Nothing Special   »   [go: up one dir, main page]

PL230547B1 - Piec prozniowy hybrydowy - Google Patents

Piec prozniowy hybrydowy

Info

Publication number
PL230547B1
PL230547B1 PL412157A PL41215715A PL230547B1 PL 230547 B1 PL230547 B1 PL 230547B1 PL 412157 A PL412157 A PL 412157A PL 41215715 A PL41215715 A PL 41215715A PL 230547 B1 PL230547 B1 PL 230547B1
Authority
PL
Poland
Prior art keywords
heating chamber
pvd
cathodes
vacuum
furnace according
Prior art date
Application number
PL412157A
Other languages
English (en)
Other versions
PL412157A1 (pl
Inventor
Bogdan FLISIEWICZ
Bogdan Flisiewicz
Maciej Cygański
Maciej Cyganski
Jan Walkowicz
Witold Gulbiński
Witold Gulbinski
Original Assignee
Amp Spolka Z Ograniczona Odpowiedzialnoscia
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Amp Spolka Z Ograniczona Odpowiedzialnoscia filed Critical Amp Spolka Z Ograniczona Odpowiedzialnoscia
Priority to PL412157A priority Critical patent/PL230547B1/pl
Priority to EP16163235.1A priority patent/EP3088561B1/en
Priority to PL16163235T priority patent/PL3088561T3/pl
Publication of PL412157A1 publication Critical patent/PL412157A1/pl
Publication of PL230547B1 publication Critical patent/PL230547B1/pl

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/50Substrate holders
    • C23C14/505Substrate holders for rotation of the substrates
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/54Controlling or regulating the coating process
    • C23C14/541Heating or cooling of the substrates
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/58After-treatment
    • C23C14/5846Reactive treatment
    • C23C14/586Nitriding

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Furnace Details (AREA)
  • Muffle Furnaces And Rotary Kilns (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Description

Opis wynalazku
Przedmiotem wynalazku jest piec próżniowy hybrydowy, znajdujący zastosowanie zwłaszcza przy termochemicznej obróbce metali i nanoszeniu na obrabiane detale powłok w warunkach próżni z fazy gazowej PVD.
Znany jest, na przykład z opisu patentowego US5363400 i jego odpowiednika DE/EP 0489659 T1, piec do nanoszenia na metalowe detale powłok metali, względnie stopów, w warunkach próżni z fazy gazowej z katod źródeł PVD, posiadający próżnioszczelną obudowę, we wnętrzu której znajduje się komora robocza wykonana z materiału termoizolacyjnego, ograniczająca przestrzeń roboczą pieca, do której wkłada się przedmioty poddawane obróbce, które mogą być umieszczane na nieruchomym, odizolowanym elektrycznie od próżnioszczelnej obudowy stole roboczym wykonanym z materiału będącego przewodnikiem elektrycznym, podłączonym do źródła napięcia polaryzacji. Wnętrze komory połączone jest z układem pomp próżniowych oraz z układem dozowania gazu reaktywn ego, względnie neutralnego, którego cyrkulacja we wnętrzu pieca jest wymuszana wentylatorem. Podgrzewanie detali realizowane jest poprzez elementy grzejne oporowe zlokalizowane we wnętrzu komory roboczej, przy czym we wnętrzu komory roboczej znajduje się przynajmniej jedno źródło par metalu zlokalizowane w sąsiedztwie obrabianych detali.
Źródło par ma strukturę nośną w postaci rurokształtnej złączki, na której zamocowana jest katoda, wykonana z materiału, który ma być odparowywany i osadzany na obrabianych elementach, z izolowanym elektrycznie kołnierzem, wchodzącej w otwór w próżnioszczelnej obudowie pieca, oraz wyposażone jest w jarzmo z materiału izolacyjnego obejmujące rurokształtną złączkę, przez które przechodzi pręt będący przewodnikiem prądu przyłączony do katody, cewkę elektromagnetyczną zlokalizowaną w pobliżu katody i umieszczoną wokół pręta oraz w obieg chłodzenia wyposażony w przewód wlotowy czynnika chłodzącego o poprzecznym przelocie przez jarzmo. Obieg chłodzenia katody jest przy tym połączony z osiowym kanałem przez otwór w płycie w pobliżu katody, służący połączeniu osiowego kanału z przestrzenią pośrednią, znajdującą się między złączką a prętem. Z przestrzenią pośrednią połączony jest przechodzący przez jarzmo przewód wylotowy obiegu chłodzenia. Takie źródło par może mieć ruchomą elektrodę wyzwalającą wyładowanie łukowe na czołowej powierzchni katody. Źródło par może również być wyposażone w ekran elektrostatyczny, współosiowy z rurokształtną złączką i zlokalizowany pomiędzy jarzmem a tuleją, okalający ślizgowo katodę i umieszczony na potencjale pływającym.
Piec o takiej konstrukcji umożliwia prowadzenie procesów PVD oraz cieplnej i cieplnochemicznej obróbki, przy ciśnieniu rzędu 0,8 do 10 Pa w temperaturze z zakresu 400 * 1300°C, w atmosferze gazów obojętnych lub reaktywnych, dla szerokiego zakresu zastosowań. Obrabiany wsad jest w czasie procesu nieruchomy względem źródeł łukowych oraz może być polaryzowany ujemnie napięciem impulsowym o wartości kilkuset woltów względem obudowy próżniowej. Piec przystosowany jest do procesów różnego typu, mogących być prowadzonymi kolejno po sobie. Do najważniejszych niedogodności takiego pieca zaliczyć można zbyt wysokie ciśnienie końcowe obróbki, uniemożliwiające prowadzenie procesów osadzania z fazy gazowej z katodami PVD przy odpowiednim poziomie czystości. Jednocześnie źródła łukowe par zainstalowane są w taki sposób, że ich chłodzone katody umocowane są w otworach izolacji termicznej komory wysokotemperaturowej, co w sposób istotny zaburza jednorodność rozkładu temperatury w tej komorze przy obróbce wysokotemperaturowej, a chłodzone katody tych źródeł narażone są na kondensację zanieczyszczeń podczas takich procesów. Źródła łukowe par są przy tym narażone na działanie wysokiej temperatury podczas obróbki cieplnej i cieplno-chemicznej, a brak przesłon katod tych źródeł uniemożliwia ich oczyszczenie wyładowaniem łukowym przed rozpoczęciem właściwego procesu PVD. Dodatkową wadą jest nieruchomy stół, przez co niemożliwym staje się uzyskanie jednorodnej grubości wykonanej powłoki i jej jednorodnego składu chemicznego, szczególnie w przypadku nanoszenia powłok wieloskładnikowych i wielowarstwowych z kilku źródeł, przy dużej ilości przedmiotów obrabianych.
Celem wynalazku jest opracowanie takiej konstrukcji pieca próżniowego hybrydowego, która umożliwi prowadzenie zróżnicowanych procesów obróbki powierzchniowej detali metalowych bez konieczności każdorazowego przezbrajania oraz wyładunku lub przeładunku wsadu, i umożliwi skrócenie do minimum procesów technologicznych w prowadzonych procesach.
Istota wynalazku polega na tym, że piec ma katody PVD umieszczone w usytuowanych symetrycznie względem siebie kieszeniach obudowy próżniowo-ciśnieniowej, a zlokalizowana pomiędzy nimi komora grzejna z materiału termoizolacyjnego ma otwarte boki położone naprzeciw katod PVD,
PL 230 547 B1 przy czym wewnątrz komory grzejnej usytuowany jest obrotowy stół wyposażony w indywidualne gniazda i/lub uchwyty na obrotowych wspornikach o osiach obrotu równoległych do osi obrotu stołu. Jednocześnie między kieszeniami katod PVD a otwartymi bokami komory grzejnej umieszczone są ruchome przesłony.
Najkorzystniejsze położenie katod PVD względem detali obrabianych uzyskuje się wówczas, gdy są one umieszczone w kieszeniach przesuwnie wzdłuż osi wzdłużnej kieszeni, a więc mogą być od obrabianych detali oddalane względnie przybliżane.
Korzystnie, ruchome przesłony mają budowę żaluzjową.
Najlepiej jest, gdy przesłony zabudowane są w obudowie próżniowo-ciśnieniowej przesuwnie wzdłuż jej osi wzdłużnej na odcinkach pomiędzy katodami PVD a komorą grzejną, a przy ich zewnętrznym obrysie usytuowana jest chłodnica.
Pożądanym jest takie wykonanie pieca do wykorzystania w procesie azotowania plazmowego, w którym przestrzeń wewnętrzna komory grzejnej otoczona jest ekranem siatkowym podłączonym do źródła wysokiego napięcia, odizolowanym od komory grzejnej i/lub obudowy próżniowo-ciśnieniowej, a w górnej części komory grzejnej znajduje się wentylator i szczelina wylotowa gazów technologicznych.
Celowym jest wykonanie pieca, w którym stół wraz z obrotowymi wspornikami oraz gniazdami i/lub uchwytami posadowiony jest w komorze grzejnej wysuwnie.
W innym korzystnym wykonaniu obrotowe wsporniki gniazd i/lub uchwytów są zamocowane do stołu wzdłuż zarysu okręgu, którego centrum stanowi oś obrotu stołu, przy czym na obrotowych wspornikach rozmieszczone są gniazda i/lub uchwyty z zaczepami do mocowania detali obrabianych.
Również korzystnym jest, gdy obrotowe wsporniki i obrotowy stół połączone są z przekładnią planetarną.
Szczególnie przydatna jest przy tym przekładnia planetarna o tak dobranych parametrach, że każdy obrotowy wspornik wykonuje co najmniej jeden pełny obrót dookoła swej osi obrotu na szerokości otwarcia kieszeni z katodami PVD w trakcie obrotu stołu wokół jego osi obrotu.
Zasadniczą zaletą pieca według wynalazku jest możliwość prowadzenia w nim kolejno procesów technologicznych, bez konieczności wyjmowania wsadu z pieca i wykorzystywania odrębnych pieców do wykonywania obróbki tych samych detali. W procesach wysokotemperaturowych przesłony o budowie żaluzjowej katod PVD zabezpieczają je przed przegrzaniem, a także przed kondensacją zanieczyszczeń, oraz umożliwiają oczyszczanie ich powierzchni przed procesem PVD. Jest to możliwe dzięki odpowiedniemu doborowi głębokości kieszeni, która umożliwia pracę źródła przy zamkniętej przesłonie. Sterowanie przesłonami jest realizowane przez siłowniki hydrauliczne odpowiednio zaprogramowanym sterownikiem. Ponieważ w komorze grzejnej stół umieszczony jest obrotowo, a osadzone na nim wsporniki do mocowania obrabianych detali, w ich gniazdach i/lub uchwytach, są zamocowane do stołu również obrotowo, wszystkie obrabiane detale mają takie same warunki obróbki w danym procesie. Obrotowo zamocowany stół jest izolowany elektrycznie za pomocą izolatorów od obudowy próżniowo-ciśnieniowej i nie posiada kontaktu z komorą grzejną, co umożliwia niezależną polaryzację elektryczną wsporników i elementów nośnych. Napięcie polaryzacji jest przyłączane automatycznie siłownikiem uruchamianym przez sterownik.
Zabudowanie przesłon w obudowie próżniowo-ciśnieniowej przesuwnie wzdłuż jej osi wzdłużnej, z chłodnicą usytuowaną przy ich zewnętrznym obrysie, pozwala na płynną regulację chłodzenia wnętrza komory grzejnej. Z kolei wentylator w górnej części komory grzejnej i szczelina wylotowa zapewniają równomierny przepływ gazów technologicznych przez komorę grzejną. Wysuwne posadowienie stołu ułatwia manipulowanie obrabianymi przedmiotami, a specyficzne zamocowanie do stołu wsporników gniazd i/lub uchwytów ujednolica warunki obróbki detali we wnętrzu komory grzejnej.
Wynalazek został bliżej objaśniony w przykładzie wykonania na rysunku, gdzie fig. 1 przedstawia piec próżniowy hybrydowy w uproszczonym przekroju poprzecznym, a fig. 2 - piec w uproszczonym przekroju podłużnym.
Piec próżniowy hybrydowy z walcową obudową próżniowo-ciśnieniową 1 (fig. 1, fig. 2) o poziomej osi wzdłużnej O1 wyposażony jest w prostopadłościenną, wykonaną z materiału termoizolacyjnego komorę grzejną 2 o kształcie prostopadłościanu. Obudowa próżniowo-ciśnieniowa 1 przyłączona jest do układu pompowego 3, zapewniającego uzyskanie dynamicznej próżni, lepszej niż 10-2 Pa dla wsadu o temperaturze pokojowej. Obudowa próżniowo-ciśnieniowa 1 posiada zlokalizowane naprzeciw siebie symetryczne kieszenie 4, w których umieszczone są parami katody PVD 5, przy czym komora grzejna 2 posadowiona jest pomiędzy tymi kieszeniami 4 i od strony katod PVD 5 ma otwarte
PL 230 547 B1 boki 6. Katody PVD 5 zamocowane są w kieszeniach 4 przesuwnie wzdłuż ich osi O2, przy czym pomiędzy katodami PVD 5 a komorą grzejną 2 usytuowane są przesłony 7 o budowie żaluzjowej. Przesłony 7 są zamocowane przesuwnie wzdłuż osi wzdłużnej 01. Przy zewnętrznym obrysie przesłony 7 usytuowana jest chłodnica 8 (fig. 2). We wnętrzu komory grzejnej 2 umieszczony jest obrotowy stół 9 napędzany z napędu 10 za pośrednictwem przekładni planetarnej 11, przy czym jest on wyposażony w rozmieszczone na jego obwodzie obrotowe wsporniki 12 posiadające indywidualne gniazda i/lub uchwyty 13 na obrabiane detale. Obrotowe wsporniki 12 są również napędzane przez przekładnię planetarną 11, a ich osie obrotu O3 są równoległe do osi obrotu O4 stołu 9. Przekładnia planetarna 11 ma takie przełożenia, że każdy obrotowy wspornik 12 wykonuje co najmniej jeden pełny obrót dookoła swej osi obrotu 03 na szerokości otwarcia komory 4 z katodami PVD 5 w trakcie obrotu stołu 9 wokół jego osi obrotu 04. Przestrzeń wewnętrzna komory grzejnej 2 może zawierać podłączony do wysokiego napięcia i izolowany elektrycznie od stołu 9 oraz obudowy próżniowo- ciśnieniowej ekran siatkowy 14 wykonany ze stali żaroodpornej, okalający obrotowy stół 9 z ruchomą ścianką przednią od strony drzwi 15 komory grzejnej 2, co umożliwia wysuwanie wsadu bez demontażu ekranu siatkowego 14. Ściany boczne ekranu siatkowego 14 są powierzchniami aktywnymi i pełnią rolę katody wyładowania jarzeniowego. W górnej części komory grzejnej 2 zabudowany jest wentylator 16 napędzany napędem 17, a w stropie komory grzejnej 2 znajduje się szczelina 18 będąca otworem wylotowym gazów technologicznych, zlokalizowana w osi przestrzeni roboczej wsadu. Temperatura wsadu mierzona jest termoparami 19, a do zasilania komory grzejnej 2 w gazy technologiczne, na przykład azot i wodór, służą zawory 20, 21, przy czym gazy podawane są kolektorami gazowymi 22. Do nagrzewania wsadu służą elementy grzejne 23, 24.

Claims (8)

1. Piec próżniowy hybrydowy, posiadający uszczelnioną obudowę próżniowo-ciśnieniową wyposażoną w kolektory dopływowe i odpływowe gazów technologicznych, elementy grzejne, elementy pomiarowe temperatury i ciśnienia oraz w katody PVD umieszczone naprzeciw siebie, między którymi usytuowana jest komora grzejna ze stołem będącym nośnikiem uchwytów i/lub gniazd do mocowania obrabianych detali, połączony z pompą próżniową, znamienny tym, że katody PVD (5) umieszczone są w usytuowanych symetrycznie względem siebie kieszeniach (4) obudowy próżniowo-ciśnieniowej (1), a zlokalizowana między nimi komora grzejna (2) z materiału termoizolacyjnego ma otwarte boki (6) położone naprzeciw katod PVD (5) i wewnątrz niej usytuowany jest obrotowy stół (9) wyposażony w indywidualne gniazda i /lub uchwyty (13) na obrotowych wspornikach (12) o osiach obrotu (O3) równoległych do osi obrotu (O4) stołu (9), przy czym pomiędzy kieszeniami (4) katod PVD (5) a otwartymi bokami (6) komory grzejnej (2) umieszczone są ruchome przesłony (7).
2. Piec według zastrz. 1, znamienny tym, że katody PVD (5) umieszczone są w kieszeniach (4) przesuwnie wzdłuż ich osi wzdłużnych (O2).
3. Piec według zastrz. 1, znamienny tym, że przesłony (7) mają budowę żaluzjową.
4. Piec według zastrz. 3, znamienny tym, że przesłony (7) zabudowane są w obudowie próżniowo-ciśnieniowej (1) przesuwnie wzdłuż osi wzdłużnej (O1) między katodami PVD (5) a komorą grzejną (2), zaś przy ich zewnętrznym obrysie usytuowana jest chłodnica (8).
5. Piec według zastrz. 1, znamienny tym, że przestrzeń wewnętrzna komory grzejnej (2) otoczona jest ekranem siatkowym (14) podłączonym do źródła wysokiego napięcia, odizolowanym elektrycznie od komory grzejnej (2) i/lub obudowy próżniowo-ciśnieniowej (1), a w górnej części komory grzejnej (2) znajduje się wentylator (16) i szczelina wylotowa (18) gazów technologicznych.
6. Piec według zastrz. 1, znamienny tym, że stół (9) wraz z obrotowymi wspornikami (12) oraz gniazdami i/lub uchwytami (13) posadowiony jest w komorze grzejnej (2) wysuwnie.
7. Piec według zastrz. 1, znamienny tym, że obrotowe wsporniki (12) gniazd i / lub uchwytów (13) są zamocowane do stołu (9) wzdłuż zarysu okręgu, którego centrum stanowi oś obrotu (O4) stołu (9), przy czym na obrotowych wspornikach (12) rozmieszczone są gniazda i / lub uchwyty (13) z zaczepami do mocowania detali obrabianych.
8. Piec według zastrz. 1 albo 7, znamienny tym, że obrotowe wsporniki (12) i obrotowy stół (9) połączone są z przekładnią planetarną (11).
PL412157A 2015-04-29 2015-04-29 Piec prozniowy hybrydowy PL230547B1 (pl)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL412157A PL230547B1 (pl) 2015-04-29 2015-04-29 Piec prozniowy hybrydowy
EP16163235.1A EP3088561B1 (en) 2015-04-29 2016-03-31 Hybrid vacuum furnace
PL16163235T PL3088561T3 (pl) 2015-04-29 2016-03-31 Piec próżniowy hybrydowy

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL412157A PL230547B1 (pl) 2015-04-29 2015-04-29 Piec prozniowy hybrydowy

Publications (2)

Publication Number Publication Date
PL412157A1 PL412157A1 (pl) 2016-11-07
PL230547B1 true PL230547B1 (pl) 2018-11-30

Family

ID=56408962

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PL412157A PL230547B1 (pl) 2015-04-29 2015-04-29 Piec prozniowy hybrydowy
PL16163235T PL3088561T3 (pl) 2015-04-29 2016-03-31 Piec próżniowy hybrydowy

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PL16163235T PL3088561T3 (pl) 2015-04-29 2016-03-31 Piec próżniowy hybrydowy

Country Status (2)

Country Link
EP (1) EP3088561B1 (pl)
PL (2) PL230547B1 (pl)

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2670218B1 (fr) 1990-12-06 1993-02-05 Innovatique Sa Procede de traitement de metaux par depot de matiere, et pour la mise en óoeuvre dudit procede.
DE4443740B4 (de) * 1994-12-08 2005-09-15 W. Blösch AG Vorrichtung zum Beschichten von Substraten
JP4396885B2 (ja) * 2004-01-28 2010-01-13 株式会社不二越 マグネトロンスパッタ装置

Also Published As

Publication number Publication date
EP3088561B1 (en) 2019-05-01
EP3088561A1 (en) 2016-11-02
PL412157A1 (pl) 2016-11-07
PL3088561T3 (pl) 2019-10-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6474785B2 (ja) 被処理部材を熱化学的に強化するプロセスおよび装置
Boxman et al. Vacuum arc deposition devices
FI85386B (fi) Vakuumugn foer vaermebehandling av metallkroppar.
KR101461738B1 (ko) 가열장치 및 이를 포함하는 코팅 시스템
JP5384002B2 (ja) 成膜装置及び成膜方法
CN109338292A (zh) 一种管件内壁真空镀膜装置及生产工艺
JP2009531545A (ja) コーティング装置
CN101122004A (zh) 一种新型真空表面强化技术和设备
PL230547B1 (pl) Piec prozniowy hybrydowy
JP2015183907A (ja) 熱処理炉
JP2006299378A (ja) 熱処理装置と蒸着処理装置の複合装置
JP2009108382A (ja) スパッタリング用ターゲット装置及びスパッタリング装置
US3846574A (en) Method of heating objects and device for the performance of the method
KR20100105128A (ko) 다목적 플라즈마 열처리 장치
RU2816980C1 (ru) Устройство для вакуумного нанесения упрочняющего покрытия на поверхность изделий
JP2017083150A (ja) 加熱炉及び加熱方法
PL145998B1 (en) Apparatus for carrying out heat treatment or magnetic and heat treatment of articles made of metals and their alloys
JP7387969B2 (ja) 熱処理装置
Maiti et al. An evaporation system for film deposition using electron beam sources
KR101603787B1 (ko) 표면 처리 장치 및 표면 처리 방법
ES2855155T3 (es) Conjunto de cátodo de pulverización catódica con magnetrón para un aparato de pulverización catódica con magnetrón desequilibrado
US9676010B2 (en) Installation and process for the treatment of metallic pieces by a plasma reactor
RU2627820C1 (ru) Узел катода магнетронного распылителя
BR122022001788B1 (pt) Processo e reator de plasma para o tratamento termoquímico da superfície de peças metálicas
JP2021085623A (ja) 熱処理炉