KR920008474A

KR920008474A - 집적 광학 자이로스코프 감지기

Info

Publication number: KR920008474A
Application number: KR1019910018960A
Authority: KR
Inventors: 발리 빅터; 시. 브라운리그 패트릭; 비. 창 데이비드
Original assignee: 완다 케이. 덴슨-로우; 휴우즈 에어크라프트 캄파니
Priority date: 1990-10-29
Filing date: 1991-10-28
Publication date: 1992-05-28
Also published as: EP0483993A2; CA2052074A1; JPH04265816A; EP0483993A3

Abstract

내용 없음

Description

집적 광학 자이로스코프 감지기

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 중요한 광학 및 전기적 회로 소자를 도시하는 집적 광학 자이로 감지기의 개략도.

제2도는 집적 광학 자이로 감지기의 집적 광학 판독 디바이스를 도시하는 개략도.

Claims

기판, 광을 제공하기 위해 상기 기판 내에 집적되는 광원, 광원에 의해 제공되는 광을 수신하기 위해 광원에 광학적으로 결합되는 제1단부를 갖고 제1단부에 대해 약 90°로 배향되어 있는 제2 단부를 갖으며, 제1도파관을 통해 광을 전송시키기에 적합하게 되어 있는, 상기 기판 내에 배치되는 대략 나선형인 제1도파관, 입사광을 검출하기 위해 상기 기판 내에 집적되는 제1 및 제2 광검출기, 상기 제1 도파관을 통해 전송된 광을 수신하기에 적합하게 되어 있는 제1단부를 갖고 상기 제1 광 검출기에 광학적으로 결합되는 제2단부를 갖으며 상기 제1 광 검출기로 광을 전송시키기에 적합한, 상기 제1 도파관의 제1 단부에 평행하게 배향되고 기판 내에 배치되는 제2도파관, 상기 제1 도파관을 통해 전송된 광을 수신하기에 적합하게 되어 있는 제1 단부를 갖고 상기 제2 광 검출기에 광학적으로 결합되는 제2 단부를 갖으며, 제2 광 검출기로 광을 전송시키기에 적합한, 상기제1 도판관의 제2 단부에 평행하게 배향되고 기판 내에 배치되는 제3 도파관, 상기 기판 내에 집적되는 광학 판독 장치, 및 상기감지기의 회전에서 기인하는 상기 제1 및 제2 검출기에 의해 검출되는 광 사이의 상대적인 위상 전이를 측정하기 위해 제1 및 제2 검출기에 결합되는 검출 수단을 포함하고, 상기 광학 판독 장치가, (1) 광이 제1 도파관 내에서 상호 역전파되도록, 인가된 광이 제1 및 제2 단부에 의해 상기 제1 도파관에 결합되게 배향되는 상기 제1 도파관 내에 배치되고 상기 제1 도파관의 제1 단부에 근접한 기판 내에 에칭된 얇은 반사 및 투과 슬롯을 포함하는 제1빔분할기; (2) 제1단부를 향해 상기 제1도파관을 따라 결합된 광이 상기 제3 도파관의 제1 단부로 반사되고 광이 상기 제1 도파관을 따라 투과되어 상기 제1 빔분할기로부터 상기 제2 도파관의 제1 단부로 반사되도록 배향된 상기 제1 도파관에 근접하여 배치되고 상기 제1 빔분할기에 근접한 상기 기판 내에서 에칭되는 얇은 반사 및 투과 슬롯을 포함하는 제2 빔분할기; (3) 상기 제1빔분할기에 의해 상기 제2 도파관에 결합된 광이 상기 제2 도파관을 따라 상기 제1 검출기에 결합되도록 배향된 상기 제2 도파관 내에 배치되고 제1 빔분할기에 근접한 상기 기판 내에 에칭되는 얇은 반사 및 투과 슬롯을 포함하는 반사기; (4) 제2 단부를 향해 상기 제1 도파관을 따라 전송된 광이 투과되어 상기 제1 빔분할기 및 상기 반사기에 의해 상기 제2 도파관에 결합되고 광이 상기 제3 도파관의 제1 단부로 반사되도록 배향된 상기 제1 도파관의 제2 단부 근처에 근접하여 배치되고 상기 제1 빔분할기에 근접한 상기 기판 내에 에칭된 얇은 반사 및 투과 슬롯을 포함하는 제3 빔분할기; 및 (5) 상기 제3 빔분할기에 의해 상기 제3 도파관에 결합된 광이 상기 제3 도파관을 따라 상기 제2 검출기에 결합되고 상기 제2 빔분할기에 의해 상기 제3 도파관으로 반사된 광이 상기 제4 빔분할기에 의해 상기 제2 검출기로 투과되도록 배향된 상기 제3 도파관의 제1단부 근처에 근접하여 배치되고 상기 제3 빔분할기에 근접한 상기 기판 내에 에칭된 얇은 반사 및 투과 슬롯을 포함하는 제4 빔분할기를 포함하고, 상기 4개의 빔분할기의 장치가 제1 도파판관 내에 2개의 상호 역전파 광파를 발생하여 역전파 광파들의 세기 및 위상을 판독하는 수단을 제공하는 것을 특징으로 하는 집적 광학 자이로 감지기.
제1항에 있어서, 상기 감지기가 라튬 니오베이트 기판 상에 확산되는 티타늄으로 구성되는 것을 특징으로 하는 집적 광학 자이로 감지기.
제1항에 있어서, 상기 감지기가 실리콘 구조물 상에 유리를 포함하는 것을 특징으로 하는 집적 광학 자이로 감지기.
제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2 검출기가 상기 기판 상에 집적되는 PIN광다이오드 검출기를 포함하는 것을 특징으로 하는 집적 광학 자이로 감지기.
제1항에 있어서, 상기 광원이 상기기판 상에 집적되는 레이저 다이오드를 포함하는 것을 특징으로 하는 집적 광학 자이로 감지기.
차량의 미끄럼 작용의 결과로써 빚어지는 요우 회전의 측정이 집적 광학 자이로 감지기의 사용으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 차량의 요우 회전을 측정하기 위한 방법.
차량 바퀴의 회전을 측정하기 위해 집적 광학 자이로 감지기의 사용을 포함하는 것을 특징으로 하는 차량의 속도를 측정하기 위한 방법.
기판, 레이저 광을 제공하기에 적합하게 상기 기판 내에 집적된 레이저 광원, 상기 레이저 광원에 의해 제공되는 레이저 광을 수신하기 위해 레이저에 광학적으로 결합되는 제1 단부를 갖고, 제1단부에 대해 약 90°정도로 배향되는 제2 단부를 갖으며, 레이저 광을 전송시키기에 적합하도록 기판 내에 배치되는 제1 리튬 니오베이트 단일 모드 도파관, 입사되는 레이저 광을 검출하기 위해, 상기 기판 내에 집적되는 제1 및 제2광 검출기, 상기 제1 도파관을 따라 전송된 레이저 광을 수신하기에 적합하게 되어 있는 제1 단부를 갖고, 상기 제1 레이저 광 검출기에 광학적으로 결합되는 제2 단부를 갖으며 상기 제1 레이저 광 검출기로 레이저 광을 전송시키기에 적합하게 되어 있는 실질적으로 상기 제1 도파관의 제2 단부와 평행하게 배향되고 상기 기판 내에 배치된 제2 리튬 니오베이트 단일 모드 도파관, 상기 제1 도파관을 따라 전송된 레이저 광을 수신하기에 적합하게 되어 있는 제1 단부를 갖고, 상기 제2 레이저 광 검출기에 광학적으로 결합되는 제2 단부를 갖으며, 상기 제2레이저 광 검출기로 레이저 광을 전송시키기에 적합하게 되어 있는 실질적으로 상기 제1 도파관의 제2 단부와 평행하게 배향되고 상기 기판내에 배치되는 제3 리튬 니오베이트 단일 모드 도파관, 상기 기판 내에 집적되는 광학 판독 장치, 및 상기 감지기의 회전에서 기인하는 제1 및 제2 검출기에 의해 검출되는 레이저 광 사이에 상대적인 위상 전이를 측정하기 위해 제1 및 제2 검출기에 결합되는 검출 수단을 포함하고, 상기 광학 판독 장치가, (1) 레이저 광이 제1 도파관 내에서 상호 역전파되도록, 인가된 레이저 광이 제1 및 제2 단부에 의해 상기 제1 도파관에 결합되게 배향되는 상기 제1 도파관 내에 배치되고 상기 제1 도파관의 제1 단부에 근접한 기판 내에 에칭된 슬롯을 포함하는 제1의 50/50 빔분할기; (2) 제1단부를 향하는 상기 제1도파관을 따라 결합된 레이저광이 상기 제3 도파관의 제1 단부로 반사되고 레이저 광이 투과되어 상기 제1 도파관을 따라 상기 제1의 50/50 빔분할기로부터 상기 제2도 파관의 제1 단부로 반사되도록 배향된 상기 제1 도파관에 근접하여 배치되고 상기 제1의 50/50 빔분할기에 근접한 상기 기판 내에 에칭된 슬롯을 포함하는 제2의 50/50 빔분할기; (3) 상기 제1 빔분할기에 의해 상기 제2 도파관으로 결합된 레이저 광이 상기 제2 도파관을 따라 상기 제1 검출기에 결합되도록 배향된 상기 제2 도파관 내에 배치되고 상기 제1의 50/50 빔분할기에 근접하여 상기 기판 내에 에칭된 슬롯을 포함하는 반사기; (4) 제2 단부를 향해 상기 제1 도파관을 따라 전송된 레이저 광이 투과되어 상기 제1 빔분할기 및 상기 반사기에 의해 상기 제2 도파관에 결합되고 광이 상기 제3 도파관의 제1 단부로 반사되도록 배향된 상기 제1 도파관의 제2 단부 근처에 근접하여 배치되고 상기 제1의 50/50 빔분할기에 근접한 상기 기판 내에 에칭된 슬롯을 포함하는 제3의 50/50 빔분할기; 및 (5) 상기 제3 빔분할기에 의해 상기 제3 도파관에 결합된 광이 상기 제3 도파관을 따라 상기 제2 검출기에 결하되고 상기 제2 빔분할기에 의해 상기 제3 도파관으로 반사된 광이 상기 제4 빔분할기에 의해 상기 제2 검출기로 투과되도록 배향된 상기 제3 도파관의 제1 단부 근처에 근접하여 배치되고 상기 제3의 50/50 빔분할기에 근접한 상기 기판 내에 에칭된 슬롯을 포함하는 제4의 50/50 빔분할기를 포함하는 것을 특징으로 하는 집적 광학 자이로 감지기.
제8항에 있어서, 상기 기판이 글라스 온 실리콘 기판인 것을 특징으로 하는 감지기.
제8항에 있어서, 상기 제1 및 제2 검출기가 상기 기판 상에 성장된 PIN 광다이오드 검출기를 포함하는 것을 특징으로 하는 집적 광학 자이로 감지기.
제8항에 있어서, 상기 광원이 상기 기판상에 성장된 레이저 다이오드를 포함하는 것을 특징으로 하는 집적 광학 자이로 감지기.
제8항에 있어서, 상기감지기가 리튬 니오베이트 기판 상에 확산된 티타늄으로 구성되는 것을 특징으로 하는 집적 광학 자이로 감지기.
제8항에 있어서, 상기 감지기 실리콘 기판 상에 유리를 포함하는 것을 특징으로 하는 집적 광학 자이로 감지기.
제8항에 있어서, 상기 제1 및 제2 검출기가 상기 기판 상에 집적되는 PIN 광다이오드 검출기를 포함하는 것을 특징으로 하는 집적 광학 자이로 검출기.
제8항에 있어서, 상기광원이 상기 기판 상에 집적되는 레이저 다이오드를 포함하는 것을 특징으로 하는 집적 광학 자이로 감지기.

※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.