KR970072133A - 반도체 제조 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 장치를 제조하는 데 사용되는 약액을 공급하는 반도체 제조 장치에 관한 것으로, 반도체 장치를 제조하는 공정 챔버와, 상기 공정 챔버로 약액을 공급하는 공급 수단과, 상기 공급된 약액을 상기 공정 챔버로 제공하는 공급 라인을 구비한 반도체 제조 장치에 있어서, 상기 약액의 공급을 제어하며 모니터링하는 중앙 모니터링 수단과, 상기 공급 라인을 통하여 흐르는 약액을 일부 추출하여 파티클의 수를 계수하고, 이에 대응하는 데이타를 상기 중앙 모니터링 수단으로 출력하는 파티클 계수 수단을 포함하고 있다. 이와같은 장치에 의해서, 약액용기에서 공정챔버로 공급되는 약액내의 파티클의 수를 계수할 수 있고, 따라서, 파티클이 다량 함유된 약액이 공정챔버로 공급되는 것을 방지할 수 있다.

Description

반도체 제조 장치

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제2도는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 제조 장치의 구성을 개략적으로 보여주고 있는 도면.

Claims (2)

1. 반도체 장치를 제조하는 공정 챔버(14)와, 상기 공정 챔버(14)로 약액을 공급하는 공급 수단(18)과, 상기 공급된 약액을 상기 공정 챔버(14)로 제공하는 약액 공급 라인(12)을 구비한 반도체 제조 장치에 있어서, 상기 약액의 공급을 제어하며 모니터링하는 중앙 모니터링 수단(24)과, 상기 약액 공급 라인(12)을 통하여 흐르는 약액을 일부 추출하여 파티클의 수를 계수하고, 이에 대응하는 데이타를 상기 중앙 모니터링 수단(24)으로 출력하는 파티클 계수 수단(22)을 포함하여서 상기 데이타가 설정치 이상일때 상기 중앙 모니터링 수단(24)에 의하여 상기 공급 수단(18)이 제어되어 약액의 공급을 차단하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장치.
2. 반도체 제조 공정에서 사용되는 약액이 저장되어 있는 약액용기(10);와 상기 약액용기(10)로부터 약액을 제공받아 공정챔버(14)로 공급하는 약액공급라인(12)과; 상기 약액공급라인(12)상에 설치되어 상기 약액에 함유된 파티클을 걸러주는 필터(16)와, 상기 약액공급라인(12)의 상기 필터(16)와 상기 공급챔버(4)사이에 설치되어 상기 공정챔버(14)로 공급되는 약액공급량을 조절하는 공급밸브(18)와, 상기 공급밸브(18)와 공정챔버(14) 사이의 상기 약액공급라인(12)상에 설치되어 상기 공정챔버(14)로 공급되는 약액의 일부가 추출되는 약액추출라인(20a)과; 상기 약액추출라인(20a)을 통하여 유입된 약액내의 파티클의 수를 측정하기 위한 파티클 카운터(22)와; 상기 파티클 카운터(22)로 유입된 약액이 배출되는 약액배출라인(20b)과; 상기 파티클 카운터(22)와 연결되고, 상기 파티클 카운터(22)에서 측정된 상기 약액의 파티클 수를 모니터링하여 상기 측정치가 설정치 이상일 때, 상기 공급밸브(18)를 제어하도록 하는 중앙 모니터링 장치(24)를 포함하는 반도체 제조 장치.

   ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.