Nothing Special   »   [go: up one dir, main page]

RU176010U1 - Fiber-optic superconducting single-photon detector - Google Patents

Fiber-optic superconducting single-photon detector Download PDF

Info

Publication number
RU176010U1
RU176010U1 RU2017117185U RU2017117185U RU176010U1 RU 176010 U1 RU176010 U1 RU 176010U1 RU 2017117185 U RU2017117185 U RU 2017117185U RU 2017117185 U RU2017117185 U RU 2017117185U RU 176010 U1 RU176010 U1 RU 176010U1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
optical
detector
module
meander
fiber
Prior art date
Application number
RU2017117185U
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Сергей Иванович Божко
Сергей Павлович Кулик
Сергей Николаевич Молотков
Андрей Михайлович Ионов
Владимир Максимович Черняк
Original Assignee
Российская Федерация, от имени которой выступает ФОНД ПЕРСПЕКТИВНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Российская Федерация, от имени которой выступает ФОНД ПЕРСПЕКТИВНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ filed Critical Российская Федерация, от имени которой выступает ФОНД ПЕРСПЕКТИВНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ
Priority to RU2017117185U priority Critical patent/RU176010U1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU176010U1 publication Critical patent/RU176010U1/en

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N60/00Superconducting devices
    • H10N60/01Manufacture or treatment

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Measurement Of Radiation (AREA)

Abstract

Использование: для детекторов оптического излучения с высокой квантовой эффективностью. Сущность полезной модели заключается в том, что сверхпроводниковый однофотонный детектор представляет собой оптический модуль на базе оптической розетки FC и включает криогенный предусилитель и сменный модуль с отрезком оптической ферулы с одномодовым волокном, при этом на боковых поверхностях модуля сформированы золотые контактные площадки, а на коре оптического волокна сформированы чувствительные слои из сверхпроводника в виде меандровой структуры, причем меандровая структура представляет собой два меандра, ориентированных ортогонально друг другу и разделенных слоем диэлектрика толщиной, равной четверти длины волны. Технический результат: обеспечение возможности повышения общей эффективности SSPD без усложнения его конструкции. 4 ил.Usage: for optical radiation detectors with high quantum efficiency. The essence of the utility model is that the superconducting single-photon detector is an optical module based on an FC optical socket and includes a cryogenic preamplifier and a replaceable module with a segment of an optical ferule with a single-mode fiber, while gold contact pads are formed on the side surfaces of the module, and on the optical core fibers, sensitive layers of a superconductor are formed in the form of a meander structure, the meander structure being two meanders oriented by It is parallel to each other and separated by a dielectric layer with a thickness equal to a quarter of the wavelength. Effect: providing the possibility of increasing the overall efficiency of SSPD without complicating its design. 4 ill.

Description

Область техникиTechnical field

Полезная модель относится к области однофотонных детекторов и может найти применение при создании систем квантовой криптографии и сетей с квантовым распределением ключей. Также заявленное устройство может найти применение и в иных устройствах регистрации оптического излучения, требующих высокого разрешения и высокой квантовой эффективности.The utility model relates to the field of single-photon detectors and can find application in the creation of quantum cryptography systems and networks with a quantum key distribution. Also, the claimed device can find application in other devices for recording optical radiation, requiring high resolution and high quantum efficiency.

Предшествующий уровень техникиState of the art

Устройство относится к сверхпроводниковым однофотонным детекторам (Superconducting Single Photon Detector - SSPD) имеющим структуру меандра (Goltsman G., Okunev О., Chulkova G. et al. // Appl. Phys. Lett. 2001. V. 79.P. 705., а также Gol'tsman G.N., Smirnov K., Kouminov P. et al. // IEEE Trans., Appl.Supercond. 2003. V. 13. P. 192.).The device relates to superconducting single photon detectors (SSPDs) having a meander structure (Goltsman G., Okunev O., Chulkova G. et al. // Appl. Phys. Lett. 2001. V. 79.P. 705. and Gol'tsman GN, Smirnov K., Kouminov P. et al. // IEEE Trans., Appl. Supercond. 2003. V. 13. P. 192.).

Такие детекторы (US 6812464 В1 Superconducting single photon detector, 2004-11-02) обычно состоят из полупроводниковой подложки (например, Si), покрытой диэлектрическим слоем (например, SiO2), поверх которого напыляется пленка из сверхпроводящего материала (например, NbN) с топологией в виде меандра и проводящие (Au, Nb, Pd) контактные площадки, обеспечивающие подачу тока смещения на детектор и съем сигнала.Such detectors (US 6,812,464 B1 Superconducting single photon detector, 2004-11-02) typically consist of a semiconductor substrate (e.g., Si) coated with a dielectric layer (e.g., SiO2) over which a film of superconducting material (e.g., NbN) is sprayed with topology in the form of a meander and conductive (Au, Nb, Pd) contact pads, providing bias current to the detector and signal pickup.

Общая эффективность SSPD определяется совокупностью нескольких показателей.The overall effectiveness of SSPDs is determined by a combination of several indicators.

Одним из таких важных показателей является квантовая эффективность, а другим точность совмещения оптического пучка с зоной регистрации SSPD, которая обладает малыми размерами и реализация эффективного охлаждения без потери функциональных возможностей.One of such important indicators is quantum efficiency, and the other is the accuracy of combining the optical beam with the SSPD recording zone, which is small in size and realizes effective cooling without loss of functionality.

Небольшая квантовая эффективность SSPD, то есть отношение количества детектированных фотонов к общему числу фотонов, падающих на детектор ограничена несколькими факторами. Во-первых, это коэффициент заполнения k=a/b, где a - ширина сверхпроводящей полоски, b - период структуры. Эта величина характеризует область поглощения падающего излучения. Предел фактора заполнения для простого одиночного меандра, известный авторам составляет 75% (RU 2300825 С1 Быстродействующий сверхпроводниковый однофотонный детектор, 2007-10-06).The small quantum efficiency of SSPD, that is, the ratio of the number of detected photons to the total number of photons incident on the detector, is limited by several factors. Firstly, it is the fill factor k = a / b, where a is the width of the superconducting strip, b is the period of the structure. This value characterizes the absorption region of the incident radiation. The limit of the filling factor for a simple single meander, known to the authors is 75% (RU 2300825 C1 High-speed superconducting single-photon detector, 2007-10-06).

Вторым фактором, влияющим на эффективность сверхпроводящего детектора, является поглощение падающего излучения веществом детектора NbN. Так, для толщины 4 нм оптическая абсорбция достигает около 30% на длине волны 1,55 мкм. Эффективность детектирования на такой толщине и длине волны (для коэффициента заполнения 75%), в теории, не может превысить 20-25%) из-за малой толщины слоя NbN при нормальном падении излучения. Ввиду невозможности реализации оптимального фактора заполнения (близкого к единице) для эффективного поглощения падающего излучения веществом детектора был предложен метод увеличения абсорбции света путем создания резонаторных структур с использованием отражающего металлического слоя и диэлектрического покрытия толщиной в четверть длины волны. Четвертьволновый резонатор располагался на поверхности светочувствительного элемента. Свет, падающий на вещество детектора со стороны подложки и не поглотившийся им, проходит через слой диэлектрика, отражается от металлического слоя с изменением фазы на пи и складывается в противофазе со светом, отраженным от границы диэлектрик-сверхпроводящая пленка.A second factor affecting the efficiency of the superconducting detector is the absorption of the incident radiation by the substance of the NbN detector. So, for a thickness of 4 nm, optical absorption reaches about 30% at a wavelength of 1.55 μm. The detection efficiency at such a thickness and wavelength (for a duty cycle of 75%), in theory, cannot exceed 20-25%) due to the small thickness of the NbN layer with normal radiation incidence. In view of the impossibility of realizing an optimal filling factor (close to unity) for the effective absorption of incident radiation by the detector material, a method was proposed for increasing light absorption by creating resonator structures using a reflective metal layer and a dielectric coating of a quarter wavelength thickness. A quarter-wave resonator was located on the surface of the photosensitive element. The light incident on the detector substance from the substrate side and not absorbed by it passes through the dielectric layer, is reflected from the metal layer with a phase change in pi, and is added in antiphase with light reflected from the dielectric-superconducting film interface.

Другим возможным подходом является комбинирование нескольких слоев NbN для достижения фактора заполнения, близкого к единице (US 9240539 В2 Efficient Polarization Independent Single Photon Detector, 2016-01-19 и US 9490112 B2 System and method for characterizing ions using a superconducting transmission line detector, 2016-11-08) и расположение их один над другим, причем так, что эти меандры будут перпендикулярны друг другу. Это позволяет достигать квантовой эффективности порядка 85%. В то же время, такие решения (в частности US 9240539 В2 Efficient Polarization Independent Single Photon Detector, 2016-01-19) имеют неэффективную компоновку, когда четвертьволновой резонатор SiO2 расположен после обоих слоев меандров, что увеличивает габариты, повышает общую хрупкость и очень существенно затрудняет установку детектора на базу стандартной FC-оптической розетки.Another possible approach is to combine multiple NbN layers to achieve a fill factor close to unity (US 9240539 B2 Efficient Polarization Independent Single Photon Detector, 2016-01-19 and US 9490112 B2 System and method for characterizing ions using a superconducting transmission line detector, 2016 -11-08) and their location one above the other, and so that these meanders will be perpendicular to each other. This allows us to achieve a quantum efficiency of about 85%. At the same time, such solutions (in particular, US 9240539 B2 Efficient Polarization Independent Single Photon Detector, 2016-01-19) have an ineffective layout when the quarter-wave SiO2 resonator is located after both layers of meanders, which increases the dimensions, increases the overall fragility and is very significant complicates the installation of the detector on the base of a standard FC-optical outlet.

Основная же трудность при точном совмещении состоит в обеспечении одновременно широких возможностей (в том числе измерения поляризации фотонов) с конструктивной простотой и трудности охлаждения. Так, известно решение (US 2014353476 Al Fiber optical superconducting nanowire single photon detector, 2014-12-04) для детектирования одиночных фотонов, сущность которого заключается в создании SSPD детектора непосредственно на конце волокна. Весь процесс изготовления происходит на верхней грани оксидно-циркониевого наконечника ферулы, из стандартного полированного разъема волокна (оптическая FC-розетка), содержащего одномодовое волокно. Недостатками такого решения являются технологическая сложность изготовления и эксплуатации, невозможность определения поляризации оптического излучения.The main difficulty with precise combination is to provide both broad capabilities (including measuring the polarization of photons) with constructive simplicity and cooling difficulties. Thus, a solution is known (US 2014353476 Al Fiber optical superconducting nanowire single photon detector, 2014-12-04) for the detection of single photons, the essence of which is to create an SSPD detector directly at the end of the fiber. The entire manufacturing process takes place on the upper edge of the zirconium oxide ferrule tip, from a standard polished fiber connector (FC optical socket) containing a single-mode fiber. The disadvantages of this solution are the technological complexity of manufacturing and operation, the inability to determine the polarization of optical radiation.

Еще одной немаловажной проблемой при создании фотонных детекторов является их эффективное охлаждение. Так, при нагревании элементов детектора возникает паразитное тепловое излучение и соответствующие шумы детектора, которые существенно снижают общую эффективность. В упомянутом выше техническом решении (US 2014353476 A1) эффективность охлаждения является еще одним слабым местом.Another important problem in creating photonic detectors is their effective cooling. So, when heating the elements of the detector, spurious thermal radiation and the corresponding noise of the detector occur, which significantly reduce the overall efficiency. In the technical solution mentioned above (US 2014353476 A1), cooling efficiency is another weakness.

По совокупности общих признаков за прототип выбрано решение для детектирования одиночных фотонов (US 2014353476 A1 Fiber optical superconducting nanowire single photon detector, 2014-12-04).Based on the set of common features, the solution for the detection of single photons was selected as the prototype (US 2014353476 A1 Fiber optical superconducting nanowire single photon detector, 2014-12-04).

Сущность полезной моделиUtility Model Essence

Задачей настоящей полезной модели являлось создание высокоэффективного SSPD без усложнения его конструкции и без потери функциональных возможностей.The objective of this utility model was to create a high-performance SSPD without complicating its design and without losing functionality.

Технический результат заключается в повышении общей эффективности SSPD без усложнения его конструкции.The technical result is to increase the overall efficiency of SSPD without complicating its design.

Задача решается за счет решения не тривиальной проблемы объединения самых последних достижений в данной области и устранение их общих недостатков.The problem is solved by solving the non-trivial problem of combining the latest achievements in this field and eliminating their common shortcomings.

Согласно настоящей полезной модели, сверхпроводниковый однофотонный детектор представляет собой оптический модуль на базе стандартной оптической розетки FC и включает криогенный предусилитель и сменный модуль с отрезком оптической ферулы с одномодовым волокном. На боковых поверхностях модуля сформированы золотые контактные площадки, а на коре оптического волокна сформированы чувствительные слои из сверхпроводника в виде меандровой структуры, причем меандровая структура представляет собой два меандра, ориентированных ортогонально друг другу и разделенных слоем диэлектрика толщиной, равной четверти длины волны.According to this utility model, a superconducting single-photon detector is an optical module based on a standard FC optical socket and includes a cryogenic preamplifier and a replaceable module with a single-mode fiber segment of an optical ferula. Gold contact pads are formed on the lateral surfaces of the module, and sensitive layers of a superconductor in the form of a meander structure are formed on the cortex of the optical fiber, the meander structure being two meanders oriented orthogonally to each other and separated by a dielectric layer with a thickness equal to a quarter of the wavelength.

Краткое описание чертежейBrief Description of the Drawings

Заявленная полезная модель поясняется чертежами, на которых:The claimed utility model is illustrated by drawings, in which:

Фиг. 1 - изображение меандровой структуры.FIG. 1 is an image of a meander structure.

Фиг. 2 - общий вид детектора.FIG. 2 - general view of the detector.

Фиг. 3 - вид детектора со стороны волокна.FIG. 3 is a fiber side view of the detector.

Фиг. 4 - вид детектора в профиль. Подробное описание полезной модели.FIG. 4 - view of the detector in profile. Detailed description of the utility model.

На Фиг. 1 схематично изображена меандровая струкутра однофотонного сверхпроводникового детектора, в котором чувствительный элемент располагается одновременно в двух и более разнесенных в пространстве плоскостях, разделенных слоем диэлектрика.In FIG. Figure 1 schematically shows the meander structure of a single-photon superconductor detector in which the sensitive element is located simultaneously in two or more spatially separated planes separated by a dielectric layer.

Здесь цифрами обозначены 1 и 3 - соответствующие чувствительные слои, выполненные, например, из NbN в форме меандров, 2 - промежуточный слой диэлектрика, например, Si02.Here, the numbers denote 1 and 3 — corresponding sensitive layers made, for example, of NbN in the form of meanders, 2 — an intermediate layer of a dielectric, for example, Si02.

Меандры 1 и 3 повернуты перпендикулярно друг относительно друга, что существенно повышает фактор заполнения и, как следствие общую эффективность детектора.The meanders 1 and 3 are rotated perpendicular to each other, which significantly increases the filling factor and, as a result, the overall efficiency of the detector.

Слой 2 диэлектрика имеет толщину равную четверти длины волны и выступает в качестве четвертьволновой пластины резонатора с отражающими поверхностями, одна из которых - граница верхнего меандра и оксида кремния (SiO2), а вторая - граница раздела оксида кремния и нижнего меандра. Это еще более повышает эффективность детектирования. При этом, ввиду того, что пластина 2 располагается между чувствительными слоями 1 и 3, не происходит увеличения размеров всего модуля и повышается эффективность использования доступного пространства. Это позволяет реализовать детектор на базе стандартной оптической розетки FC.The dielectric layer 2 has a thickness equal to a quarter of the wavelength and acts as a quarter-wave plate of the resonator with reflective surfaces, one of which is the boundary of the upper meander and silicon oxide (SiO2), and the second is the interface between silicon oxide and lower meander. This further enhances the detection efficiency. Moreover, due to the fact that the plate 2 is located between the sensitive layers 1 and 3, there is no increase in the size of the entire module and the efficiency of using the available space increases. This allows the detector to be implemented on the basis of a standard FC optical socket.

Такой чувствительный модуль работает следующим образом. Оптическое излучение источника попадает на меандровую структуру первого слоя. Результат поглощения оптического излучения регистрируется верхним слоем сверхпроводящего однофотонного детектора. Если поглощения излучения в структуре первого слоя не произошло, фотон проходит диэлектрический слой и попадает на второй слой детектора, где может быть поглощен, проникнуть дальше, либо отразиться в направлении первого детектора и т.д.Such a sensitive module operates as follows. The optical radiation of the source falls on the meander structure of the first layer. The result of the absorption of optical radiation is recorded by the upper layer of a superconducting single-photon detector. If radiation absorption did not occur in the structure of the first layer, the photon passes through the dielectric layer and enters the second layer of the detector, where it can be absorbed, penetrate further, or be reflected in the direction of the first detector, etc.

Чувствительные элементы из NbN предпочтительно имеют толщину порядка 3,5-5 нм.Sensitive elements of NbN preferably have a thickness of the order of 3.5-5 nm.

На Фиг. 2 изображает детектор на базе оптической розетки FC в сборе. Детектор содержит приемный модуль 6 на базе розетки FC с закрепленным на нем криогенным предусилителем 5 со вставленным сменным оптически сопряженным модулем сверхпроводящего детектора 4, состоящего из полированного с двух торцевых сторон отрезка цилиндрической оптической ферулы 7 с вклеенным одномодовым волокном 8, на кор 9 которого напыляются пленки нитрида ниобия (NbN) с топологией в виде меандров 10 и золотые (Аu) контактные площадки 11, обеспечивающие подачу тока смещения на детектор и съем ВЧ сигнала. При этом дополнительно имеется оптический четвертьволновой резонатор, полостью которого является слой оксида кремния (SiO2) соответствующей толщины, а отражающие поверхности: одна - внешняя поверхность оксида кремния (SiO2), вторая - граница раздела оксида кремния (SiO2) и нитрида ниобия (NbN), который был подробно описан выше со ссылкой на Фиг. 1.In FIG. 2 shows a detector based on an FC optical receptacle assembly. The detector contains a receiving module 6 based on an FC socket with a cryogenic preamplifier 5 attached to it with an interchangeable optically coupled module for a superconducting detector 4, consisting of a section of a cylindrical optical ferula 7 polished from two ends and glued with a single-mode fiber 8, on which core 9 is sprayed films niobium nitride (NbN) with a topology in the form of meanders 10 and gold (Au) contact pads 11, which provide the bias current to the detector and pick up the RF signal. In addition, there is an optical quarter-wave resonator, the cavity of which is a layer of silicon oxide (SiO2) of the corresponding thickness, and reflecting surfaces: one is the outer surface of silicon oxide (SiO2), the second is the interface between silicon oxide (SiO2) and niobium nitride (NbN), which has been described in detail above with reference to FIG. one.

Так как чувствительный элемент представляет из себя структуру с сформированными меандрами 10, ориентированными ортогонально на противоположных торцах оптического модуля 4, каждый из меандров 10 представляет собой структуру чувствительную к ориентации плоскости поляризации оптического излучения. Экспериментально показано, что оптическое излучение, вектор электрического поля которого направлен вдоль полос меандра, поглощается таким чувствительным элементом с вероятностью в 10 раз более высокой, чем чувствительным элементом, у которого направление полос меандра перпендикулярно направлению вектора электрического поля. Если вектор электрического поля направлен под углом ϕ к направлению полос меандра 10, то сигнал, регистрируемый этим меандром будет пропорционален cosϕ. А сигнал, регистрируемый этим вторым меандром будет пропорционален sinϕ.Таким образом, ориентацию плоскости поляризации регистрируемого оптического излучения относительно направления полос меандра можно определить из соотношения сигналов, регистрируемых чувствительными элементами 10, сформированными на противоположных торцах оптического модуля 4.Since the sensitive element is a structure with formed meanders 10 oriented orthogonally on opposite ends of the optical module 4, each of the meanders 10 is a structure sensitive to the orientation of the plane of polarization of the optical radiation. It has been experimentally shown that optical radiation, the electric field vector of which is directed along the meander bands, is absorbed by such a sensitive element with a probability 10 times higher than the sensitive element, in which the direction of the meander bands is perpendicular to the direction of the electric field vector. If the electric field vector is directed at an angle ϕ to the direction of the bands of the meander 10, then the signal recorded by this meander will be proportional to cosϕ. And the signal recorded by this second meander will be proportional to sinϕ. Thus, the orientation of the polarization plane of the detected optical radiation relative to the direction of the meander bands can be determined from the ratio of the signals recorded by the sensitive elements 10 formed at the opposite ends of the optical module 4.

На цилиндрической поверхности оптического модуля 4 делаются плоские грани, на которые наносятся золотые контакты 11 для вывода сигнала, что позволит обеспечить дополнительную защиту рабочей поверхности детектора от механических повреждений при транспортировке и установке детекторов в приемный модуль 6, используя защитные колпачки.Flat faces are made on the cylindrical surface of the optical module 4, on which the gold contacts 11 are applied to output the signal, which will provide additional protection for the working surface of the detector from mechanical damage during transportation and installation of the detectors in the receiving module 6 using protective caps.

Модуль работает следующим образом. Оптическое излучение источника проходит по волокну и в оптической розетке 6 попадает в оптический модуль регистрации 4 по кору 9 световода 8 и далее на меандровую структуру 10.The module works as follows. The optical radiation of the source passes through the fiber and in the optical outlet 6 enters the optical registration module 4 along the cortex 9 of the optical fiber 8 and then to the meander structure 10.

Claims (1)

Сверхпроводниковый однофотонный детектор представляет собой оптический модуль на базе оптической розетки FC и включает криогенный предусилитель и сменный модуль с отрезком оптической ферулы с одномодовым волокном, при этом на боковых поверхностях модуля сформированы золотые контактные площадки, а на коре оптического волокна сформированы чувствительные слои из сверхпроводника в виде меандровой структуры, причем меандровая структура представляет собой два меандра, ориентированных ортогонально друг другу и разделенных слоем диэлектрика толщиной, равной четверти длины волны.The superconducting single-photon detector is an optical module based on an FC optical socket and includes a cryogenic preamplifier and a replaceable module with a segment of an optical ferula with a single-mode fiber, while gold contact pads are formed on the side surfaces of the module and sensitive layers of the superconductor are formed in the form of a superconductor in the form a meander structure, the meander structure being two meanders oriented orthogonally to each other and separated by a dielectric layer ika thickness equal to a quarter of the wavelength.
RU2017117185U 2017-05-17 2017-05-17 Fiber-optic superconducting single-photon detector RU176010U1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2017117185U RU176010U1 (en) 2017-05-17 2017-05-17 Fiber-optic superconducting single-photon detector

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2017117185U RU176010U1 (en) 2017-05-17 2017-05-17 Fiber-optic superconducting single-photon detector

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU176010U1 true RU176010U1 (en) 2017-12-26

Family

ID=63853596

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2017117185U RU176010U1 (en) 2017-05-17 2017-05-17 Fiber-optic superconducting single-photon detector

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU176010U1 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114866227A (en) * 2022-03-17 2022-08-05 新华三信息安全技术有限公司 Quantum key distribution method and device
RU217971U1 (en) * 2022-06-08 2023-04-27 Виктор Баирович Лубсанов Low Power Broadband Microwave Superconducting Detector

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7049593B2 (en) * 2000-07-28 2006-05-23 Credence Systems Corporation Superconducting single photon detector
RU2346357C1 (en) * 2007-06-26 2009-02-10 Закрытое акционерное общество "Сверхпроводниковые нанотехнологии" (ЗАО "СКОНТЕЛ") Superconducting photon-counting detector for visible and infrared spectral range
US20140353476A1 (en) * 2011-12-23 2014-12-04 Technion Research & Development Foundation Ltd. Fiber optical superconducting nanowire single photon detector
RU2539771C1 (en) * 2013-09-10 2015-01-27 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский университет "МИЭТ" (МИЭТ) Fabrication of semiconductor detector
RU2581405C1 (en) * 2015-02-05 2016-04-20 Федеральное государственное бюджетное учреждение "Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт" Method of producing superconducting multiple-section optical detectors
US9500519B2 (en) * 2012-12-03 2016-11-22 Yale University Superconducting single photon detector

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7049593B2 (en) * 2000-07-28 2006-05-23 Credence Systems Corporation Superconducting single photon detector
RU2346357C1 (en) * 2007-06-26 2009-02-10 Закрытое акционерное общество "Сверхпроводниковые нанотехнологии" (ЗАО "СКОНТЕЛ") Superconducting photon-counting detector for visible and infrared spectral range
US20140353476A1 (en) * 2011-12-23 2014-12-04 Technion Research & Development Foundation Ltd. Fiber optical superconducting nanowire single photon detector
US9500519B2 (en) * 2012-12-03 2016-11-22 Yale University Superconducting single photon detector
RU2539771C1 (en) * 2013-09-10 2015-01-27 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский университет "МИЭТ" (МИЭТ) Fabrication of semiconductor detector
RU2581405C1 (en) * 2015-02-05 2016-04-20 Федеральное государственное бюджетное учреждение "Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт" Method of producing superconducting multiple-section optical detectors

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114866227A (en) * 2022-03-17 2022-08-05 新华三信息安全技术有限公司 Quantum key distribution method and device
RU217971U1 (en) * 2022-06-08 2023-04-27 Виктор Баирович Лубсанов Low Power Broadband Microwave Superconducting Detector
RU2801961C1 (en) * 2022-12-28 2023-08-21 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС" Active superconducting detector

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7763854B2 (en) High time-resolution ultrasensitive optical detector, using grating coupling
US7718964B2 (en) High time-resolution ultrasensitive optical sensor using a planar waveguide leakage mode, and methods for making same
US7791065B2 (en) Ultrasensitive optical detector having a large temporal resolution and using a waveguide, and methods for producing said detector
US9726536B2 (en) Fiber optical superconducting nanowire single photon detector
JP6161554B2 (en) Electromagnetic wave detector and electromagnetic wave detector array
JP5470654B2 (en) Mounting method of superconducting single photon detector
JP2015045629A5 (en)
GB2530500A (en) Photon detector
JP2008071908A (en) Superconductive photodetector
US11585693B2 (en) Single photon detector device
CN106129141B (en) Superconducting nano-wire single-photon detector prepared by micro-nano fiber surface
Dai et al. All-fiber device for single-photon detection
RU176010U1 (en) Fiber-optic superconducting single-photon detector
Gu et al. Fractal-inspired, polarization-insensitive superconducting nanowire single-photon detectors
EP2902758A1 (en) Photon radiation detector comprising an array of antennas and a spiral resistive support
US10551244B2 (en) Photon detector
Korneev et al. Recent nanowire superconducting single-photon detector optimization for practical applications
Miki et al. Characterization of coupling efficiency and absorption coefficient for fiber-coupled SNSPD with an optical cavity
JP5344393B2 (en) Mounting method of superconducting single photon detector components
JP6206837B2 (en) Superconducting single photon detector and structure determination method for its light receiving wiring
Heath et al. A tunable fiber-coupled optical cavity for agile enhancement of detector absorption
CN113193105A (en) Superconducting nanowire single photon detector based on topology optimization
JP5317198B2 (en) Grating coupler
Höpker et al. Integrated transition edge sensors on lithium niobate waveguides
US20230232724A1 (en) Fast Reliable Superconducting Single-Photon Detector and Cost Effective and High Yield Method for Manufacturing Such

Legal Events

Date Code Title Description
PD9K Change of name of utility model owner
MM9K Utility model has become invalid (non-payment of fees)

Effective date: 20190518

NF9K Utility model reinstated

Effective date: 20200915