KR960003843Y1 - 반도체 테스트 장치 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

반도체 테스트 장치

제1도는 종래의 반도체 프로브 테스트 장치 구성도.

제2도는 제1도의 부분별 회로도.

제3도는 본 고안의 반도체 프로브 테스트 장치 구성도.

제4도는 제3도의 부분별 회로도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

TR₁: 트렌지스터 L : 램프

DFF₁: 디 플립플롭 I₁: 인버터

1 : 표시부 2 : 중앙처리장치

3 : 피드백부 4 : 물림쇠

5 : 웨이퍼 6 : 테스트 용기

7 : 웨이퍼 센서

본 고안은 반도체 테스트 장치에 관한 것으로, 특히 반도체 테스트시 에러가 발생하면 시스템이 에러를 제거하여 계속적인 테스트가 진행될 수 있어 생산성 향상에 적당하도록한 반도체 테스트 장치에 관한 것이다.

제1도는 종래의 반도체 프로브 테스트 장치 구성도로서, 이에 도시된 바와 같이 테스트 하고자하는 웨이퍼(5)를 테스트한후 이송시키는 물림쇠(4)와, 그 물림쇠(4)의 이동에 의해 테스트한 웨이퍼(5)를 저장하기 위해 비어 있는 빈 테스트 용기(6')와, 테스트하고자 하는 웨이퍼(5)를 저장하고 있는 테스트 용기(6)와, 상기 룸림쇠(4)에 의해 웨이퍼(5)가 테스트되는 상태를 외부로 표시하는 표시부(1)로 구성된다.

제2도는 제1도의 부분별 상세 회로도로서, 이에 도시된 바와 같이 반도체 테스트 시작을 조작하는 스위치(S₁)와, 그 스위치(S₁)의 조작으로 인해 구동되는 트랜지스터(TR₁)의 그 트랜지스터(TR₁)의 구동에 의해 전원전압(Vcc)을 인가 받아 점등되는 램프(L)와, 시스템 전체를 제어하여 구동하는 중앙처리장치(2)로 구성된다.

이와 같이 구성된 종래의 반도체 테스트 장치의 동작과정 및 문제점을 설명하면 다음과 같다.

프로브 장비인 테스트 용기(6)에 웨이퍼(5)를 담은 이송기를 놓는다. 이는 테스트 시스템과의 인터페이스에 의하여 웨어퍼(5)를 물림쇠(4)위에 놓고 셀(cell)을 하나씩 하나씩 테스트한후 웨이퍼(5)를 빈테스트 용기(6')의 이송기에 놓는다. 이때 프로브는 테스트 시스템의 명령을 받아 불량 셀에 잉크를 찍어 표시하며 이상태들을 표시부(1)를 통해 외부로 표시한다.

이 과정중 테스트 용기(6)의 웨이퍼(5) 존재 유무 테스트를 상세히 설명하면 다음과 같다.

테스트 시스템이 정상적인 운행을 할 수 있도록 모든 조건을 만족시켜준 후 제1도의 스위치(S₁)를 단락시키면 이송기는 밑으로 내려가며 스위치(S₂)를 조작하면 이송기는 뒤로 올라간다. 이때 스위치(S₂)의 동작은 하단의 웨이퍼 센서(7)가 웨이퍼(5)가 있음을 감지할때 까지 하강한후 웨이퍼(5)가 감지되면 이동을 중지하고, 트랜지스터(TR₁)를 구동시켜 렌즈(L₁)를 점등시킨다.

가동 테스트시에는 상기의 과정이 연속적으로 이루어지며 테스트 용기(6)는 웨이퍼(5)를 한장씩 할 수 있도록 최하단의 웨이퍼(5)가 물림쇠(4)에 의해 이동되면 바로 위에 웨이퍼(5)가 이동될 수 있도록 0.8cm씩 하단으로 움직이면, 이를 중앙처리장치(2)는 웨이퍼(5)가 존재하고 있음을 하단의 웨이퍼 센서(7)를 통해 인식한다.

이상에서 설명한 바와 같이 동작하는 종래의 반도체 테스트 장치는 기기의 정밀성의 노후와, 먼지등으로 인한 센서의 오동작 또는 조작하는 사람에 의한 스위치의 오조작 등의 여러 오차로 인해 웨이퍼 센서가 웨이퍼를 감지하지 못하면 프로브 시스템은 에러를 발생시키고 작업의 진행을 전면 중단시킨다.

이 에러의 발생시 스타트 스위치를 한번 단락시켜주면 정상적인 동작이 가능하나 사람이 없는 상태에서는 전체 시스템이 중단되어 생산성을 저하시키는 문제점이 있었다.

본 고안은 상기와 같은 문제점을 감안하여 반도체 프로브 테스트의 에러가 발생하여 전체 시스템이 중단될때 이 에러를 이용하여 스위치를 조작함으로써 시스템이 계속적으로 동작할 수 있게 하여 생산성을 향상하고자 한다.

제3도는 본 고안의 반도체 프로브 테스트 장치 구성도로서, 이에 도시한 바와 같이 여러 단위 공정을 통해 제조되어 정불량으로 테스트 되는 웨이퍼(5)와, 그 웨이퍼(5)의 기본셀을 테스트하고 이동시키는 물림쇠(4)와, 그 물림쇠(4)의 이동에 따라 웨이퍼(5)를 이송받아 저장하고자 하는 빈 테스트 용기(6')와, 웨이퍼(5)를 저장하며 그 웨이퍼(5)의 존재 유무를 웨이퍼 센서(7)로 인식하여 중앙처리장치(2)에 인가하는 테스트 용기(6)와, 웨이퍼(5)를 테스트하는 등의 과정을 외부로 표시하는 표시부(1)와, 상기의 전체 시스템을 제어하여 정상적인 동작이 가능하도록 하며 시스템에 에러가 발생하는지를 감지하여 에러 발생시 이를 피드백부(3)에 인가하는 중앙처리장치(2)와, 그 중앙처리장치(2)로 부터 시스템에 발생하는 에러를 인가받아 이를 상기 웨이퍼(5)를 테스트 하고자하는 빈 테스트 용기(6')와 웨이퍼(5)를 저장하고 있는 테스트 용기(6)의 스위치(S₁)(S₂)를 제어하여 에러 발생시에도 정상적인 동작이 가능하도록 하는 피드백부(3)로 구성한다.

한편, 제4도는 제3도인 본 고안의 반도체 프로브 테스트 장치중 피드백부의 상세 회로도로서, 이에 도시한 바와 같이 중앙처리장치(2)의 에러 출력단자(E₁)는 디플립플롭(DFF₁)의 클럭단자(CK)에 접속됨과 아울러 인버터(I₁)를 통해 그 디플립플롭(DFF₁)의 프리세트 단자(PR)에 접속되고, 그 디플립플롭(DFF₁)의 출력단자(Q)는 스위치(S₁) 및 상기 중앙처리장치(2)에 접속된 트랜지스터(TR₁)의 베이스에 접속되며, 그 트랜지스터(TR₁)의 콜렉이후 에러가 존재하지 않은 경우는 중앙처리장치(2)에서 상기 피드백부(3)에 저전위신호를 인가하여 그의 디플립플롭(DFF₁)을 프레세트 시킴으로써 그 디플립플롭(DFF₁)의 출력단자(Q)에 고전위신호가 출력되고, 이에 따라 계속해서 반도체 프로브 테스트 기능을 수행할 수 있으며 에러신호를 소프트 웨어적으로 변형하여 같은 효과를 기대할 수 있다.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이 본 고안은 반도체 프로브 테스트시 에러가 발생할 경우 이를 이용하여 스위치를 단락시킴으로 인해 계속적으로 정상적인 테스트 기능을 수행할 수 있게 하므로 생산시 자동화가 가능하여 생산성을 향상시키는 효과가 있다.

Claims (1)

1. 반도체 테스트 장치의 동작 제어를 위한 중앙처리장치의 에러 출력단자를 디플립플롭의 클럭단자에 접속함과 아울러 인버터(I₁)를 통해 그 디플립플롭의 프리세트단자에 접속하고, 그 디플립플롭의 입력단자에 접지신호가 인가되게 접속한 후 그의 출력단자를 상기 중앙처리장치의 출력신호 및 스위치의 단락에 의해 도통제어를 받는 트랜지스터의 베이스에 공통 접속하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 테스트 장치.