволновой резонатор, полостью которого является слой оксида кремния (SiO2) соответствующей толщины, а отражающие поверхности: одна - внешняя поверхность оксида кремния (SiO2), вторая - граница раздела оксида кремния (SiO2) и нитрида ниобия (NbN), который был подробно описан выше со ссылкой на Фиг. 1.In FIG. 2 shows a detector based on an FC optical receptacle assembly. The detector contains a
Так как чувствительный элемент представляет из себя структуру с сформированными меандрами 10, ориентированными ортогонально на противоположных торцах оптического модуля 4, каждый из меандров 10 представляет собой структуру чувствительную к ориентации плоскости поляризации оптического излучения. Экспериментально показано, что оптическое излучение, вектор электрического поля которого направлен вдоль полос меандра, поглощается таким чувствительным элементом с вероятностью в 10 раз более высокой, чем чувствительным элементом, у которого направление полос меандра перпендикулярно направлению вектора электрического поля. Если вектор электрического поля направлен под углом ϕ к направлению полос меандра 10, то сигнал, регистрируемый этим меандром будет пропорционален cosϕ. А сигнал, регистрируемый этим вторым меандром будет пропорционален sinϕ.Таким образом, ориентацию плоскости поляризации регистрируемого оптического излучения относительно направления полос меандра можно определить из соотношения сигналов, регистрируемых чувствительными элементами 10, сформированными на противоположных торцах оптического модуля 4.Since the sensitive element is a structure with formed
На цилиндрической поверхности оптического модуля 4 делаются плоские грани, на которые наносятся золотые контакты 11 для вывода сигнала, что позволит обеспечить дополнительную защиту рабочей поверхности детектора от механических повреждений при транспортировке и установке детекторов в приемный модуль 6, используя защитные колпачки.Flat faces are made on the cylindrical surface of the
Модуль работает следующим образом. Оптическое излучение источника проходит по волокну и в оптической розетке 6 попадает в оптический модуль регистрации 4 по кору 9 световода 8 и далее на меандровую структуру 10.The module works as follows. The optical radiation of the source passes through the fiber and in the
Claims (1)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2017117185U RU176010U1 (en) | 2017-05-17 | 2017-05-17 | Fiber-optic superconducting single-photon detector |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2017117185U RU176010U1 (en) | 2017-05-17 | 2017-05-17 | Fiber-optic superconducting single-photon detector |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU176010U1 true RU176010U1 (en) | 2017-12-26 |
Family
ID=63853596
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2017117185U RU176010U1 (en) | 2017-05-17 | 2017-05-17 | Fiber-optic superconducting single-photon detector |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU176010U1 (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114866227A (en) * | 2022-03-17 | 2022-08-05 | 新华三信息安全技术有限公司 | Quantum key distribution method and device |
RU217971U1 (en) * | 2022-06-08 | 2023-04-27 | Виктор Баирович Лубсанов | Low Power Broadband Microwave Superconducting Detector |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7049593B2 (en) * | 2000-07-28 | 2006-05-23 | Credence Systems Corporation | Superconducting single photon detector |
RU2346357C1 (en) * | 2007-06-26 | 2009-02-10 | Закрытое акционерное общество "Сверхпроводниковые нанотехнологии" (ЗАО "СКОНТЕЛ") | Superconducting photon-counting detector for visible and infrared spectral range |
US20140353476A1 (en) * | 2011-12-23 | 2014-12-04 | Technion Research & Development Foundation Ltd. | Fiber optical superconducting nanowire single photon detector |
RU2539771C1 (en) * | 2013-09-10 | 2015-01-27 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский университет "МИЭТ" (МИЭТ) | Fabrication of semiconductor detector |
RU2581405C1 (en) * | 2015-02-05 | 2016-04-20 | Федеральное государственное бюджетное учреждение "Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт" | Method of producing superconducting multiple-section optical detectors |
US9500519B2 (en) * | 2012-12-03 | 2016-11-22 | Yale University | Superconducting single photon detector |
-
2017
- 2017-05-17 RU RU2017117185U patent/RU176010U1/en active IP Right Revival
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7049593B2 (en) * | 2000-07-28 | 2006-05-23 | Credence Systems Corporation | Superconducting single photon detector |
RU2346357C1 (en) * | 2007-06-26 | 2009-02-10 | Закрытое акционерное общество "Сверхпроводниковые нанотехнологии" (ЗАО "СКОНТЕЛ") | Superconducting photon-counting detector for visible and infrared spectral range |
US20140353476A1 (en) * | 2011-12-23 | 2014-12-04 | Technion Research & Development Foundation Ltd. | Fiber optical superconducting nanowire single photon detector |
US9500519B2 (en) * | 2012-12-03 | 2016-11-22 | Yale University | Superconducting single photon detector |
RU2539771C1 (en) * | 2013-09-10 | 2015-01-27 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский университет "МИЭТ" (МИЭТ) | Fabrication of semiconductor detector |
RU2581405C1 (en) * | 2015-02-05 | 2016-04-20 | Федеральное государственное бюджетное учреждение "Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт" | Method of producing superconducting multiple-section optical detectors |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114866227A (en) * | 2022-03-17 | 2022-08-05 | 新华三信息安全技术有限公司 | Quantum key distribution method and device |
RU217971U1 (en) * | 2022-06-08 | 2023-04-27 | Виктор Баирович Лубсанов | Low Power Broadband Microwave Superconducting Detector |
RU2801961C1 (en) * | 2022-12-28 | 2023-08-21 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС" | Active superconducting detector |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7763854B2 (en) | High time-resolution ultrasensitive optical detector, using grating coupling | |
US7718964B2 (en) | High time-resolution ultrasensitive optical sensor using a planar waveguide leakage mode, and methods for making same | |
US7791065B2 (en) | Ultrasensitive optical detector having a large temporal resolution and using a waveguide, and methods for producing said detector | |
US9726536B2 (en) | Fiber optical superconducting nanowire single photon detector | |
JP6161554B2 (en) | Electromagnetic wave detector and electromagnetic wave detector array | |
JP5470654B2 (en) | Mounting method of superconducting single photon detector | |
JP2015045629A5 (en) | ||
GB2530500A (en) | Photon detector | |
JP2008071908A (en) | Superconductive photodetector | |
US11585693B2 (en) | Single photon detector device | |
CN106129141B (en) | Superconducting nano-wire single-photon detector prepared by micro-nano fiber surface | |
Dai et al. | All-fiber device for single-photon detection | |
RU176010U1 (en) | Fiber-optic superconducting single-photon detector | |
Gu et al. | Fractal-inspired, polarization-insensitive superconducting nanowire single-photon detectors | |
EP2902758A1 (en) | Photon radiation detector comprising an array of antennas and a spiral resistive support | |
US10551244B2 (en) | Photon detector | |
Korneev et al. | Recent nanowire superconducting single-photon detector optimization for practical applications | |
Miki et al. | Characterization of coupling efficiency and absorption coefficient for fiber-coupled SNSPD with an optical cavity | |
JP5344393B2 (en) | Mounting method of superconducting single photon detector components | |
JP6206837B2 (en) | Superconducting single photon detector and structure determination method for its light receiving wiring | |
Heath et al. | A tunable fiber-coupled optical cavity for agile enhancement of detector absorption | |
CN113193105A (en) | Superconducting nanowire single photon detector based on topology optimization | |
JP5317198B2 (en) | Grating coupler | |
Höpker et al. | Integrated transition edge sensors on lithium niobate waveguides | |
US20230232724A1 (en) | Fast Reliable Superconducting Single-Photon Detector and Cost Effective and High Yield Method for Manufacturing Such |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PD9K | Change of name of utility model owner | ||
MM9K | Utility model has become invalid (non-payment of fees) |
Effective date: 20190518 |
|
NF9K | Utility model reinstated |
Effective date: 20200915 |