Nothing Special   »   [go: up one dir, main page]

LT6404B - Lazerinis rastrų formavimo įrenginys - Google Patents

Lazerinis rastrų formavimo įrenginys Download PDF

Info

Publication number
LT6404B
LT6404B LT2015093A LT2015093A LT6404B LT 6404 B LT6404 B LT 6404B LT 2015093 A LT2015093 A LT 2015093A LT 2015093 A LT2015093 A LT 2015093A LT 6404 B LT6404 B LT 6404B
Authority
LT
Lithuania
Prior art keywords
raster
laser
base
displacement
forming apparatus
Prior art date
Application number
LT2015093A
Other languages
English (en)
Other versions
LT2015093A (lt
Inventor
Marcelis Algimantas BARAKAUSKAS
Albinas Kasparaitis
Rimantas LAZDINAS
EKÅ TELIS Agnius Å
Original Assignee
Uab Precizika Metrology
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Uab Precizika Metrology filed Critical Uab Precizika Metrology
Priority to LT2015093A priority Critical patent/LT6404B/lt
Publication of LT2015093A publication Critical patent/LT2015093A/lt
Publication of LT6404B publication Critical patent/LT6404B/lt

Links

Landscapes

  • Charge And Discharge Circuits For Batteries Or The Like (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

Lazerinis rastrų formavimo įrenginys taikomas tikslių linijinių matavimo skalių gamybai lazeriniu būdu. Įrenginys pasižymi tuo, kad rastrų padėties detektavimo įtaisai yra sumontuoti ant įrenginio pagrindo atžvilgiu paslankių mechanizmų, kurie turi precizines jų poslinkio pagrindo atžvilgiu matavimo sistemas, jų poslinkio pavarų ir fiksavimo korpuso atžvilgiu užduotoje padėtyje mechanizmus.

Description

Išradimas yra susijęs su linijinių matavimo skalių gamyba. Konkrečiai jis gali būti taikomas precizinių metalinių rastrinių liniuočių gamybai lazeriniu būdu.
Yra žinomi skalių brūkšnių formavimo įrenginiai, turintys lazerinę brūkšnių formavimo statmenai juostos judesiui įrangą (US 4406939).
Šių įrenginių trūkumas yra tas, kad formuojamo brūkšnio pozicija nevaldoma pagal juostos padėtį lazerio spindulio atžvilgiu ir nekontroliuojamas vidinių ir išorinių temperatūros trikdžių terminis poveikis formuojamos skalės paklaidai. Todėl toki įrenginiai gali būti taikomi tik netikslių rastrinių struktūrų formavimui.
Artimiausiu pagal techninę prasmę yra lazerinis skalių formavimo įrenginys, turintis plieno juostos transportavimo ir jos pastovaus įtempimo palaikymo mechanizmus, rastrų formavimo ant juostos lazerinę sistemą, juostos poslinkio matavimo sistemą su kampo keitikliu, du arba daugiau pastoviu atstumu tarpusavyje sumontuotus rastrų padėties detektavimo įtaisus, valdiklį Valdikliu pagal rastrų padėties detektavimo įtaisų rodmenis yra valdomas lazerio spindulio aktyvinimas (EP 2 390 045 A2)..
Šių lazerinių rastrų formavimo įrenginių trūkumas yra tas, kad matuojant skalės paklaidas keliais fiksuotose padėtyse sumontuotais mikroskopais neužtikrinamas aukštas suformuotos skalės paklaidos matavimo tikslumas, nes atstumas tarp mikroskopų ašių yra žymiai didesnis negu atstumas tarp formuojamų rastrinių elementų. Todėl negali būti nustatytos tikslios korekcinės reikšmės lazerio spindulio aktyvinimo valdymui. Ši sistema geriau yra tinkama skalių paklaidų, atsirandančių dėl įrenginio vidinių ir išorinių trikdžių terminių poveikio kompensacijai.
Šio išradimo tikslas yra formuojamų rastrų tikslumo padidinimas.
Tikslas yra pasiekiamas tuo, kad lazeriniame rastrų formavimo įrenginyje, sudarytame iš pagrindo, plieno juostos transportavimo ir jos pastovaus įtempimo mechanizmo, lazerinės rastrų formavimo ant juostos sistemos, juostos poslinkio matavimo sistemos, valdančios lazerio spindulio aktyvavimą, du rastrų padėties detektavimo įtaisus, lazerio spindulio aktyvinimo valdiklį, rastrų padėties detektavimo įtaisai yra sumontuoti ant įrenginio pagrindo atžvilgiu paslankių mechanizmų, kurie turi precizines jų poslinkio pagrindo atžvilgiu matavimo sistemas, jų poslinkio pavarų ir fiksavimo korpuso atžvilgiu užduotoje padėtyje mechanizmus.
Išradimas iliustruojamas brėžiniu, kuriame fig.1 schemiškai parodytas lazerinis skalių formavimo įrenginys.
Lazerinis skalių formavimo įrenginys sudarytas iš pagrindo 1, plieno juostos 2, ant kurios formuojamas rastras, juostos transportavimo ir įtempimo mechanizmo 3,4, juostos poslinkio matavimo sistemos 5, lazerio 6, lazerio spindulio kreipimo sistemos 7, juostos kreipimo mechanizmo 8, ant pagrindo pritvirtintos kreipiamosios 9, jos atžvilgiu paslankių karietėlių su guoliais 10,11, prie karietėlių 10,11 pritvirtintų rastrinių elementų padėties detektavimo įtaisų 12, 13 ir karietėlių poslinkio matavimo sistemų galvučių 14, 15, prie korpuso pritvirtintos karietėlių 10, 11 poslinkio matavimo sistemos skalės 16 ir karietėlių 10,11 poslinkio pavarų mechanizmų 17,18.
Lazerinis skalių formavimo įrenginys veikia taip.
Plieno juosta yra transportuojama pagrindo ir ant jo sumontuotų junginių atžvilgiu. Tuo metu lazerine sistema ant jos formuojama rastrinė struktūra iki pirmasis suformuotas rastro elementas sutampa su rastrinių elementų padėties detektavimo įtaiso 12, pavyzdžiui, mikroskopo su CCD kamera, optine ašimi, esančia padėtyje B. Juosta stabdoma ir fiksuojama šioje padėtyje. Karietėle 10 mikroskopas 12 perslenkamas išilgai kreipiamosios 12 iki padėties A ir fiksuojamas šioje padėtyje. Perslinkimas atliekamas mechanizmu 17. Karietėlės perslinkimo metu linijinių poslinkių matavimo sistema, sudaryta iš linijinės skalės 16 ir matavimo galvutės 14, matuojamas karietėlės poslinkis ir mikroskopu 12 detektuojama suformuotų rastrų padėtis. Pagal mikroskopų ir linijinių poslinkių matavimo sistemos rodmenis nustatoma kalibruotų brūkšnių padėtis pirmojo brūkšnio atžvilgiu. Jas sulyginant su nominaliaisiais dydžiais randama skalės paklaida. Po to karietėle 11 mikroskopas 13 perstatomas į B padėtį taip, kad jo optinė ašis sutaptų su pirmuoju suformuoto rastro elementu. Karietėle fiksuojama šioje padėtyje.
Tokiu būdu kalibravus suformuoto rastro paklaidas atkarpoje tarp padėčių A ir B formuojamas rastrinė struktūra formuojama toliau ir mikroskopais 12 ir 13 detektuojamos rastrų elementų, praslenkančių pro jų optines ašis, padėtys. Įvertinant jų rodmenis ir pro mikroskopą 13 praslenkančio rastro elemento jau žinomą rastrinių elementų padėties paklaidą, surandama pro mikroskopą 12 praslenkančių rastro elementų paklaida. Tokiu būdu tiesiogiai sulyginant su precizinės matavimo sistemos rodmenimis yra kalibruojamas tik tam tikras bazinis skalės ilgis. Tolimesnių rastrinių elementų padėties paklaida nustatoma įvertinant nustatytą minėtu būdu prieš juos esančių rastrinių elementų padėties paklaidą. Tokiu būdu yra pasiekiamas aukštas formuojamos rastrinės struktūros paklaidų matavimo tikslumas.
Įvertinant aukštu tikslumu nustatytas skalės paklaidas yra atliekama lazerio spindulio aktyvavimo valdymo duomenų korekcija ir taip padidinamas formuojamos rastrinės struktūros tikslumas.

Claims (1)

  1. Išradimo apibrėžtis
    1. Lazerinis rastrų formavimo įrenginys, sudarytas iš bazės, plieno juostos traukimo ir jos pastovaus įtempimo mechanizmo, lazerinės rastrų formavimo ant juostos sistemos, juostos poslinkio matavimo sistemos, valdančios lazerio spindulio aktyvavimą, du rastrų padėties detektavimo įtaisus, besiskiriantis tuo, kad rastrų elementų padėties detektavimo įtaisai yra sumontuoti ant įrenginio bazės atžvilgiu paslankių karietėlių, kurios turi precizines jų poslinkio pagrindo atžvilgiu matavimo sistemas, jų poslinkio ir fiksavimo užduotoje padėtyje bazės atžvilgiu mechanizmus.
LT2015093A 2015-11-02 2015-11-02 Lazerinis rastrų formavimo įrenginys LT6404B (lt)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
LT2015093A LT6404B (lt) 2015-11-02 2015-11-02 Lazerinis rastrų formavimo įrenginys

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
LT2015093A LT6404B (lt) 2015-11-02 2015-11-02 Lazerinis rastrų formavimo įrenginys

Publications (2)

Publication Number Publication Date
LT2015093A LT2015093A (lt) 2017-05-10
LT6404B true LT6404B (lt) 2017-06-26

Family

ID=58667387

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
LT2015093A LT6404B (lt) 2015-11-02 2015-11-02 Lazerinis rastrų formavimo įrenginys

Country Status (1)

Country Link
LT (1) LT6404B (lt)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4406939A (en) 1980-09-24 1983-09-27 Siemens Aktiengesellschaft Method for the manufacture of a code disk for optical incremental shaft encoders and absolute shaft encoders
EP2390045A2 (en) 2002-01-18 2011-11-30 Renishaw Plc. Method and apparatus for laser marking an object

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4406939A (en) 1980-09-24 1983-09-27 Siemens Aktiengesellschaft Method for the manufacture of a code disk for optical incremental shaft encoders and absolute shaft encoders
EP2390045A2 (en) 2002-01-18 2011-11-30 Renishaw Plc. Method and apparatus for laser marking an object

Also Published As

Publication number Publication date
LT2015093A (lt) 2017-05-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103890540B (zh) 厚度测量系统以及厚度测量方法
WO2013174680A3 (en) Adjustment device and mask inspection device with such an adjustment device
US9372073B2 (en) Inner diameter measuring device
CN104215181B (zh) 一种消除阿贝误差的大长度激光干涉测量系统
JP2000258153A (ja) 平面平坦度測定装置
JP2008064577A (ja) ノギス
US8924176B2 (en) Industrial machine
US9627173B2 (en) Stage device and charged particle beam apparatus using the stage device
KR20150058078A (ko) 굽힘 기계 내에서 가공물의 굽힘 반경 및 전진을 측정하기 위한 측정 유닛
CN207197480U (zh) 一种基于气浮平台的位移传感器校准装置
US8079154B1 (en) Apparatus and method for measuring curvature of tubes
JP2016166873A (ja) 形状計測装置、加工装置及び形状計測装置の校正方法
JP6611177B2 (ja) 形状計測装置及び加工装置
JP2009281768A (ja) 測定装置
JP2010145340A (ja) 大型部品の寸法測定装置および寸法測定方法
KR101817132B1 (ko) 간섭계와 영상을 이용한 정밀 측정 시스템
LT6404B (lt) Lazerinis rastrų formavimo įrenginys
CN204882426U (zh) 一种金属材料线膨胀系数测量仪
CN105091710A (zh) 一种检测坩埚内宽的方法及装置
KR200479321Y1 (ko) 대형길이 측정장치
TWM462360U (zh) 垂直軸之檢測裝置
CN202057310U (zh) 用于深腔盲孔测量的双远心内窥成像装置
ITRN20120029A1 (it) Macchina e metodo di misurazione ottica
KR20160083221A (ko) 선형 위치 결정 장치 및 이의 오차 보상 방법
JP2008286598A (ja) 追尾式レーザ干渉計の波長推定方法

Legal Events

Date Code Title Description
BB1A Patent application published

Effective date: 20170510

FG9A Patent granted

Effective date: 20170626

MM9A Lapsed patents

Effective date: 20201102